JPH08304265A - 電子機構部品の信頼性試験装置 - Google Patents

電子機構部品の信頼性試験装置

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JPH08304265A
JPH08304265A JP7132702A JP13270295A JPH08304265A JP H08304265 A JPH08304265 A JP H08304265A JP 7132702 A JP7132702 A JP 7132702A JP 13270295 A JP13270295 A JP 13270295A JP H08304265 A JPH08304265 A JP H08304265A
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JP
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gas
gas chamber
rod
connector
opening
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JP7132702A
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Kazuo Inoki
和夫 猪木
Hiroyuki Yoshida
弘之 吉田
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TOKYO TAKAYAMA KK
Original Assignee
TOKYO TAKAYAMA KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 コネクタ、スイッチ等の電子機構部品につい
て、ガス雰囲気中で加速寿命試験を行う場合、試験装置
の寿命を長くすることができる電子機構部品の信頼性試
験装置を提供することを目的とするものである。 【構成】 コネクタ等の電子機構部品を動かす駆動部
と、ロッド等の駆動部の一部と電子機構部品とを収容す
るガスチャンバーと、このガスチャンバーと駆動部とを
密封する密封部とを有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、亜硫酸ガス等のガス雰
囲気中でコネクタ等を抜き差し等することによって、コ
ネクタ等の加速寿命試験を行う電子機構部品の信頼性試
験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子機器を構成するユニットを接続する
コネクタ、回路を変更するスイッチ等は大気汚染が顕著
になるにつれて接点表面の腐食を原因とする故障が増加
している。これら、コネクタ、スイッチ等の接片または
接点は、自動車の排気ガス等が原因である微量の腐食性
ガスのためにその接触面が腐食され、電気的な接触不良
が生じ、電子機器の故障となる。
【0003】部品メーカーにおいては腐食性ガスが混入
した雰囲気内でも信頼性の高いコネクタを開発すること
が必要であり、電子機器メーカーにおいては同様に信頼
性の高い部品を選定する必要がある。これらの部品の信
頼性を改善するための信頼性評価を行うには、腐食性ガ
ス雰囲気内での動作試験が必要であるが、腐食性ガスに
よる危険が伴うこと、試験装置が腐食することの理由に
よって、適当な試験装置がまだ開発されていない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来、亜硫酸ガス等の
雰囲気中でコネクタを抜き差し試験する場合、コネクタ
の抜き差しを多数回実行する抜き差し試験機の全体をガ
スチャンバー内に設置し、このガスチャンバーの横にガ
スボンベを設置し、このガスボンベからガスチャンバー
に向けて配管し、この配管を介して亜硫酸ガスをガスチ
ャンバーに供給し、抜き差し試験機のコネクタ用チャッ
クにコネクタをセットし、抜き差し試験を実行してい
る。
【0005】従来の腐食性ガス試験装置は、一般に腐食
性ガスを高圧に充填したガスボンベをガス源としている
ために、ボンベとの接続部等からガス漏れが生じると、
危険性があり、特に、室内でガス漏れがあれば人身の危
険があるために、屋外の小屋等に試験装置を設置するよ
うにし、試験装置の設置場所に制約があり、また、ガス
の希釈装置が複雑であるので、試験装置が大型、かつ、
高価であるという問題がある。また、コネクタの抜き差
し動作試験機を、ガス試験装置の内部に設置した場合、
大型の試験室が必要となり、実施が困難である。
【0006】さらに、腐食性ガス雰囲気内に抜き差し試
験機を設置すると、腐食性ガスのために、抜き差し試験
機が短時間で故障となるので実用に耐えないという問題
がある。つまり、抜き差し試験機を構成するモータ、回
転運動を往復運動に変換するリンク装置等の腐食が速
く、抜き差し試験機自体の寿命が短くなるという問題が
ある。
【0007】上記各問題は、コネクタの抜き差し試験に
限らず、スイッチ等のオン、オフ試験についても、つま
り、広く電子機構部品の信頼性試験装置についても同様
に発生するものである。
【0008】本発明の第1の目的は、コネクタ、スイッ
チ等の電子機構部品について、ガス雰囲気中で加速寿命
試験を行う場合、試験装置の寿命を長くすることができ
る電子機構部品の信頼性試験装置を提供することを目的
とするものである。
【0009】ここで、抜き差し試験機の本体をガス試験
槽の外に設置し、棒状のコネクタ駆動部がガス試験槽を
貫通するような構造を考えることができるが、この場
合、往復運動または回転角往復運動をする棒状のコネク
タ駆動部を、測定に支障がない条件で密閉することが困
難であるという問題がある。
【0010】本発明の第2の目的は、電子機構部品の信
頼性試験を行うために軸方向に往復運動するロッドと、
信頼性試験の対象である電子機構部品を収容するガスチ
ャンバーとの密閉を、測定に支障がない条件で行うこと
が容易である電子機構部品の信頼性試験装置を提供する
ことを目的とするものである。
【0011】また、本発明の第3の目的は、信頼性試験
中におけるガスチャンバー内の圧力を一定に維持するこ
とができる電子機構部品の信頼性試験装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【0012】さらに、本発明の第4の目的は、腐食性ガ
スによる危険を防止することができる電子機構部品の信
頼性試験装置を提供することを目的とするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、コネクタ等の
電子機構部品を動かす駆動部と、ロッド等の駆動部の一
部と電子機構部品とを収容するガスチャンバーと、この
ガスチャンバーと駆動部とを密閉する密閉部とを有する
ものである。
【0014】
【作用】本発明は、コネクタ等の電子機構部品を動かす
駆動部と、ロッド等の駆動部の一部と電子機構部品とを
収容するガスチャンバーと、このガスチャンバーと駆動
部とを密閉する密閉部とを有するので、ガス雰囲気中に
存在する部分がロッド等の駆動部の一部であり、ロッド
等が多少腐食しても、加速寿命試験装置そのものの寿命
に与える影響が少ないので、加速寿命試験装置の寿命が
短くなることを阻止できる。
【0015】
【実施例】図1は、本発明の一実施例である抜き差し試
験装置Tの正面図であり、図2は、抜き差し試験装置T
におけるロッドRと折り返し筒状ゴム22との関係を示
す縦断面図である。
【0016】抜き差し試験装置Tは、第1のチャックC
H1と、第2のチャックCH2と、ロッドRの一部とを
収容するガスチャンバー10と、上下動するロッドR
と、ロッドRとガスチャンバー10とを密閉する密閉部
20と、ガスチャンバー10内の圧力を一定に維持する
圧力調整装置30と、ガスチャンバー10内に亜硫酸ガ
スを供給するガス供給装置40と、ロッドRを上下動す
る上下動機構Mと、この上下動機構Mを支持する支柱P
とを有する。
【0017】ガスチャンバー10には、第1の開口部1
1と、第2の開口部12と、連通口13と、ガラス扉1
4とが設けられている。なお、第1のチャックCH1
は、テストサンプルとしての第1のコネクタC1を挟む
ものであり、第2のチャックCH2は、テストサンプル
としての第2のコネクタC2を挟むものである。ロッド
Rは、その先端に第2のチャックCH2が固定され、第
2のチャックCH2によって第2のコネクタC2が挟ま
れる。
【0018】密閉部20は、第1の開口部11に設けら
れた管21と、この管21の内壁とロッドRの外周とを
接続する円錐台状の折り返し筒状ゴム22とで構成され
ている。折り返し筒状ゴム22は、細口部221と、太
口部222とを有し、細口部221にロッドRを挿通し
た状態で、ゴム紐等のバインダー223によって、ロッ
ドRに細口部221が密着され、ゴム紐等のバインダー
224によって、管21の突出部212に太口部222
が密着されている。
【0019】圧力調整装置30は、第2の開口部12に
設けられ、第2の開口部12を塞ぐ蛇腹21で構成され
ている。
【0020】ガス供給装置40は、ケース41内に、硫
化物飽和塩を包含する塩類水溶液42が収容され、ケー
ス41の側壁に設けられている連通口43がガスチャン
バー10の連通口13に接続されたものである。
【0021】次に、上記実施例において、コネクタC
1、C2を抜き差し試験するための準備作業について説
明する。
【0022】まず、扉14を開き、第1のチャックCH
1に、テストサンプルであるコネクタC1を挟み、ロッ
ドRの下端に設けられている第2のチャックCH2に、
コネクタC1の相手であるコネクタC2を挟み、扉14
を閉じる。そして、ガス供給装置40の図示しない上扉
を開き、所望の塩類水溶液を入れ、図示しない上扉を閉
じる。これによって、ガス供給装置40から、連通口4
3、13を介して、ガスチャンバー10内に亜硫酸ガス
が供給される。この場合、ガス供給装置40において亜
硫酸ガスが発生し、飽和塩液からガスが徐々に発生し、
ガスチャンバ10に供給され、周囲温度が一定であれ
ば、ガスチャンバ10内の亜硫酸ガスの濃度が一定にな
る。上記実施例においては、たとえば10ppmの亜硫
酸ガスの雰囲気中でコネクタC1、C2の抜き差し試験
を行う場合には、その濃度に対応する温度に維持する。
【0023】次に、上記実施例において、実際に、コネ
クタC1、C2の抜き差し試験を繰り返す動作について
説明する。
【0024】チャックCH1、CH2によってそれぞれ
コネクタC1、C2が挟まれ、扉14が閉じられている
状態で、図示しない電源スイッチをオンすると、上下動
駆動装置Mが動作を開始し、ロッドRが上下動する。こ
こで、ロッドRが最下点に達すると、筒状ゴム22が伸
び、図3に示す状態になり、ロッドRが最上点に達する
と、筒状ゴム22が縮み、図4に示す状態になる。
【0025】ロッドRが最上点からロッドRが最下点に
移動する過程で、ガスチャンバー10の容積が小さくな
り、ガスチャンバー10の気圧が上昇しようとするが、
この圧力が少しでも上昇しようとすると、第2の開口部
12を塞ぐように設けられている蛇腹31が膨張し始
め、圧力の上昇が抑制され、圧力調整がなされ、ガスチ
ャンバー10内の圧力が大気圧に維持される。
【0026】これとは逆に、ロッドRが最下点からロッ
ドRが最上点に移動する過程で、ガスチャンバー10の
容積が大きくなり、ガスチャンバー10の気圧が下降し
ようとするが、この圧力が少しでも下降しようとする
と、第2の開口部12を塞ぐように設けられている蛇腹
21が収縮し始め、圧力の下降が抑制され、圧力調整が
なされ、ガスチャンバー10内の圧力が大気圧に維持さ
れる。
【0027】圧力調整装置30を設けないと、密閉を厳
格に行わなければならないが、圧力調整装置30を設け
ることによって、ある程度の密閉を行えば、ガスチャン
バー10内の亜硫酸ガスがガスチャンバー10の外に出
ない。つまり、圧力調整装置30を設けることによっ
て、ガスチャンバー10から亜硫酸ガスが漏れないよう
にするための密閉が容易になる。
【0028】ところで、筒状ゴム22の細口部221が
バインダー223によって密着され、その太口部222
がバインダー224によって密着されているので、ロッ
ドRが上下動している間でも、ガスチャンバー10とロ
ッドRとの間が確実に密着される。したがって、ガスチ
ャンバー10内に亜流酸ガスを入れて抜き差し試験を行
っても、その試験中に亜硫酸ガスがガスチャンバー10
から外に漏れることがなく、室内にガスチャンバー10
を設置しても、安全である。また、ガス供給装置40が
塩類水溶液から放出される亜硫酸ガスを発生し、このよ
うにして発生されたガスをガスチャンバー10に供給す
るようにしており、塩類水溶液から放出される亜硫酸ガ
スの放出量が微量であるので、室内にガスチャンバー1
0を設置しても、安全である。
【0029】また、上記実施例によれば、ガスチャンバ
ー10に閉じ込める部分が、抜き差し試験機の全体では
なく、基本的には、ロッドR等の駆動部の一部とチャッ
クCH1、CH2とコネクタC1、C2とであるので、
ガスチャンバー10の形状を小さくすることができ、し
たがって、抜き差し試験装置が小型であり、このため
に、装置全体が安価になるという利点がある。
【0030】なお、上記抜き差し試験の過程で、コネク
タC2にコネクタC1が差し込まれているときにおける
電気抵抗、コネクタC2からコネクタC1を抜くときの
力、コネクタC2にコネクタC1を差し込むときの力、
抜き差し回数等が測定され、これらの測定データが図示
しないコンピュータに入力され、所定の演算がなされ、
抜き差し試験の試験結果がリアルタイムで集計される。
【0031】また、筒状ゴム22の材料として、各種ゴ
ムを使用することができ、その例としては、天然ゴム、
合成天然ゴム、スチレンゴム、ブチルゴム、ブタジエン
ゴム、エチレン・プロピレンゴム、ニトリルゴム、クロ
ロプレンゴム、ハイパロンゴム、ウレタンゴム、多硫化
ゴム、シリコーンゴム、ふっ素ゴム、アクリルゴム、エ
チレン酢ビゴム等が考えられる。また、筒状ゴム22
は、ゴム以外のゴム様材料を使用してもよく、伸縮自在
の薄膜を使用してもよく、さらに、筒状ゴム22の形状
を角錐台状としてもよい。つまり、筒状ゴム22は、筒
状可撓部材であればよい。
【0032】図5は、本発明の他の実施例である抜き差
し試験装置T1の一部を示す縦断面図である。
【0033】この抜き差し試験装置T1は、圧力調整装
置30の代わりに、可撓性の薄膜31aと筒32とで構
成される圧力調整装置30aを設けたものであり、圧力
調整装置30a以外の部分は図1に示す抜き差し試験装
置Tと同様である。可撓性の薄膜31aは、有底の筒状
であり、その無底端部が筒32の内壁に固着されてい
る。
【0034】図6は、本発明の別の実施例である抜き差
し試験装置T2を示す一部縦断面図である。
【0035】この抜き差し試験装置T2は、ガス供給装
置40の代わりに、パーミエーションチューブ44を使
用したガス供給装置40aを使用したものである。ここ
でパーミエーションチューブ44は、テフロン等で作ら
れた密閉チューブにガスが封入されたものであり、その
テフロンから微量のガスが拡散され、このガス拡散量
は、周囲温度に比例し、周囲温度を一定にすれば、ガス
拡散量が一定になる。
【0036】また、ガス供給装置40aは、ケース41
内に、パーミエーションチューブ44と送風機45とが
設けられ、ケース41の壁に設けられた連通口43とガ
スチャンバー10の連通口13とを介して、パーミエー
ションチューブ44からのガスを供給するものである。
なお、送風機45の代りに、後述する電磁カップリング
によってファンをケース41の外から駆動するようにし
てもよい。
【0037】さらに、抜き差し試験装置T2において
は、中和装置50が設けられ、この中和装置50は、ガ
スチャンバー10内の亜硫酸ガスを導くパイプ51と、
中和剤53を収容する容器52と、中和されたガスを放
出するパイプ54とで構成されている。中和剤として
は、過酸化水素、カセーソーダ溶液等が考えられる。
【0038】上記実施例によれば、ガス源としてボンベ
を使用せず、塩類の水溶液42またはパーミエーション
チューブ44を使用しているので、危険が非常に少な
い。
【0039】つまり、塩類の水溶液42をガス源として
使用した場合、密閉空間では、ある程度の水面面積があ
れば、空間内部は、水溶液と温度との条件で定まる一定
のガス濃度になり、水溶液の流出等が発生したとして
も、水溶液から短時間に多量のガスが発生することはな
く、また、発生ガスの全量もボンベの場合と比較して、
少量であるので、危険は格段に少ない。ガス試験層を小
型に構成できること、利用できるガスの種類が多いこと
が利点である。
【0040】また、4弗化エチレン(テフロン)等の化
学的に安定な樹脂で製造された円筒にガスを充填し密閉
した小型のチューブがパーミエーションチューブとして
市販されている。このパーミエーションチューブをガス
源として使用した場合、そのチューブの壁面からガスが
拡散浸透して出てくるもので、その浸出量は温度によっ
て一定であるので、定量の空気と混合することによっ
て、任意の濃度のガスを生成することができる。チュー
ブを損傷することがなければガス漏れは発生せず、ガス
の全量も少ないので安全である。ガス試験層を小型に構
成できること、利用できるガスの種類が多いことが利点
である。
【0041】上記各実施例において、ガスチャンバーガ
ス10に供給するガスとして、亜硫酸ガスの他に、硫化
水素、酸化窒素、一酸化炭素等を使用することができ
る。
【0042】上記各実施例において、筒状ゴム22の代
わりに、第1の開口部11とロッドRとを接続し、ガス
チャンバー10を密閉する筒状可撓部材であれば、蛇腹
等の他の筒状可撓部材を使用することができる。
【0043】また、上記各実施例は、ガスチャンバー1
0の上部のみに密閉部20が設けられているが、ガスチ
ャンバー10の下部にも密閉部20と同様の密閉部を設
けるようにしてもよい。つまり、第1のチャックCH1
を支持するロッドまたは台座とガスチャンバー10とを
密閉する第2の密閉部を付加するようにしてもよい。こ
の第2の密閉部として、抜き差し試験装置T等における
密閉部20または蛇腹を使用するようにしてもよい。こ
のように第2の密閉部を付加することによって、第1の
チャックCH1を前後、左右に位置決めすることができ
る。
【0044】上記各実施例において、コネクタC1、C
2の代りに、スイッチ等を加速寿命試験の対象にしても
よい。つまり、コネクタ以外の電子機構部品を加速寿命
試験の対象にしてもよい。ここで、本願明細書における
「電子機構部品」とは、コネクタ、スイッチ等のよう
に、可動部分を有する電子部品のことであり、コネクタ
については、電気製品を使用しているときにコネクタ同
士を相対的に動かすことはしないが、その電気製品の組
立時、または接続替え時にコネクタ同士を相対的に動か
すので、コネクタも可動部分を有すると考えることがで
き、またスイッチは、そのノブなどを動かすものであ
り、可動部分を有する。さらに、コネクタ、スイッチ以
外の部品で、可動部分を有するものは、本願明細書でい
う電子機構部品に属する。
【0045】なお、電子機構部品としてスイッチを使用
する場合における電子機構部品の信頼性試験装置は、次
のようなものである。つまり、第1の開口部を具備する
ガスチャンバーと、このガスチャンバー内に設置され、
所定のスイッチを固定するスイッチ固定手段と、軸方向
に往復運動し、第1の開口部を挿通可能なロッドと、こ
のロッドの先端に設置され、スイッチのノブを押圧動
作、引っ掛け動作のうちの少なくとも1つの動作を行う
ノブ用治具と、第1の開口部とロッドとを接続し、ガス
チャンバーを密閉する筒状可撓部材とによって、電子機
構部品の信頼性試験装置が構成されていればよい。
【0046】また、上記実施例は、ロッドRが往復運動
するものであるが、ロッドRが往復回動するもの(ある
方向に所定角度回動し、その後、逆の方向に所定角度回
動し、これらを繰り返して動作するもの)であってもよ
い。このようにすれば、ロータリスイッチ、可変抵抗器
等の回動する部品について加速寿命試験することがで
き、この場合に、密閉部20に筒状可撓部材を使用して
いるので、ロッドRとガスチャンバー10とを確実に密
閉することができる。
【0047】つまり、電子機構部品の加速寿命試験装置
としては、電子機構部品を動かす駆動部と、この駆動部
の一部と、上記電子機構部品とを収容するガスチャンバ
ーと、このガスチャンバーと上記駆動部とを密閉する密
閉部とを有してさえいればよい。
【0048】上記実施例は、主に、ガス雰囲気中で電子
機構部品の可動部分を強制的に可動することによって、
接触抵抗値の変化を検出するものであるが、マイブレー
ション(腐食等によって絶縁部分の一方の端部から金属
が次第に延出し、その絶縁部分の他端部まで延出し、そ
の絶縁が破壊される現象)について試験する場合にも、
上記実施例を応用することができる。
【0049】さらに、上記各実施例において、ガスチャ
ンバー10の外に、温度センサ、湿度センサ、ヒータ、
クーラ、加湿器、ファンを設け、これらを、断熱性、機
密性を有する別の筐体に収納し、湿度センサ、温度セン
サが検出した湿度、温度に応じて、マイクロコンピュー
タが、ヒータ、クーラ、加湿器を制御し、温度、湿度を
所望の値に制御するようにしてもよい。この場合、上記
別の筐体に開口部を設け、ロッドRを挿通し、ロッドR
と上記別の筐体との間に、密閉部20と同様の新たな密
閉部を設けれるようにしてもよい。また、新たな密閉部
の近傍に、結露防止用のヒータを設けるようにしてもよ
い。
【0050】また、上記各実施例において、ガスチャン
バー10内に攪拌用のファンを設け、電磁カップリング
によって上記ファンを、ガスチャンバー10の外から回
すようにしてもよい。つまり、ガスチャンバー10の外
に回転磁界発生手段を設け、この回転磁界発生手段が発
生する磁界に応じて回転する円板状の磁石と、この磁石
を自由回転させるための固定シャフトと、この磁石と連
動するファンとをガスチャンバー10内に設けてもよ
い。このように、ガスチャンバー10の外に設けられて
いる回転磁界発生手段と、ガスチャンバー10の内に設
けられている磁石と固定シャフトとファンとによって攪
拌装置を構成することによって、ファンの駆動源が腐食
ガスによって腐食することを阻止できる。また、ガスチ
ャンバー10内のガスが攪拌によって、均一化される。
【0051】
【発明の効果】本発明によれば、コネクタ、スイッチ等
の電子機構部品について、ガス雰囲気中で加速寿命試験
を行う場合、試験装置の寿命を長くすることができると
いう効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である抜き差し試験装置Tの
正面図である。
【図2】抜き差し試験装置TにおけるロッドRと筒状ゴ
ム22との関係を示す縦断面図である。
【図3】上記実施例において、ロッドRが最下点に達
し、筒状ゴム22が伸びた状態を示す縦断面図である。
【図4】上記実施例において、ロッドRが最上点に達
し、筒状ゴム22が縮んだ状態を示す縦断面図である。
【図5】本発明の他の実施例である抜き差し試験装置T
1を示す縦断面図である。
【図6】本発明の別の実施例である抜き差し試験装置T
2を示す一部縦断面図である。
【符号の説明】
T、T1、T2…抜き差し試験装置、 10…ガスチャンバー、 11…第1の開口部、 12…第2の開口部、 13…第3の開口部、 20…密閉部、 21…管、 22…筒状ゴム、 30、30a…圧力調整装置、 31…蛇腹、 31a…可撓性の薄膜、 40、40a…ガス供給装置、 41…ケース、 42…塩類水溶液、 43…連通口、 44…パーミエーションチューブ、 50…中和装置、 R…ロッド、 M…上下動機構、 CH1…第1のチャック、 CH2…第2のチャック、 C1…第1のコネクタ、 C2…第2のコネクタ。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子機構部品を動かす駆動部と;この駆
    動部の一部と、上記電子機構部品とを収容するガスチャ
    ンバーと;このガスチャンバーと上記駆動部とを密閉す
    る密閉部と;を有することを特徴とする電子機構部品の
    信頼性試験装置。
  2. 【請求項2】 第1の開口部を具備するガスチャンバー
    と;上記ガスチャンバー内に設置され、第1のコネクタ
    を固定する第1のコネクタ固定手段と;軸方向に往復運
    動し、上記第1の開口部を挿通可能なロッドと;上記ロ
    ッドの先端に設置され、上記第1のコネクタと嵌合すべ
    き第2のコネクタを固定する第2のコネクタ固定手段
    と;上記第1の開口部と上記ロッドとを接続し、上記ガ
    スチャンバーを密閉する筒状可撓部材と;を有すること
    を特徴とする電子機構部品の信頼性試験装置。
  3. 【請求項3】 第1の開口部を具備するガスチャンバー
    と;このガスチャンバー内に設置され、所定のスイッチ
    を固定するスイッチ固定手段と;軸方向に往復運動し、
    上記第1の開口部を挿通可能なロッドと;このロッドの
    先端に設置され、上記スイッチのノブを押圧動作、引っ
    掛け動作のうちの少なくとも1つの動作を行うノブ用治
    具と;上記第1の開口部と上記ロッドとを接続し、上記
    ガスチャンバーを密閉する筒状可撓部材と;を有するこ
    とを特徴とする電子機構部品の信頼性試験装置。
  4. 【請求項4】 請求項2または請求項3において、 上記ガスチャンバーの一部に、圧力調整手段が設けられ
    ていることを特徴とする電子機構部品の信頼性試験装
    置。
  5. 【請求項5】 請求項4において、 上記圧力調整手段は、上記ガスチャンバーの筐体の一部
    に設けられている第2の開口部と、この第2の開口部を
    塞ぐ第2の可撓部材とで構成されていることを特徴とす
    る電子機構部品の信頼性試験装置。
  6. 【請求項6】 請求項2または請求項3において、 上記ガスチャンバーに所定のガスを供給するガス発生部
    が設けられていることを特徴とする電子機構部品の信頼
    性試験装置。
  7. 【請求項7】 請求項6において、 上記ガス発生部は、パーミエーションチューブまたは塩
    類水溶液からガスを発生するものであることを特徴とす
    る電子機構部品の信頼性試験装置。
  8. 【請求項8】 請求項1〜7のいずれか1項において、 上記ガスチャンバーの外に設けられた回転磁界発生手段
    と、この回転磁界発生手段が発生する磁界に応じて回転
    する磁石と、この磁石を自由回転させるための固定シャ
    フトと、上記磁石と連動するファンとで構成される攪拌
    装置を有することを特徴とする電子機構部品の信頼性試
    験装置。
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