JPH08263810A - Magnetic head and its production - Google Patents

Magnetic head and its production

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Publication number
JPH08263810A
JPH08263810A JP6465795A JP6465795A JPH08263810A JP H08263810 A JPH08263810 A JP H08263810A JP 6465795 A JP6465795 A JP 6465795A JP 6465795 A JP6465795 A JP 6465795A JP H08263810 A JPH08263810 A JP H08263810A
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JP
Japan
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magnetic
core
magnetic head
film
detection element
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Application number
JP6465795A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Kawase
正博 川瀬
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Canon Electronics Inc
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To use a magnetism detecting element utilizing a magnetic impedance effect and to obtain a magnetic head capable of making reproduction with high sensitivity by this detecting element and dealing with the trend toward the higher density of recording. CONSTITUTION: A closed magnetic path is composed of a first core 10 formed by joining core half bodies 10A, 10B consisting of magnetic materials via a magnetic gap G and a second core 16 formed as the magnetism detecting element described above. The core half bodies 10A, 10B and glass 14 of a nonmagnetic material packed therebetween are exposed on the base of the first core 10 on the side opposite to its magnetic recording medium-sliding surface. The second core 16 is constituted as a high permeability magnetic film formed via an insulating film 15 on the base of the first core 10 and is so formed as to cover the respective core half bodies 10A, 10B across the glass 14 part of the base. Conductive films 18 are formed as terminals on both ends of the core 16.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に対し情報
の磁気記録または再生を行なう磁気ヘッド及びその製造
方法に関し、特に磁気インピーダンス効果を利用した磁
気検出素子を使用した磁気ヘッド及びその製造方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for magnetically recording or reproducing information on a magnetic recording medium and a method for manufacturing the same, and more particularly to a magnetic head using a magnetic detecting element utilizing a magnetic impedance effect and a method for manufacturing the same. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近のディジタル磁気記録機器は小型化
が進み、例えば、コンピュータの外部記憶装置のハード
ディスクやディジタルオーディオのディジタルコンパク
トカセット(DCC)に於いて、従来の誘導型の磁気ヘ
ッドではトラック幅及び相対速度の減少によるS/Nの
低下が生じるため、再生ヘッドに磁気抵抗(以下MRと
略す)素子が使われている。MR素子は媒体の速度依存
性が無く、低速での出力の取り出しに向いているが、抵
抗変化率が数%しかないため、将来の高密度化の為には
更に感度の高い素子の開発が望まれている。
2. Description of the Related Art Recently, digital magnetic recording equipment has been miniaturized. For example, in a hard disk of an external storage device of a computer or a digital compact cassette (DCC) of a digital audio, a conventional inductive magnetic head has a track width. In addition, a magnetoresistive (hereinafter abbreviated as MR) element is used for the reproducing head because a decrease in S / N occurs due to a decrease in relative speed. The MR element does not depend on the speed of the medium and is suitable for taking out the output at a low speed, but since the resistance change rate is only a few percent, it is necessary to develop an element with higher sensitivity for future high density. Is desired.

【0003】そこで、最近注目を集めているのが、特開
平6−281712号に開示されている磁気インピーダ
ンス(以下MIと略す)素子であり、磁性体にMHz帯
域の高周波電流を流し、その両端の電圧の振幅が数ガウ
スの微小磁界で数十%変化する現象、すなわち磁気イン
ピーダンス効果を利用したものである。
Therefore, a magnetic impedance (hereinafter abbreviated as MI) element disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-281712 has recently attracted attention, and a high frequency current in the MHz band is passed through a magnetic material, and both ends thereof are passed. Is a phenomenon in which the amplitude of the voltage changes by several tens of percent with a minute magnetic field of several Gauss, that is, the magneto-impedance effect is used.

【0004】MI素子の利点は、磁性体の長さ方向に励
磁しないため反磁界の影響が無く素子の長さを1mm以
下程度に短くでき小型化に適していること、また、磁束
検出の分解能が、MR素子が0.1Oeの低感度に対し
て、10-5Oe程度の高感度が得られることである。ま
た、インピーダンス変化量もMR素子が3%程度に対
し、MI素子は数10%オーダーの変化が得られる。
The advantage of the MI element is that it is not excited in the lengthwise direction of the magnetic material, so that there is no influence of the demagnetizing field, the element length can be shortened to about 1 mm or less, and it is suitable for downsizing, and the resolution of magnetic flux detection. However, the MR element has a low sensitivity of 0.1 Oe and a high sensitivity of about 10 −5 Oe. Further, the amount of change in impedance can be obtained in the order of several tens of percent for the MI element, while that for the MR element is about 3%.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、MI素子を
磁路が開いた磁気ヘッドとして使用すると、磁気記録媒
体の微小磁化に対して、以下に述べることより問題が生
ずる。
However, when the MI element is used as a magnetic head having an open magnetic path, a problem arises with respect to the minute magnetization of the magnetic recording medium, as described below.

【0006】通常MR素子は数百オングストロームの厚
さで機能させるのに対し、MI素子は渦電流の効果を使
うためにミクロンオーダーの厚さが必要であり、性能上
でインピーダンスをある程度の大きさを得るためには、
MI素子の方が素子の長さを必要とする。実際の長さと
して、MR素子が100μm以下でも機能できるのに対
しMI素子は100μm以下で機能させるのは困難であ
る。
Normally, the MR element is made to function with a thickness of several hundred angstroms, whereas the MI element requires a thickness of the order of micron in order to use the effect of the eddy current, and the impedance has a certain level of impedance in terms of performance. To get
The MI element requires the length of the element. As for the actual length, the MR element can function even if it is 100 μm or less, but it is difficult to make the MI element function at 100 μm or less.

【0007】しかし、磁気記録媒体の記録波長が短くな
ると、媒体記録磁化から発生する磁束が出にくくなり、
矩形状のMI素子では図10に示すように、磁気記録媒
体100からの磁束をMI素子101の奥深くまで導く
ことが困難となる。このことは、磁路がオープンの形態
では感度の高いMI素子もその能力が生かせないことを
意味する。
However, when the recording wavelength of the magnetic recording medium is shortened, the magnetic flux generated by the recording magnetization of the medium becomes difficult to occur,
With the rectangular MI element, as shown in FIG. 10, it becomes difficult to guide the magnetic flux from the magnetic recording medium 100 deep into the MI element 101. This means that the MI element, which has a high sensitivity, cannot take advantage of its ability when the magnetic path is open.

【0008】そこで、MI素子の能力を生かすための方
法としては、媒体からの磁束がMI素子に十分に印加さ
れるように、閉磁路の構造をとることになるが、その場
合、以下の点を満足する必要がある。
Therefore, as a method for making the best use of the ability of the MI element, a closed magnetic circuit structure is adopted so that the magnetic flux from the medium is sufficiently applied to the MI element. Need to be satisfied.

【0009】1)前述の通りMI素子の有効長を確保す
るための領域確保が必要である。
1) As mentioned above, it is necessary to secure a region for securing the effective length of the MI element.

【0010】2)MI素子にはドライブ電流を流すた
め、電気的な短絡や摺動面への電流の流れ出しが無いよ
うに、MI素子を周辺の磁路と電気的に絶縁する必要が
ある。
2) Since a drive current is passed through the MI element, it is necessary to electrically insulate the MI element from the surrounding magnetic path so that there is no electrical short circuit or current flow to the sliding surface.

【0011】3)MI素子の端子の引き出しが容易であ
ること。
3) It is easy to pull out the terminals of the MI element.

【0012】4)生産性に優れていること。4) Excellent productivity.

【0013】そこで本発明の課題は、磁気インピーダン
ス効果を利用した磁気検出素子の能力を生かす閉磁路の
構造を採用した磁気ヘッドであって、上記の点を満足
し、高感度で再生を行なえ記録の高密度化に対応できる
磁気ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is a magnetic head adopting a structure of a closed magnetic circuit that makes the best use of the capability of a magnetic detecting element utilizing the magnetic impedance effect, which satisfies the above-mentioned points and can be reproduced with high sensitivity and recording. It is an object of the present invention to provide a magnetic head and a method of manufacturing the same that can cope with higher density.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明によれば、磁性体からなる一対のコア半体を
磁気ギャップを介して接合してなる第1のコアと、磁気
インピーダンス効果を利用した磁気検出素子として形成
された第2のコアとで閉磁路を構成し、前記磁気検出素
子の両端から再生出力を得る磁気ヘッドにおいて、前記
第1のコアの磁気記録媒体摺動面と反対側の底面には前
記一対のコア半体と、このコア半体間に設けられた非磁
性材が露出しており、前記第2のコアとなる磁気検出素
子は、前記第1のコアの底面に絶縁膜を介して成膜され
た高透磁率磁性膜として構成され、前記底面の前記非磁
性材部分をわたって前記一対のコア半体部分のそれぞれ
に掛かるように形成された構成を採用した。
In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, a first core formed by joining a pair of core halves made of a magnetic material via a magnetic gap, and a magnetic impedance. In a magnetic head that forms a closed magnetic path with a second core formed as a magnetic detection element utilizing the effect and obtains reproduction output from both ends of the magnetic detection element, a sliding surface of the magnetic recording medium of the first core. The pair of core halves and a non-magnetic material provided between the core halves are exposed on the bottom surface on the side opposite to the magnetic detection element serving as the second core. Is formed as a high-permeability magnetic film formed on the bottom surface of the core via an insulating film, and is formed so as to extend over the nonmagnetic material portion of the bottom surface and hang on each of the pair of core halves. Adopted.

【0015】また、前記磁気ヘッドの製造方法におい
て、前記第1のコアがトラック幅方向に複数個分連続し
たものに相当するコアブロックの磁気記録媒体摺動面に
加工される面と反対側の底面に、順に絶縁膜、磁気検出
素子となる高透磁率磁性膜、磁気検出素子から再生出力
を取り出すための端子となる導電膜を成膜し、その後、
前記コアブロックをトラック幅方向に所定間隔で切断す
ることにより、前記磁気ヘッドを複数個得る方法を採用
した。
In the method of manufacturing the magnetic head, a core block corresponding to a plurality of the first cores continuous in the track width direction is provided on the side opposite to the surface processed on the sliding surface of the magnetic recording medium. On the bottom surface, an insulating film, a high-permeability magnetic film that serves as a magnetic detection element, and a conductive film that serves as a terminal for extracting a reproduction output from the magnetic detection element are sequentially formed, and then,
A method of obtaining a plurality of the magnetic heads by cutting the core block at a predetermined interval in the track width direction is adopted.

【0016】[0016]

【作用】上記本発明の磁気ヘッドの構成によれば、まず
磁気検出素子の有効長を得るための領域が第1のコアの
底面に充分に確保できる。磁気ヘッド全体の磁路は少し
媒体摺動方向に引き延ばされて大きくなるが、ギャップ
デプス方向を短縮することで小さくすることができる。
また、磁気検出素子に流すドライブ電流は、第1のコア
と磁気検出素子間に絶縁膜が介在することで問題なく印
加できる。
According to the structure of the magnetic head of the present invention, first, the region for obtaining the effective length of the magnetic detecting element can be sufficiently secured on the bottom surface of the first core. The magnetic path of the entire magnetic head is slightly stretched in the medium sliding direction and becomes large, but it can be made smaller by shortening the gap depth direction.
Further, the drive current flowing through the magnetic detection element can be applied without any problem because the insulating film is interposed between the first core and the magnetic detection element.

【0017】さらに磁気検出素子の両端上に端子として
の導電膜を成膜すれば、端子の大きさも十分で端子を半
田付けできる面積が確保できる。
Further, by forming conductive films as terminals on both ends of the magnetic detection element, the size of the terminals is sufficient and the area where the terminals can be soldered can be secured.

【0018】従って、磁気検出素子に磁気記録媒体から
の磁束が十分に印加される閉磁路の構造を実現でき、高
感度で再生を行なえ記録の高密度化に対応できる磁気ヘ
ッドを提供することができる。
Therefore, it is possible to realize a closed magnetic circuit structure in which the magnetic flux from the magnetic recording medium is sufficiently applied to the magnetic detecting element, and to provide a magnetic head capable of reproducing with high sensitivity and corresponding to high density recording. it can.

【0019】また、上記本発明の製造方法によれば、1
つのコアブロックから1度に多数個の磁気ヘッドを得る
多数個取りが可能であり、生産性に優れている。
According to the above-mentioned manufacturing method of the present invention,
A large number of magnetic heads can be obtained at one time from one core block, which is excellent in productivity.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0021】[第1実施例]図1は本発明による磁気ヘ
ッドの第1実施例の構造を示しており、(a)は不図示
の磁気記録媒体に摺動接触する磁気記録媒体摺動面(以
下、摺動面と略す)、(b)は側面、(c)は摺動面と
反対側の底面を示している。
[First Embodiment] FIG. 1 shows the structure of a first embodiment of a magnetic head according to the present invention. (A) shows a sliding surface of a magnetic recording medium which is in sliding contact with a magnetic recording medium (not shown). (Hereinafter, abbreviated as a sliding surface), (b) shows a side surface, and (c) shows a bottom surface opposite to the sliding surface.

【0022】図1において、10は第1のコアであり、
強磁性酸化物磁性材であるフェライトからなる一対のコ
ア半体10A,10Bを摺動面側で磁気ギャップGを介
して突き合わせ、非磁性材であるガラス14により接合
して構成されている。ガラス14はコア半体10A,1
0B間に充填され、磁気ギャップGのトラック幅を規制
するために摺動面に形成された規制溝12にも充填され
ている。第1のコア10の底面の磁気記録媒体摺動方向
(以下、媒体摺動方向と略す)の両端部にはコア半体1
0A,10Bの底面が後述の磁気インピーダンス効果を
利用した磁気検出素子としてのMI素子と磁路を接続す
る磁路接続面11A,11Bとして露出しており、中間
部にはガラス14が露出している。この底面におけるガ
ラス14の媒体摺動方向の幅WがMI素子の有効長を決
定する。
In FIG. 1, 10 is a first core,
A pair of core halves 10A, 10B made of ferrite, which is a ferromagnetic oxide magnetic material, are butted against each other on the sliding surface side via a magnetic gap G, and are joined by glass 14, which is a non-magnetic material. Glass 14 is the core half 10A, 1
It is filled between 0B, and is also filled in the regulation groove 12 formed on the sliding surface to regulate the track width of the magnetic gap G. The core half 1 is provided on both ends of the bottom surface of the first core 10 in the sliding direction of the magnetic recording medium (hereinafter referred to as the medium sliding direction).
The bottom surfaces of 0A and 10B are exposed as magnetic path connection surfaces 11A and 11B that connect a magnetic path to an MI element as a magnetic detection element using a magnetic impedance effect described later, and the glass 14 is exposed in the middle part. There is. The width W of the glass 14 in the medium sliding direction on the bottom surface determines the effective length of the MI element.

【0023】第1のコア10の底面にMI素子としての
第2のコア16を形成するが、コア10,16間の電気
的な絶縁を必要とするため、真空成膜技術によりSiO
2,Cr23,TiO2等酸化物からなる絶縁膜15をコ
ア10の底面に成膜した上に高透磁率磁性膜からなる第
2のコア16を設ける。
The second core 16 as an MI element is formed on the bottom surface of the first core 10. However, since it is necessary to electrically insulate the cores 10 and 16 from each other, a SiO film is formed by a vacuum film forming technique.
An insulating film 15 made of an oxide such as 2 , Cr 2 O 3 and TiO 2 is formed on the bottom surface of the core 10 and then a second core 16 made of a high-permeability magnetic film is provided.

【0024】絶縁膜15の厚さは、厚すぎるとコア1
0,16間の接合部の磁気抵抗増となり効率が低下する
ため上限を1μmとし、また電気的絶縁を得る最小限の
厚さより下限を0.1μmとし、その範囲内で決定す
る。
If the insulating film 15 is too thick, the core 1
Since the magnetic resistance of the junction between 0 and 16 increases and the efficiency decreases, the upper limit is set to 1 μm, and the lower limit is set to 0.1 μm from the minimum thickness for obtaining electrical insulation.

【0025】MI素子としての第2のコア16は、Fe
−Co−B系アモルファス膜,Fe−C系,Fe−N系
の微結晶膜等の高透磁率磁性膜を真空成膜技術により成
膜したものとし、コア10のガラス14部分の全幅をわ
たり更に磁路接続面11A,11Bの両方に掛かるよう
に、コア10の底面全面に成膜したものとする。これに
より第1のコア10と第2のコア16とで閉磁路が構成
され、第1のコア10を介して磁気記録媒体の記録磁化
による磁束がMI素子としての第2のコア16に十分に
印加される。
The second core 16 as the MI element is made of Fe.
It is assumed that a high-permeability magnetic film such as a -Co-B system amorphous film, a Fe-C system, or a Fe-N system microcrystalline film is formed by a vacuum film forming technique, and the entire width of the glass 14 portion of the core 10 is crossed. Further, it is assumed that the film is formed on the entire bottom surface of the core 10 so as to cover both the magnetic path connection surfaces 11A and 11B. As a result, a closed magnetic circuit is formed by the first core 10 and the second core 16, and the magnetic flux due to the recording magnetization of the magnetic recording medium is sufficiently transmitted to the second core 16 as the MI element via the first core 10. Is applied.

【0026】なお、この磁性膜のMI素子としての機能
を十分に引き出すためには、磁性膜の磁化容易軸が図1
(c)中の矢印方向(トラック幅方向)になるように、
磁場中冷却または成膜時のバイアスや入射角の制御によ
り設定する。また、磁性膜の厚さは、薄すぎると磁気ヘ
ッド全体の磁気抵抗の増加となり、厚すぎるとMI素子
のインピーダンスが小さくなりMI効果が小さくなるこ
とから、1μm〜20μmの間で設定する。また、MI
素子の有効長Wは、0.1mm以下ではほとんどMI効
果が得られないので0.1mmを下限とし、磁路の拡大
が許容できる2mmまでの範囲で設定するのが好まし
い。
In order to fully bring out the function of this magnetic film as an MI element, the axis of easy magnetization of the magnetic film should be as shown in FIG.
In the direction of the arrow in (c) (track width direction),
It is set by cooling in a magnetic field or controlling the bias and incident angle during film formation. If the thickness of the magnetic film is too thin, the magnetic resistance of the entire magnetic head increases, and if it is too thick, the impedance of the MI element decreases and the MI effect decreases, so the thickness is set between 1 μm and 20 μm. Also, MI
If the effective length W of the element is 0.1 mm or less, almost no MI effect can be obtained.

【0027】また、MI素子の端子として、素子有効長
Wの領域に掛からないようにコア16の媒体摺動方向の
両端上にCu,Au等からなる導電膜18を成膜してお
り、この導電膜18を介してMI素子の両端から再生出
力が取り出される。
Further, as terminals of the MI element, conductive films 18 made of Cu, Au, etc. are formed on both ends of the core 16 in the medium sliding direction so as not to reach the area of the element effective length W. Reproduced outputs are extracted from both ends of the MI element via the conductive film 18.

【0028】次に、本実施例の磁気ヘッドの製造方法に
ついて、図2(a)〜(e)、図3(a)〜(d)を用
いて説明する。
Next, a method of manufacturing the magnetic head of this embodiment will be described with reference to FIGS. 2 (a) to 2 (e) and FIGS. 3 (a) to 3 (d).

【0029】第1のコア10は、従来のVTR用ヘッド
に見られるような誘導型磁気ヘッドのコアの製造方法に
準ずるが、摺動部の部分だけを取り出せばよいので従来
と同じ大きさのフェライト材からの取り個数は増える。
The first core 10 conforms to the method of manufacturing the core of the induction type magnetic head as found in the conventional VTR head, but since only the sliding portion needs to be taken out, it has the same size as the conventional one. The number of pieces taken from the ferrite material increases.

【0030】まず、図2(a)に示すように、コア材と
して強磁性酸化物磁性材のフェライトから長方形の厚板
状に形成されたフェライト材20の表面を平面研磨す
る。そして、図2(b)に示すように、磁気ヘッドの磁
気ギャップGのギャップデプス及び先述の素子有効長W
を規制する台形状の規制溝22を複数本平行にフェライ
ト材20に形成する。
First, as shown in FIG. 2A, the surface of a ferrite material 20 formed in the shape of a rectangular thick plate from ferrite, which is a ferromagnetic oxide magnetic material, as a core material is surface-polished. Then, as shown in FIG. 2B, the gap depth of the magnetic gap G of the magnetic head and the element effective length W described above.
A plurality of trapezoidal restriction grooves 22 for restricting are formed in the ferrite material 20 in parallel.

【0031】さらに、図2(c)に示すように、フェラ
イト材20の表面に、規制溝22に対して垂直方向に卜
ラック幅を規制する図1中の規制溝12に相当する規制
溝24を等間隔で平行に形成する。
Further, as shown in FIG. 2 (c), on the surface of the ferrite material 20, a regulating groove 24 corresponding to the regulating groove 12 in FIG. 1 for regulating the rack width in the direction perpendicular to the regulating groove 22 is formed. Are formed in parallel at equal intervals.

【0032】そして、フェライト材20の表面に、磁気
ギャップを形成するための不図示のSiO2,Cr23
等のギャップ材の薄膜を成膜した後に、図2(d)に示
すように、フェライト材20と全く同様に加工されたフ
ェライト材20′を突き合わせ、ガラス棒26を規制溝
22中に挿入し、ガラス溶着にてフェライト材20,2
0′を接合する。ガラス棒26のガラスが図1中のガラ
ス14となる。この時使用するガラスの量は規制溝2
2,24の全体を十分埋めるだけの量を供給する。
Then, on the surface of the ferrite material 20, SiO 2 and Cr 2 O 3 (not shown) for forming a magnetic gap are formed.
After forming a thin film of a gap material such as, for example, as shown in FIG. 2 (d), a ferrite material 20 'processed in exactly the same manner as the ferrite material 20 is butted, and the glass rod 26 is inserted into the regulation groove 22. , Glass-fused ferrite materials 20, 2
Join 0 '. The glass of the glass rod 26 becomes the glass 14 in FIG. The amount of glass used at this time is the regulation groove 2.
Supply enough to fill the entire 2,24 area.

【0033】その後、図2(e)に示すように、フェラ
イト材20,20′を接合したブロックを破線で示した
切断線に沿って切断し、A,B,Cで示すような第1の
コア10がトラック幅方向に複数個分連続したものに相
当するコアブロック28を取り出す。仕上げに、この取
り出したコアブロック28の規制溝22側の切断面に平
面研削を行う。
Thereafter, as shown in FIG. 2 (e), the block in which the ferrite materials 20 and 20 'are joined is cut along the cutting line shown by the broken line, and the first block as shown by A, B and C is cut. A core block 28 corresponding to a plurality of cores 10 continuous in the track width direction is taken out. For finishing, the cut surface of the taken out core block 28 on the side of the regulation groove 22 is subjected to surface grinding.

【0034】次に、MI素子としての第2のコア16に
相当する磁性膜をコアブロック28の底面上に成膜する
が、その前に図3(a)に示すように、電気的な絶縁を
得るために、コアブロック28の底面全面にSiO2
Cr23等の酸化物からなる図1中の絶縁膜15に相当
する絶縁膜30を0.1μm〜1μmの厚さの範囲で成
膜する。
Next, a magnetic film corresponding to the second core 16 as the MI element is formed on the bottom surface of the core block 28. Before that, as shown in FIG. to obtain, SiO 2 on the entire bottom surface of the core block 28,
An insulating film 30 made of an oxide such as Cr 2 O 3 and corresponding to the insulating film 15 in FIG. 1 is formed in a thickness range of 0.1 μm to 1 μm.

【0035】そして、図3(b)に示すように、絶縁膜
30上にMI素子の第2のコア16となるFe−Co−
B系アモルファス膜,Fe−C系,Fe−N系の微結晶
膜等の高透磁率磁性膜32を真空成膜技術により成膜す
る。磁性膜32の厚さは、所定の回路定数とコア効率に
なるように素子のインピーダンスと磁気抵抗を決定する
ため、通常は1μm〜20μmの範囲で設定される。
Then, as shown in FIG. 3B, on the insulating film 30, Fe-Co- which becomes the second core 16 of the MI element is formed.
A high-permeability magnetic film 32 such as a B-based amorphous film, a Fe-C-based or a Fe-N-based microcrystalline film is formed by a vacuum film forming technique. The thickness of the magnetic film 32 is usually set in the range of 1 μm to 20 μm in order to determine the impedance and the magnetic resistance of the element so that a predetermined circuit constant and core efficiency are obtained.

【0036】さらに、図3(c)に示すように、MI素
子の端子の導電膜18となるCu,Au等からなる導電
膜34を前述の素子有効長Wの領域に掛からないよう
に、磁性膜32の長手方向の両側縁部に沿って真空成膜
技術により成膜する。導電膜の付着強度が必要な場合
は、下地にCr膜を成膜してもよい。
Further, as shown in FIG. 3C, the conductive film 34 made of Cu, Au or the like, which is the conductive film 18 of the terminal of the MI element, is magnetic so that it does not overlap the region of the element effective length W. A film is formed along both longitudinal edges of the film 32 by a vacuum film forming technique. When the adhesion strength of the conductive film is required, a Cr film may be formed as a base.

【0037】最後に図3(d)に示すように、コアブロ
ック28を摺動面側よりトラック幅方向に所定間隔で破
線に沿って切断して本実施例の磁気ヘッドが一度に多数
個得られる。
Finally, as shown in FIG. 3D, the core block 28 is cut along the broken line at predetermined intervals in the track width direction from the sliding surface side to obtain a large number of magnetic heads of this embodiment at a time. To be

【0038】この磁気ヘッドの実装工程の詳細は省略す
るが、図4に示すように磁気ヘッドを基台40に取り付
け、所定のギャップデプスを得るために摺動面のラップ
加工を行い、基台40側の端子41に接続されたワイヤ
ー42を端子の導電膜18に半田付けする。
Although the details of the mounting process of this magnetic head are omitted, as shown in FIG. 4, the magnetic head is attached to the base 40 and the sliding surface is lapped to obtain a predetermined gap depth. The wire 42 connected to the terminal 41 on the 40 side is soldered to the conductive film 18 of the terminal.

【0039】次に、本実施例の磁気ヘッドの特性につい
て説明する。磁路がオープンの矩形状のMI素子から構
成した磁気ヘッドと本実施例の磁気ヘッドの比較を行な
った。MI素子は両者ともにFe−Ta−C系微結晶膜
を用い、その寸法は厚さ5μm,幅0.2mm,有効長
0.5mmの同一サイズとした。本実施例のヘッドの磁
気ギャップ幅は5μm,卜ラック幅は0.2mmとし、
オープンタイプの先端断面との条件を同一にした。特性
の比較は、波長10μmで記録した磁気テープをスキャ
ンし、インピーダンスの変化量を比較した。その結果、
オープンタイプが1.5%程度しか変化しなかったのに
対し、本実施例のヘッドでは5.3%の変化を示した。
このように、高感度で再生を行なえ記録の高密度化に対
応できる磁気ヘッドを提供することができた。
Next, the characteristics of the magnetic head of this embodiment will be described. A comparison was made between the magnetic head composed of a rectangular MI element with an open magnetic path and the magnetic head of this embodiment. Both of the MI elements were made of Fe-Ta-C-based microcrystalline film, and had the same size with a thickness of 5 μm, a width of 0.2 mm and an effective length of 0.5 mm. The head has a magnetic gap width of 5 μm and a rack width of 0.2 mm.
The conditions were the same as for the open type tip section. The characteristics were compared by scanning a magnetic tape recorded at a wavelength of 10 μm and comparing the amount of change in impedance. as a result,
While the open type changed only about 1.5%, the head of this example showed a change of 5.3%.
As described above, it was possible to provide a magnetic head which can perform reproduction with high sensitivity and can cope with high density recording.

【0040】[他の実施例]次に、他の実施例を図5〜
図9により説明する。これらの図において第1実施例の
図1,4中と共通ないし対応する部分には共通の符号が
付してあり、共通部分の説明は省略する。
[Other Embodiments] Next, other embodiments will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In these figures, parts common to or corresponding to those in FIGS. 1 and 4 of the first embodiment are designated by common reference numerals, and description of common parts is omitted.

【0041】[第2実施例]第1実施例で示した磁気ヘ
ッドの出力は、MI素子のインピーダンス、主にインダ
クタンス成分をコルピッツ発振器等の発振器のインダク
タとして取り入れ、インピーダンスの変化を発振回路の
振幅変調に変換し、検波回路により出力を取り出す。こ
の回路を安定的に動作させるためには、ある程度の大き
さのインピーダンス(インダクタンス)を確保する必要
があり、第1実施例のヘッドでも使用条件によっては、
別の手段を得てインピーダンスを更に大きくする工夫が
必要である。
[Second Embodiment] The output of the magnetic head shown in the first embodiment incorporates the impedance of the MI element, mainly the inductance component, as an inductor of an oscillator such as a Colpitts oscillator, and changes in impedance are reflected in the amplitude of the oscillation circuit. It is converted to modulation and the output is taken out by the detection circuit. In order to operate this circuit in a stable manner, it is necessary to secure an impedance (inductance) of a certain size, and even in the head of the first embodiment, depending on usage conditions,
It is necessary to devise another means to further increase the impedance.

【0042】その工夫を行なった本発明の第2実施例の
ヘッドを図5に示す。図5ではヘッドの第1のコアの底
面側を示しているが、説明の便宜上、第1のコア10の
底面上の絶縁膜15の図示を省いている。
FIG. 5 shows the head of the second embodiment of the present invention which has been devised. Although the bottom surface side of the first core of the head is shown in FIG. 5, the insulating film 15 on the bottom surface of the first core 10 is not shown for convenience of description.

【0043】図5(a)に示す実施例では、トラック幅
方向の幅を狭くした2本のMI素子(第2のコア)16
A,16Bを第1のコア底面においてガラス14部分を
渡って両端部が磁路接続面11A,11Bに掛かるよう
に平行に形成し、両素子16A,16Bを細い導電膜5
0で直列に接続している。
In the embodiment shown in FIG. 5A, two MI elements (second cores) 16 having a narrow width in the track width direction are provided.
A and 16B are formed in parallel on the bottom surface of the first core across the glass 14 so that both ends of the first core bottom face the magnetic path connection surfaces 11A and 11B, and both elements 16A and 16B are formed into a thin conductive film 5.
0 is connected in series.

【0044】この構成によれば、磁気回路は並列型にす
ることで磁気抵抗の増加を押さえたまま、電気的には直
列接続でインピーダンスを稼ぐことができ、大変有効で
ある。
According to this structure, the magnetic circuit is of a parallel type, and the impedance can be electrically obtained in series while suppressing an increase in the magnetic resistance, which is very effective.

【0045】また、この実施例の変形例として、図5
(b)のように、前述の導電膜50を使用せず、MI素
子16A,16Bの磁性膜に連続した磁性膜からなる細
い連結部51によってMI素子16A,16Bを直列に
接続すれば、導電膜50を省略して製造工程を簡略化
し、コストダウンを図れる。
As a modification of this embodiment, FIG.
If the MI elements 16A and 16B are connected in series by the thin connecting portion 51 made of a magnetic film continuous to the magnetic films of the MI elements 16A and 16B without using the above-described conductive film 50 as shown in FIG. By omitting the film 50, the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced.

【0046】なおMI素子は2本に限らず、3本以上併
設して直列接続してもよい。
The number of MI elements is not limited to two, and three or more MI elements may be provided side by side and connected in series.

【0047】[第3実施例]第1実施例では、第1のコ
ア10は、全体がフェライトからなるコア半体10A,
10Bを接合してなるフェライトコアとして構成した
が、第3実施例として図6(a)〜(c)に示すよう
に、フェライトからなるコア半体10A,10Bの磁気
ギャップGを介して突き合わされる突き合わせ面に金属
磁性膜61を成膜したMIG(メタルインギャップ)コ
アとして構成してもよい。
[Third Embodiment] In the first embodiment, the first core 10 is a core half body 10A made entirely of ferrite.
Although it is configured as a ferrite core formed by joining 10B, as shown in FIGS. 6A to 6C as a third embodiment, the core halves 10A and 10B made of ferrite are abutted to each other via the magnetic gap G. It may be configured as an MIG (metal in gap) core in which a metal magnetic film 61 is formed on the abutting surface.

【0048】[第4実施例]また、図7(a)〜(c)
に第4実施例として示すように、複数層積層された高透
磁率金属磁性膜71を非磁性材72でサンドイッチした
積層コアとして第1のコア10を構成してもよい。この
第4実施例と第3実施例によればS/Nの向上を期待で
き、また次の第5実施例のように記録機能を持たせた場
合、記録機能向上を期待できる。
[Fourth Embodiment] FIGS. 7A to 7C.
As shown as the fourth embodiment, the first core 10 may be configured as a laminated core in which a plurality of laminated high-permeability metal magnetic films 71 are sandwiched with a non-magnetic material 72. According to the fourth and third embodiments, an improvement in S / N can be expected, and when a recording function is provided as in the next fifth embodiment, an improvement in recording function can be expected.

【0049】[第5実施例]第1〜第4の実施例では、
再生機能のみ有するヘッドとして構成したが、図8に第
5実施例として示す構成により記録機能をも持たせるこ
とができる。
[Fifth Embodiment] In the first to fourth embodiments,
Although the head has only the reproducing function, the structure shown in FIG. 8 as the fifth embodiment can also have the recording function.

【0050】図8の構成では、第1のコア10を構成す
るコア半体10A,10B間のガラス14部分の中に貫
通穴80を設け、コイル巻線82を貫通穴80に通して
コア10に巻回することで誘導型ヘッドとして記録機能
をも持たせ、記録再生兼用にすることができる。ここで
MI素子としての第2のコア16は誘導型ヘッドの磁路
の一部となるが、コア16の断面積が磁気ギャップG近
傍での磁路断面積より大きく取れることから、磁気飽和
の心配はなく、記録機能を発揮できる。また、MI素子
に1Tを越える飽和磁束密度の大きいFe−N系やFe
−C系の微結晶タイプの磁性膜を使えることで、さらに
記録に対する自由度は大きくなる。
In the configuration of FIG. 8, a through hole 80 is provided in the glass 14 portion between the core halves 10A and 10B constituting the first core 10, and the coil winding 82 is passed through the through hole 80 to allow the core 10 to pass through. By winding it around, it is possible to have a recording function as an induction type head, and to be used for both recording and reproduction. Here, the second core 16 as the MI element becomes a part of the magnetic path of the induction type head, but since the cross-sectional area of the core 16 can be made larger than the magnetic path cross-sectional area in the vicinity of the magnetic gap G, the magnetic saturation No worries, you can demonstrate the recording function. In addition, the MI element has a large saturation magnetic flux density of more than 1 T, such as Fe-N system or Fe
By using a -C-based microcrystalline type magnetic film, the degree of freedom in recording is further increased.

【0051】また、コイル巻線82は、再生時に直流電
流を流してMI素子へDCバイアスをかけることに使用
可能であり、これにより再生波形やゲインを調整する事
ができる。図11に示すとおり、MI特性を矢印のよう
に左側にシフトさせることで、外部磁界0付近の磁界に
対してほぼ直線的な応答が得られ、ゲインも大きく取れ
る。
Further, the coil winding 82 can be used to flow a direct current at the time of reproduction to apply a DC bias to the MI element, whereby the reproduction waveform and gain can be adjusted. As shown in FIG. 11, by shifting the MI characteristic to the left as shown by the arrow, a substantially linear response to a magnetic field near the external magnetic field 0 can be obtained, and a large gain can be obtained.

【0052】[第6実施例]次に、図9は、端子の引き
出しについて工夫した第6実施例を示している。この実
施例では、MI素子としての第2のコア16と端子とし
ての導電膜18を成膜した第1のコア10の底面を摺動
面に対して傾斜した傾斜面とした。このような実施例に
よれば、実装時に図4,図8に示したワイヤ42の導電
膜18への半田付けによる接続を容易に行なえ、端子の
引き出しを容易に行なえる。
[Sixth Embodiment] FIG. 9 shows a sixth embodiment in which the terminal is led out. In this embodiment, the bottom surface of the first core 10 on which the second core 16 as an MI element and the conductive film 18 as a terminal are formed is an inclined surface inclined with respect to the sliding surface. According to such an embodiment, at the time of mounting, the connection of the wire 42 shown in FIGS. 4 and 8 to the conductive film 18 by soldering can be easily performed, and the terminal can be easily pulled out.

【0053】なお、上述した第2実施例、第5実施例、
第6実施例において、第1のコアは第1実施例のように
フェライトコアでもよいが、第3実施例のMIGコア、
あるいは第4実施例の積層コアとしてもよいのは勿論で
ある。
The above-mentioned second embodiment, fifth embodiment,
In the sixth embodiment, the first core may be a ferrite core as in the first embodiment, but the MIG core of the third embodiment,
Alternatively, it goes without saying that the laminated core of the fourth embodiment may be used.

【0054】また、MR素子でも上記各実施例と同様の
構成は可能であるが、MR素子の厚さが数百オングスト
ローム程度では、第2のコアとしての磁気抵抗増による
効率低下が大きく、閉磁路とする効果が全くない。ま
た、記録機能についても、MR素子の断面積が小さいこ
とより、磁気飽和が起き実現できない。MR素子は有効
長が短いという特徴から磁路はオープンが適している。
Although the MR element can have the same structure as that of each of the above-described embodiments, if the thickness of the MR element is about several hundreds of angstroms, the efficiency decrease is large due to the increase in the magnetic resistance of the second core, and the magnetic field is closed. It has no effect as a road. Further, the recording function cannot be realized because magnetic saturation occurs due to the small cross-sectional area of the MR element. An open magnetic path is suitable because the MR element has a short effective length.

【0055】[0055]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、磁性体からなる一対のコア半体を磁気ギャッ
プを介して接合してなる第1のコアと、磁気インピーダ
ンス効果を利用した磁気検出素子として形成された第2
のコアとで閉磁路を構成し、前記磁気検出素子の両端か
ら再生出力を得る磁気ヘッドにおいて、前記第1のコア
の磁気記録媒体摺動面と反対側の底面には前記一対のコ
ア半体と、このコア半体間に設けられた非磁性材が露出
しており、前記第2のコアとなる磁気検出素子は、前記
第1のコアの底面に絶縁膜を介して成膜された高透磁率
磁性膜として構成され、前記底面の前記非磁性材部分を
わたって前記一対のコア半体部分のそれぞれに掛かるよ
うに形成された構成を採用したので、磁気検出素子の有
効長を確保するとともに絶縁性を確保し、さらに端子の
引き出しを容易とすることができ、これにより磁気検出
素子に磁気記録媒体からの磁束が十分に印加される閉磁
路の構造を実現でき、高感度で再生を行なえ記録の高密
度化に対応できる磁気ヘッドを提供することができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the magnetic impedance effect is utilized with the first core formed by joining a pair of magnetic core half bodies through a magnetic gap. Formed as a magnetic detection element
In a magnetic head that forms a closed magnetic path with the core of (1) and obtains a reproduction output from both ends of the magnetic detection element, the pair of core halves are provided on the bottom surface of the first core opposite to the sliding surface of the magnetic recording medium. And the non-magnetic material provided between the core halves is exposed, and the magnetic detection element serving as the second core is a high magnetic layer formed on the bottom surface of the first core via an insulating film. Since a magnetic permeability magnetic film is formed so as to extend over the non-magnetic material portion of the bottom surface and hang on each of the pair of core half portions, an effective length of the magnetic detection element is ensured. At the same time, the insulating property can be secured, and the terminal can be easily pulled out. Therefore, it is possible to realize the structure of the closed magnetic path in which the magnetic flux from the magnetic recording medium is sufficiently applied to the magnetic detection element, and the reproduction is performed with high sensitivity. Can handle high density recording It is possible to provide the care head.

【0056】また、第2のコアの磁気検出素子の磁路断
面積が大きく取れることで、磁気飽和に対する余裕があ
るため、第1のコアにコイル巻線を巻装して記録機能を
持たせること、あるいは磁気検出素子にDCバイアスを
かけることも可能である。
Also, since the magnetic path cross-sectional area of the magnetic detection element of the second core can be made large, there is a margin for magnetic saturation, so a coil winding is wound around the first core to provide a recording function. Alternatively, it is possible to apply a DC bias to the magnetic detection element.

【0057】また、本発明によれば、前記磁気ヘッドの
製造方法において、前記第1のコアがトラック幅方向に
複数個分連続したものに相当するコアブロックの磁気記
録媒体摺動面に加工される面と反対側の底面に、順に絶
縁膜、磁気検出素子となる高透磁率磁性膜、磁気検出素
子から再生出力を取り出すための端子となる導電膜を成
膜し、その後、前記コアブロックをトラック幅方向に所
定間隔で切断することにより、前記磁気ヘッドを複数個
得る方法を採用したので、1つのコアブロックから1度
に多数個の磁気ヘッドを得る多数個取りが可能であり、
生産性に優れているという優れた効果が得られる。
Further, according to the present invention, in the method of manufacturing a magnetic head, the first core is processed into a magnetic recording medium sliding surface of a core block corresponding to a plurality of continuous first cores in the track width direction. On the bottom surface on the side opposite to the surface where the magnetic block is formed, an insulating film, a high-permeability magnetic film to be a magnetic detection element, and a conductive film to be a terminal for taking out a reproduction output from the magnetic detection element are sequentially formed, and then the core block is formed. Since a method of obtaining a plurality of the magnetic heads by cutting at a predetermined interval in the track width direction is adopted, it is possible to obtain a large number of magnetic heads from one core block at a time.
The excellent effect of excellent productivity can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例の磁気ヘッドの構造を示す
摺動面の平面図、側面図、及び底面図である。
FIG. 1 is a plan view, a side view, and a bottom view of a sliding surface showing a structure of a magnetic head according to a first embodiment of the invention.

【図2】同磁気ヘッドの製造工程を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head.

【図3】同じく製造工程を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the same manufacturing process.

【図4】同磁気ヘッドの実装状態を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a mounted state of the magnetic head.

【図5】第2実施例とその変形例の磁気ヘッドの構造を
示す底面図である。
FIG. 5 is a bottom view showing the structure of the magnetic heads of the second embodiment and its modification.

【図6】第3実施例の磁気ヘッドの構造を示す摺動面の
平面図、側面図、及び底面図である。
FIG. 6 is a plan view, a side view, and a bottom view of a sliding surface showing a structure of a magnetic head of a third embodiment.

【図7】第4実施例の磁気ヘッドの構造を示す摺動面の
平面図、側面図、及び底面図である。
FIG. 7 is a plan view, a side view, and a bottom view of a sliding surface showing a structure of a magnetic head according to a fourth embodiment.

【図8】第5実施例の磁気ヘッドの構造を示す実装状態
での斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a structure of a magnetic head of a fifth embodiment in a mounted state.

【図9】第6実施例の磁気ヘッドの構造を示す側面図、
底面図、及び異なる方向の側面図である。
FIG. 9 is a side view showing the structure of the magnetic head of the sixth embodiment,
It is a bottom view and the side view of a different direction.

【図10】磁路がオープンの場合の媒体からMI素子に
対する磁束の印加の様子を示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing how magnetic flux is applied from the medium to the MI element when the magnetic path is open.

【図11】DCバイアスをかけた場合のMI特性のシフ
トの様子を示すグラフ図である。
FIG. 11 is a graph showing how MI characteristics shift when a DC bias is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 第1のコア 10A,10B コア半体 11A,11B 磁路接続面 12 規制溝 14 ガラス 15,30 絶縁膜 16,16A,16B 第2のコア(MI素子) 18,34 導電膜(端子) 20,20′ フェライト材 22,24 規制溝 26 ガラス棒 28 コアブロック 32 磁性膜 40 基台 42 ワイヤ 50 導電膜 51 連結部 61,71 金属磁性膜 72 非磁性材 80 貫通穴 82 コイル巻線 10 1st core 10A, 10B Core half body 11A, 11B Magnetic path connection surface 12 Regulation groove 14 Glass 15,30 Insulating film 16,16A, 16B 2nd core (MI element) 18,34 Conductive film (terminal) 20 , 20 'Ferrite material 22, 24 Restriction groove 26 Glass rod 28 Core block 32 Magnetic film 40 Base 42 Wire 50 Conductive film 51 Connecting portion 61, 71 Metal magnetic film 72 Non-magnetic material 80 Through hole 82 Coil winding

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁性体からなる一対のコア半体を磁気ギ
ャップを介して接合してなる第1のコアと、磁気インピ
ーダンス効果を利用した磁気検出素子として形成された
第2のコアとで閉磁路を構成し、前記磁気検出素子の両
端から再生出力を得る磁気ヘッドにおいて、 前記第1のコアの磁気記録媒体摺動面と反対側の底面に
は前記一対のコア半体と、このコア半体間に設けられた
非磁性材が露出しており、 前記第2のコアとなる磁気検出素子は、前記第1のコア
の底面に絶縁膜を介して成膜された高透磁率磁性膜とし
て構成され、前記底面の前記非磁性材部分をわたって前
記一対のコア半体部分のそれぞれに掛かるように形成さ
れたことを特徴とする磁気ヘッド。
1. A first magnetic core formed by joining a pair of magnetic core halves with a magnetic gap interposed therebetween, and a second magnetic core formed as a magnetic detection element utilizing the magneto-impedance effect. A pair of core halves on the bottom surface of the first core opposite to the sliding surface of the magnetic recording medium, and the core halves. The non-magnetic material provided between the bodies is exposed, and the magnetic detection element serving as the second core is a high-permeability magnetic film formed on the bottom surface of the first core via an insulating film. A magnetic head, which is formed so as to extend over the nonmagnetic material portion of the bottom surface and hang on each of the pair of core half portions.
【請求項2】 前記非磁性材は前記一対のコア半体を接
合する溶着用のガラスとして前記一対のコア半体間に充
填されたことを特徴とする請求項1に記載の磁気ヘッ
ド。
2. The magnetic head according to claim 1, wherein the non-magnetic material is filled between the pair of core halves as a glass for welding for joining the pair of core halves.
【請求項3】 前記絶縁膜の厚さが0.1μm〜1μm
であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気
ヘッド。
3. The insulating film has a thickness of 0.1 μm to 1 μm.
The magnetic head according to claim 1 or 2, wherein
【請求項4】 前記磁気検出素子としての高透磁率磁性
膜の厚さが1μm〜20μmであることを特徴とする請
求項1から3までのいずれか1項に記載の磁気ヘッド。
4. The magnetic head according to claim 1, wherein the high-permeability magnetic film as the magnetic detection element has a thickness of 1 μm to 20 μm.
【請求項5】 前記第2のコアとしての磁気検出素子が
前記第1のコア底面の前記絶縁膜上に複数並設され、こ
の複数の磁気検出素子が電気的に直列接続されたことを
特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の
磁気ヘッド。
5. A plurality of magnetic detection elements as the second core are arranged in parallel on the insulating film on the bottom surface of the first core, and the plurality of magnetic detection elements are electrically connected in series. The magnetic head according to any one of claims 1 to 4.
【請求項6】 前記第1のコアにコイル巻線を巻装し、
このコイル巻線を磁気記録用に、または前記磁気検出素
子にDCバイアスをかけるために用いることを特徴とす
る請求項1から5までのいずれか1項に記載の磁気ヘッ
ド。
6. A coil winding is wound around the first core,
6. The magnetic head according to claim 1, wherein the coil winding is used for magnetic recording or for applying a DC bias to the magnetic detection element.
【請求項7】 前記第1のコアの底面を該第1のコアの
磁気記録媒体摺動面に対して傾斜させたことを特徴とす
る請求項1から6までのいずれか1項に記載の磁気ヘッ
ド。
7. The bottom surface of the first core is inclined with respect to the sliding surface of the magnetic recording medium of the first core, according to any one of claims 1 to 6. Magnetic head.
【請求項8】 前記磁気検出素子はFe−N系またはF
e−C系の磁性膜からなることを特徴とする請求項1か
ら7までのいずれか1項に記載の磁気ヘッド。
8. The magnetic detection element is an Fe—N type or F type.
8. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head is made of an eC magnetic film.
【請求項9】 前記第1のコアは、全体がフェライトか
らなる一対のコア半体を接合してなるフェライトコアと
して構成されたことを特徴とする請求項1から8までの
いずれか1項に記載の磁気ヘッド。
9. The ferrite core according to claim 1, wherein the first core is configured as a ferrite core formed by joining a pair of core halves made of ferrite as a whole. The magnetic head described.
【請求項10】 前記第1のコアは、フェライトからな
り磁気ギャップを介して突き合わされる突き合わせ面に
金属磁性膜が成膜された一対のコア半体を接合してなる
メタルインギャップコアとして構成されたことを特徴と
する請求項1から8までのいずれか1項に記載の磁気ヘ
ッド。
10. The first core is a metal-in-gap core formed by joining a pair of core halves, each of which is made of ferrite and has a metal magnetic film formed on an abutting surface abutted via a magnetic gap. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head is formed.
【請求項11】 前記第1のコアは、高透磁率磁性膜の
積層から構成される積層コアとして構成されたことを特
徴とする請求項1から8までのいずれか1項に記載の磁
気ヘッド。
11. The magnetic head according to claim 1, wherein the first core is formed as a laminated core formed by laminating high magnetic permeability magnetic films. .
【請求項12】 磁性体からなる一対のコア半体を磁気
ギャップを介して接合してなる第1のコアと、磁気イン
ピーダンス効果を利用した磁気検出素子からなる第2の
コアとで閉磁路を構成し、前記磁気検出素子の両端から
再生出力を得る磁気ヘッドの製造方法において、 前記第1のコアがトラック幅方向に複数個分連続したも
のに相当するコアブロックの磁気記録媒体摺動面に加工
される面と反対側の底面に、順に絶縁膜、磁気検出素子
となる高透磁率磁性膜、磁気検出素子から再生出力を取
り出すための端子となる導電膜を成膜し、その後、前記
コアブロックをトラック幅方向に所定間隔で切断するこ
とにより、前記磁気ヘッドを複数個得ることを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。
12. A closed magnetic circuit is formed by a first core formed by joining a pair of core halves made of a magnetic material via a magnetic gap, and a second core formed by a magnetic detection element utilizing a magnetic impedance effect. In the method of manufacturing a magnetic head configured to obtain a reproduction output from both ends of the magnetic detection element, a magnetic recording medium sliding surface of a core block corresponding to a plurality of the first cores continuous in the track width direction. An insulating film, a high-permeability magnetic film serving as a magnetic detection element, and a conductive film serving as a terminal for extracting a reproduction output from the magnetic detection element are sequentially formed on the bottom surface opposite to the processed surface, and then the core is formed. A method of manufacturing a magnetic head, wherein a plurality of the magnetic heads are obtained by cutting blocks at predetermined intervals in a track width direction.
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