JPH08288416A - Plastic semiconductor package - Google Patents
Plastic semiconductor packageInfo
- Publication number
- JPH08288416A JPH08288416A JP8920895A JP8920895A JPH08288416A JP H08288416 A JPH08288416 A JP H08288416A JP 8920895 A JP8920895 A JP 8920895A JP 8920895 A JP8920895 A JP 8920895A JP H08288416 A JPH08288416 A JP H08288416A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor package
- thermal conductivity
- resin
- laminate
- plastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基材と熱硬化性
樹脂からなる回路を形成された積層板に半導体チップを
接着し、少なくとも半導体チップと接続部が樹脂で封止
されてなるプラスチック半導体パッケージにおいて、積
層板の熱伝導率を高めることにより、半導体の熱放散を
向上させたプラスチック半導体パッケージである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plastic in which a semiconductor chip is bonded to a laminated plate on which a circuit made of a glass base material and a thermosetting resin is formed, and at least the semiconductor chip and a connecting portion are sealed with resin. The semiconductor package is a plastic semiconductor package in which the heat dissipation of the semiconductor is improved by increasing the thermal conductivity of the laminated plate.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、一般の銅張積層板を用いたプリン
ト配線板を使用したプラスチック半導体パッケージは、
熱伝導率が充分でなく、半導体の高密度化に伴う発熱を
十分に放散させる事が困難であった。このような従来の
プラスチック半導体パッケージの場合、この蓄熱が半導
体の不良や誤動作を引き起こす原因となっていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a plastic semiconductor package using a printed wiring board using a general copper clad laminate is
The thermal conductivity was not sufficient, and it was difficult to sufficiently dissipate the heat generated by the densification of semiconductors. In the case of such a conventional plastic semiconductor package, this heat storage causes a defect or malfunction of the semiconductor.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、積層板の熱
伝導率を向上させ、高密度半導体の熱放散を目的とした
プラスチック半導体パッケージである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is a plastic semiconductor package for improving the thermal conductivity of a laminated plate and for the purpose of heat dissipation of a high density semiconductor.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、回
路が形成された積層板に半導体チップを接着し、半導体
チップと回路が電気的に接続され、少なくとも半導体チ
ップとの接続部が樹脂で封止されてなるプラスチック半
導体パッケージにおいて、その積層板の熱伝導率が 0.3
0 kcal/m/hr/℃以上であることを特徴とするプラスチッ
ク半導体パッケージである。That is, according to the present invention, a semiconductor chip is adhered to a laminated plate on which a circuit is formed, the semiconductor chip and the circuit are electrically connected, and at least a connecting portion with the semiconductor chip is made of resin. In a sealed plastic semiconductor package, the thermal conductivity of the laminate is 0.3
It is a plastic semiconductor package characterized by being 0 kcal / m / hr / ° C or higher.
【0005】また、該積層板が、熱伝導率が 2.0kcal/m
/hr/℃以上である無機フィラーを1種又は2種以上配合
したプリプレグにより成形され、該積層板の熱伝導率が
0.30 kcal/m/hr/℃以上であること、該積層板が、1種
又は2種以上の無機フィラーを1〜80%樹脂中に配合し
たプリプレグにより成形され、該積層板の熱伝導率が0.
30 kcal/m/hr/℃以上であることであり、さらに、該積
層板に使用される熱硬化性樹脂が、ガラス転移温度 170
℃以上であり、シアネート樹脂を少なくとも一成分とす
ることを特徴とするプラスチック半導体パッケージであ
る。The laminate has a thermal conductivity of 2.0 kcal / m.
Molded with a prepreg containing one or more inorganic fillers having a mixing rate of / hr / ° C or higher, the thermal conductivity of the laminate is
0.30 kcal / m / hr / ° C or higher, the laminate is formed by a prepreg containing 1 to 80% of an inorganic filler of 1 or 2 types, and the thermal conductivity of the laminate is 0.
30 kcal / m / hr / ° C or higher, and the thermosetting resin used for the laminate has a glass transition temperature of 170
A plastic semiconductor package having a temperature of not less than 0 ° C. and containing a cyanate resin as at least one component.
【0006】以下、本発明を説明する。本発明は、プラ
スチック・ピン・グリッド・アレイ(以下PGAと記
す)、プラスチック・ボール・グリッド・アレイ(以下
BGAと記す)等のプラスチック半導体パッケージであ
り、該プラスチック半導体パッケージに使用される積層
板の熱伝導率が0.30kcal/m/hr/℃以上であるプラスチッ
ク半導体パッケージである。The present invention will be described below. The present invention is a plastic semiconductor package such as a plastic pin grid array (hereinafter referred to as PGA), a plastic ball grid array (hereinafter referred to as BGA), and a laminated plate used for the plastic semiconductor package. A plastic semiconductor package with a thermal conductivity of 0.30 kcal / m / hr / ° C or higher.
【0007】積層板の熱伝導率を大きくする方法として
は、無機フィラーを配合する方法があげられる。無機フ
ィラーは熱伝導率が 2.0kcal/m/hr/℃以上であることが
好ましく、プリプレグの樹脂中に1〜80%配合するのが
好ましい。As a method for increasing the thermal conductivity of the laminated plate, there is a method of blending an inorganic filler. The inorganic filler preferably has a thermal conductivity of 2.0 kcal / m / hr / ° C. or higher, and is preferably blended in the prepreg resin in an amount of 1 to 80%.
【0008】熱硬化性樹脂としては、シアネート樹脂、
多価マレイミド、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹
脂、フェノール樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリア
ミン−ビスマレイミド樹脂、ポリマレイミド−イソシア
ネート樹脂、その他の熱硬化性樹脂類;これらを適宜二
種以上配合してなる組成物;さらにこれら熱硬化性樹脂
類、それらの二種以上配合してなる組成物をポリビニル
ブチラール、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、多官
能性アクリレート化合物、その他の公知の樹脂、添加剤
で変成したもの;架橋ポリエチレン/エポキシ樹脂、架
橋ポリエチレン/シアネート樹脂、ポリエステルカーボ
ネート/シアネート樹脂、その他の熱可塑性樹脂で変成
した架橋硬化性樹脂組成物(IPNまたはセミIPN)
が例示される。又、好ましくはシアネート樹脂を少なく
とも一成分とする熱硬化性樹脂組成物である。As the thermosetting resin, cyanate resin,
Polyvalent maleimide, epoxy resin, unsaturated polyester resin, phenol resin, diallyl phthalate resin, polyamine-bismaleimide resin, polymaleimide-isocyanate resin, other thermosetting resins; a composition obtained by appropriately mixing two or more of these Further, these thermosetting resins, and compositions obtained by mixing two or more of them with polyvinyl butyral, acrylonitrile-butadiene rubber, polyfunctional acrylate compounds, other known resins and additives modified; Crosslinkable curable resin composition (IPN or semi-IPN) modified with polyethylene / epoxy resin, crosslinked polyethylene / cyanate resin, polyester carbonate / cyanate resin, or other thermoplastic resin
Is exemplified. Further, it is preferably a thermosetting resin composition containing a cyanate resin as at least one component.
【0009】シアネート樹脂としては、1,2-、1,3- OR
1,4-ジシアネートフェニルベンゼン、2,2-ビス(4-シア
ネートフェニル)プロパン、2,2-ビス(3,5-ジメチル-4
- シアネートフェニル)プロパン、ビス(4-シアネート
フェニル)メタンなどと、フェノールノボラックなどの
フェノール性水酸基を2個以上有する化合物とハロゲン
化シアンとを反応させてなるシアン酸エステル化合物、
及びこれらを加熱或いは触媒を使用してsym-トリアジン
環を形成する予備反応などを行ったものなどのシアネー
ト樹脂並びにこれらを主体として使用したものが例示さ
れる。Cyanate resins include 1,2-, 1,3-OR
1,4-dicyanate phenylbenzene, 2,2-bis (4-cyanatephenyl) propane, 2,2-bis (3,5-dimethyl-4)
Cyanate phenyl) propane, bis (4-cyanatephenyl) methane, etc., and a cyanate ester compound obtained by reacting a compound having two or more phenolic hydroxyl groups such as phenol novolac with cyanogen halide,
Examples thereof include cyanate resins such as those obtained by performing a preliminary reaction such as heating or using a catalyst to form a sym-triazine ring, and those mainly using these.
【0010】また、無機フィラーとしては、天然シリ
カ、溶融シリカ、アモルファスシリカなどのシリカ類、
ホワイトカーボン、チタンホワイト、アエロジル、クレ
ー、タルク、ウォラスナイト、天然マイカ、合成マイ
カ、カオリン、水酸化アルミニウム、マグネシア、アル
ミナ、パーライト、及びE-,A-,C-,L-,D-,S-,SII-,M-,G2
0-などのガラス微粉末が挙げられる。As the inorganic filler, silicas such as natural silica, fused silica and amorphous silica,
White carbon, titanium white, aerosil, clay, talc, wollastonite, natural mica, synthetic mica, kaolin, aluminum hydroxide, magnesia, alumina, perlite, and E-, A-, C-, L-, D-, S -, SII-, M-, G2
Examples include fine glass powders such as 0-.
【0011】また、その他の目的により難燃剤、滑剤、
その他の添加剤類が配合できる。本発明の金属箔として
は、電気用に使用されているものであれば特に限定な
く、適宜用途に応じて選択する。好ましくは銅箔であ
る。For other purposes, flame retardants, lubricants,
Other additives can be added. The metal foil of the present invention is not particularly limited as long as it is used for electricity, and is appropriately selected according to the application. Copper foil is preferable.
【0012】[0012]
【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。な
お、実施例の「部」及び「%」は特に断らない限り重量
基準である。The present invention will be described below with reference to examples. In the examples, "parts" and "%" are based on weight unless otherwise specified.
【0013】実施例1 2,2-ビス(4-シアネートフェニル)プロパン36部とビス
(4-マレイミドフェニル)メタン4部とを 150℃で 130
分間予備反応させ、これをメチルエチルケトンとN,N-ジ
メチルホルムアミドとの混合溶剤に溶解した。これにブ
ロム化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(商品名;エピ
コート1121、油化シェルエポキシ株式会社製、エポキシ
等量 450〜 500) 60部とオクチル酸亜鉛0.01部とを溶解
し、さらに無機フィラーとしてタルク(商品名;ミクロ
エースP-3 日本タルク株式会社製)を25部配合してワニ
スを得た。Example 1 36 parts of 2,2-bis (4-cyanatephenyl) propane and 4 parts of bis (4-maleimidophenyl) methane at 150 ° C.
A preliminary reaction was carried out for a minute, and this was dissolved in a mixed solvent of methyl ethyl ketone and N, N-dimethylformamide. 60 parts of a brominated bisphenol A type epoxy resin (trade name; Epicoat 1121, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., epoxy equivalent 450-500) and 0.01 part of zinc octylate are dissolved, and talc (inorganic filler) A varnish was obtained by mixing 25 parts of trade name; Microace P-3 Nippon Talc Co., Ltd.).
【0014】厚み 0.1mmのガラスクロスにこのワニスを
含浸・乾燥してプリプレグを得た。このプリプレグを2
枚重ね、その両面に18μm の電解銅箔を重ねた構成とし
て、圧力20kgf/cm2 、 180℃、2時間の条件で積層成形
し、絶縁層厚み 0.2mmの両面銅張積層板を得た。A glass cloth having a thickness of 0.1 mm was impregnated with this varnish and dried to obtain a prepreg. This prepreg is 2
The sheets were stacked and laminated on both sides with electrolytic copper foil of 18 μm, laminated and molded under the conditions of a pressure of 20 kgf / cm 2 and 180 ° C. for 2 hours to obtain a double-sided copper clad laminate with an insulating layer thickness of 0.2 mm.
【0015】実施例2 実施例1において、無機フィラーとしてタルク(商品
名;ミクロエース P-3日本タルク株式会社製)を 100
部配合する他は同様とした。 実施例3 実施例1において、無機フィラーとして窒化ホウ素(商
品名;デンカボロンナイトライドSP-2 電気化学工業株
式会社製)を25部配合する他は同様とした。 比較例1 実施例1において、ワニスに無機フィラーを配合しない
他は同様とした。Example 2 In Example 1, 100 talc (trade name; Microace P-3 manufactured by Nippon Talc Co., Ltd.) was used as an inorganic filler.
The same was applied except that the parts were mixed. Example 3 The same procedure as in Example 1 was carried out except that 25 parts of boron nitride (trade name; DENCABORON NITRIDE SP-2 manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) was blended as an inorganic filler. Comparative Example 1 The same as in Example 1 except that the varnish was not mixed with an inorganic filler.
【0016】実験の結果を表1に示した。エッチング板
の熱伝導率とは、両面銅張積層板をエッチングした板を
東海技研株式会社製 HR-100型熱伝導率測定器を用いて
測定した値である。The results of the experiment are shown in Table 1. The thermal conductivity of the etched plate is a value obtained by measuring a plate obtained by etching a double-sided copper clad laminate using a Tokai Giken Co., Ltd. HR-100 type thermal conductivity measuring device.
【0017】[0017]
【表1】 実施例1 実施例2 実施例3 比較例1 フィラー 種類 タルク タルク 窒化硼素 無し 量 % 20 50 20 Tg(DMA) ℃ 180 180 180 180 熱伝導率*1 kcal/m/hr/℃ 0.43 0.67 0.45 0.27銅箔引剥し強度*2 kg/cm 1.4 1.0 1.3 1.5 *1 :エッチング板について測定。 *2 :銅箔厚み 18μm。Table 1 Example 1 Example 2 Example 3 Comparative Example 1 Filler type Talc Talc Boron nitride free amount% 20 50 20 Tg (DMA) ℃ 180 180 180 180 Thermal conductivity * 1 kcal / m / hr / ℃ 0.43 0.67 0.45 0.27 Copper foil peeling strength * 2 kg / cm 1.4 1.0 1.3 1.5 * 1: Measured on the etched plate. * 2: Copper foil thickness 18 μm.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上、発明の詳細な説明、実施例、比較
例から明瞭なように、本発明のプラスチック半導体パッ
ケージによれば、半導体の放熱不良に由来する半導体デ
バイスの不良を著しく改善したプラスチック半導体パッ
ケージの製造が可能になるものであり、その意義は極め
て高いものである。As is clear from the detailed description of the invention, the examples, and the comparative examples, the plastic semiconductor package of the present invention significantly improves the failure of the semiconductor device due to the heat radiation failure of the semiconductor. This makes it possible to manufacture semiconductor packages, and its significance is extremely high.
Claims (4)
を接着し、半導体チップと回路が電気的に接続され、少
なくとも半導体チップとの接続部が樹脂で封止されてな
るプラスチック半導体パッケージにおいて、その積層板
の熱伝導率が0.30kcal/m/hr/℃以上であることを特徴と
するプラスチック半導体パッケージ。1. A plastic semiconductor package in which a semiconductor chip is bonded to a laminated plate on which a circuit is formed, the semiconductor chip and the circuit are electrically connected, and at least a connecting portion with the semiconductor chip is sealed with a resin, A plastic semiconductor package in which the thermal conductivity of the laminate is 0.30 kcal / m / hr / ° C or higher.
r/℃以上である無機フィラーを1種又は2種以上配合し
たプリプレグにより成形され、該積層板の熱伝導率が0.
30kcal/m/hr/℃以上であることを特徴とする請求項1記
載のプラスチック半導体パッケージ。2. The laminate has a thermal conductivity of 2.0 kcal / m / h.
Molded with a prepreg containing one or more inorganic fillers having a r / ° C. or higher, the laminate has a thermal conductivity of 0.
The plastic semiconductor package according to claim 1, which has a temperature of 30 kcal / m / hr / ° C or higher.
ィラーを1〜80%樹脂中に配合したプリプレグにより成
形され、該積層板の熱伝導率が 0.30kcal/m/hr/ ℃以上
であることを特徴とする請求項1記載のプラスチック半
導体パッケージ。3. The laminate is molded by a prepreg containing 1 to 80% of one or more kinds of inorganic fillers in a resin, and the laminate has a thermal conductivity of 0.30 kcal / m / hr / ° C. It is above, The plastic semiconductor package of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
ガラス転移温度 170℃以上であり、シアネート樹脂を少
なくとも一成分とすることを特徴とする請求項1記載の
プラスチック半導体パッケージ。4. The thermosetting resin used for the laminate is
The plastic semiconductor package according to claim 1, which has a glass transition temperature of 170 ° C. or higher and contains at least one component of a cyanate resin.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8920895A JPH08288416A (en) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | Plastic semiconductor package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8920895A JPH08288416A (en) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | Plastic semiconductor package |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08288416A true JPH08288416A (en) | 1996-11-01 |
Family
ID=13964309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8920895A Pending JPH08288416A (en) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | Plastic semiconductor package |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08288416A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140042738A (en) | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 파나소닉 주식회사 | Prepreg, metal-clad laminate, printed wiring board, and multilayer printed wiring board |
-
1995
- 1995-04-14 JP JP8920895A patent/JPH08288416A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140042738A (en) | 2012-09-28 | 2014-04-07 | 파나소닉 주식회사 | Prepreg, metal-clad laminate, printed wiring board, and multilayer printed wiring board |
CN103709427A (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-09 | 松下电器产业株式会社 | Prepreg, metal-clad laminate, printed wiring board, and multilayer printed wiring board |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1273630B1 (en) | Resin composition, adhesive film for semiconductor device, and laminated film with metallic foil and semiconductor device using the same | |
JP5392178B2 (en) | High thermal conductive composite particles and heat dissipation material using the same | |
WO2011040415A1 (en) | Multilayer resin sheet and method for producing same, method for producing multilayer resin sheet cured product, and highly thermally conductive resin sheet laminate and method for producing same | |
EP0434013B1 (en) | Epoxy resin-impregnated glass cloth sheet having adhesive layer | |
JP2010053224A (en) | Thermally conductive resin sheet, heat conduction plate, thermally conductive printed wiring board and radiating member | |
TW201525055A (en) | Epoxy resin composition, carrier material with resin layer, metal base circuit board, and electronic devices | |
JP5200386B2 (en) | Adhesive sheet for electronic materials | |
JPH10338839A (en) | Adhesive film for insulation layer | |
US6524717B1 (en) | Prepreg, metal-clad laminate, and printed circuit board obtained from these | |
JPH08288416A (en) | Plastic semiconductor package | |
TW201611669A (en) | Metal foil-clad substrate, circuit board and electronic-component mounting substrate | |
JP5828094B2 (en) | Resin sheet, metal foil with resin, board material and component mounting board | |
JPH10330696A (en) | Adhesive film for multilayer printed circuit board | |
JP4639439B2 (en) | Epoxy resin composition, prepreg, and copper-clad laminate using the same | |
JP2000301534A (en) | Prepreg, metal-clad laminated board, and printed wiring board using prepreg and laminated board | |
JP2009203262A (en) | Thermally conductive material, heat dissipation substrate using it, and manufacturing method of heat dissipation substrate | |
JPH1140950A (en) | Multilayered wiring board | |
KR101447258B1 (en) | Thermal conductive epoxy composites and their applications for light emitting diode fixtures | |
JP4238525B2 (en) | Resin composition, film with adhesive for semiconductor device, laminated film with metal foil, and semiconductor device using the same | |
JP2004176003A (en) | Adhesive sheet or film, bonding sheet using the same, and method 0f producing the same | |
KR20190083496A (en) | Heat dissipation board | |
JP4156180B2 (en) | Epoxy resin composition, prepreg, and copper-clad laminate using the same | |
JPH0812744A (en) | Resin composition and prepreg | |
JPH04370996A (en) | Bonding sheet | |
JPH1077392A (en) | Epoxy resin composition, epoxy resin prepreg, epoxy resin laminate and multilayered printed wiring board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040331 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |