JPH08277127A - ガラス光学素子の製造方法 - Google Patents
ガラス光学素子の製造方法Info
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Abstract
は窒化ケイ素を主成分とする材料からなり、この成形面
上にさらに融着防止用薄膜が形成されている成形型を用
い、この成形型内に、軟化点が530℃以下、屈伏点が
565℃以下で、ガラス成分としてPbOを含まないガ
ラス素材を入れ、加熱軟化した状態で加圧成形すること
を特徴とするガラス光学素子の製造方法。 【効果】 本発明のガラス光学素子の製造方法によれ
ば、成形型の成形面を形成する炭化ケイ素や窒化ケイ素
の酸化に伴うガラス融着に起因するクラックやプルアウ
トの発生を著しく抑えることができるので、用いられる
成形型が長寿命となり、また得られたガラス光学素子も
欠陥の著しく少ないものとなる。
Description
の製造方法に関する。
高精度のガラス光学素子を製造するための技術につい
て、従来種々の検討がなされている。例えば、ガラス素
材をプレス成形するための成形型として、成形面が炭化
ケイ素、窒化ケイ素などからなる成形型は良く知られて
いる。また特公平4−61816号公報は、炭化ケイ素
の表面にスパッター法で硬質炭素膜を形成した成形型を
開示している。さらに特開平2−199036号公報
は、表面がCVD法により成膜した炭化ケイ素からなる
基盤上にイオンプレーティング法によりi−カーボン膜
を被覆した成形型が開示されている。
子の製造技術において成形型については数多くの研究が
なされている。しかしプレス成形されるガラス素材に関
しては今迄十分に研究がなされていないのが実情であ
る。一般にプレス成形により高精度のガラス光学素子を
製造するためのガラス素材としては、軟化温度の低いガ
ラスが有利であると言われているが、個々の成形型の成
形面材料(例えば炭化ケイ素、窒化ケイ素など)との関
係で、どのようなガラスが成形型の寿命を考慮したとき
に有利であるかを明確に開示した従来文献はない。
で比較的軟化温度の低いガラスとしてはフリント系光学
ガラスがあるが、このガラスはPbOを含有しているた
めにプレス成形においてPbOが還元されてPb粒子が
析出するという問題がある。また、フリント系光学ガラ
スは高分散ガラスであるが、最近屈折率nd 1.55〜
1.63でアッベ数νd が55以上の重ウランガラスを
両凸形状の非球面レンズ用素材として使用したいという
要望が非常に高い。
素等は高温硬度、高温強度等の極めて優れた材料であ
り、例えばCVD法で成形型表面を作製すれば、気孔等
の欠陥がなく緻密であり、鏡面加工ができる。しかしな
がら、これらの材料からなる成形型はその極表面は酸化
されて、数10オングストローム程度の酸化ケイ素の層
が存在し、このためにアルカリやアルカリ土類陽イオン
からなるガラス修飾成分を多量に含むホウケイ酸塩ガラ
スやケイ酸塩ガラスなどからなるガラスをプレス成形す
ると、ガラスが融着し、同時に冷却の際に成形型のとこ
ろどころに応力集中が起こるため、成形型の表層がスポ
ット状にえぐり取られる現象(以下、この現象をプルア
ウトと呼ぶ)が発生する。前記特公平4−61816号
公報や特開平2−199036号公報に開示されたよう
に、炭素系膜で成形型の炭化ケイ素または窒化ケイ素表
面を被覆することは融着及びプルアウトを防ぐために極
めて有効な手段である。しかしながら、成膜技術で常に
問題になるのは成形型のプレス成形面の全面にわたって
完全な成膜を行うことが生産技術上難しいことである。
ミクロ的に見ると数ヶ所に異物の付着があったり、膜ヌ
ケが存在したりする。このことは、特開平2−1202
45号公報に開示されており、当業界で良く知られてい
ることである。
開平2−199036号公報に記載のような炭素系膜は
プレス成形の雰囲気を非酸化性雰囲気にしたとしても、
ガラス内外の水分や酸素により酸化されるため、永久膜
ではなく、ある期間経過後、炭素系膜を剥離除去し、新
たな炭素系膜を形成する再生作業を行なう必要がある。
従って、ある確率で成膜時に異物付着や膜ヌケの問題が
発生する。そして、異物付着部や膜ヌケ部でプレス成形
が繰り返されると、ある確率でプルアウトが発生するこ
とになる。プルアウトが著しく生じると、得られたガラ
ス光学素子は欠陥を有することになり、高価な成形型が
最早使用できなくなる。
結果、成形型の炭化ケイ素および/または窒化ケイ素を
主成分とする成形面に形成した融着防止用薄膜の欠陥部
において露出している炭化ケイ素および/または窒化ケ
イ素が酸化して被成形ガラスが融着にすることに伴うプ
ルアウトの発生が、被成形ガラスとして転移点が530
℃以下、屈伏点が565℃以下で、ガラス成分としてP
bOを含まないガラスを使用することにより顕著に抑制
され、成形型が著しく長寿命化することを見い出した。
であり、少なくとも成形面が炭化ケイ素および/または
窒化ケイ素を主成分とする材料からなり、この成形面上
にさらに融着防止用薄膜が形成されている成形型を用
い、この成形型内に、転移点が530℃以下、屈伏点が
565℃以下で、ガラス成分としてPbOを含まないガ
ラス素材を入れ、加熱軟化した状態で加圧成形すること
を特徴とするガラス光学素子の製造方法を要旨とする。
ては、成形型として、少なくとも成形面が炭化ケイ素お
よび/または窒化ケイ素を主成分とする材料からなり、
この成形面上にさらに融着防止用薄膜が成形された成形
型を用いる。
または窒化ケイ素を主成分とする材料からなる成形面
は、炭化ケイ素および/または窒化ケイ素からなる成形
型の基盤材料それ自体によって成形してもよいが、超硬
合金などの基盤材料上に直接または中間層を介して炭化
ケイ素および/または窒化ケイ素からなる薄膜をCVD
法、スパッタ法、プラズマCVD法などにより成膜する
ことにより形成してもよい。CVD法による炭化ケイ素
/窒化ケイ素薄膜は緻密性に優れている点で好ましく、
CVD法によるβ−SiC薄膜が特に好ましい。なお、
成形面は炭化ケイ素および/または窒化ケイ素を主成分
とする材料からなるものであればよく、従って炭化ケイ
素および/または窒化ケイ素のみを使用することができ
るのはもちろんであるが、炭化ケイ素および/または窒
化ケイ素を90重量%以上含むセラミックス、例えばS
iAlONなどの窒化ケイ素セラミックスなどを使用す
ることもできる。
よび/または窒化ケイ素を主成分とする薄膜を形成する
場合、その膜厚は、0.02〜2μmであるのが好まし
い。また炭化ケイ素および/または窒化ケイ素焼結体上
にCVD法で厚膜を形成してもよいし、基盤全体がCV
D法で作製したものでもよい。
防止用薄膜としては、炭素(硬質炭素、i−カーボンな
ど)、白金合金(Pt−Rh合金、Pt−Rh−Au合
金、Pt−Rh−Au−Ir合金など)、チタン、炭化
チタン、窒化チタン、クロム、炭化クロム、窒化クロ
ム、窒化ホウ素、炭化ケイ素、窒化ケイ素などが好まし
い。炭素薄膜としては、非晶質および/または結晶質
の、グラファイト構造および/またはダイヤモンド構造
の単一成分層または混合層からなる炭素薄膜が融着防止
性に特に優れているので好ましい。この炭素薄膜は、C
−H結合を有したものおよびC−H結合を有しないもの
があるが、それらのいずれでもよい。これらの融着防止
用薄膜の形成は各材料に好適な成膜方法を用いて行なわ
れる。
mが好ましい。0.02μm未満では融着防止のために
不十分であり、2μmを超えると面粗度が悪化すると共
に成形型の形状維持性も悪化する。
先立ち中間層を設けてもよい。中間層としては、上記融
着防止用薄膜と同様の材料が適宜選択使用される。
て用いる被成形ガラスとしては、転移点が530℃以
下、屈伏点が565℃以下で、ガラス成分としてPbO
を含まないガラス素材を用いる。転移点および屈伏点を
上記のように限定する理由は、転移点が530℃を超
え、屈伏点が565℃を超えると、成形型表面のクラッ
ク(亀裂)およびプルアウトが数多く発生するのに対
し、転移点を530℃以下とし、屈伏点を565℃以下
にすると、成形型表面のクラック(亀裂)およびプルア
ウトの発生が著しく抑えられ、成形型の長寿命化が達成
されるからである。またガラス成分としてPbOを含ま
ないことを要件としたのは、PbOを含むと、プレス成
形時にPbOが還元されPb粒子が析出するからであ
る。
以下であり、PbOを含まないガラスの好ましいものと
して、その組成が重量%で、SiO2 28〜55%、
B2O3 5〜30%、SiO2+B2O3 46〜70
%、SiO2/B2O3 1.3〜12.0(重量比)、
Li2O 5〜12%、Na2O 0〜5%、K2O 0
〜5%、Li2O+Na2O+K2O 5〜12%、Ba
O 0〜40%、MgO0〜10%、CaO 0〜23
%、SrO 0〜20%、ZnO 0〜20%、BaO
+MgO+CaO+SrO+ZnO 10〜44%、S
iO2+B2O3+Li2O+BaO+CaO 72%以
上、Al2O3 1〜7.5%、P2O5 0〜3%、La
2O3 0〜15%、Y2O3 0〜5%、Gd2O3 0〜
5%、TiO2 0〜3%、Nb2O5 0〜3%、Zr
O2 0〜5%、La2O3+Y2O3+Gd2O3 1〜1
5%、As2O3 0〜0.5%、Sb2O3 0〜0.5
%、As2O3+Sb2O3 0.005〜0.5%である
ガラスが挙げられる。
5〜1.63でアッベ数νdが55以上、ガラスとして
の安定性、化学的耐久性を満たすガラスの具体例として
表1,表2,表3及び表4に示したものが挙げられる。
2は30〜55%、B2O3は5〜30%、SiO2+B2
O3は56〜70%、Li2Oは7〜12%、Na2Oは
0〜3%、K2Oは0〜3%、Li2O+Na2O+K2O
は7〜12%、BaOは0〜30%、MgOは0〜5
%、CaOは0〜23%、SrOは0〜20%、ZnO
は0〜10%、SiO2+B2O3+Li2O+BaO+C
aOは72%以上、Al2O3は1〜7.5%、P2O5は
0〜2%、La2O3は0〜10%、Y2O3は0〜3%、
Gd2O3は0〜3%、TiO2は0〜2%、Nb2O5は
0〜2%、ZrO2は0〜3%、La2O3+Y2O3+G
d2O3は1〜10%、As2O3は0〜0.04%、Sb
2O3は0〜0.5%、As2O3+Sb2O3は0.005
〜0.5%である。
させると化学的耐久性が悪化するが、本発明で用いる被
成形ガラスの特徴の一つはLi2Oを5〜12重量%含
有させることにより、化学的耐久性を悪化させずに転移
点および屈伏点を低下させたことである。
素材において、ガラス溶融時に脱泡剤として、および/
または着色防止剤として用いられるAs2O3、Sb2O3
は、揮発しやすく、また酸素を放出し、成形面の炭化ケ
イ素や窒化ケイ素の酸化の要因となる可能性があるの
で、上記したように0.005〜0.5重量%とするの
が好ましく、特に0.005〜0.04重量%とするの
が好ましい。
およびガラス構造中に固定された水酸基や取り込まれた
水分子が存在する。このうち表面の吸着水は予備乾燥や
プレス装置内での低温の加熱で飛散してしまうから成形
型の酸化には殆んど関与しない。表面の水酸基に関して
は、冷間で研磨したガラス素材を用いると研磨による水
和層が形成されるので、熱間成形した水和層のないガラ
ス素材を用いることが有利である。ガラス素材中に含ま
れる水酸基および水分子の総量は、上記成形型の酸化防
止の観点から50ppm以下とするのが好ましく、25
ppm以下とするのが特に好ましい。
物、炭酸塩、硝酸塩などのガラス原料を溶融して得られ
るが、硝酸塩は分解して酸素を放出するので、成形型の
酸化を起す可能性がある。従ってガラス原料中の硝酸塩
含有量は、酸化物換算で10重量%以下とするのが好ま
しいが、硝酸塩はガラスを溶融するルツボ材料であるP
tの還元粒子の析出を防止する役目を果すので、酸化物
換算で1重量%以上とする必要がある。従って硝酸塩含
有量は1〜10重量%が好ましく、2〜5重量%が特に
好ましい。
融ガラスをガラス溶融炉の流出パイプから流下させて、
所定重量の塊状の予備成形体を用いるのが好ましい。塊
状の予備成形体の形状としては球状、マーブル状などが
挙げられる。特に、流下するガラスを内部から気体を噴
出させた受け皿で浮上させて受けることにより、シワ、
突起、凹み、汚れ、付着物などの欠陥が殆んどない、全
表面が自由表面から成る予備成形体を使用することが好
ましい。このような予備成形体は、冷間研磨特有の表面
水和層がないこと、付着物等による悪影響がないこと、
安価にガラス素材が作れることから好ましい。
ては、被成形ガラスとして上記のガラス素材を成形型内
に入れ加熱軟化した状態で加圧成形してガラス光学素子
を得る。
含有量50ppm以下の非酸化性雰囲気(例えばN2 、
2%H2 +98%N2 など)で行なうのが好ましい。酸
素含有量を15ppm以下とし非酸化性雰囲気とするの
が好ましい理由は、酸素含有量が15ppm以下と少な
いと成形面の炭化ケイ素または窒化ケイ素の酸化に伴う
ガラス融着に起因するクラックやプルアウトの発生を抑
制できるからである。特に好ましい酸素含有量は10p
pm以下である。
以下が好ましい理由は、50ppmを超えると、成形面
の炭化ケイ素または窒化ケイ素の酸化が促進されクラッ
クやプルアウトが発生しやすくなるのに対し、50pp
m以下であると、酸化およびこれに伴なうプルアウトが
抑制されるからである。雰囲気中の水含有量は特に好ま
しくは25ppm以下である。
方法によれば、530℃以下の転移点と565℃以下の
屈伏点を有し、PbOを含まないガラスを被成形ガラス
として用いることにより、プルアウトの発生確率を著し
く減少させることができ、成形型の寿命を大幅に長期化
できる。例えば転移点及び屈伏点の少なくとも一方が上
記値を超える従来のガラスを用いたときよりもプルアウ
トの発生確率を1/3以下、成形型の寿命を3倍以上に
することができる。
面に融着防止用薄膜を形成した成形型を用いてもクラッ
クやプルアウトが起る原因は、融着防止用薄膜の不可避
の欠陥により露出した炭化ケイ素または窒化ケイ素の表
面がガラスと反応し、ガラスに同伴してえぐり取られる
からである。
ために、融着防止用薄膜を全く形成していない炭化ケイ
素成形面からなる成形型(鏡面研磨した平板)を用いて
各種ガラス素材をプレス成形した。そして使用した被成
形ガラスの転移点、屈伏点とクラックおよびプルアウト
の発生との関係を検討した。
90〜550℃の範囲で、屈伏点を520〜590℃の
範囲で変動させたものである。また屈折率ndは1.5
5〜1.63、アッベ数νdは55以上のものである
が、特にnd1.59、νd61のものを中心にしてい
る。
成形した予備成形体(体積250mm3) 成形型(平板): 成形型の表面が若干酸化されてもク
ラックやプルアウトを起こしにくいガラスを探索する観
点から、炭化ケイ素の表面を酸素プラズマで酸化させて
使用した(酸化層の厚さ30〜40オングストロー
ム)。各被成形ガラスに対し、成形型を5個使用した。
度(通常のプレス条件よりやや低粘度である) 成形圧力: 120kg/cm2 成形時間: 60秒 冷却速度: 110℃/min 成形回数: 5回(各5個の成形型に対し、各5回成形
処理した) 使用したガラスの組成、屈折率nd、アッベ数νd、転移
点Tg、屈伏点Ts、耐水性Dw、耐酸性Da、プレス
温度(ガラス粘度が106.9ポアズに相当する温度)及
び5回のプレスにより発生したクラックおよびプルアウ
ト数の合計(5個の成形型での平均)を表5および表6
に示す。また屈伏点とプルアウトおよびクラック数の関
係を図1に示す。表5および表6並びに図1より、ガラ
スの屈伏点とクラックおよびプルアウト数の間には強い
相関があり、転移点、屈伏点の低いガラス、即ちプレス
温度を低くできるガラスにすればクラックおよびプルア
ウトが軽減されることが明らかになり、特に転移点53
0℃以下、屈伏点565℃以下のガラスを用いるのが好
ましいことが明らかとなった。
形面に融着防止用薄膜を設けた成形型を用いるので、転
移点530℃以下、屈伏点565℃以下のガラスを用い
ればクラックおよびプルアウトが発生する確率は上述の
融着防止膜を設けない場合よりも著しく減少することが
明らかとなった。
11は、As2O3 0.1重量%、Sb2O30.2重量
%を含み、比較のガラスNo.12は、As2O3 0,
01重量%、Sb2O3 0.01重量%を含み、前者が
後者よりもAs2O3、Sb2O3の含有率が著しく多い。
またガラスNo.11は硝酸塩原料を用いているが、ガ
ラスNo.12は硝酸塩原料を用いていない。それにも
拘わらす表6及び図1から両者のクラックおよびプウア
ウト数はわずかの差しかない。
o.9とガラスNo.10は、硝酸塩原料を用い、As
2O3、Sb2O3を多く含むが、クラック及びプルアウト
数は少ない。
2O3、Sb2O3がクラックおよびプルアウトに及ぼす影
響は、ガラスの転移点、屈伏点がクラックおよびプルア
ウトに及ぼす影響よりもはるかに小さいことが明らかで
ある。このことは後記実施例IIIによっても裏付けられ
る。
りもCaOを用いた方がクラックおよびプルアウト数が
少なくなる傾向も見られる。
8のガラスについて、ガラス溶融の際、四塩化炭素を気
体としてパイプを通してガラス融液中に流通してバブリ
ングすることにより脱水ガラスを作製した。脱水ガラス
の水分量は7ppmであった。一方、脱水処理していな
いガラスの水分量は95ppmであった。成形型は酸処
理して表面に酸化層がほとんどない状態にし、成形雰囲
気としては、水分を除去して水分量を50ppm以下に
した雰囲気を用いた。プレス成形温度630℃、プレス
圧力180kg/cm2で15回プレスした結果、非脱
水ガラス(水分95ppm)ではクラックおよびプルア
ウトの数の合計(平均)が4.0個だったのに対し、脱
水ガラス(水分7ppm)では2.5個に減少した。さ
らに他のハロゲン含有ガス、酸素ガス、二酸化炭素ガ
ス、窒化ガス、アルゴンガス等を用いて種々検討した結
果、ガラス中に含まれる水酸基および水分子の総量を、
水分子に換算して50ppm以下にするとクラックおよ
びプルアウトの減少に効果のあることが判明した。
形ガラス中のAs2O3、Sb2O3の影響を検討した。用
いたガラスは基本組成が表5のNo.1のガラスと同一
の下記3種のガラスである。
(No3)2を用い、他のアルカリおよびアルカリ土類酸
化物の原料として炭酸塩を用いた。As2O3を0.2重
量%、Sb2O3を0.2重量%含有する。
(No3)2を用い、他のアルカリおよびアルカリ土類酸
化物の原料として炭酸塩を用いた。As2O3およびSb
2O3を含有しない。
O3を用い、他のアルカリおよびアルカリ土類酸化物の
原料としても炭酸塩を用いた。As2O3およびSb2O3
を含有しない。
なるガラス成形体(250mm3)を用意し、各ガラス
成形体を、表面が炭化ケイ素の成形型、炭化ケイ素上に
イオンプレーティング法により300℃でiーカーボン
膜を形成した成形型および炭化ケイ素上にスパッタ法に
より300℃で硬質炭素膜を形成した成形型上にそれぞ
れ配置して2%H2+98%N2の雰囲気で700℃、1
時間保持して熱処理した。700℃という温度はガラス
粘度104.6ポアズに相当するが、実際のプレスはガラ
ス粘度107.6ポアズ以上で行われるので、700℃
(104.6ポアズ)は実際のプレス時よりもガラスが成
形型に融着しやすい条件である。
状態およびガラス成形体と成形型との界面の発泡状態を
観察し、接触角を測定した結果を表7に示す。
ると、ガラス(a)、(b)、(c)のいずれも融着が
観察され、特にBaOの原料として硝酸塩を用いて得ら
れ、かつガラス中にAs2O3、Sb2O3を含むガラス
(a)が融着の程度が著しいことが判明した。従って炭
化ケイ素との融着防止のためガラスはAs2O3、Sb2
O3を極力含まない方がよいことが明らかである。炭化
ケイ素上に、iーカーボン膜、硬質炭素膜を成形した成
形型では、これらの膜が融着防止膜であることからガラ
スの融着は認められなかった。一方、界面の発泡につい
ては、3種の成形型のいずれにおいてもガラス(a)の
場合の発泡が著しく、界面の発泡防止のためにガラスは
As2O3、Sb2O3を極力含まない方がよいことが判明
した。
を用いないガラス(c)の接触角が最も大きく好ましい
ことが明らかである。
は見出せなかったものの、As2O3、Sb2O3を減らす
こと、原料中の硝酸塩を減らすことは有効である。
ラスは表6のNo.8のガラスであり、マーブル形状に
熱間成形した予備成形体(250mm3)を使用した。
雰囲気ガスとして、2%H2+98%N2からなり、
(i)プレス装置への導入口にゼオライト製ドライカラ
ムを設けて水分を除去したガスと、(ii)通常の配管のま
ま導入したガスを用いた。雰囲気中の残存水分量は、
(i)の場合18ppm、(ii)の場合71ppmだった。
成形型は酸処理して表面の酸化層を溶解除去し、酸化層
のほとんどない状態で使用を開始した。プレス成形温度
は630℃(ガラス粘度が106.9ポアズに相当する温
度)、プレス成形圧力120kg/cm2の条件で、各
8個の成形型で各10回プレスした結果、(ii)ではクラ
ックおよびプルアウト数の合計(平均)が2.5個だっ
たものが、(i)では1.3個に減少した。さらに種々検
討した結果、雰囲気中の水分は50ppm以下にすると
クラックおよびプルアウトの減少に効果のあることが判
明した。
造方法によれば、成形型の成形面を構成する炭化ケイ素
や窒化ケイ素の酸化に伴うガラス融着に起因するクラッ
クやプルアウトの発生を著しく抑えることができるの
で、用いられる成形型が長寿命となり、また得られたガ
ラス光学素子も欠陥の著しく少ないものとなる。
との関係を示すグラフである。
Claims (10)
- 【請求項1】 少なくとも成形面が炭化ケイ素および/
または窒化ケイ素を主成分とする材料からなり、この成
形面上にさらに融着防止用薄膜が形成されている成形型
を用い、この成形型内に、転移点が530℃以下、屈伏
点が565℃以下で、ガラス成分としてPbOを含まな
いガラス素材を入れ、加熱軟化した状態で加圧成形する
ことを特徴とするガラス光学素子の製造方法。 - 【請求項2】 融着防止用薄膜が炭素、白金合金、チタ
ン、炭化チタン、窒化チタン、クロム、炭化クロム、窒
化クロム、窒化ホウ素、炭化ケイ素および窒化ケイ素か
らなる群から選ばれた少くとも1つの材料からなる単層
膜又は複層膜であることを特徴とする請求項1に記載の
方法。 - 【請求項3】 融着防止用薄膜としての炭素が、非晶質
および/または結晶質の、グラファイト構造および/ま
たはダイヤモンド構造の単一成分層または混合層からな
る炭素であり、C−H結合を有したものおよび/または
C−H結合を有しないものである、請求項2に記載の方
法。 - 【請求項4】 ガラス素材の組成が、重量%で、SiO
2 28〜55%、B2O3 5〜30%、SiO2+B2
O3 46〜70%、SiO2/B2O3 1.3〜12.
0(重量比)、Li2O 5〜12%、Na2O 0〜5
%、K2O0〜5%、Li2O+Na2O+K2O 5〜1
2%、BaO 0〜40%、MgO 0〜10%、Ca
O 0〜23%、SrO 0〜20%、ZnO 0〜2
0%、BaO+MgO+CaO+SrO+ZnO 10
〜44%、SiO2+B2O3+Li2O+BaO+CaO
72%以上、Al2O3 1〜7.5%、P2O50〜3
%、La2O3 0〜15%、Y2O3 0〜5%、Gd2
O3 0〜5%、TiO2 0〜3%、Nb2O5 0〜3
%、ZrO2 0〜5%、La2O3+Y2O3+Gd2O3
1〜15%、As2O3 0〜0.5%、Sb2O3 0
〜0.5%、As2O3+Sb2O3 0.005〜0.5
%である、請求項1に記載の方法。 - 【請求項5】 被成形ガラスであるガラス素材の組成中
のAs2O3+Sb2O3が0.005〜0.04重量%で
ある、請求項4に記載の方法。 - 【請求項6】 被成形ガラスであるガラス素材中に含ま
れる水酸基および水分子の総量が、水分子に換算して5
0ppm以下である、請求項4または5に記載の方法。 - 【請求項7】 被成形ガラスであるガラス素材が、硝酸
塩含有量が酸化物基準で1〜10重量%であるガラス原
料を溶融して得られたものである、請求項4〜6のいず
れか一項に記載の方法。 - 【請求項8】 被成形ガラスであるガラス素材が、溶融
ガラスをガラス溶融炉の流出パイプから流出させて得ら
れた、所定重量の塊状の予備成形体からなる、請求項4
〜7のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項9】 流下する溶融ガラスを、内部から気体を
噴出させた受け皿上で浮上させて受ける、請求項8に記
載の方法。 - 【請求項10】 加圧成形を酸素含有量15ppm以
下、水含有量50ppm以下の非酸化性雰囲気で行な
う、請求項1に記載の方法。
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1995
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