JPH08261948A - Disk appearance inspection method and device thereof - Google Patents
Disk appearance inspection method and device thereofInfo
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- JPH08261948A JPH08261948A JP7065460A JP6546095A JPH08261948A JP H08261948 A JPH08261948 A JP H08261948A JP 7065460 A JP7065460 A JP 7065460A JP 6546095 A JP6546095 A JP 6546095A JP H08261948 A JPH08261948 A JP H08261948A
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- disc
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク、コンパク
トディスク等の光透過性樹脂成形品の樹脂成形時に生ず
る歪みや傷及び感光体塗布工程での微小欠陥等を検査す
る場合に用いられるディスク外観検査方法及びその装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the appearance of a disc used for inspecting a light-transmissive resin molded product such as an optical disc and a compact disc for distortion and scratches generated during resin molding, and micro defects in the photoconductor coating process. An inspection method and an apparatus thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】記録媒体として用いられるディスクの使
用においては、データの書き込み及び読み取り或いは消
去がディスクの内周外周に関わらず等速度で行われる。
このため、ディスクの全面に渡り等しい検出精度で外観
を検査することが要求されている。2. Description of the Related Art In the use of a disc used as a recording medium, data writing, reading or erasing is performed at a constant speed regardless of the inner and outer circumferences of the disc.
Therefore, it is required to inspect the appearance with the same detection accuracy over the entire surface of the disc.
【０００３】一方、ディスクの外観を検査するために、
特開平３−７８６４７号公報や特開平５−２７３１４０
号公報に記載されているように、ラインセンサ（図では
ラインカメラ）をディスクの半径方向に一致させて配設
し、ディスクの半径方向を主走査、回転方向（周方向）
を副走査とする画像を入力することにより、ディスクの
欠陥を検査するようにした方法及び装置がある。これら
の従来例によれば、図４に示すように、ラインセンサを
用いてもディスク１を回転させることにより、ディスク
１の全領域の検査を行うことができるとされている。On the other hand, in order to inspect the appearance of the disc,
JP-A-3-78647 and JP-A-5-273140
As described in the publication, a line sensor (a line camera in the figure) is arranged so as to match the radial direction of the disc, and the radial direction of the disc is the main scanning direction and the rotation direction (circumferential direction).
There is a method and an apparatus for inspecting a disk for defects by inputting an image in which sub scanning is performed. According to these conventional examples, as shown in FIG. 4, even if a line sensor is used, the entire area of the disk 1 can be inspected by rotating the disk 1.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ディスク１を回転させ
ながら画像を入力する場合、ディスク１の内周側では周
方向の移動距離が小さく（読取ピッチが密）なり、外周
側では周方向の移動距離が大きく（読取ピッチが粗）な
る。すなわち、ディスクの欠陥を表す画像の分解能が、
内周側では高く、外周側では低くなる。ちなみに、図４
において、ディスク１の有効領域の最内周の半径Ｒ１を
２２ｍｍ、最外周の半径Ｒ２を５９ｍｍとすると、最内
周と最外周とでは移動距離（読取ピッチ）が約２．７倍
も異なり、読取画像の分解能に差が生じてしまう。した
がって、等しい分解能での欠陥検査の要求を満足させる
ことができない。このように、ディスクの欠陥検出能力
が内周側と外周側とで異なると、外周側では微小な欠陥
を見落とし、内周側では欠陥として認められないような
極微小な傷をも検出してしまう。これにより、欠陥見落
しにより市場に欠陥品が出回ったり、過剰な欠陥検出に
より生産ラインの歩留まりが低下し、生産コストが高く
なる。When an image is input while rotating the disc 1, the inner peripheral side of the disc 1 has a small movement distance in the circumferential direction (the reading pitch is fine) and the outer peripheral side moves in the circumferential direction. The distance is large (the reading pitch is coarse). That is, the resolution of the image showing the defect of the disc is
It is high on the inner side and low on the outer side. By the way, Figure 4
When the radius R1 of the innermost circumference of the effective area of the disc 1 is 22 mm and the radius R2 of the outermost circumference is 59 mm, the moving distance (reading pitch) is different by about 2.7 times between the innermost circumference and the outermost circumference. There is a difference in the resolution of the read image. Therefore, it is not possible to satisfy the requirements for defect inspection with the same resolution. In this way, if the defect detection capabilities of the disc are different on the inner and outer circumference sides, the outer circumference side overlooks minute defects, and the inner circumference side detects even minute scratches that cannot be recognized as defects. I will end up. As a result, defective products are circulated in the market due to oversight of defects, and the production line yield is reduced due to excessive defect detection, resulting in higher production costs.
【０００５】図４において、ｄはラインセンサの個々の
画素における受光視野であるが、この受光視野ｄはディ
スク１の回転により、Ｔ0 からＴ0 ＋δｔに至る時間内
に角度θだけ相対的に移動する。図５では、ディスク１
に対して受光視野ｄを移動させた状態を示している。こ
のδｔなる時間は、ラインセンサのライン周波数をｆと
すると１／ｆである。[0005] In FIG. 4, d although a light-receiving field of view in the individual pixels of the line sensor, by the rotation of the light receiving field of view d is the disk 1, the angle θ within a time ranging from T 0 to T 0 + .DELTA.t relatively Moving. In FIG. 5, disk 1
The figure shows a state in which the light receiving visual field d is moved. This time of δt is 1 / f when the line frequency of the line sensor is f.
【０００６】ここで、図５を参照して移動物体での分解
能の考え方について述べる。ディスク１を含む移動物体
での分解能は、ラインセンサの蓄積時間での移動物体の
移動距離（図４におけるＲ１・θ，Ｒ２・θ）に大きく
左右される。厳密には、移動物体の移動距離のみなら
ず、受光部（ラインセンサ）の開口部（アパーチャ）の
大きさ、結像レンズの特性、光量（信号）スレッシュホ
ールド等の影響を受ける。例えば、図５に示すように、
受光蓄積時間を５０％としてスレッシュを引くと、分解
能は受光部の大小に関わらず移動物体の移動距離（読取
ピッチ）に相当することになり、移動物体の移動量を管
理すればよい。さらに、分解能は事実上前述した各種の
パラメータに影響されるが、実質的な分解能は、移動物
体の移動距離（Ｒ１・θ，Ｒ２・θ）と受光視野（ｄ
１，ｄ２）との和に近似して取り扱われる。したがっ
て、周方向の分解能として、移動物体の移動距離と受光
部の和が実質的な分解能の尺度として扱えることにな
る。Here, the concept of resolution in a moving object will be described with reference to FIG. The resolution of a moving object including the disk 1 largely depends on the moving distance (R1.theta., R2.theta. In FIG. 4) of the moving object during the accumulation time of the line sensor. Strictly speaking, not only the moving distance of the moving object, but also the size of the opening (aperture) of the light receiving portion (line sensor), the characteristics of the imaging lens, the light amount (signal) threshold, and the like are affected. For example, as shown in FIG.
If the threshold value is subtracted with the light reception accumulation time set to 50%, the resolution corresponds to the moving distance (reading pitch) of the moving object regardless of the size of the light receiving unit, and the moving amount of the moving object may be managed. Further, the resolution is substantially affected by the various parameters described above, but the substantial resolution is the moving distance (R1 · θ, R2 · θ) of the moving object and the light receiving field (d
1, d2) and is treated as being close to the sum. Therefore, as the resolution in the circumferential direction, the sum of the moving distance of the moving object and the light receiving unit can be treated as a substantial measure of resolution.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ディスクを回転させ、前記ディスクの半径方向に沿って
配置したラインセンサにより前記ディスクを撮像し、撮
像結果により異常を判定するようにしたディスク外観検
査方法において、前記ディスクの半径方向の位置に応じ
て結像倍率を変えた撮像光学系により、前記ディスクの
情報を前記ラインセンサに結像するようにしたディスク
外観検査方法である。According to the first aspect of the present invention,
In the disc appearance inspection method, wherein the disc is rotated, an image of the disc is picked up by a line sensor arranged along the radial direction of the disc, and an abnormality is determined based on a picked-up result. This is a disc appearance inspection method in which information of the disc is imaged on the line sensor by an imaging optical system with a different imaging magnification.
【０００８】請求項２記載の発明は、ディスクを回転さ
せ、前記ディスクの半径方向に沿って配置したラインセ
ンサにより前記ディスクを撮像し、撮像結果により異常
を判定するようにしたディスク外観検査装置において、
軸対称の撮像レンズと、前記ディスクの半径方向の位置
に応じて周方向の焦点距離を変えたアナモフィックレン
ズとを組み合わせた撮像光学系を前記ディスクと前記ラ
インセンサとの間に配設したディスク外観検査装置であ
る。According to a second aspect of the present invention, there is provided a disc visual inspection device, wherein a disc is rotated, a line sensor arranged along a radial direction of the disc picks up an image of the disc, and an abnormality is determined based on a picked-up result. ,
A disc appearance in which an image pickup optical system combining an axially symmetric image pickup lens and an anamorphic lens whose focal length in the circumferential direction is changed according to the radial position of the disc is arranged between the disc and the line sensor. It is an inspection device.
【０００９】請求項３記載の発明は、ディスクを回転さ
せ、前記ディスクの半径方向に沿って配置したラインセ
ンサにより前記ディスクを撮像し、撮像結果により異常
を判定するようにしたディスク外観検査装置において、
前記ディスクの有効範囲の半径方向には一定の焦点距離
を有するとともに、その半径方向の位置に応じて周方向
の焦点距離を変えたアナモフィックレンズを用いた撮像
光学系を前記ディスクと前記ラインセンサとの間に配設
したディスク外観検査装置である。According to a third aspect of the present invention, there is provided a disc appearance inspection device, wherein a disc is rotated, a line sensor arranged along a radial direction of the disc picks up an image of the disc, and an abnormality is determined based on a picked-up result. ,
An image pickup optical system using an anamorphic lens having a fixed focal length in the radial direction of the effective range of the disc and having a circumferential focal length changed in accordance with the radial position of the disc and the line sensor. It is a disc visual inspection device arranged between the two.
【００１０】請求項４記載の発明は、ディスクを回転さ
せ、前記ディスクの半径方向に沿って配置したラインセ
ンサにより前記ディスクを撮像し、撮像結果により異常
を判定するようにしたディスク外観検査装置において、
前記ディスクの有効範囲の半径方向の位置に応じて内周
側より外周側で結像倍率が大きくなる撮像光学系を前記
ディスクと前記ラインセンサとの間に配設したディスク
外観検査装置である。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a disc visual inspection device, wherein a disc is rotated, a line sensor arranged along a radial direction of the disc picks up an image of the disc, and an abnormality is determined based on a picked-up result. ,
A disc visual inspection apparatus is provided between the disc and the line sensor, wherein an imaging optical system having an imaging magnification that is larger on an outer peripheral side than on an inner peripheral side according to a radial position of an effective range of the disc is arranged.
【００１１】請求項５記載の発明は、請求項３又は４記
載の発明において、ディスクの有効領域の最内周の半径
をＲ１、最外周の半径をＲ２、前記ディスクがラインセ
ンサのライン周波数Ｆの逆数に対応する時間δｔに回転
する角度をθ、前記ディスクの最内周での結像倍率をｍ
ｉ、前記ディスクの最外周での結像倍率をｍｏとした場
合に、 Ｒ１・θ／ｍｉ＝Ｒ２・θ／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系を設けたディスク外観検
査装置である。According to a fifth aspect of the invention, in the invention according to the third or fourth aspect, the radius of the innermost circumference of the effective area of the disk is R1, the radius of the outermost circumference is R2, and the disk has a line frequency F of a line sensor. The angle of rotation at time δt corresponding to the reciprocal of θ is θ, and the imaging magnification at the innermost circumference of the disc is m.
i, where the imaging magnification at the outermost periphery of the disc is mo, the disc appearance inspection device is provided with an imaging optical system that satisfies the condition of R1 · θ / mi = R2 · θ / mo.
【００１２】請求項６記載の発明は、請求項３又は４記
載の発明において、ディスクの有効領域の最内周の半径
をＲ１、最外周の半径をＲ２、前記ディスクがラインセ
ンサのライン周波数Ｆの逆数に対応する時間δｔに回転
する角度をθ、前記ディスクの最内周を撮像する前記ラ
インセンサの画素の受光視野をｄ１、前記ディスクの最
外周を撮像する前記ラインセンサの画素の受光視野をｄ
２、前記ディスクの最内周での結像倍率をｍｉ、前記デ
ィスクの最外周での結像倍率をｍｏとした場合に、 ｄ１＋（Ｒ１・θ）／ｍｉ＝ｄ２＋（Ｒ２・θ）／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系を設けたディスク外観検
査装置である。According to a sixth aspect of the invention, in the third or fourth aspect of the invention, the innermost radius of the effective area of the disk is R1, the outermost radius is R2, and the line frequency F of the line sensor is the disk. The angle of rotation at time δt corresponding to the reciprocal of θ is θ, the light receiving field of view of the pixel of the line sensor that images the innermost circumference of the disc is d1, and the light receiving field of view of the pixel of the line sensor that images the outermost circumference of the disc D
2. When the imaging magnification at the innermost circumference of the disc is mi and the imaging magnification at the outermost circumference of the disc is mo, d1 + (R1.theta.) / Mi = d2 + (R2.theta.) / Mo It is a disk appearance inspection device provided with an imaging optical system that satisfies the following conditions.
【００１３】請求項７記載の発明は、請求項１，２，
３，４，５又は６記載の発明において、ディスクを照明
する照度を、結像倍率の小さい部分に対して結像倍率の
大きい部分を相対的に高く設定した照明光源を設けたデ
ィスク外観検査装置である。The invention according to claim 7 is the invention as claimed in claim 1,
In the inventions of 3, 4, 5 and 6, a disc appearance inspection device provided with an illumination light source in which an illuminance for illuminating a disc is set to be relatively high in a portion having a large image forming magnification with respect to a portion having a small image forming magnification. Is.
【００１４】請求項８記載の発明は、請求項１，２，
３，４，５，６又は７記載の発明において、ディスクの
半径方向の位置で異なる結像倍率をｍとした場合に、デ
ィスクに対する照度が１／（１＋ｍ）2 に反比例するよ
うに、ライン型の照明光源を前記ディスクの被検面に対
して傾けて配設したディスク外観検査装置である。The invention according to claim 8 is the same as claim 1,
In the invention described in 3, 4, 5, 6 or 7, the line type is such that the illuminance on the disc is inversely proportional to 1 / (1 + m) 2 when different imaging magnifications are m at the radial positions of the disc. Is a disc appearance inspection device in which the illumination light source of 1) is arranged so as to be inclined with respect to the surface to be inspected of the disc.
【００１５】[0015]
【作用】請求項１記載の発明によれば、ディスクの半径
方向の位置に応じてラインセンサに対する結像倍率を変
えることにより、ディスクの内周と外周とでは周速度が
異なっても、半径方向の解像度を適正にしてディスク全
面の画像を入力することが可能となる。According to the first aspect of the present invention, the imaging magnification for the line sensor is changed in accordance with the radial position of the disk, so that the radial direction is changed even if the inner and outer circumferences of the disk have different peripheral velocities. It becomes possible to input the image of the entire surface of the disc with proper resolution.
【００１６】請求項２記載の発明によれば、撮像光学系
の解像力が、読取ピッチが密なディスクの内周側では粗
く読取ピッチが粗い外周側では密となる。これにより、
ディスクの回転による周方向の分解能を、相対的に内周
方向では高め外周側では低くし、従来例に比して周方向
の分解能をより均質にすることが可能となる。According to the second aspect of the present invention, the resolving power of the image pickup optical system is coarse on the inner peripheral side of the disc having a high reading pitch and is fine on the outer peripheral side of the coarse reading pitch. This allows
The resolution in the circumferential direction due to the rotation of the disk can be relatively increased in the inner circumferential direction and decreased in the outer circumferential side, so that the circumferential resolution can be made more uniform as compared with the conventional example.
【００１７】請求項３記載の発明によれば、撮像光学系
の各レンズの収差補正や配置が容易となり、高性能な撮
像光学系が実現される。According to the third aspect of the present invention, aberration correction and arrangement of each lens of the image pickup optical system are facilitated, and a high-performance image pickup optical system is realized.
【００１８】請求項４記載の発明によれば、撮像光学系
の解像力が、読取ピッチが密なディスクの内周側では粗
く読取ピッチが粗い外周側では密となる。これにより、
これにより、ディスク回転による周方向の分解能を、相
対的に内周側では高め、外周側では低くし、従来例に比
して周方向の分解能をより均質にすることが可能とな
る。According to the fourth aspect of the invention, the resolving power of the image pickup optical system is coarse on the inner peripheral side of the disc having a high read pitch and is fine on the outer peripheral side of the coarse read pitch. This allows
As a result, the resolution in the circumferential direction due to the rotation of the disk is relatively increased on the inner circumference side and lowered on the outer circumference side, and the resolution in the circumferential direction can be made more uniform as compared with the conventional example.
【００１９】請求項５記載の発明によれば、ディスクの
外周側と内周側とでは、ディスクの周方向の移動距離Ｒ
１・θ，Ｒ２・θが異なるが、結像倍率を移動距離に反
比例して定めることにより、ディスクの内周側と外周側
との分解能を実質的に均一にすることが可能となる。According to the invention of claim 5, the moving distance R in the circumferential direction of the disc is between the outer peripheral side and the inner peripheral side of the disc.
Although 1 · θ and R2 · θ are different, by setting the imaging magnification in inverse proportion to the moving distance, it is possible to make the resolution substantially uniform on the inner and outer circumference sides of the disc.
【００２０】請求項６記載の発明によれば、ディスクの
外周側と内周側とでは、ディスクの周方向の移動距離Ｒ
１・θ，Ｒ２・θが異なるが、ディスクの内外周でのデ
ィスクの移動距離とラインセンサの受光視野ｄとの和が
等しくなるため、ディスクの内周側と外周側との分解能
を実質的に均一にすることが可能となる。According to the sixth aspect of the invention, the moving distance R in the circumferential direction of the disc is between the outer peripheral side and the inner peripheral side of the disc.
Although 1 · θ and R2 · θ are different, the sum of the moving distance of the disc on the inner and outer peripheries of the disc and the light receiving field of view d of the line sensor becomes equal, so that the resolution on the inner and outer peripheries of the disc is substantially It becomes possible to make it uniform.
【００２１】請求項７記載の発明によれば、ディスクの
半径方向の位置によって異なる結像倍率に応じて像の照
度を均質にした好条件の下に、ディスクの外観検査を精
度よく行うことが可能となる。According to the seventh aspect of the invention, the visual inspection of the disc can be performed accurately under favorable conditions in which the illuminance of the image is made uniform according to the imaging magnification that varies depending on the radial position of the disc. It will be possible.
【００２２】請求項８記載の発明によれば、ディスクの
半径方向の位置によって異なる結像倍率に応じて像の照
度を均質にした好条件の下に、ディスクの外観検査を精
度よく行うことが可能となる。According to the eighth aspect of the present invention, the appearance inspection of the disc can be performed accurately under favorable conditions in which the illuminance of the image is made uniform according to the imaging magnification that varies depending on the radial position of the disc. It will be possible.
【００２３】[0023]
【実施例】本発明の第一の実施例を図１及び図２に基づ
いて説明する。図４において説明した部分と同一部分は
同一符号を用いて説明する。図１（ａ）は正面図、同図
（ｂ）はディスクの外周側の画像を読み取る状態を示す
側面図、同図（ｃ）はディスクの内周側の画像を読み取
る状態を示す側面図である。図２は図１のディスクとラ
インセンサの受光視野との関係を示す平面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those described in FIG. 4 will be described using the same reference numerals. 1A is a front view, FIG. 1B is a side view showing a state of reading an image on the outer peripheral side of the disc, and FIG. 1C is a side view showing a state of reading an image on the inner peripheral side of the disc. is there. FIG. 2 is a plan view showing the relationship between the disc of FIG. 1 and the light-receiving field of view of the line sensor.
【００２４】図１、図２において、１は透光性の合成樹
脂により成形されたディスクである。このディスク１を
回転させるディスク駆動部２は、モータ３とこのモータ
３の回転軸４に直結されたハブ５とよりなり、このハブ
５にディスク１が着脱自在に保持される。モータ３の近
傍には、ディスク１の半径方向に長いライン型の照明光
源６が設けられ、この照明光源６の上方には、長手方向
をディスク１上の半径方向に一致させたラインセンサ７
を有してディスク１上の画像を撮像するカメラ８が設け
られている。また、ディスク１とラインセンサ７との間
には、軸対称の撮像レンズ９と倍率変換用のアナモフィ
ックレンズ１０，１１とを組み合わせた撮像光学系１２
が設けられている。In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 is a disc molded of a transparent synthetic resin. The disk drive unit 2 for rotating the disk 1 comprises a motor 3 and a hub 5 directly connected to a rotation shaft 4 of the motor 3, and the disk 1 is detachably held by the hub 5. A line type illumination light source 6 which is long in the radial direction of the disc 1 is provided in the vicinity of the motor 3, and a line sensor 7 whose longitudinal direction is aligned with the radial direction on the disc 1 is provided above the illumination light source 6.
A camera 8 for capturing an image on the disc 1 is provided. Further, between the disc 1 and the line sensor 7, an imaging optical system 12 in which an axially symmetric imaging lens 9 and magnification conversion anamorphic lenses 10 and 11 are combined.
Is provided.
【００２５】これらのアナモフィックレンズ１０，１１
は、ディスク１の周方向のみにパワーを有するシリンダ
ーレンズであり、撮像光学系１２の主点（主面）の位置
は、図１に示すように、ディスク１の外周（又は内周）
でディスク１に近く、ディスク１の内周（又は外周）で
ラインセンサ７に近くなるように徐々に変化している。These anamorphic lenses 10, 11
Is a cylinder lens having power only in the circumferential direction of the disc 1, and the position of the principal point (principal surface) of the imaging optical system 12 is the outer circumference (or inner circumference) of the disc 1 as shown in FIG.
Is gradually changed so as to be closer to the disk 1 and closer to the line sensor 7 on the inner circumference (or outer circumference) of the disk 1.
【００２６】ここで、ｆを撮像光学系１２の焦点距離、
ａを物体側距離、ｂを像側距離とすると、結像関係は、 １／ａ＋１／ｂ＝１／ｆ となる。また、ディスク１の有効領域において、図１に
示すように、ａｉを最内周での物体側距離、ａｏを最外
周での物体側距離、ｂｉを最内周側での像側距離、ｂｏ
を最外周での像側距離、最内周での結像倍率をｍｉ、最
外周での結像倍率をｍｏとすると、 ｍｉ＝ｂｉ／ａｉ，ｍｏ＝ｂｏ／ａｏ なる式が成立する。Where f is the focal length of the image pickup optical system 12,
When a is the object-side distance and b is the image-side distance, the imaging relationship is 1 / a + 1 / b = 1 / f. Further, in the effective area of the disk 1, as shown in FIG. 1, ai is the object side distance at the innermost circumference, ao is the object side distance at the outermost circumference, bi is the image side distance at the innermost circumference side, and bo
Where mi is the image-side distance at the outermost circumference, mi is the imaging magnification at the innermost circumference, and mo is the imaging magnification at the outermost circumference, the equations mi = bi / ai, mo = bo / ao are established.
【００２７】そこで、最内周での結像倍率ｍｉから最外
周での結像倍率ｍｏへと、ディスク１の半径方向に応じ
て周方向の焦点距離が変化しているアナモフィックレン
ズ１０，１１と、軸対称の撮像レンズ９とを組み合わせ
て撮像光学系１２を構成し、ディスク１の半径方向の各
位置の画像が、ディスク１の半径方向の位置に応じた周
方向の結像倍率ｍでラインセンサ７の受光面で結像する
ように構成することにより、撮像光学系１２の解像力
が、読取ピッチが密なディスク１の内周側では粗く読取
ピッチが粗い外周側では密となる。これにより、ディス
ク１回転による周方向の分解能を、相対的に内周方向で
は高め外周側では低くし、従来例に比して周方向の分解
能をより均質にすることが可能となる。これは請求項２
記載の発明に対応する効果である。また、アナモフィッ
クレンズ１０，１１は撮像ラインに沿った細長い形状で
あるため、物理的な占有空間を小さくすることができ
る。Therefore, the anamorphic lenses 10 and 11 in which the focal length in the circumferential direction changes in accordance with the radial direction of the disc 1 from the imaging magnification mi at the innermost circumference to the imaging magnification mo at the outermost circumference. The image pickup optical system 12 is configured by combining the axially symmetric image pickup lens 9, and the image at each position in the radial direction of the disc 1 is lined with the imaging magnification m in the circumferential direction according to the radial position of the disc 1. By forming an image on the light-receiving surface of the sensor 7, the resolving power of the imaging optical system 12 is coarse on the inner peripheral side of the disc 1 where the reading pitch is dense and is dense on the outer peripheral side where the reading pitch is coarse. As a result, the resolution in the circumferential direction due to one rotation of the disk can be relatively increased in the inner circumferential direction and decreased in the outer circumferential side, and the circumferential resolution can be made more uniform as compared with the conventional example. This is claim 2
This is an effect corresponding to the described invention. Further, since the anamorphic lenses 10 and 11 have an elongated shape along the imaging line, the physical occupied space can be reduced.
【００２８】ここで、ディスク１の内周側の結像倍率ｍ
ｉより外周側の結像倍率ｍｏの方を大きく（ｍｏ＞ｍ
ｉ）定めることにより、ラインセンサ７上での物体面
は、ディスク１の内周で大きく外周で小さく結像され
る。したがって、撮像光学系１２の周方向の解像力は、
ディスク１の内周側で低く外周で高くなるので、ディス
ク１の回転による周方向の分解能を、相対的にディスク
１の内周側で低く外周側で高くし、従来例に比して均質
な周方向分解能を得ることができる。これは、請求項４
記載の発明に対応する効果である。Here, the imaging magnification m on the inner peripheral side of the disk 1
The imaging magnification mo on the outer peripheral side is larger than i (mo> m
i) By defining, the object plane on the line sensor 7 is imaged large on the inner circumference of the disk 1 and small on the outer circumference. Therefore, the resolution of the imaging optical system 12 in the circumferential direction is
Since the inner circumference of the disk 1 is low and the outer circumference is high, the resolution in the circumferential direction due to the rotation of the disk 1 is relatively low on the inner circumference side of the disk 1 and high on the outer circumference side, and is more uniform than the conventional example. Circumferential resolution can be obtained. This is claim 4.
This is an effect corresponding to the described invention.
【００２９】さらに、図２に示すように、ディスク１の
有効領域の最内周の半径をＲ１、最外周の半径をＲ２、
ディスク１がラインセンサ７のライン周波数Ｆの逆数に
対応する時間δｔに回転する角度をθ、ディスク１の最
内周での結像倍率をｍｉ、ディスク１の最外周での結像
倍率をｍｏとした場合に、 Ｒ１・θ／ｍｉ＝Ｒ２・θ／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系１２とすることにより、
デイスク１の内外周の周速度の違いに関わらず、周方向
分解能を略等しくすることが可能となる。これにより、
ディスク１の欠陥を検査する場合に、周方向に均質の欠
陥抽出が可能である。これは、請求項５記載の発明に対
応する効果である。Further, as shown in FIG. 2, the innermost radius of the effective area of the disk 1 is R1, the outermost radius is R2,
The angle at which the disk 1 rotates at a time δt corresponding to the reciprocal of the line frequency F of the line sensor 7 is θ, the imaging magnification at the innermost circumference of the disk 1 is mi, and the imaging magnification at the outermost circumference of the disk 1 is mo. In this case, by setting the image pickup optical system 12 that satisfies the condition of R1 · θ / mi = R2 · θ / mo,
It is possible to make circumferential resolutions substantially equal to each other regardless of the difference in circumferential speed between the inner and outer circumferences of the disk 1. This allows
When inspecting for defects on the disk 1, it is possible to extract defects that are uniform in the circumferential direction. This is an effect corresponding to the invention of claim 5.
【００３０】さらに、前述したディスク１の内外周の半
径Ｒ１，Ｒ２、ディスク１の回転角θ、ディスク１の半
径方向の位置に対応する結像倍率ｍｉ，ｍｏの他に、図
２に示すように、ディスク１の最内周を撮像するライン
センサ７の画素の受光視野ｄ１、ディスク１の最外周を
撮像するラインセンサ７の画素の受光視野ｄ２を加えた
場合に、 ｄ１＋（Ｒ１・θ）／ｍｉ＝ｄ２＋（Ｒ２・θ）／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系１２とすることにより、
デイスク１の内外周の周速度の違いに関わらず、周方向
分解能を等しくすることが可能となる。これにより、デ
ィスク１の欠陥を検査する場合に、周方向に均質の欠陥
抽出が可能である。これは、請求項６記載の発明に対応
する効果である。Further, in addition to the above-mentioned inner and outer radiuses R1 and R2 of the disc 1, the rotation angle θ of the disc 1, and the imaging magnifications mi and mo corresponding to the radial position of the disc 1, as shown in FIG. In addition, when the light-receiving visual field d1 of the pixel of the line sensor 7 which images the innermost circumference of the disk 1 and the light-receiving visual field d2 of the pixel of the line sensor 7 which images the outermost circumference of the disk 1 are added to, d1 + (R1θ) By setting the imaging optical system 12 that satisfies the condition of / mi = d2 + (R2 · θ) / mo,
It is possible to equalize the circumferential resolution regardless of the difference in the circumferential speeds of the inner and outer circumferences of the disk 1. As a result, when inspecting for defects on the disk 1, it is possible to extract defects uniformly in the circumferential direction. This is an effect corresponding to the invention of claim 6.
【００３１】次に、本発明の第二の実施例を図３に基づ
いて説明する。図１及び図２において説明した前記実施
例と同一部分は同一符号を用いて説明する。図３（ａ）
は正面図、同図（ｂ）はディスクの外周側の画像を読み
取る状態を示す側面図である。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those of the embodiment described with reference to FIGS. 1 and 2 will be described using the same reference numerals. FIG. 3 (a)
Is a front view, and FIG. 6B is a side view showing a state in which an image on the outer peripheral side of the disc is read.
【００３２】本実施例において、ディスク１とラインセ
ンサ７との間に配設された撮像光学系１３は複数のアナ
モフィックレンズ１４，１５，１６を有し、ディスク１
の有効範囲の半径方向には一定の焦点距離を有するとと
もに、その半径方向の位置に応じて周方向の焦点距離を
順次変えたものである。このように構成することによ
り、各レンズ１４，１５，１６の収差補正や配置が容易
となり、高性能な撮像光学系１３を実現することが可能
となる。In this embodiment, the image pickup optical system 13 arranged between the disc 1 and the line sensor 7 has a plurality of anamorphic lenses 14, 15 and 16, and the disc 1
In addition to having a fixed focal length in the radial direction of the effective range, the focal length in the circumferential direction is sequentially changed according to the position in the radial direction. With this configuration, the aberrations of the lenses 14, 15 and 16 can be easily corrected and arranged, and the high-performance imaging optical system 13 can be realized.
【００３３】また、これまで述べたように、ディスク１
の半径方向の位置に応じて結像倍率を変える場合に、デ
ィスク１上において均一の照明照度では、結像倍率が小
さい部分の像照度が高く、結像倍率が大きい部分の像照
度が低くなり、結果的に像の分解能に違いが生ずる。そ
こで、ディスク１の被検面の照明を、結像倍率が小さい
部分での照度を相対的に低く、結像倍率が大きい部分で
の照度を高くすることにより、均質的な像の照度を得る
ことができる。これにより、ディスクの外観検査を精度
よく行うことが可能となる。As described above, the disk 1
When the imaging magnification is changed according to the position in the radial direction of, the uniform illumination illuminance on the disc 1 results in a high image illuminance in a portion having a small imaging magnification and a low image illuminance in a portion having a large imaging magnification. As a result, a difference in image resolution occurs. Therefore, by illuminating the surface to be inspected of the disc 1 with a relatively low illuminance in a portion having a small image forming magnification and a high illuminance in a portion having a large image forming magnification, a uniform image illuminance is obtained. be able to. This makes it possible to perform a visual inspection of the disc with high accuracy.
【００３４】また、ディスク１の半径方向に均等な強さ
の光を発光するライン型の照明光源６を用いる場合に
は、ディスク１の半径方向の位置で異なる結像倍率をｍ
とした場合に、ディスク１に対する照度が１／（１＋
ｍ）2 に反比例するように、照明光源６をディスク１の
被検面に対して傾けて配設することにより、均質的な像
の照度を得ることができる。これにより、ディスクの外
観検査を精度よく行うことが可能となる。Further, when the line type illumination light source 6 which emits light of uniform intensity in the radial direction of the disc 1 is used, different imaging magnifications are set at different positions in the radial direction of the disc 1.
In this case, the illuminance on the disc 1 is 1 / (1+
By arranging the illumination light source 6 so as to be inversely proportional to m) 2 with respect to the surface to be inspected of the disk 1, it is possible to obtain a uniform image illuminance. This makes it possible to perform a visual inspection of the disc with high accuracy.
【００３５】以上、ディスク１を回転させ、ディスク１
の半径方向に沿って配置したラインセンサ７によりディ
スク１を撮像し、撮像結果により異常を判定するように
したディスク外観検査方法及びディスク外観検査装置に
おいて、ディスク１の半径方向分解能は均一であること
を前提とし、周方向分解能を対象に、ラインセンサ７の
画素の受光する被検面の周方向範囲を、周速度の速い外
周において小さく、周速度の遅い内周において大きくす
るアナモフィック光学系を用いて、ディスク１の内周と
外周との周方向の相対的画像入力分解能を均等化するこ
とについて述べたが、請求項１の発明は、ディスク１の
半径方向の位置に応じて任意に結像倍率を変化させても
よい。As described above, the disk 1 is rotated and the disk 1 is rotated.
In the disk visual inspection method and the disk visual inspection apparatus in which the line sensor 7 arranged along the radial direction of FIG. 1 images the disk 1 and an abnormality is determined based on the imaging result, the radial resolution of the disk 1 is uniform. Assuming that the anamorphic optical system is used for the circumferential resolution, the circumferential range of the surface to be detected by the pixels of the line sensor 7 is small at the outer circumference with a high peripheral speed and large at the inner circumference with a slow peripheral speed. The equalization of the relative image input resolution in the circumferential direction between the inner circumference and the outer circumference of the disk 1 has been described above. However, the invention of claim 1 forms an image arbitrarily according to the radial position of the disk 1. The magnification may be changed.
【００３６】これにより、例えば、ハイブリットＣＤメ
ディアのように、内周と中央部分との検査規格が異なる
ディスクを検査する場合には、ディスクの半径方向の位
置に合った検査規格に応じて結像倍率を定めることによ
り、欠陥検出ミス、過剰欠陥検出を防止することができ
る。As a result, for example, in the case of inspecting a disc such as a hybrid CD medium in which the inspection standards of the inner circumference and the central part are different, an image is formed in accordance with the inspection standard which matches the radial position of the disc. By determining the magnification, it is possible to prevent erroneous defect detection and excessive defect detection.
【００３７】[0037]
【発明の効果】請求項１記載の発明は、ディスクの半径
方向の位置に応じて結像倍率を変えた撮像光学系によ
り、ディスクの情報をラインセンサに結像するようにし
たので、ディスクの内周と外周とでは周速度が異なって
も、半径方向の解像度を適正にしてディスク全面の画像
を入力することができ、さらに、ディスクの半径方向の
位置によって外観検査の検査規格が異なる場合でも、デ
ィスクの半径方向における結像倍率を任意に定めること
により、最適な検査を実施することができる。According to the first aspect of the present invention, the information of the disc is imaged on the line sensor by the imaging optical system in which the imaging magnification is changed according to the radial position of the disc. Even if the inner and outer rims have different peripheral velocities, it is possible to input the image of the entire surface of the disc with proper radial resolution, and even if the visual inspection standard differs depending on the radial position of the disc. Optimum inspection can be performed by arbitrarily setting the imaging magnification in the radial direction of the disk.
【００３８】請求項２記載の発明は、軸対称の撮像レン
ズと、ディスクの半径方向の位置に応じて周方向の焦点
距離を変えたアナモフィックレンズとを組み合わせた撮
像光学系を前記ディスクと前記ラインセンサとの間に配
設したので、撮像光学系の解像力が、読取ピッチが密な
ディスクの内周側では粗く読取ピッチが粗い外周側では
密となるため、ディスク回転による周方向の分解能を、
相対的に内周方向では高め外周側では低くし、従来例に
比して周方向の分解能をより均質にすることができる。According to a second aspect of the present invention, there is provided an image pickup optical system in which an axially symmetric image pickup lens and an anamorphic lens whose focal length in the circumferential direction is changed in accordance with the radial position of the disc are combined. Since it is arranged between the sensor and the sensor, the resolving power of the imaging optical system is coarse on the inner circumference side of the disc where the reading pitch is dense and is dense on the outer circumference side where the reading pitch is coarse.
By making it relatively high in the inner circumferential direction and low in the outer circumferential side, the resolution in the circumferential direction can be made more uniform as compared with the conventional example.
【００３９】請求項３記載の発明は、ディスクの有効範
囲の半径方向には一定の焦点距離を有するとともに、そ
の半径方向の位置に応じて周方向の焦点距離を変えたア
ナモフィックレンズを用いた撮像光学系を用いることに
より、撮像光学系の各レンズの収差補正や配置が容易と
なり、高性能な撮像光学系を実現することができる。According to a third aspect of the present invention, imaging is performed using an anamorphic lens which has a fixed focal length in the radial direction of the effective range of the disc and which has a circumferential focal length changed according to the radial position. By using the optical system, aberration correction and arrangement of each lens of the imaging optical system can be facilitated, and a high-performance imaging optical system can be realized.
【００４０】請求項４記載の発明は、ディスクの有効範
囲の半径方向の位置に応じて内周側より外周側で結像倍
率が大きくなる撮像光学系を前記ディスクと前記ライン
センサとの間に配設したので、撮像光学系の解像力が、
読取ピッチが密なディスクの内周側では粗く読取ピッチ
が粗い外周側では密となるため、ディスク回転による周
方向の分解能を、相対的に内周方向では高め外周側では
低くし、従来例に比して周方向の分解能をより均質にす
ることができる。According to a fourth aspect of the present invention, an image pickup optical system having an image forming magnification on the outer peripheral side rather than the inner peripheral side is increased between the disc and the line sensor in accordance with the radial position of the effective range of the disc. Since it is arranged, the resolution of the imaging optical system is
Since the inner side of a disc with a dense reading pitch is coarse and the outer side with a coarse reading pitch is dense, the resolution in the circumferential direction due to disc rotation is relatively high in the inner circumferential direction and low in the outer circumferential side. In comparison, the circumferential resolution can be made more uniform.
【００４１】請求項５記載の発明は、ディスクの有効領
域の最内周の半径をＲ１、最外周の半径をＲ２、ディス
クがラインセンサのライン周波数Ｆの逆数に対応する時
間δｔに回転する角度をθ、ディスクの最内周での結像
倍率をｍｉ、ディスクの最外周での結像倍率をｍｏとし
た場合に、 Ｒ１・θ／ｍｉ＝Ｒ２・θ／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系を用いることにより、デ
ィスクの外周側と内周側とでは、ディスクの周方向の移
動距離Ｒ１・θ，Ｒ２・θが異なるが、結像倍率をディ
スクの移動距離に反比例して定めることにより、ディス
クの内周側と外周側との分解能を実質的に均一にするこ
とができる。According to a fifth aspect of the present invention, the radius of the innermost circumference of the effective area of the disc is R1, the radius of the outermost circumference is R2, and the angle at which the disc rotates at time δt corresponding to the reciprocal of the line frequency F of the line sensor. Is θ, the imaging magnification at the innermost circumference of the disc is mi, and the imaging magnification at the outermost circumference of the disc is mo, the imaging optics satisfying the condition of R1 · θ / mi = R2 · θ / mo. By using the system, the outer peripheral side and the inner peripheral side of the disc have different moving distances R1.theta., R2.theta. In the circumferential direction of the disc, but the imaging magnification is determined in inverse proportion to the moving distance of the disc. , The resolution on the inner and outer circumference sides of the disk can be made substantially uniform.
【００４２】請求項６記載の発明は、ディスクの有効領
域の最内周の半径をＲ１、最外周の半径をＲ２、ディス
クがラインセンサのライン周波数Ｆの逆数に対応する時
間δｔに回転する角度をθ、ディスクの最内周を撮像す
るラインセンサの画素の受光視野をｄ１、ディスクの最
外周を撮像するラインセンサの画素の受光視野をｄ２、
ディスクの最内周での結像倍率をｍｉ、ディスクの最外
周での結像倍率をｍｏとした場合に、 ｄ１＋（Ｒ１・θ）／ｍｉ＝ｄ２＋（Ｒ２・θ）／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系を用いることにより、デ
ィスクの外周側と内周側とでは、ディスクの周方向の移
動距離Ｒ１・θ，Ｒ２・θが異なるが、ディスクの内外
周でのディスクの移動距離とラインセンサの受光視野ｄ
との和が等しくなるため、ディスクの内周側と外周側と
の分解能を実質的に均一にすることができる。According to a sixth aspect of the present invention, the radius of the innermost circumference of the effective area of the disc is R1, the radius of the outermost circumference is R2, and the angle at which the disc rotates at time δt corresponding to the reciprocal of the line frequency F of the line sensor. Is θ, d1 is the light receiving field of view of the pixels of the line sensor that captures the innermost circumference of the disc, and d2 is the light receiving field of view of the pixels of the line sensor that captures the outermost circumference of the disc.
When the imaging magnification at the innermost circumference of the disc is mi and the imaging magnification at the outermost circumference of the disc is mo, the condition of d1 + (R1.theta) / mi = d2 + (R2.theta) / mo is satisfied. By using the image pickup optical system, the moving distances R1.theta. And R2.theta. In the circumferential direction of the disk are different between the outer circumference side and the inner circumference side of the disk, but the moving distance and line of the disk at the inner and outer circumferences of the disk are different. Light receiving field of the sensor d
Therefore, the resolutions on the inner and outer circumference sides of the disk can be made substantially uniform.
【００４３】請求項７記載の発明は、ディスクを照明す
る照度を、結像倍率の小さい部分に対して結像倍率が大
きい部分を相対的に高く設定した照明光源を設けたの
で、ディスクを内周側と外周側とで異なる結像倍率に応
じて像の照度を均質にした好条件の下にディスクの外観
を検査することができる。According to the seventh aspect of the invention, since the illumination light source is provided in which the illuminance for illuminating the disc is set to be relatively high in a portion having a large image-forming magnification with respect to a portion having a small image-forming magnification, the disk is internally protected. The appearance of the disc can be inspected under favorable conditions in which the illuminance of the image is made uniform according to the different imaging magnifications on the peripheral side and the peripheral side.
【００４４】請求項８記載の発明は、ディスクの半径方
向の位置で異なる結像倍率をｍとした場合に、ディスク
に対する照度が１／（１＋ｍ）2 に反比例するように、
ライン型の照明光源を用いることにより、ディスクを内
周側と外周側とで異なる結像倍率に応じて像の照度を均
質にした好条件の下にディスクの外観を検査することが
できる。According to the eighth aspect of the present invention, when the image forming magnification different at the radial position of the disc is m, the illuminance on the disc is inversely proportional to 1 / (1 + m) 2 .
By using the line type illumination light source, the appearance of the disc can be inspected under favorable conditions in which the illuminance of the image is made uniform according to the different imaging magnifications on the inner circumference side and the outer circumference side.
【図１】本発明の第一の実施例を示すもので、（ａ）は
正面図、（ｂ）はディスクの外周側の画像を読み取る状
態を示す側面図、（ｃ）はディスクの内周側の画像を読
み取る状態を示す側面図である。1A and 1B show a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a front view, FIG. 1B is a side view showing a state where an image on the outer peripheral side of a disc is read, and FIG. It is a side view which shows the state which reads the image of the side.
【図２】ディスクとラインセンサの受光視野との関係を
示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a relationship between a disc and a light-receiving visual field of a line sensor.
【図３】（ａ）は正面図、（ｂ）はディスクの外周側の
画像を読み取る状態を示す側面図である。3A is a front view, and FIG. 3B is a side view showing a state in which an image on the outer peripheral side of the disc is read.
【図４】従来例におけるディスクとラインセンサの受光
視野との関係を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a relationship between a disc and a light-receiving visual field of a line sensor in a conventional example.
【図５】移動物体の移動距離と分解能との関係を示す説
明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a relationship between a moving distance of a moving object and resolution.
１ ディスク ６ 照明光源 ７ ラインセンサ １０，１１ アナモフィックレンズ １２，１３ 撮像光学系 １４〜１６ アナモフィックレンズ 1 Disc 6 Illumination Light Source 7 Line Sensor 10, 11 Anamorphic Lens 12, 13 Imaging Optical System 14-16 Anamorphic Lens
Claims (8)
径方向に沿って配置したラインセンサにより前記ディス
クを撮像し、撮像結果により異常を判定するようにした
ディスク外観検査方法において、前記ディスクの半径方
向の位置に応じて結像倍率を変えた撮像光学系により、
前記ディスクの情報を前記ラインセンサに結像するよう
にしたことを特徴とするディスク外観検査方法。1. A disk appearance inspection method, wherein a disk is rotated, a line sensor arranged along the radial direction of the disk is used to image the disk, and an abnormality is determined based on the imaging result. By the imaging optical system that changes the imaging magnification according to the position of
A disc appearance inspection method, wherein the information of the disc is imaged on the line sensor.
径方向に沿って配置したラインセンサにより前記ディス
クを撮像し、撮像結果により異常を判定するようにした
ディスク外観検査装置において、軸対称の撮像レンズ
と、前記ディスクの半径方向の位置に応じて周方向の焦
点距離を変えたアナモフィックレンズとを組み合わせた
撮像光学系を前記ディスクと前記ラインセンサとの間に
配設したことを特徴とするディスク外観検査装置。2. An axially symmetric image pickup lens in a disc visual inspection apparatus, wherein a disc is rotated, a line sensor arranged along a radial direction of the disc picks up an image of the disc, and an abnormality is determined based on an image pickup result. And an imaging optical system in which an anamorphic lens whose focal length in the circumferential direction is changed according to the radial position of the disc is combined between the disc and the line sensor. Inspection device.
径方向に沿って配置したラインセンサにより前記ディス
クを撮像し、撮像結果により異常を判定するようにした
ディスク外観検査装置において、前記ディスクの有効範
囲の半径方向には一定の焦点距離を有するとともに、そ
の半径方向の位置に応じて周方向の焦点距離を変えたア
ナモフィックレンズを用いた撮像光学系を前記ディスク
と前記ラインセンサとの間に配設したことを特徴とする
ディスク外観検査装置。3. An effective range of the disk in a disk appearance inspection device, wherein the disk is rotated, and the disk is imaged by a line sensor arranged along a radial direction of the disk, and an abnormality is determined based on an imaging result. Has a fixed focal length in the radial direction, and an imaging optical system using an anamorphic lens whose focal length in the circumferential direction is changed according to the radial position is arranged between the disc and the line sensor. A disk appearance inspection device characterized by the above.
径方向に沿って配置したラインセンサにより前記ディス
クを撮像し、撮像結果により異常を判定するようにした
ディスク外観検査装置において、前記ディスクの有効範
囲の半径方向の位置に応じて内周側より外周側で結像倍
率が大きくなる撮像光学系を前記ディスクと前記ライン
センサとの間に配設したことを特徴とするディスク外観
検査装置。4. An effective range of the disk in a disk appearance inspection device, wherein the disk is rotated, a line sensor arranged along a radial direction of the disk captures the image of the disk, and an abnormality is determined based on an imaging result. A disc appearance inspection apparatus, wherein an image pickup optical system having an image forming magnification which is larger on an outer peripheral side than on an inner peripheral side is arranged between the disc and the line sensor in accordance with a position in the radial direction.
１、最外周の半径をＲ２、前記ディスクがラインセンサ
のライン周波数Ｆの逆数に対応する時間δｔに回転する
角度をθ、前記ディスクの最内周での結像倍率をｍｉ、
前記ディスクの最外周での結像倍率をｍｏとした場合
に、 Ｒ１・θ／ｍｉ＝Ｒ２・θ／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系を設けたことを特徴とす
る請求項３又は４記載のディスク外観検査装置。5. The radius of the innermost circumference of the effective area of the disk is R
1, the radius of the outermost circumference is R2, the angle at which the disk rotates for a time δt corresponding to the reciprocal of the line frequency F of the line sensor is θ, the imaging magnification at the innermost circumference of the disk is mi,
5. An imaging optical system is provided that satisfies the condition of R1.theta./mi=R2.theta./mo when the imaging magnification at the outermost periphery of the disc is mo. Disc visual inspection device.
１、最外周の半径をＲ２、前記ディスクがラインセンサ
のライン周波数Ｆの逆数に対応する時間δｔに回転する
角度をθ、前記ディスクの最内周を撮像する前記ライン
センサの画素の受光視野をｄ１、前記ディスクの最外周
を撮像する前記ラインセンサの画素の受光視野をｄ２、
前記ディスクの最内周での結像倍率をｍｉ、前記ディス
クの最外周での結像倍率をｍｏとした場合に、 ｄ１＋（Ｒ１・θ）／ｍｉ＝ｄ２＋（Ｒ２・θ）／ｍｏ なる条件を満足する撮像光学系を設けたことを特徴とす
る請求項３又は４記載のディスク外観検査装置。6. The radius of the innermost circumference of the effective area of the disk is R
1, the radius of the outermost circumference is R2, the angle at which the disk rotates at a time δt corresponding to the reciprocal of the line frequency F of the line sensor is θ, and the light receiving field of view of the pixels of the line sensor for imaging the innermost circumference of the disk is d1, the light-receiving field of view of the pixels of the line sensor for imaging the outermost periphery of the disc, d2,
When the imaging magnification at the innermost circumference of the disc is mi and the imaging magnification at the outermost circumference of the disc is mo, the condition of d1 + (R1 · θ) / mi = d2 + (R2 · θ) / mo 5. The disc visual inspection apparatus according to claim 3, further comprising an image pickup optical system satisfying the above condition.
小さい部分に対して結像倍率の大きい部分を相対的に高
く設定した照明光源を設けたことを特徴とする請求項
１，２，３，４，５又は６記載のディスク外観検査装
置。7. An illumination light source is provided, wherein an illuminance for illuminating a disk is set such that a portion having a large image forming magnification is set relatively high with respect to a portion having a small image forming magnification. The disk appearance inspection device according to 3, 4, 5 or 6.
倍率をｍとした場合に、ディスクに対する照度が１／
（１＋ｍ）2 に反比例するように、ライン型の照明光源
を前記ディスクの被検面に対して傾けて配設したことを
特徴とする請求項１，２，３，４，５，６又は７記載の
ディスク外観検査装置。8. The illuminance on the disc is 1 / where m is the different imaging magnification at the radial position of the disc.
The line-type illumination light source is arranged so as to be inversely proportional to (1 + m) 2 with respect to the surface to be inspected of the disk. The disk appearance inspection device described.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011122649A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Surface inspection device and surface inspection method |
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1995
- 1995-03-24 JP JP06546095A patent/JP3375229B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2011209148A (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Hitachi High-Technologies Corp | Surface inspection device and surface inspection method |
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