JPH08306578A - Manufacture of multilayer ceramic electronic part - Google Patents

Manufacture of multilayer ceramic electronic part

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Publication number
JPH08306578A
JPH08306578A JP10925595A JP10925595A JPH08306578A JP H08306578 A JPH08306578 A JP H08306578A JP 10925595 A JP10925595 A JP 10925595A JP 10925595 A JP10925595 A JP 10925595A JP H08306578 A JPH08306578 A JP H08306578A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
lamination body
ceramic capacitor
green sheet
dielectric green
Prior art date
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Pending
Application number
JP10925595A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumiaki Imamura
文昭 今村
Osamu Yamashita
修 山下
Takeshi Kimura
猛 木村
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

PURPOSE: To eliminate crack defect by baking a lamination body, then polishing a lamination body by using acid solution mixed with polishing material which causes the generation of hydrogen in alkaline solution and then forming an external electrode in an edge face of a lamination body. CONSTITUTION: A dielectric green sheet 1 having an element which shows alkaline when dissolved in water after baked and an inner electrode 2 containing palladium are laminated alternately and fixed by pressure, and a lamination body is prepared. Then, a lamination body is cut to a specified size and baked. Thereafter, a baked laminated ceramic capacitor element, silicon carbide powder which is a polishing material, polishing glass ball, water and acid solution whose pH is adjusted at 4 to 6 are put in a polishing pot. It is rotated for polishing. After polishing, an external electrode 3 is formed in both exposed surfaces of the inner electrode 2 of a multilayer ceramic capacitor element.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、各種電子機器に使用さ
れる電子部品の一種である積層セラミック電子部品の製
造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a monolithic ceramic electronic component which is a kind of electronic component used in various electronic devices.

【0002】[0002]

【従来の技術】以下に従来の積層セラミック電子部品の
製造方法について図を参照しながら説明する。図1に、
一般的な積層セラミックコンデンサを示す。まず、Ba
TiO 3を主成分とする誘電体材料、有機バインダー、
可塑剤、分散剤などを混合し、フィルム上に整形した
後、所定の大きさに切断して誘電体グリーンシート1を
作成する。次に、前記誘電体グリーンシート1の各チッ
プとなる領域に、パラジウムなどの導体ペーストを用い
て、スクリーン印刷により内部電極2となる導体パター
ンを形成する。次に、導体パターンを形成した誘電体グ
リーンシート1を内部電極2が誘電体グリーンシート1
を挟んで交互に対向するように配置して積層する。その
後、圧着して積層体を作成する。次に、刃厚み100μ
m程度のカッター刃などを利用して積層体を所定の大き
さに裁断する。
2. Description of the Related Art The following is a conventional multilayer ceramic electronic component.
The manufacturing method will be described with reference to the drawings. In Figure 1,
A general monolithic ceramic capacitor is shown. First, Ba
TiO 3Dielectric material mainly composed of, organic binder,
Plasticizer, dispersant, etc. were mixed and shaped on the film
After that, cut into a predetermined size and put the dielectric green sheet 1
create. Next, each chip of the dielectric green sheet 1 is
Use a conductive paste such as palladium in the area
, The conductor pattern that becomes the internal electrode 2 by screen printing
Form Next, the dielectric pattern with the conductor pattern is formed.
The inner electrode 2 is the dielectric green sheet 1 with the lean sheet 1
Are sandwiched in between so as to be alternately opposed to each other and stacked. That
After that, pressure bonding is performed to form a laminated body. Next, blade thickness 100μ
Use a cutter blade of about m to make the stack a predetermined size
Cut into pieces.

【0003】次に、チップ状に裁断された積層体を、セ
ッターなどに収納して焼成炉に投入して焼成を行う。
Next, the laminated body cut into chips is housed in a setter or the like and placed in a firing furnace for firing.

【0004】次に、この焼成されたものについて端面に
内部電極2を露出させ、バリ取りを行うため研磨を行
う。そこでゴムの内張りをした所定の大きさのポット
に、焼成済み素子、炭化ケイ素研磨材、研磨用ボール、
水を入れ数十分から数時間研磨する。その後、素子と研
磨材を分離・乾燥し研磨工程を終了する。この研磨され
た積層体の端部に銀ペーストなどにより外部電極3を形
成する。その後、下地導体膜状にメッキ層を形成し、積
層セラミックコンデンサ素子が完成する。
Next, the internal electrode 2 is exposed on the end face of this fired product, and polishing is performed for deburring. Therefore, in a pot of a predetermined size lined with rubber, the baked element, silicon carbide abrasive, polishing balls,
Add water and polish for tens of minutes to several hours. After that, the element and the abrasive are separated and dried, and the polishing process is completed. The external electrodes 3 are formed on the ends of the polished laminated body with silver paste or the like. After that, a plated layer is formed in the shape of the underlying conductor film, and the laminated ceramic capacitor element is completed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の技術に
より作成された積層セラミックコンデンサでは図2に示
すようなクラック不良4が発生していた。これは、積層
セラミックコンデンサの端面研磨中に、研磨された微小
なセラミック摩耗粉が水中に溶け出すことにより溶液が
アルカリ性となり、研磨において使用している炭化ケイ
素研磨材中の不純物と反応し水素ガスが発生する。その
結果、内部電極として使用しているパラジウムが水素ガ
スを吸蔵し、膨張することによりクラックが発生すると
いう課題を有していた。
However, in the monolithic ceramic capacitor manufactured by the conventional technique, the crack defect 4 as shown in FIG. 2 has occurred. This is because during polishing of the end face of a monolithic ceramic capacitor, finely ground ceramic abrasion powder is dissolved in water to make the solution alkaline, which reacts with the impurities in the silicon carbide abrasive used in polishing to react with hydrogen gas. Occurs. As a result, there is a problem that the palladium used as the internal electrode absorbs hydrogen gas and expands to cause cracks.

【0006】そこで本発明は、焼成した積層体を研磨す
る際、セラミック摩耗粉が溶け出したとしても、水素の
発生を防ぐことにより、クラック不良のない積層セラミ
ック電子部品を提供することを目的とするものである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a monolithic ceramic electronic component free from crack defects by preventing generation of hydrogen even when ceramic abrasion powder is melted out when polishing a fired laminate. To do.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、焼成
後水に溶解するとアルカリ性を示す成分を有する誘電体
グリーンシートとパラジウムを含有する内部電極とを交
互に積層した積層体を焼成し、次にアルカリ性溶液にお
いて水素を発生する原因となる研磨材を混合した酸性溶
液を用いて前記積層体を研磨し、その後前記積層体の端
面に外部電極を形成するものである。
In order to achieve this object, a method of manufacturing a laminated ceramic electronic component according to the present invention comprises a dielectric green sheet having a component exhibiting an alkalinity when dissolved in water after firing and an inner portion containing palladium. The laminated body in which the electrodes are alternately laminated is fired, and then the laminated body is polished by using an acidic solution mixed with an abrasive that causes generation of hydrogen in an alkaline solution, and then the end face of the laminated body is externally exposed. It forms an electrode.

【0008】[0008]

【作用】この方法によると、焼成後の積層体を研磨する
際、セラミック研磨粉が水中に溶け出したとしても、酸
性溶液の緩衝作用により、pHが変わらず、溶液がアル
カリ性にはならないので、研磨材と溶液が反応して水素
ガスが発生するのを防ぐことができる。
According to this method, when polishing the laminated body after firing, even if the ceramic polishing powder dissolves in water, the pH does not change and the solution does not become alkaline because of the buffering action of the acidic solution. It is possible to prevent hydrogen gas from being generated by the reaction between the abrasive and the solution.

【0009】その結果、パラジウムを含有する内部電極
が膨張しクラック不良が発生することはない。
As a result, the internal electrode containing palladium does not expand and crack defects do not occur.

【0010】[0010]

【実施例】【Example】

(実施例1)以下に本発明の第1の実施例について、図
面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0011】チタン酸バリウムを主成分とする誘電体材
料、有機バインダー、可塑剤、分散剤などを混合してで
きたスラリーを、リバースロール工法などによりフィル
ム上に整形し誘電体グリーンシート1を作成する。次
に、前記誘電体グリーンシート1上の各チップとなる領
域に、パラジウムペーストを用いて、スクリーン印刷に
より内部電極2となる導体パターンを形成する。次に、
導体パターンを形成した誘電体グリーンシート1を内部
電極2が誘電体グリーンシート1を挟んで交互に対向す
るように配置して積層する。その後、圧着して積層体を
作成する。次に、刃厚み100μm程度のカッター刃を
利用して積層体を所定の大きさに裁断する。
A slurry prepared by mixing a dielectric material containing barium titanate as a main component, an organic binder, a plasticizer, a dispersant, etc. is shaped on a film by a reverse roll method or the like to prepare a dielectric green sheet 1. To do. Next, a conductive pattern to be the internal electrodes 2 is formed by screen printing on the dielectric green sheet 1 in each chip region using palladium paste. next,
The dielectric green sheets 1 on which the conductor patterns are formed are arranged and laminated so that the internal electrodes 2 are alternately opposed to each other with the dielectric green sheets 1 sandwiched therebetween. Then, pressure bonding is performed to form a laminated body. Next, the laminate is cut into a predetermined size by using a cutter blade having a blade thickness of about 100 μm.

【0012】次に、この所定の大きさに裁断された積層
体を、セッターなどに収納して焼成炉に投入して焼成を
行う。
Next, the laminated body cut into a predetermined size is housed in a setter or the like and placed in a firing furnace for firing.

【0013】次に研磨工程について説明する。研磨用の
ポットに焼成された積層セラミックコンデンサ素子10
000個と研磨剤である炭化ケイ素粉100ccと研磨用
ガラスボール300ccと水500cc、そしてpHが6に
調整された1規定の酢酸100ccを投入する。その後蓋
をして、1時間ポットを回転させて研磨を行う。研磨終
了後、素子とボールを分離、洗浄後乾燥し研磨工程を終
了する。
Next, the polishing step will be described. Multilayer ceramic capacitor element 10 fired in a polishing pot
000 pieces, 100 cc of silicon carbide powder as an abrasive, 300 cc of polishing glass balls, 500 cc of water, and 100 cc of 1N acetic acid adjusted to pH 6 are added. After that, the lid is covered and the pot is rotated for 1 hour to perform polishing. After the polishing, the element and the balls are separated, washed and dried to complete the polishing process.

【0014】このようにして製造された研磨済み積層セ
ラミックコンデンサ素子について、外観選別を1000
0個行い、クラックの発生について調査を行った結果を
(表1)に示す。
For the polished monolithic ceramic capacitor element manufactured in this manner, the appearance selection is 1000
The results of performing 0 cracks and investigating the occurrence of cracks are shown in (Table 1).

【0015】[0015]

【表1】 [Table 1]

【0016】(表1)からも明らかなように、この製造
方法によりクラック発生は防止されている。
As is clear from (Table 1), cracking is prevented by this manufacturing method.

【0017】(実施例2)以下に本発明の第2の実施例
について、図面を参照しながら説明する。
(Second Embodiment) A second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】まず、チタン酸バリウムを主成分とする誘
電体材料、有機バインダー、可塑剤、分散剤などを混合
してできたスラリーを、リバースロール工法などにより
フィルム上に整形し誘電体グリーンシート1を作成す
る。次に、前記誘電体グリーンシート1上の各チップと
なる領域に、パラジウムペーストを用いて、スクリーン
印刷により内部電極2となる導体パターンを形成する。
次に、導体パターンを形成した誘電体グリーンシート1
を内部電極2が誘電体グリーンシート1を挟んで交互に
対向するように配置して積層する。その後、圧着して積
層体を作成する。次に、刃厚み100μm程度のカッタ
ー刃を利用して積層体を所定の大きさに裁断する。
First, a slurry prepared by mixing a dielectric material containing barium titanate as a main component, an organic binder, a plasticizer, a dispersant, etc. is shaped on a film by a reverse roll method or the like, and the dielectric green sheet 1 is formed. To create. Next, a conductive pattern to be the internal electrodes 2 is formed by screen printing on the dielectric green sheet 1 in each chip region using palladium paste.
Next, the dielectric green sheet 1 on which a conductor pattern is formed
Are laminated so that the internal electrodes 2 are alternately opposed to each other with the dielectric green sheet 1 interposed therebetween. Then, pressure bonding is performed to form a laminated body. Next, the laminate is cut into a predetermined size by using a cutter blade having a blade thickness of about 100 μm.

【0019】次に、この所定の大きさに裁断された積層
体を、セッターなどに収納して焼成炉に投入して焼成を
行う。
Next, the laminated body cut into a predetermined size is housed in a setter or the like and placed in a firing furnace for firing.

【0020】次に研磨工程について説明する。研磨用の
ポットに焼成された積層セラミックコンデンサ素子10
000個と研磨剤である炭化ケイ素粉100ccと研磨用
ガラスボール300ccと水500cc、そしてpHが4に
調整された1規定の酢酸100ccを投入する。その後蓋
をして、1時間ポットを回転させて研磨を行う。研磨終
了後、素子とボールを分離、洗浄後乾燥し研磨工程を終
了する。
Next, the polishing process will be described. Multilayer ceramic capacitor element 10 fired in a polishing pot
000 pieces, 100 cc of silicon carbide powder as an abrasive, 300 cc of polishing glass balls, 500 cc of water, and 100 cc of 1N acetic acid whose pH is adjusted to 4 are added. After that, the lid is covered and the pot is rotated for 1 hour to perform polishing. After the polishing, the element and the balls are separated, washed and dried to complete the polishing process.

【0021】このようにして製造された研磨済み積層セ
ラミックコンデンサ素子について、外観選別を1000
0個行い、クラックの発生について調査を行った結果を
(表1)からも明らかなように、この製造方法によりク
ラックの発生は防止されている。
With respect to the polished monolithic ceramic capacitor element manufactured in this manner, the appearance was selected to 1000.
As is clear from the results (Table 1) in which 0 cracks were generated and the occurrence of cracks was investigated, the occurrence of cracks was prevented by this manufacturing method.

【0022】(実施例3)以下に本発明の第3の実施例
について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 3) A third embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0023】まず、チタン酸バリウムを主成分とする誘
電体材料、有機バインダー、可塑剤、分散剤などを混合
してできたスラリーを、リバースロール工法などにより
フィルム上に整形し誘電体グリーンシート1を作成す
る。次に、前記誘電体グリーンシート1上の各チップと
なる領域に、パラジウムペーストを用いて、スクリーン
印刷により内部電極2となる導体パターンを形成する。
次に、導体パターンを形成した誘電体グリーンシート1
を内部電極2が誘電体グリーンシート1を挟んで交互に
対向するように配置して積層する。その後、圧着して積
層体を作成する。次に、刃厚み100μm程度のカッタ
ー刃を利用して積層体を所定の大きさに裁断する。
First, a slurry prepared by mixing a dielectric material containing barium titanate as a main component, an organic binder, a plasticizer, a dispersant, etc. is shaped on a film by a reverse roll method or the like, and the dielectric green sheet 1 is formed. To create. Next, a conductive pattern to be the internal electrodes 2 is formed by screen printing on the dielectric green sheet 1 in each chip region using palladium paste.
Next, the dielectric green sheet 1 on which a conductor pattern is formed
Are laminated so that the internal electrodes 2 are alternately opposed to each other with the dielectric green sheet 1 interposed therebetween. Then, pressure bonding is performed to form a laminated body. Next, the laminate is cut into a predetermined size by using a cutter blade having a blade thickness of about 100 μm.

【0024】次に、この所定の大きさに裁断された積層
体を、セッターなどに収納して焼成炉に投入して焼成を
行う。
Next, the laminated body cut into a predetermined size is housed in a setter or the like and placed in a firing furnace for firing.

【0025】次に研磨工程について説明する。研磨用の
ポットに焼成された積層セラミックコンデンサ素子10
000個と研磨剤である炭化ケイ素粉100ccと研磨用
ガラスボール300ccと水500cc、そしてpHが3に
調整された1規定の酢酸100ccを投入する。その後蓋
をして、1時間ポットを回転させて研磨を行う。研磨終
了後、素子とボールを分離、洗浄後乾燥し研磨工程を終
了する。
Next, the polishing process will be described. Multilayer ceramic capacitor element 10 fired in a polishing pot
000 pieces, 100 cc of silicon carbide powder as an abrasive, 300 cc of polishing glass balls, 500 cc of water, and 100 cc of 1N acetic acid adjusted to pH 3 are added. After that, the lid is covered and the pot is rotated for 1 hour to perform polishing. After the polishing, the element and the balls are separated, washed and dried to complete the polishing process.

【0026】このようにして製造された研磨済み積層セ
ラミックコンデンサ素子について、外観選別を1000
0個行い、クラックの発生について調査を行った結果を
(表1)に示す。その結果、pHが3に調整された酸で
はクラックの発生は無いが素子表面が酸によって犯され
た状態となり、酸のpHが3では使用できないことが明
らかとなった。
With respect to the polished monolithic ceramic capacitor element manufactured in this way, the appearance was selected to 1000.
The results of performing 0 cracks and investigating the occurrence of cracks are shown in (Table 1). As a result, it was revealed that the acid whose pH was adjusted to 3 did not cause cracks but the surface of the element was violated by the acid, and the acid could not be used at pH 3.

【0027】(実施例4)以下に本発明の第4の実施例
について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 4) A fourth embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0028】まず、チタン酸バリウムを主成分とする誘
電体材料、有機バインダー、可塑剤、分散剤などを混合
してできたスラリーを、リバースロール工法などにより
フィルム上に整形し誘電体グリーンシート1を作成す
る。次に、前記誘電体グリーンシート1上の各チップと
なる領域に、パラジウムペーストを用いて、スクリーン
印刷により内部電極2となる導体パターンを形成する。
次に、導体パターンを形成した誘電体グリーンシート1
を内部電極2が誘電体グリーンシート1を挟んで交互に
対向するように配置して積層する。その後、圧着して積
層体を作成する。次に、刃厚み100μm程度のカッタ
ー刃を利用して積層体を所定の大きさに裁断する。
First, a slurry prepared by mixing a dielectric material containing barium titanate as a main component, an organic binder, a plasticizer, a dispersant and the like is shaped on a film by a reverse roll method or the like, and the dielectric green sheet 1 is formed. To create. Next, a conductive pattern to be the internal electrodes 2 is formed by screen printing on the dielectric green sheet 1 in each chip region using palladium paste.
Next, the dielectric green sheet 1 on which a conductor pattern is formed
Are laminated so that the internal electrodes 2 are alternately opposed to each other with the dielectric green sheet 1 interposed therebetween. Then, pressure bonding is performed to form a laminated body. Next, the laminate is cut into a predetermined size by using a cutter blade having a blade thickness of about 100 μm.

【0029】次に、この所定の大きさに裁断された積層
体を、セッターなどに収納して焼成炉に投入して焼成を
行う。
Next, the laminated body cut into a predetermined size is housed in a setter or the like and placed in a firing furnace for firing.

【0030】次に研磨工程について説明する。研磨用の
ポットに焼成された積層セラミックコンデンサ素子10
000個と研磨剤である炭化ケイ素粉100ccと研磨用
ガラスボール300ccと水500cc、そして市販されて
いる食酢を100cc投入する。食酢は酸度4.2%で、
pHは4であるものを使用した。その後蓋をして、1時
間ポットを回転させて研磨を行う。研磨終了後、素子と
ボールを分離、洗浄後乾燥し研磨工程を終了する。
Next, the polishing process will be described. Multilayer ceramic capacitor element 10 fired in a polishing pot
Add 000 pieces, 100 cc of abrasive silicon carbide powder, 300 cc of polishing glass balls, 500 cc of water, and 100 cc of commercially available vinegar. Vinegar has an acidity of 4.2%,
A pH of 4 was used. After that, the lid is covered and the pot is rotated for 1 hour to perform polishing. After the polishing, the element and the balls are separated, washed and dried to complete the polishing process.

【0031】このようにして製造された研磨済み積層セ
ラミックコンデンサ素子について、外観選別を1000
0個行い、クラックの発生について調査を行った結果を
(表1)に示す。(表1)からも明らかなように、この
製造方法によりクラックの発生は防止されている。
With respect to the polished laminated ceramic capacitor element manufactured in this manner, the appearance was selected to 1000.
The results of performing 0 cracks and investigating the occurrence of cracks are shown in (Table 1). As is clear from (Table 1), the generation of cracks is prevented by this manufacturing method.

【0032】なお実施例1〜4において、研磨工程後、
積層セラミックコンデンサ素子の内部電極2の露出した
両面に外部電極3を形成することにより、積層セラミッ
クコンデンサが得られる。
In Examples 1 to 4, after the polishing step,
A multilayer ceramic capacitor is obtained by forming the external electrodes 3 on both exposed surfaces of the internal electrodes 2 of the multilayer ceramic capacitor element.

【0033】また、水にpHが4,6の酢酸溶液を投入
した場合のみ示したが、pHが4〜6の酸性溶液であれ
ば、シュウ酸、塩酸、硫酸等何でも構わない。そして、
その混合比も研磨工程終了まで研磨液がアルカリ性にな
らず、研磨材中に含まれる不純物により水素が発生しな
いようにすればよい。
Further, although it is shown only when the acetic acid solution having a pH of 4 and 6 is added to water, any oxalic acid, hydrochloric acid, sulfuric acid or the like may be used as long as it is an acidic solution having a pH of 4 to 6. And
The mixing ratio may be such that the polishing liquid does not become alkaline until the end of the polishing step and hydrogen is not generated due to impurities contained in the polishing material.

【0034】さらにpH4〜6の酸性溶液を調整しなく
ても、実施例4に示したように一般に市販されている食
酢を用いることにより本発明を簡単に行うことができ
る。
The present invention can be easily carried out by using generally commercially available vinegar as shown in Example 4 without adjusting an acidic solution having a pH of 4 to 6.

【0035】また、実施例1〜4においては、内部電極
2としてパラジウムを用いたが、銀−パラジウム等パラ
ジウムを含む金属を内部電極2として用いた場合に本発
明は有効である。
Although palladium is used as the internal electrode 2 in Examples 1 to 4, the present invention is effective when a metal containing palladium such as silver-palladium is used as the internal electrode 2.

【0036】さらに実施例1〜4においては、誘電体グ
リーンシート1の材料としてチタン酸バリウム、研磨材
として炭化ケイ素粉を用いたが、セラミック層の材料で
水に溶解するとアルカリ性を示すセラミック粉と、研磨
工程中に、溶液がアルカリ性になった場合、水素を発生
させてしまう恐れのある研磨材を用いるような積層セラ
ミック電子部品であれば、積層セラミックコンデンサに
限らず同様の効果が得られる。
Further, in Examples 1 to 4, barium titanate was used as the material of the dielectric green sheet 1 and silicon carbide powder was used as the abrasive. However, ceramic powder showing alkalinity when dissolved in water was used as the material of the ceramic layer. In the polishing process, if the solution becomes alkaline, a multilayer ceramic electronic component that uses an abrasive material that may generate hydrogen can be used to obtain the same effect without being limited to the multilayer ceramic capacitor.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上のように本発明は、積層セラミック
コンデンサの研磨工程において、研磨する際に予め酸を
添加することによって、研磨中にセラミック研磨粉が水
中に溶け出してもpHは変わらず、アルカリ性にはなら
ないので研磨剤との反応が抑えられ、水素ガスが発生し
ないことから、クラック不良が発生せずに信頼性等に優
れた積層セラミックコンデンサを効率よく製造できる。
As described above, according to the present invention, in the polishing process of a monolithic ceramic capacitor, by adding an acid in advance during polishing, the pH does not change even if the ceramic polishing powder dissolves in water during polishing. Since it does not become alkaline, the reaction with the polishing agent is suppressed, and hydrogen gas is not generated. Therefore, crack defects do not occur, and a monolithic ceramic capacitor having excellent reliability can be efficiently manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】一般的な積層セラミックコンデンサの一部切欠
斜視図
FIG. 1 is a partially cutaway perspective view of a general monolithic ceramic capacitor.

【図2】クラック不良の発生した積層体の斜視図FIG. 2 is a perspective view of a laminated body in which a crack defect occurs.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 誘電体グリーンシート 2 内部電極 3 外部電極 1 Dielectric green sheet 2 Internal electrode 3 External electrode

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 焼成後水に溶解するとアルカリ性を示す
成分を有する誘電体グリーンシートとパラジウムを含有
する内部電極とを交互に積層した積層体を焼成し、次に
アルカリ性溶液において水素を発生する原因となる研磨
材を混合した酸性溶液を用いて前記積層体を研磨し、そ
の後前記積層体端面に外部電極を形成する積層セラミッ
ク電子部品の製造方法。
1. A cause for producing hydrogen in an alkaline solution by firing a laminated body in which dielectric green sheets having a component showing alkalinity when dissolved in water after firing and internal electrodes containing palladium are alternately fired, and then hydrogen is generated in an alkaline solution. A method for manufacturing a laminated ceramic electronic component, comprising: polishing the laminate using an acidic solution mixed with an abrasive to be used, and then forming external electrodes on the end faces of the laminate.
【請求項2】 酸性溶液にするためにpHが4〜6の酸
性溶液を用いる請求項1記載の積層セラミック電子部品
の製造方法。
2. The method for producing a laminated ceramic electronic component according to claim 1, wherein an acidic solution having a pH of 4 to 6 is used to form the acidic solution.
JP10925595A 1995-05-08 1995-05-08 Manufacture of multilayer ceramic electronic part Pending JPH08306578A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004186222A (en) * 2002-11-29 2004-07-02 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing ceramic electronic component

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004186222A (en) * 2002-11-29 2004-07-02 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing ceramic electronic component
JP4506076B2 (en) * 2002-11-29 2010-07-21 株式会社村田製作所 Manufacturing method of ceramic electronic component

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