JPH08286022A - Transfer device for color filter - Google Patents

Transfer device for color filter

Info

Publication number
JPH08286022A
JPH08286022A JP11013395A JP11013395A JPH08286022A JP H08286022 A JPH08286022 A JP H08286022A JP 11013395 A JP11013395 A JP 11013395A JP 11013395 A JP11013395 A JP 11013395A JP H08286022 A JPH08286022 A JP H08286022A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer
substrate
color filter
film
roller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11013395A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhide Nakajima
泰秀 中島
Masaru Sasaki
賢 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP11013395A priority Critical patent/JPH08286022A/en
Publication of JPH08286022A publication Critical patent/JPH08286022A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE: To excellently, precisely and efficiently transfer coloring material on transfer film on a substrate by providing a transfer film supply part, a transfer part and a discharging part at a position lower than a substrate carrying part. CONSTITUTION: The transfer film 111 from a supply part 16 is moved on the front face of the CCD camera 19 of an inspection part via a dancer roller 15. Next, the film 111 moves to the dancer roller 15'. A color filter glass substrate 13 is supplied, and the film 111 and the substrate 13 are held between a transfer roller 11 having the rugged releaf pattern of a picture element at the transfer part and a pressing roller 12 and are pressed. The film 111 transferred is taken up by a supporting film take-up part 110 through the dancer roller 15". The color filter substrate 13 is discharged from a discharge port after having a coloring layer formed. The devices are all attached at the position lower than the substrate carrying part.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、支持体上に異なる分光
特性の転写フィルムを用いて、複数色の着色画素を備え
たカラーフィルタを製造する型押し転写装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an embossing transfer apparatus for manufacturing a color filter having colored pixels of a plurality of colors by using transfer films having different spectral characteristics on a support.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶用カラーフィルタの製造プロセス
は、量産性、経済性の面を考慮して種々の方法が提案さ
れている。このうち、特開昭63ー187203のよう
に予めフィルム状に感光性樹脂を形成し、これを事後に
熱等で圧着し、これを露光現像して着色パターンを得る
方法が有力な方法として提案されている。この方法に依
れば、予め塗布膜が形成されているので、塗布時の乾燥
時間が不要になり量産適応性が良好になると共に、感光
性樹脂を有効に使用することが出来るので経済性に富ん
でいる。しかし、相変わらず現像工程は必要であり、更
に工程の短縮化を中心とした改善が望まれていた。この
中で「型押し転写法」が有力な方法として提案されてい
る。「型押し転写法」とは、凹凸を有する転写ローラを
転写紙を介して基板に直接転写せしめて、微細な着色パ
ターンを得る方法で現像工程をも不要とするものであ
る。また、これを実現せしめるための型押し転写装置と
して、以下の様なものが提案されている。基板上に転写
フィルムを重ねた後、版胴上に形成された押し型で転写
材を接着層を介して基板に接着したもの(特開平4ー9
903号「型押転写法」)。転写フィルムは連続フィル
ムとして、押し型は連続的に製造し易く円筒状としたも
の(特開平4ー100005号「転写によるカラーフィ
ルタの製造方法」)。
2. Description of the Related Art As a manufacturing process of a liquid crystal color filter, various methods have been proposed in consideration of mass productivity and economical efficiency. Among them, a method in which a photosensitive resin is previously formed in a film shape as in Japanese Patent Laid-Open No. 63-187203, which is subsequently pressure-bonded by heat or the like and exposed and developed to obtain a colored pattern is proposed as a powerful method. Has been done. According to this method, since the coating film is formed in advance, the drying time at the time of coating is unnecessary, mass production adaptability is improved, and the photosensitive resin can be effectively used, which is economical. Rich However, the development process is still required, and further improvement centered on shortening the process has been desired. Among them, the “embossing transfer method” has been proposed as a powerful method. The “embossing transfer method” is a method in which a transfer roller having irregularities is directly transferred onto a substrate via a transfer paper to obtain a fine colored pattern, and a developing step is not necessary. Further, as the embossing transfer device for realizing this, the following devices have been proposed. After the transfer film is superposed on the substrate, the transfer material is adhered to the substrate via an adhesive layer by a pressing die formed on the plate cylinder (Japanese Patent Laid-Open No. 4-9).
No. 903 "Embossing transfer method"). The transfer film is a continuous film, and the pressing die is formed into a cylindrical shape so as to be easily manufactured continuously (Japanese Patent Laid-Open No. 4-100005, "Method for manufacturing color filter by transfer").

【0003】[0003]

【発明が解決しようとしている課題】しかし、いずれの
転写装置においてもパーティクル付着等の問題点が未解
決であり、歩留まり対策の面で不十分なものであった。
そこで本発明では品質良く、精度良くかつ効率良く、転
写フィルム上の着色材料をカラーフィルタ用のガラス基
板に転写する装置を提供することにある。
However, the problems such as particle adhesion have not been solved in any of the transfer devices, which is insufficient in terms of yield countermeasures.
Therefore, it is an object of the present invention to provide an apparatus for transferring a coloring material on a transfer film to a glass substrate for a color filter with high quality, accuracy and efficiency.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】そこで、上記課題を解決
すべく検討の結果以下のような手段を有するカラーフィ
ルター用転写装置を発明するに到ったものである。第1
の手段として、基板搬送部より低い位置に、転写フィル
ム供給部と、転写フィルムと基板とを重ねて転写部材で
カラーフィルタのパターンを前記基板に転写する転写部
と、前記転写後のフィルムを排出する排出部を設けたこ
とを特徴とするカラーフィルタ用の転写装置を提供す
る。第2の手段として、前記転写部において、転写部材
をカラーフィルタ用の基板の下側から転写するための転
写ローラとしたことを特徴とする前記第1の手段記載の
カラーフィルタ用の転写装置を提供する。第3の手段と
して、第2の手段記載の転写装置の転写ローラに、カラ
ーフィルタのパターンが形成されている円筒型の型押し
部材と、当該転写部の円筒型の型押し部材に前記転写フ
ィルムを吸引する吸引部を設けたことを特徴とする第2
の手段記載のカラーフィルタ用の転写装置を提供する。
第4の手段として、第1の手段乃至第3の手段記載の基
板搬送部に、カラーフィルタ用基板と型押し部材との位
置合わせを行う為のカメラ側のアライメントマーク付き
透明基板と、前記マーク検出用カメラと、当該検出カメ
ラからの信号に基づき前記基板と前記型押し部材の相対
位置を演算する演算制御部からの演算結果に基づき前記
相対位置を調整する位置調整部を設けたことを特徴とす
る第1の手段乃至第3の手段記載のカラーフィルタ用の
転写装置を提供する。
Therefore, as a result of studies to solve the above problems, the inventors have invented a transfer device for a color filter having the following means. First
As a means for transferring, a transfer film supply unit, a transfer unit for superimposing the transfer film and the substrate on each other to transfer the color filter pattern to the substrate by a transfer member, and a film after the transfer are discharged to a position lower than the substrate transport unit. Provided is a transfer device for a color filter, which is characterized in that a discharge part is provided. As a second means, the transfer device for the color filter according to the first means is characterized in that, in the transfer part, the transfer member is a transfer roller for transferring from a lower side of the substrate for the color filter. provide. As a third means, the transfer film of the transfer device according to the second means has a cylindrical embossing member on which a color filter pattern is formed, and the transfer film on the cylindrical embossing member of the transfer section. The second feature that a suction unit for sucking
And a transfer device for a color filter according to the above-mentioned means.
As a fourth means, a transparent substrate with an alignment mark on the camera side for aligning the color filter substrate and the embossing member is provided on the substrate transfer section according to the first to third means, and the mark. A detection camera and a position adjusting unit that adjusts the relative position based on a calculation result from a calculation control unit that calculates a relative position between the substrate and the embossing member based on a signal from the detection camera are provided. A transfer device for a color filter according to any one of the first to third means is provided.

【0005】[0005]

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
1は本発明の一実施例のうち画像転写する部分の主要構
成を示したものである。これに基づき以下に説明する。
転写フィルム111は連続したロールとして本装置の供
給部16にセットする。この供給部16ではロールは1
本であるが、さらに生産能率を向上させるならば、ロー
ルを複数セットでき、かつ、自動的にフィルムを接続で
きるオートペースターを使用しても良い。また、転写フ
ィルム111は少なくとも支持フィルム上に着色フィル
ムを均一に形成されたものからなる。排出部110であ
る巻取りが転写フィルムの供給部よりフィルムを引っ張
る。供給部16からの転写フィルム111はテンション
コントロール用の第1のダンサーローラ15を経由した
後、検査部に至る。テンションコントロール用のダンサ
ーローラ15は5から30キログラム等の重りが設定さ
れており、ダンサーローラの位置が変化することでテン
ションが一定に保たれる。つまり、転写フィルム111
が強く引っ張られるとダンサーローラはテンションを小
さくして設定値になるように下に下がる。逆に転写フィ
ルムがゆるむとダンサーローラはテンションを大きくす
るように上に上がる。そして、検査部のCCDカメラ1
9の前面へ移動する。ここでは図示していないが検査に
先立って、除塵装置にて両面から転写フィルムにエアを
吹き付けて埃、塵等を落とすことにより、歩留まり面で
有利となる。この際、不良部位が検出されるとその位置
データに基づき不良の転写フィルムは転写されずにその
まま排紙される。転写フィルム111は、カラーフィル
タ用のガラス基板13に転写すべく第2のダンサーロー
ラ15’へ移動する。併せてガラス基板13が基板供給
部より供給されて、両者は転写部にある凹凸の画素のレ
リーフパターンを有する転写ローラ11と押圧ローラ1
2で挟まれ押圧される。一般に転写フィルム111は高
温で加熱すると伸びてテンションの調整がしにくくなる
ので転写ローラ11の温度は、50℃以下が望ましい。
但し、転写ローラ11に対向して位置する押圧ローラ1
2は70℃〜170℃で加熱し、ガラス基板 の温度を
高く保つと同時にガラス基板13の温度を70℃〜17
0℃に別途予備加熱して、転写部へ移動することが有効
である。ガラス基板13の温度が充分昇温していない
と、転写が不十分になる反面、転写されるパターン部の
みの転写であれば、転写フィルム111の伸びが少なく
て済むためである。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 shows the main structure of an image transfer portion in an embodiment of the present invention. It will be described below based on this.
The transfer film 111 is set in the supply unit 16 of the apparatus as a continuous roll. The number of rolls in this supply unit 16 is 1.
Although it is a book, if the production efficiency is further improved, an auto paster capable of setting a plurality of rolls and automatically connecting films may be used. The transfer film 111 is composed of at least a colored film uniformly formed on a support film. The winding, which is the discharging unit 110, pulls the film from the supply unit of the transfer film. The transfer film 111 from the supply unit 16 reaches the inspection unit after passing through the first dancer roller 15 for tension control. A weight of 5 to 30 kilograms or the like is set for the dancer roller 15 for tension control, and the tension is kept constant by changing the position of the dancer roller. That is, the transfer film 111
When is strongly pulled, the dancer roller lowers the tension and goes down to the set value. On the contrary, when the transfer film is loosened, the dancer roller rises to increase the tension. And the CCD camera 1 of the inspection section
Move to the front of 9. Although not shown here, prior to the inspection, it is advantageous in terms of yield by blowing air onto the transfer film from both sides with a dust remover to remove dust, dirt, and the like. At this time, if a defective portion is detected, the defective transfer film is not transferred and is discharged as it is based on the position data. The transfer film 111 moves to the second dancer roller 15 'to be transferred to the glass substrate 13 for the color filter. At the same time, the glass substrate 13 is supplied from the substrate supply unit, and both of them are provided with the transfer roller 11 and the pressing roller 1 each having a relief pattern of uneven pixels in the transfer unit.
It is sandwiched by 2 and pressed. Generally, when the transfer film 111 is heated at a high temperature, the transfer film 111 stretches and it becomes difficult to adjust the tension.
However, the pressing roller 1 located opposite to the transfer roller 11
No. 2 is heated at 70 ° C to 170 ° C to keep the temperature of the glass substrate high and the temperature of the glass substrate 13 is kept at 70 ° C to 17 ° C.
It is effective to separately preheat to 0 ° C. and move to the transfer section. This is because when the temperature of the glass substrate 13 is not sufficiently raised, the transfer is insufficient, but when the transfer is performed only on the pattern portion to be transferred, the transfer film 111 is less likely to expand.

【0006】図2は、本発明の一実施例のうちガラス基
板と転写ローラ上に形成された一定レリーフパターンと
の位置合わせ装置の主要構成部を示したものである。ま
た、図4は、これを上部から見たものである。以下に図
2と図4を用いて、これらの動作機構を説明する。図4
において、基板46は、搬送ローラ(図示せず)によ
り、位置決め装置台44上に搬送され、この際にプレア
ライメント動作が同時に成される。即ち、左右方向の第
1の位置決め部材である「へ」の字型の揺動板45が基
板46の進行する方向に対して直交する方向に揺動する
ことにより基板の概ねの位置調整を行う。第2の位置決
め部材である傾斜を持った搬送ローラ群41により基板
46は左右方向の位置決めを行う。搬送ローラは、図4
に示すようにd2>d1のように一対のローラ間隔を徐
々に狭める構造になっている。従って、基板が位置決め
部材に搬入されるに従い、所定の位置にプレアライメン
トが終了されることになる。プレアライメントが終了し
た基板は、上昇する前進方向の位置決め部材であるスト
ッパ43で一時停止される。この時に、ガラス基板46
に擦り傷を付けないように搬送ローラ41も回転を一時
停止する。停止された基板の進行方向を先頭として、基
板46にあるアライメントマーク(例えば、「+」状の
マーク)の位置合わせマークを検出カメラにより検出す
る。例えば、位置合わせ用の検出カメラから見た場合、
図5に示すようにカメラ側のアライメントマークは
「□」型として、基板上は「十」型とする。この情報を
演算制御部(図示せず)によりαラインで横方向の位置
ズレ量を演算し、βラインで縦方向の位置ズレ量を演算
する。位置ズレ量の許容値を±Δa、±Δbとすると、
この時にa1≦a2±Δa、b1≦b2±Δbとなるよ
うに演算制御部の信号に基づき基板の位置が調整され
る。この信号は、予め固定された転写ローラ上のレリー
フパターンとの相対的な位置決めを行うものとなる。即
ち、転写ローラの回転に同期したロータリーエンコーダ
による第1のタイミング信号と、基板のアライメントマ
ークによる第2のタイミング信号を入力する演算制御部
により転写ローラと基板との重ね合わせのタイミングを
採り、基板は転写ローラ方向へ移動開始する。図2に示
すように押圧ローラの前には、XYθステージ24上に
基板213がスムースに搬送されるように一定間隔で搬
送ローラ25があり、各ローラは駆動機構並びに搬送タ
イミングを取るためのタイミング機構により制御されて
いる。このようにして、各ローラは同期を取りながら同
時にストッパー23の上下動との併せた駆動により、基
板213は一定タイミングで搬送される。
FIG. 2 shows the main components of an alignment apparatus for aligning a glass substrate and a constant relief pattern formed on a transfer roller in one embodiment of the present invention. In addition, FIG. 4 is a view of this from above. These operation mechanisms will be described below with reference to FIGS. 2 and 4. FIG.
In the above, the substrate 46 is transported onto the positioning device stand 44 by the transport rollers (not shown), and at this time, the pre-alignment operation is simultaneously performed. That is, the position of the substrate is roughly adjusted by swinging the “F” -shaped swing plate 45, which is the first positioning member in the left-right direction, in a direction orthogonal to the direction in which the substrate 46 advances. . The substrate 46 is positioned in the left-right direction by the conveyance roller group 41 having an inclination which is the second positioning member. The transport roller is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the distance between the pair of rollers is gradually narrowed such that d2> d1. Therefore, as the substrate is carried into the positioning member, the pre-alignment is completed at the predetermined position. The substrate for which the pre-alignment is completed is temporarily stopped by the stopper 43 which is a positioning member in the ascending forward direction. At this time, the glass substrate 46
The conveyance roller 41 also temporarily stops its rotation so as not to scratch. A detection camera detects an alignment mark of an alignment mark (for example, a “+”-shaped mark) on the substrate 46, with the traveling direction of the stopped substrate as the head. For example, when viewed from a detection camera for alignment,
As shown in FIG. 5, the alignment mark on the camera side is “□” type, and the alignment mark on the substrate is “10” type. This information is calculated by a calculation control unit (not shown) to calculate the lateral position shift amount on the α line and the vertical position shift amount on the β line. If the allowable values of the positional deviation amount are ± Δa and ± Δb,
At this time, the position of the substrate is adjusted based on the signal from the arithmetic control unit so that a1 ≦ a2 ± Δa and b1 ≦ b2 ± Δb. This signal serves for relative positioning with the relief pattern on the transfer roller which is fixed in advance. That is, the arithmetic control unit that inputs the first timing signal by the rotary encoder synchronized with the rotation of the transfer roller and the second timing signal by the alignment mark of the substrate takes the timing of superimposing the transfer roller and the substrate, Starts moving toward the transfer roller. As shown in FIG. 2, in front of the pressing roller, there are transport rollers 25 at regular intervals so that the substrate 213 can be smoothly transported on the XYθ stage 24, and each roller has a drive mechanism and a timing for determining a transport timing. It is controlled by the mechanism. In this way, the substrates 213 are conveyed at a fixed timing by the respective rollers being driven in synchronization with the vertical movement of the stopper 23 at the same time.

【0007】次に転写部について図3を用いて説明す
る。図3(a)は転写部の正面図である。図3(b)は
転写部のAーA’断面図であり、図3(c)は転写ロー
ラ上に形成されたモザイク型の場合の「R」用のレリー
フパターンを示す図である。転写フィルムを基板に転写
するに際しては図3(a)のシリンダーが下降して、押
圧ローラとの間に発生した圧力によりレリーフパターン
の転写が実現される。 尚、レリーフパターンはカラー
フィルターに使用される大きさになるため、1画素の大
きさ100μm程度である。レリーフの高さは通常10
から50μm程度が望ましいが、転写フィルムの厚みに
合わせて適宜変更する。例えば、転写フィルムの厚みは
1μm乃至200μm程度に適宜使用し得る。
Next, the transfer section will be described with reference to FIG. FIG. 3A is a front view of the transfer portion. 3B is a sectional view taken along the line AA ′ of the transfer portion, and FIG. 3C is a view showing a relief pattern for “R” in the case of a mosaic type formed on the transfer roller. When the transfer film is transferred to the substrate, the cylinder shown in FIG. 3A descends and the transfer of the relief pattern is realized by the pressure generated between the transfer film and the pressing roller. Since the relief pattern has a size used for a color filter, the size of one pixel is about 100 μm. Relief height is usually 10
It is desirable to be about 50 μm, but it is appropriately changed according to the thickness of the transfer film. For example, the thickness of the transfer film may be appropriately set to about 1 μm to 200 μm.

【0008】併せて、転写ローラには、転写フィルムを
固定するための吸引口が、レリーフパターンの間に形成
される。図3(a)の転写ローラのA−A’の断面を図
3(b)に示す。転写ローラ35には、固定された転写
ローラ支持体31に吸着室34が設けられ、これが、吸
引路を介して、吸引口33と繋がっている。従って、転
写ローラ35が回転することにより、吸引口33と吸引
室34と繋がったときに吸引が開始され、転写フィルム
が固定される。この様な機構により、転写フィルムを必
要な回転角に来たときのみ吸着による転写ローラ上の固
定を図っている。
At the same time, a suction port for fixing the transfer film is formed between the relief patterns on the transfer roller. FIG. 3B shows a cross section taken along the line AA ′ of the transfer roller of FIG. The transfer roller 35 is provided with a suction chamber 34 on a fixed transfer roller support 31, which is connected to a suction port 33 via a suction path. Therefore, when the transfer roller 35 rotates, suction is started when the suction port 33 and the suction chamber 34 are connected, and the transfer film is fixed. With such a mechanism, the transfer film is fixed on the transfer roller by suction only when it reaches a required rotation angle.

【0009】最後に図1において、転写済みのフィルム
111は第3のダンサーローラ15’を経て支持フィル
ム巻き取り部110に巻き取られ、カラーフィルタ基板
13は着色層を形成されて排出口より排出される。尚、
以上の諸装置が全て、図1で現したように基板搬送部よ
りも低い位置に装着されているものである。このカラー
フィルタ用転写装置を用いて基板上にカラーフィルタを
形成した結果、高歩留まりでカラーフィルタを生産でき
たのみならず、これを用いたカラー液晶表示装置は優れ
た画質を示した。
Finally, in FIG. 1, the transferred film 111 is taken up by the support film take-up unit 110 through the third dancer roller 15 ', and the color filter substrate 13 is formed with a colored layer and is discharged from the discharge port. To be done. still,
All of the above-described devices are mounted at a position lower than the substrate transfer section as shown in FIG. As a result of forming a color filter on a substrate using this color filter transfer device, not only a color filter could be produced with a high yield, but also a color liquid crystal display device using this showed excellent image quality.

【0010】[0010]

【発明の作用並びに効果】第1の発明では、品質良くカ
ラーフィルタを製造するためにゴミ、塵等を排出するメ
カ系を転写される基板より低い位置に配置することでゴ
ミ、塵等の付着を防止するという効果を奏するものであ
る。第2の発明では、上記効果と相まって、生産効率を
さらに高めることができる。第3の発明では、カラーフ
ィルタのパターンが形成されている型押し部材のレリー
フパターンを設けている円筒状の転写ローラに転写用の
フィルムを吸引する吸引部を設けて転写フィルムを形押
し部材上に固定することでレリーフパターンに対応する
着色材のみを基板に品質良くかつ確実に転写できるとい
う効果を奏する。第4の発明では、基板の搬送ラインに
カラーフィルタ基板と型押し部材との位置合わせを行う
検出部を設けて位置合わせ調整部を設けることでアライ
メントが確実に行われ、画素の位置合わせ精度の優れた
カラーフィルタを製造することが出来る効果を奏するも
のである。
According to the first aspect of the invention, in order to manufacture a color filter with high quality, a mechanical system for discharging dust, dust, etc. is arranged at a position lower than the substrate to be transferred, so that the dust, dust, etc. are attached. The effect is to prevent. In the second invention, the production efficiency can be further enhanced in combination with the above effect. According to the third aspect of the present invention, the transfer film is formed on the embossing member by providing the cylindrical transfer roller, which has the relief pattern of the embossing member on which the color filter pattern is formed, with the suction portion for sucking the transfer film. By fixing to the substrate, only the coloring material corresponding to the relief pattern can be transferred onto the substrate with good quality and reliably. According to the fourth aspect of the present invention, by providing a detection unit for aligning the color filter substrate and the embossing member on the substrate transfer line and providing an alignment adjustment unit, alignment is reliably performed and pixel alignment accuracy is improved. This has the effect of producing an excellent color filter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図 1】本発明の一実施例のうち画像転写する部分の
主要構成を示した図である。
FIG. 1 is a diagram showing a main configuration of a portion to which an image is transferred in an embodiment of the present invention.

【図 2】本発明の一実施例のうちガラス基板と転写ロ
ーラ上に形成された一定レリーフパターンとの位置合わ
せ装置の主要構成部を示した図である。
FIG. 2 is a diagram showing a main configuration part of an alignment device for aligning a glass substrate and a constant relief pattern formed on a transfer roller in one embodiment of the present invention.

【図 3】転写ローラの詳細図である。FIG. 3 is a detailed view of a transfer roller.

【図 4】図2の上面図である。FIG. 4 is a top view of FIG.

【図 5】アライメントマーク信号の一例を示す図であ
る。
FIG. 5 is a diagram showing an example of an alignment mark signal.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 転写ローラ 12 押圧ローラ 13 基板 14 画素 15 ダンサローラ 15’ ダンサローラ 15” ダンサローラ 16 転写フィルム供給部 17 検査用光源 18 検査用拡散板 19 検査用カメラ 110 転写フィルム排出部 111 転写フィルム 112 搬送ローラ 21 位置決め用カメラ 22 カメラ側アライメントマークを形成した透明部材 23 ストッパー 24 XYθステージ 25 搬送ローラ 26 ステージ台 27 ステージ土台 28 Xステージ 29 Xステージガイド 210 Yステージ 211 Yステージガイド 31 転写ローラ支持体 32 レリーフパターン 33 吸引口 34 吸引室 35 転写ローラ 41 搬送ローラ 42 位置決めセンサ 43 ストッパー 44 XYθステージ 45 揺動板 46 基板 46 センサ 11 Transfer Roller 12 Pressing Roller 13 Substrate 14 Pixel 15 Dancer Roller 15 'Dancer Roller 15 "Dancer Roller 16 Transfer Film Supply Part 17 Inspection Light Source 18 Inspection Diffuser 19 Inspection Camera 110 Transfer Film Discharge Unit 111 Transfer Film 112 Conveyor Roller 21 Positioning Camera 22 Transparent member with alignment mark on the camera side 23 Stopper 24 XYθ stage 25 Conveyor roller 26 Stage base 27 Stage base 28 X stage 29 X stage guide 210 Y stage 211 Y stage guide 31 Transfer roller support 32 Relief pattern 33 Suction port 34 Suction Chamber 35 Transfer Roller 41 Conveyor Roller 42 Positioning Sensor 43 Stopper 44 XYθ Stage 45 Swing Plate 46 Substrate 46 Sensor

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板搬送部より低い位置に、転写フィルム
供給部と、転写フィルムと基板とを重ねて転写部材でカ
ラーフィルタのパターンを前記基板に転写する転写部
と、前記転写後のフィルムを排出する排出部を設けたこ
とを特徴とするカラーフィルタ用の転写装置。
1. A transfer film supply unit, a transfer unit for superimposing the transfer film and the substrate and transferring a color filter pattern onto the substrate by a transfer member, and a film after the transfer at a position lower than the substrate transport unit. A transfer device for a color filter, which is provided with a discharge part for discharging.
【請求項2】前記転写部において、転写部材をカラーフ
ィルタ用の基板の下側から転写するための転写ローラと
したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のカラ
ーフィルタ用の転写装置。
2. The transfer device for a color filter according to claim 1, wherein in the transfer section, the transfer member is a transfer roller for transferring from the lower side of the substrate for the color filter. .
【請求項3】請求項2記載の転写装置の転写ローラに、
カラーフィルタのパターンが形成されている円筒型の型
押し部材と、当該転写部の円筒型の型押し部材に前記転
写フィルムを吸引する吸引部を設けたことを特徴とする
特許請求の範囲第2項記載のカラーフィルタ用の転写装
置。
3. The transfer roller of the transfer device according to claim 2,
3. A cylindrical embossing member on which a pattern of a color filter is formed, and a cylindrical embossing member of the transfer section are provided with a suction section for sucking the transfer film. A transfer device for a color filter according to the item.
【請求項4】請求項1乃至3記載の基板搬送部に、カラ
ーフィルタ用基板と型押し部材との位置合わせを行う為
のカメラ側のアライメントマーク付き透明基板と、前記
マーク検出用カメラと、当該検出カメラからの信号に基
づき前記基板と前記型押し部材の相対位置を演算する演
算制御部からの演算結果に基づき前記相対位置を調整す
る位置調整部を設けたことを特徴とする特許請求の範囲
第1項、第2項または、第3項記載のカラーフィルタ用
の転写装置。
4. A transparent substrate with an alignment mark on the camera side for aligning the color filter substrate and the embossing member, the mark detection camera, and the substrate transfer section according to claim 1 or 3. A position adjusting unit for adjusting the relative position based on a calculation result from a calculation control unit that calculates a relative position of the substrate and the embossing member based on a signal from the detection camera is provided. A transfer device for a color filter according to the first, second or third range.
JP11013395A 1995-04-11 1995-04-11 Transfer device for color filter Withdrawn JPH08286022A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11013395A JPH08286022A (en) 1995-04-11 1995-04-11 Transfer device for color filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11013395A JPH08286022A (en) 1995-04-11 1995-04-11 Transfer device for color filter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08286022A true JPH08286022A (en) 1996-11-01

Family

ID=14527870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11013395A Withdrawn JPH08286022A (en) 1995-04-11 1995-04-11 Transfer device for color filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08286022A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4777682B2 (en) Scan exposure equipment
US9172063B2 (en) Method and apparatus for manufacturing display devices
JP3756402B2 (en) Substrate transfer apparatus and method
CN102834778A (en) Exposure apparatus, substrate processing apparatus, and device manufacturing method
KR100662564B1 (en) Align apparatus
WO2007141852A1 (en) Exposure method and exposure apparatus
TWI481971B (en) Exposure method and exposure apparatus
TWI273627B (en) Photosensitive resin transfer printing equipment and methods
WO2021243948A1 (en) System and method for thin film processing
JPH08286022A (en) Transfer device for color filter
WO2010041403A1 (en) Flexible substrate, method for manufacturing display element and apparatus for manufacturing display element
JPH095513A (en) Transfer device for color filter
JPH10186363A (en) Manufacturing device for liquid crystal oriented film
JPH08234015A (en) Transfer device
TWI566010B (en) Polarization film laminating device
EP1666957B1 (en) Substrate for multiple color filters and method for producing the same
JP3678450B2 (en) Color filter manufacturing method and manufacturing apparatus used in the method
JP4711871B2 (en) Stamper manufacturing apparatus and method for LCD alignment film printing
CN113752148A (en) Thin film processing system and method
CN213368229U (en) Thin film processing system
KR101697661B1 (en) Apparatus for fabricating double-sided patterned film
JP4738887B2 (en) Exposure equipment
JP4409256B2 (en) Color filter manufacturing apparatus and color filter manufacturing method
JP2003322715A (en) Method of manufacturing pattern member and apparatus for manufacturing the same
CN212933489U (en) Touch control film

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20020702