JPH08296099A - Electrolytic etching method and device therefor - Google Patents

Electrolytic etching method and device therefor

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JPH08296099A
JPH08296099A JP10568695A JP10568695A JPH08296099A JP H08296099 A JPH08296099 A JP H08296099A JP 10568695 A JP10568695 A JP 10568695A JP 10568695 A JP10568695 A JP 10568695A JP H08296099 A JPH08296099 A JP H08296099A
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JP
Japan
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metal strip
strip
electrode
electrolytic solution
electrolytic
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Application number
JP10568695A
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Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Naruse
豊 成瀬
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JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To control the etching strength in the transverse direction of a metallic strip by measuring the etching intensity distribution in the transverse direction and changing the concn. of an electrolyte to be ejected in the transverse direction of the metallic strip based on the measured result. CONSTITUTION: The strip 1 in an electrolytic cell 2 comes into contact with a conductor roll 3, by which electricity is fed to the strip. Electrodes 5 disposed parallel with the strips 1 in this electrolytic cell 2 energize the strip 1 via the electrolyte 4. The strip 1 is continuously electrolytically etched. The electrolyte 4 is blown out between the strip 1 and the electrodes 5 from nozzles 6 divided in the transverse direction of the strip 1. The low-concentration electrolyte is supplied via a flow rate control valve 15a and the high-concn. electrolyte via a flow rate control valve 15b to each of the respective chambers of the nozzles 6. The etching intensity distribution of the strip 1 is measured by an etching intensity sensor 19 and the concn. of the electrolyte is adjusted by controlling these flow rate control valves 15a, 15b, by which the etching intensity in the transverse direction of the strip 1 is controlled.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、鋼帯等の金属ストリッ
プ(以下、単にストリップという)に連続処理により電
解エッチングを行う電解エッチング方法およびその装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrolytic etching method and apparatus for electrolytically etching a metal strip such as a steel strip (hereinafter simply referred to as "strip") by continuous treatment.

【0002】[0002]

【従来の技術】ストリップの金属特性を向上させるた
め、ストリップ表面にレジスト印刷を行った上で電解エ
ッチングを施してストリップ表面に微細な凹凸を形成さ
せることが行われている。すなわち、電解液を満たした
セルの内部に電極を設置し、ストリップを陰極、電極を
陽極に接続し、表面にレジスト印刷を行ったストリップ
を電解液に浸漬させた状態でセル内を通過させ、電解液
を介してストリップと電極間に電流を流すことによりス
トリップ表面のレジストの付着していない部分を電気分
解して除去するのである。
2. Description of the Related Art In order to improve the metal characteristics of strips, resist printing is performed on the strip surface and then electrolytic etching is performed to form fine irregularities on the strip surface. That is, the electrode is installed inside the cell filled with the electrolytic solution, the strip is connected to the cathode, the electrode is connected to the anode, and the strip having resist printing on the surface is passed through the cell while being immersed in the electrolytic solution. By passing a current between the strip and the electrode through the electrolytic solution, the portion of the strip surface where the resist is not adhered is electrolyzed and removed.

【0003】エッチングの処理の程度(以下エッチング
強度という)は、ストリップ表面における電流密度や、
電解液との相対速度に影響されることが知られている。
そこで、従来、幅方向のエッチング強度のばらつきをな
くして安定させるため、特公昭58-19749号公報に記載さ
れているように電極をストリップの幅方向に分割し、各
々の電極に流れる電流を制御することや、エッジ部分へ
の電流集中を是正するため、特開昭60−245799号公報、
特開平6-306695号公報等に記載されているようにアノー
ドマスクまたはエッジマスクを設けるなどの試みがなさ
れている。
The degree of etching treatment (hereinafter referred to as etching strength) depends on the current density on the strip surface,
It is known to be affected by the relative velocity with the electrolyte.
Therefore, conventionally, in order to eliminate variations in the etching strength in the width direction and stabilize it, the electrodes are divided in the width direction of the strip as described in JP-B-58-19749, and the current flowing through each electrode is controlled. In order to correct the current concentration on the edge portion, JP-A-60-245799,
Attempts have been made to provide an anode mask or an edge mask as described in JP-A-6-306695.

【0004】ところで、上記の電極をストリップの幅方
向に分割し各々の電極に流れる電流を制御する方法にお
いては、電流制御の手段として電極電圧を制御するた
め、これを実施すると、各電極の電圧が異なるので電極
とストリップの間ではなく、電極相互間に電流が流れる
短絡現象が発生し、幅方向の電流制御は困難である。ま
た、エッジマスクを設ける方法は、セルおよびストリッ
プのパスラインが水平方向であれば実施容易であるが、
陽極を円筒状に配置したラジアルセルの場合は構造が複
雑で実用化が困難であるなどの問題点があった。
By the way, in the method of dividing the above electrodes in the width direction of the strip and controlling the current flowing through each electrode, the electrode voltage is controlled as a means for controlling the current. However, a short circuit phenomenon occurs in which a current flows between the electrodes, not between the electrodes and the strip, which makes it difficult to control the current in the width direction. Further, the method of providing the edge mask is easy to implement if the pass lines of the cells and strips are in the horizontal direction,
The radial cell in which the anode is arranged in a cylindrical shape has a problem that the structure is complicated and practical application is difficult.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解消し、幅方向に安定したエッチング強度を達成す
る電解エッチング方法およびその装置を実現することを
目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems and to realize an electrolytic etching method and an apparatus therefor which achieves stable etching strength in the width direction.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の問
題点を解消するためにストリップの幅方向の電流密度を
制御するには、電極とストリップの間の電解液抵抗を幅
方向に変化させることで達成可能であることに着目し、
本発明を完成するに至った。すなわち請求項1に記載の
本発明は、金属ストリップに連続処理により電解エッチ
ングを行うに際し、金属ストリップのエッジ位置を検出
するとともに金属ストリップの幅方向のエッチング強度
分布を測定し、これらの検出、測定結果にもとづいて金
属ストリップと電極との間に噴出させる電解液濃度を金
属ストリップの幅方向に変化させることを特徴とする金
属ストリップの電解エッチング方法である。
In order to solve the above problems, the inventors of the present invention have to control the current density in the width direction of the strip by changing the electrolyte resistance between the electrode and the strip in the width direction. Focusing on what can be achieved by changing,
The present invention has been completed. That is, according to the first aspect of the present invention, when electrolytic etching is performed on a metal strip by a continuous process, the edge position of the metal strip is detected and the etching strength distribution in the width direction of the metal strip is measured. Based on the result, the electrolytic etching method for a metal strip is characterized in that the concentration of the electrolytic solution ejected between the metal strip and the electrode is changed in the width direction of the metal strip.

【0007】請求項2に記載の本発明は、金属ストリッ
プに連続処理により電解エッチングを行うに際し、金属
ストリップのエッジ位置を検出するとともに電極を金属
ストリップの幅方向に分割して各々の電極に流れる電流
値を測定し、これらの検出、測定結果にもとづいて金属
ストリップと電極との間に噴出させる電解液濃度を金属
ストリップの幅方向に変化させることを特徴とする金属
ストリップの電解エッチング方法である。
According to the second aspect of the present invention, when electrolytic etching is performed on a metal strip by continuous treatment, the edge position of the metal strip is detected and the electrodes are divided in the width direction of the metal strip to flow to each electrode. An electrolytic etching method for a metal strip, which comprises measuring an electric current value and changing the concentration of an electrolytic solution ejected between the metal strip and the electrode in the width direction of the metal strip based on the detection and measurement results. .

【0008】請求項3に記載の本発明は、高濃度電解液
と低濃度電解液を準備し、これらを混合することにより
噴出させる電解液濃度を調整する請求項1または2に記
載の金属ストリップの電解エッチング方法である。請求
項4に記載の本発明は、金属ストリップのエッジ部分の
電解液濃度をその他の部分の電解液濃度よりも低くする
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の
金属ストリップの電解エッチング方法である。
The present invention according to claim 3 provides a metal strip according to claim 1 or 2 in which a high-concentration electrolytic solution and a low-concentration electrolytic solution are prepared and the concentration of the electrolytic solution to be ejected is adjusted by mixing these. This is the electrolytic etching method. The invention according to claim 4 is characterized in that the concentration of the electrolytic solution in the edge portion of the metal strip is made lower than the concentration of the electrolytic solution in the other portions. This is an electrolytic etching method.

【0009】請求項5に記載の本発明は、金属ストリッ
プに連続処理により電解エッチングを行うに際し、電極
を金属ストリップの幅方向に分割し、金属ストリップの
エッジ位置を検出するとともに金属ストリップの幅方向
のエッチング強度分布を測定し、これらの検出、測定結
果にもとづいて電極を昇降させて金属ストリップと電極
との距離をストリップの幅方向に変化させることを特徴
とする金属ストリップの電解エッチング方法である。
According to a fifth aspect of the present invention, when electrolytically etching a metal strip by a continuous process, the electrode is divided in the width direction of the metal strip, the edge position of the metal strip is detected, and the width direction of the metal strip is detected. Is a method for electrolytically etching a metal strip, characterized in that the etching strength distribution of the metal strip is measured, and the electrode is moved up and down based on the detection and measurement results to change the distance between the metal strip and the electrode in the width direction of the strip. .

【0010】請求項6に記載の本発明は、金属ストリッ
プに連続処理により電解エッチングを行うに際し、電極
を金属ストリップの幅方向に分割し、金属ストリップの
エッジ位置を検出するとともに分割された各々の電極に
流れる電流値を測定し、これらの検出、測定結果にもと
づいて電極を昇降させて金属ストリップと電極との距離
をストリップの幅方向に変化させることを特徴とする金
属ストリップの電解エッチング方法である。
According to a sixth aspect of the present invention, when electrolytic etching is performed on a metal strip by a continuous process, the electrodes are divided in the width direction of the metal strip, and the edge position of the metal strip is detected and each of the divided portions is detected. An electrolytic etching method for a metal strip, characterized in that the current value flowing through the electrode is measured, and the distance between the metal strip and the electrode is changed in the width direction of the strip by raising or lowering the electrode based on these detection and measurement results. is there.

【0011】請求項7に記載の本発明は、金属ストリッ
プのエッジ部分の金属ストリップと電極との距離をその
他の部分よりも大きくすることを特徴とする請求項5ま
たは6に記載の金属ストリップの電解エッチング方法で
ある。請求項8に記載の本発明は、電解セルの一端に、
この電解セル内を水平方向に走行する金属ストリップ
と、この金属ストリップの下面にこれと平行して設置さ
れた電極との中間に電解液を吹き出すノズルを設けた金
属ストリップの電解エッチング装置において、前記ノズ
ルがストリップの幅方向に分割されており、分割単位毎
に低濃度電解液配管と高濃度電解液配管とがそれぞれ流
量調節弁を経て接続されていることを特徴とする金属ス
トリップの電解エッチング装置である。
The present invention according to claim 7 is characterized in that the distance between the metal strip at the edge portion of the metal strip and the electrode is made larger than that at the other portions. This is an electrolytic etching method. The present invention according to claim 8 provides, at one end of the electrolytic cell,
In a metal strip electrolytic etching apparatus provided with a nozzle that blows out an electrolytic solution in the middle of a metal strip running horizontally in the electrolytic cell and an electrode installed in parallel with the metal strip on the lower surface of the metal strip, The nozzle is divided in the width direction of the strip, and a low-concentration electrolytic solution pipe and a high-concentration electrolytic solution pipe are connected to each divided unit through a flow rate control valve, respectively, and an electrolytic etching apparatus for a metal strip. Is.

【0012】請求項9に記載の本発明は、電解液の循環
系内に、電解液の溶質と溶媒とを分離する電解液分離器
を備えた請求項8に記載の金属ストリップの電解エッチ
ング装置である。請求項10に記載の本発明は、電解セル
の一端に、この電解セル内を水平方向に走行する金属ス
トリップと、この金属ストリップの下面にこれと平行し
て設置された電極との中間に電解液を吹き出すノズルを
設けた金属ストリップの電解エッチング装置において、
前記電極がストリップの幅方向に分割されており、分割
単位毎にこれを昇降させる昇降機構に接続されているこ
とを特徴とする金属ストリップの電解エッチング装置で
ある。
The present invention according to claim 9 is the electrolytic etching apparatus for a metal strip according to claim 8, wherein an electrolytic solution separator for separating a solute and a solvent of the electrolytic solution is provided in a circulation system of the electrolytic solution. Is. The present invention according to claim 10 is characterized in that, at one end of an electrolysis cell, a metal strip running in the electrolysis cell in a horizontal direction and an electrode provided on the lower surface of the metal strip in parallel with the metal strip are electrolyzed in the middle. In an electrolytic etching apparatus for metal strips equipped with a nozzle that blows out liquid,
In the metal strip electrolytic etching apparatus, the electrode is divided in the width direction of the strip and is connected to an elevating mechanism for elevating the electrode for each division unit.

【0013】[0013]

【作 用】本発明によれば、電極とストリップの間の電
解液抵抗を幅方向に変化させてエッチング強度をストリ
ップの幅方向に変化させるのであるが、その具体的やり
方として、第1に電解液の濃度をストリップの幅方向に
変化させる方法、第2にストリップと電極との距離をス
トリップの幅方向に変化させる方法があり、第1の方法
に対しては電解液を噴出させるノズルを幅方向に分割
し、電解液の循環系内に電解液の溶質と溶媒を分離する
電解液分離器を備え、低濃度電解液と高濃度電解液とを
任意の割合で混合して所望の電解液抵抗値を実現するも
のである。また、第2の方法に対しては、電極を幅方向
に分割し、昇降機構により分割単位毎にこれを昇降させ
て所望の電解液抵抗値を実現するものである。
[Operation] According to the present invention, the electrolytic solution resistance between the electrode and the strip is changed in the width direction to change the etching strength in the width direction of the strip. There is a method of changing the concentration of the liquid in the width direction of the strip, and a second method of changing the distance between the strip and the electrode in the width direction of the strip. Direction, and provided with an electrolytic solution separator for separating the solute and solvent of the electrolytic solution in the electrolytic solution circulation system, the desired electrolytic solution by mixing the low-concentration electrolytic solution and the high-concentration electrolytic solution at an arbitrary ratio It realizes a resistance value. Further, in the second method, the electrode is divided in the width direction, and the elevating mechanism elevates and lowers each of the division units to realize a desired electrolytic solution resistance value.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

実施例1 本発明の第1の実施例を図1、図2により説明する。図
1はこの実施例における機器構成を示す概念図、図2は
そのAA矢視による電解セル部分の水平方向断面図で、
1はストリップ、2は電解セル、3はコンダクタロー
ル、4は電解液、5は電極、6は電解液を吹き出すノズ
ル、7は電解液の回収ヘッダ、8は電解液回収タンク、
9は送液ポンプ、10は電解液分離器、11は電解液タンク
で11a は低濃度電解液タンク、11b は高濃度電解液タン
ク、13は送液ポンプで13a は低濃度電解液送液ポンプ、
13b は高濃度電解液送液ポンプ、15は流量調整弁、16は
流量計、17はFIC(流量指示調節器)、18はプロセス
コンピュータ、19はエッチング強度センサ、20はストリ
ップエッジ検出器である。
First Embodiment A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a conceptual diagram showing a device configuration in this embodiment, and FIG. 2 is a horizontal sectional view of an electrolytic cell portion taken along the line AA.
1 is a strip, 2 is an electrolytic cell, 3 is a conductor roll, 4 is an electrolytic solution, 5 is an electrode, 6 is a nozzle for blowing out an electrolytic solution, 7 is a recovery header of the electrolytic solution, 8 is an electrolytic solution recovery tank,
9 is a liquid sending pump, 10 is an electrolytic solution separator, 11 is an electrolytic solution tank, 11a is a low concentration electrolytic solution tank, 11b is a high concentration electrolytic solution tank, 13 is a liquid sending pump, and 13a is a low concentration electrolytic solution sending pump. ,
13b is a high concentration electrolyte solution sending pump, 15 is a flow rate adjusting valve, 16 is a flow meter, 17 is a FIC (flow rate indicating controller), 18 is a process computer, 19 is an etching intensity sensor, and 20 is a strip edge detector. .

【0015】電解セル2内のストリップ1は、コンダク
タロール3に接触し、電解セル2内にストリップ1に平
行して設けられている電極5との間で電解液4を介して
通電される。電解液4は、ストリップの幅方向に分割さ
れたノズル6よりストリップ1と電極5の中間に吹き出
される。本実施例では、エッチングの処理条件に従い、
ストリップの幅方向に供給する電解液の濃度を変化させ
ることを特徴としている。
The strip 1 in the electrolysis cell 2 is in contact with the conductor roll 3 and is energized via the electrolytic solution 4 with the electrode 5 provided in the electrolysis cell 2 in parallel with the strip 1. The electrolytic solution 4 is blown out to the middle of the strip 1 and the electrode 5 from nozzles 6 divided in the width direction of the strip. In this embodiment, according to the etching processing conditions,
It is characterized in that the concentration of the electrolytic solution supplied in the width direction of the strip is changed.

【0016】図2に示すように、ノズル6の幅方向に分
割された各室には、流量調整弁15aを経て低濃度電解液
が、また流量調整弁15b を経て高濃度電解液が任意の濃
度に混合されて供給される。電解液は濃度が高い程電気
抵抗が低いため、高濃度の部分はエッチング強度が高く
なり、低濃度の部分はエッチング強度が低くなる。エッ
チング強度センサ19は例えばCCDカメラと画像処理装
置を組み合わせたもので、電解セル2の出側に設置され
る。これをストリップの幅方向に複数台並べるか、ある
いは1台のセンサを幅方向にスキャンさせて、ストリッ
プの幅方向のエッチング強度分布を測定し、その結果を
プロセスコンピュータ18に伝送する。プロセスコンピュ
ータ18はその測定結果により設定値との差を演算し、F
IC17への設定値を変更する。これにより流量調整弁15
a 、流量調整弁15b の開度が変化し、ノズル6で混合さ
れる電解液の濃度が変更される。
As shown in FIG. 2, in each of the chambers divided in the width direction of the nozzle 6, a low concentration electrolytic solution is passed through the flow rate adjusting valve 15a, and a high concentration electrolytic solution is passed through the flow rate adjusting valve 15b. It is mixed and supplied at a concentration. The higher the concentration of the electrolytic solution is, the lower the electric resistance is. Therefore, the high concentration portion has high etching strength, and the low concentration portion has low etching strength. The etching intensity sensor 19 is, for example, a combination of a CCD camera and an image processing device, and is installed on the output side of the electrolytic cell 2. A plurality of the sensors are arranged in the width direction of the strip, or one sensor is scanned in the width direction to measure the etching intensity distribution in the width direction of the strip, and the result is transmitted to the process computer 18. The process computer 18 calculates the difference from the set value based on the measurement result, and F
Change the set value to IC17. This allows the flow rate adjustment valve 15
a, the opening of the flow rate adjusting valve 15b is changed, and the concentration of the electrolytic solution mixed in the nozzle 6 is changed.

【0017】例えばストリップ1のエッジ部における電
流集中を是正するには、電解セル2の入側にストリップ
エッジ検出器20を設置し、これにより検出されたストリ
ップエッジ位置に対してプロセスコンピュータ18による
エッチング強度の設定値を低く設定する。これにより他
の部分に比較してエッジ部の電解液濃度が低くなり、電
流集中が是正される。
For example, in order to correct the current concentration at the edge portion of the strip 1, a strip edge detector 20 is installed on the inlet side of the electrolytic cell 2, and the process computer 18 performs etching on the detected strip edge position. Set a lower strength setting. As a result, the concentration of the electrolytic solution in the edge portion becomes lower than that in other portions, and current concentration is corrected.

【0018】エッチング強度センサ19を省略することも
できる。この場合は、プロセスコンピュータ18で直接濃
度を設定することになる。ところで、電解液4はサーキ
ュレーション設備により循環して使用するのが普通であ
る。このため、電解セル2入側ストリップ下面の、ノズ
ル6に対向する位置に回収ヘッダ7が設けられる。これ
により回収された電解液4は、混合された濃度となるの
で、再び高濃度のものと低濃度のものに分離する必要が
ある。そこで電解液回収タンク8に続いて送液ポンプ9
を介してイオン交換樹脂等の電解液分離器10を設け、こ
こで電解液を溶質と溶媒に分離し、低濃度の電解液は低
濃度電解液タンク11a に、高濃度の電解液は高濃度電解
液タンク11b に取り出し、送液ポンプ13a 、13b 、流量
調整弁15a 、15b を経てノズル6までそれぞれ別系統で
供給する。
The etching intensity sensor 19 can be omitted. In this case, the process computer 18 directly sets the density. By the way, it is usual that the electrolytic solution 4 is circulated and used by a circulation facility. Therefore, the recovery header 7 is provided on the lower surface of the strip on the inlet side of the electrolysis cell 2 at a position facing the nozzle 6. Since the electrolyte solution 4 thus recovered has a mixed concentration, it is necessary to separate it into a high concentration one and a low concentration one again. Therefore, the electrolyte recovery tank 8 is followed by the liquid delivery pump 9
An electrolytic solution separator 10 such as an ion exchange resin is provided via the separator, where the electrolytic solution is separated into a solute and a solvent, the low-concentration electrolytic solution is stored in the low-concentration electrolytic solution tank 11a, and the high-concentration electrolytic solution is concentrated in the high-concentration electrolytic solution. It is taken out to the electrolytic solution tank 11b, and supplied to the nozzle 6 through separate systems via the liquid feed pumps 13a and 13b and the flow rate adjusting valves 15a and 15b.

【0019】実施例2 本発明の第2の実施例を図3、図4により説明する。図
3は図1と同様にこの実施例における機器構成を示す概
念図、図4はそのBB矢視による電解セル部分の垂直方
向断面図で、各符号はこれまでと同じものを使用した
他、21は電源、22は電流計、23は絶縁物である。
Second Embodiment A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a conceptual diagram showing a device configuration in this embodiment similarly to FIG. 1, and FIG. 4 is a vertical cross-sectional view of an electrolysis cell portion taken along the line BB, and each reference numeral is the same as before, 21 is a power source, 22 is an ammeter, and 23 is an insulator.

【0020】この実施例では、図4に示すように電極5
がストリップの幅方向に分割され、その境界部分には絶
縁物23が挿入されている。さきの実施例1のようにエッ
チング強度センサ19は使用せず、分割された各電極に流
れる電流値を電流計22で測定してエッチング強度を推定
し、適正な電流値分布となるよう、実施例1と同様の混
合により幅方向の電解液濃度を制御する。
In this embodiment, as shown in FIG.
Are divided in the width direction of the strip, and an insulator 23 is inserted in the boundary portion. The etching strength sensor 19 is not used as in the first embodiment, but the etching strength is estimated by measuring the current value flowing through each of the divided electrodes with the ammeter 22 so that an appropriate current value distribution is obtained. The concentration of the electrolytic solution in the width direction is controlled by the same mixing as in Example 1.

【0021】実施例3 本発明の第3の実施例を図5、図6により説明する。図
5は図1と同様にこの実施例における機器構成を示す概
念図、図6はそのCC矢視による電解セル部分の垂直方
向断面図で、各符号はこれまでと同じものを使用した
他、24は電極高さ調整機構、25はサーボモータ、26は電
極高さ制御器である。
Third Embodiment A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a conceptual diagram showing a device configuration in this embodiment similarly to FIG. 1, and FIG. 6 is a vertical cross-sectional view of an electrolytic cell portion taken along the CC arrow, and each reference numeral is the same as before, 24 is an electrode height adjusting mechanism, 25 is a servo motor, and 26 is an electrode height controller.

【0022】図6に示すように、電極5はストリップの
幅方向に分割され、その境界部分には絶縁物23が挿入さ
れ、かつ、それぞれの電極は電極高さ調整機構24を介し
て高さ方向に昇降自在に支持されている。ストリップ1
と電極5との距離が短いと、電解液中の電気抵抗は減少
するので、電極を下降させればエッチング強度は弱くな
り、電極を上昇させればエッチング強度は強くなる。
As shown in FIG. 6, the electrode 5 is divided in the width direction of the strip, an insulator 23 is inserted in the boundary portion, and each electrode is height-adjusted by an electrode height adjusting mechanism 24. It is supported so that it can move up and down. Strip 1
When the distance between the electrode and the electrode 5 is short, the electric resistance in the electrolytic solution decreases, so that the etching strength becomes weak when the electrode is lowered, and the etching strength becomes strong when the electrode is raised.

【0023】さきの実施例1と同様に、エッチング強度
センサ19およびストリップエッジ検出器20を使用し、ス
トリップ幅方向のエッチング強度分布を測定し、プロセ
スコンピュータ18において所定のエッチング処理条件と
対比し、電極高さ制御器26によりサーボモータ25を回転
させて電極高さ調整機構24を駆動し、電極を昇降させて
所期のエッチング強度分布を実現する。例えば、ストリ
ップ1のエッジ部における電流集中を是正するには、エ
ッチング強度センサ19の測定結果に基づいて電極5を下
降させればよい。
Similar to the first embodiment, the etching intensity sensor 19 and the strip edge detector 20 are used to measure the etching intensity distribution in the strip width direction, and the process computer 18 compares them with predetermined etching treatment conditions. The electrode height controller 26 rotates the servo motor 25 to drive the electrode height adjusting mechanism 24 to raise and lower the electrode to achieve the desired etching intensity distribution. For example, in order to correct the current concentration at the edge portion of the strip 1, the electrode 5 may be lowered based on the measurement result of the etching intensity sensor 19.

【0024】本実施例では、電解液4の濃度分布は均一
としているので、ストリップと電解液との接触は噴流方
式でなく浸漬方式であり、電解液4は電解セル2内に入
れられており、ストリップ1はその中をくぐり抜ける。
なおこの実施例に、さらに実施例1に記載されているよ
うに、濃度を変化させることのできる電解液を噴出させ
るノズルを加え、エッチング状況に基づいて電解液濃度
を変化させてもよい。
In this embodiment, since the concentration distribution of the electrolytic solution 4 is uniform, the contact between the strip and the electrolytic solution is not the jet method but the immersion method, and the electrolytic solution 4 is put in the electrolytic cell 2. , Strip 1 passes through it.
Note that, as described in Example 1, a nozzle for ejecting an electrolytic solution whose concentration can be changed may be added to this Example to change the electrolytic solution concentration based on the etching condition.

【0025】実施例4 本発明の第4の実施例を図7により説明する。図7は図
6と同様の電解セル部分の垂直方向断面図で、各符号は
これまでと同じものを使用している。さきの実施例2と
同様に、分割された各電極に流れる電流値を電流計22で
測定してエッチング強度を推定し、適正な電流値分布と
なるよう、実施例3と同様に電極高さ制御器26によりサ
ーボモータ25を回転させて電極高さ調整機構24を駆動
し、電極を昇降させて所期のエッチング強度分布を実現
する。
Fourth Embodiment A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of an electrolytic cell portion similar to that of FIG. 6, and the same reference numerals are used for the respective reference numerals. As in the case of the second embodiment, the current value flowing through each divided electrode is measured by the ammeter 22 to estimate the etching strength, and the electrode height is adjusted in the same manner as in the third embodiment so that an appropriate current value distribution is obtained. The controller 26 rotates the servo motor 25 to drive the electrode height adjusting mechanism 24, and raises and lowers the electrode to realize a desired etching intensity distribution.

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明によれば、電解エッチング処理に
おいてストリップ幅方向のエッチング強度の制御が可能
となり、ストリップの品質が安定しかつ向上するという
すぐれた効果を奏する。
According to the present invention, the etching strength in the strip width direction can be controlled in the electrolytic etching process, and the excellent effect of stabilizing and improving the quality of the strip can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の機器構成を示す概念図
である。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing a device configuration of a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のAA矢視による水平方向断面図である。FIG. 2 is a horizontal sectional view taken along the line AA of FIG.

【図3】本発明の第2の実施例の機器構成を示す概念図
である。
FIG. 3 is a conceptual diagram showing a device configuration of a second embodiment of the present invention.

【図4】図3のBB矢視による垂直方向断面図である。FIG. 4 is a vertical sectional view taken along the line BB of FIG.

【図5】本発明の第3の実施例の機器構成を示す概念図
である。
FIG. 5 is a conceptual diagram showing a device configuration of a third embodiment of the present invention.

【図6】図5のCC矢視による垂直方向断面図である。6 is a vertical sectional view taken along the line CC of FIG.

【図7】本発明の第4の実施例の機器構成における垂直
方向断面図である。
FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of the device configuration of the fourth example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ストリップ 2 電解セル 3 コンダクタロール 4 電解液 5 電極 6 ノズル 7 回収ヘッダ 8 電解液回収タンク 9、13 送液ポンプ 10 電解液分離器 11 電解液タンク 15 流量調整弁 16 流量計 17 FIC(流量指示調節器) 18 プロセスコンピュータ 19 エッチング強度センサ 20 ストリップエッジ検出器 21 電源 22 電流計 23 絶縁物 24 電極高さ調整機構 25 サーボモータ 26 電極高さ制御器 1 Strip 2 Electrolytic Cell 3 Conductor Roll 4 Electrolyte 5 Electrode 6 Nozzle 7 Recovery Header 8 Electrolyte Collection Tank 9, 13 Liquid Delivery Pump 10 Electrolyte Separator 11 Electrolyte Tank 15 Flow Control Valve 16 Flowmeter 17 FIC (Flow Indication) Controller 18 Process computer 19 Etching intensity sensor 20 Strip edge detector 21 Power supply 22 Ammeter 23 Insulator 24 Electrode height adjustment mechanism 25 Servo motor 26 Electrode height controller

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 金属ストリップに連続処理により電解エ
ッチングを行うに際し、金属ストリップのエッジ位置を
検出するとともに金属ストリップの幅方向のエッチング
強度分布を測定し、これらの検出、測定結果にもとづい
て金属ストリップと電極との間に噴出させる電解液濃度
を金属ストリップの幅方向に変化させることを特徴とす
る金属ストリップの電解エッチング方法。
1. When performing electrolytic etching on a metal strip by continuous treatment, the edge position of the metal strip is detected and the etching strength distribution in the width direction of the metal strip is measured, and the metal strip is detected based on these detection results. An electrolytic etching method for a metal strip, characterized in that the concentration of the electrolytic solution ejected between the electrode and the electrode is changed in the width direction of the metal strip.
【請求項2】 金属ストリップに連続処理により電解エ
ッチングを行うに際し、金属ストリップのエッジ位置を
検出するとともに電極を金属ストリップの幅方向に分割
して各々の電極に流れる電流値を測定し、これらの検
出、測定結果にもとづいて金属ストリップと電極との間
に噴出させる電解液濃度を金属ストリップの幅方向に変
化させることを特徴とする金属ストリップの電解エッチ
ング方法。
2. When electrolytic etching is performed on a metal strip by continuous treatment, the edge position of the metal strip is detected, the electrodes are divided in the width direction of the metal strip, and the current value flowing through each electrode is measured. An electrolytic etching method for a metal strip, characterized in that the concentration of the electrolytic solution ejected between the metal strip and the electrode is changed in the width direction of the metal strip based on the detection and measurement results.
【請求項3】 高濃度電解液と低濃度電解液を準備し、
これらを混合することにより噴出させる電解液濃度を調
整する請求項1または2に記載の金属ストリップの電解
エッチング方法。
3. A high concentration electrolytic solution and a low concentration electrolytic solution are prepared,
The electrolytic etching method for a metal strip according to claim 1, wherein the concentration of the electrolytic solution to be ejected is adjusted by mixing these.
【請求項4】 金属ストリップのエッジ部分の電解液濃
度をその他の部分の電解液濃度よりも低くすることを特
徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の金属スト
リップの電解エッチング方法。
4. The electrolytic etching method for a metal strip according to claim 1, wherein the concentration of the electrolytic solution in the edge portion of the metal strip is set lower than the concentration of the electrolytic solution in the other portions.
【請求項5】 金属ストリップに連続処理により電解エ
ッチングを行うに際し、電極を金属ストリップの幅方向
に分割し、金属ストリップのエッジ位置を検出するとと
もに金属ストリップの幅方向のエッチング強度分布を測
定し、これらの検出、測定結果にもとづいて電極を昇降
させて金属ストリップと電極との距離をストリップの幅
方向に変化させることを特徴とする金属ストリップの電
解エッチング方法。
5. When electrolytically etching a metal strip by continuous treatment, the electrode is divided in the width direction of the metal strip, the edge position of the metal strip is detected, and the etching strength distribution in the width direction of the metal strip is measured. An electrolytic etching method for a metal strip, characterized in that the electrode is moved up and down based on the detection and measurement results to change the distance between the metal strip and the electrode in the width direction of the strip.
【請求項6】 金属ストリップに連続処理により電解エ
ッチングを行うに際し、電極を金属ストリップの幅方向
に分割し、金属ストリップのエッジ位置を検出するとと
もに分割された各々の電極に流れる電流値を測定し、こ
れらの検出、測定結果にもとづいて電極を昇降させて金
属ストリップと電極との距離をストリップの幅方向に変
化させることを特徴とする金属ストリップの電解エッチ
ング方法。
6. When performing electrolytic etching on a metal strip by continuous treatment, the electrode is divided in the width direction of the metal strip, the edge position of the metal strip is detected, and the current value flowing through each divided electrode is measured. An electrolytic etching method for a metal strip, characterized in that the electrode is moved up and down based on these detection and measurement results to change the distance between the metal strip and the electrode in the width direction of the strip.
【請求項7】 金属ストリップのエッジ部分の金属スト
リップと電極との距離をその他の部分よりも大きくする
ことを特徴とする請求項5または6に記載の金属ストリ
ップの電解エッチング方法。
7. The electrolytic etching method for a metal strip according to claim 5, wherein the distance between the metal strip and the electrode at the edge portion of the metal strip is made larger than that at other portions.
【請求項8】 電解セルの一端に、この電解セル内を水
平方向に走行する金属ストリップと、この金属ストリッ
プの下面にこれと平行して設置された電極との中間に電
解液を吹き出すノズルを設けた金属ストリップの電解エ
ッチング装置において、前記ノズルがストリップの幅方
向に分割されており、分割単位毎に低濃度電解液配管と
高濃度電解液配管とがそれぞれ流量調節弁を経て接続さ
れていることを特徴とする金属ストリップの電解エッチ
ング装置。
8. A nozzle for blowing out an electrolytic solution is provided at one end of an electrolysis cell between a metal strip horizontally running in the electrolysis cell and an electrode provided on a lower surface of the metal strip in parallel with the metal strip. In the electrolytic etching apparatus for metal strips provided, the nozzle is divided in the width direction of the strip, and the low-concentration electrolytic solution pipe and the high-concentration electrolytic solution pipe are connected to each divided unit via a flow rate control valve. An electrolytic etching apparatus for a metal strip, which is characterized in that:
【請求項9】 電解液の循環系内に、電解液の溶質と溶
媒とを分離する電解液分離器を備えた請求項8に記載の
金属ストリップの電解エッチング装置。
9. The electrolytic etching device for a metal strip according to claim 8, wherein an electrolytic solution separator for separating a solute and a solvent of the electrolytic solution is provided in a circulating system of the electrolytic solution.
【請求項10】 電解セルの一端に、この電解セル内を水
平方向に走行する金属ストリップと、この金属ストリッ
プの下面にこれと平行して設置された電極との中間に電
解液を吹き出すノズルを設けた金属ストリップの電解エ
ッチング装置において、前記電極がストリップの幅方向
に分割されており、分割単位毎にこれを昇降させる昇降
機構に接続されていることを特徴とする金属ストリップ
の電解エッチング装置。
10. A nozzle for blowing out an electrolytic solution is provided at one end of an electrolysis cell between a metal strip horizontally running in the electrolysis cell and an electrode provided on a lower surface of the metal strip in parallel with the metal strip. In the provided electrolytic etching apparatus for metal strip, the electrode is divided in the width direction of the strip, and is connected to an elevating mechanism for elevating and lowering the electrode for each division unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR2831708A1 (en) * 2001-10-29 2003-05-02 Thomson Licensing Sa METHOD AND DEVICE FOR STRIPPING A CONDUCTIVE THIN FILM DEPOSITED ON AN INSULATING PLATE, TO FORM AN ELECTRODE ARRAY THEREIN

Cited By (2)

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