JPH08309571A - 銅合金のレーザ加工方法 - Google Patents
銅合金のレーザ加工方法Info
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- JPH08309571A JPH08309571A JP7145701A JP14570195A JPH08309571A JP H08309571 A JPH08309571 A JP H08309571A JP 7145701 A JP7145701 A JP 7145701A JP 14570195 A JP14570195 A JP 14570195A JP H08309571 A JPH08309571 A JP H08309571A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高効率に行い得る銅合金のレーザ加工方法を
提供する。 【構成】 ピークパワーが相対的に高い初期スパイク成
分とピークパワーが相対的に低いテール成分とからなる
レーザパルスにて銅合金の加工を行うものとする。その
際のレーザパルスの発生方法は、機械的回転チョッパに
よるＱスイッチ発振レーザとすると良い。
提供する。 【構成】 ピークパワーが相対的に高い初期スパイク成
分とピークパワーが相対的に低いテール成分とからなる
レーザパルスにて銅合金の加工を行うものとする。その
際のレーザパルスの発生方法は、機械的回転チョッパに
よるＱスイッチ発振レーザとすると良い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、銅合金のレーザ加工方
法に関し、特に、銅合金に対して比較的低入力による高
効率な孔あけ、切断加工を行い得る銅合金のレーザ加工
方法に関する。
法に関し、特に、銅合金に対して比較的低入力による高
効率な孔あけ、切断加工を行い得る銅合金のレーザ加工
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、銅合金の孔加工方法として、小さ
な粒径の鋼球を被加工材にたたきつけるショットブラス
ト法、機械切削法、並びにエッチング法などが知られて
いるが、前者は孔加工の制御性が悪く、後の２つは時間
がかかるという欠点がある。近年、制御性が良く、しか
も高速処理が可能な銅合金の孔加工方法として、レーザ
加工を適用する試みがなされている。しかしながら、銅
合金は、材料の基本的特性として、レーザの反射ミラー
に用いられるほどレーザ光の反射率が高い（９９％）材
料であり、また、熱伝導率が大きいためにレーザエネル
ギの十分な投入が困難であるため、良好な結果が得られ
ていなかった。
な粒径の鋼球を被加工材にたたきつけるショットブラス
ト法、機械切削法、並びにエッチング法などが知られて
いるが、前者は孔加工の制御性が悪く、後の２つは時間
がかかるという欠点がある。近年、制御性が良く、しか
も高速処理が可能な銅合金の孔加工方法として、レーザ
加工を適用する試みがなされている。しかしながら、銅
合金は、材料の基本的特性として、レーザの反射ミラー
に用いられるほどレーザ光の反射率が高い（９９％）材
料であり、また、熱伝導率が大きいためにレーザエネル
ギの十分な投入が困難であるため、良好な結果が得られ
ていなかった。
【０００３】このような特性を有する銅合金のレーザ加
工を可能とするために従来は、損失を覚悟で大エネルギ
を投入することが行われていた。ところが、上述の基本
特性に加えて、レーザ光の効率的な投入を阻害する要因
が銅合金には存在する。これは、銅合金をレーザ加工す
るためには、ある程度強力なレーザパルスを必要とする
のに対し、強力なレーザパルスと銅合金表面との相互作
用によって発生するプラズマがレーザ光を吸収し、銅合
金表面に到達するレーザエネルギを激減させる現象であ
る。すなわち、レーザパルスの銅合金表面への到達に伴
い、銅合金の表面に於いてレーザ光の吸収が起き、加熱
による銅合金の蒸発が起きる。この蒸発物がさらにレー
ザ光を吸収して電離する。そしてこの過程がなだれ的に
生じて雰囲気をも電離させる。このようにして、銅合金
の表面近傍は瞬時にプラズマ状態となる。このプラズマ
内の電子は非常にレーザ光を吸収し易く、後続のレーザ
光を減衰させる。
工を可能とするために従来は、損失を覚悟で大エネルギ
を投入することが行われていた。ところが、上述の基本
特性に加えて、レーザ光の効率的な投入を阻害する要因
が銅合金には存在する。これは、銅合金をレーザ加工す
るためには、ある程度強力なレーザパルスを必要とする
のに対し、強力なレーザパルスと銅合金表面との相互作
用によって発生するプラズマがレーザ光を吸収し、銅合
金表面に到達するレーザエネルギを激減させる現象であ
る。すなわち、レーザパルスの銅合金表面への到達に伴
い、銅合金の表面に於いてレーザ光の吸収が起き、加熱
による銅合金の蒸発が起きる。この蒸発物がさらにレー
ザ光を吸収して電離する。そしてこの過程がなだれ的に
生じて雰囲気をも電離させる。このようにして、銅合金
の表面近傍は瞬時にプラズマ状態となる。このプラズマ
内の電子は非常にレーザ光を吸収し易く、後続のレーザ
光を減衰させる。
【０００４】図７は、銅合金への投入レーザパルスの時
間波形とプラズマによる吸収との関係を示すグラフであ
り、（ａ）は通常のレーザパルスの時間波形を示し、
（ｂ）は対応するプラズマを示し、（ｃ）はプラズマを
通過して銅合金表面に到達したレーザパルスの時間波形
を示している。そして時間軸上の０はレーザパルスが銅
合金表面に到達した時間であり、１はプラズマが発生し
た時間である。時間０と時間１との間には、照射レーザ
光の強度にもよるが、数ｎｓから数１０ｎｓの時間遅延
がある。また時間２は、プラズマの吸収が最大値に達す
る時間である。これもレーザパルスの強度によるが、時
間１より数ｎｓから数１０ｎｓの短時間で最大値に達す
る。つまり、プラズマ吸収の時間波形の立上りは極めて
急峻であり、最大値に達した後は比較的緩やかに減衰す
る。図７（ｂ）のようなプラズマ吸収が発生する結果、
銅合金表面に到達するレーザパルスの後半は、図７
（ｃ）のように減衰され、銅合金表面に到達する実効的
なレーザパルスの持続時間が短くなる。
間波形とプラズマによる吸収との関係を示すグラフであ
り、（ａ）は通常のレーザパルスの時間波形を示し、
（ｂ）は対応するプラズマを示し、（ｃ）はプラズマを
通過して銅合金表面に到達したレーザパルスの時間波形
を示している。そして時間軸上の０はレーザパルスが銅
合金表面に到達した時間であり、１はプラズマが発生し
た時間である。時間０と時間１との間には、照射レーザ
光の強度にもよるが、数ｎｓから数１０ｎｓの時間遅延
がある。また時間２は、プラズマの吸収が最大値に達す
る時間である。これもレーザパルスの強度によるが、時
間１より数ｎｓから数１０ｎｓの短時間で最大値に達す
る。つまり、プラズマ吸収の時間波形の立上りは極めて
急峻であり、最大値に達した後は比較的緩やかに減衰す
る。図７（ｂ）のようなプラズマ吸収が発生する結果、
銅合金表面に到達するレーザパルスの後半は、図７
（ｃ）のように減衰され、銅合金表面に到達する実効的
なレーザパルスの持続時間が短くなる。
【０００５】図８は、ある一定の入熱が加えられた場合
の銅合金の蒸発に要する時間を示すグラフである。但
し、図８では簡略化のために周囲への熱伝導による入熱
の損失は無視している。本来、伝熱損失は無視できない
が、定性的な理解を得るための第一次近似として意味が
ある。図８に於いて、曲線より上側の部分が蒸発が生じ
て加工が可能となる領域を示している。これにより、レ
ーザパルスの持続時間が短くなると蒸発に要する時間を
超えられなくなり、加工不能となる傾向にあることが分
かる。
の銅合金の蒸発に要する時間を示すグラフである。但
し、図８では簡略化のために周囲への熱伝導による入熱
の損失は無視している。本来、伝熱損失は無視できない
が、定性的な理解を得るための第一次近似として意味が
ある。図８に於いて、曲線より上側の部分が蒸発が生じ
て加工が可能となる領域を示している。これにより、レ
ーザパルスの持続時間が短くなると蒸発に要する時間を
超えられなくなり、加工不能となる傾向にあることが分
かる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、このような不都
合を解決するために、レーザ光の強度を高くして入熱を
大きくしていた。すなわち、より多くのエネルギを持た
せたピークパワーの高いレーザパルスを短時間に用いる
ことで蒸発に要する時間の短縮化が行われていた。しか
しながら、これではますますプラズマによるレーザ光の
吸収を増大させることになり、加工効率を悪化させるこ
ととなっていた。このように、銅合金の加工をレーザに
よって行うには大出力のレーザが必要であり、きわめて
不経済的となる点が産業上に応用するうえでの障害とな
っていた。
合を解決するために、レーザ光の強度を高くして入熱を
大きくしていた。すなわち、より多くのエネルギを持た
せたピークパワーの高いレーザパルスを短時間に用いる
ことで蒸発に要する時間の短縮化が行われていた。しか
しながら、これではますますプラズマによるレーザ光の
吸収を増大させることになり、加工効率を悪化させるこ
ととなっていた。このように、銅合金の加工をレーザに
よって行うには大出力のレーザが必要であり、きわめて
不経済的となる点が産業上に応用するうえでの障害とな
っていた。
【０００７】本発明は、このような従来技術の問題点を
解消するべく案出されたものであり、その主な目的は、
高効率に行い得る銅合金のレーザ加工方法を提供するこ
とにある。
解消するべく案出されたものであり、その主な目的は、
高効率に行い得る銅合金のレーザ加工方法を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的は、時間
波形が、ピークパワーが相対的に高い初期スパイク成分
とピークパワーが相対的に低いテール成分とからなるレ
ーザパルスにて銅合金の加工を行うものとすることによ
って達成される。その際のレーザパルスの発生方法は、
機械的回転チョッパによるＱスイッチ発振レーザとする
と良い。
波形が、ピークパワーが相対的に高い初期スパイク成分
とピークパワーが相対的に低いテール成分とからなるレ
ーザパルスにて銅合金の加工を行うものとすることによ
って達成される。その際のレーザパルスの発生方法は、
機械的回転チョッパによるＱスイッチ発振レーザとする
と良い。
【０００９】
【作用】本発明は、銅合金へのレーザエネルギの時間的
な投入方法に関し、発明者等が行った詳細な研究の結果
発見された以下の事実に基づいている。
な投入方法に関し、発明者等が行った詳細な研究の結果
発見された以下の事実に基づいている。
【００１０】図４は、本発明のレーザパルスの時間波形
とプラズマ吸収およびプラズマを透過して銅合金表面に
到達するレーザパルスの時間波形の関係を示すグラフで
ある。（ａ）はピークパワーが高い初期スパイク成分と
ピークパワーが低いテール成分とからなるレーザパルス
の時間波形を示し、（ｂ）は（ａ）のレーザパルスが照
射された際に発生するプラズマによる吸収の時間変化を
示す。（ａ）に示す波形のレーザパルスを銅合金に照射
すると、通常のレーザパルスを照射したときと同様に、
初期スパイク成分の部分で銅合金表面での吸収とそれに
続いてプラズマが形成される。この際、プラズマが形成
される程度に強いレーザパルスでないと、銅合金表面で
の実効的吸収率が増加せず、加工が進行しないので、初
期スパイク部分では、最低限のプラズマ発生による吸収
を生じさせることが必要である。このために必要なレー
ザ強度を求めるために、高ピークパワーパルスを発生し
得るＱスイッチレーザパルスの一般的な時間幅である数
ｎｓ〜数μｓに対応させて銅合金の蒸発に要する入熱を
計算すると、１００ＭＷ／cm2〜２．５ＧＷ／cm2が必要
である。
とプラズマ吸収およびプラズマを透過して銅合金表面に
到達するレーザパルスの時間波形の関係を示すグラフで
ある。（ａ）はピークパワーが高い初期スパイク成分と
ピークパワーが低いテール成分とからなるレーザパルス
の時間波形を示し、（ｂ）は（ａ）のレーザパルスが照
射された際に発生するプラズマによる吸収の時間変化を
示す。（ａ）に示す波形のレーザパルスを銅合金に照射
すると、通常のレーザパルスを照射したときと同様に、
初期スパイク成分の部分で銅合金表面での吸収とそれに
続いてプラズマが形成される。この際、プラズマが形成
される程度に強いレーザパルスでないと、銅合金表面で
の実効的吸収率が増加せず、加工が進行しないので、初
期スパイク部分では、最低限のプラズマ発生による吸収
を生じさせることが必要である。このために必要なレー
ザ強度を求めるために、高ピークパワーパルスを発生し
得るＱスイッチレーザパルスの一般的な時間幅である数
ｎｓ〜数μｓに対応させて銅合金の蒸発に要する入熱を
計算すると、１００ＭＷ／cm2〜２．５ＧＷ／cm2が必要
である。
【００１１】次に、後に続くテール成分の照射が行われ
るが、（ｂ）および（ｃ）に示すように、テール成分で
のプラズマによる吸収は弱いことと、既に銅合金が加熱
・溶融されて銅合金表面の実効的吸収率が増大している
ことから、ピークパワーが比較的低いテール成分の部分
で十分な加工性が得られる。
るが、（ｂ）および（ｃ）に示すように、テール成分で
のプラズマによる吸収は弱いことと、既に銅合金が加熱
・溶融されて銅合金表面の実効的吸収率が増大している
ことから、ピークパワーが比較的低いテール成分の部分
で十分な加工性が得られる。
【００１２】一方、発明者等は、テール成分の時間の長
さについて、以下のような実験を行った。図５は、初期
スパイク成分の時間幅を一定（２００ｎｓ）とし、テー
ル成分の時間幅を変化させてレーザパルスを照射したと
きの銅合金の孔の深さ変化を示したグラフである。これ
より、テール成分が３０μｓのところで孔深さが飽和
し、テール成分の部分を３０μｓ以上長くしても孔深さ
が増大しないことが分かる。これは、レーザパルスの時
間幅が長くなるとエネルギが伝熱損失により拡散するた
めである。
さについて、以下のような実験を行った。図５は、初期
スパイク成分の時間幅を一定（２００ｎｓ）とし、テー
ル成分の時間幅を変化させてレーザパルスを照射したと
きの銅合金の孔の深さ変化を示したグラフである。これ
より、テール成分が３０μｓのところで孔深さが飽和
し、テール成分の部分を３０μｓ以上長くしても孔深さ
が増大しないことが分かる。これは、レーザパルスの時
間幅が長くなるとエネルギが伝熱損失により拡散するた
めである。
【００１３】以上から、銅合金に投入するレーザパルス
の時間波形を、ピークパワーが相対的に高い初期スパイ
ク成分とピークパワーが相対的に低いテール成分とから
なるものとすることにより、初期スパイク部分に於いて
加工に必要なレーザ強度を確保しつつ、プラズマの過大
な成長による吸収の増大を避けて被加工銅合金にレーザ
光を効率よく到達させることができ、高効率なレーザ加
工が可能となることが見いだされた。
の時間波形を、ピークパワーが相対的に高い初期スパイ
ク成分とピークパワーが相対的に低いテール成分とから
なるものとすることにより、初期スパイク部分に於いて
加工に必要なレーザ強度を確保しつつ、プラズマの過大
な成長による吸収の増大を避けて被加工銅合金にレーザ
光を効率よく到達させることができ、高効率なレーザ加
工が可能となることが見いだされた。
【００１４】
【実施例】以下に添付の図面を参照しながら本発明の実
施例について詳しく説明する。
施例について詳しく説明する。
【００１５】図１は、本発明が適用されたレーザ加工装
置の模式的な構成図である。本実施例に於いては、レー
ザ発振器１として、共振器内部に共焦点テレスコープレ
ンズ２と回転チョッパ３とからなるＱスイッチ装置４を
配置したＱスイッチ炭酸ガスレーザを用いた。ベースと
なる炭酸ガスレーザは、ＲＦ放電励起の平均出力２ｋＷ
の装置である。
置の模式的な構成図である。本実施例に於いては、レー
ザ発振器１として、共振器内部に共焦点テレスコープレ
ンズ２と回転チョッパ３とからなるＱスイッチ装置４を
配置したＱスイッチ炭酸ガスレーザを用いた。ベースと
なる炭酸ガスレーザは、ＲＦ放電励起の平均出力２ｋＷ
の装置である。
【００１６】回転チョッパ３は、図２に示したように、
ＳＵＳからなる円板５の外周部に径方向に沿う多数のス
リット６を設けたものである。本実施例では、直径１５
３mm、厚み０．４mmの円板５に、幅１mmのスリット６を
等間隔で５０個配している。この円盤を、１２，０００
ｒｐｍで回転する高速スピンドルモータに取り付けてあ
る。したがって、この場合のＱスイッチの繰返し周波数
は１０ｋＨｚであり、チョッパ開放時間は１１．５μｓ
となる。
ＳＵＳからなる円板５の外周部に径方向に沿う多数のス
リット６を設けたものである。本実施例では、直径１５
３mm、厚み０．４mmの円板５に、幅１mmのスリット６を
等間隔で５０個配している。この円盤を、１２，０００
ｒｐｍで回転する高速スピンドルモータに取り付けてあ
る。したがって、この場合のＱスイッチの繰返し周波数
は１０ｋＨｚであり、チョッパ開放時間は１１．５μｓ
となる。
【００１７】図３にチョッパ開放とＱスイッチレーザパ
ルス形成とのタイミングを示す。チョッパ３の開放開始
から２〜３μｓ遅れて（Ｄの部分）Ｑスイッチレーザパ
ルス特有の初期スパイク成分が立ち上がる。これは時間
幅１００ｎｓ〜１μｓ、ピークパワー５ｋＷ〜３００ｋ
Ｗのものである。この初期スパイク成分に続いて、チョ
ッパが閉じるまでの間、定常発振レベルの発振が続く
が、これが時間幅０．９μｓ〜２９μｓ、ピークパワー
１ｋＷ〜２ｋＷのテール成分となる。
ルス形成とのタイミングを示す。チョッパ３の開放開始
から２〜３μｓ遅れて（Ｄの部分）Ｑスイッチレーザパ
ルス特有の初期スパイク成分が立ち上がる。これは時間
幅１００ｎｓ〜１μｓ、ピークパワー５ｋＷ〜３００ｋ
Ｗのものである。この初期スパイク成分に続いて、チョ
ッパが閉じるまでの間、定常発振レベルの発振が続く
が、これが時間幅０．９μｓ〜２９μｓ、ピークパワー
１ｋＷ〜２ｋＷのテール成分となる。
【００１８】このようなレーザパルスを直径１４０μｍ
に集光レンズ７で集光し、銅合金８に照射した。このと
き、初期スパイク成分のピークパワー密度は３０ＭＷ／
cm2〜２ＧＷ／cm2であり、テール成分のピークパワー密
度は１０ＭＷ／cm2〜４０ＭＷ／cm2である。その結果、
直径８０〜２００μｍ、深さ１０〜５０μｍの孔加工を
実現できた。また、同一箇所に上記レーザパルスを複数
回照射することを行った。２５回照射によって孔深さが
２００〜１，０００μｍへと増大した。本実施例に於け
るレーザパルスの繰返し周波数は１０ｋＨｚであるか
ら、この孔加工は２．５ｍｓで完了し、高速の深孔加工
が可能となっている。また、被加工材を移動させながら
レーザ照射を行うことにより、１mm厚の銅合金板の切断
加工も可能であった。
に集光レンズ７で集光し、銅合金８に照射した。このと
き、初期スパイク成分のピークパワー密度は３０ＭＷ／
cm2〜２ＧＷ／cm2であり、テール成分のピークパワー密
度は１０ＭＷ／cm2〜４０ＭＷ／cm2である。その結果、
直径８０〜２００μｍ、深さ１０〜５０μｍの孔加工を
実現できた。また、同一箇所に上記レーザパルスを複数
回照射することを行った。２５回照射によって孔深さが
２００〜１，０００μｍへと増大した。本実施例に於け
るレーザパルスの繰返し周波数は１０ｋＨｚであるか
ら、この孔加工は２．５ｍｓで完了し、高速の深孔加工
が可能となっている。また、被加工材を移動させながら
レーザ照射を行うことにより、１mm厚の銅合金板の切断
加工も可能であった。
【００１９】なお、本実施例では、レーザ発振器１とし
て炭酸ガスレーザを用いたが、ＹＡＧなどの固体レーザ
をベースとしても良い。
て炭酸ガスレーザを用いたが、ＹＡＧなどの固体レーザ
をベースとしても良い。
【００２０】パルスあたりのエネルギを同一とした場合
の通常のレーザパルスと本発明のレーザパルスとの比較
実験の結果を図６に示す。（ａ）はテール成分のない場
合であり、（ｂ）は本発明のレーザパルスの場合であ
る。いずれもパルスあたりのエネルギは８０ｍＪとして
いる。（ａ）のレーザパルスの時間幅は２００ｎｓであ
り、収束径は１４０μｍである。この場合、パワー密度
は２．６ＧＷ／cm2となり、図８を参照すると加工可能
な領域に入ってはいるが、プラズマによる吸収でレーザ
パルスの後半部分が減衰し、実効的なパルス持続時間が
短くなり、加工性が悪化し、ほとんど有効な孔加工がで
きていない。
の通常のレーザパルスと本発明のレーザパルスとの比較
実験の結果を図６に示す。（ａ）はテール成分のない場
合であり、（ｂ）は本発明のレーザパルスの場合であ
る。いずれもパルスあたりのエネルギは８０ｍＪとして
いる。（ａ）のレーザパルスの時間幅は２００ｎｓであ
り、収束径は１４０μｍである。この場合、パワー密度
は２．６ＧＷ／cm2となり、図８を参照すると加工可能
な領域に入ってはいるが、プラズマによる吸収でレーザ
パルスの後半部分が減衰し、実効的なパルス持続時間が
短くなり、加工性が悪化し、ほとんど有効な孔加工がで
きていない。
【００２１】一方、（ｂ）のレーザパルスの時間幅は、
初期スパイク成分の部分が２００ｎｓ、テール成分の部
分が７．５μｓである。エネルギ的には初期スパイク成
分が２０ｍＪ、テール成分が６０ｍＪである。よって、
パワー密度は初期スパイク成分が６５０ＭＷ／cm2、テ
ール成分が５０ＭＷ／cm2である。この場合、図８を参
照すると、初期スパイク部分は加工可能域に入っている
が、テール部分は加工域に到達していない。
初期スパイク成分の部分が２００ｎｓ、テール成分の部
分が７．５μｓである。エネルギ的には初期スパイク成
分が２０ｍＪ、テール成分が６０ｍＪである。よって、
パワー密度は初期スパイク成分が６５０ＭＷ／cm2、テ
ール成分が５０ＭＷ／cm2である。この場合、図８を参
照すると、初期スパイク部分は加工可能域に入っている
が、テール部分は加工域に到達していない。
【００２２】この場合、先ず初期スパイク成分による表
面蒸発とプラズマ吸収が起きるが、その際、銅合金表面
の溶融も生じる。プラズマ吸収により初期スパイク部分
の後半は減衰するが、その後プラズマ吸収が弱まった後
も７．５μｓに渡ってテール成分による加熱が続くた
め、十分な加工が可能となっている。具体的には、穴径
２００μｍ、穴深さ１８μｍの穴加工が実現されてい
る。
面蒸発とプラズマ吸収が起きるが、その際、銅合金表面
の溶融も生じる。プラズマ吸収により初期スパイク部分
の後半は減衰するが、その後プラズマ吸収が弱まった後
も７．５μｓに渡ってテール成分による加熱が続くた
め、十分な加工が可能となっている。具体的には、穴径
２００μｍ、穴深さ１８μｍの穴加工が実現されてい
る。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の銅合金のレーザ加工方法によれば、レーザ光の反射率
が高く大入力を要する銅合金に対しても効率よく高速に
孔加工を行うことができる。
の銅合金のレーザ加工方法によれば、レーザ光の反射率
が高く大入力を要する銅合金に対しても効率よく高速に
孔加工を行うことができる。
【図１】本発明による銅合金のレーザ加工装置を説明す
る模式的構成図。
る模式的構成図。
【図２】回転チョッパの形状図。
【図３】チョッパ開放とＱスイッチレーザとのタイミン
グチャート。
グチャート。
【図４】本発明のレーザパルスによる銅合金加工の説明
図。
図。
【図５】パルステール部の加工性に与える影響の説明
図。
図。
【図６】比較実験の結果を示す拡大断面図。
【図７】従来のレーザパルスによる銅合金の加工の説明
図。
図。
【図８】一定の入熱が与えられたとき銅合金が蒸発する
までに要する時間。
までに要する時間。
１ レーザ発信器 ２ テレスコープレンズ ３ 回転チョッパ ４ Ｑスイッチ装置 ５ 円板 ６ スリット ７ 集光レンズ ８ 銅合金
Claims (2)
- 【請求項１】 パルスレーザによる銅合金の加工方法で
あって、 時間波形が、時間幅１００ｎｓ〜１μｓ、ピークパワー
密度３０ＭＷ／cm2〜２ＧＷ／cm2の初期スパイク成分
と、時間幅０．９μｓ〜２９μｓ、ピークパワー密度１
０ＭＷ／cm2〜４０ＭＷ／cm2のテール成分とからなるレ
ーザパルスを用いることを特徴とする銅合金のレーザ加
工方法。 - 【請求項２】 初期スパイク成分とテール成分とからな
るレーザパルスを、回転チョッパによるＱスイッチ発振
レーザにより発生させることを特徴とする請求項１に記
載の銅合金のレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07145701A JP3103009B2 (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | 銅合金のレーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07145701A JP3103009B2 (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | 銅合金のレーザ加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08309571A true JPH08309571A (ja) | 1996-11-26 |
| JP3103009B2 JP3103009B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=15391119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07145701A Expired - Fee Related JP3103009B2 (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | 銅合金のレーザ加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3103009B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005103625A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Hitachi Via Mechanics Ltd | Ｃｏ２レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
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