JPH08306819A - Semiconductor device, circuit board, and mounting method - Google Patents

Semiconductor device, circuit board, and mounting method

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JPH08306819A
JPH08306819A JP11335995A JP11335995A JPH08306819A JP H08306819 A JPH08306819 A JP H08306819A JP 11335995 A JP11335995 A JP 11335995A JP 11335995 A JP11335995 A JP 11335995A JP H08306819 A JPH08306819 A JP H08306819A
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JP
Japan
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substrate
wiring
pad portion
semiconductor device
supporting member
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JP11335995A
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Japanese (ja)
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Kazuhisa Ikenoue
和 久 池ノ上
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

PURPOSE: To provide a semiconductor device wherein design freedom of wiring or the like is remarkably improved, by enlarging the region capable of wiring and reducing pad pitch. CONSTITUTION: The interval between the substrate 1 back of a semiconductor device and one surface of a printed circuit board 13 which surface faces the substrate 1 is set larger than the sum of the thickness t1 of a wiring on the substrate 1 back and the thickness t2 of a wiring on the one surface of the printed circuit board. A substrate retaining part member 12 is arranged on the back of the substrate 1, the part member 12 sets the interval to be a constant value and retains the substrate. The constant value is smaller than or equal to the sum of the following; the thickness t1 of the wiring of the substrate 1 back, the diameter R of a solder ball to be joined to a pad part of the wiring of the substrate 1 back, and the thickness t2 of a wiring of the one surface of the printed circuit board. By this constitution, the region capable of wiring is enlarged, and pad pitch can be reduced, so that design freedom of wiring or the like is remarkably improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置に係り、特
にBGA(Ball Grid Array)パッケー
ジに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly to a BGA (Ball Grid Array) package.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置のパッケージの中には、プリ
ント回路基板裏面のパッド部に半田ボールが接合された
BGA(Ball Grid Array)パッケージ
と称されるものがある。図6はそれぞれ、(a)BGA
パッケージの底面図、(b)図6(a)の線XYに沿っ
た断面図、(c)スティックに収納されたBGAパッケ
ージの端面図である。
2. Description of the Related Art Some semiconductor device packages are called BGA (Ball Grid Array) packages in which solder balls are bonded to pads on the back surface of a printed circuit board. FIG. 6 shows (a) BGA, respectively.
FIG. 7 is a bottom view of the package, (b) a cross-sectional view taken along line XY in FIG. 6 (a), and (c) an end view of the BGA package housed in a stick.

【0003】プリント回路基板1上には、マウントペー
スト4により半導体チップ3が接合され、ボンディング
ワイヤ5により半導体チップ3とプリント回路基板1上
の配線6とが接続されている。配線6はスルーホール8
を通って、プリント回路基板1裏面の半田ボール7が接
合されるパッド部に接続されている。半導体チップ3
が、モールド樹脂2により封止された後、半田ボール7
がパッド部に接合される。
A semiconductor chip 3 is bonded onto a printed circuit board 1 by a mount paste 4, and a bonding wire 5 connects the semiconductor chip 3 and a wiring 6 on the printed circuit board 1. Wiring 6 is through hole 8
Through, and is connected to a pad portion to which the solder ball 7 on the back surface of the printed circuit board 1 is joined. Semiconductor chip 3
However, after being sealed with the mold resin 2, the solder balls 7
Is joined to the pad portion.

【0004】図7は、BGAパッケージの半田ボールの
接合方法を示す説明図である。最初に、BGAパッケー
ジ裏面のパッド部6aに、ノズル15によりフラックス
16を塗布する(図7(a))。次に、半田ボール(S
n/Pb=63/27)7を、テンプレート(半田ボー
ル7より小径の貫通孔がパッド部6aと同ピッチで設け
られた板)17によりバキューム吸着し、BGAパッケ
ージ裏面のパッド部6aにフラックスの粘着力を利用し
て付着させる(図7(b))。その後、炉またはレーザ
で加熱して半田ボール7をBGAパッケージ裏面のパッ
ド部6aに接合する。半田ボール7は、BGAパッケー
ジを他のプリント回路基板に接続する際にリフローされ
る。
FIG. 7 is an explanatory view showing a method of joining solder balls of a BGA package. First, the flux 16 is applied to the pad portion 6a on the back surface of the BGA package by the nozzle 15 (FIG. 7A). Next, solder balls (S
(n / Pb = 63/27) 7 is vacuum-adsorbed by a template (a plate having through holes having a diameter smaller than that of the solder ball 7 and provided at the same pitch as the pad portion 6a) 17, and flux is applied to the pad portion 6a on the back surface of the BGA package. The adhesive force is used for attachment (FIG. 7 (b)). After that, the solder ball 7 is bonded to the pad portion 6a on the back surface of the BGA package by heating with a furnace or a laser. The solder balls 7 are reflowed when connecting the BGA package to another printed circuit board.

【0005】図8は、半田ボールをリフローすることに
よりBGAパッケージを他のプリント回路基板に接続し
た状態を示す説明図である。接続が正常に行われると、
図8(a)に示したように、半田ボール7がほぼ円柱状
となった状態(7p)で、BGAパッケージのプリント
回路基板1上の配線のパッド部6aと他のプリント回路
基板13上の配線のパッド部9aとが接続される。
FIG. 8 is an explanatory view showing a state in which the BGA package is connected to another printed circuit board by reflowing the solder balls. If the connection is successful,
As shown in FIG. 8A, with the solder balls 7 in a substantially cylindrical shape (7p), the pad portions 6a of the wiring on the printed circuit board 1 of the BGA package and the other printed circuit board 13 are formed. The pad portion 9a of the wiring is connected.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、BGA
パッケージは、爾後の製造工程またはテスト工程に流す
ときには、図6(c)に示したように、スティックに収
納して搬送されるので、以下のような不都合が生ずる。
すなわち、このときBGAパッケージとスティックと
は、接触面11aの部分が互いに擦れ合うので、プリン
ト回路基板1上の配線6は、接触面11aの部分を避け
る必要がある。したがって、図6(a)の破線で囲んだ
配線可能領域14の外側には配線を引くことができず、
配線設計において制限を受ける。
However, the BGA
When the package is sent to the subsequent manufacturing process or test process, it is housed in a stick and conveyed as shown in FIG. 6C, so that the following inconvenience occurs.
That is, at this time, since the contact surface 11a of the BGA package and the stick rub against each other, the wiring 6 on the printed circuit board 1 needs to avoid the contact surface 11a. Therefore, the wiring cannot be drawn outside the wirable region 14 surrounded by the broken line in FIG.
Restricted in wiring design.

【0007】また、図8に示したように、半田ボールを
リフローしてBGAパッケージを他のプリント回路基板
に接続する際に、BGAパッケージのプリント回路基板
1と他のプリント回路基板13との距離が、正常な状態
(図8(a))よりも小さくなると半田ボール7の形状
は略樽型となり(図8(b))、さらに、プリント回路
基板1と他のプリント回路基板13との距離が小さくな
ると、半田ボール7は完全に押し潰されてはみ出しが生
ずる。そこで、このような半田のはみ出しが生じた場合
でもはみ出した半田どうしが短絡しないように、プリン
ト回路基板1上の配線のパッド部6a及びプリント回路
基板13上の配線のパッド部9aのパッドピッチは十分
に大きく取っておく必要があった。したがって、パッド
ピッチの縮小化の限界からも配線設計において制限を受
ける。
Further, as shown in FIG. 8, when the solder balls are reflowed to connect the BGA package to another printed circuit board, the distance between the printed circuit board 1 of the BGA package and the other printed circuit board 13 is increased. However, when the size becomes smaller than the normal state (FIG. 8A), the shape of the solder ball 7 becomes a substantially barrel shape (FIG. 8B), and the distance between the printed circuit board 1 and another printed circuit board 13 is further increased. Becomes smaller, the solder balls 7 are completely crushed and sticking out occurs. Therefore, the pad pitches of the wiring pad portions 6a on the printed circuit board 1 and the wiring pad portions 9a on the printed circuit board 13 are set so that the protruding solders are not short-circuited even when such solder spillage occurs. It had to be set aside large enough. Therefore, there is a limitation in the wiring design due to the limitation of reducing the pad pitch.

【0008】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、配線可能な領域を拡大し、さらに、半
田ボールを接合するパッド部のピッチを縮小することに
より、配線等の設計自由度が向上したBGAパッケージ
の半導体装置を提供することである。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to design a wiring or the like by enlarging a wirable area and further reducing a pitch of a pad portion for joining a solder ball. It is an object of the present invention to provide a semiconductor device in a BGA package with improved flexibility.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体装置
によれば、基板と、基板の表面にマウントされ、基板の
表面の回路にボンディングワイヤにより接続される半導
体チップと、基板が接続される予定のプリント回路基板
の一方側の面の配線のパッド部に対向して基板の裏面に
配設されたパッド部と基板の表面の回路とを接続する配
線と、基板のパッド部に接合され、リフローされること
により基板のパッド部とプリント回路基板のパッド部と
を接続する半田ボールと、基板の裏面に配設され、基板
の裏面とプリント回路基板の一方側の面との間隔を、基
板の裏面の配線の厚さとプリント回路基板の一方側の面
の配線の厚さとの和より大きく、かつ基板の裏面の配線
の厚さと半田ボールの直径とプリント回路基板の一方側
の面の配線の厚さとの和以下の一定間隔に設定し保持す
る基板支持部材とを備えたことを特徴とする。
According to the semiconductor device of the present invention, the substrate is connected to the substrate, the semiconductor chip mounted on the surface of the substrate and connected to the circuit on the surface of the substrate by the bonding wire. A wiring that connects the pad portion disposed on the back surface of the substrate and the circuit on the front surface of the substrate facing the pad portion of the wiring on one surface of the planned printed circuit board, and is joined to the pad portion of the board, Solder balls that connect the pad part of the board and the pad part of the printed circuit board by reflow are disposed on the back surface of the board, and the distance between the back surface of the board and one surface of the printed circuit board is Is larger than the sum of the thickness of the wiring on the back side of the printed circuit board and the thickness of the wiring on the one side of the printed circuit board, and the thickness of the wiring on the back side of the board and the diameter of the solder ball and the wiring on the one side of the printed circuit board thickness Characterized by comprising a substrate support member for holding set below the predetermined interval sum.

【0010】本発明に係る回路板の第1の構成によれ
ば、表面に配線が配設され、表面の配線の一部または全
部と電気的に連続しパッド部を有する配線が裏面に配設
され、表面の配線と電気的に接続された半導体チップが
表面に載置接合され、パッド部には他の基板との接続に
用いられる半田ボールが接合された第1の基板と、第1
の基板裏面のパッド部に対向する位置に、半田ボールの
リフローにより第1の基板裏面のパッド部と接続される
パッド部を有する配線が表面に配設された第2の基板
と、第1の基板裏面の配線と第2の基板表面の配線とが
互いに接触せず、かつ半田ボールが第1の基板裏面の配
線のパッド部と第2の基板表面の配線のパッド部とに同
時に接触し得るよう、第1の基板裏面と第2の基板表面
との間隔を一定間隔に設定し保持する、第1の基板裏面
上に形成された基板支持部材とを備えたことを特徴とす
る。
According to the first structure of the circuit board of the present invention, the wiring is provided on the front surface, and the wiring having the pad portion is electrically connected to a part or all of the wiring on the front surface and is provided on the back surface. A semiconductor chip electrically connected to wiring on the surface is placed and bonded on the surface, and a solder ball used for connection to another substrate is bonded to the pad portion;
A second substrate on the surface of which a wiring having a pad portion connected to the pad portion on the back surface of the first substrate is disposed on the surface at a position facing the pad portion on the back surface of the first substrate; The wiring on the rear surface of the substrate and the wiring on the front surface of the second substrate do not contact each other, and the solder balls may simultaneously contact the pad portion of the wiring on the rear surface of the first substrate and the pad portion of the wiring on the second substrate surface. As described above, a substrate supporting member formed on the back surface of the first substrate is provided, which sets and holds the space between the back surface of the first substrate and the front surface of the second substrate at a constant interval.

【0011】本発明に係る回路板の第2の構成によれ
ば、第1の基板の一方側の面に配設され、パッド部を有
する配線の厚さをt1 、第1の基板が実装される第2の
基板の一方側の面に配設され、第1の基板の一方側の面
のパッド部に対向する位置にパッド部を有する配線の厚
さをt2 、第1の基板のパッド部と第2の基板のパッド
部とのリフローによる接続に用いられる半田ボールの半
径をrとしたとき、第1の基板の一方側の面からの高さ
1 が次式 t1 +t2 <h1 <t1 +t2 +4/3・r を満たす基板支持部材が第1の基板の一方側の面上に形
成されていることを特徴とする。
According to the second structure of the circuit board of the present invention, the thickness of the wiring provided on one surface of the first substrate and having the pad portion is t 1 , and the first substrate is mounted. The thickness of the wiring, which is disposed on one surface of the second substrate and has a pad portion at a position facing the pad portion on the one surface of the first substrate, is t 2 , When the radius of the solder ball used for connection by reflow between the pad portion and the pad portion of the second substrate is r, the height h 1 from one surface of the first substrate is expressed by the following equation t 1 + t 2 A substrate supporting member satisfying <h 1 <t 1 + t 2 + 4/3 · r is formed on one surface of the first substrate.

【0012】本発明に係る回路板の第3の構成によれ
ば、第1の基板の一方側の面に配設され、パッド部を有
する配線の厚さをt1 、第1の基板が実装される第2の
基板の一方側の面に配設され、第1の基板の一方側の面
のパッド部に対向する位置にパッド部を有する配線の厚
さをt2 、第1の基板のパッド部と第2の基板のパッド
部とのリフローによる接続に用いられる半田ボールの半
径をrとしたとき、第1の基板の一方側の面からの高さ
2 が次式 h2 =t1 +t2 +4/3・r を満たす基板支持部材が第1の基板の一方側の面上に形
成されていることを特徴とする。
According to the third structure of the circuit board of the present invention, the thickness of the wiring provided on one surface of the first substrate and having the pad portion is t 1 , and the first substrate is mounted. The thickness of the wiring, which is disposed on one surface of the second substrate and has a pad portion at a position facing the pad portion on the one surface of the first substrate, is t 2 , When the radius of the solder ball used for connection by reflow between the pad portion and the pad portion of the second substrate is r, the height h 2 from one surface of the first substrate is expressed by the following equation h 2 = t A substrate supporting member satisfying 1 + t 2 + 4/3 · r is formed on one surface of the first substrate.

【0013】本発明に係る回路板の第4の構成によれ
ば、第1の基板の一方側の面に配設され、パッド部を有
する配線の厚さをt1 、第1の基板が実装される第2の
基板の一方側の面に配設され、第1の基板の一方側の面
のパッド部に対向する位置にパッド部を有する配線の厚
さをt2 、第1の基板のパッド部と第2の基板のパッド
部とのリフローによる接続に用いられる半田ボールの半
径をrとしたとき、第1の基板の一方側の面からの高さ
3 が次式 t1 +t2 +4/3・r<h3 ≦t1 +t2 +2r を満たす基板支持部材が第1の基板の一方側の面上に形
成されていることを特徴とする。
According to the fourth configuration of the circuit board of the present invention, the thickness of the wiring provided on one surface of the first substrate and having the pad portion is t 1 , and the first substrate is mounted. The thickness of the wiring, which is disposed on one surface of the second substrate and has a pad portion at a position facing the pad portion on the one surface of the first substrate, is t 2 , Assuming that the radius of the solder ball used for connection by reflow between the pad portion and the pad portion of the second substrate is r, the height h 3 from one surface of the first substrate is expressed by the following formula t 1 + t 2 A substrate supporting member satisfying + 4/3 · r <h 3 ≦ t 1 + t 2 + 2r is formed on one surface of the first substrate.

【0014】本発明に係る回路板の実装方法によれば、
パッド部を有する配線が配設された第1の基板の一方側
の面上に、第1の基板が実装される予定の第2の基板の
一方側の面上の第1の基板の一方側の面のパッド部に対
向して配設されたパッド部を有する配線の厚さと第1の
基板の一方側の面の配線の厚さとの和より大きく、かつ
第1の基板のパッド部と第2の基板のパッド部とのリフ
ローによる接続に用いられる半田ボールの直径と和とを
加算した値以下の高さの基板支持部材を形成する工程
と、第1の基板の他方側の面上に半導体チップをマウン
トする工程と、第1の基板の一方側の面上の配線と一部
または全部が電気的に連続する第1の基板の他方側の面
上の配線と半導体チップとをワイヤボンディングにより
接続する工程と、第1の基板の一方側の面上のパッド部
に半田ボールを接合する工程と、半田ボールと第2の基
板の一方側の面上のパッド部とを接触させ、半田ボール
をリフローして第1の基板の一方側の面上のパッド部と
第2の基板の一方側の面上のパッド部とを接続する工程
とを備えたことを特徴とする。
According to the circuit board mounting method of the present invention,
One side of the first board on one side of the second board on which the first board is to be mounted, on one side of the first board on which the wiring having the pad portion is arranged Is larger than the sum of the thickness of the wiring having the pad portion arranged to face the pad portion of the first surface and the thickness of the wiring on the one surface of the first substrate, and the pad portion and the first substrate Second step of forming a board supporting member having a height equal to or less than a value obtained by adding a diameter and a sum of solder balls used for connection with a pad portion of the board by reflow, and on a surface of the other side of the first board. A step of mounting the semiconductor chip, and wire bonding between the wiring on one surface of the first substrate and the wiring on the other surface of the first substrate, which is partially or entirely electrically continuous, and the semiconductor chip And the solder ball is bonded to the pad part on the one side of the first substrate. And the step of contacting the solder ball with the pad portion on the one surface of the second substrate, and reflowing the solder ball to form the pad portion on the one surface of the first substrate and the second substrate. And a step of connecting to a pad portion on one surface.

【0015】本発明に係る半導体装置において、さらに
以下の構成を加えると良い。
In the semiconductor device according to the present invention, the following constitution may be added.

【0016】基板支持部材は、基板の裏面の各角部にそ
れぞれ配設されているものとすると良い。
It is preferable that the substrate support member is provided at each corner of the back surface of the substrate.

【0017】基板支持部材は、基板の裏面の互いに向か
い合う2つの端辺に沿ってそれぞれ配設されているもの
としても良い。
The substrate supporting member may be arranged along the two opposite sides of the back surface of the substrate.

【0018】基板支持部材がさらに、2つの端辺以外の
端辺に沿っても配設されているものとしても良い。
The substrate supporting member may be arranged along the side edges other than the two side edges.

【0019】基板支持部材は、円柱状または角柱状の形
状をなしているものとすると良い。
It is preferable that the substrate supporting member has a columnar or prismatic shape.

【0020】基板支持部材の先端部は、ほぼ半球状の形
状または先細の形状に形成されたものとすると良い。
The tip of the substrate supporting member is preferably formed in a substantially hemispherical shape or a tapered shape.

【0021】基板支持部材は、各端辺のほぼ一端から他
端に渡って形成された略直方体状の形状をなしているも
のとすると良い。
It is preferable that the substrate supporting member has a substantially rectangular parallelepiped shape formed from approximately one end to the other end of each end side.

【0022】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略鼓形
となるように、基板支持部材により設定され保持されて
いるものとすると良い。
The distance between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board is preferably set and held by a board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially drum-shaped. .

【0023】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略円柱
形となるように、基板支持部材により設定され保持され
ているものとしても良い。
The space between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board may be set and held by the board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially columnar. .

【0024】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略樽形
となるように、基板支持部材により設定され保持されて
いるものとしても良い。
The space between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board may be set and held by a board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially barrel-shaped. .

【0025】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略鼓形となる高さであ
るものとすると良い。
The height of the substrate supporting member from the back surface of the substrate is
The height of the solder ball after reflowing should be substantially drum-shaped.

【0026】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略円柱形となる高さで
あるものとしても良い。
The height of the substrate supporting member from the back surface of the substrate is
The solder ball may have a height such that the shape after reflow becomes a substantially cylindrical shape.

【0027】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略樽形となる高さであ
るものとしても良い。
The height of the substrate support member from the back surface of the substrate is
The height of the solder ball after reflow may be substantially barrel-shaped.

【0028】基板支持部材のプリント回路基板との接触
面または接触点を含む部分には、摩擦力を低減する被膜
が形成されているものとすると良い。
It is preferable that a film for reducing frictional force is formed on a portion of the substrate supporting member including a contact surface or a contact point with the printed circuit board.

【0029】基板支持部材とプリント回路基板との接触
面または接触点は、接着されるものとすると良い。
The contact surface or contact point between the board supporting member and the printed circuit board may be adhered.

【0030】さらに、半導体チップを封止する樹脂封止
体を備えたものとすると良い。
Further, it is preferable that a resin encapsulating body for encapsulating the semiconductor chip is provided.

【0031】基板支持部材は、樹脂封止体と同一の材料
により形成されたものとすると良い。
The substrate supporting member is preferably made of the same material as the resin sealing body.

【0032】基板支持部材は、セラミックにより形成さ
れたものとしても良い。
The substrate supporting member may be made of ceramic.

【0033】[0033]

【作用】基板の裏面に配設され、基板の裏面とプリント
回路基板の一方側の面との間隔を、基板の裏面の配線の
厚さとプリント回路基板の一方側の面の配線の厚さとの
和より大きく、かつ基板の裏面の配線の厚さと半田ボー
ルの直径とプリント回路基板の一方側の面の配線の厚さ
との和以下の一定間隔に設定し保持する基板支持部材と
を備えたので、半導体装置をスティックに収納した際に
は、半導体装置とスティックとの接触部は基板支持部材
のみで、基板の裏面はスティックとは接触せず、配線可
能な領域が拡大し、半導体装置をプリント回路基板に接
続した際には、基板支持部材により基板とプリント回路
基板との間隔は適切に設定され、基板上の配線のパッド
ピッチを縮小化することができ、配線等の設計自由度が
向上する。
The distance between the back surface of the substrate and the surface on one side of the printed circuit board is determined by the thickness of the wiring on the back surface of the substrate and the thickness of the wiring on the one side of the printed circuit board. Since the board supporting member is provided, the board supporting member is set to be larger than the sum of the thickness of the wiring on the back surface of the board, the diameter of the solder ball, and the thickness of the wiring on one surface of the printed circuit board, and is set to a predetermined interval or less. When the semiconductor device is stored in the stick, the contact part between the semiconductor device and the stick is only the substrate support member, the back surface of the substrate does not contact the stick, and the wirable area is expanded, and the semiconductor device is printed. When connected to a circuit board, the board support member sets the distance between the board and the printed circuit board appropriately, and the pad pitch of the wiring on the board can be reduced, improving the degree of freedom in designing the wiring. To do.

【0034】それぞれ一方側の面に互いに対向して配設
され接続されるパッド部を有する第1の基板及び第2の
基板のうち、第1の基板の一方側の面上に、第1の基板
裏面の配線と第2の基板表面の配線とが互いに接触せ
ず、かつ半田ボールが第1の基板裏面の配線のパッド部
と第2の基板表面の配線のパッド部とに同時に接触し得
るよう、第1の基板裏面と第2の基板表面との間隔を一
定間隔に設定し保持する、第1の基板裏面上に形成され
た基板支持部材とを備えたので、配線可能な領域が拡大
し、基板上の配線のパッドピッチを縮小化することがで
き、配線等の設計自由度が向上する。
Of the first substrate and the second substrate, each of which has a pad portion which is arranged facing each other and connected to each other, the first substrate is provided on one surface of the first substrate. The wiring on the rear surface of the substrate and the wiring on the front surface of the second substrate do not contact each other, and the solder balls may simultaneously contact the pad portion of the wiring on the rear surface of the first substrate and the pad portion of the wiring on the second substrate surface. As described above, since the first substrate back surface and the second substrate front surface are provided with a substrate supporting member formed on the first substrate back surface and holding the same at a constant interval, the wirable area is expanded. However, the pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0035】それぞれ一方側の面に互いに対向して配設
され接続されるパッド部を有する第1の基板及び第2の
基板のうち、第1の基板の一方側の面上に、第1の所定
の式を満たす高さの基板支持部材を備えたので、プリン
ト回路基板との接続状態を確実なものとすることができ
る。
Of the first substrate and the second substrate, each of which has a pad portion which is disposed so as to face each other and is connected to each other, the first substrate is provided on one surface of the first substrate. Since the board supporting member having the height satisfying the predetermined formula is provided, the connection state with the printed circuit board can be ensured.

【0036】それぞれ一方側の面に互いに対向して配設
され接続されるパッド部を有する第1の基板及び第2の
基板のうち、第1の基板の一方側の面上に、第2の所定
の式を満たす高さの基板支持部材を備えたので、基板上
の配線のパッドピッチを縮小化することができ、プリン
ト回路基板との接続状態を最適なものとすることができ
る。
Of the first substrate and the second substrate, each of which has a pad portion which is arranged so as to face each other and is connected to each other, the second substrate is formed on one surface of the first substrate. Since the board supporting member having the height satisfying the predetermined formula is provided, the pad pitch of the wiring on the board can be reduced and the connection state with the printed circuit board can be optimized.

【0037】それぞれ一方側の面に互いに対向して配設
され接続されるパッド部を有する第1の基板及び第2の
基板のうち、第1の基板の一方側の面上に、第3の所定
の式を満たす高さの基板支持部材を備えたので、基板上
の配線のパッドピッチを縮小化することができ、配線等
の設計自由度が向上する。
Of the first substrate and the second substrate, each of which has a pad portion arranged and connected to face each other on one side, the third substrate is provided on one face of the first substrate. Since the board supporting member having a height satisfying the predetermined formula is provided, the pad pitch of the wiring on the board can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0038】回路板の実装方法において、それぞれ一方
側の面に互いに対向して配設され接続されるパッド部を
有する第1の基板及び第2の基板のうち、第1の基板の
一方側の面上に、所定の高さの基板支持部材を形成する
工程を備えたので、第1の基板における配線可能な領域
が拡大し、基板上の配線のパッドピッチを縮小化するこ
とができ、配線等の設計自由度が向上する。
In the method of mounting the circuit board, one of the first and second substrates, which has pad portions arranged and connected to face each other so as to face each other, is provided on one side of the first substrate. Since the step of forming the substrate supporting member having a predetermined height on the surface is provided, the wirable region of the first substrate is enlarged, and the pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced, The degree of freedom in design is improved.

【0039】基板支持部材は、基板の裏面の各角部にそ
れぞれ配設されているものとしたので、配線可能な領域
を最大限に拡大することができ、基板上の配線のパッド
ピッチを縮小化することにより配線等の設計自由度が大
幅に向上する。
Since the substrate supporting members are arranged at the respective corners of the back surface of the substrate, the area where wiring can be performed can be maximized and the pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced. This will greatly improve the degree of freedom in designing the wiring and the like.

【0040】基板支持部材は、基板の裏面の互いに向か
い合う2つの端辺に沿ってそれぞれ配設されているもの
としたので、配線可能な領域を拡大することができ、基
板上の配線のパッドピッチを縮小化することにより配線
等の設計自由度が大幅に向上する。
Since the substrate supporting members are arranged along the two opposite sides of the back surface of the substrate, the wirable area can be expanded, and the pad pitch of the wiring on the substrate can be increased. By reducing the size, the degree of freedom in designing the wiring and the like is significantly improved.

【0041】基板支持部材がさらに、2つの端辺以外の
端辺に沿っても配設されているものとしたので、スティ
ック収納時、プリント回路基板との接続時における安定
度が高くなる。
Further, since the board supporting member is arranged along the side edges other than the two side edges, the stability is high when the stick is stored and when the stick is connected to the printed circuit board.

【0042】基板支持部材は、円柱状または角柱状の形
状をなしているものとしたので、配線可能な領域が拡大
し、設計自由度が向上し、また、スティック収納時、プ
リント回路基板との接続時における安定度の高さを容易
に得ることができる。
Since the substrate supporting member has a columnar or prismatic shape, the area where wiring is possible is expanded, the degree of freedom in design is improved, and when the stick is housed, the board supporting member does not interfere with the printed circuit board. High stability at the time of connection can be easily obtained.

【0043】基板支持部材の先端部は、ほぼ半球状の形
状または先細の形状に形成されたものとしたので、半導
体装置をスティックに収納する際におけるスティックと
基板支持部材との摩擦力が小さくなる。
Since the tip of the substrate supporting member is formed in a substantially hemispherical shape or a tapered shape, the frictional force between the stick and the substrate supporting member when the semiconductor device is housed in the stick is reduced. .

【0044】基板支持部材は、各端辺のほぼ一端から他
端に渡って形成された略直方体状の形状をなしているも
のとしたので、スティック収納時、プリント回路基板と
の接続時における安定度が高くなる。
Since the board supporting member has a substantially rectangular parallelepiped shape formed from almost one end to the other end of each side, it is stable when the stick is housed and when it is connected to the printed circuit board. The degree increases.

【0045】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略鼓形
となるように、基板支持部材により設定され保持されて
いるものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを縮
小化することができ、配線等の設計自由度が向上する。
The distance between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board is set and held by the board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially drum-shaped. The pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0046】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略円柱
形となるように、基板支持部材により設定され保持され
ているものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを
縮小化することができ、プリント回路基板との接続状態
を最適なものとすることができる。
The distance between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board is set and held by the board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially cylindrical. The pad pitch of the wiring on the board can be reduced, and the connection state with the printed circuit board can be optimized.

【0047】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略樽形
となるように、基板支持部材により設定され保持されて
いるものとしたので、プリント回路基板との接続状態を
確実なものとすることができる。
The distance between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board is set and held by the board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially barrel-shaped. The connection state with the printed circuit board can be ensured.

【0048】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略鼓形となる高さであ
るものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを縮小
化することができ、配線等の設計自由度が向上する。
The height of the substrate supporting member from the back surface of the substrate is
Since the shape of the solder balls after reflow has a substantially drum shape, the pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0049】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略円柱形となる高さで
あるものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを縮
小化することができ、プリント回路基板との接続状態を
最適なものとすることができる。
The height of the substrate supporting member from the back surface of the substrate is
Since the shape of the solder balls after reflow has a substantially cylindrical shape, the pad pitch of the wiring on the board can be reduced, and the connection state with the printed circuit board can be optimized. be able to.

【0050】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略樽形となる高さであ
るものとしたので、プリント回路基板との接続状態を確
実なものとすることができる。
The height of the substrate support member from the back surface of the substrate is
Since the shape of the solder balls after reflow has a substantially barrel shape, the connection state with the printed circuit board can be ensured.

【0051】基板支持部材のプリント回路基板との接触
面または接触点を含む部分には、摩擦力を低減する被膜
が形成されているものとしたので、半導体装置をスティ
ックに収納する際におけるスティックと基板支持部材と
の摩擦力が小さくなる。
Since the film for reducing the frictional force is formed on the portion of the substrate support member including the contact surface or the contact point with the printed circuit board, the stick is not used when the semiconductor device is stored in the stick. The frictional force with the substrate supporting member is reduced.

【0052】基板支持部材とプリント回路基板との接触
面または接触点は、接着されるものとしたので、基板の
裏面のパッド部とプリント回路基板の一方側の面のパッ
ド部との接続状態を確実に保持できる。
Since the contact surface or contact point between the board supporting member and the printed circuit board is adhered, the connection state between the pad portion on the back surface of the board and the pad portion on one surface of the printed circuit board is determined. Can be held securely.

【0053】さらに、半導体チップを封止する樹脂封止
体を備えたものとしたので、半導体装置の信頼性が向上
する。
Further, since the resin sealing body for sealing the semiconductor chip is provided, the reliability of the semiconductor device is improved.

【0054】基板支持部材は、樹脂封止体と同一の材料
により形成されたものとしたので、半導体装置の樹脂封
止と同時に形成することもできる。
Since the substrate supporting member is made of the same material as the resin sealing body, it can be formed simultaneously with the resin sealing of the semiconductor device.

【0055】基板支持部材は、セラミックにより形成さ
れたものとしたので、基板がセラミック多層積層板等で
ある場合には、基板と一体化して形成することができ、
軽量かつ耐久性に優れたものとすることができる。
Since the substrate supporting member is made of ceramic, when the substrate is a ceramic multilayer laminated plate or the like, it can be formed integrally with the substrate.
It can be made lightweight and excellent in durability.

【0056】[0056]

【実施例】以下、本発明に係る半導体装置の実施例につ
き、図面を参照しながら説明する。
Embodiments of the semiconductor device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0057】図1はそれぞれ、(a)本発明の第1の実
施例に係るBGAパッケージの半導体装置の底面図、
(b)図1(a)の線ABに沿った断面図、(c)ステ
ィックに収納された本発明の第1の実施例に係るBGA
パッケージの半導体装置の端面図である。
FIG. 1A is a bottom view of a semiconductor device of a BGA package according to the first embodiment of the present invention, respectively.
(B) A sectional view taken along the line AB in FIG. 1 (a), (c) a BGA according to the first embodiment of the present invention housed in a stick.
It is an end view of the semiconductor device of a package.

【0058】基板1には、セラミック多層積層板または
プリント回路基板、あるいはその他の適当な基板が用い
られており、この基板1表面には、マウントペースト4
により半導体チップ3が接合され、ボンディングワイヤ
5により半導体チップ3と基板1上の配線6とが接続さ
れている。配線6はスルーホール8を通って、基板1裏
面の半田ボール7が接合されるパッド部に接続されてい
る。パッド部は、基板1が接合される他のプリント回路
基板のパッド部に対向するパッドピッチで設けられてお
り、半田ボール7がこのパッド部に接合されている。半
導体チップ3は、モールド樹脂2により封止されてい
る。
A ceramic multilayer laminate, a printed circuit board, or any other suitable substrate is used as the substrate 1, and the mount paste 4 is provided on the surface of the substrate 1.
The semiconductor chip 3 is bonded by the above, and the semiconductor chip 3 and the wiring 6 on the substrate 1 are connected by the bonding wire 5. The wiring 6 passes through the through hole 8 and is connected to a pad portion to which the solder ball 7 on the back surface of the substrate 1 is joined. The pad portion is provided with a pad pitch facing the pad portion of another printed circuit board to which the substrate 1 is joined, and the solder balls 7 are joined to this pad portion. The semiconductor chip 3 is sealed with the mold resin 2.

【0059】さらに、基板1裏面の各角部には、円柱状
の基板支持部材12が配設されている。基板支持部材1
2は、モールド樹脂2と同一の材料またはセラミック等
の適当な材料によって形成されている。基板支持部材1
2をモールド樹脂2と同一の材料で形成する場合には、
半導体チップ3をモールド樹脂2により封止するのと同
時に基板支持部材12を形成しても良い。あるいは、基
板1がセラミック多層積層板の場合には、基板支持部材
12は基板1と一体化して形成されたものとしても良
い。基板支持部材12は、基板1裏面の端辺に沿ってさ
らに複数箇所設けても良く、形状も円柱状に限らず角柱
状のものでも良い。
Further, a cylindrical substrate support member 12 is provided at each corner of the back surface of the substrate 1. Substrate support member 1
2 is made of the same material as the mold resin 2 or an appropriate material such as ceramic. Substrate support member 1
When 2 is formed of the same material as the mold resin 2,
The substrate supporting member 12 may be formed at the same time when the semiconductor chip 3 is sealed with the mold resin 2. Alternatively, when the substrate 1 is a ceramic multilayer laminate, the substrate supporting member 12 may be formed integrally with the substrate 1. The substrate supporting member 12 may be provided at a plurality of positions along the edge of the back surface of the substrate 1, and the shape thereof is not limited to the cylindrical shape and may be a prismatic shape.

【0060】BGAパッケージは、爾後の製造工程また
はテスト工程に流すときには、図1(c)に示したよう
に、スティックに収納して搬送される。このときBGA
パッケージとスティックとは、基板支持部材12とステ
ィックとの接触面11の部分が互いに擦れ合い、基板1
の裏面がスティックと擦れ合うことはない。したがっ
て、従来、配線を設けることができなかった領域(図6
(a)の破線で囲んだ配線可能領域14の外側)にも配
線を設けることができるので、配線等の設計自由度が向
上する。
The BGA package is stored in a stick and conveyed as shown in FIG. 1C when it is sent to the subsequent manufacturing process or test process. BGA at this time
The package and the stick are rubbed against each other at the contact surface 11 between the substrate support member 12 and the stick,
The back of the stick does not rub against the stick. Therefore, a region where wiring cannot be provided conventionally (see FIG.
Since the wiring can be provided also on the outer side of the wirable region 14 surrounded by the broken line in (a), the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0061】図2は、基板1裏面の配線6のパッド部6
aに接合された半田ボール7と、基板1裏面の配線6の
パッド部6aに対向する位置に配線9のパッド部9aが
配設されたプリント回路基板13とが接触し、半田ボー
ル7のリフロー前の状態を示し、各部の寸法を定義する
説明図である。
FIG. 2 shows the pad portion 6 of the wiring 6 on the back surface of the substrate 1.
The solder ball 7 joined to a and the printed circuit board 13 in which the pad portion 9a of the wiring 9 is arranged at a position facing the pad portion 6a of the wiring 6 on the back surface of the substrate 1 come into contact with each other, and the reflow of the solder ball 7 is caused. It is an explanatory view showing the previous state and defining the size of each part.

【0062】半田ボール7の半径はr、直径はR、基板
1裏面の配線6または配線6のパッド部6aの厚さはt
1 、プリント回路基板13上の配線9または配線9のパ
ッド部9aの厚さはt2 、基板支持部材12の基板1裏
面からの高さはhとする。
The radius of the solder ball 7 is r, the diameter is R, and the thickness of the wiring 6 on the back surface of the substrate 1 or the pad portion 6a of the wiring 6 is t.
1 , the thickness of the wiring 9 on the printed circuit board 13 or the pad portion 9a of the wiring 9 is t 2 , and the height of the substrate supporting member 12 from the rear surface of the substrate 1 is h.

【0063】図3は、基板1裏面の配線6のパッド部6
aに接合された半田ボール7aと、基板1裏面の配線6
のパッド部6aに対向する位置に配線9のパッド部9a
が配設されたプリント回路基板13とが接合され、半田
ボール7aのリフロー前の状態(図3(a))、及びリ
フロー後の状態(図3(b)、(c)、(d)、
(e))を示す説明図である。
FIG. 3 shows the pad portion 6 of the wiring 6 on the back surface of the substrate 1.
solder ball 7a joined to a and wiring 6 on the back surface of substrate 1
Pad portion 9a of the wiring 9 at a position facing the pad portion 6a of
And the printed circuit board 13 on which the solder balls 7 are disposed, the solder balls 7a are in a state before reflow (FIG. 3A) and after reflow (FIGS. 3B, 3C, and 3D).
It is explanatory drawing which shows (e).

【0064】図3(a)は、図2と同様の図であるが、
基板支持部材12の基板1裏面からの高さhが後述する
1 、h2 、h3 となる場合を一図面に表している。
FIG. 3A is a view similar to FIG.
A case where the height h of the substrate supporting member 12 from the rear surface of the substrate 1 is h 1 , h 2 , and h 3 described later is shown in one drawing.

【0065】図3(b)は、基板支持部材12の基板1
裏面からの高さhが、半田ボール7aのリフロー後の形
状7bが略円柱状となる高さh2 の場合を示している。
2の値は、半径r、高さh2 の円柱の体積と、半径r
の球の体積とから、次のように求められる。 πr2 (h2 −t1 −t2 )=4/3・πr3 (1) h2 =t1 +t2 +4/3・r (2) 半田ボール7のリフロー後の形状7bが略円柱状となる
高さh2 は、配線6のパッド部6aと配線9のパッド部
9aとの最も良好な接続状態を確保しながら、パッドピ
ッチを縮小化することができる、高さhの最適値であ
る。半田ボール7aのリフロー後の形状7bは、表面張
力の影響で必ずしも完全な円柱形状とはならないが、互
いに隣接する半田ボール7bどうしが短絡しない範囲内
で、パッドピッチを縮小化することができる。
FIG. 3B shows the substrate 1 of the substrate supporting member 12.
Height h from the back side, the shape 7b after reflow of the solder balls 7a indicates a case of the height h 2 of a substantially cylindrical shape.
The value of h 2 is the radius r, the volume of the height h 2 cylinder, the radius r
From the volume of the sphere of, it is calculated as follows. πr 2 (h 2 −t 1 −t 2 ) = 4/3 · πr 3 (1) h 2 = t 1 + t 2 + 4/3 · r (2) The shape 7 b of the solder ball 7 after reflow is substantially cylindrical. The height h 2 is the optimum value of the height h that can reduce the pad pitch while ensuring the best connection between the pad portion 6a of the wiring 6 and the pad portion 9a of the wiring 9. is there. The shape 7b of the solder balls 7a after reflow does not necessarily become a perfect cylindrical shape due to the influence of surface tension, but the pad pitch can be reduced within a range in which adjacent solder balls 7b are not short-circuited.

【0066】配線6のパッド部6aと配線9のパッド部
9aとの接続状態を最も確実にするためには、高さhを
1 (<h2 )とすると良い。
In order to ensure the connection state between the pad portion 6a of the wiring 6 and the pad portion 9a of the wiring 9, the height h is preferably set to h 1 (<h 2 ).

【0067】図3(c)は、基板支持部材12の基板1
裏面からの高さhが、半田ボール7aのリフロー後の形
状7cが略樽形となる高さh1 の場合を示している。h
1 の値は、少なくとも配線6のパッド部6aの厚さt1
と配線9のパッド部9aの厚さt2 との和よりも大きく
すると、配線6及び配線9を保護することができ、次式
で表される。 t1 +t2 <h1 <t1 +t2 +4/3・r (3) 半田ボール7aのリフロー後の形状7cが略樽形となる
高さh1 は、パッドピッチを、高さh=h2 の場合より
も大きく取らなければならないが、配線6のパッド部6
aと配線9のパッド部9aとの接続状態を最も確実にす
ると同時に配線6及び配線9を保護することができる、
高さhの値である。
FIG. 3C shows the substrate 1 of the substrate supporting member 12.
Height h from the back side, the shape 7c after reflow of the solder balls 7a indicates a case of a height h 1 which is a Ryakutarugata. h
The value of 1 is at least the thickness t 1 of the pad portion 6a of the wiring 6.
And the thickness t 2 of the pad portion 9a of the wiring 9 are larger than the sum, the wiring 6 and the wiring 9 can be protected and expressed by the following equation. t 1 + t 2 <h 1 <t 1 + t 2 + 4/3 · r (3) The height h 1 at which the shape 7 c of the solder ball 7 a after reflow is substantially barrel-shaped is the pad pitch, and the height h = h It must be made larger than in the case of 2 , but the pad portion 6 of the wiring 6
It is possible to secure the connection state between a and the pad portion 9a of the wiring 9 most reliably, and at the same time protect the wiring 6 and the wiring 9.
It is the value of the height h.

【0068】パッドピッチを最小限に縮小化するために
は、高さhをh3 (>h2 )とすると良い。
In order to reduce the pad pitch to the minimum, the height h is preferably set to h 3 (> h 2 ).

【0069】図3(d)は、基板支持部材12の基板1
裏面からの高さhが、半田ボール7aのリフロー後の形
状7dが略鼓形となる高さh3 の場合を示している。h
3 の最大値は、半田ボール7aをリフロー前の状態で、
基板1裏面の配線6のパッド部6a及びプリント回路基
板13上の配線9のパッド部9aに接合させることがで
きる高さである(図3(a)参照)。すなわち、h3
次式で表される。 t1 +t2 +4/3・r<h3 ≦t1 +t2 +R =t1 +t2 +2r (4) 半田ボール7aのリフロー後の形状7dは、h=h
3 (>h2 )であるから、図3(d)に示したように略
鼓形となる。半田ボール7aのリフロー後の形状7dが
略鼓形となる高さh3 は、配線6のパッド部6aと配線
9のパッド部9aとの接続を確保しながら、パッドピッ
チを最も縮小化することができる、高さhの値である。
FIG. 3D shows the substrate 1 of the substrate supporting member 12.
The height h from the back surface is the height h 3 at which the shape 7d of the solder ball 7a after the reflow has a substantially hourglass shape. h
The maximum value of 3 is, before reflowing the solder balls 7a,
The height is such that it can be bonded to the pad portion 6a of the wiring 6 on the back surface of the substrate 1 and the pad portion 9a of the wiring 9 on the printed circuit board 13 (see FIG. 3A). That is, h 3 is represented by the following equation. t 1 + t 2 + 4/3 · r <h 3 ≦ t 1 + t 2 + R = t 1 + t 2 + 2r (4) The shape 7d of the solder ball 7a after reflow is h = h
Since it is 3 (> h 2 ), it becomes a substantially drum shape as shown in FIG. The height h 3 at which the shape 7d of the solder ball 7a after reflow is substantially drum-shaped is to minimize the pad pitch while ensuring the connection between the pad portion 6a of the wiring 6 and the pad portion 9a of the wiring 9. Is the value of the height h.

【0070】上述したそれぞれの場合において、半田ボ
ール7aのリフローの際同時に、あるいはその前後の時
点で基板支持部材とプリント回路基板13との接触面2
0b、20c、20dを接着することにより、配線6の
パッド部6aと配線9のパッド部9aとの接続状態をよ
り確実に維持することができる。
In each of the above-described cases, the contact surface 2 between the board supporting member and the printed circuit board 13 is formed at the same time as, or before and after the reflow of the solder balls 7a.
By bonding 0b, 20c, and 20d, it is possible to more reliably maintain the connection state between the pad portion 6a of the wiring 6 and the pad portion 9a of the wiring 9.

【0071】なお、図3(e)に示したように、高さh
=h1 の場合であっても、半田ボール7aのリフロー時
に(7a、7eはそれぞれリフロー前後の状態)、基板
1とプリント回路基板13との間隔を適切に保持するこ
とにより、半田ボール7aのリフロー後の形状7eを略
円柱状とすることができる。この場合、基板支持部材1
2を設けたことによる効果は、BGAパッケージのステ
ィック収納時にのみ得られるが、前述した理由により、
配線等の設計自由度を向上させることができる。以上の
ように、基板支持部材12の基板1裏面からの高さhの
値に応じて、パッドピッチの縮小化、配線の保護等の効
果を得ることができる。
As shown in FIG. 3 (e), the height h
Even when = h 1 , the solder ball 7a is reflowed (7a and 7e are in respective states before and after reflow) by appropriately maintaining the distance between the board 1 and the printed circuit board 13. The shape 7e after the reflow can be made into a substantially cylindrical shape. In this case, the substrate support member 1
The effect of providing 2 can be obtained only when the BGA package is stored in the stick, but for the reason described above,
The degree of freedom in designing wiring and the like can be improved. As described above, according to the value of the height h of the substrate supporting member 12 from the rear surface of the substrate 1, it is possible to obtain the effect of reducing the pad pitch and protecting the wiring.

【0072】図4はそれぞれ、(a)本発明の第2の実
施例に係るBGAパッケージの半導体装置の底面図、
(b)図4(a)の線CDに沿った断面図である。第2
の実施例においては基板支持部材12fは、基板1裏面
の互いに向かい合う端辺に沿って、それぞれ2か所以上
設けている。
FIG. 4A is a bottom view of a semiconductor device of a BGA package according to the second embodiment of the present invention, respectively.
FIG. 4B is a sectional view taken along the line CD in FIG. Second
In this embodiment, the substrate support members 12f are provided at two or more locations along the opposite sides of the back surface of the substrate 1.

【0073】また、第2の実施例における基板支持部材
12fの形状は、円柱状のものの先端部をほぼ半球状に
加工したものである。基板支持部材12fをこのような
形状とすることにより、BGAパッケージのスティック
収納時における摩擦力を最小限にし、基板支持部材12
fの損傷を防止することができる。摩擦力をさらに低減
させるためには、基板支持部材12fの先端部にポリテ
トラフルオロエチレン(商品名テフロン)等の低摩擦樹
脂膜等をコーティングすると良い。
Further, the substrate supporting member 12f in the second embodiment has a cylindrical shape whose tip portion is processed into a substantially hemispherical shape. By forming the substrate support member 12f in such a shape, the frictional force when the BGA package is stored in the stick is minimized, and the substrate support member 12f is reduced.
It is possible to prevent damage to f. In order to further reduce the frictional force, a low friction resin film such as polytetrafluoroethylene (trade name Teflon) may be coated on the tip of the substrate supporting member 12f.

【0074】基板支持部材12fの形状は、円柱状のも
のに限らず角柱状のものでも良く、先端部の加工形状は
半球状に限らず先細形状としても良い。
The shape of the substrate supporting member 12f is not limited to a cylindrical shape, but may be a prismatic shape, and the processed shape of the tip portion is not limited to a hemispherical shape and may be a tapered shape.

【0075】図5はそれぞれ、(a)本発明の第3の実
施例に係るBGAパッケージの半導体装置の底面図、
(b)図5(a)の線EFに沿った断面図である。第3
の実施例においては基板支持部材12gは、基板1裏面
の互いに向かい合う端辺に沿って、それぞれの端辺のほ
ぼ一端から他端に渡って設けられている。
FIG. 5A is a bottom view of a semiconductor device of a BGA package according to the third embodiment of the present invention, respectively.
FIG. 6B is a sectional view taken along the line EF of FIG. Third
In this embodiment, the substrate support member 12g is provided along the opposite sides of the back surface of the substrate 1 from approximately one end to the other end of each edge.

【0076】基板支持部材12gをこのような形状とす
ることにより、BGAパッケージのスティック収納時
や、半田ボール7のリフロー後におけるBGAパッケー
ジの支持をより確実なものとすることができる。
By forming the substrate support member 12g in such a shape, the BGA package can be supported more reliably when the BGA package is stored in the stick and after the solder balls 7 are reflowed.

【0077】以上の各実施例において、基板支持部材
は、基板1を少なくとも3点で支持し得るものであれ
ば、それぞれ上述した所定の効果が得られる。
In each of the above embodiments, the substrate supporting member can obtain the above-mentioned predetermined effects as long as it can support the substrate 1 at at least three points.

【0078】[0078]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体装置によれば、基板の裏面とプリント回路基板の一方
側の面との間隔を所定間隔に設定し保持する基板支持部
材を備えたので、配線可能な領域が拡大し、基板支持部
材により基板とプリント回路基板との間隔は適切に設定
され、基板上の配線のパッドピッチを縮小化することが
でき、配線等の設計自由度が向上する。
As described above, according to the semiconductor device of the present invention, the substrate supporting member for setting and holding the gap between the back surface of the substrate and the surface on one side of the printed circuit board at a predetermined distance is provided. Therefore, the area where wiring can be performed is expanded, the distance between the board and the printed circuit board is set appropriately by the board supporting member, the pad pitch of the wiring on the board can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is increased. improves.

【0079】本発明に係る回路板の第1の構成によれ
ば、第1の基板裏面と第2の基板表面との間隔を一定間
隔に設定し保持する、第1の基板裏面上に形成された基
板支持部材とを備えたので、配線可能な領域が拡大し、
基板上の配線のパッドピッチを縮小化することができ、
配線等の設計自由度が向上する。
According to the first structure of the circuit board of the present invention, the circuit board is formed on the back surface of the first substrate for setting and holding the space between the back surface of the first substrate and the front surface of the second substrate at a constant interval. Since it has a substrate support member, the area where wiring is possible is expanded,
It is possible to reduce the pad pitch of the wiring on the board,
The degree of freedom in designing wiring etc. is improved.

【0080】本発明に係る回路板の第2の構成によれ
ば、第1の基板の一方側の面上に第1の所定の式を満た
す高さの基板支持部材を備えたので、プリント回路基板
との接続状態を確実なものとすることができる。
According to the second structure of the circuit board of the present invention, since the board supporting member having a height satisfying the first predetermined expression is provided on one surface of the first board, the printed circuit board is provided. The connection state with the substrate can be ensured.

【0081】本発明に係る回路板の第3の構成によれ
ば、第1の基板の一方側の面上に第2の所定の式を満た
す高さの基板支持部材を備えたので、基板上の配線のパ
ッドピッチを縮小化することができ、プリント回路基板
との接続状態を最適なものとすることができる。
According to the third structure of the circuit board of the present invention, the board supporting member having a height satisfying the second predetermined formula is provided on one surface of the first board. The pad pitch of the wiring can be reduced, and the connection state with the printed circuit board can be optimized.

【0082】本発明に係る回路板の第4の構成によれ
ば、第1の基板の一方側の面上に第3の所定の式を満た
す高さの基板支持部材を備えたので、基板上の配線のパ
ッドピッチを縮小化することができ、配線等の設計自由
度が向上する。
According to the fourth structure of the circuit board of the present invention, the board supporting member having a height satisfying the third predetermined expression is provided on one surface of the first board. The pad pitch of the wiring can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0083】本発明に係る回路板の実装方法によれば、
第1の基板の一方側の面上に、所定の高さの基板支持部
材を形成する工程を備えたので、第1の基板における配
線可能な領域が拡大し、基板上の配線のパッドピッチを
縮小化しても実装時におけるパッド間の短絡を防止する
ことができる。
According to the circuit board mounting method of the present invention,
Since the step of forming the substrate supporting member having a predetermined height on the surface of the one side of the first substrate is provided, the wirable area of the first substrate is expanded and the pad pitch of the wiring on the substrate is increased. Even if the size is reduced, it is possible to prevent a short circuit between pads during mounting.

【0084】基板支持部材は、基板の裏面の各角部にそ
れぞれ配設されているものとしたので、配線可能な領域
を最大限に拡大することができ、基板上の配線のパッド
ピッチを縮小化することにより配線等の設計自由度が大
幅に向上する。
Since the substrate supporting members are arranged at the respective corners on the back surface of the substrate, the area where wiring can be performed can be maximized and the pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced. This will greatly improve the degree of freedom in designing the wiring and the like.

【0085】基板支持部材は、基板の裏面の互いに向か
い合う2つの端辺に沿ってそれぞれ配設されているもの
としたので、配線可能な領域を拡大することができ、基
板上の配線のパッドピッチを縮小化することにより配線
等の設計自由度が大幅に向上する。
Since the substrate supporting members are arranged along the two opposite sides of the back surface of the substrate, the wirable area can be expanded, and the pad pitch of the wiring on the substrate can be increased. By reducing the size, the degree of freedom in designing the wiring and the like is significantly improved.

【0086】基板支持部材がさらに、2つの端辺以外の
端辺に沿っても配設されているものとしたので、スティ
ック収納時、プリント回路基板との接続時における安定
度が高くなる。
Further, since the board supporting member is arranged along the side edges other than the two side edges, the stability is high when the stick is stored and when the stick is connected to the printed circuit board.

【0087】基板支持部材は、円柱状または角柱状の形
状をなしているものとしたので、配線可能な領域が拡大
し、設計自由度が向上し、また、スティック収納時、プ
リント回路基板との接続時における安定度の高さを容易
に得ることができる。
Since the substrate supporting member has a columnar shape or a prismatic shape, the area where wiring is possible is expanded, the degree of freedom in design is improved, and when the stick is housed, the board supporting member does not interfere with the printed circuit board. High stability at the time of connection can be easily obtained.

【0088】基板支持部材の先端部は、ほぼ半球状の形
状または先細の形状に形成されたものとしたので、半導
体装置をスティックに収納する際におけるスティックと
基板支持部材との摩擦力が小さくなる。
Since the tip of the substrate supporting member is formed in a substantially hemispherical shape or a tapered shape, the frictional force between the stick and the substrate supporting member when the semiconductor device is housed in the stick is reduced. .

【0089】基板支持部材は、各端辺のほぼ一端から他
端に渡って形成された略直方体状の形状をなしているも
のとしたので、スティック収納時、プリント回路基板と
の接続時における安定度が高くなる。
Since the board supporting member has a substantially rectangular parallelepiped shape formed from almost one end to the other end of each end side, it is stable when the stick is stored and connected to the printed circuit board. The degree increases.

【0090】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略鼓形
となるように、基板支持部材により設定され保持されて
いるものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを縮
小化することができ、配線等の設計自由度が向上する。
The distance between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board is set and held by the board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially drum-shaped. The pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0091】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略円柱
形となるように、基板支持部材により設定され保持され
ているものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを
縮小化することができ、プリント回路基板との接続状態
を最適なものとすることができる。
The space between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board is set and held by the board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially cylindrical. The pad pitch of the wiring on the board can be reduced, and the connection state with the printed circuit board can be optimized.

【0092】基板の裏面とプリント回路基板の一方側の
面との間隔は、半田ボールのリフロー後の形状が略樽形
となるように、基板支持部材により設定され保持されて
いるものとしたので、プリント回路基板との接続状態を
確実なものとすることができる。
The distance between the back surface of the board and the surface on one side of the printed circuit board is set and held by the board supporting member so that the shape of the solder ball after reflow becomes substantially barrel-shaped. The connection state with the printed circuit board can be ensured.

【0093】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略鼓形となる高さであ
るものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを縮小
化することができ、配線等の設計自由度が向上する。
The height of the substrate support member from the back surface of the substrate is
Since the shape of the solder balls after reflow has a substantially drum shape, the pad pitch of the wiring on the substrate can be reduced, and the degree of freedom in designing the wiring and the like is improved.

【0094】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略円柱形となる高さで
あるものとしたので、基板上の配線のパッドピッチを縮
小化することができ、プリント回路基板との接続状態を
最適なものとすることができる。
The height of the substrate support member from the back surface of the substrate is
Since the shape of the solder balls after reflow has a substantially cylindrical shape, the pad pitch of the wiring on the board can be reduced, and the connection state with the printed circuit board can be optimized. be able to.

【0095】基板支持部材の基板の裏面からの高さは、
半田ボールのリフロー後の形状が略樽形となる高さであ
るものとしたので、プリント回路基板との接続状態を確
実なものとすることができる。
The height of the substrate support member from the back surface of the substrate is
Since the shape of the solder balls after reflow has a substantially barrel shape, the connection state with the printed circuit board can be ensured.

【0096】基板支持部材のプリント回路基板との接触
面または接触点を含む部分には、摩擦力を低減する被膜
が形成されているものとしたので、半導体装置をスティ
ックに収納する際におけるスティックと基板支持部材と
の摩擦力が小さくなる。
Since the film for reducing the frictional force is formed on the portion of the substrate supporting member including the contact surface or the contact point with the printed circuit board, the stick is not used when the semiconductor device is stored in the stick. The frictional force with the substrate supporting member is reduced.

【0097】基板支持部材とプリント回路基板との接触
面または接触点は、接着されるものとしたので、基板の
裏面のパッド部とプリント回路基板の一方側の面のパッ
ド部との接続状態を確実に保持できる。
Since the contact surface or contact point between the substrate supporting member and the printed circuit board is adhered, the connection state between the pad portion on the back surface of the substrate and the pad portion on one surface of the printed circuit board is determined. Can be held securely.

【0098】さらに、半導体チップを封止する樹脂封止
体を備えたものとしたので、半導体装置の信頼性が向上
する。
Further, since the resin sealing body for sealing the semiconductor chip is provided, the reliability of the semiconductor device is improved.

【0099】基板支持部材は、樹脂封止体と同一の材料
により形成されたものとしたので、半導体装置の樹脂封
止と同時に形成することもできる。
Since the substrate supporting member is made of the same material as the resin encapsulant, it can be formed simultaneously with the resin encapsulation of the semiconductor device.

【0100】基板支持部材は、セラミックにより形成さ
れたものとしたので、基板がセラミック多層積層板等で
ある場合には、基板と一体化して形成することができ、
軽量かつ耐久性に優れたものとすることができる。
Since the substrate supporting member is made of ceramic, it can be formed integrally with the substrate when the substrate is a ceramic multilayer laminated plate or the like.
It can be made lightweight and excellent in durability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例に係るBGAパッケージ
の半導体装置の説明図。
FIG. 1 is an explanatory view of a semiconductor device of a BGA package according to a first embodiment of the present invention.

【図2】半田ボール7のリフロー前の状態の各部の寸法
を定義する説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram that defines the dimensions of each part of the solder ball 7 before reflow.

【図3】半田ボール7aのリフロー前及びリフロー後の
状態を示す説明図。
FIG. 3 is an explanatory view showing states before and after reflow of the solder balls 7a.

【図4】本発明の第2の実施例に係るBGAパッケージ
の半導体装置の説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a BGA package semiconductor device according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施例に係るBGAパッケージ
の半導体装置の説明図。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a BGA package semiconductor device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】従来のBGAパッケージの半導体装置の説明
図。
FIG. 6 is an explanatory diagram of a semiconductor device of a conventional BGA package.

【図7】BGAパッケージの半田ボールの接合方法を示
す説明図。
FIG. 7 is an explanatory view showing a method of joining solder balls of a BGA package.

【図8】半田ボールリフロー後の接続状態を示す説明
図。
FIG. 8 is an explanatory view showing a connection state after solder ball reflow.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 モールド樹脂 3 半導体チップ 4 マウントペースト 5 ボンディングワイヤ 6 基板の配線 6a 基板の配線のパッド部 7 半田ボール 8 スルーホール 9 プリント回路基板の配線 9a プリント回路基板の配線のパッド部 10 スティック 11,11a BGAパッケージとスティックとの接触
面 12 基板支持部材 13 プリント回路基板 15 ノズル 16 フラックス 17 テンプレート 20 基板支持部材と第2のプリント回路基板との接触
1 Board 2 Mold Resin 3 Semiconductor Chip 4 Mount Paste 5 Bonding Wire 6 Board Wiring 6a Board Wiring Pad 7 Solder Ball 8 Through Hole 9 Printed Circuit Board Wiring 9a Printed Circuit Board Wiring Pad 10 Stick 11, 11a Contact surface between BGA package and stick 12 Board supporting member 13 Printed circuit board 15 Nozzle 16 Flux 17 Template 20 Contact surface between board supporting member and second printed circuit board

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板と、 前記基板の表面にマウントされ、前記基板の表面の回路
にボンディングワイヤにより接続される半導体チップ
と、 前記基板が接続される予定のプリント回路基板の一方側
の面の配線のパッド部に対向して前記基板の裏面に配設
されたパッド部と前記基板の表面の回路とを接続する配
線と、 前記基板のパッド部に接合され、リフローされることに
より前記基板のパッド部と前記プリント回路基板のパッ
ド部とを接続する半田ボールと、 前記基板の裏面に配設され、前記基板の裏面と前記プリ
ント回路基板の前記一方側の面との間隔を、前記基板の
裏面の配線の厚さと前記プリント回路基板の前記一方側
の面の配線の厚さとの和より大きく、かつ前記基板の裏
面の配線の厚さと前記半田ボールの直径と前記プリント
回路基板の前記一方側の面の配線の厚さとの和以下の一
定間隔に設定し保持する基板支持部材とを備えたことを
特徴とする半導体装置。
1. A substrate, a semiconductor chip mounted on the surface of the substrate and connected to a circuit on the surface of the substrate by a bonding wire, and a surface of one side of a printed circuit board to which the substrate is to be connected. Wiring for connecting the pad portion arranged on the back surface of the substrate facing the pad portion of the wiring and the circuit on the front surface of the substrate, and being joined to the pad portion of the substrate and being reflowed, Solder balls that connect the pad section and the pad section of the printed circuit board, and the gap between the back surface of the board and the one side surface of the printed circuit board, which is disposed on the back surface of the board, It is larger than the sum of the thickness of the wiring on the back surface and the thickness of the wiring on the one surface of the printed circuit board, and the thickness of the wiring on the back surface of the substrate, the diameter of the solder ball, and the printed circuit board. A semiconductor device, comprising: a substrate support member that is set and held at a constant interval equal to or less than the sum of the thickness of the wiring on the one surface of the plate.
【請求項2】表面に配線が配設され、前記表面の配線の
一部または全部と電気的に連続しパッド部を有する配線
が裏面に配設され、前記表面の配線と電気的に接続され
た半導体チップが前記表面に載置接合され、前記パッド
部には他の基板との接続に用いられる半田ボールが接合
された第1の基板と、 前記第1の基板裏面のパッド部に対向する位置に、前記
半田ボールのリフローにより前記第1の基板裏面のパッ
ド部と接続されるパッド部を有する配線が表面に配設さ
れた第2の基板と、 前記第1の基板裏面の配線と前記第2の基板表面の配線
とが互いに接触せず、かつ前記半田ボールが前記第1の
基板裏面の配線のパッド部と前記第2の基板表面の配線
のパッド部とに同時に接触し得るよう、前記第1の基板
裏面と前記第2の基板表面との間隔を一定間隔に設定し
保持する、前記第1の基板裏面上に形成された基板支持
部材とを備えたことを特徴とする回路板。
2. A wiring is provided on the front surface, and a wiring having a pad portion that is electrically continuous with a part or all of the wiring on the front surface is provided on the back surface and electrically connected to the wiring on the front surface. A semiconductor chip is placed and bonded on the front surface, and a first substrate having solder pads used for connection to another substrate bonded to the pad portion is opposed to the pad portion on the back surface of the first substrate. A second substrate on the surface of which a wiring having a pad portion connected to the pad portion on the back surface of the first substrate by the reflow of the solder ball is arranged; a wiring on the back surface of the first substrate; The wiring on the surface of the second substrate is not in contact with each other, and the solder balls can simultaneously contact the pad portion of the wiring on the back surface of the first substrate and the pad portion of the wiring on the surface of the second substrate. The first substrate backside and the second substrate frontside Holds set the interval to a predetermined interval, the circuit board characterized by comprising a substrate supporting member formed on the first substrate on the backside.
【請求項3】第1の基板の一方側の面に配設され、パッ
ド部を有する配線の厚さをt1 、前記第1の基板が実装
される第2の基板の一方側の面に配設され、前記第1の
基板の一方側の面のパッド部に対向する位置にパッド部
を有する配線の厚さをt2 、前記第1の基板のパッド部
と前記第2の基板のパッド部とのリフローによる接続に
用いられる半田ボールの半径をrとしたとき、前記第1
の基板の一方側の面からの高さh1 が次式 t1 +t2 <h1 <t1 +t2 +4/3・r を満たす基板支持部材が前記第1の基板の一方側の面上
に形成されていることを特徴とする回路板。
3. A surface of one side of a second board on which the first board is mounted is provided with a thickness t 1 of a wiring provided on one side of the first board and having a pad portion. The thickness of the wiring that is disposed and has a pad portion at a position facing the pad portion on one surface of the first substrate is t 2 , the pad portion of the first substrate and the pad of the second substrate When the radius of the solder ball used for the connection by reflow with the part is r,
Of the substrate supporting member whose height h 1 from the surface on one side of the substrate satisfies the following expression t 1 + t 2 <h 1 <t 1 + t 2 + 4/3 · r on the surface of the one side of the first substrate. A circuit board characterized by being formed on.
【請求項4】第1の基板の一方側の面に配設され、パッ
ド部を有する配線の厚さをt1 、前記第1の基板が実装
される第2の基板の一方側の面に配設され、前記第1の
基板の一方側の面のパッド部に対向する位置にパッド部
を有する配線の厚さをt2 、前記第1の基板のパッド部
と前記第2の基板のパッド部とのリフローによる接続に
用いられる半田ボールの半径をrとしたとき、前記第1
の基板の一方側の面からの高さh2 が次式 h2 =t1 +t2 +4/3・r を満たす基板支持部材が前記第1の基板の一方側の面上
に形成されていることを特徴とする回路板。
4. The thickness of the wiring provided on one surface of the first substrate and having a pad portion is t 1 , and the thickness of the wiring on the one surface of the second substrate on which the first substrate is mounted. The thickness of the wiring that is disposed and has a pad portion at a position facing the pad portion on one surface of the first substrate is t 2 , the pad portion of the first substrate and the pad of the second substrate When the radius of the solder ball used for the connection by reflow with the part is r,
A substrate supporting member whose height h 2 from one surface of the first substrate satisfies the following expression h 2 = t 1 + t 2 + 4/3 · r is formed on the one surface of the first substrate. A circuit board characterized by that.
【請求項5】第1の基板の一方側の面に配設され、パッ
ド部を有する配線の厚さをt1 、前記第1の基板が実装
される第2の基板の一方側の面に配設され、前記第1の
基板の一方側の面のパッド部に対向する位置にパッド部
を有する配線の厚さをt2 、前記第1の基板のパッド部
と前記第2の基板のパッド部とのリフローによる接続に
用いられる半田ボールの半径をrとしたとき、前記第1
の基板の一方側の面からの高さh3 が次式 t1 +t2 +4/3・r<h3 ≦t1 +t2 +2r を満たす基板支持部材が前記第1の基板の一方側の面上
に形成されていることを特徴とする回路板。
5. The thickness of the wiring provided on one surface of the first substrate and having a pad portion is t 1 , and the thickness of the wiring on the one surface of the second substrate on which the first substrate is mounted. The thickness of the wiring that is disposed and has a pad portion at a position facing the pad portion on one surface of the first substrate is t 2 , the pad portion of the first substrate and the pad of the second substrate When the radius of the solder ball used for the connection by reflow with the part is r,
Of the substrate supporting member whose height h 3 from one surface of the first substrate satisfies the following formula t 1 + t 2 + 4/3 · r <h 3 ≦ t 1 + t 2 + 2r A circuit board characterized by being formed on it.
【請求項6】パッド部を有する配線が配設された第1の
基板の一方側の面上に、前記第1の基板が実装される予
定の第2の基板の一方側の面上の前記第1の基板の一方
側の面のパッド部に対向して配設されたパッド部を有す
る配線の厚さと前記第1の基板の一方側の面の配線の厚
さとの和より大きく、かつ前記第1の基板のパッド部と
前記第2の基板のパッド部とのリフローによる接続に用
いられる半田ボールの直径と前記和とを加算した値以下
の高さの基板支持部材を形成する工程と、 前記第1の基板の他方側の面上に半導体チップをマウン
トする工程と、 前記第1の基板の一方側の面上の配線と一部または全部
が電気的に連続する前記第1の基板の他方側の面上の配
線と前記半導体チップとをワイヤボンディングにより接
続する工程と、 前記第1の基板の一方側の面上のパッド部に前記半田ボ
ールを接合する工程と、 前記半田ボールと前記第2の基板の一方側の面上のパッ
ド部とを接触させ、前記半田ボールをリフローして前記
第1の基板の一方側の面上のパッド部と前記第2の基板
の一方側の面上のパッド部とを接続する工程とを備えた
ことを特徴とする回路板の実装方法。
6. The above-mentioned one-sided surface of a second substrate on which the above-mentioned first substrate is to be mounted, on the one-sided surface of a first substrate on which wiring having a pad portion is arranged. The thickness is greater than the sum of the thickness of the wiring having the pad portion arranged facing the pad portion on the one side of the first substrate and the thickness of the wiring on the one side of the first substrate, and Forming a substrate supporting member having a height equal to or less than a value obtained by adding the sum of the diameter of a solder ball used for connection by reflow between the pad portion of the first substrate and the pad portion of the second substrate; A step of mounting a semiconductor chip on the other surface of the first substrate; and a part of or all of the wiring on the one surface of the first substrate electrically continuous with the first substrate A step of connecting the wiring on the other surface to the semiconductor chip by wire bonding; A step of joining the solder ball to a pad portion on one surface of the first substrate; and a step of contacting the solder ball with a pad portion on one surface of the second substrate, Reflowing to connect the pad portion on the one surface of the first substrate and the pad portion on the one surface of the second substrate to each other. How to implement.
【請求項7】請求項1に記載の半導体装置において、前
記基板支持部材は、前記基板の裏面の各角部にそれぞれ
配設されていることを特徴とする半導体装置。
7. The semiconductor device according to claim 1, wherein the substrate supporting member is provided at each corner of the back surface of the substrate.
【請求項8】請求項1に記載の半導体装置において、前
記基板支持部材は、前記基板の裏面の互いに向かい合う
2つの端辺に沿ってそれぞれ配設されていることを特徴
とする半導体装置。
8. The semiconductor device according to claim 1, wherein the substrate supporting member is provided along each of two opposite edges of the back surface of the substrate.
【請求項9】請求項8に記載の半導体装置において、前
記基板支持部材がさらに、前記2つの端辺以外の端辺に
沿っても配設されていることを特徴とする半導体装置。
9. The semiconductor device according to claim 8, wherein the substrate supporting member is further provided along an edge other than the two edges.
【請求項10】請求項1または7ないし9のいずれかに
記載の半導体装置において、前記基板支持部材は、円柱
状または角柱状の形状をなしていることを特徴とする半
導体装置。
10. The semiconductor device according to claim 1, wherein the substrate supporting member has a columnar shape or a prismatic shape.
【請求項11】請求項10に記載の半導体装置におい
て、前記基板支持部材の先端部は、ほぼ半球状の形状ま
たは先細の形状に形成されたものであることを特徴とす
る半導体装置。
11. The semiconductor device according to claim 10, wherein the tip end portion of the substrate supporting member is formed in a substantially hemispherical shape or a tapered shape.
【請求項12】請求項8または9に記載の半導体装置に
おいて、前記基板支持部材は、前記各端辺のほぼ一端か
ら他端に渡って形成された略直方体状の形状をなしてい
ることを特徴とする半導体装置。
12. The semiconductor device according to claim 8, wherein the substrate support member has a substantially rectangular parallelepiped shape formed from substantially one end to the other end of each edge. Characteristic semiconductor device.
【請求項13】請求項1または7ないし12のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板の裏面と前記プ
リント回路基板の前記一方側の面との間隔は、前記半田
ボールのリフロー後の形状が略鼓形となるように、前記
基板支持部材により設定され保持されていることを特徴
とする半導体装置。
13. The semiconductor device according to claim 1, wherein the distance between the back surface of the board and the one surface of the printed circuit board is the shape of the solder ball after reflow. The semiconductor device is set and held by the substrate supporting member so as to have a substantially drum shape.
【請求項14】請求項1または7ないし12のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板の裏面と前記プ
リント回路基板の前記一方側の面との間隔は、前記半田
ボールのリフロー後の形状が略円柱形となるように、前
記基板支持部材により設定され保持されていることを特
徴とする半導体装置。
14. The semiconductor device according to claim 1, wherein the distance between the back surface of the substrate and the one surface of the printed circuit board is the shape of the solder ball after reflow. The semiconductor device is characterized in that it is set and held by the substrate supporting member so that is substantially cylindrical.
【請求項15】請求項1または7ないし12のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板の裏面と前記プ
リント回路基板の前記一方側の面との間隔は、前記半田
ボールのリフロー後の形状が略樽形となるように、前記
基板支持部材により設定され保持されていることを特徴
とする半導体装置。
15. The semiconductor device according to claim 1, wherein the distance between the back surface of the substrate and the one surface of the printed circuit board is the shape of the solder ball after reflow. Is set and held by the substrate supporting member such that the semiconductor device has a substantially barrel shape.
【請求項16】請求項1または7ないし12のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板支持部材の前記
基板の裏面からの高さは、前記半田ボールのリフロー後
の形状が略鼓形となる高さであることを特徴とする半導
体装置。
16. The semiconductor device according to claim 1, wherein a height of the substrate supporting member from the back surface of the substrate is substantially a drum shape after the reflow of the solder balls. The semiconductor device is characterized in that
【請求項17】請求項1または7ないし12のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板支持部材の前記
基板の裏面からの高さは、前記半田ボールのリフロー後
の形状が略円柱形となる高さであることを特徴とする半
導体装置。
17. The semiconductor device according to claim 1, wherein the height of the substrate support member from the back surface of the substrate is substantially cylindrical after the reflow of the solder balls. The semiconductor device is characterized in that
【請求項18】請求項1または7ないし12のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板支持部材の前記
基板の裏面からの高さは、前記半田ボールのリフロー後
の形状が略樽形となる高さであることを特徴とする半導
体装置。
18. The semiconductor device according to claim 1, wherein the height of the substrate supporting member from the back surface of the substrate is substantially a barrel shape after the reflow of the solder balls. The semiconductor device is characterized in that
【請求項19】請求項1または7ないし18のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板支持部材の前記
プリント回路基板との接触面または接触点を含む部分に
は、摩擦力を低減する被膜が形成されていることを特徴
とする半導体装置。
19. The semiconductor device according to claim 1, wherein a portion of the substrate supporting member including a contact surface or a contact point with the printed circuit board reduces frictional force. A semiconductor device comprising:
【請求項20】請求項1または7ないし19のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板支持部材と前記
プリント回路基板との接触面または接触点は、接着され
るものであることを特徴とする半導体装置。
20. The semiconductor device according to claim 1, wherein a contact surface or a contact point between the substrate supporting member and the printed circuit board is bonded. Semiconductor device.
【請求項21】請求項1または7ないし20のいずれか
に記載の半導体装置において、さらに、前記半導体チッ
プを封止する樹脂封止体を備えたことを特徴とする半導
体装置。
21. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a resin encapsulant encapsulating the semiconductor chip.
【請求項22】請求項21に記載の半導体装置におい
て、前記基板支持部材は、前記樹脂封止体と同一の材料
により形成されたものであることを特徴とする半導体装
置。
22. The semiconductor device according to claim 21, wherein the substrate supporting member is made of the same material as the resin sealing body.
【請求項23】請求項1または7ないし21のいずれか
に記載の半導体装置において、前記基板支持部材は、セ
ラミックにより形成されたものであることを特徴とする
半導体装置。
23. The semiconductor device according to claim 1, wherein the substrate supporting member is made of ceramic.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012202843A (en) * 2011-03-25 2012-10-22 Renesas Electronics Corp Semiconductor device manufacturing method

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