JPH08278143A - Piezoelectric vibrational angular speedometer - Google Patents
Piezoelectric vibrational angular speedometerInfo
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- JPH08278143A JPH08278143A JP7083828A JP8382895A JPH08278143A JP H08278143 A JPH08278143 A JP H08278143A JP 7083828 A JP7083828 A JP 7083828A JP 8382895 A JP8382895 A JP 8382895A JP H08278143 A JPH08278143 A JP H08278143A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、圧電振動角速度計に関
する。特に、基準電位電極と、駆動用交流電圧を印加す
る電極と、コリオリの力に伴う圧電電圧検出用電極と
を、圧電部材によって構成される柱状振動子の節点部位
において、外部から接触できるように柱状振動子に形成
することにより、柱状振動子の振動特性の劣化を抑制す
ることが可能な圧電振動角速度計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric vibration angular velocity meter. In particular, the reference potential electrode, the electrode for applying the driving AC voltage, and the piezoelectric voltage detection electrode associated with the Coriolis force can be contacted from the outside at the node portion of the columnar vibrator formed of the piezoelectric member. The present invention relates to a piezoelectric vibrating angular velocity meter capable of suppressing deterioration of vibration characteristics of a columnar vibrator by forming the columnar vibrator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】振動している物体に、その振動軸を中心
とした回転角速度が与えられると、その振動方向と直角
な方向にコリオリの力が発生する。圧電振動角速度計
は、この力学現象を利用したジャイロスコープの一種で
あり、自動車、船舶、航空機等の移動体の姿勢制御装
置、ナビゲーションシステム等に利用されている。2. Description of the Related Art When a vibrating object is given a rotational angular velocity about its vibration axis, Coriolis force is generated in a direction perpendicular to the vibration direction. The piezoelectric vibrating angular velocity meter is a kind of gyroscope that utilizes this mechanical phenomenon, and is used in an attitude control device for a moving body such as an automobile, a ship, and an aircraft, a navigation system, and the like.
【０００３】図８は、従来の圧電振動角速度計の一構成
例を示す斜視図である。図９は、図８に示す圧電振動角
速度計５００を、矢印Ｘ方向からみた場合の平面図であ
る。金属振動子５０５は、正方形断面形状を有する四角
柱であり、互いに直角な２つの方向（図８及び図９にお
いては、矢印Ｙ方向と矢印Ｚ方向）に、ほぼ同じ共振周
波数で屈曲振動することが可能である。FIG. 8 is a perspective view showing one structural example of a conventional piezoelectric vibration angular velocity meter. FIG. 9 is a plan view of the piezoelectric vibration angular velocity meter 500 shown in FIG. 8 as seen from the direction of the arrow X. The metal vibrator 505 is a quadrangular prism having a square cross-sectional shape, and is capable of flexural vibration in two directions orthogonal to each other (arrow Y direction and arrow Z direction in FIGS. 8 and 9) at substantially the same resonance frequency. Is possible.
【０００４】圧電セラミック薄板５１１は、金属振動子
５０５の所定の側面５０１上の中央部に接合されてい
る。圧電セラミック薄板５１３は、側面５０１に対向す
る側面５０３上の中央部に接合されている。さらに、圧
電セラミック薄板５１２が、側面５０１の、図中、左隣
の側面５０２上の中央部に接合されており、圧電セラミ
ック薄板５１４が、側面５０２に対向する側面５０４上
の中央部に接合されている。これらの圧電セラミック薄
板５１１乃至５１４は、その板厚方向に分極されてい
る。また、金属振動子５０５は、グランドの役目を果た
す。The piezoelectric ceramic thin plate 511 is bonded to the center of a predetermined side surface 501 of the metal vibrator 505. The piezoelectric ceramic thin plate 513 is bonded to the central portion on the side surface 503 facing the side surface 501. Further, the piezoelectric ceramic thin plate 512 is joined to the center portion of the side surface 501 on the left side surface 502 in the drawing, and the piezoelectric ceramic thin plate 514 is joined to the center portion of the side surface 504 facing the side surface 502. ing. These piezoelectric ceramic thin plates 511 to 514 are polarized in the plate thickness direction. The metal vibrator 505 also serves as a ground.
【０００５】リードのための細導線５２１乃至５２４
は、それぞれ、圧電セラミック薄板５１１乃至５１４上
に半田付けされている。また、細い金属線によって構成
される支持用金属線５３１乃至５３４は、金属振動子５
０５を支持するために、各側面５０１乃至５０４上の所
定の位置（後述する）に、それぞれ、各面に垂直に溶接
されており、さらに、金属振動子５０５のリードとして
用いられる。Fine lead wires 521 to 524 for leads
Are soldered on the piezoelectric ceramic thin plates 511 to 514, respectively. In addition, the supporting metal wires 531 to 534, which are thin metal wires, are the metal vibrators 5.
In order to support 05, each side surface 501 to 504 is welded at a predetermined position (described later) perpendicularly to each surface, and is further used as a lead of the metal vibrator 505.
【０００６】上述した金属振動子５０５を支持する支持
用金属線５３１乃至５３４は、金属振動子５０５の無拘
束基本振動モードの共振振動の節点に溶接されている。The supporting metal wires 531 to 534 for supporting the metal vibrator 505 described above are welded to the nodes of the resonance vibration of the metal vibrator 505 in the unconstrained fundamental vibration mode.
【０００７】次に、図８及び図９に示す圧電振動角速度
計５００の動作について説明する。図示せぬ発振回路に
よって、金属振動子５０５の無拘束基本振動の共振周波
数とほぼ等しい周波数の駆動用交流電圧が、細導線５２
１を介して、圧電セラミック薄板５１１に印加される
と、圧電セラミック薄板５１１は、図中、上下方向に延
び縮みする。すると、金属振動子５０５は、矢印Ｙ方向
に屈曲振動する。上述した周波数の駆動用交流電圧を発
振回路に出力させるために、圧電セラミック薄板５１３
は、金属振動子５０５の振動時の帰還信号を取り、細導
線５２３を介して、外部に出力する。また、圧電セラミ
ック薄板５１２及び５１４には、金属振動子５０５のＹ
方向の振動に伴う、振幅及び位相が等しい圧電電圧ＶC
が、それぞれ、発生する。Next, the operation of the piezoelectric vibration angular velocity meter 500 shown in FIGS. 8 and 9 will be described. A driving AC voltage having a frequency substantially equal to the resonance frequency of the unrestrained fundamental vibration of the metal vibrator 505 is generated by the oscillation circuit (not shown).
1 is applied to the piezoelectric ceramic thin plate 511, the piezoelectric ceramic thin plate 511 extends and contracts in the vertical direction in the drawing. Then, the metal vibrator 505 flexurally vibrates in the arrow Y direction. In order to output the driving AC voltage having the above-mentioned frequency to the oscillation circuit, the piezoelectric ceramic thin plate 513 is used.
Takes a feedback signal when the metal vibrator 505 vibrates, and outputs the feedback signal to the outside through the thin wire 523. In addition, the piezoelectric ceramic thin plates 512 and 514 are provided with Y of the metal vibrator 505.
Piezoelectric voltage V C with equal amplitude and phase due to directional vibration
, Respectively.
【０００８】駆動用交流電圧が圧電セラミック薄板５１
１に印加され、金属振動子５０５が矢印Ｙ方向に屈曲振
動している場合において、矢印Ｘを軸として、圧電振動
角速度計５００を、矢印Ｒ方向に回転角速度Ωで回転さ
せると、金属振動子５０５には、コリオリの力（＝Ｆ
ｃ）が、矢印Ｚ方向に発生し、金属振動子５０５は、矢
印Ｚ方向に屈曲振動する。The driving AC voltage is the piezoelectric ceramic thin plate 51.
1 and the metal vibrator 505 is flexurally vibrated in the direction of arrow Y, when the piezoelectric vibration angular velocity meter 500 is rotated about the arrow X in the direction of arrow R at a rotation angular velocity Ω, the metal vibrator In 505, Coriolis force (= F
c) is generated in the arrow Z direction, and the metal vibrator 505 flexurally vibrates in the arrow Z direction.
【０００９】ここで、コリオリの力Ｆｃは、次式によっ
て表される。なお、振動子の質量をｍ、駆動用電圧信号
が印加されることによる金属振動子５０５の振動速度を
ｖとする。The Coriolis force Fc is represented by the following equation. Note that the mass of the vibrator is m, and the vibration speed of the metal vibrator 505 when a driving voltage signal is applied is v.
【００１０】Ｆｃ＝２・ｍ・［ｖ・Ω］ （［ｖ・Ω］は、ｖとΩの外積）Fc = 2 · m · [v · Ω] ([v · Ω] is the outer product of v and Ω)
【００１１】すると、側面５０２上に接合される圧電セ
ラミック薄板５１２において、上述の圧電電圧ＶC に加
え、コリオリの力に伴う圧電電圧ＶB が発生する。ま
た、側面５０２に対向する側面５０４上に接合される圧
電セラミック薄板５１４において、圧電電圧ＶC に加
え、上述した圧電電圧ＶB と振幅が等しく、位相が反対
の圧電電圧−ＶB が発生する。Then, in the piezoelectric ceramic thin plate 512 bonded on the side surface 502, in addition to the above-mentioned piezoelectric voltage V C , a piezoelectric voltage V B due to the Coriolis force is generated. Further, in the piezoelectric ceramic thin plate 514 bonded on the side surface 504 facing the side surface 502, in addition to the piezoelectric voltage V C , a piezoelectric voltage −V B having the same amplitude as the above-described piezoelectric voltage V B but an opposite phase is generated. .
【００１２】そして、圧電セラミック薄板５１２，５１
４において発生した圧電電圧は、それぞれ、細導線５２
２，５２４を介して、図示せぬ検出回路に入力され、次
に示す処理が行われる。The piezoelectric ceramic thin plates 512 and 51
The piezoelectric voltage generated in 4 is the thin wire 52
It is input to a detection circuit (not shown) via 2, 524, and the following processing is performed.
【００１３】（圧電セラミック薄板５１２において発生
した圧電電圧）−（圧電セラミック薄板５１４において
発生した圧電電圧） ＝（ＶB＋ＶC）−（−ＶB＋ＶC） ＝２・ＶB [0013] (piezoelectric voltage generated in the piezoelectric ceramic thin plates 512) - (piezoelectric voltage generated in the piezoelectric ceramic thin plates 514) = (V B + V C) - (- V B + V C) = 2 · V B
【００１４】このように、圧電セラミック薄板５１２，
５１４において、それぞれ発生した圧電電圧の差動信号
を取ることによって、コリオリの力に伴う（回転に伴
う）圧電電圧ＶB を、倍増して取り出すことができ、そ
の圧電電圧ＶB に対応して、回転角速度Ωを検出するこ
とが可能となる。In this way, the piezoelectric ceramic thin plates 512,
At 514, by taking the differential signal of the generated piezoelectric voltage, the piezoelectric voltage V B (corresponding to the rotation) due to the Coriolis force can be doubled and taken out, and corresponding to the piezoelectric voltage V B , It becomes possible to detect the rotational angular velocity Ω.
【００１５】ところで、近年、圧電振動角速度計は、小
型化される傾向にある。図８に示す圧電振動角速度計５
００においては、圧電セラミック薄板５１１乃至５１４
を、それぞれ、金属振動子５０５の各側面中央部に、正
確に張り付ける必要があるため小型化が困難であった。By the way, in recent years, the piezoelectric vibration angular velocity meter tends to be miniaturized. Piezoelectric vibration gyro 5 shown in FIG.
00, piezoelectric ceramic thin plates 511 to 514
It was difficult to miniaturize each of the metal vibrators 505 because the metal vibrators 505 need to be accurately attached to the central portions of the side surfaces.
【００１６】そこで、従来、圧電部材によって構成され
る振動子を用いた圧電振動角速度計が提案されている。
図１０は、従来の圧電振動角速度計の一構成例を示す斜
視図である。また、図１１は、図１０に示す圧電振動角
速度計６００の正面図である。Therefore, conventionally, a piezoelectric vibrating angular velocity meter using a vibrator constituted by a piezoelectric member has been proposed.
FIG. 10 is a perspective view showing a configuration example of a conventional piezoelectric vibration angular velocity meter. Further, FIG. 11 is a front view of the piezoelectric vibration angular velocity meter 600 shown in FIG.
【００１７】振動子６１０は、圧電部材によって構成さ
れる、正三角形断面形状を有する三角柱である。電極６
１１乃至６１３が、振動子６１０の各側面に、それぞれ
銀ペーストされることによって形成される。また、基準
電位電極としての電極６１４が、振動子６１０内部に、
長さ方向に平行に埋め込まれている。なお、電極６１４
は、振動子６１０の長さ方向軸ｘに垂直な両端面におい
て、外部に露出している。The vibrator 610 is a triangular prism having a regular triangular cross-sectional shape, which is composed of a piezoelectric member. Electrode 6
11 to 613 are formed on each side surface of the vibrator 610 by silver paste. Further, an electrode 614 as a reference potential electrode is provided inside the vibrator 610,
It is embedded parallel to the length direction. Note that the electrode 614
Are exposed to the outside on both end surfaces of the vibrator 610 perpendicular to the longitudinal axis x.
【００１８】細導線６２１乃至６２３は、それぞれ、電
極６１１乃至６１３上の所定の位置に接続されている。
また、基準電位線としての細導線６２４は、電極６１４
の外部の露出部に接続される。The fine wires 621 to 623 are connected to predetermined positions on the electrodes 611 to 613, respectively.
In addition, the thin conducting wire 624 as the reference potential line is the electrode 614.
Connected to the exposed part of the.
【００１９】圧電振動角速度計６００の動作について説
明する。駆動用交流電圧が、図示せぬ発振回路から電極
６１１に印加されると、振動子６１０は、矢印ｙ方向に
屈曲振動する。この場合において、振動子６１０が、振
動子６１０の長さ方向軸ｘを中心に回転すると、コリオ
リの力が、矢印ｚ方向に発生し、振動子６１０は、矢印
ｚ方向に屈曲振動する。このとき発生する圧電電圧を電
極６１２、６１３から検出し、その作動を取ることによ
って、コリオリの力に伴う圧電電圧を検出することがで
き、振動子６１０の回転角速度を検出することが可能と
なる。The operation of the piezoelectric vibration angular velocity meter 600 will be described. When a driving AC voltage is applied to the electrode 611 from an oscillation circuit (not shown), the vibrator 610 flexurally vibrates in the arrow y direction. In this case, when the vibrator 610 rotates about the longitudinal axis x of the vibrator 610, the Coriolis force is generated in the arrow z direction, and the vibrator 610 flexurally vibrates in the arrow z direction. By detecting the piezoelectric voltage generated at this time from the electrodes 612 and 613 and taking the operation thereof, the piezoelectric voltage due to the Coriolis force can be detected, and the rotational angular velocity of the vibrator 610 can be detected. .
【００２０】[0020]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示す従来の圧電振動角速度計５００においては、細導線
５２１乃至５２４が、金属振動子５０５の各側面の中央
部にそれぞれ形成される圧電セラミック薄板５１１乃至
５１４上に、それぞれ接続される。従って、この圧電振
動角速度計５００は、細導線５２１乃至５２４が、金属
振動子５０５の共振振動の節点部位と異なる位置に接続
されるので、金属振動子５０５の振動特性が劣化してし
まうという課題を有している。However, in the conventional piezoelectric vibrating angular velocity meter 500 shown in FIG. 8, the fine conductor wires 521 to 524 are formed on the piezoelectric ceramic thin plate formed at the center of each side surface of the metal vibrator 505. 511 to 514, respectively. Therefore, in the piezoelectric vibrating angular velocity meter 500, the fine conducting wires 521 to 524 are connected to a position different from the node portion of the resonance vibration of the metal vibrator 505, so that the vibration characteristic of the metal vibrator 505 is deteriorated. have.
【００２１】また、図１０に示す圧電振動角速度計６０
０においては、基準電位電極としての電極６１４が、振
動子６１０の長さ方向軸ｘに垂直な単面にのみ露出して
おり、細導線６２４を、振動子６１０の節点部位に接続
することができない。従って、この圧電振動角速度計６
００は、細導線６２４が、振動子６１０の共振振動の節
点部位とことなる位置に接続されるので、振動子６１０
の振動特性が劣化してしまうという課題を有している。Further, a piezoelectric vibration angular velocity meter 60 shown in FIG.
In No. 0, the electrode 614 as the reference potential electrode is exposed only on the single surface perpendicular to the longitudinal axis x of the vibrator 610, and the thin conductive wire 624 may be connected to the node portion of the vibrator 610. Can not. Therefore, this piezoelectric vibration angular velocity meter 6
00 is connected to the position where the fine conductor wire 624 is different from the node portion of the resonance vibration of the vibrator 610, so that the vibrator 610
However, there is a problem in that the vibration characteristics of No. 1 deteriorate.
【００２２】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、圧電振動角速度計を構成する柱状振動子の
振動特性の劣化を抑制することを目的とする。The present invention has been made in view of such a situation, and an object thereof is to suppress deterioration of vibration characteristics of a columnar vibrator constituting a piezoelectric vibration angular velocity meter.
【００２３】[0023]
【課題を解決するための手段】本発明の圧電振動角速度
計は、基準電位電極としての第１の電極と、駆動用交流
電圧が印加される第２の電極と、コリオリの力に対応す
る圧電電圧の検出電極としての第３及び第４の電極とを
備え、圧電部材によって構成される柱状振動子と、基準
電位線としての第１のリード線と、駆動用交流電圧を、
外部から第２の電極に転送する第２のリード線と、圧電
電圧を、第３の電極から外部に転送する第３のリード線
と、圧電電圧を、第４の電極から外部に転送する第４の
リード線とによって構成される圧電振動角速度計におい
て、第１乃至第４の電極は、柱状振動子の共振振動の節
点部位において、外部から接触可能となるように形成さ
れ、第１乃至第４のリード線は、それぞれ、柱状振動子
の共振振動の節点部位において、第１乃至第４の電極に
接続されることを特徴とする。A piezoelectric vibrating angular velocity meter according to the present invention includes a first electrode as a reference potential electrode, a second electrode to which a driving AC voltage is applied, and a piezoelectric element corresponding to Coriolis force. A columnar vibrator provided with third and fourth electrodes as voltage detection electrodes and formed of a piezoelectric member, a first lead wire as a reference potential line, and a driving AC voltage,
A second lead wire that transfers from the outside to the second electrode, a third lead wire that transfers the piezoelectric voltage from the third electrode to the outside, and a third lead wire that transfers the piezoelectric voltage from the fourth electrode to the outside. In the piezoelectric vibrating angular velocity meter composed of four lead wires, the first to fourth electrodes are formed so as to be contactable from the outside at the nodal points of the resonance vibration of the columnar vibrator. Each of the four lead wires is connected to the first to fourth electrodes at the node portion of the resonance vibration of the columnar vibrator.
【００２４】[0024]
【作用】第１の電極は、圧電部材によって構成される柱
状振動子の基準電極として使用され、第２の電極は、柱
状振動子を屈曲振動させるための駆動用交流電圧が印加
され、第３及び第４の電極は、柱状振動子に発生するコ
リオリの力に伴う圧電電圧の検出用電極として使用され
る。第１乃至第４の電極は、それぞれ、柱状振動子の共
振振動の節点部位において、外部より接触可能となるよ
うに、柱状振動子に形成されている。第１乃至第４のリ
ード線は、それぞれ、柱状振動子の共振振動の節点部位
において、第１乃至第４の電極に接続される。The first electrode is used as a reference electrode of the columnar vibrator formed of a piezoelectric member, and the second electrode is applied with a driving AC voltage for bending and vibrating the columnar vibrator. Also, the fourth electrode is used as an electrode for detecting a piezoelectric voltage caused by the Coriolis force generated in the columnar vibrator. The first to fourth electrodes are respectively formed on the columnar vibrator so that they can be contacted from the outside at the node points of the resonance vibration of the columnar vibrator. The first to fourth lead wires are respectively connected to the first to fourth electrodes at the nodal points of the resonance vibration of the columnar vibrator.
【００２５】[0025]
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照して説
明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２６】図１は、本発明の圧電振動角速度計の一実
施例の構成を示す斜視図である。振動子１０（柱状振動
子）は、圧電セラミック部材であるチタン酸ジルコン酸
鉛（以下、ＰＺＴという）（圧電部材）によって構成さ
れている（後述する）。振動子１０は、その共振振動の
節点部位において、シリコン系接着剤によって、シリコ
ン系樹脂で構成される支柱２１及び支柱２２（後述す
る）（支持部材）の一端と接着されている。支柱２１及
び支柱２２の他端は、シリコン系接着剤によって、アル
ミナで構成される基板２０に接着固定されている。FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of the piezoelectric vibration angular velocity meter of the present invention. The vibrator 10 (columnar vibrator) is composed of lead zirconate titanate (hereinafter referred to as PZT) (piezoelectric member) which is a piezoelectric ceramic member (described later). The vibrator 10 is bonded to one end of a support column 21 and a support column 22 (support member) (support member) made of a silicone resin at a node portion of the resonance vibration with a silicone adhesive. The other ends of the columns 21 and 22 are bonded and fixed to the substrate 20 made of alumina by a silicon adhesive.
【００２７】また、振動子を構成する圧電部材は、ＰＺ
Ｔに限定されるものではなくＱ（共振の鋭さ）の大きな
圧電セラミック材料であればよい。The piezoelectric member forming the vibrator is PZ.
The piezoelectric material is not limited to T, but may be any piezoelectric ceramic material having a large Q (resonance sharpness).
【００２８】図２は、図１に示す振動子１０の構成を示
す斜視図である。図３は、振動子１０を構成する圧電部
材１０Ａ（第１の圧電部材）及び１０Ｂ（第２の圧電部
材）の構成を示す斜視図である。圧電部材１０Ａ及び１
０Ｂは、ＰＺＴによって構成され、その形状は、幅が
１．０ｍｍ、厚さが０．５ｍｍ（すなわち、断面形状が
長方形）、長さが９．０ｍｍの直方体である。また、圧
電部材１０Ａは、その上面から下面方向に分極されてお
り、圧電部材１０Ｂは、その下面から上面方向に分極さ
れている。なお、この分極処理は、振動子形成後に行っ
てもよい。FIG. 2 is a perspective view showing the structure of the vibrator 10 shown in FIG. FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of the piezoelectric members 10A (first piezoelectric member) and 10B (second piezoelectric member) that form the vibrator 10. Piezoelectric members 10A and 1
OB is composed of PZT, and its shape is a rectangular parallelepiped having a width of 1.0 mm, a thickness of 0.5 mm (that is, a rectangular sectional shape), and a length of 9.0 mm. The piezoelectric member 10A is polarized from the upper surface to the lower surface, and the piezoelectric member 10B is polarized from the lower surface to the upper surface. Note that this polarization treatment may be performed after forming the vibrator.
【００２９】幅０．３ｍｍの電極１１（第３の電極），
１２（第４の電極）が、圧電部材１０Ａの上面の両端に
おいて、長さ方向に平行に、銀ペーストされることによ
って形成されている。一方、圧電部材１０Ａの下面（上
面に対向する面）には、電極１３Ａが、その全面が銀ペ
ーストされることによって形成されている（図３
（ａ））。An electrode 11 (third electrode) having a width of 0.3 mm,
Twelve (fourth electrodes) are formed on both ends of the upper surface of the piezoelectric member 10A by silver paste parallel to the length direction. On the other hand, on the lower surface (the surface facing the upper surface) of the piezoelectric member 10A, the electrode 13A is formed by silver-pasting the entire surface (FIG. 3).
(A)).
【００３０】圧電部材１０Ｂの上面には、電極１３Ｂ
が、全面が銀ペーストされることによって形成され、圧
電部材１０Ｂの下面には、電極１４（第２の電極）が、
上面と同様に、全面が銀ペーストされることによって形
成されている（図３（ｂ））。An electrode 13B is formed on the upper surface of the piezoelectric member 10B.
Is formed by silver-pasting the entire surface, and the electrode 14 (second electrode) is formed on the lower surface of the piezoelectric member 10B.
Like the upper surface, the entire surface is formed by silver paste (FIG. 3B).
【００３１】振動子１０は、圧電部材１０Ａの下面と圧
電部材１０Ｂの上面とが、接着されることによって構成
されている。上述したように、銀ペーストされた電極１
３Ａ及び１３Ｂが、圧電部材１０Ａの下面及び圧電部材
１０Ｂの上面に、それぞれ形成されている。この電極１
３Ａ，１３Ｂの表面は、微細に見れば、多くの凹凸を有
しており、圧電部材１０Ａと１０Ｂとを接着する場合、
電極１３Ａ上の凸の部分と、電極１３Ｂ上の凸の部分と
を接触させるために、接着剤の層厚を薄くする必要があ
るので、粘度の低いエポキシ系接着剤を用いて接着を行
う。圧電部材１０Ａと圧電部材１０Ｂとの間において、
電極１３Ａ及び１３Ｂによって構成される１つの電極１
３（第１の電極）が形成される。従って、電極１３は、
振動子１０の側面に露出しており、外部から接触可能と
なっている。The vibrator 10 is constructed by bonding the lower surface of the piezoelectric member 10A and the upper surface of the piezoelectric member 10B to each other. As described above, the silver-pasted electrode 1
3A and 13B are formed on the lower surface of the piezoelectric member 10A and the upper surface of the piezoelectric member 10B, respectively. This electrode 1
The surfaces of 3A and 13B have many irregularities when viewed finely, and when bonding the piezoelectric members 10A and 10B,
Since it is necessary to reduce the layer thickness of the adhesive in order to bring the convex portion on the electrode 13A and the convex portion on the electrode 13B into contact with each other, adhesion is performed using an epoxy adhesive having a low viscosity. Between the piezoelectric member 10A and the piezoelectric member 10B,
One electrode 1 composed of electrodes 13A and 13B
3 (first electrode) is formed. Therefore, the electrode 13 is
It is exposed on the side surface of the vibrator 10 and can be contacted from the outside.
【００３２】この振動子１０は、等しい大きさの長方形
断面を有する圧電部材１０Ａと１０Ｂが、その下面と上
面とが接着されることによって構成されており、断面形
状が正方形となっている。従って、この振動子１０の幅
方向と厚さ方向の基準振動数は等しい。The vibrator 10 is formed by bonding piezoelectric members 10A and 10B having rectangular cross sections of the same size to each other on their lower and upper surfaces, and has a square cross section. Therefore, the reference frequencies of the vibrator 10 in the width direction and the thickness direction are equal.
【００３３】また、本発明においては、大きさの異なる
長方形断面を有する２個の圧電部材によって構成するこ
とも可能である。この場合、振動子の幅方向の基準振動
数と厚さ方向の基準振動数とを合わせる必要があり、振
動子を振動させ、その振動を調節しながら、側面をレー
ザ等によって削る。その結果、振動子の断面は、略正方
形となる。Further, in the present invention, it is also possible to constitute by two piezoelectric members having rectangular cross sections having different sizes. In this case, it is necessary to match the reference frequency in the width direction and the reference frequency in the thickness direction of the vibrator, and the vibrator is vibrated, and while adjusting the vibration, the side surface is ground by a laser or the like. As a result, the cross section of the vibrator becomes substantially square.
【００３４】細導線４１，４２は、その一端が、それぞ
れ、振動子１０の上面に形成される電極１１，１２上
の、振動子１０の共振振動の節点部位近傍において半田
付けされる。細導線４３は、圧電部材１０Ａと１０Ｂと
の接着面に形成される電極１３の露出部分の、振動子１
０の共振振動の節点部位において半田付けされている。
また、細導線４４は、振動子１０の下面に形成される電
極１４上の、振動子１０の振動の節点部位において半田
付けされる。従って、振動子１０の振動特性は、細導線
４１乃至４４の接続によって劣化しない。The fine wires 41 and 42 are soldered at their one ends on the electrodes 11 and 12 formed on the upper surface of the vibrator 10 in the vicinity of the nodal points of the resonance vibration of the vibrator 10. The thin conductive wire 43 is provided on the exposed surface of the electrode 13 formed on the bonding surface between the piezoelectric members 10A and 10B.
Soldering is performed at the node portion of resonance vibration 0.
Further, the thin conductive wire 44 is soldered on the electrode 14 formed on the lower surface of the vibrator 10 at a node point of vibration of the vibrator 10. Therefore, the vibration characteristics of the vibrator 10 are not deteriorated by the connection of the thin wires 41 to 44.
【００３５】なお、細導線４１乃至４４が半田付けされ
る位置は、振動子１０の共振振動の節点部位２箇所のう
ちのいずれかであればよく、以下の実施例においても同
様である。The fine conductors 41 to 44 may be soldered at any one of two nodal points of the resonance vibration of the vibrator 10, and the same applies to the following embodiments.
【００３６】細導線４１（第３のリード線），４２（第
４のリード線）は、その他端が、図示せぬ検出回路に接
続されており、それぞれ、電極１１，１２に発生する電
圧を検出回路に伝達する。細導線４４（第２のリード
線）は、その他端が、図示せぬ発振回路に接続されてお
り、振動子１０を屈曲振動させるための駆動用交流電圧
を、発振回路から電極１４に伝達する。電極１３は、基
準電位電極であり、細導線４３（第１のリード線）は、
基準電位線として使用される。The other ends of the thin conductive wires 41 (third lead wire) and 42 (fourth lead wire) are connected to a detection circuit (not shown), and the voltages generated at the electrodes 11 and 12 are respectively applied. Transmit to the detection circuit. The other end of the thin conductive wire 44 (second lead wire) is connected to an oscillation circuit (not shown), and a driving AC voltage for bending and vibrating the vibrator 10 is transmitted from the oscillation circuit to the electrode 14. . The electrode 13 is a reference potential electrode, and the thin conducting wire 43 (first lead wire) is
Used as a reference potential line.
【００３７】また、振動子１０の振動特性劣化を最小に
抑える必要があるため、上述した細導線４１乃至４４
は、弾性の強いものであってはならず、熱処理等により
なました、柔らかい材料によって構成されている。Further, since it is necessary to minimize the deterioration of the vibration characteristics of the vibrator 10, the thin wires 41 to 44 described above are used.
Is made of a soft material that has not been strong in elasticity and has been heat treated.
【００３８】支柱２１及び２２は、従来例に示す支持用
金属線と異なり、端面が振動子１０に接着されるので、
接着面積を支持用金属線の溶接面積より大きくする必要
がある。従って、剛性の高い素材によって支柱２１及び
２２を構成すると、振動子１０の振動特性が阻害されて
しまうので、支柱２１及び２２は、ゴム状弾性を有する
電気絶縁材料であるシリコン系樹脂材料によって構成さ
れている。また、支柱２１及び２２と、振動子１０とを
接着する場合に使用される接着剤が、硬質の接着剤であ
っても、振動子１０の振動特性が阻害される。従って、
支柱２１及び２２と振動子１０とを接着させる場合、比
較的弾性率の低いシリコン系接着剤を用いる。Unlike the supporting metal wires shown in the conventional example, the columns 21 and 22 have their end faces bonded to the vibrator 10,
It is necessary to make the bonded area larger than the welded area of the supporting metal wire. Therefore, if the columns 21 and 22 are made of a material having high rigidity, the vibration characteristics of the vibrator 10 are impaired. Therefore, the columns 21 and 22 are made of a silicon-based resin material that is an electrically insulating material having rubber-like elasticity. Has been done. Further, even if the adhesive used to bond the columns 21 and 22 to the vibrator 10 is a hard adhesive, the vibration characteristics of the vibrator 10 are impaired. Therefore,
When the columns 21 and 22 are bonded to the vibrator 10, a silicon-based adhesive having a relatively low elastic modulus is used.
【００３９】次に、図１に示す圧電振動角速度計１の動
作について説明する。まず、振動子１０を屈曲振動させ
るための駆動用交流電圧が、図示せぬ発振回路から、細
導線４４を介して、電極１４に印加される。すると、振
動子１０は、厚さ方向（矢印Ｙ1 方向）に屈曲振動す
る。Next, the operation of the piezoelectric vibration angular velocity meter 1 shown in FIG. 1 will be described. First, a driving AC voltage for bending and vibrating the vibrator 10 is applied to the electrode 14 from an oscillating circuit (not shown) through the thin conductor wire 44. Then, the vibrator 10 flexurally vibrates in the thickness direction (arrow Y 1 direction).
【００４０】この場合において、圧電振動角速度計１
が、振動子１０の長さ方向軸Ｘ1 を中心に回転すると、
コリオリの力が振動子１０の幅方向（矢印Ｚ1 方向）に
生じ、振動子１０が、同方向に屈曲振動する。すると、
振動子１０の矢印Ｚ1 方向の屈曲振動に伴う圧電電圧
（コリオリの力に伴う圧電電圧）が、電極１１及び電極
１２において発生する。なお、従来例において述べたよ
うに、振動子１０の矢印Ｚ1 方向の屈曲振動に伴い、電
極１１，１２に発生する圧電電圧は、振幅が等しく、位
相が逆である。すなわち、矢印Ｚ1 方向の屈曲振動に伴
い電極１１に発生する圧電電圧が、＋（−）Ａのとき、
矢印Ｚ1 方向の屈曲振動に伴い電極１２に発生する圧電
電圧は、−（＋）Ａとなる。なお、このとき、電極１１
及び１２には、振動子１０の矢印Ｙ1 方向の屈曲振動に
伴う、振幅及び位相が等しい圧電電圧も発生している。In this case, the piezoelectric vibration angular velocity meter 1
Is rotated about the longitudinal axis X 1 of the oscillator 10,
Coriolis force is generated in the width direction of the vibrator 10 (direction of arrow Z 1 ), and the vibrator 10 flexurally vibrates in the same direction. Then
Piezoelectric voltage (piezoelectric voltage due to Coriolis force) associated with bending vibration of the oscillator 10 in the direction of arrow Z 1 is generated at the electrodes 11 and 12. As described in the conventional example, the piezoelectric voltages generated in the electrodes 11 and 12 due to the bending vibration of the vibrator 10 in the arrow Z 1 direction have the same amplitude and opposite phases. That is, when the piezoelectric voltage generated in the electrode 11 due to the bending vibration in the arrow Z 1 direction is + (−) A,
The piezoelectric voltage generated in the electrode 12 due to the bending vibration in the direction of the arrow Z 1 becomes − (+) A. At this time, the electrode 11
Piezoelectric voltages having the same amplitude and the same phase are also generated in and 12 due to the bending vibration of the vibrator 10 in the direction of the arrow Y 1 .
【００４１】電極１１及び１２に発生した圧電電圧は、
それぞれ、細導線４１，４２を介して、図示せぬ検出回
路に入力される。そして、これらの２つの圧電電圧の差
動を取ることによって、コリオリの力に伴う圧電電圧の
みを、倍増して取り出すことができ、回転角速度を検出
することが可能となる。The piezoelectric voltage generated at the electrodes 11 and 12 is
Each of them is input to a detection circuit (not shown) via the thin conductive wires 41 and 42. Then, by taking the differential of these two piezoelectric voltages, only the piezoelectric voltage due to the Coriolis force can be doubled and taken out, and the rotational angular velocity can be detected.
【００４２】本発明の圧電振動角速度計においては、振
動子を異なる構成とすることも可能である。In the piezoelectric vibrating angular velocity meter of the present invention, the vibrator may have a different structure.
【００４３】図４は、本発明の圧電振動角速度計の他の
実施例の構成を示す斜視図である。この圧電振動角速度
計１００の基本的な構成は、図１に示す圧電振動角速度
計１と同様であり、振動子１１０の構成のみが異なって
いる。FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of another embodiment of the piezoelectric vibration angular velocity meter of the present invention. The basic configuration of this piezoelectric vibration angular velocity meter 100 is the same as that of the piezoelectric vibration angular velocity meter 1 shown in FIG. 1, but only the configuration of the vibrator 110 is different.
【００４４】振動子１１０の基本的な構成は、図２に示
す振動子１０の構成と同様であり、電極１１（第３の電
極）及び電極１２（第４の電極）の形成位置が異なって
いる。電極１１及び電極１２は、圧電部材１０Ａの両側
面の上部において、幅０．４ｍｍで、長さ方向に平行に
形成されている。The basic structure of the vibrator 110 is the same as that of the vibrator 10 shown in FIG. 2, except that the electrodes 11 (third electrode) and the electrode 12 (fourth electrode) are formed at different positions. There is. The electrodes 11 and 12 have a width of 0.4 mm and are formed parallel to the lengthwise direction above the both side surfaces of the piezoelectric member 10A.
【００４５】本実施例の振動子１１０は、分極処理を、
振動子形成後に行う必要がある。すなわち、振動子１１
０は、図５に示すように、電極１３と電極１４間、電極
１３と電極１２間、及び電極１３と電極１１間に電圧を
かけることによって分極される。The vibrator 110 of the present embodiment is subjected to polarization processing,
It must be done after forming the oscillator. That is, the oscillator 11
As shown in FIG. 5, 0 is polarized by applying a voltage between the electrode 13 and the electrode 14, between the electrode 13 and the electrode 12, and between the electrode 13 and the electrode 11.
【００４６】なお、本実施例の圧電振動角速度計１００
の動作は、図１に示す圧電振動角速度計１の動作と同様
である。The piezoelectric vibrating angular velocity meter 100 of this embodiment is used.
The operation of is similar to the operation of the piezoelectric vibration angular velocity meter 1 shown in FIG.
【００４７】図６は、本発明の圧電振動角速度計の他の
実施例の構成を示す斜視図である。この圧電振動角速度
計２００の基本的な構成は、図１に示す圧電振動角速度
計１と同様であり、振動子２１０の構成のみが異なって
いる。FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of another embodiment of the piezoelectric vibration angular velocity meter of the present invention. The basic configuration of the piezoelectric vibration angular velocity meter 200 is the same as that of the piezoelectric vibration angular velocity meter 1 shown in FIG. 1, and only the configuration of the vibrator 210 is different.
【００４８】振動子２１０の基本的な構成は、図２に示
す振動子１０の構成と同様であり、電極１１（第３の電
極）、電極１２（第４の電極）及び電極１４（第２の電
極）の形成位置が異なっている。電極１１及び電極１２
は、圧電部材１０Ａの両側面の中央部において、幅０．
４ｍｍで、長さ方向に平行に形成されている。電極１４
は、圧電部材１０Ａの上面中央部に、所定の幅で、長さ
方向に平行に形成されている。The basic structure of the vibrator 210 is the same as that of the vibrator 10 shown in FIG. 2, and includes an electrode 11 (third electrode), an electrode 12 (fourth electrode) and an electrode 14 (second electrode). Electrodes) are formed at different positions. Electrode 11 and electrode 12
Has a width of 0..mm at the center of both side surfaces of the piezoelectric member 10A.
It is 4 mm and is formed parallel to the length direction. Electrode 14
Are formed in a central portion of the upper surface of the piezoelectric member 10A with a predetermined width and parallel to the length direction.
【００４９】このように構成することによっても、各電
極１１乃至１４は、振動子１１０の共振振動の節点部位
において、外部から接触可能となっているので、細導線
４１乃至４４は、振動子２１０の共振振動の節点部位に
おいて、各電極１１乃至１４に、それぞれ接続される。
従って、振動子１１０の振動特性劣化を抑制することが
可能となる。With this structure as well, the electrodes 11 to 14 can be contacted from the outside at the nodal points of the resonance vibration of the vibrator 110, so that the thin wires 41 to 44 are connected to the vibrator 210. At the nodal points of the resonance vibration, the electrodes are connected to the electrodes 11 to 14, respectively.
Therefore, it is possible to suppress the deterioration of the vibration characteristics of the vibrator 110.
【００５０】図４に示す振動子１１０と同様に、本実施
例の振動子２１０は、振動子形成後に、分極処理をする
必要がある。すなわち、図７（ａ）に示すように、振動
子２１０は、電極１３と電極１１間、電極１３と電極１
２間、及び電極１３と電極１４間に電圧をかけることに
よって分極される。また、図７（ｂ）に示すように、電
極１３と電極１１間、電極１３と電極１２間、電極１４
と電極１１間、及び電極１４と電極１２間に電圧をかけ
ることによって分極してもよい。Similar to the vibrator 110 shown in FIG. 4, the vibrator 210 of this embodiment needs to be polarized after the formation of the vibrator. That is, as shown in FIG. 7A, the vibrator 210 includes the electrodes 13 and 11 and the electrodes 13 and 1.
It is polarized by applying a voltage between the two and between the electrodes 13 and 14. Further, as shown in FIG. 7B, between the electrodes 13 and 11, between the electrodes 13 and 12, and between the electrodes 14
May be polarized by applying a voltage between the electrode 11 and the electrode 11, and between the electrode 14 and the electrode 12.
【００５１】このように構成することによっても、各電
極１１乃至１４は、振動子２１０の共振振動の節点部位
において、外部から接触可能となっているので、細導線
４１乃至４４は、振動子２１０の共振振動の節点部位に
おいて、各電極１１乃至１４に、それぞれ接続される。
従って、振動子２１０の振動特性劣化を抑制することが
可能となる。With this structure also, the electrodes 11 to 14 can be contacted from the outside at the nodal points of the resonance vibration of the vibrator 210, so that the thin wires 41 to 44 are connected to the vibrator 210. At the nodal points of the resonance vibration, the electrodes are connected to the electrodes 11 to 14, respectively.
Therefore, it becomes possible to suppress the deterioration of the vibration characteristics of the vibrator 210.
【００５２】この圧電振動角速度計２１０の動作は、図
１に示す圧電振動角速度計１と同様である。The operation of the piezoelectric vibration angular velocity meter 210 is similar to that of the piezoelectric vibration angular velocity meter 1 shown in FIG.
【００５３】なお、本実施例においては、圧電部材１０
Ｂ（セラミック部材）は、圧電的に不活性であるので、
圧電部材１０Ｂは、圧電セラミック部材であるＰＺＴに
よって構成する必要はなく、石英ガラス、アルミナ等の
圧電的に不活性なセラミック材料によって構成すること
も可能である。この場合、圧電部材１０Ａと圧電部材１
０Ｂの材質（密度）が異なるので、振動子２１０の幅方
向と厚さ方向の基準振動数を等しくするために、振動子
２１０構成後、上述したように、レーザ用によって振動
し２１０を所望の形状にする必要がある。In this embodiment, the piezoelectric member 10
Since B (ceramic member) is piezoelectrically inactive,
The piezoelectric member 10B does not need to be made of PZT, which is a piezoelectric ceramic member, but may be made of a piezoelectrically inactive ceramic material such as quartz glass or alumina. In this case, the piezoelectric member 10A and the piezoelectric member 1
Since the material (density) of 0B is different, in order to equalize the reference frequencies in the width direction and the thickness direction of the vibrator 210, after the vibrator 210 is configured, as described above, the vibrator 210 is vibrated by the laser and the desired 210 is generated. Need to be shaped.
【００５４】以上の実施例において、各電極１１乃至１
４は、銀ペーストすることによって形成されているが、
無電解メッキ法によってニッケル電極とすることも可能
であり、また、真空蒸着法、スパッタリング法等によっ
て、アルミニウム電極とすることも可能である。In the above embodiment, each electrode 11 to 1
4 is formed by silver paste,
A nickel electrode can be formed by an electroless plating method, or an aluminum electrode can be formed by a vacuum deposition method, a sputtering method, or the like.
【００５５】[0055]
【発明の効果】以上のように、本発明の圧電振動角速度
計によれば、第１乃至第４の電極を、柱状振動子の共振
振動の節点部位において、外部から接触可能となるよう
に柱状振動子に形成するようにし、第１乃至第４のリー
ド線を、それぞれ、柱状振動子の節点部位において、第
１乃至第４の電極に接続するようにしたので、柱状振動
子の振動特性の劣化を抑制することができる。As described above, according to the piezoelectric vibrating angular velocity meter of the present invention, the first to fourth electrodes are columnar so that they can be contacted from the outside at the nodal points of the resonance vibration of the columnar vibrator. Since the first to fourth lead wires are connected to the first to fourth electrodes at the nodal points of the columnar vibrator, the vibration characteristics of the columnar vibrator can be improved. Deterioration can be suppressed.
【図１】本発明の圧電振動角速度計の一実施例の構成を
示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an embodiment of a piezoelectric vibration angular velocity meter of the present invention.
【図２】図１に示す振動子１０の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a vibrator 10 shown in FIG.
【図３】図１に示す振動子１０を構成する圧電部材１０
Ａ及び１０Ｂの構成を示す斜視図である。3 is a piezoelectric member 10 that constitutes the vibrator 10 shown in FIG.
It is a perspective view which shows the structure of A and 10B.
【図４】本発明の圧電振動角速度計の他の実施例の構成
を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of another embodiment of the piezoelectric vibration angular velocity meter of the present invention.
【図５】図４に示す振動子１１０の正面図である。5 is a front view of the vibrator 110 shown in FIG.
【図６】本発明の圧電振動角速度計の他の実施例の構成
を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of another embodiment of the piezoelectric vibration angular velocity meter of the present invention.
【図７】図６に示す振動子２１０の正面図である。7 is a front view of the vibrator 210 shown in FIG.
【図８】従来の圧電振動角速度計の一構成例を示す斜視
図である。FIG. 8 is a perspective view showing a configuration example of a conventional piezoelectric vibration angular velocity meter.
【図９】図８に示す圧電振動角速度計５００を矢印Ｘ方
向から見た場合の平面図である。9 is a plan view of the piezoelectric vibrating angular velocity meter 500 shown in FIG. 8 as viewed in the direction of arrow X. FIG.
【図１０】従来の圧電振動角速度計の他の構成例を示す
斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing another configuration example of a conventional piezoelectric vibration angular velocity meter.
【図１１】図１０に示す圧電振動角速度計６００の正面
図である。11 is a front view of the piezoelectric vibration angular velocity meter 600 shown in FIG.
１ 圧電振動角速度計 １０ 振動子 １０Ａ，１０Ｂ 圧電部材 １１乃至１４ 電極 ２０ 基板 ２１，２２ 支柱 ４１乃至４４ 細導線 １００ 圧電振動角速度計 １１０ 振動子 ２００ 圧電振動角速度計 ２１０ 振動子 ５００ 圧電振動角速度計 ５０１乃至５０４ 側面 ５０５ 金属振動子 ５１１乃至５１４ 圧電セラミック薄板 ５２１乃至５２４ 細導線 ５３１乃至５３４ 支持用金属線 ６００ 圧電振動角速度計 ６１０ 振動子 ６１１乃至６１４ 電極 ６２１乃至６２４ 細導線 1 Piezoelectric Vibration Angular Velocity Meter 10 Vibrator 10A, 10B Piezoelectric Member 11 to 14 Electrode 20 Substrate 21, 22 Support 41 to 44 Fine Conductive Wire 100 Piezoelectric Vibratory Angular Speed Meter 110 Oscillator 200 Piezoelectric Angular Velocity Meter 210 Oscillator 500 Piezoelectric Vibratory Angular Speedometer 501 To 504 side surfaces 505 metal vibrators 511 to 514 piezoelectric ceramic thin plates 521 to 524 fine conducting wires 531 to 534 supporting metal wires 600 piezoelectric vibration angular velocity meter 610 transducers 611 to 614 electrodes 621 to 624 fine conducting wires
Claims (4)
３及び第４の電極とを備え、圧電部材によって構成され
る柱状振動子と、 基準電位線としての第１のリード線と、 前記駆動用交流電圧を、外部から前記第２の電極に転送
する第２のリード線と、 前記圧電電圧を、前記第３の電極から外部に転送する第
３のリード線と、 前記圧電電圧を、前記第４の電極から外部に転送する第
４のリード線とによって構成される圧電振動角速度計に
おいて、 前記第１乃至第４の電極は、前記柱状振動子の共振振動
の節点部位において、外部から接触可能となるように形
成され、 前記第１乃至第４のリード線は、それぞれ、前記柱状振
動子の共振振動の節点部位において、前記第１乃至第４
の電極に接続されることを特徴とする圧電振動角速度
計。1. A first electrode as a reference potential electrode, a second electrode to which a driving AC voltage is applied, and third and fourth electrodes as detection electrodes for a piezoelectric voltage corresponding to Coriolis force. A columnar vibrator including a piezoelectric member, a first lead wire as a reference potential line, and a second lead wire for transferring the driving AC voltage from the outside to the second electrode. , A piezoelectric vibration constituted by a third lead wire that transfers the piezoelectric voltage from the third electrode to the outside, and a fourth lead wire that transfers the piezoelectric voltage from the fourth electrode to the outside In the angular velocity meter, the first to fourth electrodes are formed so as to be contactable from the outside at a node portion of the resonance vibration of the columnar oscillator, and the first to fourth lead wires are respectively, Resonant vibration node of the columnar oscillator At the site, the first to fourth
A piezoelectric vibrating gyro, which is connected to the electrodes of.
直方体形状の第１の圧電部材の下面と、長方形断面を有
する直方体形状の第２の圧電部材の上面とが接着される
ことによって構成され、 前記第１の電極は、前記第１の圧電部材と前記第２の圧
電部材との接着面の全面に形成され、 前記第２の電極は、前記第２の圧電部材の下面に形成さ
れ、 前記第３及び第４の電極は、それぞれ、前記第１の圧電
部材の上面の両端において、所定の幅で、前記柱状振動
子の長さ方向に平行に形成されることを特徴とする請求
項１に記載の圧電振動角速度計。2. The columnar vibrator is configured by bonding a lower surface of a rectangular parallelepiped first piezoelectric member having a rectangular cross section and an upper surface of a rectangular parallelepiped second piezoelectric member having a rectangular cross section. The first electrode is formed on the entire bonding surface between the first piezoelectric member and the second piezoelectric member, and the second electrode is formed on the lower surface of the second piezoelectric member. The third and fourth electrodes are respectively formed with a predetermined width at both ends of the upper surface of the first piezoelectric member and in parallel with the length direction of the columnar vibrator. 1. The piezoelectric vibration angular velocity meter according to 1.
と、長方形断面を有する直方体形状の第２の圧電部材の
上面とが接着されることによって構成され、 前記第１の電極は、前記第１の圧電部材と前記第２の圧
電部材との接着面の全面に形成され、 前記第２の電極は、前記第２の圧電部材の下面に形成さ
れ、 前記第３及び第４の電極は、それぞれ、前記第１の圧電
部材の両側面において、所定の幅で、前記柱状振動子の
長さ方向に平行に形成されることを特徴とする請求項１
に記載の圧電振動角速度計。3. The columnar vibrator is configured by bonding a lower surface of a rectangular parallelepiped first piezoelectric member having a rectangular cross section and an upper surface of a rectangular parallelepiped second piezoelectric member having a rectangular cross section. The first electrode is formed on the entire bonding surface between the first piezoelectric member and the second piezoelectric member, and the second electrode is formed on the lower surface of the second piezoelectric member. The third and fourth electrodes are formed with a predetermined width on both side surfaces of the first piezoelectric member, respectively, in parallel to the longitudinal direction of the columnar vibrator.
The piezoelectric vibrating angular velocity meter described in.
方形断面を有する直方体形状のセラミック部材の上面と
が接着されることによって構成され、 前記第１の電極は、前記圧電部材と前記セラミック部材
との接着面の全面に形成され、 前記第２の電極は、前記圧電部材の上面中央部に、所定
の幅で、長さ方向に平行に形成され、 前記第３及び第４の電極は、それぞれ、前記圧電部材の
両側面において、所定の幅で、前記柱状振動子の長さ方
向に平行に形成されることを特徴とする請求項１に記載
の圧電振動角速度計。4. The columnar vibrator is configured by bonding a lower surface of a rectangular parallelepiped piezoelectric member having a rectangular cross section and an upper surface of a rectangular parallelepiped ceramic member having a rectangular cross section, and the first electrode. Is formed on the entire bonding surface of the piezoelectric member and the ceramic member, the second electrode is formed in a central portion of the upper surface of the piezoelectric member with a predetermined width and in parallel with the length direction, The piezoelectric element according to claim 1, wherein each of the third electrode and the fourth electrode is formed with a predetermined width on both side surfaces of the piezoelectric member and in parallel with a length direction of the columnar vibrator. Vibration angular velocity meter.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7083828A JPH08278143A (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Piezoelectric vibrational angular speedometer |
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP7083828A JPH08278143A (en) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | Piezoelectric vibrational angular speedometer |
Publications (1)
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|---|---|
| JPH08278143A true JPH08278143A (en) | 1996-10-22 |
Family
ID=13813564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7083828A Withdrawn JPH08278143A (en) | 1994-08-31 | 1995-04-10 | Piezoelectric vibrational angular speedometer |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JPH08278143A (en) |
-
1995
- 1995-04-10 JP JP7083828A patent/JPH08278143A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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