JPH08249430A - 微細加工を用いる多重ビット磁気高周波タグ - Google Patents

微細加工を用いる多重ビット磁気高周波タグ

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JPH08249430A
JPH08249430A JP7286169A JP28616995A JPH08249430A JP H08249430 A JPH08249430 A JP H08249430A JP 7286169 A JP7286169 A JP 7286169A JP 28616995 A JP28616995 A JP 28616995A JP H08249430 A JPH08249430 A JP H08249430A
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arms
magnetic
tag
excitation
predetermined
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JP7286169A
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Alejandro G Schrott
アレジャンドロ・ガブリエル・シュロット
Jacob Von Gattofeld Robert
ロバート・ジャコブ・フォン・ガットフェルド
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Original Assignee
International Business Machines Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的低い電力密度 (例えば、およそ0.1 mW
/cm2程度であることが望ましい) で読取り且つ (例え
ば、タグの外部にある装置により) 遠隔的に感知するこ
とができ、そして干渉により無効にすることが困難であ
る、２ビット以上を有するタグ及びタグシステムの提
供。 【解決の手段】関心のある物体の識別は高周波(RF)多重
ビットのタグ構造が役立つ。異なるエッチングにより製
造された僅かに異なる長さの薄い片持ちばりのアレイは
軟磁性材料で被覆される。前記アレイは、RF磁界により
質問されたとき、適切なバイアス又は直流(DC)の場にお
いて、それらの共振周波数で振動する。振動するバーに
より生成された振動する磁界及び静止するDCの場は受信
装置により容易に検出・処理されてタグのコードを決定
し、その物体に関する情報を与える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一般に関心のある物
品に取付ける識別タグの構造、より詳しくは、薄い磁気
膜で被覆された部分を有し且つ前記物品を識別するアー
ムの共振周波数を利用する高周波(RF)磁気タグの構造に
関する。
【０００２】
【従来の技術】本明細書で開示される発明は米国特許出
願第344808号、同第344296号、同第344196号及び同第34
4771号明細書に開示された発明に関連する。
【０００３】人の識別、小売のタグ、道路／航空貨物パ
ッケージ産業で用いるタグ、製造工程でのパレットタグ
の場合、活動するもの (例えば、人) 又は活動しないも
の (以降、 "製品" 又は "物品" と呼ぶ) に取付けられ
たタグ("識別タグ" 又は "マーカー" としても知られ
る) は人／製品／物品を詳細に識別するのに役立つ。ビ
ット数が十分にある場合、製品は何であるか (又はその
タグを着用している人は誰か)、 それはいつ製造された
か、その価格、その製品は質問ゾーン (例えば、チェッ
クアウトカウンタ又はキオスク) を正しく通過したかど
うか、等を判定するために、タグに質問することができ
る。タグを介して製品を識別することは、小売産業の新
しいタイプのチェックアウトシステムの出現を促進し、
いわゆる "待時間なしのチェックアウト" を生じさせ
る。
【０００４】従来の磁気タグ及びタグシステムは: (1)
１ビットしかないこと、(2) タグを読取るのに多量の電
力を要すること、及び(3) 干渉により比較的容易に無効
になることを含む、いくつかの問題があった。
【０００５】例えば、最初の従来のタグ素子は１つの縦
の共振素子を有するのに対し、２番目の従来のタグ素子
は複数の共振素子を有する。これらのタグ素子の各々
は、隣接する堅固な磁性材料のストリップによりバイア
スされた、基板上の軟磁歪材料を用いる。交流(AC)の場
により刺激された磁界はドメインを回転させ、ストリッ
プの透磁率に変化が生ずる。透磁率のこの変化は磁気力
学的結合を共振させるので、その結果生じる磁束面積の
変化及び磁束変化の拡大が受信コイルで検出される。タ
グの非活性化はタグ内の取付け磁石の場を変えるために
タグの外部に置かれた追加のバイアス磁石を用いて行わ
れ、ストリップの共振周波数は予め設定された検出でき
る周波数の外側に出るように変化する。
【０００６】上記の従来のタグは片持ちばりを用いな
い。更に、これらの従来のタグは磁歪材料 (例えば、そ
の面積がその磁化により変化する材料) を使用し且つ励
磁のみを用いる。上記の従来のタグの各々は、それが横
よりは縦の共振を生じるので、磁歪ストリップの長さに
逆比例する共振周波数を用いる。
【０００７】３番目の従来のタグは、所定の周波数で共
振するように調整された、少なくとも１つの片持ちばり
を有する振動センサーを有する。片持ちばり振動により
回路ギャップが閉じられるので、片持ちばり及びそのと
き閉じられた接点を通って流れる電流は、装置の基部に
取付けられたマイクロチップ及び集積回路を流れること
ができる。
【０００８】このタグは、電源、配線、ならびに感知装
置及び集積回路を流れる電流を必要とするので不便であ
る。それらは全てパッケージの一部であるので、装置が
大きくなり且つ複雑になる。励振は機械的な振動によ
る。
【０００９】更にもう１つの従来のタグシステムは、磁
気AC励振を加えられると縦モードで共振するようにつく
られた、幾つかの異なる長さの磁歪材料を有する。共振
周波数は片持ちばりの長さの自乗の逆数ではなく長さの
逆数に比例する。この材料は磁歪材料であるので、外部
の雑多なバイアスの場が加わると、ドメインの回転は磁
歪材料のヤング率に変化を生じさせるので、共振周波数
に変化が起きる。周知のように、ヤング率は付加された
磁気的なバイアスの場によって決まる。付加された場に
おけるヤング率の変化は一般に"ΔE"効果と呼ばれる。
周波数の変化は交流(AC)共振磁界と直流(DC)の場とを組
合わせて付加したときに感知される。外部から雑多なバ
イアスの場が付加されたとき、各タグが置かれた位置が
互いに離れている限り、それらが同じタグであっても、
２つ以上のタグを検出することができる。
【００１０】４番目の従来の装置は、言語パターンから
生ずる異なる周波数に応答して異なる長さを有する片持
ちばりを備える。この装置は磁性材料、励磁又は検出を
用いない。代わりに、言語を感知するために圧電センサ
ーが片持ちばり構造に組込まれるので配線が必要にな
る。更にこの装置は遠隔的に感知する能力がない。
【００１１】前述の、これまでの発明では、比較的低い
電力密度 (例えば、およそ0.1 mW/cm2程度であることが
望ましい) で読取り且つ感知することができ、そして干
渉により無効にすることが困難である、２ビット以上を
有するタグ又はタグシステムはない。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、比較
的低い電力密度 (例えば、およそ0.1 mW/cm2程度である
ことが望ましい) で読取られ、遠隔的に (例えば、タグ
の外部にある装置により) 感知され、そして干渉により
無効にすることが困難である、２ビット以上を有するタ
グ及びタグシステムを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様で
は、本発明により提供されるRFタグは所定の材料 (例え
ば、シリコンが望ましい) から製造される。このタグは
磁性薄膜で被覆された部分を有し、そして種々のエッチ
ングにより生成された僅かに異なる長さの薄いバー又は
片持ちばりの共振周波数を用いる。前記バーのアレイ
は、できれば磁性材料で被覆されることが望ましく、RF
(AC)磁界により質問されると、所定のバイアス又は直流
(DC)の場が存在するとき、バーの共振周波数で振動す
る。この場合、振動に要する力は場の勾配により生成さ
れる。異なる長さの一方の端がクランプされたバーか
ら、高調波RF周波数のセットが生成される。振動するバ
ーにより生成された振動(RF)磁界及び静止するDCの場の
相互作用により生成された場は、受信装置により容易に
検出できる。
【００１４】本発明の第２の態様では、物品に取付けて
その物品に関する情報を与えるために質問するために、
基板及びその基板に結合された複数のアームを有する一
意的且つ不明確なRFタグ構造が提供される。前記複数の
アームの各々は磁性被覆剤で被覆され、そして前記複数
のアームの少なくとも幾つかは励振されるとき所定の周
波数を有するようにセットされる。本発明は前記複数の
アームを磁気的にバイアスする手段も有する。この手段
では、外部から少なくとも１つの音響的励振又は励磁を
受けると、前記複数のアームの少なくとも幾つかは高調
波磁気振動を生じ、所定のコードを与える。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１に示すように、本発明は一般
に技術的に知られている微細加工又は選択的なエッチン
グにより製造されたアーム (例えば、片持ちばり又はバ
ー) のアレイを含む。微細加工は、モノリシック集積回
路の製造で採用された手法を用いて機械装置を製造する
技術である。図１は複数のアームを形成する際の選択的
なシリコンエッチング手法を示す。
【００１６】最初の材料として、シリコン等から形成さ
れることが望ましい複数のアームはウェーハ自身により
一方の端に機械的にクランプされる。シリコンの使用が
望ましいのは、シリコンは処方された試薬により異方性
にエッチングできるからである。アームは基板と一体化
して形成し、又は別個に形成したのち基板に取付け、一
方の端をウェーハにクランプできる。シリコンの代わり
に、又はシリコンに加えて、他の適切な最初の材料、例
えば、エッチング可能な任意の材料 (例えば、Ge、Mo、
W 等) を用いることもできる。
【００１７】シリコンの場合、その表面に所定の形状
(例えば、小さな矩形) の選択的な硼素インプラントを
形成するために、技術的に知られているリソグラフ手法
が用いられる。明らかに、硼素インプラントは、所望の
設計特性及びパラメータにより任意の所望の形状を選択
できる。硼素はその後のシリコンエッチング段階のマス
ク止めとして働く。硼素に加えて、又はその代わりに、
他の適切なマスク材料を用いうることは従来の技術で知
られている。
【００１８】図２は本発明の構造をより明白に示す。図
２で、シリコンウェーハ等のような基板１を最初に提供
することにより、 (識別子、マーカー等としても知られ
ている) タグが形成される。この基板は選択的にエッチ
ングされて微細加工されたアーム２ (片持ちばり、バー
等) のアレイが形成される。アーム２は一方の端が基板
に固定され、適切な励振手段 (例えば、音波発生装置、
磁界発生装置等) による励振により自由に振動する。
【００１９】アーム２に対するバイアスフィールドは永
久磁石ヨーク３により設けられる。所定の周波数で片持
ちばりを共振させる、所定の高周波(RF)フィールドのセ
ットの導入により、アームは後述のように "質問" さ
れ、タグのコードを決定する (従って物品に関連した情
報を識別する) 信号を受信コイル (及び最終的にはプロ
セッサ) に送る。後述のように、各アームを用いてデー
タのビットをその一意的な共振周波数又はその高調波に
より供給することができる。ヨーク構成の代わりに、又
はそれに加えて、アーム／片持ちばりをバイアスするた
めに、不均一な外部の場を用いることができる。
【００２０】従って、本発明により、長さもしくは厚さ
又はその両方が異なる複数の片持ちばりが形成され、各
片持ちばりは次の式で与えられる所与の一定の基本周波
数で共振する。
【数１】ｆ1＝（0.16T/L2)(Y/ρ）0.5 ここで、f1は基本振動モードの振動周波数、Ｙはヤング
率、ρは片持ちばり材料の密度、Ｌは片持ちばりの長
さ、そしてＴは片持ちばりの厚さである。
【００２１】より高い通常モード周波数は次の式で与え
られる。
【数２】ｆ2＝6.27ｆ1
【００２２】
【数３】ｆ3＝17.55ｆ1
【００２３】式(1) から、Ｌの小変化(即ち、ΔL)に対
して、次の式が成立つ。
【数４】Δf/f＝−2ΔL/L
【００２４】周波数ｆは片持ちばりの長さＬの２乗の逆
数に比例するので、係数２はＬの周波数の広がりを増加
させる点で有利である。
【００２５】従って、例えば、質問ゾーン内の磁界にさ
らされたとき、アームの有効な透磁率の相当な変化は、
予め選択された周波数を含む共振周波数の信号識別をマ
ーカーに与える。よって、励振装置 (例えば、AC又はAC
及びDCコイルのようなコイル等、又は音波使用のスピー
カー) で生成された所定の励振インパルス信号によりス
トリップはそれらの共振周波数で振動し、これらの振動
は受信装置 (例えば、受信コイル等) で容易に検出さ
れ、復号装置により復号される。
【００２６】高い透磁率を有する低い保磁力の強磁性体
を生ずるように、各片持ちばり２は軟磁性材料の薄い層
で被覆される。この薄い層に用いうる材料は、例えば、
パーマロイ又は他のNiFe合金、非結晶磁性合金及び、Ge
及びCo (即ち、コバルト合金) 又はGe及びNi (即ち、Ni
の合金) の互い違いの、少なくとも１つの二重層を含
む。前記片持ちばりは互いに一意的である所定の共振周
波数を有するように選択的に形成されることが望まし
い。
【００２７】図２に示すように、ヨーク３又は２つの別
個のストリップに形成された、保磁力も残留磁気も高い
材料の永久磁石内にアレイが置かれる。このような構造
内のこの配置は片持ちばり２のバイアス即ち高いDCの場
を提供する。上記のように、ヨーク構成の代わりに、又
はそれに加えて、前記アームをバイアスするための不均
一な外部の場を用いることもできる。
【００２８】タグに関する情報を得るために、前述のよ
うに、RF (又はAC) 質問の場がタグに加えられる。本発
明の範囲内でのRF (又はAC) 質問の場の形成は、当業者
には十分に理解されていると考えられる。
【００２９】タグを質問する多くの適切な方法が使用で
きる。例えば、インパルス信号を用いて活動状態の全て
の素子 (アーム) を同時に共振させることができる。イ
ンパルスは 1 mW/cm2 未満、できれば 0.1 mW/cm2 程度
の電力密度で振り向けられることが望ましいが、タグ構
造の設計特性及びその環境、例えば安全基準を維持する
環境を適切に変更することにより任意の所要のインパル
ス電力を使用できることは明白である。
【００３０】タグを質問する他の方法は、共振周波数に
対応する一組の周波数をチャープ形式で加え、タグ内の
各活動状態の素子を特定の時間のシーケンスで振動させ
ることである。前記周波数は実行装置 (例えば、スピー
カー、AC励振コイル及び (又は) AC及びDC励振コイル)
に結合された周波数発生装置により加えることができ
る。
【００３１】どんな場合でも、質問信号はより強いバイ
アスの場にある活動状態の素子を振動させる。片持ちば
り２に加わる力及びそれに続いて起こる振動は、RFの場
の導入により生じた新たな磁界の勾配による。
【００３２】片持ちばりを被覆する磁性材料のヒステリ
シス曲線により生じた変位の大きさ及び非直線性によ
り、RF高調波 (例えば、第２高調波) の周波数が個々の
振動するアーム２の各々から生成される。
【００３３】そして、タグからの情報即ちコードは、既
知の (例えば、基本、第２又はより高い高調波) 周波数
の存在の有無をピックアップ即ち受信コイルで検出する
ことにより感知できる。このようなコイルは技術的に既
知であるので、本明細書では詳細な説明は行わない。タ
グにより生成された周波数コード (例えば、その周波数
の高調波) の検出に基づいて、ピックアップ／受信コイ
ルに接続された適切な復号装置により、コードを復号す
る即ち解釈することができる。復号装置の構造は技術的
に既知であるので、以下の説明の外は詳細な説明は行わ
ない。復号装置は一般に、例えば、受信装置 (例えば、
コイル等) 及び適切なプロセッサの間のインタフェース
を含み、前記プロセッサはアナログ／ディジタル(A/D)
変換器、適切な信号条件／処理回路、索引テーブル及び
論理回路のような既知の回路を含む。
【００３４】前記アレイ内のアーム２の数は、タグ構造
に関連した物品に関する情報を与えるために記憶でき
る、情報ビットの数を決定する。
【００３５】より高い高調波周波数を検出装置で感知し
又は最下位の高調波よりも高い高調波周波数で片持ちば
りを駆動することにより、バーの高調波周波数の広い分
離が用いられることもある。例えば、f2で片持ちばりを
駆動することにより、高調波RF周波数を2.54f2で生成で
きる。この倍率は、タグの小型化に寄与する条件である
バーの長さの微小な変化を望むとき、特に役立つ。
【００３６】更に、一定の所定のアームの使用を禁止す
ることにより、タグを個人化する、即ち一意的な情報を
含むようにすることができる。そして、オペレータによ
る事前設定に従って、周波数成分の有無が実時間で "1"
又は "0"に対応する。選択された片持ちばりの物理的な
除去又は選択された片持ちばりの磁化の無効化によりバ
ーを選択的に使用禁止して、タグを個人化する多数の方
法が使用できる。柔軟な磁性層が前述のような二重層か
らなる場合に特に役立つ１つの方法は、片持ちばりを加
熱して前記層を互いによく拡散させることである。従っ
て、拡散されたとき、片持ちばりは非磁性になるので、
もはやシリコンアームを磁気的な励振により振動させる
ことはできない。
【００３７】周波数発生装置により駆動されたスピーカ
ーからの音波等を用いてタグに質問し、個々の片持ちば
りを横方向に共振振動させることもできる。機械的な振
動による磁界の変化は、技術的に知られているように、
受信／ピックアップコイル等により感知できる。上記の
実施例のように、特定の周波数の有無は２進ロジックの
"1"又は "0"として作用する。タグにより生成された、
検出された周波数 (即ち検出された周波数コード) に基
づいて、上記のようにピックアップ／受信コイルに接続
された適切な復号装置により、復号即ちコードの解釈が
行われる。
【００３８】オーディオ信号による質問の利点は質問信
号をタグに与える特別な方向の臨界的である度合が低下
することである。検出は感知コイルを種々の方向に揃え
ることにより容易に行うことができる。種々の方向から
の磁気感知は多方向に質問するよりもずっと簡単であ
る。ピックアップ／受信コイルの出力は検出／復号素子
に入力され、信号レベルが所定のしきい値を上回るとき
警告等を生成することが望ましい。
【００３９】励磁の場合、空気抵抗による制動を避ける
ために、片持ちばり２は真空容器に入れることが望まし
い。制動は共振周波数の検出を更に困難にする。同じト
ークンにより、制動が要求された場合、片持ちばり２は
適切なガス入り容器に封入される。片持ちばり２は一方
の端がクランプされるから、容器はその外側の部分から
各片持ちばりに機械的に連結できるように設計され、そ
の場合、音響的励振を用いることができる。
【００４０】前述のように、本発明によるタグは、一般
に、タグが取付けられた物品を、音響的励振又は磁気的
励振を用いてそのタグを質問することにより、識別する
システムで用いられる。
【００４１】このようなシステムの第１の例として、図
３は本発明に従って音響的に駆動されるタグを示し、ス
ピーカー32に接続された複数の周波数発生装置31により
タグ30に音響波が加えられる。使用された周波数の数は
タグ30の素子の数 (従って、ビットの数) に対応する。
音響的励振を受信したことにより、タグ30の活動状態の
素子 (片持ちばり) はそれらの共振周波数で振動する。
共振周波数はセンサー／ピックアップコイル33で受信・
感知される。コイル33はタグ30からの入力に基づいて信
号を発生させ、対応する信号がプロセッサ34内の (又は
それに接続された) 周知の回路で処理され、所定のコー
ドをタグ30で検出する。既に知られているように、コー
ドが他の予め選択された情報と一致する (又は一致しな
い) 場合、プロセッサ34を警告装置に接続できる。この
システムの他の特徴は、方向付け又は影付け作用を最小
にするように異なる方向に種々のスピーカーを展開する
ことにより質問を最適化する能力を含む。このシステム
が有利であるのは、音響波エネルギによる質問では、タ
グに質問信号を向ける特別な方向の臨界的である度合が
低下するためである。
【００４２】図４は本発明に従ってAC磁界により駆動さ
れるタグ30を示す。タグ30を質問するために周波数発生
装置31がAC磁気振動コイル35を駆動し、タグ30内の活動
状態の素子のアレイがそれらの所定の共振周波数で振動
する。前記共振周波数はコイル33により検出され、そし
てタグの所定のコードが検出される。このシステムの他
の特徴は、それぞれが異なる方法を有する複数のコイル
を設けて形状的な影響を最小化することを含む。このシ
ステムはその一体化による特徴 (例えば、システム全体
の磁気化) により有利である。
【００４３】図５は本発明に従ってAC及びDC磁界の組合
せにより駆動されるタグ30を示す。周波数発生装置31及
びDCソース36 (例えば、バッテリ等) がAC及びDCコイル
37を駆動する。AC及びDCコイル37は一体化して又は別個
の構成要素として形成できる。このような構造により、
タグ30は堅固な磁石を内蔵しなくてもよい。このシステ
ムでは、タグ30を質問するために周波数発生装置31及び
DCソース36がAC及びDC磁気振動コイル37を駆動し、タグ
30内の活動状態の素子のアレイがそれらの所定の共振周
波数で振動する。前記共振周波数はコイル33により検出
され、そしてプロセッサ34による処理の後に、タグの所
定のコードの検出が行われる。このシステムの他の特徴
は堅固な磁石の除去によりタグのサイズを最小化する能
力を含む。このシステムはその設計がより簡単であるた
めに有利である。
【００４４】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。 (１) 物体に関する多重ビット情報を与えるために前記
物体に取付けられ、遠隔的に質問される装置であって、
基板と、前記基板にクランプされた複数のアームであっ
て、該複数のアームの各々が軟磁性被覆剤で被覆され、
該複数のアームの少なくとも１つが励振されたとき所定
の周波数を有するようにセットされている複数のアーム
と、前記複数のアームをバイアスする手段であって、外
部からの音響的励振又は磁気的励振を受けたとき、前記
複数のアームの前記少なくとも１つが前記情報に関する
所定のコードを与える高調波磁気振動を生ずる手段とを
備える装置。 (２) 前記複数のアームは、Ge及びCo又はCoの合金から
成る二重層、Ge及びNi又はNiの合金から成る二重層、柔
軟な磁性合金材料の層、及び非結晶磁性材料の層の少な
くとも１つで被覆される、上記(１)に記載の装置。 (３) 前記バイアスする手段は磁性ヨークを備える、上
記(１)に記載の装置。 (４) 前記複数のアームの少なくとも１つは前記複数の
アームの前記少なくとも１つが前記外部の励振による影
響を受けないように使用禁止される、上記(１)に記載の
装置。 (５) 前記バイアスする手段は不均一な外部の磁界を用
いる手段を備える、上記(１)に記載の装置。 (６) 前記バイアスする手段は不均一な外部磁界を用い
る手段及び磁性ヨークを備える、上記(１)に記載の装
置。 (７) 物体を遠隔的に識別するために前記物体に取付け
られる装置を備え、前記装置を遠隔的に質問して前記物
体に関する情報を与えるシステムであって、基板と、前
記基板に取付けられ、それぞれが軟磁性被覆剤で被覆さ
れた複数のアームと、前記複数のアームをバイアスする
手段と、共振する音響的励振を生ずる手段又は高周波数
励磁を生ずる手段を備え、前記複数のアームの少なくと
も１つが前記物体に関連した所定のコードを与える高調
波磁気振動を生ずるように前記複数のアームを励振する
手段と、前記所定のコードを検知するために前記高調波
磁気振動を遠隔的に感知する手段とを備えるシステム。 (８) 前記被覆剤を非磁性にすることにより前記複数の
アームの少なくとも１つが使用禁止され、前記複数のア
ームの前記少なくとも１つは前記励振する手段による影
響を受けないようにする、上記(１０)に記載のシステ
ム。 (９) 前記複数のアームは、Ge及びCo又はCoの合金から
成る二重層、Ge及びNi又はNiの合金から成る二重層、柔
軟な磁性合金材料の層、及び非結晶磁性材料の層の少な
くとも１つで被覆される、上記(１０)に記載のシステ
ム。 (１０) 前記バイアスする手段は磁性ヨークを備える、
上記(１０)に記載のシステム。 (１１) 前記バイアスする手段は不均一な外部の磁界を
用いる手段を備える、上記(１０)に記載のシステム。 (１２) 物体に取付けられた識別子タグを遠隔的に感知
する方法であって、前記物体に関して所定の情報を含み
且つ軟磁性被覆剤で被覆された複数のアームからなる識
別子を設け、前記物体に関して前記アームの少なくとも
１つの共振周波数を前記所定の情報に対応するように調
整するステップと、前記複数のアームを音響的励振又は
磁気的励振により励振し、複数のビットを有する前記所
定の情報に対応する所定のコードを与える高調波磁気振
動を前記複数のアームの前記所定の１つにより生じさせ
るステップと、前記所定のコードを検出するステップと
を含む方法。 (１３) 前記複数のアームの前記少なくとも１つが前記
励振するステップによる影響を受けず、従って高調波磁
気振動を生じないように、前記複数のアームの少なくと
も１つを使用禁止するステップを更に含む、上記(１７)
に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明により、最初の材料としてシリコンウェ
ーハを用いて一方の端にクランプされた複数の片持ちば
り (又はバー) を形成する選択的なエッチング手法を示
す写真である。
【図２】本発明によるタグの構造を示す図である。
【図３】本発明により音響波で駆動されるタグを示す図
である。
【図４】AC磁界により駆動される、本発明によるタグを
示す図である。
【図５】AC及びDC磁界の組合せにより駆動される、本発
明によるタグを示す図である。
【符号の説明】
1 基板 2 アーム／片持ちばり 3 ヨーク 30 タグ 31 周波数発生装置 32 スピーカー 33 センサー／ピックアップコイル 34 プロセッサ 35 AC磁気振動コイル 36 DCソース 37 AC及びDC磁気振動コイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロバート・ジャコブ・フォン・ガットフェ ルド アメリカ合衆国ニューヨーク州、ニューヨ ーク、ウェスト・ワンハンドレッドフィフ ティーンス・ストリート 600

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】物体に関する多重ビット情報を与えるため
    に前記物体に取付けられ、遠隔的に質問される装置であ
    って、 基板と、 前記基板にクランプされた複数のアームであって、該複
    数のアームの各々が軟磁性被覆剤で被覆され、該複数の
    アームの少なくとも１つが励振されたとき所定の周波数
    を有するようにセットされている複数のアームと、前記
    複数のアームをバイアスする手段であって、外部からの
    音響的励振又は磁気的励振を受けたとき、前記複数のア
    ームの前記少なくとも１つが前記情報に関する所定のコ
    ードを与える高調波磁気振動を生ずる手段とを備える装
    置。
  2. 【請求項２】前記複数のアームは、Ge及びCo又はCoの合
    金から成る二重層、Ge及びNi又はNiの合金から成る二重
    層、柔軟な磁性合金材料の層、及び非結晶磁性材料の層
    の少なくとも１つで被覆される、請求項１に記載の装
    置。
  3. 【請求項３】前記バイアスする手段は磁性ヨークを備え
    る、請求項１に記載の装置。
  4. 【請求項４】前記複数のアームの少なくとも１つは前記
    複数のアームの前記少なくとも１つが前記外部の励振に
    よる影響を受けないように使用禁止される、請求項１に
    記載の装置。
  5. 【請求項５】前記バイアスする手段は不均一な外部の磁
    界を用いる手段を備える、請求項１に記載の装置。
  6. 【請求項６】前記バイアスする手段は不均一な外部磁界
    を用いる手段及び磁性ヨークを備える、請求項１に記載
    の装置。
  7. 【請求項７】物体を遠隔的に識別するために前記物体に
    取付けられる装置を備え、前記装置を遠隔的に質問して
    前記物体に関する情報を与えるシステムであって、 基板と、 前記基板に取付けられ、それぞれが軟磁性被覆剤で被覆
    された複数のアームと、 前記複数のアームをバイアスする手段と、 共振する音響的励振を生ずる手段又は高周波数励磁を生
    ずる手段を備え、前記複数のアームの少なくとも１つが
    前記物体に関連した所定のコードを与える高調波磁気振
    動を生ずるように前記複数のアームを励振する手段と、
    前記所定のコードを検知するために前記高調波磁気振動
    を遠隔的に感知する手段とを備えるシステム。
  8. 【請求項８】前記被覆剤を非磁性にすることにより前記
    複数のアームの少なくとも１つが使用禁止され、前記複
    数のアームの前記少なくとも１つは前記励振する手段に
    よる影響を受けないようにする、請求項７に記載のシス
    テム。
  9. 【請求項９】前記複数のアームは、Ge及びCo又はCoの合
    金から成る二重層、Ge及びNi又はNiの合金から成る二重
    層、柔軟な磁性合金材料の層、及び非結晶磁性材料の層
    の少なくとも１つで被覆される、請求項７に記載のシス
    テム。
  10. 【請求項１０】前記バイアスする手段は磁性ヨークを備
    える、請求項７に記載のシステム。
  11. 【請求項１１】前記バイアスする手段は不均一な外部の
    磁界を用いる手段を備える、請求項７に記載のシステ
    ム。
  12. 【請求項１２】物体に取付けられた識別子タグを遠隔的
    に感知する方法であって、 前記物体に関して所定の情報を含み且つ軟磁性被覆剤で
    被覆された複数のアームからなる識別子を設け、前記物
    体に関して前記アームの少なくとも１つの共振周波数を
    前記所定の情報に対応するように調整するステップと、 前記複数のアームを音響的励振又は磁気的励振により励
    振し、複数のビットを有する前記所定の情報に対応する
    所定のコードを与える高調磁気振動を前記複数のアーム
    の前記所定の１つにより生じさせるステップと、 前記所定のコードを検出するステップとを含む方法。
  13. 【請求項１３】前記複数のアームの前記少なくとも１つ
    が前記励振するステップによる影響を受けず、従って高
    調波磁気振動を生じないように、前記複数のアームの少
    なくとも１つを使用禁止するステップを更に含む、請求
    項１２に記載の方法。
JP7286169A 1994-11-23 1995-11-02 微細加工を用いる多重ビット磁気高周波タグ Pending JPH08249430A (ja)

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