JPH08247935A - Optical device and detection device - Google Patents

Optical device and detection device

Info

Publication number
JPH08247935A
JPH08247935A JP5220895A JP5220895A JPH08247935A JP H08247935 A JPH08247935 A JP H08247935A JP 5220895 A JP5220895 A JP 5220895A JP 5220895 A JP5220895 A JP 5220895A JP H08247935 A JPH08247935 A JP H08247935A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light source
wavelength
optical
emitting element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5220895A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kohei Tomita
公平 冨田
Yoshimasa Osumi
吉正 大角
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP5220895A priority Critical patent/JPH08247935A/en
Publication of JPH08247935A publication Critical patent/JPH08247935A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE: To accurately detect the optical characteristics of an object by providing first and second light source means, a synthesis means, a light-reception means, and a control means and always making constant the quantity of light regardless of temperature change. CONSTITUTION: Light with a wavelength λ1 or λ2 generated by a light emitting element 1-1 (a first light source means) or 1-n (including a second light source means) is synthesized by an optical element 3-1 (a synthesis means) or 3-(n-1). Part of the synthesized light is received by a monitor light reception element 4 (a light reception means) and each light reception element 1-1 to 1-n is controlled corresponding to the light reception result, thus making constant the quantity of the generated light. Namely, a constant quantity of light may always be applied regardless of ambient temperature and change with time, thus accurately obtaining the optical characteristics of an object.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光学装置および検出装
置に関し、特に、例えば経時変化、温度変化などによる
影響を抑制するようにした光学装置および検出装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical device and a detection device, and more particularly, to an optical device and a detection device that suppress the influence of, for example, aging and temperature changes.

【0002】[0002]

【従来の技術】物体の光学的特性を判定するのに、光を
物体に照射し、その反射光を分析する場合がある。この
ような場合、複数の波長の光を合成し、その合成した光
を物体に照射する。そして、物体からの光を受光し、受
光した光の波長と光量の関係を分析することで、物体の
光学的特性に関する情報を得るようにしている。
2. Description of the Related Art In order to determine an optical characteristic of an object, light is applied to the object and its reflected light is sometimes analyzed. In such a case, light of a plurality of wavelengths is combined and the combined light is applied to the object. Then, the light from the object is received, and the relationship between the wavelength and the amount of the received light is analyzed to obtain information about the optical characteristics of the object.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような場
合において、物体に照射する光は、LED、半導体レー
ザなどの発光素子を定電流駆動して発生させる。しかし
ながら、発光素子は、温度に対応して発光パワーが変化
する特性を有している。
By the way, in such a case, the light applied to the object is generated by driving a light emitting element such as an LED or a semiconductor laser at a constant current. However, the light emitting element has a characteristic that the light emission power changes according to the temperature.

【0004】例えば、赤、緑、および青の光を発生する
LEDの周囲温度と発光パワーとの関係を図示すると、
それぞれ図47乃至49に示すようになる。いずれも横
軸が周囲温度を表しており、縦軸が発光パワー(相対光
度、あるいは相対発光出力)を表している。
For example, the relationship between the ambient temperature and the emission power of LEDs that emit red, green, and blue light is illustrated as follows.
47 and 49, respectively. In each case, the horizontal axis represents the ambient temperature, and the vertical axis represents the emission power (relative luminous intensity or relative emission output).

【0005】図47に示すように、赤の光を発生するL
EDは、温度が高くなるに従って相対発光出力が低下す
る。また、図48に示すように、緑色の光を発生するL
EDも、赤の光を発生するLEDと同様に、温度が高く
なるほど相対光度が低下する。さらにまた、図49に示
すように、青の光を発生するLEDは、約15度前後に
おいて、最もその相対光度が大きくなり、それよりも温
度が低くなるか、あるいは高くなると、相対光度が低下
する。
As shown in FIG. 47, L which emits red light is used.
The relative light emission output of the ED decreases as the temperature increases. Also, as shown in FIG. 48, L that emits green light is used.
Similar to an LED that emits red light, the ED has a lower relative luminous intensity as the temperature rises. Furthermore, as shown in FIG. 49, an LED that emits blue light has the highest relative luminous intensity around 15 degrees, and the relative luminous intensity decreases when the temperature becomes lower or higher than that. To do.

【0006】このように、温度の変化にともなって、発
光パワーが変動すると、物体の光学的特性を正確に検出
することが困難になる。
As described above, if the light emission power fluctuates with a change in temperature, it becomes difficult to accurately detect the optical characteristics of the object.

【0007】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、光学的特性をより正確に検出することがで
きるようにするものである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and is intended to make it possible to detect optical characteristics more accurately.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の光学装
置は、第1の波長分布を有する光を発生する第1の光源
手段(例えば図1の発光素子1−1)と、第1の波長分
布とは異なる波長領域の第2の波長分布を有する光を発
生する第2の光源手段(例えば図1の発光素子1−2)
と、第1の光源手段と第2の光源手段の出射する光を合
成する合成手段(例えば図1の光学素子3−1)と、合
成手段により合成された光を受光する受光手段(例えば
図1のモニタ用受光素子4)と、受光手段の出力に対応
して第1の光源手段または第2の光源手段の少なくとも
一方の出射する光の光量を制御する制御手段(例えば図
4の比較回路14−1,14−2)とを備えることを特
徴とする。
An optical device according to a first aspect of the present invention includes a first light source means (for example, the light emitting element 1-1 of FIG. 1) for generating light having a first wavelength distribution, and a first light source means. Second light source means for generating light having a second wavelength distribution in a wavelength region different from the wavelength distribution of (for example, the light emitting element 1-2 of FIG. 1)
, A combining means for combining the light emitted from the first light source means and the light emitted from the second light source means (for example, the optical element 3-1 in FIG. 1), and a light receiving means for receiving the light combined by the combining means (for example, FIG. No. 1 monitor light receiving element 4) and control means for controlling the amount of light emitted from at least one of the first light source means and the second light source means in response to the output of the light receiving means (for example, the comparison circuit of FIG. 4). 14-1, 14-2) are provided.

【0009】請求項6に記載の検出装置は、物体に光を
照射する照射手段(例えば図22の光源装置50)と、
物体からの光を受光する物体光受光手段(例えば図22
の受光装置60)と、物体光受光手段の出力を処理し、
物体の光学的特性に関する情報を出力する処理手段(例
えば図23の割算回路73、比較回路74)とを備える
検出装置において、照射手段は、第1の波長分布を有す
る光を発生する第1の光源手段(例えば図22の発光素
子1−1)と、第1の波長分布とは異なる波長領域の第
2の波長分布を有する光を発生する第2の光源手段(例
えば図22の発光素子1−2)と、第1の光源手段と第
2の光源手段の出射する光を合成する合成手段(例えば
図22の光学素子3−1)と、合成手段により合成され
た光のうち、物体に照射される前の光を受光する照射光
受光手段(例えば図22のモニタ用受光素子4)と、照
射光受光手段の出力に対応して第1の光源手段または第
2の光源手段の少なくとも一方の出射する光の光量を制
御する制御手段(例えば図23の比較回路14−1,1
4−2)とを備えることを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a detection device including an irradiation means for irradiating an object with light (for example, the light source device 50 of FIG. 22).
Object light receiving means for receiving light from an object (see, for example, FIG.
And the output of the object light receiving means,
In the detection device including a processing unit (for example, the division circuit 73 and the comparison circuit 74 in FIG. 23) that outputs information about the optical characteristics of the object, the irradiation unit generates the light having the first wavelength distribution. Light source means (for example, the light emitting element 1-1 in FIG. 22) and second light source means (for example, the light emitting element in FIG. 22) for generating light having a second wavelength distribution in a wavelength region different from the first wavelength distribution. 1-2), combining means for combining the light emitted from the first light source means and the light emitted from the second light source means (for example, the optical element 3-1 in FIG. 22), and the light combined by the combining means At least one of the first light source means or the second light source means corresponding to the output of the irradiation light receiving means (for example, the monitor light receiving element 4 in FIG. 22) for receiving the light before being irradiated to the irradiation light receiving means. One of the control means for controlling the amount of light emitted ( The example comparison circuit of FIG. 23 14-1,1
4-2) is provided.

【0010】請求項9に記載の検出装置は、物体に光を
照射する照射手段(例えば図22の光源装置50)と、
物体からの光を受光する物体光受光手段(例えば図22
の信号用受光素子62)と、物体光受光手段の出力を処
理し、物体の光学的特性に関する情報を出力する処理手
段(例えば図31の色識別回路81)とを備える検出装
置において、照射手段は、第1の波長分布を有する光を
発生する第1の光源手段(例えば図22の発光素子1−
1)と、第1の波長分布とは異なる波長領域の第2の波
長分布を有する光を発生する第2の光源手段(例えば図
22の発光素子1−2)と、第1の光源手段と第2の光
源手段の出射する光を合成する合成手段(例えば図22
の光学素子3−1)と、合成手段により合成された光の
うち、物体に照射される前の光を受光する照射光受光手
段(例えば図22のモニタ用受光素子4)とを備え、処
理手段は、物体光受光手段の出力と照射光受光手段の出
力を割算する割算手段(例えば図31の割算回路91−
乃至91−3)を備えることを特徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a detection device including an irradiation means for irradiating an object with light (for example, the light source device 50 in FIG. 22).
Object light receiving means for receiving light from an object (see, for example, FIG.
Of the signal light receiving element 62) and the processing means (for example, the color identification circuit 81 of FIG. 31) that processes the output of the object light receiving means and outputs the information regarding the optical characteristics of the object. Is a first light source means for generating light having a first wavelength distribution (for example, the light emitting element 1- of FIG. 22.
1), a second light source means (for example, the light emitting element 1-2 in FIG. 22) that generates light having a second wavelength distribution in a wavelength region different from the first wavelength distribution, and a first light source means. A synthesizing means for synthesizing the light emitted from the second light source means (for example, FIG. 22).
Optical element 3-1) and the irradiation light receiving means (for example, the monitoring light receiving element 4 in FIG. 22) that receives the light before being irradiated to the object among the lights combined by the combining means. The means is a dividing means for dividing the output of the object light receiving means and the output of the irradiation light receiving means (for example, the dividing circuit 91- in FIG. 31).
To 91-3) are included.

【0011】[0011]

【作用】請求項1に記載の光学装置においては、第1の
光源手段の出射する光と第2の光源手段の出射する光
が、合成手段により合成される。そして合成手段により
合成された光が、受光手段により受光され、その受光結
果に対応して、第1の光源手段、または第2の光源手段
の少なくとも一方の光量が制御される。従って、温度変
化にかかわらず、常に一定の光量とすることができる。
In the optical device according to the first aspect, the light emitted from the first light source means and the light emitted from the second light source means are combined by the combining means. The light combined by the combining means is received by the light receiving means, and the light amount of at least one of the first light source means and the second light source means is controlled in accordance with the light reception result. Therefore, the amount of light can always be constant regardless of the temperature change.

【0012】請求項6に記載の検出装置においては、物
体からの光に対応して、物体の光学的特性に関する情報
が得られる。物体に照射される光は、物体に照射される
前の光の受光出力に対応して、その光量が制御される。
従って、光学的特性を温度変化にかかわらず、正確に検
出することが可能となる。
In the detecting device according to the sixth aspect, information on the optical characteristics of the object is obtained in correspondence with the light from the object. The amount of light emitted to the object is controlled in accordance with the light receiving output of the light before being emitted to the object.
Therefore, the optical characteristics can be accurately detected regardless of the temperature change.

【0013】請求項9に記載の検出装置においては、物
体光受光手段の出力と照射光受光手段の出力が割算され
る。従って、光量を直接制御せずに、光学的特性を正確
に検出することが可能となる。
In the detector of the ninth aspect, the output of the object light receiving means and the output of the irradiation light receiving means are divided. Therefore, it is possible to accurately detect the optical characteristics without directly controlling the light amount.

【0014】[0014]

【実施例】図1は、本発明の光学装置に用いられる光源
装置の構成例を表している。同図に示すように、この実
施例においては、n個の発光素子1−1乃至1−nが、
それぞれ波長λ1乃至λnの光を発生し、それぞれの光が
光学素子3−1乃至3−(n−1)で合成され、出射さ
れるようになされている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a structural example of a light source device used in an optical device of the present invention. As shown in the figure, in this embodiment, the n light emitting elements 1-1 to 1-n are
Light of wavelengths λ 1 to λ n is generated, and the respective lights are combined by the optical elements 3-1 to 3- (n-1) and emitted.

【0015】すなわち、発光素子1−1の発生する波長
λ1の光は、コリメートレンズ2−1により平行光に変
換されて、光学素子3−1に入射されている。同様に、
発光素子1−2が発生する波長λ2の光が、コリメート
レンズ2−2により平行光に変換された後、光学素子3
−1に入射されている。光学素子3−1は、図2に示す
ように、波長λ1とそれより長い波長の光を透過し、波
長λ2(λ2<λ1)とそれより短い波長の光を反射する
特性とされている。従って、発光素子1−1より出射さ
れた波長λ1の光は、光学素子3−1を透過し、発光素
子1−2より出射された波長λ2の光は、光学素子3−
1で反射され、発光素子1−1より出射された波長λ1
の光と光軸が一致するように合成され、後段の光学素子
3−2に入射される。
That is, the light of wavelength λ 1 generated by the light emitting element 1-1 is converted into parallel light by the collimator lens 2-1 and is incident on the optical element 3-1. Similarly,
The light of wavelength λ 2 generated by the light emitting element 1-2 is converted into parallel light by the collimator lens 2-2, and then the optical element 3
It is incident on -1. As shown in FIG. 2, the optical element 3-1 has a characteristic of transmitting light of wavelength λ 1 and wavelengths longer than that, and reflecting light of wavelength λ 221 ) and wavelengths shorter than that. Has been done. Therefore, the light of wavelength λ 1 emitted from the light emitting element 1-1 passes through the optical element 3-1, and the light of wavelength λ 2 emitted from the light emitting element 1-2 is transmitted by the optical element 3-.
The wavelength λ 1 emitted from the light emitting element 1-1 after being reflected by
Light is combined so that the optical axis thereof coincides with the light and is incident on the optical element 3-2 at the subsequent stage.

【0016】光学素子3−2には、発光素子1−3が出
射する波長λ3の光が、コリメートレンズ2−3により
平行光に変換された後、入射されている。光学素子3−
2は、図2に示すように、波長λ2とそれより長い波長
の光を透過し、波長λ3(λ3<λ2)とそれより短い波
長の光を反射するようになされている。従って、光学素
子1−1と光学素子1−2より出射され、光学素子3−
1で合成された波長λ1とλ2(λ1>λ2>λ3)の光
は、光学素子3−2を透過し、発光素子1−3が出射し
た波長λ3の光は、光学素子3−2で反射され、光学素
子3−1からの光と光軸が一致するように合成される。
The light of wavelength λ 3 emitted from the light emitting element 1-3 is incident on the optical element 3-2 after being converted into parallel light by the collimator lens 2-3. Optical element 3-
As shown in FIG. 2, 2 transmits light of wavelength λ 2 and wavelengths longer than that, and reflects light of wavelength λ 332 ) and wavelengths shorter than that. Therefore, the light is emitted from the optical element 1-1 and the optical element 1-2, and the optical element 3-
The light of wavelengths λ 1 and λ 21 > λ 2 > λ 3 ) combined in 1 is transmitted through the optical element 3-2, and the light of wavelength λ 3 emitted by the light emitting element 1-3 is optical. The light is reflected by the element 3-2 and is combined so that the light from the optical element 3-1 and the optical axis coincide with each other.

【0017】以下同様にして、最終段の光学素子3−
(n−1)の前段の光学素子3−(n−2)までの構成
により、発光素子1−1乃至1−(n−1)の発生する
波長λ1乃至λn-1の光が合成される。
In the same manner, the final stage optical element 3-
The light having wavelengths λ 1 to λ n-1 generated by the light emitting elements 1-1 to 1- (n-1) is synthesized by the configuration up to the optical element 3- (n-2) in the preceding stage of (n-1). To be done.

【0018】そしてこのようにして合成された波長λ1
乃至λn-1の光は、光学素子3−(n−1)に入射され
る。この光学素子3−(n−1)には、光学素子1−n
の発生する波長λnの光が、コリメートレンズ2−nに
より平行光に変換されて入射されている。光学素子3−
(n−1)は、図3に示すような特性に設定されてい
る。すなわち、波長λn-1とそれより長い波長(λn-2
至λ1)の光の90%を透過し、波長λn(λn<λn-1
とそれより短い波長の光の10%を透過し、残りの90
%を反射する。従って、光学素子3−(n−2)より入
射された波長λ1乃至λn-1の光は、その90%が光学素
子3−(n−1)を透過し、その10%が光学素子3−
(n−1)で反射され、その一部がモニタ用受光素子4
に入射される。また、発光素子1−nの発生した波長λ
nの光は、その90%が光学素子3−(n−1)で反射
され、その10%が光学素子3−(n−1)を透過す
る。光学素子3−(n−1)を透過した光は、その一部
がモニタ用受光素子4に入射される。
The wavelength λ 1 thus synthesized is
The light of λ n-1 to λ n-1 is incident on the optical element 3- (n-1). The optical element 3- (n-1) includes the optical element 1-n.
The light having the wavelength λ n generated by is converted into parallel light by the collimator lens 2-n and is incident. Optical element 3-
(N-1) is set to the characteristic shown in FIG. That is, 90% of light of wavelength λ n-1 and wavelengths longer than that (λ n-2 to λ 1 ) are transmitted, and wavelength λ nnn-1 )
And 10% of shorter wavelength light is transmitted, and the remaining 90%
Reflect%. Therefore, 90% of the light having the wavelengths λ 1 to λ n-1 incident from the optical element 3- (n-2) is transmitted through the optical element 3- (n-1), and 10% thereof is the optical element. 3-
The light is reflected by (n-1), and a part of it is received by the monitor light-receiving element 4
Is incident on. In addition, the wavelength λ generated by the light emitting element 1-n
90% of the light of n is reflected by the optical element 3- (n-1), and 10% thereof is transmitted through the optical element 3- (n-1). A part of the light transmitted through the optical element 3- (n-1) is incident on the monitor light receiving element 4.

【0019】従って、各光学素子3−1乃至3−(n−
1)における損失を無視して、理想的な状態を考える
と、発光素子1−1乃至1−nで発生した波長λ1乃至
λnの光のうち、その90%が合成されて、光学素子3
−(n−1)から図1において右側に出射され、その1
0%が光学素子3−(n−1)の図1において上側に出
射され、その一部がモニタ用受光素子4で受光される。
Therefore, each of the optical elements 3-1 to 3- (n-
Considering an ideal state, ignoring the loss in 1), 90% of the light having wavelengths λ 1 to λ n generated by the light emitting elements 1-1 to 1-n is combined to form an optical element. Three
-(N-1) is emitted to the right side in FIG.
0% is emitted to the upper side of the optical element 3- (n-1) in FIG. 1, and a part thereof is received by the monitor light receiving element 4.

【0020】図4は、モニタ用受光素子4の出力に対応
して、発光素子1−1乃至1−nを駆動する駆動装置の
構成例を表している。同図に示すように、この実施例に
おいては、モニタ用受光素子4の出力が電流電圧(I/
V)変換器12で電流電圧変換された後、サンプルホー
ルド回路(S/H)13−1乃至13−nに入力される
ようになされている。サンプルホールド回路13−1乃
至13−nより出力された信号は、比較回路14−1乃
至14−nに入力され、それぞれ所定の基準電圧V1
至Vnと比較されるようになされている。比較回路14
−1乃至14−nの出力は、駆動回路11−1乃至11
−nに入力されている。駆動回路11−1乃至11−n
は、それぞれ比較回路14−1乃至14−nより入力さ
れた信号に対応して、発光素子1−1乃至1−nを駆動
するようになされている。
FIG. 4 shows an example of the configuration of a drive device for driving the light emitting elements 1-1 to 1-n corresponding to the output of the monitor light receiving element 4. As shown in the figure, in this embodiment, the output of the monitor light receiving element 4 is a current voltage (I /
V) Current-voltage conversion is performed by the converter 12, and then the sample-hold circuits (S / H) 13-1 to 13-n are input. The signals output from the sample hold circuits 13-1 to 13-n are input to the comparison circuits 14-1 to 14- n and compared with predetermined reference voltages V 1 to V n , respectively. Comparison circuit 14
The outputs of -1 to 14-n are drive circuits 11-1 to 11
-N is entered. Drive circuits 11-1 to 11-n
Are configured to drive the light emitting elements 1-1 to 1-n corresponding to the signals input from the comparison circuits 14-1 to 14-n, respectively.

【0021】また、発振回路15は、発光素子1−1乃
至1−nを時分割(異なるタイミング)で駆動するよう
に、パルスを発生し、それぞれサンプルホールド回路1
3−1乃至13−nと駆動回路11−1乃至11−nに
供給している。
Further, the oscillator circuit 15 generates a pulse so as to drive the light emitting elements 1-1 to 1-n in a time division manner (different timings), and the sample hold circuit 1 respectively.
3-1 to 13-n and the drive circuits 11-1 to 11-n.

【0022】次に、その動作について説明する。発振回
路15は、最初に駆動回路11−1を制御し、発光素子
1−1を駆動させる。これにより、発光素子1−1より
波長λ1の光が発生される。この光は、コリメートレン
ズ2−1により平行光に変換された後、光学素子3−1
乃至3−(n−1)を介して、その90%の光が図示せ
ぬ物体に照射される。また、残りの10%の光は、光学
素子3−(n−1)により反射され、モニタ用受光素子
4によりその一部が受光される。
Next, the operation will be described. The oscillator circuit 15 first controls the drive circuit 11-1 to drive the light emitting element 1-1. As a result, light of wavelength λ 1 is generated from the light emitting element 1-1. This light is converted into parallel light by the collimator lens 2-1, and then the optical element 3-1.
90% of the light is applied to an object (not shown) through 3- (n-1). The remaining 10% of the light is reflected by the optical element 3- (n-1), and part of it is received by the monitor light receiving element 4.

【0023】モニタ用受光素子4は、入力された波長λ
1の光に対応する電流を発生する。この電流は、電流電
圧変換回路12により電圧に変換され、サンプルホール
ド回路13−1乃至13−nに入力される。しかしなが
ら、発振回路15は、発光素子1−1に対応するサンプ
ルホールド回路13−1にのみパルスを供給するので
(サンプルホールド回路13−2乃至13−nにはパル
スを供給しないので)、サンプルホールド回路13−1
にのみ電流電圧変換回路12の出力がサンプルホールド
される。このサンプルホールド回路13−1に供給され
るパルスは、駆動回路11−1に供給されるパルスと同
一のパルスであるから、サンプルホールド回路13−1
は、発光素子1−1が発生した波長λ1の光の光量(強
度)をサンプリングすることになる。
The monitor light-receiving element 4 has an input wavelength λ.
Generates a current corresponding to 1 light. This current is converted into a voltage by the current-voltage conversion circuit 12 and input to the sample hold circuits 13-1 to 13-n. However, since the oscillation circuit 15 supplies the pulse only to the sample hold circuit 13-1 corresponding to the light emitting element 1-1 (since the pulse is not supplied to the sample hold circuits 13-2 to 13-n), the sample hold Circuit 13-1
The output of the current-voltage conversion circuit 12 is sampled and held only at. Since the pulse supplied to the sample hold circuit 13-1 is the same as the pulse supplied to the drive circuit 11-1, the sample hold circuit 13-1
Will sample the light quantity (intensity) of the light of wavelength λ 1 generated by the light emitting element 1-1.

【0024】比較回路14−1は、サンプルホールド回
路13−1の出力を、予め設定されている基準電圧V1
と比較する。そして、比較回路14−1は、サンプルホ
ールド回路13−1の出力と基準電圧V1との差に対応
する信号を、駆動回路11−1に出力する。駆動回路1
1−1は、比較回路14−1より供給される誤差信号に
対応して発光素子1−1を定電流駆動する。
The comparison circuit 14-1 outputs the output of the sample hold circuit 13-1 to a preset reference voltage V 1
Compare with Then, the comparison circuit 14-1 outputs a signal corresponding to the difference between the output of the sample hold circuit 13-1 and the reference voltage V 1 to the drive circuit 11-1. Drive circuit 1
Reference numeral 1-1 drives the light emitting element 1-1 at a constant current in response to the error signal supplied from the comparison circuit 14-1.

【0025】以上のようにして、発光素子1−1の出力
する光の光量(強度)が基準電圧V1で規定する一定の
値となるようにサーボがかかり、発光素子1−1の出力
する光の光量は、温度や経年変化にかかわらず、常に一
定となる。
As described above, the servo is applied so that the light quantity (intensity) of the light output from the light emitting element 1-1 becomes a constant value defined by the reference voltage V 1 , and the light emitting element 1-1 outputs the light. The amount of light is always constant regardless of temperature and aging.

【0026】発振回路15は、次に発光素子1−2を駆
動するように駆動回路11−2を駆動するとともに、サ
ンプルホールド回路13−2を駆動する。その結果、発
光素子1−2が発生する波長λ2 の光が光学素子3−1
により反射された後、光学素子3−2乃至3−(n−
1)を介して出射されるとともに、その一部の光がモニ
タ用受光素子4で受光される。このモニタ用受光素子4
で受光した光の光量に対応する信号が、電流電圧変換回
路12で電圧に変換され、サンプルホールド回路13−
2においてサンプルホールドされる。そして、比較回路
14−2において、基準電圧V2 とサンプルホールド回
路13−2の出力とが比較され、駆動回路11−2は、
その誤差信号に対応して発光素子1−2を駆動する。こ
れにより、発光素子1−2は、基準電圧V2 で規定する
一定の光量(強度)の光を発生する。
The oscillating circuit 15 then drives the drive circuit 11-2 so as to drive the light emitting element 1-2, and also drives the sample hold circuit 13-2. As a result, the light having the wavelength λ 2 generated by the light emitting element 1-2 is transmitted to the optical element 3-1.
After being reflected by the optical elements 3-2 to 3- (n-
The light is emitted via 1) and a part of the light is received by the monitor light receiving element 4. This monitor light receiving element 4
The signal corresponding to the light amount of the light received by is converted into a voltage by the current-voltage conversion circuit 12, and the sample-hold circuit 13-
The sample is held at 2. Then, in the comparison circuit 14-2, the reference voltage V 2 and the output of the sample hold circuit 13-2 are compared, and the drive circuit 11-2 is
The light emitting element 1-2 is driven according to the error signal. As a result, the light emitting element 1-2 generates a constant amount of light (intensity) defined by the reference voltage V 2 .

【0027】以下同様の処理が、他の発光素子1−3乃
至1−nに対しても行われる。その結果、いずれの発光
素子も、その対応する基準電圧で規定する一定の光量の
光を発生する。
The same process is then performed on the other light emitting elements 1-3 to 1-n. As a result, each light emitting element generates a constant amount of light regulated by its corresponding reference voltage.

【0028】以上の実施例は、モニタ用受光素子4とし
て、各波長の光を分離することができないシリコンフォ
トダイオードなどのようなフォトダイオードを用いた場
合の実施例であるが、モニタ用受光素子4として、所定
の波長毎の出力を得ることができるカラーセンサを用い
ることも可能である。
The above embodiment is an embodiment in which a photodiode such as a silicon photodiode which cannot separate light of each wavelength is used as the light receiving element 4 for monitoring, but the light receiving element for monitoring is used. As 4, it is also possible to use a color sensor that can obtain an output for each predetermined wavelength.

【0029】例えば図5は、カラーフィルタを用いたカ
ラーセンサの構成例を表している。この実施例における
カラーセンサ20においては、ガラス基板22の上にR
(赤)、G(緑)、B(青)のそれぞれの波長の光のみ
を透過するカラーフィルタ21R,21G,21Bが配
置されている。そしてガラス基板22の下側には、透明
電極23が配置され、透明電極23の下側には、さらに
アモルファスシリコン(a−Si層)24が形成され、
さらにその下側に、R,G,Bのカラーフィルタ21
R,21G,21Bに対応する透明電極25R,25
G,25Bが設けられている。
For example, FIG. 5 shows a configuration example of a color sensor using a color filter. In the color sensor 20 in this embodiment, R is placed on the glass substrate 22.
Color filters 21R, 21G, and 21B that transmit only lights of respective wavelengths (red), G (green), and B (blue) are arranged. A transparent electrode 23 is arranged below the glass substrate 22, and amorphous silicon (a-Si layer) 24 is further formed below the transparent electrode 23.
Further below the R, G, B color filters 21
Transparent electrodes 25R, 25 corresponding to R, 21G, 21B
G and 25B are provided.

【0030】図5において上方より入射された光は、カ
ラーフィルタ21R,21G,21Bにより、それぞれ
R,G,Bの成分に分解される。その結果、透明電極2
3と透明電極25Rの間、透明電極23と透明電極25
Gの間、および透明電極23と透明電極25Bの間に、
それぞれR,G,Bの成分の光量に対応する電流が得ら
れる。
Light incident from above in FIG. 5 is decomposed into R, G, and B components by color filters 21R, 21G, and 21B, respectively. As a result, the transparent electrode 2
3 and the transparent electrode 25R, the transparent electrode 23 and the transparent electrode 25
Between G and between the transparent electrode 23 and the transparent electrode 25B,
Currents corresponding to the light amounts of the R, G, and B components are obtained.

【0031】従って、例えばカラーフィルタ21として
染色フィルタあるいは干渉フィルタを用いると、それぞ
れ図6(A)または(B)に示すような、R,G,Bの
各色(波長)の光に対応して、その光量(強度)に対応
する信号を得ることができる。
Therefore, for example, when a dyeing filter or an interference filter is used as the color filter 21, it corresponds to the light of each color (wavelength) of R, G, B as shown in FIG. 6A or 6B, respectively. , A signal corresponding to the light amount (intensity) can be obtained.

【0032】図7は、このような、アモルファスシリコ
ンを用いた光センサと単結晶シリコンを用いた光センサ
の分光感度を表している。同図に示すようにアモルファ
スシリコンの光センサにより、人間の視感度をカバーす
る特性を得ることができる。
FIG. 7 shows the spectral sensitivities of such an optical sensor using amorphous silicon and an optical sensor using single crystal silicon. As shown in the figure, a characteristic that covers human visibility can be obtained by the amorphous silicon optical sensor.

【0033】また、図8は、他のカラーセンサとしての
半導体カラーセンサの構成例を表している。同図に示す
ように、絶縁膜31の下にはP層34が、さらにその下
にはN層35が、さらにその下にはP層36が、それぞ
れ順次形成されており、P層36の下側には、さらに電
極37が形成されている。そしてP層34とN層35に
は、それぞれ電極32と33が設けられている。
FIG. 8 shows a configuration example of a semiconductor color sensor as another color sensor. As shown in the figure, a P layer 34 is formed below the insulating film 31, an N layer 35 is further formed below the insulating film 31, and a P layer 36 is further formed below the P layer 34. An electrode 37 is further formed on the lower side. The P layer 34 and the N layer 35 are provided with electrodes 32 and 33, respectively.

【0034】図9は、図8に示す半導体カラーセンサの
等価回路を表している。同図に示すように、この半導体
カラーセンサにおいては、実質的に2つのフォトダイオ
ードPD1とPD2が形成される。フォトダイオードP
D1の出力は、電極32と33より取り出すことがで
き、フォトダイオードPD2の出力は、電極33と37
より取り出すことができる。
FIG. 9 shows an equivalent circuit of the semiconductor color sensor shown in FIG. As shown in the figure, in this semiconductor color sensor, substantially two photodiodes PD1 and PD2 are formed. Photodiode P
The output of D1 can be taken out from the electrodes 32 and 33, and the output of the photodiode PD2 can be taken out from the electrodes 33 and 37.
You can take out more.

【0035】図10は、フォトダイオードPD1とPD
2の分光感度特性を表している。同図に示すように、フ
ォトダイオードPD1は、フォトダイオードPD2に較
べて、より短い波長の光を検出することができるように
なっている。
FIG. 10 shows photodiodes PD1 and PD.
2 represents the spectral sensitivity characteristic of No. 2. As shown in the figure, the photodiode PD1 can detect light having a shorter wavelength than the photodiode PD2.

【0036】このような半導体カラーセンサに光が入射
された場合、図11に示すように、より波長の短い青色
の光は、最も上側のP層34で最も多く吸収され、赤の
光は中間の層であるN層35で最も多く吸収され、最も
波長の長い赤の光は、最も下側の層であるP層36で最
も多く吸収される。その結果、図9に示すように、フォ
トダイオードPD1を流れる電流をISC1とし、フォト
ダイオードPD2を流れる電流をISC2とするとき、そ
の短絡電流比(ISC2/ISC1)は、波長に対して、図1
2に示すような関係を有する。すなわち、短絡電流比の
値が決定されると、そのとき半導体カラーセンサが受光
している光の波長が一義的に決定される。ただし、この
短絡電流比と波長との関係を表す特性は、周囲温度Ta
によって若干変化する。
When light is incident on such a semiconductor color sensor, as shown in FIG. 11, blue light having a shorter wavelength is absorbed most by the uppermost P layer 34, and red light is in the middle. The most red light having the longest wavelength is absorbed by the N layer 35 which is the layer of the above, and the most red light having the longest wavelength is absorbed by the P layer 36 which is the lowermost layer. As a result, as shown in FIG. 9, when the current flowing through the photodiode PD1 is I SC1 and the current flowing through the photodiode PD2 is I SC2 , the short circuit current ratio (I SC2 / I SC1 ) is Figure 1
The relationship is as shown in 2. That is, when the value of the short circuit current ratio is determined, the wavelength of the light received by the semiconductor color sensor at that time is uniquely determined. However, the characteristic representing the relationship between the short circuit current ratio and the wavelength is the ambient temperature Ta.
It changes a little depending on.

【0037】このように、モニタ用受光素子4として、
カラーセンサを用いる場合においては、各発光素子1−
1乃至1−nを駆動する駆動回路は、例えば図13に示
すように構成することができる。すなわち図13の実施
例においては、モニタ用受光素子4(カラーセンサ)の
出力のうち、波長λ1に対応する出力は、電流電圧変換
回路12−1に供給され、波長λ2に対応する出力は、
電流電圧変換回路12−2に供給され、以下同様に波長
λnに対応する出力は、電流電圧変換回路12−nに供
給される。
In this way, as the monitor light receiving element 4,
When a color sensor is used, each light emitting element 1-
The drive circuit for driving 1 to 1-n can be configured as shown in FIG. 13, for example. That is, in the embodiment of FIG. 13, of the outputs of the monitor light receiving element 4 (color sensor), the output corresponding to the wavelength λ 1 is supplied to the current-voltage conversion circuit 12-1 and the output corresponding to the wavelength λ 2. Is
The output corresponding to the wavelength λ n is similarly supplied to the current-voltage conversion circuit 12-2, and is then supplied to the current-voltage conversion circuit 12-n.

【0038】電流電圧変換回路12−1乃至12−nの
出力は、それぞれ対応するサンプルホールド回路13−
1乃至13−nに供給され、サンプルホールドされるよ
うになされている。そして発振回路15は、サンプルホ
ールド回路13−1乃至13−nと、駆動回路11−1
乃至11−nに、同時に所定のパルスを出力するように
なされている。その他の構成は、図4における場合と同
様である。
The outputs of the current-voltage conversion circuits 12-1 to 12-n are respectively output from the corresponding sample hold circuits 13-.
1 to 13-n, and is sample-held. The oscillator circuit 15 includes the sample hold circuits 13-1 to 13-n and the drive circuit 11-1.
To 11-n, a predetermined pulse is simultaneously output. Other configurations are the same as those in FIG.

【0039】モニタ用受光素子4として、図5に示すカ
ラーフィルタ21を有するカラーセンサ20を用いる場
合においては、カラーフィルタ21として、各波長λ1
乃至λnに対応するカラーフィルタを用意することにな
る。カラーセンサ20として図5に示すものをそのまま
用いる場合においては、図13に示すnは3となる。す
なわちモニタ用受光素子4は、波長λ1(R)、λ
2(G)、およびλ3(B)に対応する信号成分を出力す
る。
When the color sensor 20 having the color filter 21 shown in FIG. 5 is used as the monitor light-receiving element 4, each color λ 1 is used as the color filter 21.
It is necessary to prepare color filters corresponding to λ n . When the color sensor 20 shown in FIG. 5 is used as it is, n shown in FIG. 13 is 3. That is, the monitor light receiving element 4 has wavelengths λ 1 (R), λ
The signal components corresponding to 2 (G) and λ 3 (B) are output.

【0040】また、モニタ用受光素子4として、図8に
示す構成の半導体カラーセンサを用いる場合において
は、図13におけるnは2とされる。
When the semiconductor color sensor having the structure shown in FIG. 8 is used as the monitor light receiving element 4, n in FIG. 13 is 2.

【0041】次に、図13の実施例の動作について説明
する。図13に示す実施例においては、発振回路15
は、駆動回路11−1乃至11−nを同時に駆動するパ
ルスを出力するとともに、サンプルホールド回路13−
1乃至13−nに同時にサンプルホールドさせるパルス
を出力する。従って、発光素子1−1乃至1−nが、そ
れぞれ波長λ1乃至λnの光を同時に発生する。
Next, the operation of the embodiment shown in FIG. 13 will be described. In the embodiment shown in FIG. 13, the oscillator circuit 15
Outputs a pulse for driving the drive circuits 11-1 to 11-n at the same time, and the sample hold circuit 13-
The pulses for sample-holding are simultaneously output to 1 to 13-n. Therefore, the light emitting elements 1-1 to 1-n simultaneously generate lights of wavelengths λ 1 to λ n , respectively.

【0042】発光素子1−1乃至1−nは、図1に示す
ように配置されているため、波長λ1乃至λnの光が合成
され、合成された光の一部が図示せぬ物体に照射される
とともに、その一部の光がモニタ用受光素子4(いまの
場合カラーセンサ)で受光される。
Since the light emitting elements 1-1 to 1-n are arranged as shown in FIG. 1, light of wavelengths λ 1 to λ n are combined, and a part of the combined light is an object not shown. And a part of the light is received by the monitor light receiving element 4 (color sensor in this case).

【0043】モニタ用受光素子4は、各波長λ1乃至λn
の光の光量に対応する電流を独立に出力する。電流電圧
変換回路12−1乃至12−nは、それぞれ対応する波
長の成分を電流電圧変換し、サンプルホールド回路13
−1乃至13−nにそれぞれ供給する。サンプルホール
ド回路13−1乃至13−nは、対応する波長の成分を
サンプルホールドし、比較回路14−1乃至14−nに
供給する。比較回路14−1乃至14−nは、それぞれ
の入力を基準電圧V1乃至Vnと比較し、その誤差信号を
駆動回路11−1乃至11−nに供給する。そして、駆
動回路11−1乃至11−nは、比較回路14−1乃至
14−nからの入力に対応して、発光素子1−1乃至1
−nを駆動する。
The monitor light-receiving element 4 has wavelengths λ 1 to λ n.
The current corresponding to the amount of light of is independently output. The current-voltage conversion circuits 12-1 to 12-n perform current-voltage conversion on the components of the corresponding wavelengths, and the sample-hold circuit 13
-1 to 13-n, respectively. The sample and hold circuits 13-1 to 13-n sample and hold the components of the corresponding wavelengths, and supply the sampled and held components to the comparison circuits 14-1 to 14-n. The comparison circuits 14-1 to 14-n compare their respective inputs with the reference voltages V 1 to V n and supply the error signals to the drive circuits 11-1 to 11-n. The drive circuits 11-1 to 11-n correspond to the inputs from the comparison circuits 14-1 to 14-n and the light emitting elements 1-1 to 1
-N is driven.

【0044】このように、この実施例においては、各発
光素子1−1乃至1−nが同時に独立に制御される。
As described above, in this embodiment, the light emitting elements 1-1 to 1-n are simultaneously and independently controlled.

【0045】図4に示すように、各発光素子1−1乃至
1−nを時分割で駆動するようにした場合、発光素子の
数を多くすることができる。また、モニタ用受光素子4
として、フォトダイオードを用いることができ、さらに
電流電圧変換回路12が1つで済むため、より低コスト
で小型の装置を実現することができる。
As shown in FIG. 4, when the light emitting elements 1-1 to 1-n are driven in a time division manner, the number of light emitting elements can be increased. In addition, the light receiving element 4 for monitoring
Since a photodiode can be used and only one current-voltage conversion circuit 12 is required, it is possible to realize a smaller device at a lower cost.

【0046】これに対して、図13に示すように、モニ
タ用受光素子4として、カラーセンサを用いる場合にお
いては、発光素子1−1乃至1−nを同時に駆動するこ
とができるため、応答が早く、迅速な制御が可能とな
る。また、各発光素子1−1乃至1−nをパルス駆動す
るのではなく、連続駆動することも可能である。この場
合、発振回路15とサンプルホールド回路13−1乃至
13−nは不要となる。
On the other hand, as shown in FIG. 13, when a color sensor is used as the monitor light receiving element 4, since the light emitting elements 1-1 to 1-n can be driven simultaneously, the response is This enables quick and quick control. Further, each of the light emitting elements 1-1 to 1-n can be continuously driven instead of being pulse driven. In this case, the oscillator circuit 15 and the sample hold circuits 13-1 to 13-n are unnecessary.

【0047】図14は、光源装置の他の構成例を表して
いる。この実施例においては、光学素子3−1乃至3−
(n−2)は、図1における場合と同様の特性(図2に
示した場合と同様の特性)とされているが、最後の光学
素子3−(n−1)は、図15に示すような特性とされ
ている。すなわち、波長λn-1とそれより長い波長の光
は、その10%が透過され、90%が反射されるように
なされ、波長λnとそれより短い波長の光は、その90
%が透過され、10%が反射されるようになされてい
る。従って、この実施例においては、波長λ1乃至λn
合成された光のうち、その90%が光学素子3−(n−
1)の上方に出射され、その10%がその右側に出射さ
れ、さらにその一部がモニタ用受光素子4で受光される
ようになされている。
FIG. 14 shows another configuration example of the light source device. In this embodiment, the optical elements 3-1 to 3-
(N-2) has the same characteristics as those in FIG. 1 (the same characteristics as in the case shown in FIG. 2), but the last optical element 3- (n-1) is shown in FIG. It is said to have such characteristics. That is, 10% of the light having the wavelength λ n-1 and longer wavelengths are transmitted and 90% of the light is reflected, and the light having the wavelength λ n and shorter wavelengths is
% Is transmitted and 10% is reflected. Therefore, in this embodiment, 90% of the combined light of the wavelengths λ 1 to λ n is the optical element 3- (n-
The light is emitted above 1), 10% of which is emitted to the right, and a part of the light is received by the monitor light receiving element 4.

【0048】この図14に示す実施例においても、図4
または図13に示す場合と同様の制御回路で、各発光素
子1−1乃至1−nを制御することができる。
Also in the embodiment shown in FIG.
Alternatively, the light-emitting elements 1-1 to 1-n can be controlled by the same control circuit as in the case illustrated in FIG.

【0049】図16は、光源装置のさらに他の構成例を
表している。この実施例においては、発光素子1−1と
発光素子1−2の発生した波長λ1の光と波長λ2の光
が、光学素子3−1により合成されて、光学素子3−2
に入射されるようになされている。
FIG. 16 shows still another configuration example of the light source device. In this embodiment, the light having the wavelength λ 1 and the light having the wavelength λ 2 generated by the light emitting element 1-1 and the light emitting element 1-2 are combined by the optical element 3-1 to form the optical element 3-2.
It is designed to be incident on.

【0050】また、発光素子1−3で発生した波長λ3
の光と、発光素子1−4で発生した波長λ4の光が、光
学素子3−3で合成された後、光学素子3−4に入射さ
れ、発光素子1−5で発生した波長λ5の光と合成され
ている。そしてその合成光が光学素子3−2に入射され
るようになされている。その他の構成は、図1における
場合と同様である。
The wavelength λ 3 generated by the light emitting element 1-3
Light and the light of wavelength λ 4 generated by the light emitting element 1-4 are combined by the optical element 3-3, and then are incident on the optical element 3-4, and the wavelength λ 5 generated by the light emitting element 1-5. Is combined with the light of. Then, the combined light is made incident on the optical element 3-2. Other configurations are similar to those in FIG.

【0051】この実施例における光学素子3−1乃至3
−4の特性は、図17に示すようになる。すなわち、図
1(図2)に示した場合と同様の特性でよい。もちろ
ん、光学素子3−5以降の光学素子も図1(図2と図
3)に示した場合と同様の特性であればよい。
Optical elements 3-1 to 3 in this embodiment
The characteristic of -4 is as shown in FIG. That is, the same characteristics as those shown in FIG. 1 (FIG. 2) may be used. Of course, the optical elements after the optical element 3-5 may have the same characteristics as those shown in FIG. 1 (FIGS. 2 and 3).

【0052】図16に示すように構成すると、図1ある
いは図14に示すように構成する場合に較べて、光源装
置全体の長さを短くすることができる。
With the structure shown in FIG. 16, the length of the entire light source device can be shortened as compared with the structure shown in FIG. 1 or 14.

【0053】図16に示す構成の光源装置を駆動する駆
動回路は、図1と図14に示した実施例の場合と同様
に、図4または図13に示す構成とすることができる。
The drive circuit for driving the light source device having the structure shown in FIG. 16 can have the structure shown in FIG. 4 or 13 as in the case of the embodiment shown in FIGS.

【0054】図18は、光源装置のさらに他の構成例を
表している。この実施例においては、発光素子1−1と
発光素子1−2で発生した波長λ1とλ2の光が光学素子
3−1で合成された後、最終段の光学素子としての光学
素子3−3に入射されている。
FIG. 18 shows still another configuration example of the light source device. In this embodiment, after the lights of wavelengths λ 1 and λ 2 generated by the light emitting element 1-1 and the light emitting element 1-2 are combined by the optical element 3-1, the optical element 3 as the final stage optical element is used. -3.

【0055】同様に、発光素子1−3で発生された波長
λ3の光と、光学素子1−4で発生された波長λ4の光
が、光学素子3−2で合成された後、光学素子3−3に
入射されている。
Similarly, the light of wavelength λ 3 generated by the light emitting element 1-3 and the light of wavelength λ 4 generated by the optical element 1-4 are combined by the optical element 3-2, and then the optical It is incident on the element 3-3.

【0056】光学素子3−1と3−2は、それぞれ図1
9に示すような特性とされている。すなわち、光学素子
3−1は、波長λ1とそれより長い波長の光を透過し、
波長λ2とそれより短い波長を反射するように構成され
ており、光学素子3−2は、波長λ3とそれより長い波
長の光を透過し、波長λ4とそれより短い波長の光を反
射するように構成されている。また、光学素子3−3
は、図20に示すように、波長λ2とそれより長い波長
の光の90%を透過し(10%を反射し)、波長λ3
それより短い波長の光の10%を透過する(90%を反
射する)ように構成されている。
The optical elements 3-1 and 3-2 are respectively shown in FIG.
The characteristics are as shown in FIG. That is, the optical element 3-1 transmits the light having the wavelength λ 1 and the wavelength longer than that,
The optical element 3-2 is configured to reflect the wavelength λ 2 and shorter wavelengths, and the optical element 3-2 transmits the wavelength λ 3 and longer wavelengths and transmits the wavelength λ 4 and shorter wavelengths. It is configured to reflect. Also, the optical element 3-3
As shown in FIG. 20, 90% of the light having the wavelength λ 2 and longer wavelengths are transmitted (reflecting 10%), and 10% of the light having wavelength λ 3 and shorter wavelengths are transmitted (reflecting 10%). It is configured to reflect 90%).

【0057】従って、光学素子3−1より出射された波
長λ1とλ2の合成光は、その90%が光学素子3−3を
透過し、その10%が反射して、その一部がモニタ用受
光素子4に入射される。また、光学素子3−2で合成し
た波長λ3とλ4の光は、その90%が光学素子3−3で
反射され、その10%が光学素子3−3を透過して、そ
の一部がモニタ用受光素子4で受光される。
Therefore, 90% of the combined light of the wavelengths λ 1 and λ 2 emitted from the optical element 3-1 is transmitted through the optical element 3-3, 10% thereof is reflected, and a part thereof is reflected. The light is incident on the monitor light receiving element 4. In addition, 90% of the light of wavelengths λ 3 and λ 4 combined by the optical element 3-2 is reflected by the optical element 3-3, and 10% of the light is transmitted through the optical element 3-3, and a part thereof Is received by the monitor light receiving element 4.

【0058】従って、この実施例においても、図4また
は図13に示した構成の駆動回路で各光学素子を駆動す
ることができる。
Therefore, also in this embodiment, each optical element can be driven by the drive circuit having the configuration shown in FIG. 4 or 13.

【0059】以上の実施例においては、各発光素子より
出射した各波長の光を、対応するコリメートレンズによ
り平行光に変換した後、各光学素子で合成するようにし
たが、例えば図21に示すように、各光学素子を発散光
路中に配置し、最終的に合成した光をレンズにより平行
光に変換するようにすることもできる。
In the above embodiments, the light of each wavelength emitted from each light emitting element is converted into parallel light by a corresponding collimating lens and then combined by each optical element. For example, as shown in FIG. As described above, each optical element may be arranged in the divergent optical path, and the finally combined light may be converted into parallel light by a lens.

【0060】すなわち図21の実施例においては、発光
素子1−1と発光素子1−2で発生した波長λ1とλ2
発散光が、光学素子3−1で発散光のまま合成され、光
学素子3−2に入射される。そして、光学素子3−2
は、発光素子1−3が発生した波長λ3の発散光を光学
素子3−1より入射される波長λ1とλ2の合成発散光と
を合成し、レンズ2に入射させる。レンズ2は、光学素
子3−2より入射された発散光を平行光に変換して出射
する。モニタ用受光素子4は、最終段の光学素子3−2
で反射された光学素子3−1からの波長λ1とλ2の合成
光と、光学素子3−2を透過した発光素子1−3の発生
した波長λ3の光を受光する。
That is, in the embodiment shown in FIG. 21, the divergent light of the wavelengths λ 1 and λ 2 generated by the light emitting element 1-1 and the light emitting element 1-2 is combined by the optical element 3-1 as divergent light, It is incident on the optical element 3-2. And the optical element 3-2
Is configured to combine the divergent light of the wavelength λ 3 generated by the light emitting element 1-3 with the combined divergent light of the wavelengths λ 1 and λ 2 incident from the optical element 3-1 and make the combined light incident on the lens 2. The lens 2 converts the divergent light incident from the optical element 3-2 into parallel light and emits it. The monitor light receiving element 4 is the optical element 3-2 at the final stage.
The combined light of the wavelengths λ 1 and λ 2 from the optical element 3-1 reflected by the optical element 3-1 and the light of the wavelength λ 3 generated by the light emitting element 1-3 that has passed through the optical element 3-2 are received.

【0061】この実施例のように、各光学素子を発散光
路中に配置し、レンズを1つとすることにより、装置の
小型化と低コスト化を図ることができる。
By disposing each optical element in the divergent optical path and using a single lens as in this embodiment, it is possible to reduce the size and cost of the apparatus.

【0062】この実施例においても、図4と図13に示
した駆動装置により各発光素子を駆動することができ
る。
Also in this embodiment, each light emitting element can be driven by the driving device shown in FIGS.

【0063】図22は、以上のような光源装置を応用し
た本発明の検出装置としての、マークセンサの構成例を
表している。この実施例においては、光学装置50の発
光素子1−1が発生した波長λ1の光(例えば赤の光)
と、発光素子1−2が発生した波長λ2の光(例えば青
の光)が、光学素子3−1により発散光のまま合成さ
れ、その90%の光が投光レンズ51で検出物体53
(例えば白の物体)に照射されるようになされている。
この検出物体53には、マーク52(例えば黄色のマー
ク)が添付されたり、あるいは印刷されている。
FIG. 22 shows an example of the structure of a mark sensor as a detecting device of the present invention to which the above light source device is applied. In this embodiment, light having a wavelength λ 1 generated by the light emitting element 1-1 of the optical device 50 (for example, red light)
And light of wavelength λ 2 (for example, blue light) generated by the light emitting element 1-2 is combined as divergent light by the optical element 3-1 and 90% of the light is detected by the light projecting lens 51 by the detection object 53.
(For example, a white object) is irradiated.
A mark 52 (for example, a yellow mark) is attached to or printed on the detected object 53.

【0064】検出物体53(あるいはマーク52)で反
射された光は、受光装置60の受光レンズ61で集光さ
れ、信号用受光素子62で受光されるようになされてい
る。
The light reflected by the detection object 53 (or the mark 52) is condensed by the light receiving lens 61 of the light receiving device 60 and received by the signal light receiving element 62.

【0065】図23は、図22に示す光源装置50と受
光装置60を有するマークセンサの電気的構成例を表し
ている。同図に示すように、モニタ用受光素子4の出力
が、電流電圧変換回路12で電流電圧変換された後、サ
ンプルホールド回路13−1と13−2に入力され、サ
ンプルホールドされるようになされている。そして、サ
ンプルホールド回路13−1と13−2でサンプルホー
ルドされた信号は、比較回路14−1と14−2に入力
され基準電圧V1とV2と比較される。比較回路14−1
と14−2より出力された信号は、駆動回路11−1と
11−2に供給され、駆動回路11−1と11−2は、
それぞれ入力された信号に対応して、発光素子1−1と
1−2を駆動するようになされている。発振回路15
は、発光素子1−1と1−2を時分割駆動するように、
駆動回路11−1とサンプルホールド回路13−1、並
びに駆動回路11−2とサンプルホールド回路13−2
に、それぞれパルスを供給するようになされている。
FIG. 23 shows an electrical configuration example of a mark sensor having the light source device 50 and the light receiving device 60 shown in FIG. As shown in the figure, the output of the monitor light-receiving element 4 is converted into a current-voltage by the current-voltage conversion circuit 12 and then input to the sample-hold circuits 13-1 and 13-2 to be sample-held. ing. The signals sampled and held by the sample and hold circuits 13-1 and 13-2 are input to the comparison circuits 14-1 and 14-2 and compared with the reference voltages V 1 and V 2 . Comparison circuit 14-1
And the signals output from 14-2 are supplied to the drive circuits 11-1 and 11-2, and the drive circuits 11-1 and 11-2
The light emitting elements 1-1 and 1-2 are driven according to the respective input signals. Oscillator circuit 15
Drives the light emitting elements 1-1 and 1-2 in a time division manner,
Drive circuit 11-1 and sample hold circuit 13-1, drive circuit 11-2 and sample hold circuit 13-2
The pulse is supplied to each.

【0066】一方、信号用受光素子62の出力は、電流
電圧変換回路71により電流電圧変換された後、サンプ
ルホールド回路72−1と72−2に供給されるように
なされている。そして、サンプルホールド回路72−1
と72−2の出力が、割算回路73に入力され、割算さ
れるようになされている。比較回路74は、割算回路7
3の出力を、予め設定されている基準値と比較し、その
比較結果をマーク52の識別信号として出力するように
なされている。サンプルホールド回路72−1と72−
2には、それぞれ駆動回路11−1と11−2に供給す
るパルスと同一のパルスが供給されている。
On the other hand, the output of the signal light receiving element 62 is supplied to the sample hold circuits 72-1 and 72-2 after being converted into a current voltage by the current voltage conversion circuit 71. Then, the sample hold circuit 72-1
The outputs 72 and 72-2 are input to the division circuit 73 to be divided. The comparison circuit 74 is the division circuit 7
The output of No. 3 is compared with a preset reference value, and the comparison result is output as an identification signal of the mark 52. Sample and hold circuits 72-1 and 72-
2 is supplied with the same pulse as that supplied to the drive circuits 11-1 and 11-2, respectively.

【0067】次に、その動作について説明する。発振回
路15は、最初に駆動回路11−1とサンプルホールド
回路13−1を駆動する。駆動回路11−1は、発振回
路15よりパルスが供給されたとき、発光素子1−1を
駆動し、波長λ1の(赤の)光を発生する。この光は、
その90%が光学素子3−1を透過し、投光レンズ51
で集束され、検出物体53に照射される。
Next, the operation will be described. The oscillator circuit 15 first drives the drive circuit 11-1 and the sample hold circuit 13-1. When a pulse is supplied from the oscillator circuit 15, the drive circuit 11-1 drives the light emitting element 1-1 to generate (red) light having a wavelength λ 1 . This light is
90% of the light passes through the optical element 3-1, and the projection lens 51
And is focused on the object 53 to be illuminated.

【0068】一方、発光素子1−1が発生した光のう
ち、その10%は、光学素子3−1で反射され、モニタ
用受光素子4で受光される。モニタ用受光素子4は、入
射された光の光量に対応する電流を出力する。この電流
は、電流電圧変換路12で電圧に変換された後、サンプ
ルホールド回路13−1と13−2に供給される。この
ときサンプルホールド回路13−2には、発振回路15
からパルスが供給されておらず、サンプルホールド回路
13−1にのみ供給されているため、電流電圧変換回路
12の出力は、サンプルホールド回路13−1にのみサ
ンプルホールドされる。
On the other hand, 10% of the light generated by the light emitting element 1-1 is reflected by the optical element 3-1 and is received by the monitor light receiving element 4. The monitor light receiving element 4 outputs a current corresponding to the amount of incident light. This current is converted into a voltage by the current-voltage conversion path 12, and then supplied to the sample hold circuits 13-1 and 13-2. At this time, the sample-hold circuit 13-2 includes an oscillating circuit 15
Since the pulse is not supplied from the sample hold circuit 13-1 to the sample hold circuit 13-1, the output of the current-voltage conversion circuit 12 is sampled and held only by the sample hold circuit 13-1.

【0069】比較回路14−1は、サンプルホールド回
路13−1でサンプルホールドされた電圧と、基準電圧
1との差を演算し、その誤差信号を駆動回路11−1
に出力する。駆動回路11−1は、この誤差信号に対応
して発光素子1−1を駆動する。これにより発光素子1
−1の発生する光の光量(強度)は、基準電圧V1で設
定する一定値に制御される。
The comparison circuit 14-1 calculates the difference between the voltage sampled and held by the sample and hold circuit 13-1 and the reference voltage V 1 and outputs the error signal thereof to the drive circuit 11-1.
Output to. The drive circuit 11-1 drives the light emitting element 1-1 in response to this error signal. Thereby, the light emitting element 1
The light intensity (intensity) of the light generated by -1 is controlled to a constant value set by the reference voltage V 1 .

【0070】その後、発振回路15は、発光素子1−2
を駆動するために、駆動回路11−2とサンプルホール
ド回路13−2にパルスを出力する。駆動回路11−2
は、パルスが入力されたとき、発光素子1−2を駆動
し、波長λ2(青)の光を発生させる。この光は、光学
素子3−1で反射された後、投光レンズ51により集束
され、検出物体53に照射される。また、そのうちの1
0%の光は光学素子3−1を透過し、モニタ用受光素子
4で受光される。
After that, the oscillation circuit 15 operates the light emitting element 1-2.
In order to drive, the pulse is output to the drive circuit 11-2 and the sample hold circuit 13-2. Drive circuit 11-2
Drives a light emitting element 1-2 when a pulse is input, and emits light of wavelength λ 2 (blue). This light is reflected by the optical element 3-1 and then focused by the light projecting lens 51 to be applied to the detection object 53. Also, one of them
0% of the light passes through the optical element 3-1 and is received by the monitor light receiving element 4.

【0071】モニタ用受光素子4は、入射された光に対
応する電流を出力し、その電流は、電流電圧変換回路1
2で電圧に変換される。そして、電流電圧変換回路12
の出力は、サンプルホールド回路13−2でサンプルホ
ールドされ、比較回路14−2で基準電圧V2との誤差
信号が生成される。駆動回路11−2は、この誤差信号
に対応して、発光素子1−2を駆動する。これにより、
発光素子1−2が出力する光の光量(強度)は、基準電
圧V2で設定する一定値に制御される。
The monitor light receiving element 4 outputs a current corresponding to the incident light, and the current is the current-voltage conversion circuit 1.
Converted to voltage at 2. Then, the current-voltage conversion circuit 12
Is sampled and held by the sample and hold circuit 13-2, and an error signal with respect to the reference voltage V 2 is generated by the comparison circuit 14-2. The drive circuit 11-2 drives the light emitting element 1-2 in response to this error signal. This allows
The light amount (intensity) of the light output from the light emitting element 1-2 is controlled to a constant value set by the reference voltage V 2 .

【0072】一方、発光素子1−1が波長λ1の光を発
生したとき、この光は検出物体53で反射され、受光レ
ンズ61で集束され、信号用受光素子62で受光され
る。信号用受光素子62は、入力された信号に対応する
電流を出力する。この電流は、電流電圧変換回路71で
電圧に変換された後、サンプルホールド回路72−1と
72−2に供給される。発光素子1−1が光を発生した
とき、サンプルホールド回路72−2には、サンプリン
グパルスが供給されておらず、サンプルホールド回路7
2−1にのみサンプリングパルスが供給されているた
め、電流電圧変換回路71の出力は、サンプルホールド
回路72−1によりサンプルホールドされる。すなわち
サンプルホールド回路72−1は、波長λ1(赤)の光
の反射光量に対応する値を保持することになる。
On the other hand, when the light emitting element 1-1 generates light of wavelength λ 1 , this light is reflected by the detection object 53, focused by the light receiving lens 61, and received by the signal light receiving element 62. The signal light receiving element 62 outputs a current corresponding to the input signal. This current is converted into a voltage by the current-voltage conversion circuit 71 and then supplied to the sample hold circuits 72-1 and 72-2. When the light emitting element 1-1 emits light, the sampling pulse is not supplied to the sample hold circuit 72-2, and the sample hold circuit 7-2
Since the sampling pulse is supplied only to 2-1, the output of the current-voltage conversion circuit 71 is sample-held by the sample-hold circuit 72-1. That is, the sample hold circuit 72-1 holds the value corresponding to the reflected light amount of the light of wavelength λ 1 (red).

【0073】同様に発光素子1−2が、波長λ2(青)
の光を発生したとき、検出物体53からの反射光が信号
用受光素子62で受光される。そして、その出力がサン
プルホールド回路72−2でサンプルホールドされる。
すなわち、このサンプルホールド回路72−2には、波
長λ2(青)の反射光の光量に対応する値が保持される
ことになる。
Similarly, the light emitting element 1-2 has a wavelength λ 2 (blue).
When the above light is generated, the reflected light from the detection object 53 is received by the signal light receiving element 62. Then, the output is sampled and held by the sample and hold circuit 72-2.
That is, this sample hold circuit 72-2 holds a value corresponding to the amount of reflected light of wavelength λ 2 (blue).

【0074】図24は、検出物体53の色と、その反射
率の関係を表している。同図に示すように、検出物体5
3が白である場合、波長λ1(赤)の光も、波長λ
2(青)の光も、ほぼ同一の約95%の高い反射率とな
る。すなわち、サンプルホールド回路72−1と72−
2でサンプルホールドした値は、ほぼ同一の値となる。
FIG. 24 shows the relationship between the color of the detection object 53 and its reflectance. As shown in FIG.
If 3 is white, the light with wavelength λ 1 (red) will also have wavelength λ 1.
The 2 (blue) light also has a high reflectance of about 95%, which is almost the same. That is, the sample hold circuits 72-1 and 72-
The values sampled and held in 2 are almost the same.

【0075】これに対して、検出物体53が黄色である
場合(黄色のマーク52で反射された光が、信号用受光
素子62で受光された場合)、波長λ1(赤)の光は、
その約84%が反射され、波長λ2(青)の光は、その
約4%だけが反射される。従って、サンプルホールド回
路72−1の保持している値より、サンプルホールド回
路72−2で保持している値の方が小さくなる。
On the other hand, when the detection object 53 is yellow (when the light reflected by the yellow mark 52 is received by the signal light receiving element 62), the light of wavelength λ 1 (red) is
About 84% of it is reflected, and about 4% of the light of wavelength λ 2 (blue) is reflected. Therefore, the value held by the sample hold circuit 72-2 is smaller than the value held by the sample hold circuit 72-1.

【0076】割算回路73は、例えばサンプルホールド
回路72−1の出力で、サンプルホールド回路72−2
の出力を割算する。上述したように、信号用受光素子6
2が検出物体53で反射された光(白色で反射された
光)を受光しているとき、割算結果は、ほぼ1となる。
これに対して、黄色のマーク52からの反射光を受光し
ているとき、割算回路73の割算結果は、1より充分小
さい値(例えば0.05)となる。比較回路74に供給
されている基準値は、この割算回路73の割算結果の値
1と、1より充分小さい値との中間の値に設定されてい
る。
The division circuit 73 is, for example, the output of the sample hold circuit 72-1 and the sample hold circuit 72-2.
Divide the output of. As described above, the signal light receiving element 6
When 2 receives the light reflected by the detection object 53 (light reflected in white), the division result is almost 1.
On the other hand, when the reflected light from the yellow mark 52 is received, the division result of the division circuit 73 becomes a value (eg, 0.05) that is sufficiently smaller than 1. The reference value supplied to the comparison circuit 74 is set to an intermediate value between the value 1 of the division result of the division circuit 73 and a value sufficiently smaller than 1.

【0077】従って、例えば割算回路73の出力が1に
近いとき、基準値の方が小さく、比較回路74は、例え
ば高レベルの信号を出力する。これに対して、割算回路
73の出力が1より充分小さい値であるとき、基準値の
方が大きな値となり、比較回路74は低レベルの信号を
出力する。従って、比較回路74の論理からマーク52
の有無(反射率分布の変化)を識別することができる。
Therefore, for example, when the output of the division circuit 73 is close to 1, the reference value is smaller and the comparison circuit 74 outputs, for example, a high level signal. On the other hand, when the output of the division circuit 73 is sufficiently smaller than 1, the reference value becomes larger and the comparison circuit 74 outputs a low level signal. Therefore, from the logic of the comparison circuit 74, the mark 52
The presence or absence (change in reflectance distribution) can be identified.

【0078】図25は、本発明の検出装置としての色識
別装置の光学系の構成例を表している。この実施例にお
いては、発光素子1−1が発生した波長λ1 (赤)の光
と、発光素子1−2が発生した波長λ2 (緑)の光が、
光学素子3−1で合成され、光学素子3−2に入射され
ている。光学素子3−2は、この合成光を発光素子1−
3が発生した波長λ3 (青)の光と合成し、その合成し
た光の90%を投光レンズ51に出射し、残りの10%
をモニタ用受光素子4に向けて出射する。投光レンズ5
1は、合成された光を検出物体53に収束照射するよう
になされている。
FIG. 25 shows an example of the configuration of the optical system of the color identification device as the detection device of the present invention. In this embodiment, the light of wavelength λ 1 (red) generated by the light emitting element 1-1 and the light of wavelength λ 2 (green) generated by the light emitting element 1-2 are
The light is combined by the optical element 3-1 and is incident on the optical element 3-2. The optical element 3-2 outputs the combined light to the light emitting element 1-
3 is combined with the light of wavelength λ 3 (blue) generated, 90% of the combined light is emitted to the projection lens 51, and the remaining 10%
Is emitted toward the monitor light receiving element 4. Emitter lens 5
1 is configured to irradiate the detection object 53 with the combined light in a convergent manner.

【0079】検出物体53で反射された光は、受光レン
ズ61で集光され、信号用受光素子62で受光されるよ
うになされている。
The light reflected by the detection object 53 is condensed by the light receiving lens 61 and received by the signal light receiving element 62.

【0080】図26は、図25に示す光学系を有する色
識別装置の電気的構成例を表している。この実施例にお
ける駆動回路は、図4に示した場合と同様に構成されて
いる。すなわち、モニタ用受光素子4の出力が電流電圧
変換回路12で電流電圧変換された後、サンプルホール
ド回路13−1乃至13−3に供給されている。そし
て、サンプルホールド回路13−1乃至13−3の出力
が、比較回路14−1乃至14−3に供給され、基準電
圧V1乃至V3と比較されるようになされている。そして
駆動回路11−1乃至11−3は、比較回路14−1乃
至14−3の出力に対応して、発光素子1−1乃至1−
3を駆動するようになされている。発振回路15は、駆
動回路11−1乃至11−3と、サンプルホールド回路
13−1乃至13−3をそれぞれ時分割で駆動するよう
に、各回路にパルスを供給している。
FIG. 26 shows an example of the electrical construction of a color identification device having the optical system shown in FIG. The drive circuit in this embodiment has the same configuration as that shown in FIG. That is, the output of the monitor light-receiving element 4 is converted into a current-voltage by the current-voltage conversion circuit 12 and then supplied to the sample hold circuits 13-1 to 13-3. Then, the outputs of the sample hold circuits 13-1 to 13-3 are supplied to the comparison circuits 14-1 to 14-3 and compared with the reference voltages V 1 to V 3 . The drive circuits 11-1 to 11-3 correspond to the outputs of the comparison circuits 14-1 to 14-3 and the light emitting elements 1-1 to 1-1-.
3 is designed to drive. The oscillator circuit 15 supplies a pulse to each circuit so as to drive the drive circuits 11-1 to 11-3 and the sample hold circuits 13-1 to 13-3 in a time division manner.

【0081】また、信号用受光素子62の出力は、電流
電圧変換回路71で電流電圧変換された後、サンプルホ
ールド回路72−1乃至72−3に供給され、サンプル
ホールドされるようになされている。サンプルホールド
回路72−1乃至72−3には、駆動回路11−1乃至
11−3に供給するパルスと同一のパルスがサンプリン
グパルスとして供給されている。色識別回路81は、サ
ンプルホールド回路72−1乃至72−3の出力から、
色識別処理を実行し、その識別結果を出力するようにな
されている。
The output of the signal light-receiving element 62 is converted into a current-voltage by the current-voltage conversion circuit 71 and then supplied to the sample-hold circuits 72-1 to 72-3 to be sample-held. . The same pulses as the pulses supplied to the drive circuits 11-1 to 11-3 are supplied to the sample hold circuits 72-1 to 72-3 as sampling pulses. The color identification circuit 81 receives the outputs from the sample hold circuits 72-1 to 72-3,
The color identification processing is executed and the identification result is output.

【0082】次にその動作について説明する。図4に示
した実施例における場合と同様に、発振回路15は、発
光素子1−1乃至1−3を時分割で駆動するパルスを発
生する。その結果、図4を参照して説明した場合と同様
に、駆動回路11−1乃至11−3が順次、発光素子1
−1乃至1−3を基準電圧V1乃至V3で規定する一定の
光量の光を発生するように制御動作が行われる。
Next, the operation will be described. As in the case of the embodiment shown in FIG. 4, the oscillator circuit 15 generates pulses for driving the light emitting elements 1-1 to 1-3 in a time division manner. As a result, as in the case described with reference to FIG. 4, the drive circuits 11-1 to 11-3 sequentially perform the light emitting element 1 operation.
-1 to 1-3 control operation so as to generate a constant amount of light defined by reference voltages V 1 to V 3 is performed.

【0083】一方、発光素子1−1が波長λ1(赤)の
光を発生しているとき、サンプルホールド回路72−1
にサンプリングパルスが供給される。このため、サンプ
ルホールド回路72−1は、電流電圧変換回路71を介
して、信号用受光素子62が受光する波長λ1(赤)の
光に対応する信号の入力を受け、その値をサンプルホー
ルドする。
On the other hand, when the light emitting element 1-1 emits light of wavelength λ 1 (red), the sample hold circuit 72-1
Is supplied with a sampling pulse. Therefore, the sample hold circuit 72-1 receives the signal corresponding to the light of the wavelength λ 1 (red) received by the signal light receiving element 62 via the current-voltage conversion circuit 71, and sample-holds the value. To do.

【0084】同様に、サンプルホールド回路72−2と
72−3が、それぞれ発光素子1−2が波長λ2(緑)
の光を発生しているときにおける信号用受光素子62の
出力と、発光素子1−3が波長λ3(青)の光を発生し
ているときにおける信号用受光素子62の出力を、それ
ぞれサンプルホールドする。色識別回路81は、サンプ
ルホールド回路72−1乃至72−3の保持するR,
G,Bの各値のレベルから検出物体53の色を次のよう
にして識別する。
Similarly, in the sample hold circuits 72-2 and 72-3, the light emitting element 1-2 has the wavelength λ 2 (green).
Of the signal light receiving element 62 when the light emitting element 1-3 is emitting light and the output of the signal light receiving element 62 when the light emitting element 1-3 is emitting light of the wavelength λ 3 (blue). Hold on. The color identification circuit 81 stores R, held by the sample hold circuits 72-1 to 72-3.
The color of the detection object 53 is identified from the level of each value of G and B as follows.

【0085】すなわち、色識別回路81は、最初にサン
プルホールド回路72−1乃至72−3の出力する値
R,G,Bを加算し、その和T(=R+G+B)を求め
る。次に、各値R,G,Bの和Tに対する比(割合)R
1(=R/T),G1(=G/T),B1(=B/T)を
演算する。
That is, the color identification circuit 81 first adds the values R, G, B output from the sample hold circuits 72-1 to 72-3, and obtains the sum T (= R + G + B). Next, the ratio (ratio) R of each value R, G, B to the sum T
1 (= R / T), G 1 (= G / T), B 1 (= B / T) are calculated.

【0086】さらに色識別回路81は、図27に示すフ
ローチャートに従って、各色の割合の大きさから、色を
識別する。この識別処理は、図28に示す各色と割合R
1,G1,B1との関係に基づくものである。すなわち、
例えば、割合R1,G1,B1の値は、赤の場合、43.
3,28.3,28.7となり、橙の場合、42.8,
30.6,26.6となる。以下同様に、ピンク、茶
色、黄、黄緑、緑、青、紺、紫、白、黒などの色毎に、
割合R1,G1,B1の値が決まっているので、この値か
ら、色を識別することができる。
Further, the color identification circuit 81 identifies a color from the size of the ratio of each color according to the flowchart shown in FIG. This identification processing is performed for each color and ratio R shown in FIG.
It is based on the relationship with 1 , G 1 and B 1 . That is,
For example, the values of the ratios R 1 , G 1 , and B 1 are 43.
3,28.3,28.7, and in the case of orange, 42.8,
It becomes 30.6 and 26.6. Similarly, for each color such as pink, brown, yellow, yellow-green, green, blue, navy blue, purple, white, and black,
Since the values of the ratios R 1 , G 1 and B 1 are determined, the color can be identified from this value.

【0087】ステップS1では、R1が40より大きい
か否かを判定し、大きければ、ステップS2に進み、G
1が29より大きいか否かを判定する。G1が29より大
きいとき、橙と判定し、29以下であるとき、赤と判定
する。
In step S1, it is determined whether or not R 1 is larger than 40, and if it is larger, the process proceeds to step S2, where G
It is determined whether 1 is larger than 29. When G 1 is larger than 29, it is judged as orange, and when it is 29 or less, it is judged as red.

【0088】R1が40以下であるとき、ステップS3
に進み、R1が33より大きいか否かを判定する。R1
33より大きいとき、ステップS4に進み、G1が38
より大きいか否かを判定する。G1が38より大きいと
き、黄色と判定し、G1が38以下であるとき、ステッ
プS5に進み、Tが7より大きいか否かを判定する。T
が7より大きいとき、ピンクと判定し、7以下であると
き茶色と判定する。
When R 1 is 40 or less, step S3
Then, it is determined whether R 1 is larger than 33. When R 1 is larger than 33, the process proceeds to step S4, and G 1 is 38.
Determine if greater than. When G 1 is greater than 38, it is determined to be yellow, and when G 1 is 38 or less, the process proceeds to step S5, and it is determined whether T is greater than 7. T
Is larger than 7, it is judged to be pink, and when it is 7 or smaller, it is judged to be brown.

【0089】R1が33以下であるとき、ステップS6
に進み、G1が41.5より大きいか否かを判定する。
1が41.5より大きいとき、ステップS7に進み、
1が29より大きいか否かを判定する。B1が29より
大きいとき、緑と判定し、B1が29以下であるとき、
ステップS8に進み、B1が30より大きいか否かを判
定する。B1が30より大きいとき、黄と判定し、30
以下であるとき黄緑と判定する。
When R 1 is 33 or less, step S6
Then, it is determined whether G 1 is larger than 41.5.
When G 1 is larger than 41.5, the process proceeds to step S7,
It is determined whether B 1 is larger than 29. When B 1 is greater than 29, it is determined to be green, and when B 1 is 29 or less,
The process proceeds to step S8, B 1 is equal to or 30 or greater. When B 1 is larger than 30, it is judged as yellow, and 30
When it is below, it is determined to be yellowish green.

【0090】G1が41.5以下であるとき、ステップ
S9に進み、B1が37.5より大きいか否かを判定す
る。B1が37.5より大きいとき、ステップS10に
進み、G1が38より大きいか否かを判定する。G1が3
8より大きいとき、青と判定し、G1が38以下である
とき、ステップS11に進み、R1が25より大きいか
否かを判定する。R1が25より大きいとき、紫と判定
し、25以下であるとき紺と判定する。
When G 1 is 41.5 or less, the process proceeds to step S9, and it is determined whether B 1 is larger than 37.5. When B 1 is greater than 37.5, the process proceeds to step S10, and it is determined whether G 1 is greater than 38. G 1 is 3
When it is greater than 8, it is determined to be blue, and when G 1 is 38 or less, the process proceeds to step S11, and it is determined whether R 1 is greater than 25. When R 1 is larger than 25, it is judged as purple, and when it is 25 or less, it is judged as dark blue.

【0091】B1が37.5以下であるとき、ステップ
S12に進み、Tが5より大きいか否かを判定する。T
が5より大きいとき、白と判定し、5以下であるとき、
黒と判定する。
When B 1 is 37.5 or less, the process proceeds to step S12, and it is determined whether T is larger than 5. T
Is greater than 5, it is determined to be white, and when it is 5 or less,
Judge as black.

【0092】図29は、色識別装置の光学系の他の構成
例を表している。この実施例においては、光源装置50
の構成は、基本的に図25に示した場合と同様である
が、投光レンズ51で集束された光が、光ファイバ91
を介して、検出物体53に照射されるようになされてい
る。そして、検出物体53で反射された光が、光ファイ
バ92により、信号用受光素子62に案内されるように
なされている。その他の構成は、図25における場合と
同様である。
FIG. 29 shows another configuration example of the optical system of the color identification device. In this embodiment, the light source device 50
25 is basically the same as that shown in FIG. 25, but the light focused by the projection lens 51 is converted into the optical fiber 91.
The detection object 53 is irradiated with the light through the. Then, the light reflected by the detection object 53 is guided to the signal light receiving element 62 by the optical fiber 92. Other configurations are similar to those in FIG.

【0093】この場合における色識別装置の電気的構成
は、図26に示した場合と同様となる。
The electrical configuration of the color identification device in this case is the same as that shown in FIG.

【0094】図30は、図25または図29に示す実施
例において、モニタ用受光素子4と信号用受光素子62
として、図5に示したカラーセンサを用いた場合におけ
る電気的構成例を表している。
FIG. 30 shows the light receiving element for monitoring 4 and the light receiving element for signal 62 in the embodiment shown in FIG. 25 or 29.
As an example, an electrical configuration example when the color sensor shown in FIG. 5 is used is shown.

【0095】すなわち、この実施例においては、モニタ
用受光素子4が独立に出力するR,G,Bの信号が、電
流電圧変換回路12−1乃至12−3により、電流電圧
変換された後、サンプルホールド回路13−1乃至13
−3においてサンプルホールドされるようになされてい
る。そして、サンプルホールド回路13−1乃至13−
3の出力と基準電圧V1乃至V3の誤差電圧が、比較回路
14−1乃至14−3で演算され、この誤差電圧に対応
して駆動回路11−1乃至11−3が発光素子1−1乃
至1−3を、それぞれ独立に駆動するようになされてい
る。
That is, in this embodiment, the R, G, B signals independently output by the monitor light receiving element 4 are converted into current / voltage by the current / voltage conversion circuits 12-1 to 12-3, and then, Sample hold circuits 13-1 to 13
In -3, the sample is held. Then, the sample hold circuits 13-1 to 13-
3 output and the error voltage of the reference voltages V 1 to V 3 are calculated by the comparison circuits 14-1 to 14-3, and the drive circuits 11-1 to 11-3 correspond to the error voltages and the driving circuits 11-1 to 11-3 operate. 1 to 1-3 are driven independently of each other.

【0096】また、信号用受光素子62が独立に出力す
るR,G,Bの電流は、それぞれ電流電圧変換回路71
−1乃至71−3により電流電圧変換された後、サンプ
ルホールド回路72−1乃至72−3に供給され、サン
プルホールドされるようになされている。識別回路81
は、サンプルホールド回路72−1乃至72−3の出力
から検出物体53の色を識別し、識別結果を出力するよ
うになされている。発振回路15は、駆動回路11−1
乃至11−3と、サンプルホールド回路13−1乃至1
3−3、並びに72−1乃至72−3を同時に駆動する
ように、駆動パルスまたは連続駆動信号を出力するよう
になされている。
The R, G, and B currents independently output by the signal light receiving element 62 are respectively converted into the current-voltage conversion circuit 71.
After being converted from current to voltage by -1 to 71-3, it is supplied to the sample hold circuits 72-1 to 72-3 and sample-held. Identification circuit 81
Is configured to identify the color of the detected object 53 from the outputs of the sample hold circuits 72-1 to 72-3 and output the identification result. The oscillator circuit 15 includes a drive circuit 11-1.
To 11-3 and sample and hold circuits 13-1 to 13-1
A drive pulse or a continuous drive signal is output so as to drive 3-3 and 72-1 to 72-3 at the same time.

【0097】すなわち、発振回路15が駆動回路11−
1乃至11−3と、サンプルホールド回路13−1乃至
13−3を同時に駆動するパルスを出力すると、発光素
子1−1乃至1−3が発生したR,G,Bの光が検出物
体53に照射され、また、その一部の光がモニタ用受光
素子4で受光される。そして、モニタ用受光素子4が独
立に出力するR,G,Bの成分に対応する電流は、電流
電圧変換回路12−1乃至12−3で電圧に変換され、
サンプルホールド回路13−1乃至13−3でサンプル
ホールドされる。比較回路14−1乃至14−3は、サ
ンプルホールド回路13−1乃至13−3の出力と、基
準電圧V1乃至V3との誤差を演算し、駆動回路11−1
乃至11−3は、この誤差電圧に対応して発光素子1−
1乃至1−3を駆動する。これにより、発光素子1−1
乃至1−3は、基準電圧V1乃至V3で規定する一定の光
量(強度)の光を発生するように制御される。
That is, the oscillation circuit 15 is driven by the drive circuit 11-
When pulses for driving 1 to 11-3 and the sample hold circuits 13-1 to 13-3 are output at the same time, R, G, and B lights generated by the light emitting elements 1-1 to 1-3 are incident on the detection object 53. The light is emitted, and part of the light is received by the monitor light receiving element 4. Then, the currents corresponding to the R, G, and B components independently output by the monitor light receiving element 4 are converted into voltages by the current-voltage conversion circuits 12-1 to 12-3,
The sample and hold circuits 13-1 to 13-3 perform sample and hold. The comparison circuits 14-1 to 14-3 calculate the error between the outputs of the sample hold circuits 13-1 to 13-3 and the reference voltages V 1 to V 3, and the drive circuit 11-1.
11 to 11-3 are light-emitting elements 1-corresponding to this error voltage.
1 to 1-3 are driven. Thereby, the light emitting element 1-1
1 to 3 are controlled so as to generate light having a constant light amount (intensity) defined by the reference voltages V 1 to V 3 .

【0098】一方検出物体53に同時に照射されたR,
G,Bの光は、そこで反射され、信号用受光素子62で
受光される。信号用受光素子62は、入射されたR,
G,Bの各成分に対応する電流を独立に出力する。この
電流は、それぞれ電流電圧変換回路71−1乃至71−
3で電圧に変換され、サンプルホールド回路72−1乃
至72−3でサンプルホールドされる。色識別回路81
は、サンプルホールド回路72−1乃至72−3でサン
プルホールドされた値から、検出物体53の色を識別す
る。
On the other hand, R, which is simultaneously irradiated to the detection object 53,
The G and B lights are reflected there and are received by the signal light receiving element 62. The signal light receiving element 62 receives the incident R,
The currents corresponding to the G and B components are independently output. The currents are respectively converted into current-voltage conversion circuits 71-1 to 71-.
3 is converted into a voltage, and sampled and held by the sample hold circuits 72-1 to 72-3. Color identification circuit 81
Identifies the color of the detection object 53 from the values sample-held by the sample-hold circuits 72-1 to 72-3.

【0099】図31は、図25または図29に示した実
施例のモニタ用受光素子4と信号用受光素子62とし
て、図5に示したカラーモニタを用いた場合における電
気的構成の他の構成例を表している。この実施例におい
ては、駆動回路11−1乃至11−3が発振回路15に
より同時に駆動され、発光素子1−1乃至1−3を同時
に駆動し、R,G,Bの各色の光を同時に発生させるよ
うになされている。
FIG. 31 shows another electrical configuration when the color monitor shown in FIG. 5 is used as the monitor light-receiving element 4 and the signal light-receiving element 62 of the embodiment shown in FIG. 25 or 29. Shows an example. In this embodiment, the drive circuits 11-1 to 11-3 are simultaneously driven by the oscillator circuit 15 to drive the light emitting elements 1-1 to 1-3 at the same time and simultaneously generate the lights of R, G, and B colors. It is designed to let you.

【0100】そして、モニタ用受光素子4は、R,G,
Bの光を受光したとき、その各光に対応する成分を独立
に発生し、電流電圧変換回路12−1乃至12−3に供
給するようになされている。電流電圧変換回路12−1
乃至12−3の出力は、サンプルホールド回路13−1
乃至13−3でサンプルホールドされた後、割算回路9
1−1乃至91−3に供給されるようになされている。
The monitor light-receiving element 4 includes R, G,
When the B light is received, components corresponding to the respective lights are independently generated and supplied to the current-voltage conversion circuits 12-1 to 12-3. Current-voltage conversion circuit 12-1
The output of each of FIGS.
After being sample-held by 13 to 13-3, the division circuit 9
It is adapted to be supplied to 1-1 to 91-3.

【0101】また、信号用受光素子62が独立に出力す
るR,G,Bの成分は、電流電圧変換回路71−1乃至
71−3により電流電圧変換された後、サンプルホール
ド回路72−1乃至72−3でサンプルホールドされる
ようになされている。そしてサンプルホールド回路72
−1乃至72−3の出力が、割算回路91−1乃至91
−3に入力されている。発振回路15は、サンプルホー
ルド回路13−1乃至13−3と、72−1乃至72−
3にも駆動回路11−1乃至11−3を駆動するパルス
と同一のパルスを供給している。割算回路91−1乃至
91−3は、サンプルホールド回路13−1乃至13−
3の出力と、サンプルホールド回路72−1乃至72−
3の出力を割算し、その演算結果を、色識別回路81に
供給している。
The R, G, and B components independently output from the signal light receiving element 62 are converted into current / voltage by the current / voltage conversion circuits 71-1 to 71-3, and then the sample / hold circuits 72-1 to 72-1. The sample is held at 72-3. And a sample hold circuit 72
-1 to 72-3 outputs the division circuits 91-1 to 91-1.
-3 is entered. The oscillator circuit 15 includes sample hold circuits 13-1 to 13-3 and 72-1 to 72-.
3 is also supplied with the same pulse as that for driving the drive circuits 11-1 to 11-3. The division circuits 91-1 to 91-3 are sample hold circuits 13-1 to 13-.
3 and the sample and hold circuits 72-1 to 72-
The output of No. 3 is divided, and the calculation result is supplied to the color identification circuit 81.

【0102】発光素子1−1乃至1−3が、R,G,B
の光を同時に発生すると、その光の一部がモニタ用受光
素子4で受光され、モニタ用受光素子4は、R,G,B
の各成分に対応する信号を独立に出力する。モニタ用受
光素子4のR,G,Bの出力は、電流電圧変換回路12
−1乃至12−3により電流電圧変換された後、サンプ
ルホールド回路13−1乃至13−3でサンプルホール
ドされ、さらに割算回路91−1乃至91−3にそれぞ
れ供給される。
The light emitting elements 1-1 to 1-3 have R, G, B
When the above light is simultaneously generated, a part of the light is received by the monitor light receiving element 4, and the monitor light receiving element 4 receives R, G, B
The signal corresponding to each component of is independently output. The R, G, and B outputs of the monitor light-receiving element 4 are the current-voltage conversion circuit 12
After current-voltage conversion by -1 to 12-3, sample-hold circuits 13-1 to 13-3 perform sample-holding and further supply to division circuits 91-1 to 91-3, respectively.

【0103】一方、検出物体53により反射されたR,
G,Bの光は、信号用受光素子62で受光される。信号
用受光素子62は、入射されたR,G,Bの各成分に対
応する信号を独立に発生する。電流電圧変換回路71−
1乃至71−3は、これらの信号を電流電圧変換し、サ
ンプルホールド回路72−1乃至72−3に出力する。
サンプルホールド回路72−1乃至72−3でサンプル
ホールドされた成分は、割算回路91−1乃至91−3
に供給される。
On the other hand, R, which is reflected by the detection object 53,
The G and B lights are received by the signal light receiving element 62. The signal light receiving element 62 independently generates signals corresponding to the incident R, G, and B components. Current-voltage conversion circuit 71-
1 to 71-3 perform current-voltage conversion on these signals and output them to the sample hold circuits 72-1 to 72-3.
The components sample-held by the sample-hold circuits 72-1 to 72-3 are divided by the divider circuits 91-1 to 91-3.
Is supplied to.

【0104】このように、この実施例においては、発光
素子1−1乃至1−3は、その出力が周囲温度にかかわ
らず一定に値のなるようにサーボがかけられていない。
従って、その発生する光の光量は、温度や経時的変化に
伴って変動する。その結果、サンプルホールド回路13
−1乃至13−3で保持した値も、その光量の変化に対
応して変化することになる。しかしながら、このこと
は、サンプルホールド回路72−1乃至72−3におい
ても同様となる。
As described above, in this embodiment, the light emitting elements 1-1 to 1-3 are not servoed so that their outputs have a constant value regardless of the ambient temperature.
Therefore, the amount of light generated changes with temperature and changes over time. As a result, the sample hold circuit 13
The values held in -1 to 13-3 also change corresponding to the change in the light amount. However, this also applies to the sample hold circuits 72-1 to 72-3.

【0105】例えば、サンプルホールド回路13−1で
保持するR成分の値が10%低下したとすると、サンプ
ルホールド回路72−1で保持する値も10%低下す
る。その結果、割算回路91−1でサンプルホールド回
路13−1と72−1の出力を割算してその商を求める
と、その商の値は、温度変化や経年変化にかかわらず一
定となる。もちろん、割算回路91−2と91−3にお
いても、割算回路91−1における場合と同様のことが
言える。
For example, if the value of the R component held by the sample hold circuit 13-1 decreases by 10%, the value held by the sample hold circuit 72-1 also decreases by 10%. As a result, when the output of the sample hold circuits 13-1 and 72-1 is divided by the division circuit 91-1 to obtain the quotient, the value of the quotient becomes constant irrespective of temperature change and secular change. . Of course, the same applies to the division circuits 91-2 and 91-3 as in the division circuit 91-1.

【0106】従って、割算回路91−1乃至91−3の
出力をもとに、色識別回路81で色識別処理を実行する
ようにすれば、発光素子1−1乃至1−3の発生する光
の光量を直接制御しなくとも、安定した色識別処理を実
行することが可能となる。
Therefore, if the color identification circuit 81 executes the color identification processing based on the outputs of the division circuits 91-1 to 91-3, the light emitting elements 1-1 to 1-3 are generated. It is possible to perform stable color identification processing without directly controlling the light amount of light.

【0107】次に、上記した実施例における発光素子1
−iと、光学素子3−iの具体的構成例について説明す
る。
Next, the light emitting element 1 in the above-mentioned embodiment
-I and a specific configuration example of the optical element 3-i will be described.

【0108】例えば、図1に示した発光素子1−1乃至
1−nとして、n=4の場合、図32乃至図35に示し
た発光スペクトルを有する発光素子を用いることができ
る。これらの図に示すように、図32に示す発光素子1
−1は約900nmの波長にピークの強度を有しており、
図33に示す発光素子1−2は約680nmの波長にピー
クを有している。また、図34に示す発光素子1−3は
約563nmの波長にピークを有し、図35に示す発光素
子1−4は約450nmの波長においてピークを有してい
る。
For example, as the light emitting elements 1-1 to 1-n shown in FIG. 1, when n = 4, the light emitting elements having the emission spectra shown in FIGS. 32 to 35 can be used. As shown in these figures, the light emitting device 1 shown in FIG.
-1 has a peak intensity at a wavelength of about 900 nm,
The light emitting element 1-2 shown in FIG. 33 has a peak at a wavelength of about 680 nm. The light emitting element 1-3 shown in FIG. 34 has a peak at a wavelength of about 563 nm, and the light emitting element 1-4 shown in FIG. 35 has a peak at a wavelength of about 450 nm.

【0109】光学素子3−iは、例えば図36に示すよ
うに、ガラス基板101と、その上に形成された誘電体
多層膜102により構成されている。図32に示す発光
スペクトル特性を有する発光素子1−1の発生する光
と、図33に示す発光スペクトル特性を有する発光素子
1−2の発生する光とを合成する光学素子3−1を実現
するのに、誘電体多層膜102は、例えば図37に示す
ように構成することができる。
The optical element 3-i, for example, as shown in FIG. 36, comprises a glass substrate 101 and a dielectric multilayer film 102 formed thereon. An optical element 3-1 that combines light generated by the light emitting element 1-1 having the emission spectrum characteristic shown in FIG. 32 and light generated by the light emitting element 1-2 having the emission spectrum characteristic shown in FIG. 33 is realized. In addition, the dielectric multilayer film 102 can be configured as shown in FIG. 37, for example.

【0110】すなわち、この実施例においては、多層膜
が基板101側から順番に、番号1乃至番号15で示す
15の層により構成され、各層は、それぞれ図37の材
料の欄に示すように、TiO2(屈折率2.26)と、S
iO2(屈折率1.36)で交互に形成されている。そし
て、各層番号の厚さは、光学的膜厚の欄に記載されてい
る。例えば、層番号1のTiO2は、0.4029の厚さ
とされ、層番号2のSiO2は、0.9560の膜厚とさ
れている。なお、光学的膜厚は、各材料の屈折率と物理
的膜厚(実際に積層されている膜厚)の積で表され、λ
(λ=750nm)/4が1とされている。
That is, in this embodiment, the multilayer film is composed of 15 layers shown by the numbers 1 to 15 in order from the substrate 101 side, and each layer is as shown in the material column of FIG. TiO 2 (refractive index 2.26) and S
The layers are alternately formed of iO 2 (refractive index 1.36). And the thickness of each layer number is described in the column of optical film thickness. For example, TiO 2 layer number 1 is the thickness of 0.4029, SiO 2 layer number 2 is a thickness of 0.9560. The optical film thickness is represented by the product of the refractive index of each material and the physical film thickness (the film thickness that is actually stacked).
(Λ = 750 nm) / 4 is set to 1.

【0111】これにより、図38に示すような透過率を
有する光学素子3−1を実現することができる。この図
38より明らかなように、図32に示す900nmの波長
の光は、ほぼその100%が透過され、図33に示す6
80nmの波長の光は、ほぼ、その全てが反射される。
As a result, the optical element 3-1 having the transmittance as shown in FIG. 38 can be realized. As is clear from FIG. 38, almost 100% of the light having the wavelength of 900 nm shown in FIG. 32 is transmitted, and the light shown in FIG.
Almost all the light with a wavelength of 80 nm is reflected.

【0112】図33に示す発光素子1−2が出力する6
80nmの波長、あるいはそれより長い波長を透過し、図
34に示す発光素子1−3が発生する563nmの波長を
反射する光学素子3−2は、図37に示した場合と同様
の構成で、誘電体多層膜102を構成することで実現す
ることができる。ただし、その場合における基準波長
(λ/4のλ)は、580nmとされている。すなわち、
基準波長580nmとするとき、誘電体多層膜102を図
37に示すように構成すると、図39に示す透過率特性
を有する光学素子3−2を得ることができる。図39よ
り明らかなように、図32と図33に示す波長900nm
の光と波長680nmの光は、そのほとんどが透過され、
図34に示す563nmの波長の光は、そのほとんどが反
射される。
6 output from the light emitting element 1-2 shown in FIG.
An optical element 3-2 that transmits a wavelength of 80 nm or a longer wavelength and reflects the wavelength of 563 nm generated by the light emitting element 1-3 shown in FIG. 34 has the same configuration as that shown in FIG. It can be realized by configuring the dielectric multilayer film 102. However, the reference wavelength (λ of λ / 4) in that case is 580 nm. That is,
When the reference wavelength is 580 nm and the dielectric multilayer film 102 is configured as shown in FIG. 37, the optical element 3-2 having the transmittance characteristics shown in FIG. 39 can be obtained. As is clear from FIG. 39, the wavelength 900 nm shown in FIG. 32 and FIG.
Most of the light of the wavelength of 680 nm and the light of 680 nm are transmitted,
Most of the light with a wavelength of 563 nm shown in FIG. 34 is reflected.

【0113】さらに、誘電体多層膜102に、図40に
示すように、層番号1乃至層番号9の9つの層を、図4
0の材料の欄に示す材料で、光学的膜厚の欄に示す膜厚
で形成することにより、図41に示す透過率特性を有す
る光学素子3−3を得ることができる。図41を参照し
て明らかなように、この光学素子3−3においては、図
32乃至図34に示す900nm、680nmおよび563
nmの波長の光の約90%が透過され、図35に示す発光
素子1−4が発生する波長450nmの光は、その10%
が透過される。
Further, as shown in FIG. 40, nine layers of layer number 1 to layer number 9 are formed on the dielectric multilayer film 102 as shown in FIG.
The optical element 3-3 having the transmittance characteristics shown in FIG. 41 can be obtained by forming the material shown in the column of 0 material in the film thickness shown in the column of optical film thickness. As is apparent from FIG. 41, in this optical element 3-3, 900 nm, 680 nm and 563 shown in FIGS.
About 90% of the light with the wavelength of nm is transmitted, and the light with the wavelength of 450 nm generated by the light emitting device 1-4 shown in FIG.
Is transmitted.

【0114】また、図14に示す実施例において、n=
4とするとき、発光素子1−1乃至1−4として、図1
の実施例における場合と同様に、図32乃至図35に示
す発光スペクトル特性を有する発光素子1−1乃至1−
4を用いることができる。
In the embodiment shown in FIG. 14, n =
4 is used as the light emitting elements 1-1 to 1-4.
32 to 35, the light emitting elements 1-1 to 1- having the emission spectrum characteristics shown in FIGS.
4 can be used.

【0115】そして、図1の実施例における場合と同様
に、誘電体多層膜102を図37に示すように構成し、
その基準波長λは、それぞれ750nmまたは580nmと
して、図38または図39に示す透過率特性を有する光
学素子3−1と3−2を得ることができる。
Then, as in the case of the embodiment of FIG. 1, the dielectric multilayer film 102 is constructed as shown in FIG.
The reference wavelength λ is set to 750 nm or 580 nm, respectively, and the optical elements 3-1 and 3-2 having the transmittance characteristics shown in FIG. 38 or 39 can be obtained.

【0116】また、誘電体多層膜102を、図42に示
す層で構成し、基準波長λを600nmとすることで、図
43に示す透過率特性の光学素子3−3を得ることがで
きる。なお、Al23の屈折率は1.63である。
By forming the dielectric multilayer film 102 with the layers shown in FIG. 42 and setting the reference wavelength λ to 600 nm, the optical element 3-3 having the transmittance characteristics shown in FIG. 43 can be obtained. The refractive index of Al 2 O 3 is 1.63.

【0117】図43を参照して明らかなように、図32
乃至図34に示す波長の光のうち、図32と図33に示
す900nmと680nmの波長の光は、その約15%が透
過され、図34に示す563nmの波長の光は、その約1
0%が透過される。これに対して、図35に示す450
nmの光は、その約90%が透過される。
As is apparent from FIG. 43, FIG.
Of the wavelengths shown in FIG. 34 to FIG. 34, about 15% of the wavelengths of 900 nm and 680 nm shown in FIGS. 32 and 33 are transmitted, and the wavelength of 563 nm shown in FIG.
0% is transmitted. On the other hand, 450 shown in FIG.
About 90% of the nm light is transmitted.

【0118】次に、図18に示す実施例の具体例につい
て説明する。この実施例においても、発光素子1−1乃
至1−4は、図32乃至図35に示す発光スペクトルを
有する発光素子1−1乃至1−4で構成される。
Next, a specific example of the embodiment shown in FIG. 18 will be described. Also in this embodiment, the light emitting elements 1-1 to 1-4 are composed of the light emitting elements 1-1 to 1-4 having the emission spectra shown in FIGS. 32 to 35.

【0119】光学素子3−1としては、図37に示すよ
うに、誘電体多層膜102を構成することで、図38に
示す透過率特性の光学素子を得ることができる。
As the optical element 3-1, as shown in FIG. 37, by forming the dielectric multilayer film 102, an optical element having the transmittance characteristic shown in FIG. 38 can be obtained.

【0120】光学素子3−2としては、誘電多層膜10
2を図37に示すように構成し、基準波長λを465nm
とすることで、図44に示すような、透過率特性を有す
る光学素子を得ることができる。
As the optical element 3-2, the dielectric multilayer film 10 is used.
2 is configured as shown in FIG. 37, and the reference wavelength λ is 465 nm.
By doing so, an optical element having a transmittance characteristic as shown in FIG. 44 can be obtained.

【0121】図44に示すように、この実施例において
は、図34に示す光学素子1−3が出力する563nmの
波長の光は、そのほとんどが透過され、図35に示す発
光素子1−4が発生する波長450nmの光は、そのほと
んどが反射される。
As shown in FIG. 44, in this embodiment, most of the light with a wavelength of 563 nm output from the optical element 1-3 shown in FIG. 34 is transmitted, and the light emitting element 1-4 shown in FIG. Most of the light having a wavelength of 450 nm generated by is reflected.

【0122】図18に示す実施例の光学素子3−3とし
ては、図45に示すように、誘電体多層膜102を11
の層で構成し、基準波長λを590nmとすることで、図
46に示すような透過率特性を有する光学素子を得るこ
とができる。
As the optical element 3-3 of the embodiment shown in FIG. 18, as shown in FIG.
46 and a reference wavelength λ of 590 nm, an optical element having a transmittance characteristic as shown in FIG. 46 can be obtained.

【0123】同図に示すように、この実施例において
は、図32に示す900nmの波長と、図33に示す68
0nmの波長の光は、その約90%が透過され(その10
%が反射され)、図34に示す563nmの波長の光と、
図35に示す450nmの波長の光は、約その10%の光
が透過(90%の光が反射)される。
As shown in the figure, in this example, the wavelength of 900 nm shown in FIG. 32 and 68 shown in FIG.
About 90% of light with a wavelength of 0 nm is transmitted (10
% Is reflected), and light having a wavelength of 563 nm shown in FIG.
About 10% of the light having a wavelength of 450 nm shown in FIG. 35 is transmitted (90% of the light is reflected).

【0124】以上本発明を、光源装置、マークセンサお
よび色識別装置に応用した場合を例として説明したが、
本発明はこの他の装置であって、複数の波長の光を合成
し、その合成した光を用いて物体の光学的特性を識別す
る場合に適用することが可能である。
The case where the present invention is applied to the light source device, the mark sensor, and the color identification device has been described as an example.
The present invention is another device, and can be applied to a case where light of a plurality of wavelengths is combined and the combined light is used to identify the optical characteristics of an object.

【0125】[0125]

【発明の効果】以上の如く請求項1に記載の光学装置に
よれば、合成手段により合成された光を受光する受光手
段の出力に対応して、第1の光源手段または第2の光源
手段の少なくとも一方の出射する光の光量を制御するよ
うにしたので、周囲の温度、経時的変化などにかかわら
ず、常に一定の光量の光を照射することが可能となる。
As described above, according to the optical device of the first aspect, the first light source means or the second light source means corresponds to the output of the light receiving means for receiving the light combined by the combining means. Since the amount of light emitted from at least one of the two is controlled, it is possible to always irradiate a constant amount of light regardless of the ambient temperature, changes over time, and the like.

【0126】請求項6に記載の検出装置によれば、合成
手段により合成された光のうち、物体に照射される前の
光を受光する照射光受光手段の出力に対応して、第1の
光源手段または第2の光源手段の少なくとも一方の出射
する光の光量を制御するようにしたので、周囲の温度や
経時的変化にかかわらず、物体の光学的特性を正確に得
ることが可能となる。
According to the detection device of the sixth aspect, the first light is received corresponding to the output of the irradiation light receiving means for receiving the light before being irradiated to the object among the lights combined by the combining means. Since the light amount of the light emitted from at least one of the light source means and the second light source means is controlled, it is possible to accurately obtain the optical characteristics of the object regardless of the ambient temperature and the change over time. .

【0127】また、請求項9に記載の検出装置によれ
ば、物体光受光手段の出力と、照射光受光手段の出力を
割算するようにしたので、第1の光源手段または第2の
光源手段を直接制御することなく、物体の光学的特性を
正確に得ることが可能となる。
According to the detecting device of the ninth aspect, the output of the object light receiving means and the output of the irradiation light receiving means are divided, so that the first light source means or the second light source is used. It is possible to accurately obtain the optical properties of the object without directly controlling the means.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光学装置に用いる光源装置の光学的構
成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an optical configuration of a light source device used in an optical device of the present invention.

【図2】図1の実施例における光学素子3−1乃至3−
(n−2)の透過率特性を示すグラフである。
2 is an optical element 3-1 to 3-in the embodiment of FIG.
It is a graph which shows the transmittance characteristic of (n-2).

【図3】図1の実施例における光学素子3−(n−1)
の透過率特性を示すグラフである。
3 is an optical element 3- (n-1) in the embodiment of FIG.
3 is a graph showing the transmittance characteristics of

【図4】図1の実施例の発光素子1−1乃至1−nを駆
動する駆動回路の電気的構成例を示すブロック図であ
る。
4 is a block diagram showing an electrical configuration example of a drive circuit for driving the light emitting elements 1-1 to 1-n of the embodiment of FIG.

【図5】カラーセンサの構成を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a configuration of a color sensor.

【図6】図5に示す実施例におけるカラーフィルタの特
性を示す図である。
6 is a diagram showing the characteristics of a color filter in the embodiment shown in FIG.

【図7】図5の実施例の感度特性を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing the sensitivity characteristic of the embodiment of FIG.

【図8】半導体カラーセンサの構成を示す断面図であ
る。
FIG. 8 is a sectional view showing a configuration of a semiconductor color sensor.

【図9】図8に示す実施例の等価回路の構成を示す図で
ある。
9 is a diagram showing a configuration of an equivalent circuit of the embodiment shown in FIG.

【図10】図9に示すフォトダイオードの分光感度特性
を示すグラフである。
10 is a graph showing the spectral sensitivity characteristics of the photodiode shown in FIG.

【図11】図8に示す実施例の光の波長と吸収の関係を
説明する図である。
FIG. 11 is a diagram for explaining the relationship between the wavelength and absorption of light in the embodiment shown in FIG.

【図12】図9に示す回路の出力する短絡電流比と波長
との関係を示すグラフである。
FIG. 12 is a graph showing the relationship between the short circuit current ratio output by the circuit shown in FIG. 9 and the wavelength.

【図13】カラーセンサを用いた場合における駆動回路
の構成例を示すブロック図である。
FIG. 13 is a block diagram showing a configuration example of a drive circuit when a color sensor is used.

【図14】光源装置の光学系の他の構成例を示す図であ
る。
FIG. 14 is a diagram showing another configuration example of the optical system of the light source device.

【図15】図14に示す光学素子3−(n−1)の透過
率特性を示すグラフである。
15 is a graph showing the transmittance characteristics of the optical element 3- (n-1) shown in FIG.

【図16】光源装置の光学系の他の構成例を示す図であ
る。
FIG. 16 is a diagram showing another configuration example of the optical system of the light source device.

【図17】図16に示す光学素子の透過率特性を示すグ
ラフである。
FIG. 17 is a graph showing the transmittance characteristics of the optical element shown in FIG.

【図18】本発明の光源装置の光学系の他の構成例を示
す図である。
FIG. 18 is a diagram showing another configuration example of the optical system of the light source device of the present invention.

【図19】図18に示す光学素子3−1と3−2の透過
率特性を示すグラフである。
19 is a graph showing the transmittance characteristics of the optical elements 3-1 and 3-2 shown in FIG.

【図20】図18に示す光学素子3−3の透過率特性を
示すグラフである。
20 is a graph showing the transmittance characteristics of the optical element 3-3 shown in FIG.

【図21】本発明の光源装置の光学系の他の構成例を示
す図である。
FIG. 21 is a diagram showing another configuration example of the optical system of the light source device of the present invention.

【図22】本発明の検出装置を応用したマークセンサの
光学系の構成例を示す図である。
FIG. 22 is a diagram showing a configuration example of an optical system of a mark sensor to which the detection device of the present invention is applied.

【図23】図22に示す光学系を有するマークセンサの
電気的構成例を示すブロック図である。
23 is a block diagram showing an electrical configuration example of a mark sensor having the optical system shown in FIG.

【図24】図22における検出物体の反射特性を説明す
るグラフである。
FIG. 24 is a graph illustrating the reflection characteristic of the detection object in FIG.

【図25】本発明の検出装置を応用した色識別装置の光
学系の構成例を示す図である。
FIG. 25 is a diagram showing a configuration example of an optical system of a color identification device to which the detection device of the present invention is applied.

【図26】図25の光学系を有する色識別装置の電気的
構成例を示すブロック図である。
26 is a block diagram showing an electrical configuration example of a color identification device having the optical system of FIG. 25.

【図27】図26の色識別の処理例を示すフローチャー
トである。
FIG. 27 is a flowchart showing an example of color identification processing of FIG. 26.

【図28】図26の色識別の基礎となる色と信号との関
係を説明する図である。
FIG. 28 is a diagram illustrating a relationship between a color and a signal, which is a basis of color identification in FIG. 26.

【図29】本発明の検出装置を応用した色識別装置の光
学系の他の構成例を示す図である。
FIG. 29 is a diagram showing another configuration example of the optical system of the color identification device to which the detection device of the present invention is applied.

【図30】図25と図29の実施例におけるモニタ用受
光素子4と信号用受光素子62として図5に示すカラー
センサを用いた場合における色識別装置の電気的構成例
を示すブロック図である。
30 is a block diagram showing an electrical configuration example of a color identification device in the case where the color sensor shown in FIG. 5 is used as the monitor light receiving element 4 and the signal light receiving element 62 in the embodiments of FIGS. 25 and 29. .

【図31】図30に示す色識別装置の電気的構成例の変
形例を示すブロック図である。
31 is a block diagram showing a modified example of the electrical configuration example of the color identification device shown in FIG. 30. FIG.

【図32】発光素子1−1の発光スペクトル特性を示す
図である。
FIG. 32 is a diagram showing an emission spectrum characteristic of the light emitting element 1-1.

【図33】発光素子1−2の発光スペクトル特性を示す
図である。
FIG. 33 is a diagram showing an emission spectrum characteristic of the light emitting element 1-2.

【図34】発光素子1−3の発光スペクトルを示す特性
図である。
FIG. 34 is a characteristic diagram showing an emission spectrum of the light emitting device 1-3.

【図35】発光素子1−4の発光スペクトルを示す図で
ある。
FIG. 35 is a diagram showing an emission spectrum of the light emitting element 1-4.

【図36】光学素子3−iの構成例を示す図である。FIG. 36 is a diagram showing a configuration example of an optical element 3-i.

【図37】光学素子3−1を実現する誘電体多層膜の構
成例を説明する図である。
FIG. 37 is a diagram illustrating a configuration example of a dielectric multilayer film that realizes the optical element 3-1.

【図38】光学素子3−1の透過率特性例を示すグラフ
である。
FIG. 38 is a graph showing a transmittance characteristic example of the optical element 3-1.

【図39】光学素子3−2の透過率特性例を示すグラフ
である。
FIG. 39 is a graph showing an example of the transmittance characteristic of the optical element 3-2.

【図40】光学素子3−3の誘電体多層膜の構成例を説
明する図である。
FIG. 40 is a diagram illustrating a configuration example of a dielectric multilayer film of the optical element 3-3.

【図41】光学素子3−3の透過率特性例を示すグラフ
である。
FIG. 41 is a graph showing a transmittance characteristic example of the optical element 3-3.

【図42】図14の実施例における光学素子3−3の誘
電体多層膜の構成例を説明する図である。
42 is a diagram illustrating a configuration example of a dielectric multilayer film of the optical element 3-3 in the example of FIG.

【図43】図14の実施例における光学素子3−3の透
過率特性例を示すグラフである。
43 is a graph showing an example of transmittance characteristics of the optical element 3-3 in the example of FIG.

【図44】図18の実施例における光学素子3−2の透
過率特性例を示すグラフである。
FIG. 44 is a graph showing a transmittance characteristic example of the optical element 3-2 in the example of FIG.

【図45】図18の実施例における光学素子3−3の誘
電体多層膜の構成例を説明する図である。
45 is a diagram illustrating a configuration example of a dielectric multilayer film of the optical element 3-3 in the example of FIG.

【図46】図18の実施例における光学素子3−3の透
過率特性例を示すグラフである。
FIG. 46 is a graph showing an example of transmittance characteristics of the optical element 3-3 in the example of FIG.

【図47】赤のLEDにおける周囲温度と光出力の関係
を示す特性図である。
FIG. 47 is a characteristic diagram showing a relationship between ambient temperature and light output in a red LED.

【図48】緑色の光を発生するLEDの周囲温度と光度
との関係を示す特性図である。
FIG. 48 is a characteristic diagram showing a relationship between ambient temperature and luminous intensity of an LED that emits green light.

【図49】青色の光を発生するLEDの周囲温度と光度
の関係を示す特性図である。
FIG. 49 is a characteristic diagram showing a relationship between ambient temperature and luminous intensity of an LED that emits blue light.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1−1乃至1−n 発光素子 2−1乃至2−n コリメートレンズ 3−1乃至3−(n−1) 光学素子 4 モニタ用受光素子 12,12−1乃至12−n 電流電圧変換回路 13−1乃至13−n サンプルホールド回路 14−1乃至14−n 比較回路 11−1乃至11−n 駆動回路 15 発振回路 1-1 to 1-n Light emitting element 2-1 to 2-n Collimating lens 3-1 to 3- (n-1) Optical element 4 Monitor light receiving element 12, 12-1 to 12-n Current-voltage conversion circuit 13 -1 to 13-n Sample and hold circuit 14-1 to 14-n Comparing circuit 11-1 to 11-n Drive circuit 15 Oscillation circuit

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の波長分布を有する光を発生する第
1の光源手段と、 前記第1の波長分布とは異なる波長領域の第2の波長分
布を有する光を発生する第2の光源手段と、 前記第1の光源手段と第2の光源手段の出射する光を合
成する合成手段と、 前記合成手段により合成された光を受光する受光手段
と、 前記受光手段の出力に対応して前記第1の光源手段また
は第2の光源手段の少なくとも一方の出射する光の光量
を制御する制御手段とを備えることを特徴とする光学装
置。
1. A first light source means for generating light having a first wavelength distribution, and a second light source for generating light having a second wavelength distribution in a wavelength region different from the first wavelength distribution. Means, a combining means for combining the lights emitted from the first light source means and the second light source means, a light receiving means for receiving the light combined by the combining means, and an output of the light receiving means. An optical device comprising: a control unit that controls the amount of light emitted from at least one of the first light source unit and the second light source unit.
【請求項2】 前記第1の光源手段は前記第1の波長分
布を構成する光を発生する少なくとも1つの発光素子を
有し、 前記第2の光源手段は、前記第1の光源手段の発光素子
とは異なるタイミングで、前記第2の波長分布を構成す
る光を発生する少なくとも1つの発光素子を有し、 前記制御手段は、前記第1の光源手段の発光素子の発生
する光の光量と、前記第2の光源手段の発光素子の発生
する光の光量とを独立に制御することを特徴とする請求
項1に記載の光学装置。
2. The first light source means has at least one light emitting element for generating light constituting the first wavelength distribution, and the second light source means emits light from the first light source means. At least one light emitting element that generates the light having the second wavelength distribution is provided at a timing different from that of the element, and the control unit controls the light amount of the light generated by the light emitting element of the first light source unit. The optical device according to claim 1, wherein the light amount of light generated by the light emitting element of the second light source means is controlled independently.
【請求項3】 前記第1の光源手段は、前記第1の波長
分布を構成する光を発生する少なくとも1つの光学素子
を有し、 前記第2の光源手段は、前記第2の波長分布を構成する
光を発生する少なくとも1つの発光素子を有し、 前記受光手段は、前記第1の光源手段の発光素子の発生
する光と、前記第2の光源手段の発光素子の発生する光
とを、その波長の違いに基づいて分離して受光し、 前記制御手段は、前記受光手段の分離受光の結果に対応
して、前記第1の光源手段の発光素子の発生する光の光
量と、前記第2の光源手段の発光素子の発生する光の光
量とをそれぞれ独立に制御することを特徴とする請求項
1に記載の光学装置。
3. The first light source means includes at least one optical element that generates light forming the first wavelength distribution, and the second light source means changes the second wavelength distribution. At least one light-emitting element that generates the constituent light is provided, and the light-receiving unit outputs the light generated by the light-emitting element of the first light source unit and the light generated by the light-emitting element of the second light source unit. The light amount of the light generated by the light emitting element of the first light source device in response to the result of the separation and light reception of the light receiving device, The optical device according to claim 1, wherein the amount of light generated by the light emitting element of the second light source means is controlled independently of each other.
【請求項4】 前記合成手段は、合成した光を少なくと
も2つの方向に出射し、 前記受光手段は、前記合成手段より出射された2つの方
向の光のうちの一方を受光することを特徴とする請求項
1に記載の光学装置。
4. The combining means emits the combined light in at least two directions, and the light receiving means receives one of the lights in the two directions emitted from the combining means. The optical device according to claim 1.
【請求項5】 前記第1の光源手段と第2の光源手段の
うち少なくとも一方は、 互いに異なる波長の光を発生する複数の発光素子と、 複数の前記発光素子の発生する光を光学的に合成する光
学素子とを備えることを特徴とする請求項1に記載の光
学装置。
5. At least one of the first light source means and the second light source means optically emits a plurality of light emitting elements that emit light of different wavelengths and a plurality of the light emitting elements. The optical device according to claim 1, further comprising an optical element for combining.
【請求項6】 物体に光を照射する照射手段と、 前記物体からの光を受光する物体光受光手段と、 前記物体光受光手段の出力を処理し、前記物体の光学的
特性に関する情報を出力する処理手段とを備える検出装
置において、 前記照射手段は、 第1の波長分布を有する光を発生する第1の光源手段
と、 前記第1の波長分布とは異なる波長領域の第2の波長分
布を有する光を発生する第2の光源手段と、 前記第1の光源手段と第2の光源手段の出射する光を合
成する合成手段と、 前記合成手段により合成された光のうち、前記物体に照
射される前の光を受光する照射光受光手段と、 前記照射光受光手段の出力に対応して前記第1の光源手
段または第2の光源手段の少なくとも一方の出射する光
の光量を制御する制御手段とを備えることを特徴とする
検出装置。
6. An irradiation means for irradiating an object with light, an object light receiving means for receiving light from the object, an output of the object light receiving means, and information about optical characteristics of the object is output. In the detection device, the irradiation unit includes a first light source unit that emits light having a first wavelength distribution, and a second wavelength distribution in a wavelength region different from the first wavelength distribution. A second light source means for generating light, a synthesizing means for synthesizing the light emitted from the first light source means and the light emitted by the second light source means, and the light synthesized by the synthesizing means to the object. Irradiation light receiving means for receiving the light before being irradiated, and controlling the light quantity of the light emitted by at least one of the first light source means and the second light source means in accordance with the output of the irradiation light receiving means. And a control means. Detecting device for.
【請求項7】 前記物体の光学的特性は、前記物体の反
射率の波長分布であることを特徴とする請求項6に記載
の検出装置。
7. The detection device according to claim 6, wherein the optical characteristic of the object is a wavelength distribution of reflectance of the object.
【請求項8】 前記物体の光学的特性は、前記物体の反
射率の波長分布の変化であることを特徴とする請求項6
に記載の検出装置。
8. The optical characteristic of the object is a change in wavelength distribution of reflectance of the object.
The detection device according to 1.
【請求項9】 物体に光を照射する照射手段と、 前記物体からの光を受光する物体光受光手段と、 前記物体光受光手段の出力を処理し、前記物体の光学的
特性に関する情報を出力する処理手段とを備える検出装
置において、 前記照射手段は、 第1の波長分布を有する光を発生する第1の光源手段
と、 前記第1の波長分布とは異なる波長領域の第2の波長分
布を有する光を発生する第2の光源手段と、 前記第1の光源手段と第2の光源手段の出射する光を合
成する合成手段と、 前記合成手段により合成された光のうち、前記物体に照
射される前の光を受光する照射光受光手段とを備え、 前記処理手段は、前記物体光受光手段の出力と前記照射
光受光手段の出力を割算する割算手段を備えることを特
徴とする検出装置。
9. An irradiation unit that irradiates an object with light, an object light receiving unit that receives light from the object, an output of the object light receiving unit, and outputs information about optical characteristics of the object. In the detection device, the irradiation unit includes a first light source unit that emits light having a first wavelength distribution, and a second wavelength distribution in a wavelength region different from the first wavelength distribution. A second light source means for generating light, a synthesizing means for synthesizing the light emitted from the first light source means and the light emitted by the second light source means, and the light synthesized by the synthesizing means to the object. Irradiation light receiving means for receiving light before being irradiated, wherein the processing means comprises division means for dividing the output of the object light receiving means and the output of the irradiation light receiving means. Detector.
JP5220895A 1995-03-13 1995-03-13 Optical device and detection device Pending JPH08247935A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5220895A JPH08247935A (en) 1995-03-13 1995-03-13 Optical device and detection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5220895A JPH08247935A (en) 1995-03-13 1995-03-13 Optical device and detection device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08247935A true JPH08247935A (en) 1996-09-27

Family

ID=12908357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5220895A Pending JPH08247935A (en) 1995-03-13 1995-03-13 Optical device and detection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08247935A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10176989A (en) * 1996-12-19 1998-06-30 Japan Tobacco Inc Method and apparatus for infrared moisture measurement
JPH10185806A (en) * 1996-12-27 1998-07-14 Ricoh Co Ltd Water content detector
JP2012247235A (en) * 2011-05-26 2012-12-13 Topcon Corp Sensor device for plant
JP2014521086A (en) * 2011-07-14 2014-08-25 サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー Optical spectrometer with underfill optical fiber sample interface
WO2017029791A1 (en) * 2015-08-18 2017-02-23 国立大学法人徳島大学 Concentration measurement device
WO2017029792A1 (en) * 2015-08-18 2017-02-23 国立大学法人徳島大学 Concentration measurement device
KR20180128346A (en) * 2017-05-23 2018-12-03 가부시기가이샤 디스코 Reflectivity detection method and reflectivity detection apparatus

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10176989A (en) * 1996-12-19 1998-06-30 Japan Tobacco Inc Method and apparatus for infrared moisture measurement
JPH10185806A (en) * 1996-12-27 1998-07-14 Ricoh Co Ltd Water content detector
JP2012247235A (en) * 2011-05-26 2012-12-13 Topcon Corp Sensor device for plant
JP2014521086A (en) * 2011-07-14 2014-08-25 サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー Optical spectrometer with underfill optical fiber sample interface
JPWO2017029792A1 (en) * 2015-08-18 2018-05-31 国立大学法人徳島大学 Concentration measuring device
WO2017029792A1 (en) * 2015-08-18 2017-02-23 国立大学法人徳島大学 Concentration measurement device
WO2017029791A1 (en) * 2015-08-18 2017-02-23 国立大学法人徳島大学 Concentration measurement device
JPWO2017029791A1 (en) * 2015-08-18 2018-05-31 国立大学法人徳島大学 Concentration measuring device
US10976240B2 (en) 2015-08-18 2021-04-13 Tokushima University Concentration measurement device
KR20180128346A (en) * 2017-05-23 2018-12-03 가부시기가이샤 디스코 Reflectivity detection method and reflectivity detection apparatus
CN108931501A (en) * 2017-05-23 2018-12-04 株式会社迪思科 Evaluation method of reflectivity and reflectivity detection device
JP2018197665A (en) * 2017-05-23 2018-12-13 株式会社ディスコ Reflectance detection method and reflectance detection device
CN108931501B (en) * 2017-05-23 2022-06-24 株式会社迪思科 Reflectivity detection method and reflectivity detection device
TWI785048B (en) * 2017-05-23 2022-12-01 日商迪思科股份有限公司 Reflectivity detection device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8233147B2 (en) Spectrometer and a method for controlling the spectrometer
KR101106818B1 (en) Led illumination system having an intensity monitoring system
US7388665B2 (en) Multicolour chromaticity sensor
US7646489B2 (en) Apparatus and method for measuring film thickness
JP3654458B2 (en) Light source device
US8351044B2 (en) Spectral imaging apparatus provided with spectral transmittance variable element and method of adjusting spectral transmittance variable element in spectral imaging apparatus
BRPI1005002A2 (en) multi channel source set for well background spectroscopy
JPH10508940A (en) Apparatus and method for measuring and analyzing spectral radiation mainly for measuring and analyzing color characteristics
JP2013040952A (en) Spectrophotometer and method
WO2012147488A1 (en) Multi-angle colorimeter
EP1111333A1 (en) Light source device, spectroscope comprising the light source device, and film thickness sensor
JPH08247935A (en) Optical device and detection device
JP4222679B2 (en) Spectral colorimeter
JP6038445B2 (en) Automatic analyzer
JPH09321335A (en) Light projector and optical apparatus using the same
Nikolaidou et al. Monolithic integration of multi-spectral optical interference filter array on thin film amorphous silicon photodiodes
JP2017207354A (en) Light source device
CN105572058B (en) Sample analyzer and absorbance measuring device thereof
US20040150828A1 (en) Flat spectrum illumination source for optical metrology
JP6917824B2 (en) Spectral measuring device and spectroscopic measuring method
WO2022185514A1 (en) Light source device
WO2023161406A1 (en) Compact spectrometer
Malinen et al. Thirty-two-channel LED array spectrometer module with compact optomechanical construction
JPH03144323A (en) Measuring apparatus for laser wavelength
JPH02216435A (en) Time division spectroscopic method

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20021016