JPH08285786A - Foreign matter inspection equipment for plastic board - Google Patents

Foreign matter inspection equipment for plastic board

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Publication number
JPH08285786A
JPH08285786A JP7085054A JP8505495A JPH08285786A JP H08285786 A JPH08285786 A JP H08285786A JP 7085054 A JP7085054 A JP 7085054A JP 8505495 A JP8505495 A JP 8505495A JP H08285786 A JPH08285786 A JP H08285786A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plastic plate
foreign matter
image
inspection device
surface side
Prior art date
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Pending
Application number
JP7085054A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Matsushita
智 松下
Katsumi Maenozono
克美 前之園
Masao Inoue
政雄 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Engineering Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Engineering Corp filed Critical Toshiba Engineering Corp
Priority to JP7085054A priority Critical patent/JPH08285786A/en
Publication of JPH08285786A publication Critical patent/JPH08285786A/en
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

PURPOSE: To obtain accurate inspection results while shortening the inspection time significantly by picking up the image of an objective plastic board and deciding whether a foreign matter is present and determining the size thereof, if any. CONSTITUTION: A transfer unit 2 feeds an objective plastic board 7 to an image input unit 5 which then picks up the image of the plastic board 7. An inspection unit 6 decides whether a foreign matter is present in the plastic board 7 and a marking unit 3 is controlled based on the decision results to put a mark, indicative of presence or absence of foreign matter, on the plastic board 7 before it is fed out by means of a transfer unit 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は透明プラスチック板や色
付きプラスチック板などの中に異物があるかどうかを検
査するプラスチック板異物検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plastic plate foreign matter inspection device for inspecting a transparent plastic plate or a colored plastic plate for foreign matter.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種のプラスチック成形品の材料となる
プラスチック材料の良否を判定するとき、通常、原料と
なるプラスチックを板状にして、検査員による目視検査
で、プラスチック板内に異物があるかどうか、もし異物
があるときには、その大きさや数などを判断して、プラ
スチック材料の良否を判定するようにしている。
2. Description of the Related Art When judging the quality of a plastic material used as a material for various plastic molded products, it is usual to make a plastic material into a plate shape and visually inspect by an inspector whether there is a foreign substance in the plastic plate. If there is a foreign substance, the size and the number of the foreign substance are judged to judge the quality of the plastic material.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のプラスチック材料の検査方法では、検査員によ
る目視検査で、プラスチック板内に異物があるかどうか
を見つけ出すようにしているので、プラスチック板の検
査に時間がかかりすぎるとともに、検査員の見落としな
どによって検査結果が不正確なものになってしまうなど
の問題があった。
However, in the above-mentioned conventional method for inspecting the plastic material, the visual inspection by the inspector is carried out to find out whether or not there is any foreign matter in the plastic sheet. It took too much time and the inspection result became inaccurate due to oversight of the inspector.

【0004】本発明は上記の事情に鑑み、検査対象とな
るプラスチック板を撮影して、異物の有無やその大きさ
などを判定することができ、これによってプラスチック
板の検査時間を大幅に短縮することができるとともに、
正確な検査結果を得ることができるプラスチック板異物
検査装置を提供することを目的としている。
In view of the above circumstances, the present invention can photograph a plastic plate to be inspected and determine the presence or absence of foreign matter and its size, thereby significantly reducing the inspection time of the plastic plate. While being able to
An object of the present invention is to provide a plastic plate foreign matter inspection device that can obtain accurate inspection results.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明によるプラスチック板異物検査装置は、請求
項1では、異物有無の検査対象となるプラスチック板を
取り込んで撮影する画像入力装置と、この画像入力装置
で得られた前記プラスチック板の画像信号の各画素値に
基づき、異物部分の有無またはその大きさの少なくと
も、いずれか1つを判定する検査装置と、この検査装置
の判定結果を前記プラスチック板に対するマーキングま
たは画面表示の少なくともいずれか一方により表示する
マーキング・表示装置とを備えたことを特徴としてい
る。
In order to achieve the above object, a plastic plate foreign matter inspection device according to the present invention is, in claim 1, an image input device for capturing and photographing a plastic plate to be inspected for foreign matter. An inspection device for determining at least one of the presence or absence of a foreign matter portion and its size based on each pixel value of the image signal of the plastic plate obtained by this image input device, and the determination result of this inspection device Is provided by at least one of marking and screen display on the plastic plate.

【0006】また、請求項2では、請求項1に記載のプ
ラスチック板異物検査装置において、前記画像入力装置
はプラスチック板を保持して、X方向、Y方向に移動さ
せるXYステージ機構と、このXYステージ機構によっ
てX方向、Y方向に移動させられた前記プラスチック板
を小さな検査対象エリアに分割して撮影する撮影機構
と、前記XYステージ機構の下面側に配置され、このX
Yステージ機構に保持されているプラスチック板を下面
側から照明する下面側照明機構と、前記XYステージ機
構の上面側に配置され、このXYステージ機構に保持さ
れているプラスチック板を上面側から照明する上面側照
明機構とを備えたことを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, in the plastic plate foreign matter inspection device according to the first aspect, the image input device holds the plastic plate and moves it in the X and Y directions, and the XY stage mechanism. An imaging mechanism that divides the plastic plate moved in the X and Y directions by a stage mechanism into small inspection target areas and takes an image, and is arranged on the lower surface side of the XY stage mechanism.
A lower surface side illumination mechanism that illuminates the plastic plate held by the Y stage mechanism from the lower surface side, and a plastic plate held by the XY stage mechanism that is arranged on the upper surface side and illuminates the plastic plate held by the XY stage mechanism from the upper surface side. It is characterized by including an upper surface side illumination mechanism.

【0007】また、請求項3では、請求項1または2に
記載のプラスチック板異物検査装置において、前記検査
装置は前記画像入力装置で得られた前記プラスチック板
の画像信号に対応するプラスチック板画像データを予め
設定されているシェーディング補正用のパターン画像デ
ータでシェーディング補正した後、予め設定されている
基準値データとの差を演算して、異物判定データを生成
し、この異物判定データの各画素値に基づき、異物部分
の有無またはその大きさの少なくとも、いずれか1つを
判定することを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the plastic plate foreign matter inspection device according to the first or second aspect, the inspection device is plastic plate image data corresponding to the image signal of the plastic plate obtained by the image input device. After shading correction with the preset pattern image data for shading correction, the difference with the preset reference value data is calculated to generate foreign substance determination data, and each pixel value of this foreign substance determination data is calculated. On the basis of the above, at least one of the presence or absence of the foreign matter portion and the size thereof is determined.

【0008】[0008]

【作用】上記の構成において、請求項1のプラスチック
板異物検査装置では、画像入力装置によって異物有無の
検査対象となるプラスチック板を取り込んで撮影すると
ともに、検査装置によて前記画像入力装置で得られた前
記プラスチック板の画像信号の各画素値に基づき、異物
部分の有無またはその大きさの少なくとも、いずれか1
つを判定した後、マーキング・表示装置によって前記検
査装置の判定結果を前記プラスチック板に対するマーキ
ングまたは画面表示の少なくともいずれか一方により表
示することによって、検査対象となるプラスチック板を
撮影して、異物の有無やその大きさなどを判定し、これ
によってプラスチック板の検査時間を大幅に短縮すると
ともに、正確な検査結果を得る。
According to the above construction, in the plastic plate foreign matter inspection device according to the first aspect, a plastic plate to be inspected for the presence of foreign substances is captured by the image input device and photographed, and the image is obtained by the inspection device by the image input device. Based on each pixel value of the image signal of the plastic plate, at least one of presence or absence of a foreign matter portion and its size
After determining the one, the marking / display device displays the determination result of the inspection device by at least one of the marking on the plastic plate and the screen display, so that the plastic plate to be inspected is photographed and The presence / absence and size of the plastic plate are determined to significantly reduce the inspection time of the plastic plate and obtain accurate inspection results.

【0009】また、請求項2では、請求項1に記載のプ
ラスチック板異物検査装置において、前記画像入力装置
で、XYステージ機構によってプラスチック板を保持し
て、X方向、Y方向に移動させ、前記XYステージ機構
の下面側に配置された下面側照明機構によって前記プラ
スチック板を下面側から照明したり、前記XYステージ
機構の上面側に配置された上面側照明機構によって前記
プラスチック板を上面側から照明したりしながら、撮影
機構によって前記XYステージ機構でX方向、Y方向に
移動させられた前記プラスチック板を小さな検査対象エ
リアに分割して撮影することにより、検査対象となるプ
ラスチック板を撮影して、異物の有無やその大きさなど
を判定し、これによってプラスチック板の検査時間を大
幅に短縮するとともに、正確な検査結果を得る。
According to a second aspect, in the plastic plate foreign matter inspection device according to the first aspect, the image input device holds the plastic plate by an XY stage mechanism and moves the plastic plate in the X and Y directions, The plastic plate is illuminated from the lower surface side by the lower surface side illumination mechanism arranged on the lower surface side of the XY stage mechanism, and the plastic plate is illuminated from the upper surface side by the upper surface side illumination mechanism arranged on the upper surface side of the XY stage mechanism. While doing so, the plastic plate to be inspected is photographed by dividing the plastic plate moved in the X and Y directions by the XY stage mechanism by the photographing mechanism into small inspection target areas, and photographing. By determining the presence or absence of foreign matter and its size, the inspection time of the plastic plate can be shortened significantly. To obtain accurate test results.

【0010】また、請求項3では、請求項1または2に
記載のプラスチック板異物検査装置において、前記検査
装置で、前記画像入力装置で得られた前記プラスチック
板の画像信号に対応するプラスチック板画像データを予
め設定されているシェーディング補正用のパターン画像
データでシェーディング補正した後、予め設定されてい
る基準値データとの差を演算して、異物判定データを生
成し、この異物判定データの各画素値に基づき、異物部
分の有無またはその大きさの少なくとも、いずれか1つ
を判定することにより、検査対象となるプラスチック板
を撮影して、異物の有無やその大きさなどを判定し、こ
れによってプラスチック板の検査時間を大幅に短縮する
とともに、正確な検査結果を得る。
According to a third aspect of the present invention, in the plastic plate foreign matter inspection device according to the first or second aspect, the plastic plate image corresponding to the image signal of the plastic plate obtained by the image input device by the inspection device. After shading correction of the data with preset pattern image data for shading correction, the difference with the preset reference value data is calculated to generate foreign substance determination data, and each pixel of the foreign substance determination data is calculated. Based on the value, at least one of the presence or absence of a foreign matter portion and its size is determined, and the plastic plate to be inspected is photographed to determine the presence or absence of a foreign matter and its size. The inspection time of the plastic plate is greatly shortened and the accurate inspection result is obtained.

【0011】[0011]

【実施例】図1は本発明によるプラスチック板異物検査
装置の一実施例を示すブロック図である。
1 is a block diagram showing an embodiment of a plastic plate foreign matter inspection apparatus according to the present invention.

【0012】この図に示すプラスチック板異物検査装置
1は搬入装置2と、マーキング装置3と、搬出装置4
と、画像入力装置5と、搬送部制御装置18と、検査装
置6とを備えており、搬入装置2によって検査対象とな
るプラスチック板7を画像入力装置5に搬入した後、こ
の画像入力装置5によって前記プラスチック板7の透過
画像または反射画像を取込み、検査装置6で前記プラス
チック板7内の異物があるかどうかを判定し、この判定
結果に基づいてマーキング装置3を制御して、異物の有
無などをプラスチック板7上にマーキングした後、搬出
装置4によってこれを搬出する。
The plastic plate foreign matter inspection device 1 shown in this figure has a carry-in device 2, a marking device 3, and a carry-out device 4.
The image input device 5, the conveyance unit control device 18, and the inspection device 6 are provided, and after the plastic plate 7 to be inspected is carried into the image input device 5 by the carry-in device 2, the image input device 5 is carried out. The transmission image or reflection image of the plastic plate 7 is taken in by the inspection device 6, the inspection device 6 determines whether there is a foreign substance in the plastic plate 7, and the marking device 3 is controlled based on this determination result to determine whether there is a foreign substance. After marking etc. on the plastic plate 7, it is carried out by the carry-out device 4.

【0013】搬入装置2は所定枚数単位、例えば14枚
単位でプラスチック板7がセットされたマガジン装置
(図示は省略する)から1枚ずつ排出されたプラスチッ
ク板7を取込み、これを前記画像入力装置5側に搬送す
るローラコンベア8などを備えており、マガジン装置か
らプラスチック板7が排出される毎に、これを取り込
み、前記画像入力装置5まで搬送する。
The carry-in device 2 takes in the plastic plates 7 discharged one by one from a magazine device (not shown) in which the plastic plates 7 are set in units of a predetermined number of sheets, for example, 14 sheets, and the image is input into the image input device. It is equipped with a roller conveyer 8 for carrying to the 5 side, and takes in the plastic plate 7 every time it is discharged from the magazine device, and carries it to the image input device 5.

【0014】また、マーキング装置3は前記画像入力装
置5から排出されるプラスチック板7を取り込むととも
に、前記主処理装置15から搬送部制御装置18を経て
出力されるマーキング指令に基づき、前記プラスチック
板7に異物があるとき、このプラスチック板7の指定さ
れた位置にマーキングを行って搬出装置4に搬出する。
Further, the marking device 3 takes in the plastic plate 7 discharged from the image input device 5 and, based on the marking command output from the main processing device 15 via the transporting part control device 18, the plastic plate 7 is printed. When there is a foreign substance in the sheet, marking is performed on the designated position of the plastic plate 7 and the sheet is carried out to the carry-out device 4.

【0015】搬出装置4は前記マーキング装置3から排
出されるプラスチック板7を取込み、スタック装置(図
示は省略する)側に搬送するローラコンベア9などを備
えており、前記マーキング装置3からプラスチック板7
が排出される毎に、これを取り込み、前記スタック装置
まで搬送する。
The carry-out device 4 is equipped with a roller conveyor 9 for taking in the plastic plate 7 discharged from the marking device 3 and conveying it to the stacking device (not shown) side.
Is taken out and conveyed to the stacking device.

【0016】また、画像入力装置5は前記搬入装置2に
よって送り込まれたプラスチック板7を保持して前記搬
送部制御装置18からの指示に基づき、位置決めを行う
XYステージ機構10と、このXYステージ機構10に
保持されているプラスチック板7が透明であるとき、前
記検査装置6からの指示に基づき、前記プラスチック板
7を下から照明する透過ストロボ照明機構11と、前記
XYステージ機構10に保持されているプラスチック板
7が色付きであるとき、前記検査装置6からの指示に基
づき、前記プラスチック板7を上から照明する反射スト
ロボ照明機構12と、前記検査装置6からの指示に応じ
た絞りで、前記プラスチック板7の光学画像を取り込む
マイクロスコープ機構13と、このマイクロスコープ機
構13によって取り込まれた光学画像を電気信号(画像
信号)に変換して前記検査装置6に供給するCCDエリ
アセンサ機構14とを備えている。
Further, the image input device 5 holds the plastic plate 7 sent by the carry-in device 2 and performs positioning based on an instruction from the transfer section control device 18, and this XY stage mechanism. When the plastic plate 7 held by 10 is transparent, it is held by the XY stage mechanism 10 and the transmission strobe illumination mechanism 11 that illuminates the plastic plate 7 from below based on the instruction from the inspection device 6. When the plastic plate 7 is colored, the reflection strobe illumination mechanism 12 that illuminates the plastic plate 7 from above based on the instruction from the inspection device 6, and the diaphragm according to the instruction from the inspection device 6 The microscope mechanism 13 for capturing the optical image of the plastic plate 7 and the microscope mechanism 13 for capturing the optical image. And a CCD area sensor mechanism 14 to be supplied to the inspection unit 6 of the optical image written into an electric signal (image signal).

【0017】そして、前記搬入装置2によって送り込ま
れたプラスチック板7をXYステージ機構10によって
固定した後、図2に示す如く所定ステップ距離単位で、
前記プラスチック板7を長手方向、幅方向に移動させな
がら、透過ストロボ照明機構11または反射ストロボ照
明機構12によって前記プラスチック板7を照明すると
ともに、マイクロスコープ機構13によって前記プラス
チック板7の光学画像の明るさを一定に保ちつつ、CC
Dエリアセンサ機構14によって前記プラスチック板7
の各検査領域の光学画像を画像信号に変換して、これを
検査装置6に供給する。
Then, after fixing the plastic plate 7 sent by the carry-in device 2 by the XY stage mechanism 10, as shown in FIG.
While moving the plastic plate 7 in the longitudinal direction and the width direction, the transmission strobe illumination mechanism 11 or the reflection strobe illumination mechanism 12 illuminates the plastic plate 7, and the microscope mechanism 13 illuminates an optical image of the plastic plate 7. While keeping the constant, CC
The plastic plate 7 is formed by the D area sensor mechanism 14.
The optical image of each inspection region is converted into an image signal and supplied to the inspection device 6.

【0018】検査装置6は前記搬入装置2、マーキング
装置3、搬出装置、画像入力装置5およびXYステージ
機構10の動作を制御する搬送部制御装置18の動作の
処理や前記CCDエリアセンサ機構14から出力される
画像信号の処理などを行う主処理装置15と、この主処
理装置15から印字指令が出力されたとき、この印字指
令とともに出力される印字情報を取り込んで、これをプ
リントアウトするプリンタ装置17と、前記主処理装置
15から出力されるモニタ信号を取り込んで、前記プラ
スチック板7の画像や検査状況などを画面表示するモニ
タ装置16とを備えており、主処理装置15によって前
記搬入装置2や画像入力装置5の動作を制御し、検査対
象となるプラスチック板7を撮影させ、これによって得
られた画像信号を処理して異物の有無や異物が存在する
部分の判定を行った後、前記マーキング装置3を制御し
て、プラスチック板7の異物が存在する部分を示すマー
キング、例えば図3に示す如くプラスチック板7を構成
する各検査領域のうち、異物が存在する領域を含むブロ
ックの非検査部分に点を印字するマーキングを行わせる
とともに、搬出装置4を制御して、マーキング済みのプ
ラスチック板7を搬出させる。
The inspection device 6 processes the operation of the carry-in device 2, the marking device 3, the carry-out device, the image input device 5, and the transport unit controller 18 which controls the operation of the XY stage mechanism 10 and the CCD area sensor mechanism 14. A main processing device 15 that processes an output image signal, and a printer device that, when a print command is output from the main processing device 15, captures print information output together with the print command and prints it out. 17 and a monitor device 16 that takes in a monitor signal output from the main processing device 15 and displays the image of the plastic plate 7 and the inspection status on the screen. And the operation of the image input device 5 are controlled so that the plastic plate 7 to be inspected is photographed, and the image signal obtained by this is captured. After determining the presence or absence of the foreign matter and the portion where the foreign matter exists, the marking device 3 is controlled to mark the portion of the plastic plate 7 where the foreign matter exists, for example, the plastic plate 7 as shown in FIG. In each of the inspection areas constituting the above, the non-inspection portion of the block including the area where the foreign substance exists is marked, and the carry-out device 4 is controlled to carry out the marked plastic plate 7.

【0019】この場合、前記主処理装置15は前記CC
Dエリアセンサ機構14から出力される画像信号をA/
D変換(アナログ/デジタル変換)してプラスチック板
画像データを生成するA/D変換回路20(図4参照)
と、キーボード装置(図示は省略する)から出力される
キー信号を取込み、各種の指令や各種のデータなどを生
成するキーボードインタフェース回路と、このキーボー
ドインタフェース回路によって生成された各種の指令や
各種のデータなどに基づいて各種の情報処理を行うCP
U回路と、このCPU回路によって生成された表示デー
タを取り込んで表示信号を生成し、これをCRT装置
(図示は省略する)や前記モニタ装置16に供給するC
RTインタフェース回路とを備えている。
In this case, the main processing unit 15 uses the CC
The image signal output from the D area sensor mechanism 14 is A /
An A / D conversion circuit 20 (see FIG. 4) that performs D conversion (analog / digital conversion) to generate plastic plate image data.
And a keyboard interface circuit that takes in key signals output from a keyboard device (not shown) and generates various commands and various data, and various commands and various data generated by this keyboard interface circuit. CP that performs various information processing based on
The U circuit and the display data generated by the CPU circuit are fetched to generate a display signal, and the display signal is supplied to a CRT device (not shown) or the monitor device 16.
And an RT interface circuit.

【0020】さらに、前記主処理装置15は前記CPU
回路の動作を規定するプログラムや各種の定数データな
どが格納されるROM回路21(図4参照)と、前記C
PU回路の作業エリアなどとして使用されるRAM回路
22(図4参照)と、前記CPU回路から出力される搬
送制御指令やマーキング指令、絞り指令などを取込み、
これを前記搬送部制御装置18に供給する出力インタフ
ェース回路と、ハードディスク装置などによって構成さ
れ、前記CPU回路の大容量記憶エリアとして使用され
る大容量記憶機構と、前記CPU回路から出力される印
字データなどを取込み、これを前記プリンタ装置17に
供給するプリンタインタフェース回路とを備えている。
Further, the main processing unit 15 is the CPU
A ROM circuit 21 (see FIG. 4) in which a program for defining the operation of the circuit and various constant data are stored, and the C
The RAM circuit 22 (see FIG. 4) used as a work area of the PU circuit, the transfer control command, the marking command, the diaphragm command, etc. output from the CPU circuit are taken in,
A large-capacity storage mechanism that is configured by an output interface circuit that supplies this to the transfer unit controller 18 and a hard disk device, and that is used as a large-capacity storage area of the CPU circuit, and print data that is output from the CPU circuit. And a printer interface circuit for supplying the same to the printer device 17.

【0021】そして、前記CCDエリアセンサ機構14
から出力される画像信号を処理する際、前記ROM回路
21や大容量記憶機構に格納されているプログラムに基
づき、次に述べる手順で、前記画像信号を処理して、異
物の有無や異物が存在する部分の判定を行う。
Then, the CCD area sensor mechanism 14
When processing the image signal output from the above, the image signal is processed in the following procedure based on the program stored in the ROM circuit 21 or the mass storage mechanism to detect the presence or absence of foreign matter and the presence of foreign matter. The part to be performed is determined.

【0022】まず、図4に示す如くA/D変換回路20
によって前記CCDエリアセンサ機構14から出力され
る画像信号を取込み、これをA/D変換して、プラスチ
ック板画像データに変換した後、RAM回路22内のフ
レームメモリ回路23に格納する。
First, as shown in FIG. 4, an A / D conversion circuit 20 is provided.
The image signal output from the CCD area sensor mechanism 14 is fetched by the A / D converter, and the image signal is A / D converted to plastic plate image data, which is then stored in the frame memory circuit 23 in the RAM circuit 22.

【0023】次いで、前記フレームメモリ回路23内に
格納されているプラスチック板画像データをFIFO形
式(先入れ・先出し形式)で読み出し、図5(a)に示
す如く濃度変換を行う。
Next, the plastic plate image data stored in the frame memory circuit 23 is read in a FIFO format (first-in / first-out format), and density conversion is performed as shown in FIG. 5 (a).

【0024】そして、検査を開始する前に、ハードディ
スク装置に保存してあるファイルから、シェーディング
補正用のパターン画像データを読み出し、格納しておい
たパターンメモリ回路24から、パターン画像データを
読み出し、図5(b)に示す如く濃度変換を行う。前記
濃度変換を終えた、プラスチック板画像データと同じく
濃度変換を終えたシェーディング補正用のパターン画像
データを減算して、前記プラスチック板画像データをシ
ェーディング補正する。
Before starting the inspection, the pattern image data for shading correction is read from the file stored in the hard disk device, the pattern image data is read from the stored pattern memory circuit 24, and the pattern image data is read. Density conversion is performed as shown in FIG. The plastic plate image data for which the density conversion has been completed is subtracted from the pattern image data for shading correction which has also been subjected to the density conversion, and the plastic plate image data is subjected to shading correction.

【0025】この場合、前記フレームメモリ回路23に
格納されるプラスチック板画像データは透過ストロボ照
明機構11や反射ストロボ照明機構12が持っている光
度分布特性によって図6(a)に示す如く中央部分が明
るく、周囲部分が暗い特性を持ち、またパターンメモリ
回路24に格納されているパターン画像データは前記透
過ストロボ照明機構11や反射ストロボ照明機構12が
持っている光度分布特性に対応するように、図6(b)
に示す如く中央部分が明るく、周囲部分が暗い特性に設
定されているので、プラスチック板画像データから前記
パターン画像データを減算することにより、図6(c)
に示す如くプラスチック板画像データが持っている透過
ストロボ照明機構11や反射ストロボ照明機構12の光
度分布特性を補正することができる。
In this case, the plastic plate image data stored in the frame memory circuit 23 has a central portion as shown in FIG. 6A due to the luminous intensity distribution characteristics of the transmission strobe illumination mechanism 11 and the reflection strobe illumination mechanism 12. The pattern image data stored in the pattern memory circuit 24 is bright and the surrounding area is dark, and the pattern image data stored in the pattern memory circuit 24 corresponds to the luminous intensity distribution characteristics of the transmission strobe illumination mechanism 11 and the reflection strobe illumination mechanism 12. 6 (b)
As shown in FIG. 6, the central portion is bright and the peripheral portion is dark. Therefore, by subtracting the pattern image data from the plastic plate image data, the pattern image data shown in FIG.
It is possible to correct the luminous intensity distribution characteristics of the transmission strobe illumination mechanism 11 and the reflection strobe illumination mechanism 12, which the plastic plate image data has, as shown in FIG.

【0026】次いで、0データからプラスチック板7内
にある、異物が無い部分の明るさに対応する値を示すデ
ータ(例えば、値“100”を示すデータ)を作成する
ため図5(c)に示す濃度変換を行い、基準値データを
作成し、この基準値データから、シェーディング補正済
みのプラスチック板画像データを減算した後、図5
(d)に示す濃度変換を行い、異物判定データを生成す
る。
Next, in order to create data showing a value corresponding to the brightness of a portion in the plastic plate 7 where there is no foreign matter (for example, data showing a value "100") from 0 data, the data shown in FIG. The density conversion shown is performed, reference value data is created, and the shading-corrected plastic plate image data is subtracted from the reference value data.
The density conversion shown in (d) is performed to generate foreign matter determination data.

【0027】この場合、シェーディング補正済みのプラ
スチック板画像データは図6(c)に示す如く異物が無
い部分では、標準値である“140”を示し、異物があ
る部分では、標準値である“140”より低い値、例え
ば値“70”になっているので、基準値データからシェ
ーディング補正済みのプラスチック板画像データを減算
することにより、図6(d)に示す如く異物が存在する
部分のみが高い値にし、他の部分を低い値にした異物判
定データを生成することができる。
In this case, the shading-corrected plastic plate image data shows a standard value of "140" in a portion having no foreign matter as shown in FIG. 6 (c), and a standard value "" in a portion having a foreign matter. Since the value is lower than 140 ", for example, the value" 70 ", by subtracting the shading-corrected plastic plate image data from the reference value data, only the portion where the foreign matter exists as shown in FIG. It is possible to generate foreign object determination data with a high value and a low value in other portions.

【0028】そして、この異物判定データから、異物の
位置およびその面積(画素数)を判定することができ、
この判定結果に基づいてマーク指令を生成して、マーキ
ング装置3を制御し、プラスチック板7の異物が存在す
る検査領域に対応する部分にマーキングを行わせる。
From the foreign matter determination data, the position and area (number of pixels) of the foreign matter can be determined,
A mark command is generated based on the determination result, and the marking device 3 is controlled to mark the portion of the plastic plate 7 corresponding to the inspection area in which the foreign matter exists.

【0029】このようにこの実施例においては、搬入装
置2によって検査対象となるプラスチック板7を画像入
力装置5に搬入した後、この画像入力装置5によって前
記プラスチック板7の画像を取込み、検査装置6で前記
プラスチック板7内の異物があるかどうかを判定し、こ
の判定結果に基づいてマーキング装置3を制御して、異
物の有無などをプラスチック板7上にマーキングした
後、搬出装置4によってこれを搬出するようにしたの
で、検査対象となるプラスチック板7を撮影して、異物
の有無やその大きさなどを判定することができ、これに
よってプラスチック板7の検査時間を大幅に短縮するこ
とができるとともに、正確な検査結果を得ることができ
る。
Thus, in this embodiment, after the plastic plate 7 to be inspected is carried into the image input device 5 by the carry-in device 2, the image of the plastic plate 7 is taken in by the image input device 5 and the inspection device It is determined whether there is a foreign substance in the plastic plate 7 at 6, and the marking device 3 is controlled based on the determination result to mark the presence or absence of the foreign substance on the plastic plate 7, and then the carrying-out device 4 performs the marking. Since the plastic plate 7 is carried out, it is possible to take a picture of the plastic plate 7 to be inspected and determine the presence or absence of foreign matter, its size, etc. Therefore, the inspection time of the plastic plate 7 can be greatly shortened. In addition, it is possible to obtain accurate inspection results.

【0030】また、この実施例においては、プラスチッ
ク板画像データに対して、パターン画像データを用いた
シェーディング補正、基準データを用いた異物部分の抽
出を順次、行って異物判定データを生成するようにして
いるので、簡単なデータ処理構成のパイプライン形式で
プラスチック板画像データの処理を行うことができ、こ
れによって処理速度を高くして、リアルタイムで異物の
有無やその大きさなどを判定することができる。
Further, in this embodiment, for the plastic plate image data, shading correction using the pattern image data and extraction of the foreign substance portion using the reference data are sequentially performed to generate the foreign substance determination data. Therefore, it is possible to process the plastic plate image data in a pipeline format with a simple data processing configuration, thereby increasing the processing speed and determining the presence or absence of foreign matter and its size in real time. it can.

【0031】また、この実施例においては、XYステー
ジ機構10によって保持されているプラスチック板7を
透過ストロボ照明機構11によって下面側から照明した
り、反射ストロボ照明機構12によって上から照明した
りするようにしているので、プラスチック板7が透明で
あっても、また色付きであっても、このプラスチック板
7の画像を取り込んで、これを処理することができる。
Further, in this embodiment, the plastic plate 7 held by the XY stage mechanism 10 is illuminated from the lower surface side by the transmission strobe illumination mechanism 11 or from above by the reflection strobe illumination mechanism 12. Therefore, even if the plastic plate 7 is transparent or colored, the image of the plastic plate 7 can be captured and processed.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、請
求項1、2、3では、検査対象となるプラスチック板を
撮影して、異物の有無やその大きさなどを判定すること
ができ、これによってプラスチック板の検査時間を大幅
に短縮することができるとともに、正確な検査結果を得
ることができる。
As described above, according to the present invention, in Claims 1, 2 and 3, it is possible to photograph the plastic plate to be inspected and determine the presence or absence of foreign matter and its size. As a result, the inspection time of the plastic plate can be greatly shortened and an accurate inspection result can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるプラスチック板異物検査装置の一
実施例を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a plastic plate foreign matter inspection device according to the present invention.

【図2】図1に示すプラスチック板異物検査装置によっ
て検査されるプラスチック板の検査領域例を示す模式図
である。
FIG. 2 is a schematic view showing an example of an inspection area of a plastic plate to be inspected by the plastic plate foreign matter inspection device shown in FIG.

【図3】図1に示すプラスチック板異物検査装置によっ
て検査されたプラスチック板のマーキング例を示す模式
図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a marking example of a plastic plate inspected by the plastic plate foreign matter inspection device shown in FIG.

【図4】図1に示す主処理装置における、異物の有無や
異物が存在する部分の判定処理例を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a determination process of the presence / absence of a foreign substance and a portion in which the foreign substance exists in the main processing device shown in FIG.

【図5】図1に示す主処理装置における、各データの特
性例を示す模式図である。
5 is a schematic diagram showing a characteristic example of each data in the main processing device shown in FIG. 1. FIG.

【図6】図1に示す主処理装置における、各データの位
置と濃度値との関係例を示す模式図である。
6 is a schematic diagram showing an example of the relationship between the position of each data and the density value in the main processing device shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プラスチック板異物検査装置 2 搬入装置 3 マーキング装置(マーキング・表示装置) 4 搬出装置 5 画像入力装置 6 検査装置 7 プラスチック板 8 ローラコンベア 9 ローラコンベア 10 XYステージ機構 11 透過ストロボ照明機構(下面側照明機構) 12 反射ストロボ照明機構(上面側照明機構) 13 マイクロスコープ機構(撮影機構) 14 CCDエリアセンサ機構(撮影機構) 15 主処理装置 16 モニタ装置(マーキング・表示装置) 17 プリンタ装置 18 搬送部制御装置 20 A/D変換回路 21 ROM回路 22 RAM回路 23 フレームメモリ回路 24 パターンメモリ回路 1 plastic plate foreign matter inspection device 2 carry-in device 3 marking device (marking / display device) 4 carry-out device 5 image input device 6 inspection device 7 plastic plate 8 roller conveyor 9 roller conveyor 10 XY stage mechanism 11 transmission strobe lighting mechanism (bottom side illumination) Mechanism) 12 Reflected strobe illumination mechanism (upper surface side illumination mechanism) 13 Microscope mechanism (imaging mechanism) 14 CCD area sensor mechanism (imaging mechanism) 15 Main processing unit 16 Monitor device (marking / display device) 17 Printer device 18 Transport unit control Device 20 A / D conversion circuit 21 ROM circuit 22 RAM circuit 23 Frame memory circuit 24 Pattern memory circuit

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 異物有無の検査対象となるプラスチック
板を取り込んで撮影する画像入力装置と、 この画像入力装置で得られた前記プラスチック板の画像
信号の各画素値に基づき、異物部分の有無またはその大
きさの少なくとも、いずれか1つを判定する検査装置
と、 この検査装置の判定結果を前記プラスチック板に対する
マーキングまたは画面表示の少なくともいずれか一方に
より表示するマーキング・表示装置と、 を備えたことを特徴とするプラスチック板異物検査装
置。
1. An image input device for capturing and photographing a plastic plate to be inspected for the presence of foreign matter, and the presence or absence of a foreign substance portion based on each pixel value of the image signal of the plastic plate obtained by the image input device. An inspection device for determining at least one of the sizes, and a marking / display device for displaying the determination result of the inspection device by at least one of marking on the plastic plate and screen display are provided. A foreign substance inspection device for plastic plates.
【請求項2】 請求項1に記載のプラスチック板異物検
査装置において、 前記画像入力装置はプラスチック板を保持して、X方
向、Y方向に移動させるXYステージ機構と、このXY
ステージ機構によってX方向、Y方向に移動させられた
前記プラスチック板を小さな検査対象エリアに分割して
撮影する撮影機構と、前記XYステージ機構の下面側に
配置され、このXYステージ機構に保持されているプラ
スチック板を下面側から照明する下面側照明機構と、前
記XYステージ機構の上面側に配置され、このXYステ
ージ機構に保持されているプラスチック板を上面側から
照明する上面側照明機構と、 を備えたことを特徴とするプラスチック板異物検査装
置。
2. The plastic plate foreign matter inspection device according to claim 1, wherein the image input device holds a plastic plate and moves the plastic plate in the X and Y directions, and the XY stage mechanism.
An imaging mechanism that divides the plastic plate moved in the X and Y directions by a stage mechanism into small inspection target areas and takes an image, and is arranged on the lower surface side of the XY stage mechanism and is held by the XY stage mechanism. A lower surface side illumination mechanism that illuminates a plastic plate from the lower surface side, and an upper surface side illumination mechanism that is disposed on the upper surface side of the XY stage mechanism and that illuminates the plastic plate held by the XY stage mechanism from the upper surface side. A plastic plate foreign matter inspection device characterized by being provided.
【請求項3】 請求項1または2に記載のプラスチック
板異物検査装置において、 前記検査装置は前記画像入力装置で得られた前記プラス
チック板の画像信号に対応するプラスチック板画像デー
タを予め設定されているシェーディング補正用のパター
ン画像データでシェーディング補正した後、予め設定さ
れている基準値データとの差を演算して、異物判定デー
タを生成し、この異物判定データの各画素値に基づき、
異物部分の有無またはその大きさの少なくとも、いずれ
か1つを判定する、 ことを特徴とするプラスチック板異物検査装置。
3. The plastic plate foreign matter inspection device according to claim 1, wherein the inspection device presets plastic plate image data corresponding to the image signal of the plastic plate obtained by the image input device. After performing shading correction with the pattern image data for shading correction, the difference between the reference value data set in advance is calculated to generate foreign substance determination data, and based on each pixel value of the foreign substance determination data,
A plastic plate foreign matter inspection device characterized by determining at least one of the presence or absence of a foreign matter portion and its size.
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Effective date: 20040106