JPH0825163A

JPH0825163A - Stage device

Info

Publication number: JPH0825163A
Application number: JP16918794A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Suzuki; 繁鈴木
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 1994-07-21
Filing date: 1994-07-21
Publication date: 1996-01-30
Anticipated expiration: 2017-04-15
Also published as: JP3275544B2

Abstract

PURPOSE:To prevent decrease of control accuracy in the case of thermally extending/contracting a stage while a position and rotational amount of the stage can be easily controlled. CONSTITUTION:A stage 16 is supported movably and further rotatably onto a base 15. In the stage 16, roller holding members 41, 42, 43, provided with rollers 41c, 42c, 43c, are mounted, and the rollers 41c, 42c, 43c are brought into contact with drive guides 21d, 22d, 23d driven by driver elements 21, 22, 23 of each shaft. In the case of moving the stage 16 in an X-axis direction or in a Y-axis direction, the rollers 41c, 42c or the roller 43c are moved by the driver elements 21, 22 or the driver element 23. In the case of rotating the stage 16, the rollers 41c, 42c, 43c are moved by the driver elements 21, 22, 23 by an equal distance in a direction of rotating the stage 16.

Description

Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はＸＹθの３軸を移動する
ステージ装置に関し、特に本発明は、光学機械、測定
器、工作機械、スクリーン印刷機など、各種の機械、器
具に適用することができるステージ装置に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stage device which moves in three axes of XYθ, and in particular, the present invention can be applied to various machines and instruments such as optical machines, measuring instruments, machine tools, screen printing machines and the like. The present invention relates to a stage device that can be used.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ワーク等を乗せたステージをＸ，Ｙ方向
に移動させるとともに、所定角度回転させ（これを以
下、θ方向に移動させると言う）、ステージ上に固定さ
れたワークをＸＹθの３軸について位置決めする技術
が、光学機械、測定器、工作機械、印刷機など各種の機
械、器具等で必要とされる。2. Description of the Related Art A stage on which a work or the like is placed is moved in X and Y directions and rotated by a predetermined angle (hereinafter referred to as "θ direction"), and a work fixed on the stage is moved in XYθ 3 directions. A technique for positioning about an axis is required for various machines and instruments such as an optical machine, a measuring instrument, a machine tool, and a printing machine.

【０００３】例えば、半導体装置やマイクロマシン等の
製造装置においては、上記のようにステージをＸＹθ軸
について位置決めし、ワークにマスク・パターンを露光
する等の処理を行っている。上記したＸＹθの３軸につ
いての位置決めを行うステージ装置は、通常、ステージ
を積み重ねて構成しているものが多い。For example, in a manufacturing apparatus such as a semiconductor device or a micromachine, the stage is positioned with respect to the XYθ axes and the work is exposed with a mask pattern as described above. Many of the above-mentioned stage devices that perform positioning about the three axes of XYθ are usually configured by stacking stages.

【０００４】ステージを積み重ねて構成した、比較的移
動ストロークが少ないステージ装置としては、従来から
図７に示すものが知られている。図７において、同図
（ａ）はステージ装置の平面図、（ｂ）は同図（ａ）の
Ａ−Ａ断面図を示しており、同図は、パターンが焼き付
けられたマスクを乗せたステージをＸＹθ方向に位置決
めする装置を示している。As a stage device having a relatively small movement stroke, which is constructed by stacking stages, the one shown in FIG. 7 is conventionally known. 7, FIG. 7A is a plan view of the stage device, and FIG. 7B is a sectional view taken along the line AA of FIG. 7A, which shows a stage on which a mask having a pattern printed thereon is placed. 2 shows a device for positioning in the XYθ directions.

【０００５】同図において、１１はマスクを保持するマ
スク・ホルダ、１２はマスク、１３はマスク上のマスク
・パターン、１４，１４’はマスク上に記された位置合
わせ用のアライメント・マーク、１５はステージを搭載
するベースである。１７はＸＹ方向〔同図（ａ）におい
て、右方向をＸ方向、上方向をＹ方向という〕に移動す
るＸＹステージであり、ＸＹステージ１７はベース１５
上に、平面案内部２８を介してＸ軸、Ｙ軸方向に移動可
能に取り付けられ、引っ張りバネ２７により同図（ａ）
の左下方向に付勢されている。In the figure, 11 is a mask holder for holding a mask, 12 is a mask, 13 is a mask pattern on the mask, and 14 and 14 'are alignment marks for alignment described on the mask, and 15 Is the base on which the stage is mounted. Reference numeral 17 denotes an XY stage which moves in the XY directions (the right direction is referred to as the X direction and the upward direction is referred to as the Y direction in FIG.
It is movably attached to the top through a plane guide portion 28 in the X-axis and Y-axis directions, and is attached by a tension spring 27 to the same figure (a).
Is urged to the lower left.

【０００６】１８はθステージであり、θステージ１８
はＸＹステージ１７上に、θ軸受２９を介して回転可能
に取り付けられており、ＸＹステージ１７に取り付けら
れた部材１７ａとθステージ１８に取り付けられた部材
１８ａの間に設けられた圧縮バネ２６により反時計方向
に回転するように付勢されている。また、２１はＸＹス
テージ１７をＸ方向に移動させるＸ軸駆動機素、２１ａ
はＸ軸駆動用モータ、２１ｂは駆動用モータ２１ａの回
転量を検出するエンコーダ、２１ｃは回転／直動変換機
構、２１ｆはＸＹステージ１７に接触するローラであ
り、ローラ２１ｆはＸ軸駆動機素２１により同図（ａ）
の左右方向に駆動され、ＸＹステージ１７をＸ軸方向に
移動させる。Reference numeral 18 denotes a θ stage, and the θ stage 18
Is rotatably mounted on the XY stage 17 via a θ bearing 29, and a compression spring 26 provided between a member 17a attached to the XY stage 17 and a member 18a attached to the θ stage 18 It is biased to rotate counterclockwise. Further, 21 is an X-axis drive element for moving the XY stage 17 in the X direction, 21a
Is an X-axis drive motor, 21b is an encoder that detects the amount of rotation of the drive motor 21a, 21c is a rotation / linear motion conversion mechanism, 21f is a roller that contacts the XY stage 17, and roller 21f is an X-axis drive element. 21 by the same figure (a)
Is driven in the left-right direction to move the XY stage 17 in the X-axis direction.

【０００７】２３はＸＹステージをＹ方向に移動させる
Ｙ軸駆動機素、２３ａはＹ軸駆動用モータ、２３ｂは駆
動用モータ２３ａの回転量を検出するエンコーダ、２３
ｃは回転／直動変換機構、２３ｆはＸＹステージに接触
するローラであり、ローラ２３ｆはＹ軸駆動機素２３に
より同図（ａ）の上下方向に駆動され、ＸＹステージ１
７をＹ軸方向に移動させる。Reference numeral 23 is a Y-axis drive element for moving the XY stage in the Y-direction, 23a is a Y-axis drive motor, 23b is an encoder for detecting the amount of rotation of the drive motor 23a, and 23.
c is a rotation / linear motion converting mechanism, 23f is a roller that comes into contact with the XY stage, and the roller 23f is driven by the Y-axis drive element 23 in the vertical direction of FIG.
7 is moved in the Y-axis direction.

【０００８】２５はθステージを回転させるθ軸駆動機
素、２５ａはθ軸駆動用モータ、２５ｂは駆動用モータ
２５ａの回転量を検出するエンコーダ、２５ｃは回転／
直動変換機構、２５ｆはθステージに接触するローラで
あり、ローラ２５ｆはθ軸駆動機素２５により同図
（ａ）の上下方向に駆動され、θステージ１８を回転さ
せる。Reference numeral 25 is a θ-axis drive element for rotating the θ-stage, 25a is a θ-axis drive motor, 25b is an encoder for detecting the amount of rotation of the drive motor 25a, and 25c is a rotation / rotation / rotation unit.
The linear motion converting mechanism 25f is a roller that comes into contact with the θ stage, and the roller 25f is driven in the vertical direction of FIG.

【０００９】また、Ｘ軸駆動機素２１、Ｙ軸駆動機素２
３、θ軸駆動機素２５に設けられたエンコーダ２１ｂ，
２３ｂ，２５ｂの出力は、図示しないコンピュータ等か
ら構成される制御装置に入力され、上記制御装置の出力
によりＸ軸駆動機素２１、Ｙ軸駆動機素２３、θ軸駆動
機素２５に設けられたモータ２１ａ，２３ａ，２５ａが
駆動される。The X-axis drive element 21 and the Y-axis drive element 2 are also provided.
3, an encoder 21b provided on the θ-axis drive element 25,
The outputs of 23b and 25b are input to a control device composed of a computer (not shown), and are provided to the X-axis drive element 21, the Y-axis drive element 23, and the θ-axis drive element 25 by the output of the control device. The motors 21a, 23a, 25a are driven.

【００１０】なお、ローラ２１ｆ，２３ｆ，２５ｆを直
線的に駆動する手段としの回転／直動変換機構２１ｃ，
２３ｃ，２５ｃとしては、種々の手段を用いることがで
き、例えば、ネジやカムによりモータの回転運動を直線
運動に変換してローラ２１ｆ，２３ｆ，２５ｆを駆動し
たり（必要に応じて減速ギヤを用いることもできる）、
リニアモータを用いてローラ２１ｆ，２３ｆ，２５ｆを
駆動することができる。また、モータとしては、ステッ
ピング・モータやＤＣモータ等種々のモータを用いるこ
とが可能である。さらに、精度の高い駆動が必要な場合
には、ピエゾ素子等を用いることもできる。The rotation / linear motion converting mechanism 21c, which is a means for linearly driving the rollers 21f, 23f, 25f,
Various means can be used as 23c and 25c. For example, a screw or a cam is used to convert the rotational movement of the motor into a linear movement to drive the rollers 21f, 23f, and 25f. Can also be used),
The rollers 21f, 23f, 25f can be driven using a linear motor. As the motor, various motors such as a stepping motor and a DC motor can be used. Furthermore, a piezo element or the like can be used when highly accurate driving is required.

【００１１】図７において、マスク１２を所定の位置に
位置決めする際、作業者は、図示しない光学装置等によ
り、マスク１２上に記されたアライメメント・マーク１
４，１４’の位置を確認し、上記アライメント・マーク
１４，１４’が予め定められた目標位置に一致するよう
に指令信号を上記制御装置に入力する。制御装置は作業
者から指令信号が入力されると、エンコーダ２１ｂ，２
３ｂ，２５ｂから入力されるフィードバック信号と上記
指令信号を比較してモータ２１ａ，２３ａ，２５ａを駆
動し、ＸＹステージの位置およびθステージの回転角度
を、作業者が入力する指令信号に一致するように制御す
る。In FIG. 7, when the mask 12 is positioned at a predetermined position, an operator uses an optical device (not shown) or the like to align the alignment mark 1 on the mask 12.
The positions of 4, 14 'are confirmed, and a command signal is input to the control device so that the alignment marks 14, 14' coincide with a predetermined target position. When the operator inputs a command signal, the control device receives the encoders 21b, 2b.
The feedback signals input from 3b and 25b are compared with the command signal to drive the motors 21a, 23a and 25a so that the position of the XY stage and the rotation angle of the θ stage match the command signal input by the operator. To control.

【００１２】図７に示したステージ装置は、ＸＹステー
ジとθステージを積み重ねて構成しているため、ＸＹス
テージとθステージをそれぞれ独立して駆動することが
できる。このため、マスク１２を容易に位置決めするこ
とができるが、両ステージを積み重ねているため、高さ
が高くなりステージの重さが重くなるといった問題点が
ある。Since the stage device shown in FIG. 7 is constructed by stacking the XY stage and the θ stage, the XY stage and the θ stage can be driven independently. Therefore, the mask 12 can be easily positioned, but since both stages are stacked, there is a problem that the height becomes high and the stage becomes heavy.

【００１３】そこで、一つのステージでＸＹθ方向の移
動を行い、高さを低く重量を軽減したステージ装置とし
て、図８に示す装置が知られている。図８において、同
図（ａ）はステージ装置の平面図、（ｂ）は同図（ａ）
のＡ−Ａ断面図を示しており、図７と同様、同図はパタ
ーンが焼き付けられたマスクを乗せたステージをＸＹθ
方向に位置決めする装置を示している。Therefore, a device shown in FIG. 8 is known as a stage device in which the height is reduced and the weight is reduced by moving the XYθ directions in one stage. In FIG. 8, FIG. 8A is a plan view of the stage device, and FIG.
7 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 7, and the same figure as FIG. 7 shows a stage on which a mask having a pattern printed thereon is placed in XYθ.
Figure 9 shows a device for directional positioning.

【００１４】同図において、図７に示したものと同一の
ものには同一の符号が付されており、１１はマスク・ホ
ルダ、１２はマスク、１３はマスク・パターン、１４，
１４’はアライメント・マーク、１５はステージを搭載
するベースである。また、１６はステージであり、ステ
ージ１６はベース１５上に平面案内部２８を介して取り
付けられ、平面案内部２８によりＸＹ軸方向に移動可能
に、かつ、θ方向に回転可能に支持されている。In the figure, the same components as those shown in FIG. 7 are designated by the same reference numerals, 11 is a mask holder, 12 is a mask, 13 is a mask pattern, 14,
14 'is an alignment mark, and 15 is a base on which the stage is mounted. Reference numeral 16 denotes a stage, which is mounted on the base 15 via a plane guide portion 28, and is supported by the plane guide portion 28 so as to be movable in the XY axis directions and rotatable in the θ direction. .

【００１５】２１はステージ１６をＸ軸方向に駆動する
Ｘ軸駆動機素、２１ａはモータ、２１ｂはエンコーダ、
２１ｃは回転／直動変換機構、２１ｄはモータ２１ａに
より同図（ａ）の左右方向に駆動される駆動部であり、
駆動部２１ｄはステージ１６に対し首振り可能に、か
つ、スライド可能に取り付けられている。図９は上記駆
動部２１ｄの構成を示す図であり、同図（ａ）は駆動部
２１ｄの断面図、（ｂ）は駆動部２１ｄのＡ−Ａ断面図
を示している。Reference numeral 21 is an X-axis drive element for driving the stage 16 in the X-axis direction, 21a is a motor, 21b is an encoder,
Reference numeral 21c is a rotation / linear motion conversion mechanism, 21d is a drive unit driven by the motor 21a in the left-right direction in FIG.
The drive unit 21d is attached to the stage 16 so as to be swingable and slidable. 9A and 9B are views showing the configuration of the drive unit 21d. FIG. 9A is a sectional view of the drive unit 21d, and FIG. 9B is a sectional view of the drive unit 21d taken along the line AA.

【００１６】同図において、１６はステージ、３０はネ
ジ等によりステージ１６に取り付けられたスライド軸固
定部、３１はスライド軸固定部３０に固定されたスライ
ド軸、３２はリニアベアリング、３３はスライド軸受ケ
ースであり、スライド軸３１はリニアベアリング３２に
より、同図（ａ）の左右方向にスライドする。３４はモ
ータ２１ｂにより同図の上下方向に駆動される駆動部
材、３５は回転軸であり、スライド軸受ケース３３は駆
動部材３４に設けられた回転軸３５にベアリング３６を
介して首振り可能に取り付けられている。このため、ス
テージ１６は駆動部材３４に対して、同図（ａ）の左右
方向に移動可能であるとともに、首振り可能である。In the figure, 16 is a stage, 30 is a slide shaft fixing portion attached to the stage 16 with screws or the like, 31 is a slide shaft fixed to the slide shaft fixing portion 30, 32 is a linear bearing, and 33 is a slide bearing. The slide shaft 31 is a case and slides in the left-right direction in FIG. Reference numeral 34 is a drive member driven in the vertical direction by the motor 21b, reference numeral 35 is a rotary shaft, and the slide bearing case 33 is attached to a rotary shaft 35 provided in the drive member 34 so as to be swingable via a bearing 36. Has been. Therefore, the stage 16 is movable in the left-right direction in FIG.

【００１７】図８に戻り、２２はステージ１６をＸ軸方
向に駆動するＸ’軸駆動機素、２２ａはモータ、２２ｂ
はエンコーダ、２２ｃは回転／直動変換機構、２２ｄは
駆動部であり、駆動部２２ｄは、駆動部２１ｄと同様、
ステージ１６に対し首振り可能に、かつ、スライド可能
に取り付けられている。また、２３はステージ１６をＹ
軸方向に駆動するＹ軸駆動機素、２３ａはモータ、２３
ｂはエンコーダ、２３ｃは回転／直動変換機構、２３ｄ
は駆動部であり、上記と同様、駆動部２３ｄは、ステー
ジ１６に対し首振り可能に、かつ、スライド可能に取り
付けられている。Returning to FIG. 8, 22 is an X'-axis driving element for driving the stage 16 in the X-axis direction, 22a is a motor, and 22b.
Is an encoder, 22c is a rotation / linear motion converting mechanism, 22d is a drive unit, and the drive unit 22d is the same as the drive unit 21d.
The stage 16 is attached so as to be swingable and slidable. In addition, 23 is the stage 16 Y
A Y-axis driving element driven in the axial direction, 23a is a motor, 23
b is an encoder, 23c is a rotation / linear motion conversion mechanism, and 23d
Is a drive unit, and similarly to the above, the drive unit 23d is attached to the stage 16 so as to be swingable and slidable.

【００１８】また、Ｘ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆動機素
２２、Ｙ軸駆動機素２３に設けられたエンコーダ２１
ｂ，２２ｂ，２３ｂの出力は、図７と同様、図示しない
制御装置に入力され、上記制御装置の出力によりこれら
駆動機素のモータ２１ａ，２３ａ，２５ａが駆動され
る。図８において、マスク１２を所定の位置に位置決め
する場合、前記と同様、作業者は、アライメント・マー
ク１４，１４’が予め定められた目標位置に一致するよ
うに指令信号を上記制御装置に入力する。Further, the encoder 21 provided on the X-axis driving element 21, the X'-axis driving element 22, and the Y-axis driving element 23.
The outputs of b, 22b and 23b are input to a control device (not shown) as in FIG. 7, and the motors 21a, 23a and 25a of these drive elements are driven by the output of the control device. In FIG. 8, when the mask 12 is positioned at a predetermined position, the operator inputs a command signal to the control device so that the alignment marks 14 and 14 'coincide with a predetermined target position, as described above. To do.

【００１９】制御装置は作業者から指令信号が入力され
ると、モータ２１ａ，２２ａ，２３ａを駆動し、ステー
ジの位置およびθステージの回転角度を、作業者が入力
する指令信号に一致するように制御する。すなわち、制
御装置はＸ軸駆動機素２１とＸ’軸駆動機素２２を同時
に同方向に同量駆動してステージ１６をＸ軸方向に移動
させ、Ｘ軸方向の位置決めを行う、また、Ｙ軸駆動機素
２３を駆動してステージ１６をＹ軸方向に移動させＹ軸
方向に位置決めを行う。When a command signal is input from the operator, the control device drives the motors 21a, 22a and 23a so that the position of the stage and the rotation angle of the θ stage match the command signal input by the operator. Control. That is, the control device simultaneously drives the X-axis driving element 21 and the X′-axis driving element 22 in the same direction and by the same amount to move the stage 16 in the X-axis direction and perform positioning in the X-axis direction. The axis drive element 23 is driven to move the stage 16 in the Y-axis direction and perform positioning in the Y-axis direction.

【００２０】さらに、上記Ｘ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆
動機素２２、および、Ｙ軸駆動機素２３を同時にステー
ジを回転させる方向に駆動して、基準軸（例えば、アラ
イメント・マーク１４または１４’）を中心にして必要
角度だけ回転させ、θ方向の位置決めを行う。図１０は
上記したステージの動作を示す図であり、同図（ａ）は
各駆動機素の作用点と回転中心となる基準軸Ｒ（この例
では、アライメント・マーク１４’の位置を基準軸とし
ている）を示し、（ｂ）はステージをＸ，Ｙ，θ方向に
移動させた際の各駆動機素によるアライメント・マーク
の移動量を示している。Further, the X-axis driving element 21, the X′-axis driving element 22 and the Y-axis driving element 23 are simultaneously driven in a direction to rotate the stage, and the reference axis (for example, the alignment mark 14). Or 14 ') is rotated by a required angle to perform positioning in the θ direction. FIG. 10 is a diagram showing the operation of the above-described stage, and FIG. 10A shows a reference axis R (in this example, the position of the alignment mark 14 'is the reference axis which is the action point of each drive element and the center of rotation). And (b) shows the amount of movement of the alignment mark by each drive element when the stage is moved in the X, Y, and θ directions.

【００２１】同図に示すように、Ｘ軸駆動機素２１、
Ｘ’軸駆動機素２２を同方向に同量駆動し、それぞれの
作用点Ａ，Ｂをａだけ移動させ、マスク１２上のアライ
メント・マーク１４，１４’の位置をＸ軸方向にａ移動
させる。これにより、アライメント・マーク１４’のＸ
方向の位置はワーク上に記されたマークＷ１４’のＸ方
向の位置と一致する。As shown in the figure, the X-axis driving element 21,
The X′-axis driving element 22 is driven in the same direction by the same amount, the respective action points A and B are moved by a, and the positions of the alignment marks 14 and 14 ′ on the mask 12 are moved in the X-axis direction by a. . As a result, the X of the alignment mark 14 '
The position in the direction coincides with the position in the X direction of the mark W14 ′ marked on the work.

【００２２】また、Ｙ軸駆動機素２３をＹ軸方向に駆動
して、作用点Ｃをｂだけ移動させ、アライメント・マー
ク１４’の位置をＹ軸方向にｂ移動させる。これによ
り、アライメント・マーク１４’の位置はワーク上に記
されたマークＷ１４’の位置と一致する。さらに、アラ
イメント・マーク１４を基準軸Ｒ（アライメント・マー
ク１４’）を中心としてθ回転させる。すなわち、基準
軸Ｒの位置が移動しないように、Ｘ軸駆動機素２１を左
方向に駆動して作用点Ａをｃだけ移動させ、Ｘ’軸駆動
機素２２を右方向に駆動して、作用点Ｂをｄだけ移動さ
せ、また、Ｙ軸駆動機素２３を下方向に駆動して、作用
点Ｃをｅだけ移動させる。Further, the Y-axis driving element 23 is driven in the Y-axis direction to move the action point C by b, and the position of the alignment mark 14 'is moved in the Y-axis direction by b. As a result, the position of the alignment mark 14 'matches the position of the mark W14' marked on the work. Further, the alignment mark 14 is rotated by θ around the reference axis R (alignment mark 14 ′). That is, so that the position of the reference axis R does not move, the X-axis drive element 21 is driven leftward to move the action point A by c, and the X′-axis drive element 22 is driven rightward. The action point B is moved by d, and the Y-axis driving element 23 is driven downward to move the action point C by e.

【００２３】以上のようにして、アライメント・マーク
１４，１４’をワーク上に印されたマークＷ１４，Ｗ１
４’に一致させる。ここで、図１０から明らかなよう
に、ステージを基準軸に対してθだけ回転させる際、制
御装置がＸ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆動機素２２、およ
び、Ｙ軸駆動機素２３を駆動する量ｃ，ｄ，ｅは必ずし
も一致しない。As described above, the alignment marks 14 and 14 'are marks W14 and W1 on the work.
Match 4 '. Here, as apparent from FIG. 10, when the stage is rotated by θ with respect to the reference axis, the control device causes the X-axis driving element 21, the X′-axis driving element 22, and the Y-axis driving element 23 to rotate. The amounts c, d, and e for driving are not necessarily the same.

【００２４】このため、ステージ１６を回転させる場合
には、Ｘ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆動機素２２、およ
び、Ｙ軸駆動機素２３の駆動量ｃ，ｄ，ｅを演算する必
要がある。Therefore, when the stage 16 is rotated, it is necessary to calculate the drive amounts c, d, and e of the X-axis driving element 21, the X′-axis driving element 22, and the Y-axis driving element 23. There is.

【００２５】[0025]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したよ
うに、図７に示したステージ装置はＸＹステージとθス
テージを積み重ねた構成であるので、位置決めは容易で
あるが、構造が複雑であるとともに、高さが高くなり重
量が重くなるといった問題があった。このため、図７の
装置においては、構造が複雑化するのに加え、各駆動機
素の出力を大きくしなければ位置決め速度を早くするこ
とができず、駆動装置が大型になり、コストが高くなる
といった欠点があった。また、２段重ねのステージのた
め、高さも高くなり、移動精度・耐振性を低下させると
いう欠点あった。By the way, as described above, since the stage device shown in FIG. 7 has a structure in which the XY stage and the θ stage are stacked, the positioning is easy, but the structure is complicated and the structure is complicated. However, there is a problem that the height becomes high and the weight becomes heavy. Therefore, in the device of FIG. 7, in addition to the complicated structure, the positioning speed cannot be increased unless the output of each drive element is increased, and the drive device becomes large and the cost is high. There was a drawback that Further, since the stages are two-tiered, the height is also high, and there is a drawback that the movement accuracy and vibration resistance are lowered.

【００２６】一方、図８に示したステージ装置において
は、重量が比較的軽く、各駆動機素の出力を図７に示し
たもの程、大きくする必要はなく、高さも低いため、性
能上の問題点もあまりないが、ステージを回転させると
きの各駆動機素の駆動ストロークが異なるため、制御が
難しく、制御装置の負担が大きくなるといった問題点が
あった。On the other hand, in the stage device shown in FIG. 8, the weight is relatively light, and it is not necessary to increase the output of each driving element as much as that shown in FIG. Although there are not many problems, there are problems that control is difficult because the driving stroke of each driving element when the stage is rotated is different, and the load on the control device increases.

【００２７】また、図７、図８に示したステージ装置に
おいては、温度が上昇／下降する環境で使用される場
合、熱伸縮によって、基準点（アライメント・マーク）
の位置が推移し制御精度が低下するという問題点があっ
た。特に、上記ステージ装置を半導体装置等の露光装置
に適用した場合には、露光時、ステージに光が照射され
ることによりステージが熱膨張し、基準点（アライメン
ト・マーク）の位置が推移する。Further, in the stage device shown in FIGS. 7 and 8, when used in an environment where the temperature rises / falls, a reference point (alignment mark) is generated by thermal expansion and contraction.
However, there was a problem that the position of changed and the control accuracy decreased. In particular, when the above stage device is applied to an exposure device such as a semiconductor device, the stage is thermally expanded by being irradiated with light during exposure, and the position of the reference point (alignment mark) changes.

【００２８】例えば、図８、図１０に示したステージ装
置においては、温度が上昇すると、ステージ１６の位置
を拘束する作用点Ａ，Ｂに対して基準軸Ｒが同図の右方
向に移動し、また、作用点Ｃに対して基準軸Ｒが上方に
移動することになり、基準軸Ｒの位置が推移する。本発
明は上記した従来技術の問題点を考慮してなされたもの
であって、本発明の第１の目的は、一つのステージを用
いて、容易にＸ，Ｙ，θ方向の制御を行うことができる
ステージ装置を提供することである。For example, in the stage device shown in FIGS. 8 and 10, when the temperature rises, the reference axis R moves to the right in the figures with respect to the action points A and B that restrain the position of the stage 16. Also, the reference axis R moves upward with respect to the point of action C, and the position of the reference axis R changes. The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems of the prior art, and a first object of the present invention is to easily perform control in the X, Y, and θ directions using one stage. It is to provide a stage device capable of

【００２９】本発明の第２の目的は、ＸＹ方向の移動が
あっても回転中心が移動せず、また、ステージが回転し
てもＸＹ軸座標系が回転しない制御性のよいステージ装
置を提供することである。本発明の第３の目的は、ステ
ージの熱伸縮による影響が小さく、ステージの温度変化
があっても制御精度を損なうことなくステージを制御す
ることができるステージ装置を提供することである。A second object of the present invention is to provide a stage device with good controllability, in which the center of rotation does not move even when there is movement in the XY directions, and the XY axis coordinate system does not rotate even when the stage rotates. It is to be. A third object of the present invention is to provide a stage device that is less affected by thermal expansion and contraction of the stage and can control the stage without impairing the control accuracy even when the temperature of the stage changes.

【００３０】[0030]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１の発明は、少なくとも３つの駆動
機素を備え、該駆動機素により基準軸に対して垂直な平
面内でステージを２方向に直線移動させると共に、上記
基準軸を中心に回転させるステージ装置において、上記
基準軸を含む第１の平面上に、ステージの第１および第
２の被駆動機素を設け、基準軸を含み第１の平面に交わ
る第２の平面上に、ステージの第３の被駆動機素を設
け、また、上記第１および第２の平面と平行な方向に移
動可能に上記３つの被駆動機素と係合する駆動ガイドを
設け、上記駆動機素が上記駆動ガイドにより被駆動機素
を第１、第２の平面と直交する方向に移動させることに
より、ステージを回転／移動させるように構成したもの
である。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 of the present invention comprises at least three drive elements, and the drive elements are provided in a plane perpendicular to the reference axis. In a stage device that linearly moves a stage in two directions and rotates about the reference axis, a first plane and a second driven element of the stage are provided on a first plane including the reference axis, A third driven element of the stage is provided on a second plane including the axis and intersecting the first plane, and the three driven elements are movable in a direction parallel to the first and second planes. A drive guide that engages with a drive element is provided, and the drive element moves the driven element in a direction orthogonal to the first and second planes by the drive guide, thereby rotating / moving the stage. It is configured in.

【００３１】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、第１、第２、および、第３の被駆動機素と
基準軸間の距離を等しくしたものである。本発明の請求
項３の発明は、請求項１または請求項２の発明におい
て、被駆動機素をローラもしくはスライド部材で構成
し、駆動ガイドを平面としたものである。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the distances between the first, second and third driven elements and the reference axis are equal. According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the driven element is a roller or a slide member, and the drive guide is a flat surface.

【００３２】本発明の請求項４の発明は、請求項１また
は請求項２の発明において、被駆動機素を回転及びスラ
イド部材で構成し、駆動ガイドを直動ガイドとしたもの
である。According to a fourth aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the driven element is composed of a rotating and sliding member, and the drive guide is a linear guide.

【００３３】[0033]

【作用】図３は本発明の原理を示す図である。同図にお
いて、１６はステージ、Ｒはステージの回転中心となる
基準軸、２１，２２，２３は第１、第２、第３の駆動機
素であり、第１、第２、第３駆動機素の２１，２２，２
３は駆動ガイド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄを同図の左右方
向および上下方向に駆動する。FIG. 3 is a diagram showing the principle of the present invention. In the figure, 16 is a stage, R is a reference axis that is the center of rotation of the stage, 21, 22, and 23 are first, second, and third drive elements, and the first, second, and third drive elements are shown. Elementary 21,22,2
Reference numeral 3 drives the drive guides 21d, 22d, and 23d in the left-right direction and the up-down direction in FIG.

【００３４】また、各駆動ガイド２１ｄ，２２ｄ，２３
ｄは、その移動方向に対して直交する平面で形成され、
それぞれ、ステージ１６に取り付けられたＸ軸被駆動機
素、Ｘ’軸被駆動機素、Ｙ軸被駆動機素（同図では、そ
れぞれ、ローラ４１ｃ，４２ｃ，４３ｃに対応する）と
Ａ，Ｂ，Ｃ点で接している。なお、図３では、基準軸Ｒ
と各軸の被駆動機素との距離Ｌを等しくした場合につい
て示しているが、この距離が異なっていてもその距離に
応じてＸ軸，Ｘ’軸，Ｙ軸駆動機素２１，２２，２３の
駆動量をそれぞれ選定すれば、ステージを同様に制御す
ることができる。以下の説明では、基準軸Ｒと各軸の被
駆動機素との距離Ｌが等しい場合について説明する。Further, each drive guide 21d, 22d, 23
d is formed by a plane orthogonal to the moving direction,
The X-axis driven element, the X'-axis driven element, and the Y-axis driven element (corresponding to rollers 41c, 42c, and 43c, respectively, in the figure) attached to the stage 16 and A and B, respectively. , C touches at point C. In FIG. 3, the reference axis R
Shows the case where the distance L between each axis and the driven element of each axis is made equal, but even if this distance is different, the X-axis, X′-axis, Y-axis driving element 21, 22, The stage can be controlled in the same manner by selecting the drive amounts of 23 respectively. In the following description, the case where the distance L between the reference axis R and the driven element of each axis is equal will be described.

【００３５】同図に示すように、本発明の請求項１の発
明においては、基準軸Ｒを含む第１の平面上に、ステー
ジの第１および第２の被駆動機素を設け、基準軸を含み
第１の平面に交わる第２の平面上に、ステージの第３の
被駆動機素を設け、また、上記第１および第２の平面と
平行な方向に移動可能に上記３つの被駆動機素と係合す
る駆動ガイド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄを設け、駆動機素
２１，２２，２３が上記駆動ガイドにより被駆動機素を
第１、第２の平面と直交する方向に移動させることによ
り、ステージを回転／移動させるように構成している。As shown in the figure, in the invention of claim 1 of the present invention, the first and second driven elements of the stage are provided on the first plane including the reference axis R, and the reference axis is provided. A third driven element of the stage is provided on a second plane that intersects with the first plane, and the three driven elements are movable in a direction parallel to the first and second planes. By providing drive guides 21d, 22d, and 23d that engage with the element, the drive elements 21, 22, and 23 move the driven element in the direction orthogonal to the first and second planes by the drive guide. , The stage is configured to rotate / move.

【００３６】このため、各軸の駆動機素２１，２２，２
３により駆動ガイド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄを等量だけ
駆動したとき、各軸の被駆動機素は、駆動ガイド２１
ｄ，２２ｄ，２３ｄとの接触点Ａ，Ｂ，Ｃを移動させな
がら移動し、同図の二点鎖線に示すようにステージ１６
は基準軸Ｒを中心として回転する。また、ステージ上の
アライメント・マーク１４，１４’をＸ軸方向に移動さ
せるため、駆動機素２１，２２により駆動ガイド２１
ｄ，２２ｄを等量だけ駆動したとき、Ｙ軸被駆動機素は
駆動ガイド２３ｄに沿って左右方向に移動し、Ｙ軸被駆
動機素が駆動ガイド２３ｄと接触する点Ｃと、基準軸Ｒ
との距離は等しく保たれる。このため、ステージをＸ軸
方向に移動させても、ステージ１６の回転中心の位置は
変わらない。Therefore, the drive elements 21, 22, 2 for each axis are
When the drive guides 21d, 22d, and 23d are driven by the same amount by means of 3, the driven element of each axis is driven by the drive guide 21.
While moving the contact points A, B, and C with d, 22d, and 23d, the stage 16 is moved as shown by the chain double-dashed line in FIG.
Rotates about the reference axis R. Further, in order to move the alignment marks 14 and 14 'on the stage in the X-axis direction, the drive guides 21 and 22 are driven by the drive elements 21 and 22.
When d and 22d are driven by the same amount, the Y-axis driven element moves left and right along the drive guide 23d, and the point C at which the Y-axis driven element contacts the drive guide 23d and the reference axis R
The distances to and are kept equal. Therefore, even if the stage is moved in the X-axis direction, the position of the rotation center of the stage 16 does not change.

【００３７】さらに、同図の二点鎖線に示すようにステ
ージ１６を回転させた状態で、アライメント・マークを
Ｘ軸方向もしくはＹ軸方向に移動させる際にも、Ｘ軸、
Ｘ’軸駆動機素の駆動量もしくはＹ軸駆動機素の駆動量
は、上記の場合と変わらない。すなわち、ステージ１６
の回転量にかかわらず、ステージをＸ軸方向もしくはＹ
軸方向に所定量移動させるときのＸ軸、Ｘ’軸駆動機素
もしくはＹ軸駆動機素の駆動量は変わらない。すなわ
ち、ステージが回転しても、ＸＹ軸座標系は回転しな
い。Further, when the alignment mark is moved in the X-axis direction or the Y-axis direction while the stage 16 is rotated as shown by the chain double-dashed line in FIG.
The drive amount of the X′-axis drive element or the drive amount of the Y-axis drive element is the same as in the above case. That is, the stage 16
The stage in the X-axis direction or Y regardless of the rotation amount of
The amount of drive of the X-axis, X'-axis drive element or Y-axis drive element does not change when it is moved by a predetermined amount in the axial direction. That is, even if the stage rotates, the XY axis coordinate system does not rotate.

【００３８】また、ステージの温度変化があっても制御
精度を損なうことなくステージを制御することができ
る。すなわち、基準軸を含む２つの平面上にステージの
位置を定める３つの作用点Ａ，Ｂ，Ｃがあるので、ステ
ージが同図の実線の位置にあるときには、ステージが熱
伸縮しても、熱伸縮は基準点Ｒを中心とした伸縮となり
基準軸は動かない。Further, even if the temperature of the stage changes, the stage can be controlled without impairing the control accuracy. That is, since there are three action points A, B, and C that determine the position of the stage on the two planes including the reference axis, when the stage is in the position indicated by the solid line in FIG. The expansion and contraction is centered around the reference point R and the reference axis does not move.

【００３９】なお、同図の二点鎖線に示す位置にあると
きにも上記と同様に基準軸は動かない。ただし、ステー
ジが熱伸縮すると、ステージは僅かに回転するが、ステ
ージの回転角度は僅かであり、実用上殆ど影響がない。
このため、ステージを熱的に安定させることができ、温
度が上昇／下降する環境下で使用しても制御精度を損な
うことがない。The reference axis does not move even at the position shown by the chain double-dashed line in FIG. However, when the stage thermally expands and contracts, the stage slightly rotates, but the rotation angle of the stage is small, which has practically no effect.
Therefore, the stage can be thermally stabilized, and the control accuracy is not impaired even when used in an environment where the temperature rises / falls.

【００４０】図４は本発明においてステージを回転／移
動させたときの、ステージの動きとアライメント・マー
クの動きを示す図であり、同図（ａ）はセット時を示
し、（ｂ）はステージをθだけ回転させた場合を示し、
（ｃ）はステージをＸＹ方向に移動させた場合を示して
いる。ステージ１６上のマスクのアライメント・マーク
１４，１４’とワークのアライメント・マークＷ１４，
Ｗ１４’の位置を一致させるため、まず、同図（ａ）の
状態から、Ｘ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆動機素２２、Ｙ
軸駆動機素２３によりガイド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄを
距離ａ移動させて、同図（ｂ）に示すようにステージ１
６をsin ^-1(a/l) 度回転させ、アライメント・マーク１
４，１４’とワークのアライメント・マークＷ１４，Ｗ
１４’の傾きを一致させる。4A and 4B are diagrams showing the movement of the stage and the movement of the alignment mark when the stage is rotated / moved in the present invention. FIG. 4A shows the set time and FIG. 4B shows the stage. Shows the case where is rotated by θ,
(C) shows the case where the stage is moved in the XY directions. Alignment marks 14 and 14 'of the mask on the stage 16 and alignment marks W14 of the work,
In order to match the positions of W14 ′, first, from the state of FIG. 11A, the X-axis drive element 21, the X′-axis drive element 22, and the Y ′
The guides 21d, 22d, 23d are moved by the distance a by the axial drive element 23, and the stage 1 is moved as shown in FIG.
Rotate 6 by sin ^-1 (a / l) degrees to get alignment mark 1
4,14 'and workpiece alignment marks W14, W
Match the slopes of 14 '.

【００４１】ついで、Ｘ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆動機
素２２によりガイド２１ｄ，２２ｄを距離ｂ移動させて
ステージ１６をＸ軸方向にｂ移動させ、また、Ｙ軸駆動
機素２３によりガイド２３ｄを距離−ｃ移動させてステ
ージ１６をＹ軸方向に−ｃ移動させ、同図（ｃ）に示す
ようにマスクのアライメント・マーク１４，１４’とワ
ークのアライメント・マークＷ１４，Ｗ１４’を一致さ
せる。Next, the guides 21d and 22d are moved a distance b by the X-axis drive element 21 and the X'-axis drive element 22 to move the stage 16 b in the X-axis direction, and by the Y-axis drive element 23. The guide 23d is moved by a distance -c to move the stage 16 by -c in the Y-axis direction, and the mask alignment marks 14 and 14 'and the work alignment marks W14 and W14' are moved as shown in FIG. Match.

【００４２】本発明においては、上記のように各ガイド
２１ｄ，２２ｄ，２３ｄを等しい距離ａ移動させること
により、基準軸Ｒの位置が移動することなく、ステージ
１６をsin ^-1(a/l) 度回転させることができる。また、
ステージ１６の回転角度にかかわらず、アライメント・
マーク１４，１４’をＸ方向、Ｙ方向に移動させる際の
Ｘ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆動機素２２、Ｙ軸駆動機素
２３の駆動量とアライメント・マーク１４，１４’の移
動量との関係は一定に保たれる。すなわち、ステージが
回転してもＸＹ軸座標系が回転しない。このため、ステ
ージ１６の回転／移動の制御を簡単に行うことができ、
マスクのアライメント・マーク１４，１４’とワークＷ
１４，Ｗ１４’の位置を容易に合わせることができる。In the present invention, by moving the guides 21d, 22d, and 23d by the same distance a as described above, the position of the reference axis R does not move, and the stage 16 is moved to sin ^-1 (a / l). Can be rotated once. Also,
Alignment is possible regardless of the rotation angle of the stage 16.
Driving amount of the X-axis driving element 21, X′-axis driving element 22 and Y-axis driving element 23 and movement of the alignment marks 14, 14 ′ when moving the marks 14 and 14 ′ in the X and Y directions. The relationship with quantity is kept constant. That is, the XY coordinate system does not rotate even if the stage rotates. Therefore, the rotation / movement of the stage 16 can be easily controlled,
Mask alignment marks 14, 14 'and work W
The positions of 14, W14 'can be easily adjusted.

【００４３】本発明の請求項２の発明においては、請求
項１の発明において、第１、第２、および、第３の被駆
動機素と基準軸間の距離を等しくしたものであり、図
３、図４で説明したように、基準軸Ｒと各軸の被駆動機
素との距離Ｌを等しくすれば、ステージ回転時の各軸駆
動機素の移動量を等しくすることができ、制御を最も簡
単にすることができる。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the distances between the first, second and third driven elements and the reference axis are made equal to each other. As described with reference to FIG. 3 and FIG. 4, if the distance L between the reference axis R and the driven element of each axis is equalized, the movement amount of each axis driven element during stage rotation can be equalized, and control can be performed. Can be the easiest.

【００４４】また、請求項３の発明のように、被駆動機
素をスライド部材で構成し駆動ガイドを平面としたり、
あるいは、請求項４の発明のように、被駆動機素を回転
及びスライド部材で構成し駆動ガイドを直動ガイド（図
９の構造参照）とすることもでき、このような構成とし
ても、上記と同様な効果を得ることができる。Further, as in the invention of claim 3, the driven element is composed of a slide member and the drive guide is a flat surface,
Alternatively, as in the invention of claim 4, the driven element may be constituted by a rotating and sliding member and the drive guide may be a linear guide (see the structure of FIG. 9). The same effect as can be obtained.

【００４５】[0045]

【実施例】図１は本発明の実施例のステージ装置を示す
図であり、図１において、同図（ａ）はステージ装置の
平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図を示してお
り、図７、図８と同様、同図はパターンが焼き付けられ
たマスクを乗せたステージをＸＹθ方向に位置決めする
装置を示している。1 is a view showing a stage device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, FIG. 1A is a plan view of the stage device, and FIG. 7 is a cross-sectional view, and like FIG. 7 and FIG. 8, this figure shows an apparatus for positioning a stage on which a mask having a pattern printed thereon is placed in the XYθ directions.

【００４６】同図において、図８に示したものと同一の
ものには同一の符号が付されており、１１はマスク・ホ
ルダ、１２はマスク、１３はマスク・パターン、１４，
１４’はアライメント・マーク、１５はステージを搭載
するベースである。また、１６はステージであり、ステ
ージ１６は、図８と同様、ベース１５上に平面案内部２
８を介して取り付けられ、平面案内部２８によりＸＹ軸
方向に移動可能に、かつ、θ方向に回転可能に支持され
ている。In the figure, the same parts as those shown in FIG. 8 are designated by the same reference numerals, 11 is a mask holder, 12 is a mask, 13 is a mask pattern, 14,
14 'is an alignment mark, and 15 is a base on which the stage is mounted. Further, 16 is a stage, and the stage 16 is, as in FIG.
It is attached via 8 and is supported by the plane guide portion 28 so as to be movable in the XY axis directions and rotatable in the θ direction.

【００４７】２１はステージ１６をＸ軸方向に駆動する
Ｘ軸駆動機素、２１ａはモータ、２１ｂはエンコーダ、
２１ｃは回転／直動変換機構、２１ｄはモータ２１ａに
より同図（ａ）の左右方向に駆動される駆動ガイドであ
り、駆動ガイド２１ｄの先端は、移動方向に直交した平
面に形成されており、後述するステージ１６のＸ軸ロー
ラ保持部材４１に取り付けられたローラと接している。Reference numeral 21 is an X-axis driving element for driving the stage 16 in the X-axis direction, 21a is a motor, 21b is an encoder,
Reference numeral 21c is a rotation / linear motion converting mechanism, 21d is a drive guide that is driven by the motor 21a in the left-right direction in FIG. 7A, and the tip of the drive guide 21d is formed in a plane orthogonal to the moving direction. It is in contact with a roller attached to the X-axis roller holding member 41 of the stage 16 described later.

【００４８】２１ｅは駆動機素取り付け部材であり、Ｘ
軸駆動機素２１は駆動機素取り付け部材２１ｅによりベ
ース１５上にネジ等で固定されている。２２はステージ
１６をＸ軸方向に駆動するＸ’軸駆動機素、２２ａはモ
ータ、２２ｂはエンコーダ、２２ｃは回転／直動変換機
構、２２ｄはモータ２２ａにより同図（ａ）の左右方向
に駆動されるガイド、２２ｅは駆動機素取り付け部材で
あり、Ｘ’軸駆動機素２２は、上記と同様、駆動機素取
り付け部材２２ｅによりベース１５上にネジ等で固定さ
れている。Reference numeral 21e is a drive element mounting member, which is X
The shaft driving element 21 is fixed to the base 15 by screws or the like by a driving element mounting member 21e. 22 is an X'-axis driving element that drives the stage 16 in the X-axis direction, 22a is a motor, 22b is an encoder, 22c is a rotation / linear motion conversion mechanism, and 22d is a motor 22a that is driven in the left-right direction in FIG. The guide 22e is a drive element mounting member, and the X'-axis drive element 22 is fixed on the base 15 by screws or the like by the drive element mounting member 22e, as described above.

【００４９】また、２３はステージ１６をＹ軸方向に駆
動するＹ軸駆動機素、２３ａはモータ、２３ｂはエンコ
ーダ、２３ｃは回転／直動変換機構、２３ｄは同図
（ａ）の上下方向に駆動されるガイド、２３ｅは駆動機
素取り付け部材であり、Ｙ軸駆動機素２３は、上記と同
様、駆動機素取り付け部材２３ｅによりベース１５上に
ネジ等で固定されている。Further, 23 is a Y-axis driving element for driving the stage 16 in the Y-axis direction, 23a is a motor, 23b is an encoder, 23c is a rotation / linear motion converting mechanism, and 23d is a vertical direction in FIG. The driven guide 23e is a drive element mounting member, and the Y-axis drive element 23 is fixed to the base 15 by screws or the like by the drive element mounting member 23e, as in the above.

【００５０】なお、上記ローラを駆動する手段として
は、図７の説明で記した種々の手段を用いることがで
き、必要に応じて、ピエゾ素子等を用いることもでき
る。４１，４２，４３は、それぞれ、ステージ１６に取
り付けられたＸ軸ローラ保持部材、Ｘ’軸ローラ保持部
材、Ｙ軸ローラ保持部材であり、Ｘ軸ローラ保持部材４
１、Ｘ’軸ローラ保持部材４２、Ｙ軸ローラ保持部材４
３にはそれぞれローラ４１ｃ，４２ｃ，４３ｃが回転可
能に取り付けられている。As the means for driving the roller, various means described in the explanation of FIG. 7 can be used, and a piezo element or the like can be used if necessary. Reference numerals 41, 42, and 43 denote an X-axis roller holding member, an X′-axis roller holding member, and a Y-axis roller holding member attached to the stage 16, respectively.
1, X ′ axis roller holding member 42, Y axis roller holding member 4
Rollers 41c, 42c, and 43c are rotatably attached to 3, respectively.

【００５１】なお、ローラ４１ｃ，４２ｃ，４３ｃは前
記した駆動ガイド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄと接し、ステ
ージ１６は各駆動ガイド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄの移動
方向と直交する方向に移動可能であり、ステージ１６を
移動、回転させる際、各軸のローラを駆動ガイド２１
ｄ，２２ｄ，２３ｄの平面部に沿って滑らかに移動させ
ることができる。The rollers 41c, 42c, 43c are in contact with the above-mentioned drive guides 21d, 22d, 23d, and the stage 16 is movable in a direction orthogonal to the moving direction of the drive guides 21d, 22d, 23d. When moving and rotating the shaft, drive the rollers of each axis into the drive guide 21.
It can be moved smoothly along the plane portions of d, 22d, and 23d.

【００５２】各軸の駆動機素に沿って滑らかに移動させ
る手段としては、ローラ以外に種々の手段を用いること
ができ、例えば、後述するように図９に示した機構を用
いたり、ローラ保持部材のガイドとの接触部分を、摩擦
の少ない部材で球状、もしくは、球に類似した形状にす
ることもできる。また、４１ａ，４２ａ，４３ａは圧縮
バネ、４１ｂ，４２ｂ，４３ｂはベース１５にネジ等で
固定されたバネ支えであり、圧縮バネ４１ａ，４２ａ，
４３ａは、それぞれ、Ｘ軸ローラ保持部材４１、Ｘ’軸
ローラ保持部材４２、Ｙ軸ローラ保持部材４３とバネ支
え４１ｂ，４２ｂ，４３ｂ間に設けられ、Ｘ軸ローラ保
持部材４１、Ｘ’軸ローラ保持部材４２を同図（ａ）の
左方向に付勢し、Ｙ軸ローラ保持部材４３を同図（ａ）
の下方向に付勢している。Various means other than rollers can be used as means for smoothly moving along the drive element of each axis. For example, the mechanism shown in FIG. The contact portion of the member with the guide can be formed into a spherical shape or a shape similar to a spherical shape with a member having less friction. Further, 41a, 42a, 43a are compression springs, 41b, 42b, 43b are spring supports fixed to the base 15 with screws or the like, and the compression springs 41a, 42a,
43a are respectively provided between the X-axis roller holding member 41, the X'-axis roller holding member 42, the Y-axis roller holding member 43 and the spring supports 41b, 42b, 43b, and the X-axis roller holding member 41 and the X'-axis roller, respectively. The holding member 42 is biased to the left in the same figure (a), and the Y-axis roller holding member 43 is moved in the same figure (a).
It is biased downward.

【００５３】また、本実施例のＸ軸ローラ保持部材４
１、Ｘ’軸ローラ保持部材４２のローラ４１ｃ、４２ｃ
の回転中心は同図に示すように、アライメント・マーク
１４，１４’を結んだ直線上に配置され、ローラ４３ｃ
の回転中心を通り上記直線と直交する線が交わる点（こ
の点が回転させる際の基準軸となる）からローラ４１
ｃ，４２ｃ，４３ｃまでの距離は等しく設定されてい
る。Further, the X-axis roller holding member 4 of the present embodiment.
1, rollers 41c, 42c of the X'axis roller holding member 42
The rotation center of the roller 43c is arranged on the straight line connecting the alignment marks 14 and 14 'as shown in FIG.
Roller 41 from the point where a line that passes through the center of rotation and intersects with the above-mentioned straight line intersects (this point becomes the reference axis when rotating)
The distances to c, 42c and 43c are set to be equal.

【００５４】図２は本実施例の制御システムの構成を示
す図であり、同図において、１０は図１に示したステー
ジ装置、２２はＸ’軸駆動機素の一部を拡大して示した
図であり、２２ａはモータ、２２ｂはエンコーダを示し
ている。５１はアライメント・マーク１４，１４’の位
置を光学的に検出するアライメント・マーク検出装置、
５２は入出力装置であり、入出力装置５２は、例えば、
マウス、キーボード等の入力装置５２ａとＣＲＴあるい
は液晶ディスプレイ等の表示装置５２ｂから構成され
る。また、５３，５７はインタフェース装置、５４はス
テージ装置の位置決め等を制御するプロセッサ、５５は
プログラム、データ等を格納した記憶装置、５６はプロ
セッサ５４の出力に基づきＸ軸、Ｘ’軸、Ｙ軸の駆動機
素２１，２２，２３のモータ２１ａ，２２ａ，２３ａを
駆動するドライバである。FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the control system of this embodiment. In FIG. 2, 10 is the stage device shown in FIG. 1, and 22 is an enlarged view of a part of the X'-axis drive element. 22a is a motor and 22b is an encoder. Reference numeral 51 is an alignment mark detecting device for optically detecting the positions of the alignment marks 14 and 14 ',
52 is an input / output device, and the input / output device 52 is, for example,
It is composed of an input device 52a such as a mouse and a keyboard and a display device 52b such as a CRT or a liquid crystal display. Further, 53 and 57 are interface devices, 54 is a processor that controls the positioning of the stage device, 55 is a storage device that stores programs, data, etc., and 56 is an X-axis, X′-axis, and Y-axis based on the output of the processor 54. Is a driver for driving the motors 21a, 22a, and 23a of the drive elements 21, 22, and 23.

【００５５】上記アライメント・マーク検出装置５１の
出力は、インタフェース装置５３を介してプロセッサ５
４に入力され、プロセッサ５４はアライメント・マーク
検出装置５１により検出されたアライメント・マーク１
４の位置と、例えば、ワーク上に記されたアライメント
・マークの目標位置とを表示装置５２ｂ上に表示する。The output of the alignment mark detecting device 51 is sent to the processor 5 via the interface device 53.
4 and the processor 54 detects the alignment mark 1 detected by the alignment mark detecting device 51.
The position 4 and the target position of the alignment mark written on the work are displayed on the display device 52b.

【００５６】また、各駆動機素２１，２２，２３のエン
コーダ２１ｂ，２２ｂ，２３ｂの出力および入力装置５
２ａの出力は、インタフェース装置５３を介してプロセ
ッサ５４に入力され、プロセッサ５４は上記入力情報に
基づき、ドライバ５６を介してモータ２１ａ，２２ａ，
２３ａを駆動して、ステージ１６の位置を制御する。次
に図１、図２の示した本実施例の動作を説明する。The output and input device 5 of the encoders 21b, 22b and 23b of the drive elements 21, 22 and 23, respectively.
The output of 2a is input to the processor 54 via the interface device 53, and the processor 54 outputs the motors 21a, 22a,
23a is driven to control the position of the stage 16. Next, the operation of this embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described.

【００５７】図１、図２において、マスク１２を所定の
位置に位置決めする際、作業者は、表示装置５２ｂ上で
アライメント・マーク１４，１４’の位置とその目標位
置を確認し、入力装置５２ａを操作し、上記アライメン
ト・マーク１４，１４’が予め定められた目標位置に一
致するように、入力装置５２ａから、指令信号をインタ
フェース装置５３を介してプロセッサ５４に入力する。1 and 2, when positioning the mask 12 at a predetermined position, the operator confirms the positions of the alignment marks 14 and 14 'and their target positions on the display device 52b, and the input device 52a. Is operated to input a command signal from the input device 52a to the processor 54 via the interface device 53 so that the alignment marks 14 and 14 'coincide with a predetermined target position.

【００５８】プロセッサ５４は作業者から指令信号が入
力されると、エンコーダ２１ｂ，２２ｂ，２３ｂから入
力されるフィードバック信号に基づき、モータ２１ａ，
２２ａ，２３ａを駆動し、ＸＹステージの位置およびθ
ステージの回転角度が作業者の指令信号に一致するよう
に制御する。ここで、上記のように、基準軸Ｒからロー
ラ４１ｃ，４２ｃ，４３ｃの回転中心までの距離は等し
くＬに設定されているので、図３、図４で説明したよう
に、Ｘ軸駆動機素２１、Ｘ’軸駆動機素２２、Ｙ軸駆動
機素２３の駆動ガイド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄをａだけ
等量移動させることにより、基準軸Ｒを移動させること
なくステージを回転させることができ、駆動ガイド２１
ｄ，２２ｄをＸ軸方向に等量移動させることにより、ス
テージをＸ軸方向に移動させることができる。さらに、
駆動ガイド２３ｄをＹ軸方向に移動させることにより、
ステージをＹ軸方向に移動させることができる。When a command signal is input from the worker, the processor 54 receives the command signals from the motors 21a, 21b, 22b and 23b based on the feedback signals.
22a and 23a to drive the XY stage position and θ
The rotation angle of the stage is controlled so as to match the operator's command signal. Here, as described above, since the distances from the reference axis R to the rotation centers of the rollers 41c, 42c, 43c are set to be equal to L, as described with reference to FIG. 3 and FIG. By moving the drive guides 21d, 22d, and 23d of the 21, X′-axis driving element 22 and the Y-axis driving element 23 by an equal amount, the stage can be rotated without moving the reference axis R, Drive guide 21
The stage can be moved in the X-axis direction by moving d and 22d by the same amount in the X-axis direction. further,
By moving the drive guide 23d in the Y-axis direction,
The stage can be moved in the Y-axis direction.

【００５９】なお、上記のように、作業者が表示装置５
２ｂに表示されるアライメント・マーク１４，１４’の
位置とその目標位置を見ながら入力装置５２ａを操作
し、ＸＹ方向の位置およびθ方向の回転角度を制御する
代わりに、プロセッサ５４がアライメント・マーク１
４，１４’の位置とその目標位置との差を求め、ＸＹ方
向の位置およびθ方向の回転角度を自動的に制御するこ
ともできる。この場合は、入力装置５２ａより制御指令
をプロセッサ５４に入力し、表示装置５２ｂにより位置
決めの結果を確認するだけでよい。As described above, the operator is required to display the display device 5.
Instead of operating the input device 52a while controlling the position in the XY direction and the rotation angle in the θ direction while observing the positions of the alignment marks 14 and 14 'displayed on 2b and the target positions thereof, the processor 54 causes the alignment marks to move. 1
It is also possible to automatically control the position in the XY direction and the rotation angle in the θ direction by obtaining the difference between the position of 4, 14 ′ and its target position. In this case, it suffices to input a control command from the input device 52a to the processor 54 and confirm the positioning result on the display device 52b.

【００６０】また、上記実施例においては、プロセッサ
によりステージを制御する例を示したが、本発明は、上
記実施例に限定されるものではなく、例えば、作業者が
アライメント・マークの拡大像を見ながら各軸の駆動機
素を操作してステージを位置決めしてもよい。図５は本
発明の第２の実施例を示す図であり、本実施例は、ステ
ージ１６の縦横比を２：１とした実施例を示しており、
その他の構成は図１に示したものと同様であり、図１に
示したものと同一のものには同一の符号が付されてい
る。Further, in the above embodiment, an example in which the processor controls the stage is shown, but the present invention is not limited to the above embodiment, and for example, an operator can display an enlarged image of the alignment mark. The stage may be positioned by operating the drive elements of the respective axes while looking. FIG. 5 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. This embodiment shows an embodiment in which the aspect ratio of the stage 16 is 2: 1.
Other configurations are similar to those shown in FIG. 1, and the same components as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

【００６１】本実施例のＸ軸ローラ保持部材４１、Ｘ’
軸ローラ保持部材４２のローラ４１ｃ、４２ｃの回転中
心は同図に示すように、アライメント・マーク１４，１
４’を結んだ直線上に配置され、基準軸Ｒからローラ４
３ｃの回転中心までの距離は、基準軸Ｒからローラ４１
ｃ，４２ｃまでの距離の半分に設定されている。本実施
例において、ステージ１６を回転させる場合には、駆動
ガイド２１ｄ，２２ｄの移動量に対して、駆動ガイド２
３ｄの移動量を半分とする。これにより、第１の実施例
と同様、基準軸Ｒを移動させることなくステージを回転
させることができる。また、ステージのＸ軸方向、Ｙ軸
方向の移動は、第１の実施例と同様である。X-axis roller holding members 41, X'of this embodiment.
The center of rotation of the rollers 41c, 42c of the shaft roller holding member 42 is, as shown in FIG.
4'is arranged on a straight line connecting the reference axis R to the roller 4
The distance from the reference axis R to the roller 41
It is set to half of the distance to c and 42c. In this embodiment, when the stage 16 is rotated, the drive guide 2 is moved with respect to the movement amount of the drive guides 21d and 22d.
The amount of movement of 3d is halved. Thereby, as in the first embodiment, the stage can be rotated without moving the reference axis R. The movement of the stage in the X-axis direction and the Y-axis direction is the same as in the first embodiment.

【００６２】なお、上記ステージの該縦横比は２：１に
限定されるものではなく任意の値とすることができる
が、ステージを回転させる際の駆動ガイド２１ｄ，２２
ｄ，２３ｄの駆動量の演算を簡単にするため上記縦横比
を整数値とすることが望ましい。図６は本発明の第３の
実施例を示す図であり、本実施例は、図１に示した駆動
ガイドとローラに換え、直動ガイドと回転及びスライド
部材を用いたものである。The aspect ratio of the stage is not limited to 2: 1 and can be set to an arbitrary value, but the drive guides 21d and 22 for rotating the stage are used.
In order to simplify the calculation of the drive amounts of d and 23d, it is desirable that the aspect ratio be an integer value. FIG. 6 is a view showing a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a linear guide, a rotation and a slide member are used instead of the drive guide and the roller shown in FIG.

【００６３】同図において、図１に示したものと同一の
ものには同一の符号が付されており、本実施例において
は、Ｘ軸、Ｘ’軸、Ｙ軸駆動機素２１，２２，２３に図
９に示したスライド軸２１ｇ，２２ｇ，２３ｇ（図９に
おけるスライド軸固定部３０、スライド軸３１に相当）
を取り付け、また、ステージ１６に取り付けられたアー
ム６１，６２，６３に図９に示した回転部材６１ａ，６
２ａ，６３ａ（図９におけるスライド軸受ケース３３に
相当）を取り付けたものである。In the figure, the same components as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and in the present embodiment, the X-axis, X'-axis, and Y-axis drive elements 21, 22, 22. Slide shafts 21g, 22g, 23g shown in FIG. 9 at 23 (corresponding to slide shaft fixing portion 30 and slide shaft 31 in FIG. 9)
And the rotating members 61a, 6 shown in FIG. 9 on the arms 61, 62, 63 attached to the stage 16.
2a and 63a (corresponding to the slide bearing case 33 in FIG. 9) are attached.

【００６４】本実施例の動作は図１の示した第１の実施
例と同様であり、ステージ１６を回転させる場合には、
Ｘ軸、Ｘ’軸、Ｙ軸駆動機素２１，２２，２３により、
基準軸Ｒを中心に回転させる方向にスライド軸２１ｇ，
２２ｇ，２３ｇを等量移動させる。これにより、前記図
３に示したように、回転部材６１ａ，６２ａ，６３ａは
スライド軸２１ｇ，２２ｇ，２３ｇに沿ってスライドし
ながら移動し、ステージ１６が回転する。The operation of this embodiment is similar to that of the first embodiment shown in FIG. 1. When the stage 16 is rotated,
With the X-axis, X'-axis, and Y-axis drive elements 21, 22, and 23,
Slide shaft 21g in the direction of rotation around the reference axis R,
Move 22g and 23g by the same amount. As a result, as shown in FIG. 3, the rotating members 61a, 62a, 63a move while sliding along the slide shafts 21g, 22g, 23g, and the stage 16 rotates.

【００６５】また、ステージ１６をＸ軸方向に移動させ
る場合には、Ｘ軸、Ｘ’軸駆動機素２１，２２により、
スライド軸２１ｇ，２２ｇを等量移動させる。これによ
り、アーム６１，６２はＸ軸方向に移動するとともに、
アーム６３の回転部材６３ａはスライド軸２３ｇに沿っ
て移動し、ステージ１６はＸ軸方向に移動する。また、
ステージ１６をＹ軸方向に移動させる場合には、Ｙ軸駆
動機素２３により、スライド軸２３ｇを移動させ、回転
及びスライド部材６３ａ、アーム６３をＹ軸方向に移動
させる。When the stage 16 is moved in the X-axis direction, the X-axis and X'-axis drive elements 21 and 22 are used.
The slide shafts 21g and 22g are moved by the same amount. As a result, the arms 61 and 62 move in the X-axis direction,
The rotating member 63a of the arm 63 moves along the slide shaft 23g, and the stage 16 moves in the X-axis direction. Also,
When moving the stage 16 in the Y-axis direction, the slide shaft 23g is moved by the Y-axis drive element 23, and the rotation and slide member 63a and the arm 63 are moved in the Y-axis direction.

【００６６】なお、上記実施例においては、本発明をマ
スクパターンの位置決めに適用した例を示したが、逆
に、ワークパターンの位置決めに適用することもでき
る。さらに、本発明の適用対象は上記実施例に限定され
るものではなく、例えば、顕微鏡等のその他の光学装
置、ステージ上のワークを加工する工作機械、スクリー
ン印刷機等の印刷装置、各種測定装置等、種々の装置に
適用することができる。In the above embodiment, an example in which the present invention is applied to the positioning of the mask pattern has been shown, but conversely, it can be applied to the positioning of the work pattern. Further, the application target of the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and for example, other optical devices such as a microscope, machine tools for processing a work on a stage, printing devices such as screen printing machines, and various measuring devices. Etc. can be applied to various devices.

【００６７】[0067]

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、基準軸Ｒを含む第１の平面上に、ステージの第１お
よび第２の被駆動機素を設け、基準軸を含み第１の平面
に交わる第２の平面上に、ステージの第３の被駆動機素
を設け、また、上記第１および第２の平面と平行な方向
に移動可能に上記３つの被駆動機素と係合する駆動ガイ
ド２１ｄ，２２ｄ，２３ｄを設け、上記駆動機素２１，
２２，２３が上記駆動ガイドにより被駆動機素を第１、
第２の平面と直交する方向に移動させることにより、ス
テージを回転／移動させるように構成したので、次の効
果を得ることができる。ステージをＸ，Ｙ方向に移動させても、ステージの
回転中心は移動せず、また、ステージを回転させても、
ＸＹ軸の座標系は回転しないので、ステージの回転／移
動の制御を容易に行うことができる。ステージを熱的に安定させることができ、温度が上
昇／下降する環境下で使用しても制御精度を損なうこと
がない。第１、第２、第３の被駆動機素と基準軸間の距離を
等しくすれば、ステージ回転時の各軸駆動機素の移動量
を等しくすることができ、制御を簡単にすることができ
る。As described above, in the present invention, the first and second driven elements of the stage are provided on the first plane including the reference axis R, and the first driven element including the reference axis is provided. A third driven element of the stage is provided on a second plane intersecting the plane, and the stage is engaged with the three driven elements movably in a direction parallel to the first and second planes. Drive guides 21d, 22d, 23d for
22 and 23 use the above-mentioned drive guide to set the driven element first,
Since the stage is configured to rotate / move by moving in a direction orthogonal to the second plane, the following effects can be obtained. Even if the stage is moved in the X and Y directions, the rotation center of the stage does not move, and even if the stage is rotated,
Since the coordinate system of the XY axes does not rotate, the rotation / movement of the stage can be easily controlled. The stage can be thermally stabilized, and control accuracy is not impaired even when used in an environment where the temperature rises / falls. If the distances between the first, second, and third driven elements and the reference axis are made equal, the amount of movement of each axis driving element when the stage rotates can be made equal, and control can be simplified. it can.

[Brief description of drawings]

【図１】本発明の実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の実施例の制御システムの構成を示す図
である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a control system according to an embodiment of the present invention.

【図３】本発明の原理構成図である。FIG. 3 is a principle configuration diagram of the present invention.

【図４】本発明においてステージの移動／回転時の動作
を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an operation when the stage is moved / rotated in the present invention.

【図５】本発明の第２の実施例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図６】本発明の第３の実施例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図７】第１の従来例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a first conventional example.

【図８】第２の従来例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a second conventional example.

【図９】第２の従来例の駆動部の構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a drive unit of a second conventional example.

【図１０】第２の従来例においてステージの移動／回転
時の動作を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an operation during movement / rotation of a stage in the second conventional example.

[Explanation of symbols]

１０ステージ装置１１マスク・ホルダ１２マスク１３マスク・パターン１４，１４’ アライメント・マー
ク１５ベース１６ステージ２１Ｘ軸駆動機素２１ａ，２２ａ，２３ａモータ２１ｂ，２２ｂ，２３ｂエンコーダ２１ｃ，２２ｃ，２３ｃ回転／直動変換機構２１ｄ，２２ｄ，２３ｄガイド２１ｅ，２２ｅ，２３ｅ駆動機素取り付け部
材２１ｇ，２２ｇ，２３ｇスライド軸２２Ｘ’軸駆動機素２３Ｙ軸駆動機素２４平面案内部４１Ｘ軸ローラ保持部材４２Ｘ’軸ローラ保持部
材４３Ｙ軸ローラ保持部材４１ｃ，４２ｃ，４３ｃローラ４１ａ，４２ａ，４３ａ圧縮バネ４１ｂ，４２ｂ，４３ｂバネ支え４４，４５予備タップ５１アライメント・マー
ク検出装置５２入出力装置５２ａ入力装置５２ｂ表示装置５３，５７インタフェース装置５４プロセッサ５５記憶装置５６ドライバ６１Ｘ軸アーム６２Ｘ’軸アーム６３Ｙ軸アーム６１ａ，６１ｂ，６１ｃ回転及びスライド部
材10 Stage Device 11 Mask Holder 12 Mask 13 Mask Pattern 14, 14 'Alignment Mark 15 Base 16 Stage 21 X Axis Drive Element 21a, 22a, 23a Motor 21b, 22b, 23b Encoder 21c, 22c, 23c Rotation / Direction Motion conversion mechanism 21d, 22d, 23d Guide 21e, 22e, 23e Drive element attachment member 21g, 22g, 23g Slide shaft 22 X'-axis drive element 23 Y-axis drive element 24 Plane guide portion 41 X-axis roller holding member 42 X'-axis roller holding member 43 Y-axis roller holding member 41c, 42c, 43c Roller 41a, 42a, 43a Compression spring 41b, 42b, 43b Spring support 44, 45 Pre-tap 51 Alignment mark detection device 52 Input / output device 52a Input device 52b display device 53, 57 interface device 54 processor 55 storage device 56 driver 61 X-axis arm 62 X'-axis arm 63 Y-axis arm 61a, 61b, 61c rotation and slide member

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ１２Ｂ 5/00 Ｔ 6947−2Ｆ Continuation of the front page (51) Int.Cl. ⁶ Identification number Office reference number FI technical display location G12B 5/00 T 6947-2F

Claims

[Claims]

1. A stage device comprising at least three drive elements, wherein the drive elements linearly move the stage in two directions in a plane perpendicular to the reference axis and rotate the stage about the reference axis. The first and second driven elements of the stage are provided on the first plane including the reference axis, and the third and third stages of the stage are provided on the second plane including the reference axis and intersecting the first plane. A driven element is provided, and a drive guide that engages with the three driven elements is provided so as to be movable in a direction parallel to the first and second planes. A stage device characterized in that a stage is rotated / moved by moving a driven element in a direction orthogonal to the first and second planes.

2. The first, second, and third driven elements and the reference axis are made equal in distance.
Stage equipment.

3. The stage device according to claim 1, wherein the driven element is constituted by a roller or a slide member, and the drive guide is a flat surface.

4. The stage apparatus according to claim 1, wherein the driven element is composed of a rotating member and a slide member, and the drive guide is a linear guide.