JPH08288576A - 光路長制御用圧電アクチュエータ構造体 - Google Patents
光路長制御用圧電アクチュエータ構造体Info
- Publication number
- JPH08288576A JPH08288576A JP7088955A JP8895595A JPH08288576A JP H08288576 A JPH08288576 A JP H08288576A JP 7088955 A JP7088955 A JP 7088955A JP 8895595 A JP8895595 A JP 8895595A JP H08288576 A JPH08288576 A JP H08288576A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric actuator
- optical path
- mirror
- path length
- mirror holder
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価な構成で、可動ミラーの正確かつ高精度
な変位制御を可能とする。 【構成】 光路長制御用可動ミラーを保持するミラー保
持体２２に圧電アクチュエータ５１が対接され、圧電ア
クチュエータ５１を駆動して可動ミラーを変位させるよ
うにした光路長制御用圧電アクチュエータ構造体におい
て、圧電アクチュエータ５１のミラー保持体２２と対向
するリング状電極５２の内周より、その電極形成面内で
ほぼ等角間隔で３つの突起５２ａを一体に突出形成し、
それら３つの突起５２ａの先端をミラー保持体２２にそ
れぞれ点接触させる。圧電アクチュエータ５１はミラー
保持体２２と３点接触する状態となり、安定した連結状
態が得られる。
な変位制御を可能とする。 【構成】 光路長制御用可動ミラーを保持するミラー保
持体２２に圧電アクチュエータ５１が対接され、圧電ア
クチュエータ５１を駆動して可動ミラーを変位させるよ
うにした光路長制御用圧電アクチュエータ構造体におい
て、圧電アクチュエータ５１のミラー保持体２２と対向
するリング状電極５２の内周より、その電極形成面内で
ほぼ等角間隔で３つの突起５２ａを一体に突出形成し、
それら３つの突起５２ａの先端をミラー保持体２２にそ
れぞれ点接触させる。圧電アクチュエータ５１はミラー
保持体２２と３点接触する状態となり、安定した連結状
態が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は例えば角速度を検出す
るリングレーザジャイロにおけるレーザ共振器のレーザ
光路長の制御に用いられ、圧電アクチュエータで光路長
制御用可動ミラーを変位制御するようにした光路長制御
用圧電アクチュエータ構造体に関する。
るリングレーザジャイロにおけるレーザ共振器のレーザ
光路長の制御に用いられ、圧電アクチュエータで光路長
制御用可動ミラーを変位制御するようにした光路長制御
用圧電アクチュエータ構造体に関する。
【０００２】
【従来の技術】まず、この発明の最も効果的な適用分野
と考えられるリングレーザジャイロの構造を簡単に説明
して、光路長制御用圧電アクチュエータ構造体の適用状
態を説明する。図３に示すように、ガラスブロック１１
内に正三角形の通路１２が形成され、その通路１２の正
三角形の各頂点に出力ミラー１３、高反射ミラー１４，
１５がそれぞれ配され、これらミラー１３，１４，１５
により三角形のリング状光学通路が構成される。この通
路１２内にはレーザ媒質が封入される。通路１２の三角
形の各辺とそれぞれ連通して、レーザ光を発振させるた
めのアノード１６，１７及びカソード１８が設けられ
る。
と考えられるリングレーザジャイロの構造を簡単に説明
して、光路長制御用圧電アクチュエータ構造体の適用状
態を説明する。図３に示すように、ガラスブロック１１
内に正三角形の通路１２が形成され、その通路１２の正
三角形の各頂点に出力ミラー１３、高反射ミラー１４，
１５がそれぞれ配され、これらミラー１３，１４，１５
により三角形のリング状光学通路が構成される。この通
路１２内にはレーザ媒質が封入される。通路１２の三角
形の各辺とそれぞれ連通して、レーザ光を発振させるた
めのアノード１６，１７及びカソード１８が設けられ
る。
【０００３】ミラー１３，１４，１５よりなるリング状
光学通路に互いに反対方向に進行する２つのレーザ光を
発振させ、この状態でガラスブロック１１に光学通路の
軸心を中心とする角速度が印加されると、上記２つのレ
ーザ光に光路差が生じ、その光路差が互いに反対方向に
進行する２つのレーザ光間に発振周波数差を生じさせ
る。従って、これら２つのレーザ光を重ね合わせること
により干渉縞ができ、この干渉縞を検出することにより
入力角速度が測定される。
光学通路に互いに反対方向に進行する２つのレーザ光を
発振させ、この状態でガラスブロック１１に光学通路の
軸心を中心とする角速度が印加されると、上記２つのレ
ーザ光に光路差が生じ、その光路差が互いに反対方向に
進行する２つのレーザ光間に発振周波数差を生じさせ
る。従って、これら２つのレーザ光を重ね合わせること
により干渉縞ができ、この干渉縞を検出することにより
入力角速度が測定される。
【０００４】このリングレーザジャイロのガラスブロッ
ク１１の材料には熱膨張係数の小さいものが選定される
が、その材料自身が持つ熱膨張の他に、取付けられてい
るアノード１６，１７及びカソード１８などの熱膨張に
より、ガラスブロック組立体として寸法変化を起す。こ
の寸法変化によって生じるリング状光学通路の光路長変
化を補償して一定に維持するために、高反射ミラー１４
は可動ミラーとされ、光路長制御用圧電アクチュエータ
構造体１９に保持される。
ク１１の材料には熱膨張係数の小さいものが選定される
が、その材料自身が持つ熱膨張の他に、取付けられてい
るアノード１６，１７及びカソード１８などの熱膨張に
より、ガラスブロック組立体として寸法変化を起す。こ
の寸法変化によって生じるリング状光学通路の光路長変
化を補償して一定に維持するために、高反射ミラー１４
は可動ミラーとされ、光路長制御用圧電アクチュエータ
構造体１９に保持される。
【０００５】従来の光路長制御用圧電アクチュエータ構
造体１９は図４に示すように構成されていた。即ち、圧
電アクチュエータ２１とミラー保持体２２とが互いに対
接され、ねじ２３で一体に連結されて構成されていた。
ミラー保持体２２は円筒状固定部２２ａとその軸心位置
の柱状可動部２２ｂとがダイヤフラム２２ｃで連結さ
れ、可動部２２ｂに可動ミラー１４が形成されて構成さ
れている。ミラー保持体２２は例えばガラスよりなり、
可動ミラー１４は鏡面仕上げされた可動部２２ｂ上に例
えばＳｉＯ2 、ＴｉＯ2 よりなる多層膜が成膜されて形
成される。
造体１９は図４に示すように構成されていた。即ち、圧
電アクチュエータ２１とミラー保持体２２とが互いに対
接され、ねじ２３で一体に連結されて構成されていた。
ミラー保持体２２は円筒状固定部２２ａとその軸心位置
の柱状可動部２２ｂとがダイヤフラム２２ｃで連結さ
れ、可動部２２ｂに可動ミラー１４が形成されて構成さ
れている。ミラー保持体２２は例えばガラスよりなり、
可動ミラー１４は鏡面仕上げされた可動部２２ｂ上に例
えばＳｉＯ2 、ＴｉＯ2 よりなる多層膜が成膜されて形
成される。
【０００６】圧電アクチュエータ２１は図５に分解して
示すように、２枚の円板状圧電素子２４，２５を円板状
電極２６を介して重ね、さらにこれら圧電素子２４，２
５の外側にそれぞれリング状電極２７，２８を重ねて、
これら電極２７，２８で圧電素子２４，２５を挟み、電
極２７，２８を互いに接続し、これら圧電素子２４，２
５、電極２６，２７，２８を導電性接着剤で強固に接着
することにより構成される。なお、電極２６，２７，２
８はいずれも低熱膨張合金により構成されている。
示すように、２枚の円板状圧電素子２４，２５を円板状
電極２６を介して重ね、さらにこれら圧電素子２４，２
５の外側にそれぞれリング状電極２７，２８を重ねて、
これら電極２７，２８で圧電素子２４，２５を挟み、電
極２７，２８を互いに接続し、これら圧電素子２４，２
５、電極２６，２７，２８を導電性接着剤で強固に接着
することにより構成される。なお、電極２６，２７，２
８はいずれも低熱膨張合金により構成されている。
【０００７】この圧電アクチュエータ２１の中心部に形
成された孔内にスペーサ３１を介してねじ２３が挿通さ
れ、その先端がミラー保持体２２の可動部２２ｂ内に保
持されたナット３２にねじ込まれて、ミラー保持体２２
に圧電アクチュエータ２１が固定される。ねじ２３、ス
ペーサ３１、ナット３２も同様に低熱膨張合金で構成さ
れる。
成された孔内にスペーサ３１を介してねじ２３が挿通さ
れ、その先端がミラー保持体２２の可動部２２ｂ内に保
持されたナット３２にねじ込まれて、ミラー保持体２２
に圧電アクチュエータ２１が固定される。ねじ２３、ス
ペーサ３１、ナット３２も同様に低熱膨張合金で構成さ
れる。
【０００８】電極２６と電極２７，２８との間に直流電
圧を印加すると、その極性に応じた方向にその電圧の大
きさに応じて圧電素子２４，２５の中心部が法線方向に
変位し、これにより可動部２２ｂに形成された可動ミラ
ー１４が法線方向に変位し、図３におけるリング状光学
通路の光路長が調整される。
圧を印加すると、その極性に応じた方向にその電圧の大
きさに応じて圧電素子２４，２５の中心部が法線方向に
変位し、これにより可動部２２ｂに形成された可動ミラ
ー１４が法線方向に変位し、図３におけるリング状光学
通路の光路長が調整される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、圧電アクチュエータ２１はその中心部がミラー保
持体２２の中心部に位置する可動部２２ｂにねじ２３で
締付けられて組立てられ、この組立てられた状態ではこ
れら圧電アクチュエータ２１及びミラー保持体２２には
互いにその中心部が近接する方向にわずかな反りが発生
している。図６はこの状態を拡大して示したものであ
り、この反りによって圧電アクチュエータ２１はそのリ
ング状電極２８の内周縁がミラー保持体２２に圧接され
てミラー保持体２２に対接される。従って、圧電アクチ
ュエータ２１の変位は電極２８の内周縁を基準としてミ
ラー保持体２２に伝達されることになる。
うに、圧電アクチュエータ２１はその中心部がミラー保
持体２２の中心部に位置する可動部２２ｂにねじ２３で
締付けられて組立てられ、この組立てられた状態ではこ
れら圧電アクチュエータ２１及びミラー保持体２２には
互いにその中心部が近接する方向にわずかな反りが発生
している。図６はこの状態を拡大して示したものであ
り、この反りによって圧電アクチュエータ２１はそのリ
ング状電極２８の内周縁がミラー保持体２２に圧接され
てミラー保持体２２に対接される。従って、圧電アクチ
ュエータ２１の変位は電極２８の内周縁を基準としてミ
ラー保持体２２に伝達されることになる。
【００１０】しかるに、電極２８は厚さが０．１〜０．
２ｍｍ程度と薄く、それ自体良好な平面度を得にくいも
のであり、また圧電素子２５との接着における接着層厚
のばらつきにより、圧電アクチュエータ２１として組立
てられた状態で全周に渡る高い平面度を得にくいものと
なっていた。このため、従来の光路長制御用圧電アクチ
ュエータ構造体１９では電極２８の内周縁及びミラー保
持体２２間に局部的に浮き上がりが生じ、この浮き上が
りの存在によって圧電アクチュエータ２１の小さな動き
をミラー保持体２２に伝達することができないといった
問題や安定かつ再現性良くミラー保持体２２の可動ミラ
ー１４を変位させることができないという問題が発生し
ていた。
２ｍｍ程度と薄く、それ自体良好な平面度を得にくいも
のであり、また圧電素子２５との接着における接着層厚
のばらつきにより、圧電アクチュエータ２１として組立
てられた状態で全周に渡る高い平面度を得にくいものと
なっていた。このため、従来の光路長制御用圧電アクチ
ュエータ構造体１９では電極２８の内周縁及びミラー保
持体２２間に局部的に浮き上がりが生じ、この浮き上が
りの存在によって圧電アクチュエータ２１の小さな動き
をミラー保持体２２に伝達することができないといった
問題や安定かつ再現性良くミラー保持体２２の可動ミラ
ー１４を変位させることができないという問題が発生し
ていた。
【００１１】一方、図７Ａは上記問題を解決すべく、従
来提案されている光路長制御用圧電アクチュエータ構造
体の圧電アクチュエータ４１の構造を分解して示したも
のであり、図７Ｂはそれに使用されている３点座プレー
ト４２の形状を示したものである。なお、図５と対応す
る部分には同一符号を付してある。この例は円板状のプ
レートの一方の板面の外周縁にほぼ等角間隔で３つの座
４２ａが一体に突出形成されてなる導電性３点座プレー
ト４２が、その座４２ａがミラー保持体２２側とされて
圧電素子２５、電極２６間に配されてそれらと重ねら
れ、圧電アクチュエータ４１が接着組立てされた状態
で、それら３つの座４２ａがミラー保持体２２と対向す
る電極４３よりミラー保持体２２側に突出するように構
成されたものである。
来提案されている光路長制御用圧電アクチュエータ構造
体の圧電アクチュエータ４１の構造を分解して示したも
のであり、図７Ｂはそれに使用されている３点座プレー
ト４２の形状を示したものである。なお、図５と対応す
る部分には同一符号を付してある。この例は円板状のプ
レートの一方の板面の外周縁にほぼ等角間隔で３つの座
４２ａが一体に突出形成されてなる導電性３点座プレー
ト４２が、その座４２ａがミラー保持体２２側とされて
圧電素子２５、電極２６間に配されてそれらと重ねら
れ、圧電アクチュエータ４１が接着組立てされた状態
で、それら３つの座４２ａがミラー保持体２２と対向す
る電極４３よりミラー保持体２２側に突出するように構
成されたものである。
【００１２】このため、圧電素子２５にはその外周部に
座４２ａの逃げとして切欠き２５ａが３箇所設けられて
おり、また電極４３は図７Ａに示すように座４２ａに対
応する部分は内周側に逃げたリング形状とされている。
この例では圧電アクチュエータ４１は、その３つの座４
２ａがミラー保持体２２と対接し、即ち３点接触状態と
されるため、各座４２ａは浮き上がることなく、安定し
てミラー保持体２２と接触し、よって圧電アクチュエー
タ４１とミラー保持体２２との良好な連結状態が得ら
れ、圧電アクチュエータ４１の変位を正確にミラー保持
体２２に伝達できるものとなっている。
座４２ａの逃げとして切欠き２５ａが３箇所設けられて
おり、また電極４３は図７Ａに示すように座４２ａに対
応する部分は内周側に逃げたリング形状とされている。
この例では圧電アクチュエータ４１は、その３つの座４
２ａがミラー保持体２２と対接し、即ち３点接触状態と
されるため、各座４２ａは浮き上がることなく、安定し
てミラー保持体２２と接触し、よって圧電アクチュエー
タ４１とミラー保持体２２との良好な連結状態が得ら
れ、圧電アクチュエータ４１の変位を正確にミラー保持
体２２に伝達できるものとなっている。
【００１３】しかしながら、この従来提案されている光
路長制御用圧電アクチュエータ構造体では、３点座プレ
ート４２を新たな部品として必要とし、かつその３点座
プレート４２は低熱膨張合金を用いて切削加工によって
作られ、製造コストがかかるものであるため、全体とし
て高価なものになるという欠点がある。この発明の目的
は上述した各種問題を解決し、圧電アクチュエータの変
位を正確にミラー保持体に伝達することができ、つまり
可動ミラーの変位制御を高精度に行うことができ、かつ
安価に構成することができる光路長制御用圧電アクチュ
エータ構造体を提供することにある。
路長制御用圧電アクチュエータ構造体では、３点座プレ
ート４２を新たな部品として必要とし、かつその３点座
プレート４２は低熱膨張合金を用いて切削加工によって
作られ、製造コストがかかるものであるため、全体とし
て高価なものになるという欠点がある。この発明の目的
は上述した各種問題を解決し、圧電アクチュエータの変
位を正確にミラー保持体に伝達することができ、つまり
可動ミラーの変位制御を高精度に行うことができ、かつ
安価に構成することができる光路長制御用圧電アクチュ
エータ構造体を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明は光路長制御用
可動ミラーを保持するミラー保持体に圧電アクチュエー
タが対接され、圧電アクチュエータを駆動して可動ミラ
ーを変位させるようにした光路長制御用圧電アクチュエ
ータ構造体において、圧電アクチュエータのミラー保持
体と対向するリング状電極の内周より、その電極形成面
内でほぼ等角間隔で３つの突起を一体に突出形成し、そ
れら３つの突起の先端をミラー保持体にそれぞれ点接触
させるものである。
可動ミラーを保持するミラー保持体に圧電アクチュエー
タが対接され、圧電アクチュエータを駆動して可動ミラ
ーを変位させるようにした光路長制御用圧電アクチュエ
ータ構造体において、圧電アクチュエータのミラー保持
体と対向するリング状電極の内周より、その電極形成面
内でほぼ等角間隔で３つの突起を一体に突出形成し、そ
れら３つの突起の先端をミラー保持体にそれぞれ点接触
させるものである。
【００１５】
【実施例】次に、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１はこの発明による光路長制御用圧電アクチ
ュエータ構造体の構成を示したものであり、図２はそれ
を分解して示したものである。なお、図４及び５と対応
する部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
明する。図１はこの発明による光路長制御用圧電アクチ
ュエータ構造体の構成を示したものであり、図２はそれ
を分解して示したものである。なお、図４及び５と対応
する部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００１６】この例では圧電アクチュエータ５１のミラ
ー保持体２２と対向するリング状電極５２は、その内周
にほぼ等角間隔で３つの突起５２ａを有するものとされ
る。これら突起５２ａは電極形成面内に位置され、即ち
電極５２の内周より、その中心方向に突出され、電極５
２と一体に形成されている。突起５２ａはこの例ではほ
ぼ半円形とされているが、例えば三角形状としてもよ
い。なお、３つの突起５２ａの各先端は電極５２と同心
の同一円周上に位置される。
ー保持体２２と対向するリング状電極５２は、その内周
にほぼ等角間隔で３つの突起５２ａを有するものとされ
る。これら突起５２ａは電極形成面内に位置され、即ち
電極５２の内周より、その中心方向に突出され、電極５
２と一体に形成されている。突起５２ａはこの例ではほ
ぼ半円形とされているが、例えば三角形状としてもよ
い。なお、３つの突起５２ａの各先端は電極５２と同心
の同一円周上に位置される。
【００１７】電極５２は他の電極２６，２７と同様に低
熱膨張合金により構成され、エッチング加工やプレス加
工を用いて形成される。圧電素子２４，２５及び電極２
６，２７，５２の各外径は互いに等しく、それらが互い
に導電性接着剤で強固に接着固定されて、バイモルフ形
の圧電アクチュエータ５１が構成される。
熱膨張合金により構成され、エッチング加工やプレス加
工を用いて形成される。圧電素子２４，２５及び電極２
６，２７，５２の各外径は互いに等しく、それらが互い
に導電性接着剤で強固に接着固定されて、バイモルフ形
の圧電アクチュエータ５１が構成される。
【００１８】電極５２をミラー保持体２２に対接させ、
ねじ２３をナット３２にねじ込み、圧電アクチュエータ
５１とミラー保持体２２とを一体化する。この際、ねじ
２３の締付け力によって圧電アクチュエータ５１及びミ
ラー保持体２２には互いにその中心部が近接する方向に
反りが発生し、この反りによって圧電アクチュエータ５
１はその電極５２に形成された３つの突起５２ａの先端
がミラー保持体２２と圧接される状態となる。
ねじ２３をナット３２にねじ込み、圧電アクチュエータ
５１とミラー保持体２２とを一体化する。この際、ねじ
２３の締付け力によって圧電アクチュエータ５１及びミ
ラー保持体２２には互いにその中心部が近接する方向に
反りが発生し、この反りによって圧電アクチュエータ５
１はその電極５２に形成された３つの突起５２ａの先端
がミラー保持体２２と圧接される状態となる。
【００１９】従って、圧電アクチュエータ５１はその突
起５２ａにより、ミラー保持体２２と３点接触する状態
とされ、よって良好かつ安定にミラー保持体２２に連結
される。
起５２ａにより、ミラー保持体２２と３点接触する状態
とされ、よって良好かつ安定にミラー保持体２２に連結
される。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
リング状電極５２の内周部に形成された３つの突起５２
ａにより、圧電アクチュエータ５１とミラー保持体２２
とは３点接触して連結されるため、その対接部分に浮き
上がりが発生することもなく、良好かつ安定した結合状
態を得ることができる。
リング状電極５２の内周部に形成された３つの突起５２
ａにより、圧電アクチュエータ５１とミラー保持体２２
とは３点接触して連結されるため、その対接部分に浮き
上がりが発生することもなく、良好かつ安定した結合状
態を得ることができる。
【００２１】従って、圧電アクチュエータ５１の変位は
微小な変位であっても正確にミラー保持体２２に伝達さ
れ、よって可動ミラー１４の変位制御を極めて高精度に
行うことができる。なお、リング状電極５２に突起５２
ａを形成し、電極及び３点座として兼用するものである
から、図７に示した圧電アクチュエータ４１のように部
品点数は増加せず、またこのリング状電極５２は他の電
極２６，２７と同様の材料を用いてエッチング加工等に
より簡易に製造できるため、安価に構成することができ
る。
微小な変位であっても正確にミラー保持体２２に伝達さ
れ、よって可動ミラー１４の変位制御を極めて高精度に
行うことができる。なお、リング状電極５２に突起５２
ａを形成し、電極及び３点座として兼用するものである
から、図７に示した圧電アクチュエータ４１のように部
品点数は増加せず、またこのリング状電極５２は他の電
極２６，２７と同様の材料を用いてエッチング加工等に
より簡易に製造できるため、安価に構成することができ
る。
【図１】この発明の一実施例を示す断面図。
【図２】図１の分解斜視図。
【図３】リングレーザジャイロの一般的構成を示す平面
図。
図。
【図４】従来の光路長制御用圧電アクチュエータ構造体
を示す断面図。
を示す断面図。
【図５】図４に用いられている圧電アクチュエータの分
解斜視図。
解斜視図。
【図６】圧電アクチュエータ及びミラー保持体の反りを
説明するための部分拡大断面図。
説明するための部分拡大断面図。
【図７】Ａは従来提案されている光路長制御用圧電アク
チュエータ構造体の圧電アクチュエータの分解斜視図、
Ｂはそれに使用されている３点座プレートの斜視図。
チュエータ構造体の圧電アクチュエータの分解斜視図、
Ｂはそれに使用されている３点座プレートの斜視図。
１４ 可動ミラー ２２ ミラー保持体 ５１ 圧電アクチュエータ ５２ａ 突起
Claims (1)
- 【請求項１】 光路長制御用可動ミラーを保持するミラ
ー保持体に圧電アクチュエータが対接され、上記圧電ア
クチュエータを駆動して上記可動ミラーを変位させるよ
うにした光路長制御用圧電アクチュエータ構造体におい
て、 上記圧電アクチュエータの上記ミラー保持体と対向する
リング状電極の内周より、その電極形成面内でほぼ等角
間隔で３つの突起が一体に突出形成され、 それら３つの突起の先端が上記ミラー保持体にそれぞれ
点接触していることを特徴とする光路長制御用圧電アク
チュエータ構造体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088955A JP2955703B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 光路長制御用圧電アクチュエータ構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088955A JP2955703B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 光路長制御用圧電アクチュエータ構造体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08288576A true JPH08288576A (ja) | 1996-11-01 |
| JP2955703B2 JP2955703B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=13957287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7088955A Expired - Lifetime JP2955703B2 (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 光路長制御用圧電アクチュエータ構造体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2955703B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011185399A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Fujifilm Corp | 乱流制御装置及び乱流制御用アクチュエータの製造方法 |
| JP2011233723A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ装置 |
| JP2012037302A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-23 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光路長制御用圧電アクチュエータ構造体、その製造方法及びリングレーザジャイロ |
-
1995
- 1995-04-14 JP JP7088955A patent/JP2955703B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| JP2011185399A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Fujifilm Corp | 乱流制御装置及び乱流制御用アクチュエータの製造方法 |
| JP2011233723A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ装置 |
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|---|---|
| JP2955703B2 (ja) | 1999-10-04 |
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