JPH0830816B2 - Liquid crystal display terminal structure - Google Patents
Liquid crystal display terminal structureInfo
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- JPH0830816B2 JPH0830816B2 JP62168176A JP16817687A JPH0830816B2 JP H0830816 B2 JPH0830816 B2 JP H0830816B2 JP 62168176 A JP62168176 A JP 62168176A JP 16817687 A JP16817687 A JP 16817687A JP H0830816 B2 JPH0830816 B2 JP H0830816B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マトリクス状または類似の多数の画素を有
し、一方の基板に各画素に対応してMIM素子を配置する
液晶表示装置に関する。本発明は特に、MIM素子液晶表
示装置の製造工程を合理化する電極端子形状に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a liquid crystal display device having a large number of pixels in a matrix or similar and arranging MIM elements corresponding to the respective pixels on one substrate. The present invention particularly relates to an electrode terminal shape that rationalizes the manufacturing process of a MIM element liquid crystal display device.
〔従来の技術〕 MIM素子は、金属(Metal)−絶縁物(Insulator)−
金属(Metal)の略で、非線形な電圧電流特性を示す物
質構造である。具体的にはTa−TaOx−Cr,Ta−TaOx−Ta,
Al−AlOx−Al等が使用される。この素子は、低電圧で高
抵抗、高電圧で低抵抗であり、スイッチング特性をも
ち、これを液晶表示装置内の各画素に配置することによ
り、各画素を準独立に制御・駆動することができる。少
なくとも、200×200画素以上の高密度マトリクス画面を
達成でき、キャラクターディスプレイ、TV画像表示等に
応用できるものである。[Prior Art] A MIM element is a metal-insulator-
Abbreviation of metal, which is a material structure that exhibits non-linear voltage-current characteristics. Specifically, Ta-TaOx-Cr, Ta-TaOx-Ta,
Al-AlOx-Al or the like is used. This element has a high resistance at a low voltage and a low resistance at a high voltage and has switching characteristics. By arranging this element in each pixel in the liquid crystal display device, each pixel can be controlled and driven quasi-independently. it can. At least, a high-density matrix screen with 200 × 200 pixels or more can be achieved, and it can be applied to character displays, TV image displays, etc.
MIM素子の重要部分である、TaOxは、通常はTaを陽極
酸化することによって得られる。第3図に、MIM素子を
表示装置に配置した部分と、端子についての平面図を示
す。TaOxとTaは同一の平面的パターンであるが、陽極酸
化された部分の表面がTaOxとなる。MIM素子部33の下側
はTaで、表面はTaOxであり、Cr等による結合電極32が交
差し、MIM素子を形成する。さらに結合電極32はITO等の
画素電極31と結線される。画素電極31と、この対面に配
置される対向電極の間に、適当なる液晶層があり、表示
画素となる。TaOx, which is an important part of the MIM element, is usually obtained by anodizing Ta. FIG. 3 shows a plan view of the portion where the MIM element is arranged in the display device and the terminal. TaOx and Ta have the same planar pattern, but the surface of the anodized portion becomes TaOx. The lower side of the MIM element portion 33 is Ta and the surface thereof is TaOx, and the coupling electrodes 32 of Cr or the like intersect to form a MIM element. Further, the coupling electrode 32 is connected to the pixel electrode 31 such as ITO. A suitable liquid crystal layer is provided between the pixel electrode 31 and the counter electrode arranged on the opposite side to form a display pixel.
陽極酸化はTaのパターニングされた基板を、クエン酸
溶液等に浸し、他に陰極板を配置し、Taと陰極板の間に
約30Vの電圧を印加することによって得られる。通常
は、この工程段階では、Taパターンは全て結合されてお
り、一回の陽極酸化で終了させる。最終工程でガラス基
板をカッティングすることによって各端子毎に分離し完
了する。The anodic oxidation is obtained by immersing the patterned Ta substrate in a citric acid solution or the like, disposing another cathode plate, and applying a voltage of about 30 V between Ta and the cathode plate. Usually, in this process step, the Ta patterns are all bonded and are completed by one-time anodic oxidation. By cutting the glass substrate in the final step, each terminal is separated and completed.
また、工程合理化のため、一枚の比較的大きな基板に
複数個の単位基板を配置し、最終工程でカッティングし
切り離す方法が採用される。この場合は、当然ながら、
単位基板の切り離しと各端子の切離しは同時に可能なパ
ターンとする。また、大基板のTaの線は、全部結合され
ているパターンにして、陽極酸化工程の合理化も実施さ
れている。大基板に配置される単位基板の数は4〜9個
が取扱い上は良く、採用されている。第4図には4個配
置の模式図を示す。数の省略されたTa線と、周囲のTa面
を表わす。単位基板41,42,43,44のTa線は、すべて一本
のTaパターンとなっている。破線は、カッティングの線
を示している。この例で示されているが、単位基板の端
子引出しは両側に実施されている。これは両側に引出す
ことで、端子間隔が広くとれ、製造上有利となるためで
ある。Further, in order to rationalize the process, a method of arranging a plurality of unit substrates on one relatively large substrate and cutting and separating in the final process is adopted. In this case, of course,
The unit board and the terminals can be separated at the same time. In addition, the Ta lines on the large substrate are made into a pattern in which they are all bonded, and the anodic oxidation process is rationalized. The number of unit substrates arranged on the large substrate is preferably 4 to 9 because it is easy to handle. FIG. 4 shows a schematic diagram of four arrangements. The number of Ta lines omitted and the surrounding Ta plane are shown. The Ta lines of the unit substrates 41, 42, 43, 44 all have a single Ta pattern. The broken line indicates the cutting line. As shown in this example, terminal lead-out of the unit substrate is performed on both sides. This is because by drawing out to both sides, the terminal interval can be widened, which is advantageous in manufacturing.
第4図の中央部の基板41と42の間、あるいは43と44の
間の部分を拡大したのが、第5図である。縦線51はその
左右の端子部に連らなるTa線の陽極酸化を実施させるた
めの結合線である。この線巾は陽極酸化を確実に行なう
ため数十μm以上は必要である。破線で狭まれる部分は
カッティングにより切り落とす部分である。この場合、
スクライバー装置によりカッティングは、細い切込み線
を入れて割る方法であるので、結合線51は必ずどちらか
に残存し、採用することができない。高速回転の砥石に
よるダイシング法では一定巾で切り落とすことができる
ので、この場合には有効となる。FIG. 5 is an enlarged view of a portion between the substrates 41 and 42 or 43 and 44 in the central portion of FIG. The vertical line 51 is a coupling line for anodizing the Ta line connected to the left and right terminal portions. This line width needs to be several tens of μm or more in order to ensure the anodic oxidation. The part narrowed by the broken line is the part cut off by cutting. in this case,
Since cutting with a scriber device is a method of inserting and breaking a thin cut line, the connecting line 51 always remains in either side and cannot be adopted. The dicing method using a grindstone rotating at a high speed can cut off with a constant width, which is effective in this case.
従来は、ダイシング法により切り落としを行なってい
たが、スクライブ法よりも、処理能力が悪かった。Conventionally, the dicing method was used to cut off, but the processing capacity was worse than that of the scribing method.
本発明は、MIM素子液晶表示装置の製造工程におい
て、大基板から単位基板を切り離す場合にスクライブ法
により可能となる、基板上の電極端子形状を提供するこ
とを目的としている。It is an object of the present invention to provide an electrode terminal shape on a substrate, which is possible by a scribing method when a unit substrate is separated from a large substrate in a manufacturing process of a MIM element liquid crystal display device.
スクライブ法を全面的に取入れることにより、工程能
力を向上させることができる。By totally incorporating the scribe method, the process capability can be improved.
本発明の液晶表示装置の端子構造は、一対の基板間に
液晶を挾持し、前記一対の基板のうち一方の基板上には
複数の信号電極が形成されてなる液晶表示装置の端子構
造であって、前記一方の基板上の前記信号電極終端の端
子部はへこみを有し、前記へこみは前記電極端子の長さ
方向に対し平行に形成され、かつ前記電極端子の幅方向
の中央部に位置することを特徴とする。A terminal structure of a liquid crystal display device of the present invention is a terminal structure of a liquid crystal display device in which liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates, and a plurality of signal electrodes are formed on one of the pair of substrates. The terminal portion of the signal electrode termination on the one substrate has a dent, and the dent is formed parallel to the length direction of the electrode terminal and is located at the central portion in the width direction of the electrode terminal. It is characterized by doing.
第1図に本発明の実施例を示す。2つの電極端子を代
表的に示す。右側の破線は基板の外形線である。これは
右端の部分であり、左端では対称な形状となる。寸法
(a+b)は端子配置のピッチとなり、aは端子巾であ
り、bは端子間巾である。端子間巾と同一寸法のへこみ
部分11を端子パターンに有する。寸法cはへこみ部分11
の長さである。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. Two electrode terminals are shown representatively. The broken line on the right side is the outline of the substrate. This is the right end portion, and the left end has a symmetrical shape. The dimension (a + b) is the pitch of the terminal arrangement, a is the terminal width, and b is the inter-terminal width. The terminal pattern has a recessed portion 11 having the same size as the width between terminals. Dimension c is dented part 11
Is the length of
第2図は、2個の単位基板が結合した様子を示したも
のである。破線はカッティングの線、すなわちスクライ
ブ線である。左右の端子は半ピッチずれた状態で結合
し、結果として上から下までTa結は一本に結線されてい
る。しかも細いスクライブ線によってカッティングして
も、余分なTa線は残ることはない。FIG. 2 shows a state in which two unit substrates are combined. The broken line is a cutting line, that is, a scribe line. The left and right terminals are connected in a state of being displaced by a half pitch, and as a result, Ta connection is connected from top to bottom. Moreover, even if a fine scribe line is used for cutting, no extra Ta line remains.
以上説明した通り、本発明の液晶表示装置の端子構造
は、一対の基板間に液晶を挾持し、前記一対の基板のう
ち一方の基板上には複数の信号電極が形成されてなる液
晶表示装置の端子構造であって、前記一方の基板上の前
記信号電極終端の端子部はへこみを有し、前記へこみは
前記電極端子の長さ方向に対し平行に形成され、かつ前
記電極端子の幅方向の中央部に位置することにより、大
基板に複数個の単位基板を配置し、一度にTa線を陽極酸
化することができ、さらにスクライブにより簡単に切り
離しの可能な、MIM素子基板の製法を確保できる。As described above, the terminal structure of the liquid crystal display device of the present invention has a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates, and a plurality of signal electrodes are formed on one of the pair of substrates. The terminal structure of the signal electrode termination on the one substrate has a dent, and the dent is formed parallel to the length direction of the electrode terminal and the width direction of the electrode terminal. By arranging in the central part of, multiple unit substrates can be arranged on a large substrate, Ta line can be anodized at a time, and the manufacturing method of MIM element substrate that can be easily separated by scribe is secured. it can.
すなわち、MIM素子基板の製造コストを低くおさえる
ことができる。That is, the manufacturing cost of the MIM element substrate can be kept low.
第1図は本発明の実施例の電極端子形状を示す図。第
2図は実施例の説明図。第3図は従来のMIM素子と端子
の配置列を示す図。第4図は大基板に配置された基板の
説明図を示す。第5図は従来の基板の電極端子部の説明
図。FIG. 1 is a diagram showing a shape of an electrode terminal according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory view of the embodiment. FIG. 3 is a diagram showing an arrangement row of conventional MIM elements and terminals. FIG. 4 shows an explanatory view of the substrates arranged on the large substrate. FIG. 5 is an explanatory view of an electrode terminal portion of a conventional substrate.
Claims (1)
基板のうち一方の基板上には複数の信号電極が形成され
てなる液晶表示装置の端子構造であって、前記一方の基
板上の前記信号電極終端の端子部はへこみを有し、前記
へこみは前記電極端子の長さ方向に対し平行に形成さ
れ、かつ前記電極端子の幅方向の中央部に位置すること
を特徴とする液晶表示装置の端子構造。1. A terminal structure of a liquid crystal display device, wherein a liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates, and a plurality of signal electrodes are formed on one of the pair of substrates, wherein the one substrate. The terminal portion of the upper end of the signal electrode has a dent, the dent is formed parallel to the length direction of the electrode terminal, and is located in the central portion in the width direction of the electrode terminal. Liquid crystal display terminal structure.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62168176A JPH0830816B2 (en) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | Liquid crystal display terminal structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP62168176A JPH0830816B2 (en) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | Liquid crystal display terminal structure |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7027997A Division JP2737758B2 (en) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | Manufacturing method of liquid crystal display device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6413120A JPS6413120A (en) | 1989-01-18 |
JPH0830816B2 true JPH0830816B2 (en) | 1996-03-27 |
Family
ID=15863203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP62168176A Expired - Lifetime JPH0830816B2 (en) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | Liquid crystal display terminal structure |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0830816B2 (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63180935A (en) * | 1987-01-23 | 1988-07-26 | Hitachi Ltd | Thin-film transistor liquid crystal display device |
-
1987
- 1987-07-06 JP JP62168176A patent/JPH0830816B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS63180935A (en) * | 1987-01-23 | 1988-07-26 | Hitachi Ltd | Thin-film transistor liquid crystal display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS6413120A (en) | 1989-01-18 |
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