JPH0825632A - Ink jet record head - Google Patents

Ink jet record head

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JPH0825632A
JPH0825632A JP18773894A JP18773894A JPH0825632A JP H0825632 A JPH0825632 A JP H0825632A JP 18773894 A JP18773894 A JP 18773894A JP 18773894 A JP18773894 A JP 18773894A JP H0825632 A JPH0825632 A JP H0825632A
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ink
compliance
nozzle opening
ink supply
supply port
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Tsuyoshi Kitahara
強 北原
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To restrain vibration at a thin part of a vibrating plate after an ink is discharged, by distributing proportion ally compliance of the whole vibrating plate to a nozzle opening side and an ink supply opening side such that the compliance at both sides are substantially the same. CONSTITUTION:When discharging of ink is completed and a piezoelectric vibrator 8 contracts to,an original state, a pressure generating chamber 4 expands, so that an ink flows in the pressure generating chamber 4 from a common ink chamber 6 through an ink supply opening 5, and a preparation is made for generation of next ink drops. In this case, a mass body 20 is added to a thin part 10 and compliance at both sides of the pressure generating chamber 4 which sandwiches the piezoelectric vibrator 8 is adjusted so as to be substantially the same. Accordingly, an energy which is released at a nozzle opening side and an energy which is released at the ink supply opening side become the same in magnitude, so that reciprocal movements do not occur. As a result, high-frequency vibration which vibrates meniscus is not generated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、一端にインク供給口、
他端にノズル開口が連通する圧力発生室を、圧電振動子
により膨張収縮させて、圧力発生室内のインクを吐出さ
せるインクジェット式記録ヘッドの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an ink supply port at one end,
The present invention relates to a structure of an ink jet recording head that expands and contracts a pressure generating chamber whose nozzle opening communicates with the other end by a piezoelectric vibrator to eject ink in the pressure generating chamber.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、1枚の基板に複数のノズ
ル開口を配置したいわゆるマルチノズル型インクジェッ
ト式記録ヘッドは、複数のノズル開口が穿設されたノズ
ルプレートと、圧力発生室やインク供給流路を区画する
スペーサ、及び他方の面を封止する第2プレートを積
層、固定し、圧電振動子により圧力発生室に圧力を発生
させ、この圧力を第2プレート等の弾性に基づくコンプ
ライアンスにより蓄圧して、エネルギの有効利用を図り
ながらインク滴を飛翔させるように構成されている。
2. Description of the Related Art As is well known, a so-called multi-nozzle type ink jet recording head in which a plurality of nozzle openings are arranged on one substrate is provided with a nozzle plate having a plurality of nozzle openings, a pressure generating chamber and ink. A spacer that partitions the supply flow path and a second plate that seals the other surface are stacked and fixed, and a pressure is generated in the pressure generating chamber by the piezoelectric vibrator, and this pressure is compliant with elasticity of the second plate and the like. By accumulating the pressure, the ink droplets are ejected while the energy is effectively used.

【0003】そして、記録ヘッドの記録密度の向上を図
るためにノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあ
り、これに伴って圧力発生室のサイズも小さくならざる
を得ない。このような圧力発生室の微小化にともなっ
て、圧力発生源を圧電振動子に頼るインクジェット式記
録ヘッドにあっては、圧電振動子の変位量を大きくでき
ることから長手方向に伸縮する、いわゆる縦振動モード
の圧電振動子が好都合である。
In order to improve the recording density of the recording head, the pitch of the nozzle opening row tends to be small, and the size of the pressure generating chamber must be reduced accordingly. With such miniaturization of the pressure generating chamber, in an ink jet recording head that relies on a piezoelectric vibrator as a pressure generating source, the amount of displacement of the piezoelectric vibrator can be increased, so that the piezoelectric vibrator expands and contracts in the longitudinal direction. A mode piezoelectric vibrator is convenient.

【0004】図7(イ)は、上述したような縦振動モー
ドの圧電振動子を用いたインクジェット式記録ヘッドの
一例を示すものであって、圧力発生室Aを形成する振動
板Bには、圧電振動子Cの押圧を受けるアイランド部D
と、これを挟んでノズル開口Eとインク供給口F側とに
薄肉部G、Hを設け、これら薄肉部G、Hによりインク
吐出に必要なコンプライアンスを確保するように構成さ
れている。このような構成を採ると、同図(ロ)に示し
たようにインク吐出のために圧電振動子Cが伸長する
と、圧力発生室Aに生じた3気圧程度の圧力により薄肉
部G、Hが外側にたわんでエネルギを溜めつつ、ノズル
開口Eからインク滴を吐出させる。インク滴吐出終了後
に圧電振動子Cが元の状態に収縮すると、各薄肉部G、
Hに蓄積された弾性エネルギが開放されることになる。
これら各薄肉部G、Hは、容量として機能し、また圧力
発生室A全体のインクが質量として機能するため、各薄
肉部Gと薄肉部Hとの間のエネルギの差により圧力発生
室Aのインクに弾性振動が生じることになる。この振動
は、圧力波となって各薄肉部G、H間を10のマイナス
6乗秒程度の周期で薄肉部G、Hの間を交互に伝搬し薄
肉部G、Hを振動させる(ハ、ニ)。この振動は圧力発
生室Aに連通するノズル開口Eのメニスカスを高速で振
動させることになり、ノズル開口Eからインクミストが
生じて記録用紙を汚染したり、またひどい場合には圧力
発生室内に気泡を引き込んで印刷を不可能にするという
問題がある。
FIG. 7A shows an example of an ink jet type recording head using the piezoelectric vibrator of the vertical vibration mode as described above. The vibration plate B forming the pressure generating chamber A is Island part D that receives the pressure of the piezoelectric vibrator C
The thin-walled portions G and H are provided on the nozzle opening E and the ink supply port F side with the thin-walled portions G and H sandwiched therebetween to ensure the compliance required for ink ejection. With such a configuration, when the piezoelectric vibrator C expands for ink ejection as shown in FIG. 7B, the thin portions G and H are generated by the pressure of about 3 atm generated in the pressure generating chamber A. Ink droplets are ejected from the nozzle openings E while flexing outward and collecting energy. When the piezoelectric vibrator C contracts to its original state after the ink droplet ejection is completed, each thin portion G,
The elastic energy stored in H is released.
The thin portions G and H function as a volume, and the ink in the entire pressure generating chamber A functions as a mass. Therefore, the difference in energy between the thin portion G and the thin portion H causes a difference in the pressure generating chamber A. Elastic vibration is generated in the ink. This vibration becomes a pressure wave and propagates alternately between the thin-walled portions G and H at a period of about 10 −6 seconds between the thin-walled portions G and H to vibrate the thin-walled portions G and H (C, D). This vibration vibrates the meniscus of the nozzle opening E communicating with the pressure generating chamber A at high speed, ink mist is generated from the nozzle opening E to contaminate the recording paper, and in severe cases, bubbles are generated in the pressure generating chamber. There is a problem in that printing is impossible by pulling in.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは、インク吐出後の振動板の薄肉部における振動を抑
制することができる新規なインクジェット式記録ヘッド
を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to suppress vibration in a thin portion of a diaphragm after ink is ejected. A new ink jet recording head is provided.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、リザーバ
を区画する通孔が穿設されたスペーサと、少なくともノ
ズル開口側とインク供給口側とにコンプライアンスを確
保するための薄肉部が形成され、また中央部にアイラン
ド部が形成された振動板とを積層するとともに、前記ア
イランド部を介して圧電振動子により前記圧力発生室を
圧縮して前記ノズル開口からインク滴を吐出させるイン
クジェット式記録ヘッドにおいて、前記振動板の全体の
コンプライアンスをノズル開口側とインク供給口側とで
実質的に同一となるように按分した。
In order to solve such a problem, according to the present invention, a nozzle plate having a nozzle opening and a through hole for partitioning a pressure generating chamber, an ink supply port and a reservoir are formed. The spacer provided and a diaphragm having a thin portion for ensuring compliance at least on the nozzle opening side and the ink supply port side, and a diaphragm having an island portion formed in the central portion are laminated, and the island portion is formed. In an ink jet type recording head that compresses the pressure generating chamber by a piezoelectric vibrator to eject ink droplets from the nozzle opening via, the overall compliance of the vibrating plate is substantially equal between the nozzle opening side and the ink supply port side. It was apportioned to be the same.

【0007】[0007]

【作用】加圧点を挟む両側のコンプライアンスがバラン
スしているため、振動板に蓄積される弾性エネルギが均
等となり、圧電振動子を挟む前後での圧力エネルギの移
動がなくなり、インク吐出後のメニスカスの高速振動が
発生せず、インクミストの発生が防止される。
Since the compliances on both sides of the pressurizing point are balanced, the elastic energy accumulated in the diaphragm becomes uniform, the pressure energy does not move before and after the piezoelectric vibrator is sandwiched, and the meniscus after ink ejection is completed. High-speed vibration does not occur and ink mist is prevented from occurring.

【0008】[0008]

【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図1、2は、それぞれ本発明の一
実施例を示すインクジェット式記録ヘッドの組立斜視図
と、断面図であって、図中符号1は、ノズル開口2、
2、2‥‥が穿設されたノズルプレート、3は、圧力発
生室4やインク供給口5、リザーバ6となる空間を区画
するスペーサ、7は、振動板で、これら各部材は積層さ
れて接合されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below with reference to the illustrated embodiments. 1 and 2 are respectively an assembly perspective view and a sectional view of an ink jet recording head showing an embodiment of the present invention, in which reference numeral 1 is a nozzle opening 2,
Nozzle plate 3 having holes 2, 2, ... Perforated, spacers for partitioning a space to be the pressure generating chamber 4, the ink supply port 5, and the reservoir 6, 7 is a vibration plate, and these members are laminated. It is joined.

【0009】図3は、前述の振動板7の一実施例を示す
ものであって、後述する圧電振動子8の伸長、収縮に各
圧力発生室4の一致して広い範囲が変形するように比較
的剛性の高いアイランド部9と、これを挟むようにして
ノズル開口側とインク供給口側にインク吐出に必要なコ
ンプライアンスを確保するための薄肉部10、11とが
形成されており、圧電振動子8がその先端をアイランド
部9に当接させて固定されている。
FIG. 3 shows an embodiment of the vibrating plate 7 described above, in which a wide range is deformed in conformity with the expansion and contraction of the piezoelectric vibrator 8 which will be described later, in conformity with each pressure generating chamber 4. The island portion 9 having a relatively high rigidity and the thin wall portions 10 and 11 for sandwiching the island portion 9 for ensuring compliance required for ink ejection are formed on the nozzle opening side and the ink supply port side. Is fixed by abutting its tip on the island portion 9.

【0010】再び図1、2に戻って図中符号8は、前述
した圧電振動子で、この実施例では複数の電極12、1
3と圧電材料14とを積層して、駆動信号が印加された
場合に図中矢印Aの方向に伸長するように構成されてお
り、固定板15を介して基台16に固定されている。こ
れら圧電振動子8、8、8‥‥は、1列のノズル開口数
以上のものを固定板15に一定のピッチで固定して圧電
振動ユニットとして構成されていて、基台16の振動子
収容孔18に落し込むことにより各圧電振動子8、8、
8‥‥が振動板7のアイランド部9、9、9‥‥に当接
するようになっている。
Returning to FIGS. 1 and 2 again, reference numeral 8 in the drawings denotes the above-described piezoelectric vibrator, and in this embodiment, a plurality of electrodes 12, 1
3 and the piezoelectric material 14 are laminated so as to extend in the direction of the arrow A in the drawing when a drive signal is applied, and are fixed to the base 16 via a fixing plate 15. These piezoelectric vibrators 8, 8, 8 ... Are configured as a piezoelectric vibration unit by fixing one row of nozzles having a numerical aperture greater than or equal to the fixed plate 15 at a fixed pitch. When the piezoelectric vibrators 8, 8,
.. are brought into contact with the island portions 9, 9, 9 ,.

【0011】これら振動板7、スペーサ3、ノズルプレ
ート1は、基台16の上面に順番に積層されて枠体19
により基台16に一体に固定されてインクジェット式記
録ヘッドに纏めめられている。
The vibrating plate 7, the spacer 3 and the nozzle plate 1 are sequentially laminated on the upper surface of the base 16 to form a frame body 19.
Are integrally fixed to the base 16 and integrated into an ink jet recording head.

【0012】図4は、上述したインクジェット式記録ヘ
ッドのノズル開口、圧力発生室、及び共通のインク室の
近傍を拡大して示す断面図であって、図中符号20は、
コンプライアンス調整用の質量体で、一方の薄肉部、こ
の実施例では、振動板7を構成した段階で、コンプライ
アンスが大きくなってしまったノズル開口側の薄肉部1
0に付加されており、ノズル開口側の薄肉部10のコン
プライアンスがインク供給口側の薄肉部11によるコン
プライアンスと同一、若しくは20パーセント程度低く
するために貼着されている。このような質量体を付加す
るには接着剤や蝋付け等の技術を用いることができる。
FIG. 4 is an enlarged sectional view showing the vicinity of the nozzle opening, the pressure generating chamber, and the common ink chamber of the above-mentioned ink jet type recording head.
The thin portion 1 on the nozzle opening side where compliance is increased when one of the thin portions, that is, the vibrating plate 7 in this embodiment, is formed by the mass body for compliance adjustment.
It is attached to make the compliance of the thin portion 10 on the nozzle opening side the same as that of the thin portion 11 on the ink supply port side, or about 20% lower. Techniques such as adhesives and brazing can be used to add such mass.

【0013】この実施例において、圧電振動子8に駆動
信号が印加されてこれが伸長変位すると、アイランド部
9を介してその変位が振動板7に伝達され、圧力発生室
4が圧縮される。これによりノズル開口側の薄肉部10
とインク供給口側の薄肉部11との両方の合計のコンプ
ライアンスによりノズル開口2から最適な形状、サイ
ズ、及び速度を持ったインク滴が吐出する。このとき、
圧力発生室4には通常3気圧程度の圧力が発生するた
め、図7(ロ)に示したのと同様に薄肉部10、11が
外側、つまり圧電振動素子8側にそれぞれ膨張して、圧
力エネルギの一部を一旦、貯えた後に開放することでイ
ンク滴を吐出する。
In this embodiment, when a drive signal is applied to the piezoelectric vibrator 8 and the piezoelectric vibrator 8 expands and displaces, the displacement is transmitted to the diaphragm 7 via the island portion 9 and the pressure generating chamber 4 is compressed. As a result, the thin portion 10 on the nozzle opening side
Ink droplets having an optimum shape, size, and speed are ejected from the nozzle openings 2 according to the total compliance of both the ink supply port side thin portion 11 and the ink supply port side thin portion 11. At this time,
Since a pressure of about 3 atm is usually generated in the pressure generating chamber 4, the thin-walled portions 10 and 11 expand to the outside, that is, to the piezoelectric vibrating element 8 side, respectively, as shown in FIG. An ink droplet is ejected by temporarily storing a part of the energy and then releasing the energy.

【0014】インク吐出が終了して圧電振動子8が元の
状態に収縮すると、圧力発生室4が膨張し、これにより
インク供給口5を経由して共通のインク室6から圧力発
生室4にインクが流れ込み、次のインク滴の発生に備え
る。
When the piezoelectric vibrator 8 contracts to its original state after the ink ejection is completed, the pressure generating chamber 4 expands, whereby the common ink chamber 6 moves from the common ink chamber 6 to the pressure generating chamber 4 via the ink supply port 5. Ink flows in and prepares for the next ink drop.

【0015】しかしながら、本発明においては薄肉部1
0に質量体20を付加して、圧電振動子8を挟む圧力発
生室4の両側のコンプライアンスが実質的に同一となる
ように調整されているので、ノズル開口側でで開放され
たエネルギとインク供給口側で開放されたエネルギとは
その大きさが同一となるため、相互の移動がなく、した
がってメニスカスを振動させるような高周波振動の発生
は起こらない。
However, in the present invention, the thin portion 1
Since the mass body 20 is added to 0, the compliances on both sides of the pressure generating chamber 4 sandwiching the piezoelectric vibrator 8 are adjusted to be substantially the same, the energy released on the nozzle opening side and the ink Since the magnitude of the energy released from the supply port side is the same as that of the energy released from the supply port side, there is no mutual movement, and therefore high-frequency vibration that vibrates the meniscus does not occur.

【0016】なお、メニスカスは、圧力発生室4の流体
特性により決まる5kHz乃至10kHz程度の比較的
低い周波数で自己振動を生じるが、このような流体特性
に起因するメニスカスの運動は、エネルギが極めて小さ
いからインクミストを発生させるまでには至らない。
The meniscus self-oscillates at a relatively low frequency of about 5 kHz to 10 kHz which is determined by the fluid characteristics of the pressure generating chamber 4. However, the movement of the meniscus caused by such fluid characteristics has extremely small energy. Does not lead to the generation of ink mist.

【0017】図5は、圧力発生室の全体のコンプライア
ンスを一定に保ちつつ、インク供給口側のコンプライア
ンスとノズル開口側のコンプライアンスとの割合と、イ
ンクミストの発生との相関関係を示す線図であって、図
中記号○はインクミストを発生しない場合を、また△は
インクミストを若干発生する場合を、さらに記号×はイ
ンクミストを確実に発生する場合をそれぞれ示す。な
お、各記号を結ぶ円弧状の曲線は、コンプライアンスが
一定であることを示す。
FIG. 5 is a diagram showing the correlation between the ratio of the compliance on the ink supply port side to the compliance on the nozzle opening side and the occurrence of ink mist while keeping the overall compliance of the pressure generating chamber constant. In the figure, the symbol ◯ indicates the case where ink mist is not generated, the symbol Δ indicates the case where ink mist is slightly generated, and the symbol x indicates the case where ink mist is surely generated. An arc-shaped curve connecting the symbols indicates that the compliance is constant.

【0018】図5からも明らかなように全体のコンプラ
イアンスが大きい程、振動周波数が低く、またノズル開
口側のコンプライアンスがインク供給口側のコンプライ
アンスと同等か、または20%程度小さい場合にはイン
クミストの発生を防止することができる。
As is clear from FIG. 5, the larger the overall compliance is, the lower the vibration frequency is, and when the compliance on the nozzle opening side is equal to or smaller than the compliance on the ink supply port side by about 20%, the ink mist is reduced. Can be prevented.

【0019】図6は、それぞれ上述したノズル開口側の
コンプライアンスとインク供給流路側のコンプライアン
スとの大きさを調整して加圧点を挟む2つの領域のコン
プライアンスのバランスをとるための具体的手段を示す
ものである。
FIG. 6 shows concrete means for adjusting the sizes of the compliance on the nozzle opening side and the compliance on the ink supply channel side, respectively, to balance the compliance of the two regions sandwiching the pressurizing point. It is shown.

【0020】図6(イ)に示した実施例は、圧力発生室
4の形状を変更することでコンプライアンスを調整する
もので、この実施例ではインク供給口側の圧力発生室4
の幅を若干くびれさせて小さくし、領域の薄肉部11の
コンプライアンスとノズル開口2側の薄肉部10のコン
プライアンスをほぼ同一とするようにしたものである。
In the embodiment shown in FIG. 6A, the compliance is adjusted by changing the shape of the pressure generating chamber 4. In this embodiment, the pressure generating chamber 4 on the ink supply port side is adjusted.
The width is narrowed slightly to make the compliance of the thin portion 11 in the region substantially the same as the compliance of the thin portion 10 on the nozzle opening 2 side.

【0021】図6(ロ)に示した実施例は、アイランド
部9の位置をΔLだけコンプライアンスが大きなインク
供給口5側に移動させて、ノズル開口2側の薄肉部10
コンプライアンスを大きく、またインク供給口5側の薄
給肉部11のコンプライアンスを小さくしてバランスを
取ったものである。
In the embodiment shown in FIG. 6B, the position of the island portion 9 is moved by ΔL toward the ink supply port 5 side having a large compliance, and the thin portion 10 on the nozzle opening 2 side is moved.
The compliance is large, and the compliance of the thin-walled portion 11 on the ink supply port 5 side is small to achieve balance.

【0022】図6(ハ)に示した実施例は、圧電振動子
8の当接位置をアイランド部9の中心をコンプライアン
スが大きなインク供給口5側にずらせてノズル開口2側
とインク供給口側と薄肉部10、11のコンプライアン
スのバランスを図ったものである。
In the embodiment shown in FIG. 6C, the contact position of the piezoelectric vibrator 8 is displaced from the center of the island portion 9 to the ink supply port 5 side having large compliance, and the nozzle opening 2 side and the ink supply port side are arranged. And the compliance of the thin portions 10 and 11 is balanced.

【0023】図6(ニ)に示した実施例は、圧力発生室
4を長手方向、つまりノズル開口2とインク供給口5と
を結ぶ方向の形状を、上記長手方向に直行する線に対し
て対称となるように構成し、その対称線にアイランド部
9、及び圧電振動子8の対称線C1、C2を一致して配
置したもので、圧力発生室4、アイランド部9の形状を
精密に製作さえすれば、特別な調整が不要となり極めて
実用的な手法となる。
In the embodiment shown in FIG. 6D, the shape of the pressure generating chamber 4 in the longitudinal direction, that is, the direction in which the nozzle opening 2 and the ink supply port 5 are connected to the line perpendicular to the longitudinal direction is defined. The pressure generating chamber 4 and the island portion 9 are precisely manufactured by arranging them symmetrically and arranging the island portion 9 and the symmetry lines C1 and C2 of the piezoelectric vibrator 8 so as to coincide with the symmetry line. If so, no special adjustment is required, which is a very practical method.

【0024】さらにはアイランドや圧電振動子の配置の
形態上、どうしてもコンプライアンスが大きくなる側の
薄肉部を若干厚く構成することにより、この領域のコン
プライアンスを下げることができる。
Further, due to the layout of the islands and the piezoelectric vibrators, the compliance of this region can be lowered by forming the thin portion on the side where compliance is inevitably thicker.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発
生室、インク供給口、リザーバを区画する通孔が穿設さ
れたスペーサと、少なくともノズル開口側とインク供給
口側とにコンプライアンスを確保するための薄肉部が形
成され、また中央部にアイランド部が形成された振動板
とを積層するとともに、アイランド部を介して圧電振動
子により圧力発生室を圧縮してノズル開口からインク滴
を吐出させるインクジェット式記録ヘッドにおいて、振
動板の全体のコンプライアンスをノズル開口側とインク
供給口側とで実質的に同一となるように按分するように
したので、振動板全体としてのコンプライアンスを最適
な値に保ちつつ、加圧点を挟んで異なる位置に存在する
薄肉部に蓄積されたエネルギ量の相違に起因する振動を
抑制して、インクミストの発生や、さらには圧力発生室
ヘの気泡の引き込みを防止することができる。
As described above, in the present invention, at least a nozzle plate having a nozzle opening, a spacer having a through hole for partitioning a pressure generating chamber, an ink supply port, and a reservoir are provided. A thin portion for ensuring compliance is formed on the nozzle opening side and the ink supply port side, and a vibration plate with an island portion formed in the center is laminated, and pressure is applied by the piezoelectric vibrator through the island portion. In an inkjet recording head that compresses a generation chamber and ejects ink droplets from a nozzle opening, the overall compliance of the diaphragm is proportionally divided so that the nozzle opening side and the ink supply port side are substantially the same. Therefore, while keeping the compliance of the entire diaphragm at an optimum value, it was accumulated in the thin-walled parts existing at different positions across the pressing point. To suppress vibration due to Nerugi amount of difference, generation of the ink mist, and further to prevent retraction of the bubble in the pressure generating chamber f.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す組み立て斜視図であ
る。
FIG. 1 is an assembled perspective view showing an embodiment of the present invention.

【図2】圧力発生室近傍を拡大して示す断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view showing the vicinity of a pressure generating chamber.

【図3】同上装置の振動板を拡大して示す斜視図であ
る。
FIG. 3 is an enlarged perspective view showing a diaphragm of the same apparatus.

【図4】本発明の一実施例を圧力発生室近傍を拡大して
示す図である。
FIG. 4 is an enlarged view showing the vicinity of the pressure generating chamber according to an embodiment of the present invention.

【図5】ノズル開口側とインク供給口側のコンプライア
ンスの割合とインクミストの発生との関係を示す線図で
ある。
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the ratio of compliance on the nozzle opening side and the ink supply port side, and the occurrence of ink mist.

【図6】図(イ)乃至(ニ)は、それぞれ本発明の他の
実施例を示す図である。
6A to 6D are views showing another embodiment of the present invention.

【図7】図(イ)乃至(ニ)は、それぞれ従来のインク
ジェット式記録ヘッドが静止している状態、圧電振動子
が伸長した状態、及び薄肉部が振動している状態を示す
図である。
7A to 7D are views showing a state in which a conventional ink jet recording head is stationary, a state in which a piezoelectric vibrator is extended, and a state in which a thin portion is vibrating, respectively. .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 ノズル開口 4 圧力発生室 5 インク供給口 6 共通のインク室 7 振動板 8 圧電振動子 9 アイランド部 10、11 薄肉部 20 質量体 2 Nozzle opening 4 Pressure generating chamber 5 Ink supply port 6 Common ink chamber 7 Vibration plate 8 Piezoelectric vibrator 9 Island part 10, 11 Thin part 20 Mass body

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ノズル開口が穿設されたノズルプレート
と、圧力発生室、インク供給口、リザーバを区画する通
孔が穿設されたスペーサと、少なくともノズル開口側と
インク供給口側とにコンプライアンスを確保するための
薄肉部が形成され、また中央部にアイランド部が形成さ
れた振動板とを積層するとともに、前記アイランド部を
介して圧電振動子により前記圧力発生室を圧縮して前記
ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式
記録ヘッドにおいて、 前記振動板全体のコンプライアンスをノズル開口側とイ
ンク供給口側とで実質的に同一となるように按分したこ
とを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
1. A nozzle plate having a nozzle opening, a spacer having a through hole for partitioning a pressure generating chamber, an ink supply port, and a reservoir, and a compliance at least on the nozzle opening side and the ink supply port side. And a vibration plate having an island portion formed in the center thereof are laminated, and the pressure generating chamber is compressed by a piezoelectric vibrator through the island portion and the nozzle opening is formed. In the ink jet recording head for ejecting ink droplets from the ink jet recording head, the compliance of the entire vibrating plate is proportionally divided so that the nozzle opening side and the ink supply port side are substantially the same.
【請求項2】 前記ノズル開口側の薄肉部、またはイン
ク供給口側の薄肉部に質量体を付加して前記振動板全体
のコンプライアンスをノズル開口側とインク供給口側と
で実質的に同一となるように構成したことを特徴とする
請求項1のインクジェット式記録ヘッド。
2. A mass body is added to the thin portion on the nozzle opening side or the thin portion on the ink supply port side so that the compliance of the entire vibration plate is substantially the same on the nozzle opening side and the ink supply port side. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the ink jet recording head is configured as described above.
【請求項3】 前記ノズル開口側の薄肉部、またはイン
ク供給口側の薄肉部の内、コンプライアンスが大きい側
に前記アイランド部を偏位させて前記振動板全体のコン
プライアンスをノズル開口側とインク供給口側とで実質
的に同一となるように構成したことを特徴とする請求項
1のインクジェット式記録ヘッド。
3. The compliance of the whole diaphragm is supplied to the nozzle opening side and the ink supply side by displacing the island portion to the side having the larger compliance among the thin portion on the nozzle opening side or the thin portion on the ink supply port side. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the ink jet recording head is configured to be substantially the same on the mouth side.
【請求項4】 前記ノズル開口側の薄肉部、またはイン
ク供給口側の薄肉部の内、コンプライアンスが大きい側
に前記圧電振動子の当接位置を偏位させて前記振動板全
体のコンプライアンスをノズル開口側とインク供給口側
とで実質的に同一となるように構成したことを特徴とす
る請求項1のインクジェット式記録ヘッド。
4. The compliance of the whole vibration plate is a nozzle by displacing the contact position of the piezoelectric vibrator to the side having a larger compliance among the thin portion on the nozzle opening side or the thin portion on the ink supply port side. 2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the opening side and the ink supply port side are configured to be substantially the same.
【請求項5】 前記圧力発生室、及び前記圧電振動子、
及び前記アイランド部がそれぞれその長手方向の軸線に
垂直な線に対してほぼ対称形をなすように形成されてい
て、これらの軸線が一致するように配置された請求項1
のインクジェット式記録ヘッド。
5. The pressure generating chamber and the piezoelectric vibrator,
And the island portion is formed so as to be substantially symmetrical with respect to a line perpendicular to the longitudinal axis of the island portion, and the island portions are arranged so as to coincide with each other.
Inkjet recording head.
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