JPH08304227A - Device for inspecting spacer of liquid crystal display panel - Google Patents
Device for inspecting spacer of liquid crystal display panelInfo
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- JPH08304227A JPH08304227A JP10974395A JP10974395A JPH08304227A JP H08304227 A JPH08304227 A JP H08304227A JP 10974395 A JP10974395 A JP 10974395A JP 10974395 A JP10974395 A JP 10974395A JP H08304227 A JPH08304227 A JP H08304227A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示パネルの製造工
程上の検査装置に係り、詳しくは薄膜トランジスタ（Ｔ
ＦＴ）型液晶表示パネルのスペーサ検査装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device in a liquid crystal display panel manufacturing process.
The present invention relates to a spacer inspection device for an FT) type liquid crystal display panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴ
と称す）とカラーフィルタとを組合わせた液晶表示パネ
ルが開発されている。該液晶表示パネル１は、図１に示
すように、光の３原色のカラーフィルタ２、液晶３、Ｔ
ＦＴパターン４が焼き付けられたガラス基板５とから構
成される。そして、この液晶表示パネル１を製造するに
は、図２及び図３に示すように、ＴＦＴパターン４が焼
き付けられたガラス基板５にスペーサ７を均一に散布
し、該スペーサ７，７，…上にカラーフィルタ２を載置
し、スペーサ７，７，…により生じた空間部分に液晶を
注入し密封して、液晶表示パネル１を製造している。2. Description of the Related Art In recent years, thin film transistors (hereinafter referred to as TFTs)
Liquid crystal display panel has been developed. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display panel 1 includes a color filter 2 for the three primary colors of light, a liquid crystal 3 and a T.
The glass substrate 5 having the FT pattern 4 printed thereon. Then, in order to manufacture the liquid crystal display panel 1, as shown in FIGS. 2 and 3, the spacers 7 are evenly dispersed on the glass substrate 5 on which the TFT patterns 4 are baked, and the spacers 7, 7 ,. The liquid crystal display panel 1 is manufactured by mounting the color filter 2 on the substrate and injecting liquid crystal into the space formed by the spacers 7, 7, ...
【０００３】ところで、このような液晶表示パネルを製
造する際に各種検査が行われるが、その検査項目の一つ
に、ＴＦＴパターンが焼き付けられたガラス基板にスペ
ーサが均等にかつ単位面積あたり所定数以上散布されて
いるかのスペーサ検査がある。例えば、図１０に示すよ
うに、リングライト５１から斜め下方に照射された光
が、定盤５２上に載せられたＴＦＴパターン４，４，…
が焼き付けられたガラス基板５及びスペーサ７，７，…
に所定入射角で当たると、その反射光がレンズ５３に収
光されるスペーサ検査装置がある。By the way, various inspections are carried out when manufacturing such a liquid crystal display panel. One of the inspection items is that a glass substrate on which a TFT pattern is printed has spacers uniformly and a predetermined number of spacers per unit area. There is a spacer inspection to see if they have been sprayed. For example, as shown in FIG. 10, the light radiated obliquely downward from the ring light 51, the TFT patterns 4, 4, ...
The glass substrate 5 and the spacers 7, 7, ...
There is a spacer inspection device in which the reflected light is collected by the lens 53 when it hits at a predetermined incident angle.
【０００４】また、図１１は図１０において照射された
光の反射光レベルを示す図であり、ＴＦＴパターンが焼
き付けられてないガラス基板部分Ａの反射光レベル、Ｔ
ＦＴパターンが焼き付けられてないガラス基板部分上の
スペーサＢの反射光レベル、ＴＦＴパターン部分Ｃの反
射光レベル、及びＴＦＴパターン上のスペーサＤの反射
光レベルが示されている。FIG. 11 is a diagram showing the reflected light level of the light emitted in FIG. 10, and the reflected light level of the glass substrate portion A on which the TFT pattern is not printed, T
The reflected light level of the spacer B on the glass substrate portion where the FT pattern is not printed, the reflected light level of the TFT pattern portion C, and the reflected light level of the spacer D on the TFT pattern are shown.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うなスペーサ検査装置では、図１１に示すように、ＴＦ
Ｔパターンが焼き付けられてないガラス基板部分上のス
ペーサＢとＴＦＴパターン上のスペーサＤとの反射光レ
ベルは大きく異なり、ＴＦＴパターン上のスペーサＤは
ＴＦＴパターンが焼き付けられてないガラス基板部分上
のスペーサＢより反射光レベルがかなり高く（ＲＬD ≫
ＲＬB ）大きく異なるので、スペーサＢとスペーサＤを
同時に検出するのは非常に困難であった。By the way, in the spacer inspection apparatus as described above, as shown in FIG.
The reflected light level of the spacer B on the glass substrate portion on which the T pattern is not printed is greatly different from that of the spacer D on the TFT pattern, and the spacer D on the TFT pattern is the spacer on the glass substrate portion on which the TFT pattern is not printed. The reflected light level is considerably higher than B (RL D >>
RL B ) It is very difficult to detect the spacer B and the spacer D at the same time because it is greatly different.
【０００６】そこで、本発明は、簡単な構造の定盤によ
り、スペーサを確実に検出できるように構成し、以て上
述した課題を解決した液晶表示パネルのスペーサ検査装
置を提供することを目的とするものである。Therefore, an object of the present invention is to provide a spacer inspection device for a liquid crystal display panel, which is constructed so that the spacers can be reliably detected by a surface plate having a simple structure, thereby solving the above-mentioned problems. To do.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みてなされたものであって、薄膜トランジスタパターン
が焼き付けられたガラス基板上に均一にスペーサを散布
して被検体とし、該被検体を、所定間隔を有して刻設さ
れた多数の溝にそれぞれ白色の反射体を埋め込んだ定盤
上に載置し、前記定盤の白色の反射体上の前記被検体を
照射して、その反射光により前記スペーサを検出してな
る液晶表示パネルのスペーサ検査装置とした。The present invention has been made in view of the above circumstances, and a spacer is uniformly dispersed on a glass substrate on which a thin film transistor pattern is baked to obtain a subject. , Placed on a surface plate embedded with a white reflector in a large number of grooves engraved at a predetermined interval, irradiating the subject on the white reflector of the surface plate, A spacer inspecting device for a liquid crystal display panel, which detects the spacer by reflected light, is used.
【０００８】[0008]
【作用】上述構成に基づき、定盤の白色の反射体上の、
薄膜トランジスタパターンが焼き付けられたガラス基板
及びその上に散布されたスペーサを照射して、その反射
光によりスペーサのみを検出可能とする。On the basis of the above configuration, on the white reflector of the surface plate,
The glass substrate on which the thin film transistor pattern is printed and the spacers scattered on the glass substrate are irradiated, and only the spacers can be detected by the reflected light.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、図面に沿って、本発明による液晶表示
パネルのスペーサ検査装置の一実施例について説明す
る。図４は液晶表示パネルのスペーサ検査装置の平面
図、図５はその側面図であり、図４及び図５に示すよう
に、散布装置１１でＴＦＴパターンを焼き付けたガラス
基板上にスペーサを散布し、該ガラス基板を移載ハンド
１２を介してスペーサ検査装置１３の定盤１５上に移載
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a spacer inspection device for a liquid crystal display panel according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 4 is a plan view of a spacer inspection device for a liquid crystal display panel, and FIG. 5 is a side view thereof. As shown in FIGS. 4 and 5, the spraying device 11 spreads the spacers on the glass substrate on which the TFT pattern is printed. The glass substrate is transferred onto the surface plate 15 of the spacer inspection device 13 via the transfer hand 12.
【００１０】また、図６は検査ステージ部の側面図であ
り、同図に示すように、フレーム１７上には左右方向に
伸長してＬＭガイド１８，１９が所定間隔を有して併設
され、該ＬＭガイド１８，１９上にはサドル２１が左右
方向に摺動自在に載置されている。更に、フレーム１７
上にはパルスモータ２２が固定され、パルスモータ２２
の軸にはボールネジ２３が連結され、ボールネジ２３に
は前記サドル２１の下部に固定された可動部材２５が螺
合し、パルスモータ２２の軸及びボールネジ２３が回転
すると、それに従動して、可動部材２５及びサドル２１
が左右方向に移動するようになっている。同図中、２６
はカバーである。FIG. 6 is a side view of the inspection stage section. As shown in FIG. 6, LM guides 18 and 19 are provided on the frame 17 so as to extend in the left-right direction and have a predetermined interval. A saddle 21 is slidably mounted on the LM guides 18 and 19 in the left-right direction. In addition, the frame 17
The pulse motor 22 is fixed above the pulse motor 22.
A ball screw 23 is connected to the shaft of the ball screw 23, and a movable member 25 fixed to the lower portion of the saddle 21 is screwed to the ball screw 23. When the shaft of the pulse motor 22 and the ball screw 23 rotate, the ball screw 23 is driven to move the movable member 25. 25 and saddle 21
Is designed to move left and right. In the figure, 26
Is a cover.
【００１１】また、前記サドル２１の上面には前後方向
に伸長してＬＭガイド２７，２８が所定間隔を有して併
設され、該ＬＭガイド２７，２８上には前記定盤１５が
前後方向に摺動自在に載置されている。更に、サドル２
１上にはパルスモータ２９が固定され、パルスモータ２
９の軸には図示せぬボールネジが連結され、該ボールネ
ジには前記定盤１５の下面に固定された可動部材３１が
螺合し、パルスモータ２９の軸及びボールネジが回転す
ると、それに従動して、可動部材３１及び定盤１５が前
後方向に移動するようになっている。On the upper surface of the saddle 21, LM guides 27, 28 extending in the front-rear direction are provided side by side with a predetermined interval, and the surface plate 15 is placed on the LM guides 27, 28 in the front-rear direction. It is slidably mounted. Furthermore, saddle 2
A pulse motor 29 is fixed on the upper part of the pulse motor 2
A ball screw (not shown) is coupled to the shaft of 9, and a movable member 31 fixed to the lower surface of the surface plate 15 is screwed to the ball screw, and when the shaft of the pulse motor 29 and the ball screw rotate, they follow the movement. The movable member 31 and the surface plate 15 are movable in the front-rear direction.
【００１２】また、図７に示すように、定盤１５には所
定間隔を有して多数の孔１５ａ，１５ａ，…が明けら
れ、該多数の孔１５ａ，１５ａ，…にはそれぞれ、例え
ばセラミックからなる白色の反射体３３が埋め込まれて
いる。Further, as shown in FIG. 7, a large number of holes 15a, 15a, ... Are formed in the surface plate 15 at a predetermined interval, and each of the plurality of holes 15a, 15a ,. A white reflector 33 consisting of is embedded.
【００１３】また、図４及び図５に示すように、定盤１
５の上方にはＣＣＤカメラ３５がフレーム１７に固定さ
れており、更に図８に示すように、ＣＣＤカメラ３５の
先端にはレンズ３６が設けられ、該レンズ３６の先端に
はリングライト３７が周設されている。リングライト３
７上端よりガラス基板５までの距離ｈは、ガラス基板５
の厚さｔが変化してもオートフォーカスにより常に一定
に保たれ、変わることはなく、従って常に一定の照射範
囲を保つことが可能である。Further, as shown in FIG. 4 and FIG.
A CCD camera 35 is fixed to the frame 17 above 5, and a lens 36 is provided at the tip of the CCD camera 35, and a ring light 37 is provided around the tip of the lens 36, as shown in FIG. Has been done. Ring light 3
7 The distance h from the upper end to the glass substrate 5 is
Even if the thickness t changes, it is always kept constant by autofocus and does not change. Therefore, it is possible to keep a constant irradiation range.
【００１４】また、図４及び図５に示すように、スペー
サ検査装置１３の前部には操作パネル４０、パソコンキ
ーボード４１、パソコン用ＬＣＤ４２、パソコン４３
が、後部にはモニタ４５が設けられている。そして、ス
ペーサ検査装置１３で検査されたワークは移載ハンド４
７に移載されて次工程に移動される。なお、図４中、４
８は制御盤を示す。Further, as shown in FIGS. 4 and 5, an operation panel 40, a personal computer keyboard 41, a personal computer LCD 42, and a personal computer 43 are provided at the front of the spacer inspection device 13.
However, a monitor 45 is provided at the rear part. The work inspected by the spacer inspection device 13 is transferred to the transfer hand 4
7 and transferred to the next step. In addition, in FIG.
Reference numeral 8 indicates a control panel.
【００１５】本実施例は以上のような構成よりなるの
で、先ず、散布装置１１でＴＦＴパターンを焼き付けた
ガラス基板上にスペーサを散布し、該ガラス基板を移載
ハンド１２を介してスペーサ検査装置１３の定盤１５上
に移載する。そして、パルスモータ２２を駆動させてボ
ールネジ２３を回転させると、それに伴って可動部材２
５及びサドル２１が左右方向に移動し、定盤１５も左右
方向に移動すると共に、パルスモータ２９を駆動させて
ボールネジを回転させると、それに伴って可動部材３１
及び定盤１５が前後方向に移動するので、定盤１５はＣ
ＣＤカメラ３５の下方を前後左右に移動可能となる。Since this embodiment has the above-mentioned structure, first, spacers are scattered on the glass substrate on which the TFT pattern is printed by the spraying device 11, and the glass substrate is transferred through the transfer hand 12 to the spacer inspection device. 13 is transferred onto a surface plate 15 of 13. Then, when the pulse motor 22 is driven to rotate the ball screw 23, the movable member 2 is correspondingly rotated.
5 and the saddle 21 move in the left-right direction, the surface plate 15 also moves in the left-right direction, and the pulse motor 29 is driven to rotate the ball screw.
Since the surface plate 15 moves in the front-back direction, the surface plate 15 is C
The lower part of the CD camera 35 can be moved back and forth and left and right.
【００１６】そして、リングライト３７から斜め下方に
照射された光が、多数の白色の反射体３３を埋め込んだ
定盤１５上に載せられた、ＴＦＴパターン４，４，…が
焼き付けられたガラス基板５及びスペーサ７，７，…に
所定入射角で当たると、その反射光がレンズ３６に収光
され、ＣＣＤカメラ３５に受光される。Then, the glass substrate 5 on which the TFT patterns 4, 4, ... Are baked, is placed on the surface plate 15 in which a large number of white reflectors 33 are embedded, and the light emitted obliquely downward from the ring light 37. .. and the spacers 7, 7, ... At a predetermined incident angle, the reflected light is collected by the lens 36 and received by the CCD camera 35.
【００１７】また、図９は図８において照射された光の
反射光レベルを示す図であり、ＴＦＴパターンが焼き付
けられてないガラス基板部分Ａの反射光レベル、ＴＦＴ
パターンが焼き付けられてないガラス基板部分上のスペ
ーサＢの反射光レベル、ＴＦＴパターン部分Ｃの反射光
レベル、及びＴＦＴパターン上のスペーサＤの反射光レ
ベルが示されている。白色の反射体３３の効果により、
ＴＦＴパターンが焼き付けられてないガラス基板部分上
のスペーサＢとＴＦＴパターン上のスペーサＤとの反射
光レベルは略等しく（ＲＬD ≒ＲＬB ）、しかもＴＦＴ
パターンが焼き付けられてないガラス基板部分Ａの反射
光レベル、及びＴＦＴパターン部分Ｃの反射光レベルよ
りも高いレベルであり、容易にスペーサＢとスペーサＤ
を同時に検出し、スペーサのみを２値化することができ
る。FIG. 9 is a diagram showing the reflected light level of the light irradiated in FIG. 8, and the reflected light level of the glass substrate portion A on which the TFT pattern is not printed and the TFT.
The reflected light level of the spacer B on the glass substrate portion where the pattern is not printed, the reflected light level of the TFT pattern portion C, and the reflected light level of the spacer D on the TFT pattern are shown. Due to the effect of the white reflector 33,
The reflected light levels of the spacer B on the glass substrate portion where the TFT pattern is not printed and the spacer D on the TFT pattern are substantially equal (RL D ≈RL B ), and the TFT
The level is higher than the reflected light level of the glass substrate portion A on which the pattern is not printed and the reflected light level of the TFT pattern portion C.
Can be detected simultaneously and only the spacer can be binarized.
【００１８】そして、当該箇所の単位面積当たりのスペ
ーサの個数を計数し、該個数が設定された所定個数より
多いか否かが判別され、その結果がパソコン用ＬＣＤ４
２に表示され、次いで定盤１５を前後左右に移動させて
次の検査箇所に移動してスペーサの検査を続行する。そ
して、スペーサ検査装置１３で検査され良否が判別され
たガラス基板は移載ハンド４７に移載されて次工程に移
動される。Then, the number of spacers per unit area at the location is counted, and it is determined whether or not the number is larger than a set predetermined number. The result is the LCD 4 for personal computer.
2 is displayed, and then the surface plate 15 is moved forward, backward, leftward and rightward to move to the next inspection position and the inspection of the spacer is continued. Then, the glass substrate, which is inspected by the spacer inspection device 13 and is determined as good or bad, is transferred to the transfer hand 47 and moved to the next step.
【００１９】従って、定盤に埋め込んだ白色の反射体に
より、ガラス基板上のスペーサとＴＦＴパターン上のス
ペーサの反射光レベルが近づくため、スペーサのみの２
値化が可能で、容易にスペーサのみを検出し計数するこ
とができる。なお、上述実施例では、平面視円形の白色
の反射体を用いたが、これに限らず、平面視楕円、長
円、多角形、長方形等でもよいことは勿論である。Therefore, the white reflector embedded in the surface plate brings the reflected light levels of the spacer on the glass substrate and the spacer on the TFT pattern close to each other.
It can be digitized, and only the spacer can be detected and counted easily. In the above-described embodiment, the white reflector having a circular shape in plan view is used, but the present invention is not limited to this and may be an ellipse in plan view, an ellipse, a polygon, a rectangle, or the like.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
定盤に埋め込んだ白色の反射体により、ガラス基板上の
スペーサと薄膜トランジスタパターン上のスペーサの反
射光レベルが近づくため、スペーサのみの２値化が可能
で、容易かつ確実にスペーサのみを検出し検査すること
ができる。As described above, according to the present invention,
The white reflector embedded in the surface plate makes the reflected light levels of the spacer on the glass substrate and the spacer on the thin film transistor pattern close to each other, so only the spacer can be binarized, and only the spacer can be detected easily and reliably. can do.
【図１】液晶表示パネルの側断面図である。FIG. 1 is a side sectional view of a liquid crystal display panel.
【図２】製造途中の液晶表示パネルを示す側断面図であ
る。FIG. 2 is a side sectional view showing a liquid crystal display panel during manufacturing.
【図３】製造途中の液晶表示パネルを示す平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view showing a liquid crystal display panel being manufactured.
【図４】本発明による液晶表示パネルのスペーサ検査装
置を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a spacer inspection device for a liquid crystal display panel according to the present invention.
【図５】本発明による液晶表示パネルのスペーサ検査装
置を示す側面図である。FIG. 5 is a side view showing a spacer inspection device for a liquid crystal display panel according to the present invention.
【図６】本発明による液晶表示パネルのスペーサ検査装
置の検査ステージ部を示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing an inspection stage portion of a spacer inspection device for a liquid crystal display panel according to the present invention.
【図７】本発明による液晶表示パネルのスペーサ検査装
置の定盤を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側
断面図である。FIG. 7 shows a surface plate of a spacer inspection device for a liquid crystal display panel according to the present invention, (a) is a plan view thereof, and (b) is a side sectional view thereof.
【図８】本発明による液晶表示パネルのスペーサ検査装
置の定盤及びリングライト部分を示す側面図である。FIG. 8 is a side view showing a surface plate and a ring light portion of a spacer inspection device for a liquid crystal display panel according to the present invention.
【図９】図８において照射された光の照射光レベルを示
す説明図である。9 is an explanatory diagram showing an irradiation light level of the light emitted in FIG.
【図１０】従来の液晶表示パネルのスペーサ検査装置の
定盤及びリングライト部分を示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing a surface plate and a ring light portion of a conventional spacer inspection device for a liquid crystal display panel.
【図１１】図１０において照射された光の照射光レベル
を示す説明図である。11 is an explanatory diagram showing an irradiation light level of the light emitted in FIG.
１ 液晶表示パネル ２ カラーフィルタ ３ 液晶 ４ ＴＦＴパターン ５ ガラス基板 ７ スペーサ １１ 散布装置 １２ 移載ハンド １３ スペーサ検査装置 １５ 定盤 １５ａ 孔 ３３ 白色の反射体 ３５ ＣＣＤカメラ ３６ レンズ ３７ リングライト 1 Liquid Crystal Display Panel 2 Color Filter 3 Liquid Crystal 4 TFT Pattern 5 Glass Substrate 7 Spacer 11 Spreading Device 12 Transfer Hand 13 Spacer Inspection Device 15 Surface Plate 15a Hole 33 White Reflector 35 CCD Camera 36 Lens 37 Ring Light
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 博 東京都中央区日本橋小網町19−12 日清製 粉株式会社内 (72)発明者 宮川 君夫 東京都中央区日本橋小網町19−12 日清製 粉株式会社内 (72)発明者 森山 秀男 東京都中央区日本橋小網町18−４ 日清エ ンジニアリング株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hiroshi Murata 19-12 Nihombashi Koamicho, Chuo-ku, Tokyo Inside Nisshin Seifun Co., Ltd. (72) Inventor Kimio Miyagawa 19-12 Nihombashi Koami-cho, Chuo-ku, Tokyo Nisshin Seifun Co., Ltd. (72) Inventor Hideo Moriyama 18-4 Nihombashi Koamimachi, Chuo-ku, Tokyo Nisshin Engineering Co., Ltd.
Claims (1)
れたガラス基板上に均一にスペーサを散布して被検体と
し、 該被検体を、所定間隔を有して刻設された多数の溝にそ
れぞれ白色の反射体を埋め込んだ定盤上に載置し、 前記定盤の白色の反射体上の前記被検体を照射して、そ
の反射光により前記スペーサを検出してなることを特徴
とする液晶表示パネルのスペーサ検査装置。1. A glass substrate on which a thin film transistor pattern is printed is uniformly dispersed with spacers to form an object to be inspected, and the object to be inspected is a white reflector in each of a large number of grooves engraved at predetermined intervals. Is placed on a surface plate embedded with, the subject is irradiated on the white reflector of the surface plate, the spacer is detected by the reflected light, the spacer of the liquid crystal display panel Inspection device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10974395A JPH08304227A (en) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | Device for inspecting spacer of liquid crystal display panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10974395A JPH08304227A (en) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | Device for inspecting spacer of liquid crystal display panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304227A true JPH08304227A (en) | 1996-11-22 |
Family
ID=14518127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10974395A Pending JPH08304227A (en) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | Device for inspecting spacer of liquid crystal display panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304227A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101603867B1 (en) * | 2015-01-30 | 2016-03-15 | 양승주 | High-intensity lighting equipment for flat panel display inspection |
-
1995
- 1995-05-08 JP JP10974395A patent/JPH08304227A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101603867B1 (en) * | 2015-01-30 | 2016-03-15 | 양승주 | High-intensity lighting equipment for flat panel display inspection |
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