JPH08278635A - 現像液の調整方法及び調整装置 - Google Patents
現像液の調整方法及び調整装置Info
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- JPH08278635A JPH08278635A JP8231695A JP8231695A JPH08278635A JP H08278635 A JPH08278635 A JP H08278635A JP 8231695 A JP8231695 A JP 8231695A JP 8231695 A JP8231695 A JP 8231695A JP H08278635 A JPH08278635 A JP H08278635A
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度によって影響されることがない濃度測定
を行うことで、現像液の調整を容易に行えるようにす
る。 【構成】 希釈した現像液の一部を赤外分光光度計を組
み込んだ分析装置４に送り、この分析装置４で濃度を分
析し、この分析値に基づいて所定濃度とするために混合
タンク内に加えなければならない現像原液または純水の
量を算出する。そしてこの算出値に基づいて加えなけれ
ばならない現像原液または純水の一方を再び混合タンク
内に供給する。所定量の現像原液または純水が加えられ
たか否かはロードセル１６にて混合タンク２の重量を測
定することによって行なう。
を行うことで、現像液の調整を容易に行えるようにす
る。 【構成】 希釈した現像液の一部を赤外分光光度計を組
み込んだ分析装置４に送り、この分析装置４で濃度を分
析し、この分析値に基づいて所定濃度とするために混合
タンク内に加えなければならない現像原液または純水の
量を算出する。そしてこの算出値に基づいて加えなけれ
ばならない現像原液または純水の一方を再び混合タンク
内に供給する。所定量の現像原液または純水が加えられ
たか否かはロードセル１６にて混合タンク２の重量を測
定することによって行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高濃度の現像原液を所定
濃度まで希釈する調整方法と調整装置に関する。
濃度まで希釈する調整方法と調整装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路の製作工程のうちのフォ
トエッチング工程においては、現像液を用いて感光した
レジストの現像を行なっている。この現像工程におい
て、現像液の濃度はレジストの実効感度のバラツキを小
さくするために各レジストごとに極めて正確に管理され
なければならない。
トエッチング工程においては、現像液を用いて感光した
レジストの現像を行なっている。この現像工程におい
て、現像液の濃度はレジストの実効感度のバラツキを小
さくするために各レジストごとに極めて正確に管理され
なければならない。
【０００３】このような現像液の濃度を正確に管理する
のは半導体集積回路の製作工場で行なうのは困難である
ので、現像液メーカにおいて予め所定の濃度に希釈した
ものを製作し、この状態で工場に納めている。
のは半導体集積回路の製作工場で行なうのは困難である
ので、現像液メーカにおいて予め所定の濃度に希釈した
ものを製作し、この状態で工場に納めている。
【０００４】しかしながら、これでは多量の通い缶の準
備と運送コストの増加により製品価格が上昇する点で不
利がある。また工場サイドでは希釈できなかったので、
必要な濃度の現像液が不足し、必要でない濃度の現像液
が余るなど管理面においても問題がある。また、現像液
メーカで調整した現像液では、運搬や保管により現像液
が変質しやすいという問題も有している。
備と運送コストの増加により製品価格が上昇する点で不
利がある。また工場サイドでは希釈できなかったので、
必要な濃度の現像液が不足し、必要でない濃度の現像液
が余るなど管理面においても問題がある。また、現像液
メーカで調整した現像液では、運搬や保管により現像液
が変質しやすいという問題も有している。
【０００５】そこで、本出願人は先に特開平６−２９２
０７号公報に、工場サイドで現像原液の濃度を調整する
方法を提案している。この方法は、混合タンク内に通い
缶及び純水供給源から現像原液及び純水を供給して混合
し、この混合液の一部を自動分析器に送って希釈した現
像液の濃度を分析し、この分析値に基づいて所定濃度と
するために混合タンク内に加えなければならない現像原
液または純水の重量を算出し、この算出値に基づいて加
えなければならない現像原液または純水の一方を再び混
合タンク内に供給する。そして、所定量の現像原液また
は純水が加えられたか否かはロードセルにて混合タンク
の重量を測定することによって行なうようにしたもので
ある。
０７号公報に、工場サイドで現像原液の濃度を調整する
方法を提案している。この方法は、混合タンク内に通い
缶及び純水供給源から現像原液及び純水を供給して混合
し、この混合液の一部を自動分析器に送って希釈した現
像液の濃度を分析し、この分析値に基づいて所定濃度と
するために混合タンク内に加えなければならない現像原
液または純水の重量を算出し、この算出値に基づいて加
えなければならない現像原液または純水の一方を再び混
合タンク内に供給する。そして、所定量の現像原液また
は純水が加えられたか否かはロードセルにて混合タンク
の重量を測定することによって行なうようにしたもので
ある。
【０００６】また、現像液の濃度を測定する手段として
は、導電率計を用いる方法（特開昭６４−２７６２４号
公報）、電位差滴定による方法（特開平５−２１６２４
１号公報）、超音波伝搬速度を測定する方法（特開平６
−６１１３６号公報）が知られている。
は、導電率計を用いる方法（特開昭６４−２７６２４号
公報）、電位差滴定による方法（特開平５−２１６２４
１号公報）、超音波伝搬速度を測定する方法（特開平６
−６１１３６号公報）が知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】導電率計を用いる方法
にあっては、被測定液体が空気中の炭酸ガスや塩酸ガス
等を吸収すると、液体中のアルカリ成分濃度が一定であ
っても導電率の値が変動する不利がある。また、導電率
は液温に対する依存度が大きく、液温が１℃変化すると
導電率は約２％変化する。このため、導電率計を用いる
場合には、被測定液体が外気に触れないようにする手段
が必要となり、また冷却或いは加熱手段によって被測定
液体を一定温度（例えば２５±０．１℃）に維持しなけ
ればならず、装置が大掛りになる。更に温度補償を行っ
ても温度変化に伴う測定誤差を完全になくすことはでき
ない。
にあっては、被測定液体が空気中の炭酸ガスや塩酸ガス
等を吸収すると、液体中のアルカリ成分濃度が一定であ
っても導電率の値が変動する不利がある。また、導電率
は液温に対する依存度が大きく、液温が１℃変化すると
導電率は約２％変化する。このため、導電率計を用いる
場合には、被測定液体が外気に触れないようにする手段
が必要となり、また冷却或いは加熱手段によって被測定
液体を一定温度（例えば２５±０．１℃）に維持しなけ
ればならず、装置が大掛りになる。更に温度補償を行っ
ても温度変化に伴う測定誤差を完全になくすことはでき
ない。
【０００８】電位差滴定による方法も導電率を測定する
方法と同様に、炭酸ガスや塩酸ガス等を吸収すると電位
差滴定量が変動し、液温に対する依存度が大きい。この
ため、電位差滴定による場合にも、被測定液体が外気に
触れないようにする手段及び被測定液体を一定温度に維
持する恒温装置が必要となり、また温度補償を行っても
温度変化に伴う測定誤差を完全になくすことはできな
い。
方法と同様に、炭酸ガスや塩酸ガス等を吸収すると電位
差滴定量が変動し、液温に対する依存度が大きい。この
ため、電位差滴定による場合にも、被測定液体が外気に
触れないようにする手段及び被測定液体を一定温度に維
持する恒温装置が必要となり、また温度補償を行っても
温度変化に伴う測定誤差を完全になくすことはできな
い。
【０００９】超音波伝搬速度を測定する方法にあって
は、被測定液体が界面活性剤等の添加剤を含んでいる
と、被測定液体中のアルカリ成分濃度が一定であっても
超音波伝搬速度の値が変動してしまう。このため、添加
剤を含まない現像液を調整し、この調整後の現像液に添
加剤を添加するという工程が必要になる。また、導電率
の測定及び電位差滴定と同様に温度依存性が大きいた
め、恒温装置が必要となり、測定誤差を完全になくすこ
とができない。
は、被測定液体が界面活性剤等の添加剤を含んでいる
と、被測定液体中のアルカリ成分濃度が一定であっても
超音波伝搬速度の値が変動してしまう。このため、添加
剤を含まない現像液を調整し、この調整後の現像液に添
加剤を添加するという工程が必要になる。また、導電率
の測定及び電位差滴定と同様に温度依存性が大きいた
め、恒温装置が必要となり、測定誤差を完全になくすこ
とができない。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る現像液の調整方法は、混合タンク内に現像原
液と純水とを供給して混合し、この混合液の一部を取り
出してその濃度を赤外分光光度計を用いて分析し、この
分析値に基づき所定濃度とするために混合タンク内に加
えなければならない現像原液または純水の重量を算出
し、混合タンク内に現像原液または純水を供給するよう
にした。
発明に係る現像液の調整方法は、混合タンク内に現像原
液と純水とを供給して混合し、この混合液の一部を取り
出してその濃度を赤外分光光度計を用いて分析し、この
分析値に基づき所定濃度とするために混合タンク内に加
えなければならない現像原液または純水の重量を算出
し、混合タンク内に現像原液または純水を供給するよう
にした。
【００１１】前記現像原液としては例えば低級アルキル
第四級アンモニウム塩の水溶液を用い、特にテトラメチ
ルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）が一般的であ
る。
第四級アンモニウム塩の水溶液を用い、特にテトラメチ
ルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）が一般的であ
る。
【００１２】また、赤外分光光度計による液体試料の測
定法には、主にＧe製の舟型セルに試料溶液を入れ、そ
の表面に赤外線を照射するＡＴＲ法と、石英セル中に試
料溶液を入れ、石英セルの外側から赤外線を照射する石
英セル法とがあるが、前者は高波数側で光の潜り込み深
さが浅くなり強度が弱くピークが現れないという欠点が
あり、石英セル法の方が好ましい。
定法には、主にＧe製の舟型セルに試料溶液を入れ、そ
の表面に赤外線を照射するＡＴＲ法と、石英セル中に試
料溶液を入れ、石英セルの外側から赤外線を照射する石
英セル法とがあるが、前者は高波数側で光の潜り込み深
さが浅くなり強度が弱くピークが現れないという欠点が
あり、石英セル法の方が好ましい。
【００１３】石英セル法によって測定する場合には、石
英自体の吸収スペクトルが６００〜４０００cm-1の範囲
に現れるため、測定領域は４０００cm-1〜７０００cm-1
とし、特に現像原液がＴＭＡＨの場合には４４５０cm-1
付近の赤外線の吸光度に基づいて濃度を検出する。赤外
分光光度計といては、試料溶液と溶媒との差スペクトル
をとることができ、成分濃度を精度良く測定できること
から、フーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ）が好ま
しい。
英自体の吸収スペクトルが６００〜４０００cm-1の範囲
に現れるため、測定領域は４０００cm-1〜７０００cm-1
とし、特に現像原液がＴＭＡＨの場合には４４５０cm-1
付近の赤外線の吸光度に基づいて濃度を検出する。赤外
分光光度計といては、試料溶液と溶媒との差スペクトル
をとることができ、成分濃度を精度良く測定できること
から、フーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ）が好ま
しい。
【００１４】また本発明は、現像原液の供給源と、純水
の供給源と、これら現像原液の供給源及び純水の供給源
からバルブを備えた配管を介して現像原液及び純水が供
給される混合タンクと、この混合タンク内の混合液を一
部取り出して再び混合タンクに戻す抜き取り管と、この
抜き取り管の途中に赤外分光光度計を組み込んだ分析装
置とを備え、この分析装置からの信号で現像原液の供給
源及び純水の供給源と混合タンクとをつなぐ配管のバル
ブを開閉するようにした。
の供給源と、これら現像原液の供給源及び純水の供給源
からバルブを備えた配管を介して現像原液及び純水が供
給される混合タンクと、この混合タンク内の混合液を一
部取り出して再び混合タンクに戻す抜き取り管と、この
抜き取り管の途中に赤外分光光度計を組み込んだ分析装
置とを備え、この分析装置からの信号で現像原液の供給
源及び純水の供給源と混合タンクとをつなぐ配管のバル
ブを開閉するようにした。
【００１５】
【作用】赤外分光光度計を用いて定量分析を行うには、
目的成分を種々の濃度で混合した標準溶液の吸光度スペ
クトルを測定し、吸光度を縦軸に、濃度を横軸にした検
量線グラフを作成する。この検量線を用いて標準溶液と
同一の溶媒を使用して未知試料の定量を行う。尚、Lamb
ert-Berrの法則に従う場合には、吸光度スペクトル
（Ａ）、分子吸光係数（ｅ）、試料濃度（ｃ）、試料の
厚さ（Ｌ）には、Ａ＝ｅ・ｃ・Ｌの関係があり、吸光度
スペクトル（Ａ）と試料濃度（ｃ）とは比例するので、
検量線は直線になる。
目的成分を種々の濃度で混合した標準溶液の吸光度スペ
クトルを測定し、吸光度を縦軸に、濃度を横軸にした検
量線グラフを作成する。この検量線を用いて標準溶液と
同一の溶媒を使用して未知試料の定量を行う。尚、Lamb
ert-Berrの法則に従う場合には、吸光度スペクトル
（Ａ）、分子吸光係数（ｅ）、試料濃度（ｃ）、試料の
厚さ（Ｌ）には、Ａ＝ｅ・ｃ・Ｌの関係があり、吸光度
スペクトル（Ａ）と試料濃度（ｃ）とは比例するので、
検量線は直線になる。
【００１６】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。図１は本発明方法を実施する希釈装置の概略
構成を示す図であり、図中１は通い缶、２は混合タン
ク、３は貯留タンク、４は赤外分光光度計を組み込んだ
分析装置、５は純水供給源、６は窒素ガス供給源であ
る。
説明する。図１は本発明方法を実施する希釈装置の概略
構成を示す図であり、図中１は通い缶、２は混合タン
ク、３は貯留タンク、４は赤外分光光度計を組み込んだ
分析装置、５は純水供給源、６は窒素ガス供給源であ
る。
【００１７】通い缶１は現像液メーカで製造した高濃度
の現像原液を入れたものであり、ジョイント７にて窒素
ガス供給源６からの配管８に接続可能とされ、ジョイン
ト９にて混合タンク２への配管１０に接続可能とされて
いる。
の現像原液を入れたものであり、ジョイント７にて窒素
ガス供給源６からの配管８に接続可能とされ、ジョイン
ト９にて混合タンク２への配管１０に接続可能とされて
いる。
【００１８】また、窒素ガス供給源６からの他の配管１
１はバブリング槽１２に導かれ、混合タンク２と貯留タ
ンク３の上部空間を水分を含んだ窒素ガス雰囲気とする
ようにしている。このように、バブリングして湿ったＮ
2を混合タンク２、貯留タンク３に供給することで、混
合タンク２内と貯留タンク３の現像液の劣化（濃度変
化）を抑制できる。即ち、乾燥したＮ2を混合タンク２
内に送り込むと、現像液中の水分がＮ2に取られてしま
うので濃度が変化するが、湿ったＮ2ならばこれがな
い。
１はバブリング槽１２に導かれ、混合タンク２と貯留タ
ンク３の上部空間を水分を含んだ窒素ガス雰囲気とする
ようにしている。このように、バブリングして湿ったＮ
2を混合タンク２、貯留タンク３に供給することで、混
合タンク２内と貯留タンク３の現像液の劣化（濃度変
化）を抑制できる。即ち、乾燥したＮ2を混合タンク２
内に送り込むと、現像液中の水分がＮ2に取られてしま
うので濃度が変化するが、湿ったＮ2ならばこれがな
い。
【００１９】また、混合タンク２への配管１０の途中に
はサブタンク２６、フィルタ装置１３、そしてエアバル
ブ２７が順に設けられ、このサブタンク２６には液面セ
ンサーを付設している。エアバルブ２７は大流量エアバ
ルブとし、これのバイパスに微調整用エアバルブ２８を
設ける。このようにすることによって現像原液を投入す
る時には所定量近くまでエアバルブ２７を使用し、その
後はエアバルブ２８を使用することによって、現像原液
を正確に混合タンク２へ投入する操作を容易とする。こ
のことは純水を混合タンク２に投入する時にも、混合タ
ンク２への配管１４の途中に大流量用エアバルブ２９と
これのバイパスに微調整用エアバルブ３０を設け、現像
原液の投入と同様の操作により、エアバルブ２９とエア
バルブ３０とを使い分けることで、現像液の濃度調整を
容易にするとともに、正確性を増すことができる。
はサブタンク２６、フィルタ装置１３、そしてエアバル
ブ２７が順に設けられ、このサブタンク２６には液面セ
ンサーを付設している。エアバルブ２７は大流量エアバ
ルブとし、これのバイパスに微調整用エアバルブ２８を
設ける。このようにすることによって現像原液を投入す
る時には所定量近くまでエアバルブ２７を使用し、その
後はエアバルブ２８を使用することによって、現像原液
を正確に混合タンク２へ投入する操作を容易とする。こ
のことは純水を混合タンク２に投入する時にも、混合タ
ンク２への配管１４の途中に大流量用エアバルブ２９と
これのバイパスに微調整用エアバルブ３０を設け、現像
原液の投入と同様の操作により、エアバルブ２９とエア
バルブ３０とを使い分けることで、現像液の濃度調整を
容易にするとともに、正確性を増すことができる。
【００２０】更に、液面センサーを付設したサブタンク
２６を使用することによって、一方の通い缶が空になっ
たことを検知することができるので、遅滞なく他方の通
い缶に移行し、連続して現像原液を供給することができ
る。
２６を使用することによって、一方の通い缶が空になっ
たことを検知することができるので、遅滞なく他方の通
い缶に移行し、連続して現像原液を供給することができ
る。
【００２１】混合タンク２には現像原液の供給配管１０
と純水の供給配管１４が接続され、これら現像原液と純
水とを混合する攪拌装置１５が付設されている。そし
て、混合タンク２はロードセル１６にて支持され、この
ロードセル１６によって内部に供給された現像原液及び
純水を含んだ混合タンク２の全体重量が測定される。
と純水の供給配管１４が接続され、これら現像原液と純
水とを混合する攪拌装置１５が付設されている。そし
て、混合タンク２はロードセル１６にて支持され、この
ロードセル１６によって内部に供給された現像原液及び
純水を含んだ混合タンク２の全体重量が測定される。
【００２２】混合タンク２と貯留タンク３とは調整現像
液の供給配管１７にて接続されている。この配管１７の
途中にはポンプ１８及びフィルタ装置１９が設けられ、
配管１７から配管２１を経由して混合タンク２へと混合
液を循環させることにより混合液中の不溶物を取り除く
ことができる。尚、配管１７の分岐部よりも下流側およ
び配管１７と配管２１とをつなぐ部分には開閉バルブ２
２，２３を設けている。
液の供給配管１７にて接続されている。この配管１７の
途中にはポンプ１８及びフィルタ装置１９が設けられ、
配管１７から配管２１を経由して混合タンク２へと混合
液を循環させることにより混合液中の不溶物を取り除く
ことができる。尚、配管１７の分岐部よりも下流側およ
び配管１７と配管２１とをつなぐ部分には開閉バルブ２
２，２３を設けている。
【００２３】また、前記混合タンク２、バブリング槽１
２と貯留タンク３の上部空間は連通管２４でつながり、
これら混合タンク２と貯留タンク３の上部空間を水分を
含んだ窒素ガス雰囲気とすることで前記同様に現像液の
劣化を防止するようにしている。また貯留タンク３の底
部からは、使用箇所に濃度が調整された現像液を供給す
る配管２５が導出されている。
２と貯留タンク３の上部空間は連通管２４でつながり、
これら混合タンク２と貯留タンク３の上部空間を水分を
含んだ窒素ガス雰囲気とすることで前記同様に現像液の
劣化を防止するようにしている。また貯留タンク３の底
部からは、使用箇所に濃度が調整された現像液を供給す
る配管２５が導出されている。
【００２４】更に、混合タンク２からはタンク内の混合
液の一部を取り出して再び混合タンクに戻す抜き取り管
４０が導出され、この抜き取り管４０の途中にフィルタ
４１及び赤外分光光度計を組み込んだ分析装置４が設け
られている。
液の一部を取り出して再び混合タンクに戻す抜き取り管
４０が導出され、この抜き取り管４０の途中にフィルタ
４１及び赤外分光光度計を組み込んだ分析装置４が設け
られている。
【００２５】以上において、高濃度の現像原液を所定濃
度の現像液に希釈するには、先ず混合タンク２内に通い
缶１から現像原液を供給し、純水供給源５から純水を供
給する。供給量は所望の希釈倍率にほぼ等しくする。
度の現像液に希釈するには、先ず混合タンク２内に通い
缶１から現像原液を供給し、純水供給源５から純水を供
給する。供給量は所望の希釈倍率にほぼ等しくする。
【００２６】次いで、攪拌装置１５にて混合タンク２内
の現像原液と純水とを均一に混合し、この混合液の一部
を赤外分光光度計を組み込んだ分析装置４に送る。この
分析装置４では希釈した現像液の濃度を分析し、この分
析値に基づいて所定濃度とするために混合タンク内に加
えなければならない現像原液または純水の量を算出す
る。そしてこの算出値に基づいて加えなければならない
現像原液または純水の一方を再び混合タンク内に供給す
る。所定量の現像原液または純水が加えられたか否かは
ロードセル１６にて混合タンク２の重量を測定すること
によって行なう。
の現像原液と純水とを均一に混合し、この混合液の一部
を赤外分光光度計を組み込んだ分析装置４に送る。この
分析装置４では希釈した現像液の濃度を分析し、この分
析値に基づいて所定濃度とするために混合タンク内に加
えなければならない現像原液または純水の量を算出す
る。そしてこの算出値に基づいて加えなければならない
現像原液または純水の一方を再び混合タンク内に供給す
る。所定量の現像原液または純水が加えられたか否かは
ロードセル１６にて混合タンク２の重量を測定すること
によって行なう。
【００２７】次に、赤外分光光度計による具体的な濃度
測定法について述べる。濃度測定は標準液を使用して検
量線を作成し、この検量線に基づいて、被測定液の濃度
を測定する。
測定法について述べる。濃度測定は標準液を使用して検
量線を作成し、この検量線に基づいて、被測定液の濃度
を測定する。
【００２８】（検量線の作成） 測定機種：Ｈｅｒｓｃｈｅｌ ＦＴ−ＩＲ 試 料：ＴＭＡＨ水溶液 測定方法：石英セルを用い、透過法で４０００cm-1〜７
０００cm-1領域を測定 測定条件：石英セル＝１ｍｍ厚 積算回数＝５０回 分解能＝４cm-1 検知器＝ＴＧＳ 濃度が２．３３０wt%、２．３８０wt%、２．４３
０wt%の３種類のＴＭＡＨ水溶液を調製し、これらＴＭ
ＡＨ水溶液につき上記の条件で測定を行った。測定結果
をＴＭＡＨ水溶液ー水の差スペクトルとして図２乃至図
４のＩＲチャート（赤外線スペクトル）に示す。そし
て、各チャートからＴＭＡＨに帰属する４４５０cm-1の
ピーク強度（または面積強度）を読み取った。上記〜
に対応する吸光度は、０．１６８、０．１７３、
０．１７７であった。この結果に基づいて検量線を作
成すると図５のようになる。
０００cm-1領域を測定 測定条件：石英セル＝１ｍｍ厚 積算回数＝５０回 分解能＝４cm-1 検知器＝ＴＧＳ 濃度が２．３３０wt%、２．３８０wt%、２．４３
０wt%の３種類のＴＭＡＨ水溶液を調製し、これらＴＭ
ＡＨ水溶液につき上記の条件で測定を行った。測定結果
をＴＭＡＨ水溶液ー水の差スペクトルとして図２乃至図
４のＩＲチャート（赤外線スペクトル）に示す。そし
て、各チャートからＴＭＡＨに帰属する４４５０cm-1の
ピーク強度（または面積強度）を読み取った。上記〜
に対応する吸光度は、０．１６８、０．１７３、
０．１７７であった。この結果に基づいて検量線を作
成すると図５のようになる。
【００２９】次に、温度の影響の大きさについて実験１
を行った。 （実験１）２０wt%ＴＭＡＨ水溶液２３８ｇを純水１７
６２ｇで希釈し、２．３８０wt%のＴＭＡＨ水溶液２０
００ｇを調製した。次いで、このＴＭＡＨ水溶液の一部
を抜き取り、上記の赤外分光光度計を用いて１５℃、
２０℃、２５℃、３０℃、３５℃の液温におい
て、吸光度を測定した。結果を図６に示す。図６から１
５℃〜３５℃での吸光度の変化は殆どなく、ＴＭＡＨ水
溶液の濃度は液温に影響されずＴＭＡＨの含有量に基づ
いて決定されることが分る。
を行った。 （実験１）２０wt%ＴＭＡＨ水溶液２３８ｇを純水１７
６２ｇで希釈し、２．３８０wt%のＴＭＡＨ水溶液２０
００ｇを調製した。次いで、このＴＭＡＨ水溶液の一部
を抜き取り、上記の赤外分光光度計を用いて１５℃、
２０℃、２５℃、３０℃、３５℃の液温におい
て、吸光度を測定した。結果を図６に示す。図６から１
５℃〜３５℃での吸光度の変化は殆どなく、ＴＭＡＨ水
溶液の濃度は液温に影響されずＴＭＡＨの含有量に基づ
いて決定されることが分る。
【００３０】次に、添加剤の影響の大きさについて実験
２を行った。 （実験２）実験１の２．３８０wt%ＴＭＡＨ水溶液２０
０ｇにアセチレンアルコール系非イオン性界面活性剤で
あるアセチノールＥＨ（川研ファインケミカル（株）
製）を添加し、該界面活性剤の濃度が、１００ｐｐ
ｍ、２００ｐｐｍ、３００ｐｐｍ、４００ｐｐ
ｍ、５００ｐｐｍの５種類の現像液を調製し、前記同
様吸光度を測定した。結果を図７に示す。図７から添加
剤濃度が１００ｐｐｍ〜５００ｐｐｍでの吸光度の変化
は殆どなく、ＴＭＡＨ水溶液の濃度は添加剤濃度に影響
されずＴＭＡＨの含有量に基づいて決定されることが分
る。
２を行った。 （実験２）実験１の２．３８０wt%ＴＭＡＨ水溶液２０
０ｇにアセチレンアルコール系非イオン性界面活性剤で
あるアセチノールＥＨ（川研ファインケミカル（株）
製）を添加し、該界面活性剤の濃度が、１００ｐｐ
ｍ、２００ｐｐｍ、３００ｐｐｍ、４００ｐｐ
ｍ、５００ｐｐｍの５種類の現像液を調製し、前記同
様吸光度を測定した。結果を図７に示す。図７から添加
剤濃度が１００ｐｐｍ〜５００ｐｐｍでの吸光度の変化
は殆どなく、ＴＭＡＨ水溶液の濃度は添加剤濃度に影響
されずＴＭＡＨの含有量に基づいて決定されることが分
る。
【００３１】尚、赤外分光光度計による濃度測定法の原
理は上記のように検量線を作成して行うのであるが、実
際には赤外分光光度計を組み込んだ分析装置内で自動的
に行われる。
理は上記のように検量線を作成して行うのであるが、実
際には赤外分光光度計を組み込んだ分析装置内で自動的
に行われる。
【００３２】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
現像原液を希釈して現像液を調整するにあたり、希釈さ
れた現像液の濃度を赤外分光光度計を用いて行うように
したので、濃度の測定値が温度によって影響されること
がない。また、現像液が外気に触れ炭酸ガスや塩酸ガス
等を吸収した場合であっても、それによって測定値が変
動することが殆どない。更に現像液中に、添加剤等が含
まれていても、現像液成分（有機アルカリ）のピークの
吸光度が影響を受けない限り、現像液成分の含有量のみ
に基づいて一義的に測定値が定まるので、高精度の測定
が可能である。
現像原液を希釈して現像液を調整するにあたり、希釈さ
れた現像液の濃度を赤外分光光度計を用いて行うように
したので、濃度の測定値が温度によって影響されること
がない。また、現像液が外気に触れ炭酸ガスや塩酸ガス
等を吸収した場合であっても、それによって測定値が変
動することが殆どない。更に現像液中に、添加剤等が含
まれていても、現像液成分（有機アルカリ）のピークの
吸光度が影響を受けない限り、現像液成分の含有量のみ
に基づいて一義的に測定値が定まるので、高精度の測定
が可能である。
【００３３】したがって、本発明方法は、温度補償に伴
う測定誤差を解消し、現像液の温度に対する影響が少な
いので、恒温槽、加熱装置等を設ける必要がなく、製造
コストの削減、工程数の減少を図ることができる。
う測定誤差を解消し、現像液の温度に対する影響が少な
いので、恒温槽、加熱装置等を設ける必要がなく、製造
コストの削減、工程数の減少を図ることができる。
【図１】本発明方法を実施する希釈装置の概略構成を示
す図
す図
【図２】濃度２．３３０wt%のＴＭＡＨ水溶液ＩＲチャ
ート
ート
【図３】濃度２．３８０wt%のＴＭＡＨ水溶液ＩＲチャ
ート
ート
【図４】濃度２．４３０wt%のＴＭＡＨ水溶液ＩＲチャ
ート
ート
【図５】検量線を表わすグラフ
【図６】吸光度と液温との関係を示すグラフ
【図７】吸光度と界面活性剤濃度との関係を示すグラフ
１…通い缶、２…混合タンク、３…貯留タンク、４…自
動分析器、５…純水供給源、６…窒素ガス供給源、１６
…ロードセル。
動分析器、５…純水供給源、６…窒素ガス供給源、１６
…ロードセル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 釘澤 伸一 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 テ ィーオーケーエンジニアリング株式会社
Claims (4)
- 【請求項１】 混合タンク内に現像原液と純水とを供給
して混合し、この混合液の一部を取り出してその濃度を
分析し、この分析値に基づいて所定濃度とするために混
合タンク内に加えなければならない現像原液または純水
の量を算出して混合タンク内に現像原液または純水を供
給するようにした現像液の調整方法において、前記混合
液の濃度分析は赤外分光光度計を用いて行うことを特徴
とする現像液の調整方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の現像液の調整方法にお
いて、前記現像原液は低級アルキル第四級アンモニウム
塩の水溶液であり、赤外分光光度計による測定は石英セ
ルを用いた透過法であり、測定領域は４０００cm-1〜７
０００cm -1としたことを特徴とする現像液の調整方
法。 - 【請求項３】 請求項２に記載の現像液の調整方法にお
いて、前記低級アルキル第四級アンモニウム塩はテトラ
メチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）であり、
４４５０cm-1付近の赤外線の吸光度に基づいて濃度を検
出するようにしたことを特徴とする現像液の調整方法。 - 【請求項４】 現像原液の供給源と、純水の供給源と、
これら現像原液の供給源及び純水の供給源からバルブを
備えた配管を介して現像原液及び純水が供給される混合
タンクと、この混合タンク内の混合液を一部取り出して
再び混合タンクに戻す抜き取り管と、この抜き取り管の
途中に赤外分光光度計を組み込んだ分析装置とを備え、
この分析装置からの信号で現像原液の供給源及び純水の
供給源と混合タンクとをつなぐ配管のバルブを開閉する
ようにしたことを特徴とする現像液の調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8231695A JPH08278635A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 現像液の調整方法及び調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8231695A JPH08278635A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 現像液の調整方法及び調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08278635A true JPH08278635A (ja) | 1996-10-22 |
Family
ID=13771171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8231695A Pending JPH08278635A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 現像液の調整方法及び調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08278635A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170451A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Tokyo Electron Ltd | 現像方法及び現像装置 |
| JP2005260238A (ja) * | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Dongjin Semichem Co Ltd | 近赤外線分光器を利用したリソグラフィ工程用組成物の実時間制御システム及びその制御方法 |
| KR100520253B1 (ko) * | 2001-02-06 | 2005-10-11 | 가부시키가이샤 히라마리카겐큐죠 | 정제 현상액 제조 장치 및 정제 현상액 제조 방법 |
| KR100520252B1 (ko) * | 2001-02-06 | 2005-10-11 | 나가세 상교오 가부시키가이샤 | 현상액 제조 장치 및 현상액 제조 방법 |
| JP2008031115A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Sunstar Inc | 液体組成物の製造方法及び装置 |
| JP2008066520A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Mitsubishi Chemical Engineering Corp | フォトレジスト供給装置およびフォトレジスト供給方法 |
| KR100921403B1 (ko) * | 2004-03-11 | 2009-10-14 | 주식회사 동진쎄미켐 | 분광기를 이용한 식각액 조성물 관리 방법 및 장치 |
| JP2011137890A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | フォトリソグラフィ用現像液の製造方法及び製造装置 |
| CN108345169A (zh) * | 2017-01-23 | 2018-07-31 | 株式会社平间理化研究所 | 显影装置 |
-
1995
- 1995-04-07 JP JP8231695A patent/JPH08278635A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100520253B1 (ko) * | 2001-02-06 | 2005-10-11 | 가부시키가이샤 히라마리카겐큐죠 | 정제 현상액 제조 장치 및 정제 현상액 제조 방법 |
| KR100520252B1 (ko) * | 2001-02-06 | 2005-10-11 | 나가세 상교오 가부시키가이샤 | 현상액 제조 장치 및 현상액 제조 방법 |
| JP2004170451A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Tokyo Electron Ltd | 現像方法及び現像装置 |
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| KR100921403B1 (ko) * | 2004-03-11 | 2009-10-14 | 주식회사 동진쎄미켐 | 분광기를 이용한 식각액 조성물 관리 방법 및 장치 |
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| CN108345169A (zh) * | 2017-01-23 | 2018-07-31 | 株式会社平间理化研究所 | 显影装置 |
| JP2018120901A (ja) * | 2017-01-23 | 2018-08-02 | 株式会社平間理化研究所 | 現像装置 |
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