JPH08243931A - Polishing sheet and its manufacture - Google Patents
Polishing sheet and its manufactureInfo
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- JPH08243931A JPH08243931A JP7245395A JP7245395A JPH08243931A JP H08243931 A JPH08243931 A JP H08243931A JP 7245395 A JP7245395 A JP 7245395A JP 7245395 A JP7245395 A JP 7245395A JP H08243931 A JPH08243931 A JP H08243931A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】 本発明は、磁気ハードデイス
ク、レンズ、磁気ヘッド等の研磨に使用するための研磨
シート及びその製造方法に関し、特に、精密な仕上げ研
磨に使用するための研磨シート及びその製造方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing sheet for use in polishing magnetic hard disks, lenses, magnetic heads, etc., and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a polishing sheet for use in precise finish polishing and its manufacturing. Regarding the method.
【０００２】[0002]
【従来技術】従来の研磨シートは一般に、研磨材粒子と
バインダー接着剤とを混合したスラリーをプラスチック
フィルム上にローラやドクターブレードを使用して均一
且つ平坦に塗布した後、スラリーを乾燥させてプラスチ
ックフィルム上に研磨層を形成させて成るものである
（例えば、特公昭５３ー４４７１４号である）。2. Description of the Related Art Conventional polishing sheets are generally prepared by uniformly and evenly applying a slurry prepared by mixing abrasive particles and a binder adhesive onto a plastic film by using a roller or a doctor blade. It is formed by forming a polishing layer on the film (for example, JP-B-53-44714).
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このような従来の研磨
シートでは、乾燥前にスラリーの表面をローラやドクタ
ーブレードを使用して平坦に整えたにもかかわらず、シ
ート基板にスラリーを塗布した後の乾燥中にこのスラリ
ーの表面に凹凸を生じ、研磨層表面に突起部分が形成さ
れる。そのため、従来の研磨シートを使用して被研磨物
表面を研磨すると、この凹凸の突起部分が被研磨物表面
に食い込むために精密な仕上げ研磨ができなかった。In such a conventional polishing sheet, although the surface of the slurry is flattened by using a roller or a doctor blade before being dried, the slurry is applied to the sheet substrate. During the drying of the slurry, irregularities are generated on the surface of this slurry, and a protrusion is formed on the surface of the polishing layer. Therefore, when the surface of the object to be polished is polished by using the conventional polishing sheet, the projections of the irregularities bite into the surface of the object to be polished, so that precise finish polishing cannot be performed.
【０００４】従来の研磨シートの研磨層表面に凹凸が形
成される理由を、図６も参照して、以下に述べる。 図
６は、従来の研磨シートの部分拡大断面図であり、プラ
スチックシート基板６の表面にスラリー３を塗布した後
にスラリー３を乾燥させたところを示し、図６（A）
は、スラリーの塗布直後の従来の研磨シートの部分拡大
断面図であり、図６（B）は、スラリーを乾燥中の従来
の研磨シートの部分拡大断面図である。The reason why irregularities are formed on the surface of the polishing layer of the conventional polishing sheet will be described below with reference to FIG. FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view of a conventional polishing sheet, showing the slurry 3 applied on the surface of a plastic sheet substrate 6 and then dried.
FIG. 6A is a partially enlarged cross-sectional view of a conventional polishing sheet immediately after applying a slurry, and FIG. 6B is a partially enlarged cross-sectional view of a conventional polishing sheet during drying of the slurry.
【０００５】従来の研磨シートでは、図６（A）に示す
ように、スラリー３の塗布後にその表面をローラーやブ
レードを使用して平坦に整えるので、塗布されたスラリ
ー３の表面は、乾燥工程前は平坦である。In the conventional polishing sheet, as shown in FIG. 6 (A), after the slurry 3 is applied, its surface is made flat by using a roller or a blade, so that the surface of the applied slurry 3 is dried. The front is flat.
【０００６】しかし、図６（B）に示すように、スラリ
ー３表面付近のバインダー接着剤２から溶剤が蒸発し気
化熱を奪うのでバインダー接着剤２の温度が下がるが、
スラリー３表面付近に比較的大きい研磨材粒子１′があ
ると、この研磨材粒子１′の大きい体積部分にはバイン
ダー接着剤２が少ないので蒸発による温度低下がほとん
どない。However, as shown in FIG. 6B, the solvent evaporates from the binder adhesive 2 near the surface of the slurry 3 to remove the heat of vaporization, so that the temperature of the binder adhesive 2 decreases.
When there are relatively large abrasive particles 1'in the vicinity of the surface of the slurry 3, the large volume of the abrasive particles 1'has a small amount of the binder adhesive 2, and therefore there is almost no temperature drop due to evaporation.
【０００７】つまり、大きい研磨材粒子１′付近にある
バインダー接着剤２の温度は他の部分よりも高温なの
で、大きい研磨材粒子１′のある部分は他の部分よりも
蒸発が一層盛んに行われ、一層速く乾燥する。このた
め、大きい研磨材粒子１′付近のバインダー接着剤の表
面張力が増加し、この表面張力が図６（B）の矢印１３
の方向に働く。That is, since the temperature of the binder adhesive 2 in the vicinity of the large abrasive particles 1'is higher than that of other portions, some portions of the large abrasive particles 1'evaporate more actively than other portions. Dries and dries faster. As a result, the surface tension of the binder adhesive near the large abrasive particles 1'increases, and this surface tension is indicated by the arrow 13 in FIG. 6 (B).
Work in the direction of.
【０００８】そして、バインダー接着剤２の多い部分は
溶剤も比較的多く残留し流動性もあるので、この部分の
スラリーが、大きい研磨材粒子１′付近のバインダー接
着剤２の表面張力が働く方向１３に移動され、大きい研
磨材粒子１′の在る部分にスラリーが引き寄せられて盛
り上がり、突起部分１１を形成し、この突起部分１１の
周囲に谷間１２が形成される。Since a large amount of the solvent remains in the portion having a large amount of the binder adhesive 2 and is also fluid, the slurry in this portion has a direction in which the surface tension of the binder adhesive 2 in the vicinity of the large abrasive particles 1 ′ acts. Then, the slurry is attracted to the portion where the large abrasive particles 1 ′ are present and rises to form a protruding portion 11, and a valley 12 is formed around the protruding portion 11.
【０００９】そこで、従来は、研磨材粒子の平均粒径を
厳密に揃えるための努力がなされてきたが、研磨材粒子
の平均粒径を厳密に揃えることができず、粒径にバラツ
キがあった。 結果として、従来のように研磨材粒子の
平均粒径を厳密に揃えたり、乾燥前にスラリーの表面を
平坦に整えたにもかかわらず、このスラリーを乾燥させ
てシート基板上に研磨層を形成させたときにはその研磨
面に凹凸又は突起部分を有する研磨シートが製造され
る。Therefore, in the past, efforts have been made to strictly align the average particle diameter of the abrasive particles, but the average particle diameter of the abrasive particles cannot be precisely aligned, and there are variations in particle diameter. It was As a result, even if the average particle diameter of the abrasive particles is strictly equalized or the surface of the slurry is flattened before drying as in the conventional case, the slurry is dried to form a polishing layer on the sheet substrate. When this is done, a polishing sheet having irregularities or protrusions on its polishing surface is manufactured.
【００１０】このように、従来の研磨シートでは、研磨
面に凹凸又は突起部分が形成されるため、この突起部分
が被研磨物表面に食い込むため被研磨物表面に凹凸を形
成し、精密な仕上げ研磨ができなかった。As described above, in the conventional polishing sheet, since the projections and depressions are formed on the polishing surface, and the projections bite into the surface of the object to be polished, the projections and depressions are formed on the surface of the object to be polished. I couldn't polish.
【００１１】したがって、本発明の目的は、研磨シート
の研磨面の平坦性を向上させ、被研磨物表面に研磨によ
って形成される凹凸を減少させた、精密な研磨に適した
研磨シート及びその製造方法を提供することである。Therefore, an object of the present invention is to improve the flatness of the polishing surface of the polishing sheet and reduce the irregularities formed on the surface of the object to be polished by polishing, and the polishing sheet suitable for precise polishing, and its manufacture. Is to provide a method.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、研磨材粒子とバインダー接着剤とを混合
したスラリーを乾燥させた研磨層をプラスチックシート
基板に接着させて成る研磨シートにおいて、研磨材粒子
とバインダー接着剤とを混合したスラリーを可剥離部材
の表面に塗布しこのスラリーを乾燥させて可剥離部材の
表面に研磨層を形成した後に、接着剤を塗布したプラス
チックシート基板を研磨層の表面に重ねて接着し、プラ
スチックシート基板と共に研磨層を可剥離部材から剥離
させることによって、可剥離部材の表面に接していた研
磨層の表面に形成された、可剥離部材からの剥離面を当
該研磨シートの研磨面としたことを特徴とする研磨シー
トである。In order to achieve the above object, the present invention provides a polishing sheet obtained by adhering a polishing layer obtained by drying a slurry prepared by mixing abrasive particles and a binder adhesive to a plastic sheet substrate. , A slurry obtained by mixing abrasive particles and a binder adhesive is applied to the surface of the peelable member, and the slurry is dried to form a polishing layer on the surface of the peelable member, and then a plastic sheet substrate coated with the adhesive is applied. Peeling from the peelable member formed on the surface of the polishing layer that was in contact with the surface of the peelable member by overlapping and adhering the surface of the polishing layer and peeling the polishing layer together with the plastic sheet substrate from the peelable member A polishing sheet having a surface as a polishing surface of the polishing sheet.
【００１３】そして、本発明の研磨シートは、研磨材粒
子とバインダー接着剤とを混合したスラリーを可剥離部
材の表面に塗布し、可剥離部材の表面に塗布したスラリ
ーを乾燥させて可剥離部材の表面に研磨層を形成させた
後に、接着剤を塗布したプラスチックシート基板を研磨
層の表面に重ねて接着させ、可剥離部材からプラスチッ
クシート基板と共に研磨層を剥離させて製造される。In the polishing sheet of the present invention, a slurry prepared by mixing abrasive particles and a binder adhesive is applied to the surface of the peelable member, and the slurry applied to the surface of the peelable member is dried to remove the peelable member. After the polishing layer is formed on the surface of, the plastic sheet substrate coated with the adhesive is overlaid and adhered on the surface of the polishing layer, and the polishing layer is peeled off together with the plastic sheet substrate from the peelable member.
【００１４】上記本発明の研磨シート及びその製造方法
において、研磨材粒子には、ダイヤモンド（C）、アル
ミナ（Al2O3）、酸化鉄（Fe2O3）、カーボランダム（Si
C）、酸化クロム（Cr2O3）、若しくは酸化セリウム（Ce
O2）又はそれらの混合物が使用される。 バインダー接
着剤には、ニトロセルロース、アセチルセルロース、ト
リエチルセルロース、ポリビニルアセタール、ポリアク
リル酸エステル、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニ
ル、エポキシ樹脂、ポリイソブチレン、若しくは天然ゴ
ム又はこれらの混合物が使用される。In the polishing sheet and the manufacturing method thereof according to the present invention, the abrasive particles include diamond (C), alumina (Al 2 O 3 ), iron oxide (Fe 2 O 3 ), carborundum (Si).
C), chromium oxide (Cr 2 O 3 ) or cerium oxide (Ce
O 2 ) or mixtures thereof are used. As the binder adhesive, nitrocellulose, acetyl cellulose, triethyl cellulose, polyvinyl acetal, polyacrylic acid ester, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, epoxy resin, polyisobutylene, natural rubber or a mixture thereof is used.
【００１５】プラスチックシート基板を研磨層に接着さ
せるための接着剤が、紫外線硬化樹脂接着剤であるとき
は、光開始剤、増感剤を含む、エポキシアクリレート、
ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジ
エン系アクリレート、若しくはシリコン系アクリレート
又はこれらの混合物が好適である。このような紫外線硬
化樹脂接着剤を均一に塗布したプラスチックシート基板
を研磨層に重ね、紫外線を照射すると、プラスチックシ
ート基板を研磨層に接着することができる。When the adhesive for adhering the plastic sheet substrate to the polishing layer is an ultraviolet curable resin adhesive, a photoinitiator, a sensitizer, an epoxy acrylate,
Polyester acrylates, urethane acrylates, diene acrylates, silicone acrylates or mixtures thereof are suitable. When the plastic sheet substrate uniformly coated with such an ultraviolet curable resin adhesive is placed on the polishing layer and irradiated with ultraviolet rays, the plastic sheet substrate can be bonded to the polishing layer.
【００１６】また、プラスチックシート基板を研磨層に
接着させるための接着剤が、熱接着性樹脂であるとき
は、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化
ビニル樹脂、若しくはナイロン又はこれら混合物が好適
である。このような熱接着性樹脂を均一に塗布したプラ
スチックシート基板を研磨層に重ね、熱ローラ等で加熱
し加圧すると、プラスチックシート基板を研磨層に接着
することができる。When the adhesive for adhering the plastic sheet substrate to the polishing layer is a thermo-adhesive resin, polyethylene resin, polypropylene resin, polyvinyl chloride resin, nylon or a mixture thereof is suitable. When the plastic sheet substrate uniformly coated with such a heat-adhesive resin is placed on the polishing layer and heated and pressed by a heat roller or the like, the plastic sheet substrate can be bonded to the polishing layer.
【００１７】プラスチックシート基板を研磨層に接着さ
せるための接着剤として、更に、常温で硬化する、ポリ
エステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ酢酸樹脂、若し
くはポリ塩化ビニル樹脂、又はこれらの混合物を使用す
ることができる。このような接着性樹脂を均一に塗布し
たプラスチックシート基板を研磨層に重ね、ローラ等で
加圧する（又は、熱ローラで加熱し加圧する）と、常温
で、プラスチックシート基板を研磨層に接着することが
できる。As an adhesive for adhering the plastic sheet substrate to the polishing layer, it is possible to use a polyester resin, a polyurethane resin, a polyacetic acid resin, a polyvinyl chloride resin, or a mixture thereof, which cures at room temperature. it can. When a plastic sheet substrate uniformly coated with such an adhesive resin is placed on the polishing layer and pressed with a roller or the like (or heated with a hot roller and pressed), the plastic sheet substrate is bonded to the polishing layer at room temperature. be able to.
【００１８】プラスチックシート基板は、好適には、ポ
リエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、又はポリ
ウレタンシートである。The plastic sheet substrate is preferably a polyester, polypropylene, polyethylene or polyurethane sheet.
【００１９】可剥離部材には研磨層に対して剥離性のよ
い材料を使用することが望ましく、可剥離部材は、テフ
ロン、ポリプロピレン、ガラス、又は鏡面研磨した金属
から成ることが望ましい。It is desirable to use a material having a good releasability with respect to the polishing layer for the peelable member, and it is desirable that the peelable member is made of Teflon, polypropylene, glass, or mirror-polished metal.
【００２０】また、可剥離部材は、テフロンシート、ポ
リプロピレンシート、又はポリエチレンシートであって
もよい。The peelable member may be a Teflon sheet, a polypropylene sheet, or a polyethylene sheet.
【００２１】[0021]
【作用】砥粒とバインダー接着剤とを混合したスラリー
を可剥離部材に塗布し、このスラリーを乾燥させて可剥
離部材表面に研磨層を形成させると、研磨層表面には凹
凸が生じるが、可剥離部材の表面に接している研磨層の
表面には、上述のような凹凸を生じることなく、可剥離
部材表面に沿った表面が形成される。When the slurry in which the abrasive grains and the binder adhesive are mixed is applied to the peelable member and the slurry is dried to form the polishing layer on the surface of the peelable member, unevenness is generated on the surface of the polishing layer. On the surface of the polishing layer which is in contact with the surface of the peelable member, the surface along the surface of the peelable member is formed without the above-mentioned unevenness.
【００２２】可剥離部材として研磨層に対して剥離性の
よい材料を使用することで、接着剤を塗布したプラスチ
ックシート基板を可剥離部材表面に形成された研磨層の
表面に重ねて接着した後、プラスチックシート基板を可
剥離部材から引き離すと、プラスチックシート基板に接
着した研磨層が可剥離部材から容易に剥離され、凹凸の
形成された研磨層の表面はプラスチックシート基板に接
着剤によって接着され、可剥離部材表面に沿った形状の
表面が形成された研磨層が露出する。After a plastic sheet substrate coated with an adhesive is used as the peelable member, the plastic sheet substrate coated with the adhesive is superposed on the surface of the polishing layer formed on the surface of the peelable member and bonded. When the plastic sheet substrate is separated from the peelable member, the polishing layer adhered to the plastic sheet substrate is easily peeled from the peelable member, and the surface of the polishing layer having the unevenness is adhered to the plastic sheet substrate with an adhesive, The polishing layer having a surface having a shape along the surface of the peelable member is exposed.
【００２３】[0023]
【実施例】本発明の研磨シート及びその製造方法につい
て添付図面に従って具体的に説明する。EXAMPLES The polishing sheet and the method for producing the same according to the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings.
【００２４】図１は、本発明の研磨シートの製造方法
の、スラリーを可剥離部材の表面に塗布する工程と、可
剥離部材の表面に塗布したスラリーを乾燥させて可剥離
部材の表面に研磨層を形成させる工程とに従って、スラ
リーを可剥離部材の表面に塗布して乾燥させたところを
示す部分拡大断面図であり、図２は、本発明の研磨シー
トの製造方法の、接着剤を塗布したプラスチックシート
基板を研磨層の表面に重ねて接着させる工程に従って、
スラリーを乾燥させて形成した研磨層の表面にプラスチ
ックシート基板を接着させたところを示す部分拡大断面
図である。FIG. 1 is a step of applying a slurry to the surface of a peelable member in the method for producing a polishing sheet of the present invention, and drying the slurry applied to the surface of the peelable member to polish the surface of the peelable member. FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which the slurry is applied to the surface of the peelable member and dried in accordance with the step of forming a layer, and FIG. 2 shows the application of the adhesive in the method for producing a polishing sheet of the present invention. According to the process of overlapping and adhering the plastic sheet substrate on the surface of the polishing layer,
FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view showing a plastic sheet substrate adhered to the surface of a polishing layer formed by drying the slurry.
【００２５】図１に示すように、本発明の実施におい
て、まず、研磨材粒子１とバインダー接着剤２とを混合
したスラリー３を可剥離部材４の表面４′に塗布し、可
剥離部材４の表面４′に塗布したスラリー３を乾燥させ
て可剥離部材４の表面４′に研磨層３′を形成する。As shown in FIG. 1, in the practice of the present invention, first, the slurry 3 in which the abrasive particles 1 and the binder adhesive 2 are mixed is applied to the surface 4 ′ of the peelable member 4, and the peelable member 4 is then coated. The slurry 3 applied to the surface 4 ′ of the above is dried to form a polishing layer 3 ′ on the surface 4 ′ of the peelable member 4.
【００２６】このとき、研磨層３′の表面には上述のよ
うな凹凸（図７の符号１１及び１２を参照）が形成され
るが、可剥離部材４の表面に接している研磨層３′の表
面には、上述のような凹凸が形成されず、可剥離部材４
の表面４′に沿った表面が形成されている。At this time, the irregularities as described above (see reference numerals 11 and 12 in FIG. 7) are formed on the surface of the polishing layer 3 ', but the polishing layer 3'contacting the surface of the peelable member 4 is formed. The above-mentioned unevenness is not formed on the surface of the peelable member 4
Surface 4'is formed.
【００２７】次に、図２に示すように、接着剤５を塗布
したプラスチックシート基板６を凹凸が形成された研磨
層３′の表面に重ねて接着する。Next, as shown in FIG. 2, the plastic sheet substrate 6 coated with the adhesive 5 is laminated and adhered on the surface of the polishing layer 3'having irregularities.
【００２８】次に、本発明の研磨シートの製造方法の、
可剥離部材からプラスチックシート基板と共に研磨層を
剥離させる工程に従って、図３に示すように、可剥離部
材４からプラスチックシート基板６と共に研磨層３′を
剥離する。Next, in the method for producing a polishing sheet of the present invention,
In accordance with the step of peeling the polishing layer together with the plastic sheet substrate from the peelable member, as shown in FIG. 3, the polishing layer 3 ′ is peeled together with the plastic sheet substrate 6 from the peelable member 4.
【００２９】ここで、可剥離部材４には、研磨層３′に
対して剥離性のよい材料、例えばテフロンを使用するこ
とで、可剥離部材４に接している研磨層３′の表面を損
傷させることなく、可剥離部材４の表面４′に沿った研
磨層３′の表面を露出させることができる。 図４は、
上記本発明の研磨シートの製造方法に従って製造された
研磨シートの部分拡大断面図である。Here, the peelable member 4 is made of a material having good peelability with respect to the polishing layer 3 ', for example, Teflon, so that the surface of the polishing layer 3'contacting the peelable member 4 is damaged. The surface of the polishing layer 3 ′ along the surface 4 ′ of the peelable member 4 can be exposed without performing the above. FIG.
FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of a polishing sheet manufactured according to the method for manufacturing a polishing sheet of the present invention.
【００３０】上述のように製造された本発明の研磨シー
トは、図４に示すように、研磨材粒子１とバインダー接
着剤２とを混合したスラリー３を乾燥させた研磨層３′
をプラスチックシート基板６に接着剤５で接着させて成
り、可剥離部材４の表面４′に接していた研磨層３′の
表面に形成された可剥離部材４からの剥離面を当該研磨
シートの研磨面９とする。研磨面９は、可剥離部材４の
表面４′に沿った平坦な面となっている。As shown in FIG. 4, the polishing sheet of the present invention produced as described above has a polishing layer 3'which is obtained by drying a slurry 3 in which abrasive particles 1 and a binder adhesive 2 are mixed.
Is adhered to a plastic sheet substrate 6 with an adhesive 5, and the peeling surface from the peelable member 4 formed on the surface of the polishing layer 3'which is in contact with the surface 4'of the peelable member 4 is formed by the The polishing surface 9 is used. The polishing surface 9 is a flat surface along the surface 4 ′ of the peelable member 4.
【００３１】研磨シートの研磨面９に在る研磨材粒子が
バインダー接着剤２により実質的に被覆されているとき
は、表面から研磨材粒子を露出させるために、例えば、
この研磨面９に圧縮空気を利用してメチルケトンとアセ
トンとの混合溶剤を噴霧するか又はこの溶剤を含んだフ
ェルトブラシで研磨面９を軽く払い拭って（米国特許第
４８３５０５２号を参照）、研磨材粒子を被覆している
バインダー接着剤２を除去して、研磨面９′を形成する
（図５を参照）。When the abrasive particles on the polishing surface 9 of the polishing sheet are substantially covered with the binder adhesive 2, in order to expose the abrasive particles from the surface, for example,
The polishing surface 9 is sprayed with a mixed solvent of methyl ketone and acetone by using compressed air, or the polishing surface 9 is lightly wiped with a felt brush containing the solvent (see US Pat. No. 4,835,052). The binder adhesive 2 covering the material particles is removed to form a polishing surface 9 '(see FIG. 5).
【００３２】［実施例１］図７は、本発明の実施例１の
研磨シートを製造するための装置である。[Embodiment 1] FIG. 7 shows an apparatus for producing a polishing sheet according to Embodiment 1 of the present invention.
【００３３】図７に示すように、実施例１の研磨シート
はの製造として、まず、矢印Rの方向に回転する円筒状
のテフロン製可剥離部材４aにスラリー３を塗布し、ブ
レードBによってスラリー３の表面を整え、赤外線加熱
器Hによってこのスラリー３を乾燥させて円筒状可剥離
部材４aの表面に研磨層３′を形成した。As shown in FIG. 7, in order to manufacture the polishing sheet of Example 1, first, the slurry 3 was applied to a cylindrical Teflon peelable member 4a which rotates in the direction of arrow R, and the slurry was applied by a blade B. The surface of No. 3 was conditioned and the slurry 3 was dried by an infrared heater H to form a polishing layer 3'on the surface of the cylindrical peelable member 4a.
【００３４】そして、紫外線硬化樹脂接着剤５aを塗布
した厚さ２０μmのポリエステルシート６を円筒状可剥
離部材４aの表面の研磨層３′にポリエステルシート６
の張力を利用して圧接し、紫外線照射装置２０（例え
ば、水銀灯光源）からの紫外線を照射してポリエステル
シート６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６
を可剥離部材４aから遠ざける方向（図８の矢印Tの方
向）へと走行させてポリエステルシート６に接着した研
磨層３′を可剥離部材４aの表面から剥離した。Then, the polyester sheet 6 having a thickness of 20 μm coated with the ultraviolet curable resin adhesive 5a is applied to the polishing layer 3'on the surface of the cylindrical peelable member 4a.
Of the ultraviolet irradiation device 20 (for example, a mercury lamp light source) to bond the polyester sheet 6 to the polishing layer 3 ′, and the polyester sheet 6 is pressed.
Was moved in a direction away from the peelable member 4a (direction of arrow T in FIG. 8) to peel the polishing layer 3'bonded to the polyester sheet 6 from the surface of the peelable member 4a.
【００３５】ここで、研磨材粒子には平均粒径３μmの
アルミナが使用され、バインダー接着剤にはニトロセル
ロースが使用された。そして、スラリー３は、バインダ
ー接着剤の重量１に対して重量０.５〜１０.０の研磨材
粒子を混合し、分散機により均一に撹拌して製造され、
８０〜５００cpの粘度を有する。Here, alumina having an average particle diameter of 3 μm was used as the abrasive particles, and nitrocellulose was used as the binder adhesive. Then, the slurry 3 is manufactured by mixing 0.5 to 10.0 by weight of the abrasive particles with respect to 1 by weight of the binder adhesive, and uniformly stirring the mixture with a disperser.
It has a viscosity of 80-500 cp.
【００３６】ブレードBと可剥離部材４aとの距離は、研
磨層３′の厚さが１０μmとなるように調節された。The distance between the blade B and the peelable member 4a was adjusted so that the thickness of the polishing layer 3'was 10 μm.
【００３７】紫外線硬化樹脂接着剤５aは、表１に示す
組成の薬剤を撹拌して製造される。The ultraviolet curable resin adhesive 5a is manufactured by stirring the chemicals having the compositions shown in Table 1.
【表１】 表 １ 薬 剤 （重量％） ベースレンジ：エポキシアクリレート （60.5％） 架橋剤：トリメチロールプロパントリアクレート （10.0％） 反応性希釈剤：２-エチルヘキシルアクリレート （15.0％） 反応性希釈剤：酢酸ビニル （ 5.0％） 光開始剤：ベンゾインエチルエーテル （ 7.0％） 接着促進剤：i-オクチルチオグリコレート （ 1.5％） 安定剤：Mark 275 （ 1.0％）[Table 1] Table 1 Drugs (% by weight) Base range: Epoxy acrylate (60.5%) Crosslinking agent: Trimethylolpropane triaclate (10.0%) Reactive diluent: 2-Ethylhexyl acrylate (15.0%) Reactive diluent : Vinyl acetate (5.0%) Photoinitiator: Benzoin ethyl ether (7.0%) Adhesion promoter: i-octyl thioglycolate (1.5%) Stabilizer: Mark 275 (1.0%)
【００３８】この接着剤５aは、在来の手段（図示せ
ず）によってポリエステルシート６の表面に均一に塗布
される。この接着剤５aを塗布したポリエステルシート
６を研磨層３′に圧接し、紫外線を照射すると、接着剤
５aが硬化し、ポリエステルシート６が研磨層３′に接
着される。このとき、研磨層３′を可剥離部材４aから
剥離できる程度にポリエステルシート６を研磨層３′に
紫外線硬化樹脂接着剤５aを硬化させればよいので、研
磨層３′をポリエステルシート６に接着させたまま可剥
離部材４aから剥離させた後、紫外線照射手段２３によ
って紫外線を照射して紫外線硬化樹脂接着剤５aを十分
に硬化させた。The adhesive 5a is uniformly applied to the surface of the polyester sheet 6 by a conventional means (not shown). When the polyester sheet 6 coated with the adhesive 5a is pressed against the polishing layer 3'and irradiated with ultraviolet rays, the adhesive 5a is cured and the polyester sheet 6 is bonded to the polishing layer 3 '. At this time, since the polyester sheet 6 may be cured to the polishing layer 3'and the ultraviolet curable resin adhesive 5a so that the polishing layer 3'can be peeled from the peelable member 4a, the polishing layer 3'is bonded to the polyester sheet 6. After peeling the peelable member 4a from the peelable member 4a, the ultraviolet ray irradiating means 23 radiated ultraviolet rays to sufficiently cure the ultraviolet curable resin adhesive 5a.
【００３９】［実施例２］図８は、本発明の実施例２の
研磨シートを製造するための装置である。[Embodiment 2] FIG. 8 shows an apparatus for producing a polishing sheet according to Embodiment 2 of the present invention.
【００４０】図８に示すように、実施例２の研磨シート
の製造として、まず、矢印Rの方向に回転する円筒状の
テフロン製可剥離部材４aにスラリー３を塗布し、ブレ
ードBによってスラリー３の表面を整え、赤外線加熱器H
によってこのスラリー３を乾燥させて円筒状可剥離部材
４aの表面に研磨層３′を形成した。As shown in FIG. 8, in order to manufacture the polishing sheet of Example 2, first, the slurry 3 was applied to the cylindrical Teflon peelable member 4a rotating in the direction of the arrow R, and the slurry 3 was applied by the blade B. Prepare the surface of the infrared heater H
This slurry 3 was dried to form a polishing layer 3'on the surface of the cylindrical peelable member 4a.
【００４１】そして、熱接着性樹脂５bを塗布した厚さ
２０μmのポリエステルシート６を円筒状可剥離部材４a
の表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧し、
同時にこの熱ローラ２１の熱によりポリエステルシート
６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６を可剥
離部材４aから遠ざける方向（図９の矢印Tの方向）へと
走行させてポリエステルシート６に接着した研磨層３′
を可剥離部材４aの表面から剥離した。Then, the polyester sheet 6 having a thickness of 20 μm coated with the heat-adhesive resin 5b is attached to the cylindrical peelable member 4a.
The heat roller 21 is pressed against the polishing layer 3'of the surface of
At the same time, the heat of the heat roller 21 adheres the polyester sheet 6 to the polishing layer 3 ', and runs the polyester sheet 6 away from the peelable member 4a (direction of arrow T in FIG. 9) to adhere it to the polyester sheet 6. Polished layer 3 '
Was peeled from the surface of the peelable member 4a.
【００４２】ここで、研磨材粒子には平均粒径３μmの
アルミナが使用され、バインダー接着剤にはニトロセル
ロースが使用された。そして、スラリー３は、バインダ
ー接着剤の重量１に対して重量０.５〜１０.０の研磨材
粒子を混合し、分散機により均一に撹拌して製造され、
８０〜５００cpの粘度を有する。Here, alumina having an average particle diameter of 3 μm was used as the abrasive particles, and nitrocellulose was used as the binder adhesive. Then, the slurry 3 is manufactured by mixing 0.5 to 10.0 by weight of the abrasive particles with respect to 1 by weight of the binder adhesive, and uniformly stirring the mixture with a disperser.
It has a viscosity of 80-500 cp.
【００４３】ブレードBと可剥離部材４aとの距離は、研
磨層３′の厚さが１０μmとなるように調節された。The distance between the blade B and the peelable member 4a was adjusted so that the thickness of the polishing layer 3'was 10 μm.
【００４４】熱接着性樹脂５bとしては熱接着性ポリエ
チレン樹脂が使用され、この熱接着性樹脂は、在来の手
段（図示せず）によってポリエステルシート６の表面に
均一に塗布される。A heat-adhesive polyethylene resin is used as the heat-adhesive resin 5b, and the heat-adhesive resin is uniformly applied to the surface of the polyester sheet 6 by a conventional means (not shown).
【００４５】熱ローラ２１は１００〜１５０℃の範囲に
加熱される。The heat roller 21 is heated in the range of 100 to 150 ° C.
【００４６】この接着剤５bを塗布したポリエステルシ
ート６を研磨層３′に重ね、熱ローラ２１で加熱し加圧
すると、接着剤５bが硬化し、ポリエステルシート６が
研磨層３′に接着される。このとき、研磨層３′を可剥
離部材４aから剥離できる程度にポリエステルシート６
を研磨層３′に熱接着性樹脂５aを硬化させ、研磨層
３′をポリエステルシート６に接着させたまま可剥離部
材４aから剥離させた後、乾燥手段２４によって熱接着
性樹脂５bを十分に硬化させる。When the polyester sheet 6 coated with the adhesive 5b is placed on the polishing layer 3'and heated and pressed by the heating roller 21, the adhesive 5b is cured and the polyester sheet 6 is bonded to the polishing layer 3 '. . At this time, the polyester sheet 6 is so large that the polishing layer 3'can be peeled from the peelable member 4a.
After the heat-adhesive resin 5a is cured on the polishing layer 3'and is peeled off from the peelable member 4a while the polishing layer 3'is adhered to the polyester sheet 6, the heat-adhesive resin 5b is sufficiently dried by the drying means 24. Let it harden.
【００４７】プラスチックシート基板６としてのポリエ
ステルシートは、熱接着性ポリエチレン樹脂５bよりも
耐熱性はあるが、長時間高温にすると軟化し変形してし
まうので、熱ロール２１の温度及びプラスチックシート
基板６への加圧時間を適宜に調節し、プラスチックシー
ト基板６の変形を防ぐ。ここで、テフロン製可剥離部材
４aには、十分な耐熱性がある。The polyester sheet as the plastic sheet substrate 6 has heat resistance higher than that of the heat-adhesive polyethylene resin 5b, but since it softens and deforms when it is heated to a high temperature for a long time, the temperature of the heat roll 21 and the plastic sheet substrate 6 The plastic sheet substrate 6 is prevented from being deformed by appropriately adjusting the pressurizing time. Here, the Teflon peelable member 4a has sufficient heat resistance.
【００４８】［実施例３］図９は、本発明の実施例３の
研磨シートを製造するための装置である。[Embodiment 3] FIG. 9 shows an apparatus for producing a polishing sheet according to Embodiment 3 of the present invention.
【００４９】実施例３の研磨シートでは、可剥離部材４
には、バインダー接着剤に対して剥離性のよいシートが
使用され、厚さ１６μmのポリプロピレンシート４bが使
用された。In the polishing sheet of Example 3, the peelable member 4
As the sheet, a sheet having a good peeling property with respect to the binder adhesive was used, and a polypropylene sheet 4b having a thickness of 16 μm was used.
【００５０】図９に示すように、ポリプロピレンシート
４bをローラ２２に巻き付けるようにしてローラ２２の
回転方向（図１０の矢印Rの方向）に走行させながらポ
リプロピレンシート４bの表面にスラリー３を塗布し、
ブレードBによってスラリー３の表面を整え、赤外線加
熱器Hによってこのスラリー３を乾燥させてローラ２２
と共に回転するポリプロピレンシート４bの表面に研磨
層３′を形成した。As shown in FIG. 9, while the polypropylene sheet 4b is wound around the roller 22, the slurry 3 is applied to the surface of the polypropylene sheet 4b while traveling in the rotation direction of the roller 22 (direction of arrow R in FIG. 10). ,
The surface of the slurry 3 is adjusted by the blade B, the slurry 3 is dried by the infrared heater H, and the roller 22
A polishing layer 3'was formed on the surface of the polypropylene sheet 4b rotating with it.
【００５１】そして、接着剤５cを塗布した厚さ１６μm
のポリエステルシート６をポリプロピレンシート４bの
表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧してポ
リエステルシート６を研磨層３′に接着し、ポリエステ
ルシート６を図１０の矢印Tの方向へと走行させ、図１
０の矢印tの方向へと走行するポリプロピレンシート４b
から遠ざけてポリエステルシート６に接着した研磨層
３′をポリプロピレンシート４bの表面から剥離し、そ
の後、ポリエステルシート６に研磨層３′を確実に接着
させるために乾燥手段２４で十分に乾燥させた。Then, a thickness of 16 μm coated with the adhesive 5c
The polyester sheet 6 is adhered to the polishing layer 3'on the polishing layer 3'on the surface of the polypropylene sheet 4b using the heat roller 21 to bond the polyester sheet 6 to the polishing layer 3 ', and the polyester sheet 6 is moved in the direction of arrow T in FIG. And run Fig. 1
Polypropylene sheet 4b running in the direction of arrow t of 0
The polishing layer 3'bonded to the polyester sheet 6 is separated from the surface of the polypropylene sheet 4b, and then dried sufficiently by the drying means 24 to securely bond the polishing layer 3'to the polyester sheet 6.
【００５２】ここで、研磨材粒子には平均粒径１μmの
アルミナが使用され、バインダー接着剤には、ニトロセ
ルロースにその５重量％のエポキシ樹脂をメチルケトン
とアセトンとの混合溶剤中で撹拌して製造したものが使
用された。そして、スラリーは、バインダー接着剤の重
量１に対して重量１.０〜１０.０の研磨材粒子を混合
し、分散機により均一に撹拌して製造され、８０〜５０
０cpの粘度を有する。Here, alumina having an average particle size of 1 μm was used as the abrasive particles, and the binder adhesive was prepared by stirring 5% by weight of nitrocellulose epoxy resin in a mixed solvent of methyl ketone and acetone. What was manufactured was used. Then, the slurry is produced by mixing abrasive particles having a weight of 1.0 to 10.0 with respect to 1 weight of the binder adhesive and uniformly stirring the mixture with a disperser.
It has a viscosity of 0 cp.
【００５３】ブレードBと可剥離部材４bとの距離は、研
磨層３′の厚さが５μmとなるように調節された。The distance between the blade B and the peelable member 4b was adjusted so that the polishing layer 3'has a thickness of 5 μm.
【００５４】接着剤５cにはポリエステル樹脂が使用さ
れ、このポリエステル樹脂は、在来の手段（図示せず）
によってポリエステルシート６の表面に均一に塗布され
常温で接着性を失わない程度に乾燥された。A polyester resin is used for the adhesive 5c, and the polyester resin is a conventional means (not shown).
Was uniformly applied to the surface of the polyester sheet 6 and dried at room temperature to such an extent that the adhesiveness was not lost.
【００５５】熱ローラ２１は６０〜８０℃の範囲に加熱
される。The heat roller 21 is heated to the range of 60 to 80 ° C.
【００５６】この接着剤５cを塗布したポリエステルシ
ート６を研磨層３′に重ね、熱ローラ２１で加熱し加圧
すると、接着剤５cが硬化し、ポリエステルシート６が
研磨層３′に接着される。このとき、研磨層３′を可剥
離部材４bから剥離できる程度にポリエステルシート６
を研磨層３′に熱接着性樹脂を硬化させ、研磨層３′を
ポリエステルシート６に接着させたまま可剥離部材４b
から剥離させた後、乾燥手段２４によって熱接着性樹脂
を十分に硬化させる。When the polyester sheet 6 coated with the adhesive 5c is placed on the polishing layer 3'and heated and pressed by the heat roller 21, the adhesive 5c is cured and the polyester sheet 6 is bonded to the polishing layer 3 '. . At this time, the polyester sheet 6 is so large that the polishing layer 3'can be peeled from the peelable member 4b.
The heat-adhesive resin is hardened to the polishing layer 3'and the peelable member 4b with the polishing layer 3'bonded to the polyester sheet 6
After being peeled off, the heat-adhesive resin is sufficiently cured by the drying means 24.
【００５７】［比較例］比較例として従来の研磨シート
A及びBを製造し、上記の実施例１、２及び３と比較し
た。比較例で使用される研磨材粒子は、その粒径が揃う
ように、再度にわたって分級された。Comparative Example Conventional abrasive sheet as a comparative example
A and B were prepared and compared to Examples 1, 2 and 3 above. The abrasive particles used in the comparative examples were classified again so that the particle diameters were uniform.
【００５８】従来の研磨シートAは、ニトロセルロース
のバインダー接着剤と、平均粒径が３μmのアルミナの
研磨材粒子とを１：１０.０の重量比で分散機で均一に
撹拌して粘度８０〜５００cpのスラリーを製造し、厚さ
２０μmのポリエステルシート基板に、スラリーを１０
μmの厚さに塗布した後に乾燥させて製造され、実施例
１及び２と比較した。The conventional polishing sheet A was prepared by uniformly stirring a nitrocellulose binder adhesive and alumina abrasive particles having an average particle diameter of 3 μm at a weight ratio of 1: 10.0 with a disperser to obtain a viscosity of 80. ~ 500 cp of slurry is prepared, and the slurry is applied to a polyester sheet substrate having a thickness of 20 μm by 10
It was prepared by applying a coating having a thickness of μm and then drying, and compared with Examples 1 and 2.
【００５９】従来の研磨シートBは、ニトロセルロース
にその５重量％のエポキシ樹脂をメチルケトンとアセト
ンとの混合溶剤中で撹拌して製造したバインダー接着剤
と、平均粒径が１μmのアルミナの研磨材粒子とを１：
１０.０の重量比で分散機で均一に撹拌して粘度８０〜
５００cpのスラリーを製造し、厚さ１６μmのポリエス
テルシート基板に、スラリーを５μmの厚さに塗布した
後に乾燥させて製造され、実施例３と比較した。The conventional polishing sheet B comprises a binder adhesive prepared by stirring 5% by weight of nitrocellulose epoxy resin in a mixed solvent of methyl ketone and acetone, and an abrasive material of alumina having an average particle diameter of 1 μm. Particle and 1:
With a weight ratio of 10.0, uniformly disperse with a disperser to obtain a viscosity of 80-
A slurry of 500 cp was manufactured, and the slurry was applied to a polyester sheet substrate having a thickness of 16 μm to a thickness of 5 μm, and then dried, which was compared with Example 3.
【００６０】実施例１、２及び３と、従来の研磨シート
A及びBとを使用して、磁気ハードデイスク表面を研磨
し、研磨後のハードデイスク表面に形成された凹凸量を
観察した結果、実施例１、２及び３の研磨シートを使用
したときのハードデイスク表面に形成された凹凸距離
（つまり、凹凸の高低差）は、従来の研磨シートを使用
したときの凹凸距離の半分以下であった。Examples 1, 2 and 3 and conventional polishing sheet
The magnetic hard disk surface was polished using A and B, and the amount of irregularities formed on the hard disk surface after polishing was observed. As a result, it was confirmed that the hard disk surface when using the polishing sheets of Examples 1, 2 and 3 was observed. The formed uneven distance (that is, the difference in height of unevenness) was half or less of the uneven distance when the conventional polishing sheet was used.
【００６１】[0061]
【発明の効果】以上のように本発明が構成されるので、
以下のような効果を奏する。Since the present invention is constructed as described above,
The following effects are obtained.
【００６２】研磨シートの研磨層の表面が可剥離部材か
ら剥離することで形成されることから、本発明の研磨シ
ートの研磨層の表面には、凹凸が生じることなく可剥離
部材表面に沿った表面を形成することができる。したが
って、被研磨物表面を精密に仕上げ研磨することができ
る。Since the surface of the polishing layer of the polishing sheet is formed by peeling from the peelable member, the surface of the polishing layer of the polishing sheet of the present invention is formed along the surface of the peelable member without unevenness. A surface can be formed. Therefore, the surface of the object to be polished can be precisely finished and polished.
【００６３】また、従来技術では、研磨材粒子の平均粒
径を厳密に揃える必要があったが、本発明に従った研磨
シートでは、研磨材粒子の平均粒径を厳密に揃える必要
がないので、製造コストが削減できる。Further, in the prior art, it was necessary to strictly align the average particle diameter of the abrasive particles, but in the polishing sheet according to the present invention, it is not necessary to strictly align the average particle diameter of the abrasive particles. The manufacturing cost can be reduced.
【図１】図１は、本発明の研磨シートの製造方法の、ス
ラリーを可剥離部材の表面に塗布する工程と、可剥離部
材の表面に塗布したスラリーを乾燥させて可剥離部材の
表面に研磨層を形成させる工程とに従って、スラリーを
可剥離部材の表面に塗布して乾燥させたところを示す部
分拡大断面図である。FIG. 1 is a step of applying a slurry to the surface of a peelable member in the method for manufacturing a polishing sheet of the present invention, and drying the slurry applied to the surface of the peelable member to dry the surface of the peelable member. FIG. 7 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state where the slurry is applied to the surface of the peelable member and dried in accordance with the step of forming the polishing layer.
【図２】図２は、本発明の研磨シートの製造方法の、接
着剤を塗布したプラスチックシート基板を研磨層の表面
に重ねて接着させる工程に従って、スラリーを乾燥させ
て形成した研磨層の表面にプラスチックシート基板を接
着させたところを示す部分拡大断面図である。FIG. 2 is a surface of a polishing layer formed by drying a slurry according to a step of stacking and adhering a plastic sheet substrate coated with an adhesive on the surface of the polishing layer in the method for manufacturing a polishing sheet of the present invention. FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view showing a part where a plastic sheet substrate is adhered to.
【図３】図３は、本発明の研磨シートの製造方法の、可
剥離部材からプラスチックシート基板と共に研磨層を剥
離させる工程に従って、プラスチックシート基板と共に
研磨層を可剥離部材から剥離させるところを示す部分拡
大断面図である。FIG. 3 shows that the polishing layer is peeled together with the plastic sheet substrate from the peelable member according to the step of peeling the polishing layer together with the plastic sheet substrate from the peelable member in the method for producing a polishing sheet of the present invention. It is a partially expanded sectional view.
【図４】図４は、本発明の研磨シートの製造方法に従っ
て製造された研磨シートの部分拡大断面図である。FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view of a polishing sheet manufactured according to the method for manufacturing a polishing sheet of the present invention.
【図５】図５は、本発明の研磨シートの製造方法に従っ
て製造された研磨シートの研磨層表面において、研磨材
粒子を被覆しているときのバインダーを、溶剤を噴霧又
はブラシで払拭って除去し、研磨層表面に研磨材粒子を
露出させたところを示す、研磨シートの部分拡大断面図
である。FIG. 5 is a graph showing the surface of the polishing layer of the polishing sheet manufactured according to the method for manufacturing a polishing sheet of the present invention, in which the binder coated with the abrasive particles is sprayed with a solvent or wiped with a brush. FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view of the polishing sheet, showing a state where the abrasive particles are removed and the abrasive particles are exposed on the surface of the polishing layer.
【図６】図６は、従来の研磨シートの部分拡大断面図で
あり、プラスチックシート基板の表面にスラリーを塗布
した後にスラリーを乾燥させたところを示し、図６
（A）は、スラリーの塗布直後の従来の研磨シートの部
分拡大断面図であり、図６（B）は、スラリーを乾燥中
の従来の研磨シートの部分拡大断面図である。FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view of a conventional polishing sheet, showing a state where a slurry is applied to the surface of a plastic sheet substrate and then the slurry is dried.
FIG. 6A is a partially enlarged cross-sectional view of a conventional polishing sheet immediately after applying a slurry, and FIG. 6B is a partially enlarged cross-sectional view of a conventional polishing sheet during drying of a slurry.
【図７】図７は、本発明の研磨シートの実施例１の製造
装置の概念図である。FIG. 7 is a conceptual diagram of a manufacturing apparatus of Example 1 of the polishing sheet of the present invention.
【図８】図８は、本発明の研磨シートの実施例２の製造
装置の概念図である。FIG. 8 is a conceptual diagram of an apparatus for manufacturing a polishing sheet according to a second embodiment of the present invention.
【図９】図９は、本発明の研磨シートの実施例３の製造
装置の概念図である。FIG. 9 is a conceptual diagram of an apparatus for manufacturing a polishing sheet according to a third embodiment of the present invention.
１ ．．．研磨材粒子 １′．．．比較的大きい研磨材粒子 ２ ．．．バインダー接着剤 ３ ．．．スラリー ３′．．．研磨層 ４ ．．．可剥離部材 ４a ．．．可剥離ローラ ４b ．．．可剥離シート ４′．．．可剥離部材の表面 ５ ．．．接着剤 ５a ．．．紫外線硬化樹脂接着剤 ５b、５c ．．．熱接着性樹脂 ６ ．．．プラスチックシート基板 ９、９′．．．研磨面 １１．．．突出部 １２．．．谷間部 １３．．．表面張力による盛り上がり方向 ２０．．．紫外線照射装置 ２１．．．熱ローラ ２２．．．ローラ ２３．．．紫外線照射手段 ２４．．．乾燥手段 H ．．．赤外線熱加熱器 B ．．．ブレード R ．．．ローラの回転方向 T、t ．．．シートの走行方向 1. ． ． Abrasive particles 1 '. ． ． 1. Larger abrasive particles 2. ． ． Binder adhesive 3. ． ． Slurry 3 '. ． ． Polishing layer 4. ． ． Peelable member 4a. ． ． Peelable roller 4b. ． ． Peelable sheet 4 '. ． ． Surface of peelable member 5. ． ． Adhesive 5a. ． ． UV curable resin adhesive 5b, 5c. ． ． Thermal adhesive resin 6. ． ． Plastic sheet substrate 9, 9 '. ． ． Polished surface 11. ． ． Projection 12. ． ． Valley 13. ． ． Rising direction due to surface tension 20. ． ． Ultraviolet irradiation device 21. ． ． Heat roller 22. ． ． Laura 23. ． ． Ultraviolet irradiation means 24. ． ． Drying means H. ． ． Infrared heat heater B. ． ． Blade R. ． ． Roller rotation direction T, t. ． ． Seat running direction
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成８年１月１１日[Submission date] January 11, 1996
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２６[Correction target item name] 0026
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２６】 このとき、研磨層３′の表面には上述の
ような凹凸（図６（Ｂ）の符号１１及び１２を参照）が
形成されるが、可剥離部材４の表面に接している研磨層
３′の表面には、上述のような凹凸が形成されず、可剥
離部材４の表面４′に沿った表面が形成されている。At this time, the above-mentioned unevenness (see reference numerals 11 and 12 in FIG. 6B ) is formed on the surface of the polishing layer 3 ′, but the polishing is in contact with the surface of the peelable member 4. On the surface of the layer 3 ′, the above-mentioned unevenness is not formed, but the surface along the surface 4 ′ of the peelable member 4 is formed.
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３４[Correction target item name] 0034
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３４】 そして、紫外線硬化樹脂接着剤５ａを塗
布した厚さ２０μｍのポリエステルシート６を円筒状可
剥離部材４ａの表面の研磨層３′にポリエステルシート
６の張力を利用して圧接し、紫外線照射装置２０（例え
ば、水銀灯光源）からの紫外線を照射してポリエステル
シート６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６
を可剥離部材４ａから遠ざける方向（図７の失印Ｔの方
向）へと走行させてポリエステルシート６に接着した研
磨層３′を可剥離部材４ａの表面から剥離した。Then, the polyester sheet 6 having a thickness of 20 μm coated with the ultraviolet curable resin adhesive 5 a is pressed against the polishing layer 3 ′ on the surface of the cylindrical peelable member 4 a by using the tension of the polyester sheet 6 to irradiate the ultraviolet rays. The polyester sheet 6 is adhered to the polishing layer 3'by irradiating ultraviolet rays from the device 20 (for example, a mercury lamp light source),
Was moved in a direction away from the peelable member 4a (direction of unmarked T in FIG. 7 ) to peel the polishing layer 3'bonded to the polyester sheet 6 from the surface of the peelable member 4a.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４１[Correction target item name] 0041
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４１】 そして、熱接着性樹脂５ｂを塗布した厚
さ２０μｍのポリエステルシート６を円筒状可剥離部材
４ａの表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧
し、同時にこの熱ローラ２１の熱によりポリエステルシ
ート６を研磨層３′に接着し、ポリエステルシート６を
可剥離部材４ａから遠ざける方向（図８の失印Ｔの方
向）へと走行させてポリエステルシート６に接着した研
磨層３′を可剥離部材４ａの表面から剥離した。Then, the polyester sheet 6 having a thickness of 20 μm coated with the heat-adhesive resin 5 b is pressed against the polishing layer 3 ′ on the surface of the cylindrical peelable member 4 a by using the heat roller 21, and at the same time, the heat roller 21 The polyester sheet 6 is adhered to the polishing layer 3 ′ by the heat of, and the polyester sheet 6 is run in the direction away from the peelable member 4 a (the direction of the unmarked mark T in FIG. 8 ) to adhere to the polyester sheet 6. ′ Was peeled from the surface of the peelable member 4a.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００５０[Correction target item name] 0050
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００５０】 図９に示すように、ポリプロピレンシー
ト４ｂをローラ２２に巻き付けるようにしてローラ２２
の回転方向（図９ の失印Ｒの方向）に走行させながらポ
リプロピレンシート４ｂの表面にスラリー３を塗布し、
ブレードＢによってスラリー３の表面を整え、赤外線加
熱器Ｈによってこのスラリー３を乾燥させてローラ２２
と共に回転するポリプロピレンシート４ｂの表面に研磨
層３′を形成した。As shown in FIG. 9, the polypropylene sheet 4 b is wound around the roller 22 so as to be wound around the roller 22.
While applying the slurry 3 to the surface of the polypropylene sheet 4b while traveling in the rotation direction (direction of the unmarked mark R in FIG. 9 ),
The surface of the slurry 3 is adjusted by the blade B, the slurry 3 is dried by the infrared heater H, and the roller 22
A polishing layer 3'was formed on the surface of the polypropylene sheet 4b rotating with it.
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００５１[Correction target item name] 0051
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００５１】 そして、接着剤５ｃを塗布した厚さ１６
μｍのポリエステルシート６をポリプロピレンシート４
ｂの表面の研磨層３′に熱ローラ２１を利用して加圧し
てポリエステルシート６を研磨層３′に接着し、ポリエ
ステルシート６を図９の矢印Ｔの方向へと走行させ、図
９の矢印ｔの方向へと走行するポリプロピレンシート４
ｂから遠ざけてポリエステルシート６に接着した研磨層
３′をポリプロピレンシート４ｂの表面から剥離し、そ
の後、ポリエステルシート６に研磨層３′を確実に接着
させるために乾燥手段２４で十分に乾燥させた。Then, the thickness 16 with the adhesive 5c applied
μm polyester sheet 6 to polypropylene sheet 4
'using heat roller 21 pressurizes the polyester sheet 6 abrasive layer 3' polishing layer 3 b of the surface adhered to, to run a polyester sheet 6 in the direction of arrow T in FIG. 9, FIG.
Polypropylene sheet 4 traveling in the direction of arrow t of 9
The polishing layer 3'bonded to the polyester sheet 6 away from b was peeled off from the surface of the polypropylene sheet 4b, and then sufficiently dried by the drying means 24 to surely bond the polishing layer 3'to the polyester sheet 6. .
Claims (18)
たスラリーを乾燥させた研磨層をプラスチックシート基
板に接着させて成る研磨シートにおいて、前記スラリー
を可剥離部材の表面に塗布し乾燥させて前記可剥離部材
の表面に前記研磨層を形成させた後に、接着剤を塗布し
た前記プラスチックシート基板を前記研磨層の表面に重
ねて接着し、前記プラスチックシート基板と共に前記研
磨層を前記可剥離部材から剥離させることによって、前
記可剥離部材の表面に接していた前記研磨層の表面に形
成された、前記可剥離部材からの剥離面を当該研磨シー
トの研磨面としたことを特徴とする、研磨シート。1. A polishing sheet comprising a plastic sheet substrate and a dried polishing layer obtained by adhering a slurry prepared by mixing abrasive particles and a binder adhesive to a plastic sheet substrate, the slurry being applied to the surface of a peelable member and dried. After forming the polishing layer on the surface of the peelable member, the plastic sheet substrate coated with an adhesive is overlaid and adhered on the surface of the polishing layer, and the polishing layer is formed together with the plastic sheet substrate on the peelable member. Peeled off from the peelable member, which is formed on the surface of the polishing layer that was in contact with the surface of the peelable member, was used as the polishing surface of the polishing sheet. Sheet.
アルミナ（Al2O3）、酸化鉄（Fe2O3）、カーボランダム
（SiC）、酸化クロム（Cr2O3）、若しくは酸化セリウム
（CeO2）又はそれらの混合物である、請求項１記載の研
磨シート。2. The abrasive particles are diamond (C),
2. Alumina (Al 2 O 3 ), iron oxide (Fe 2 O 3 ), carborundum (SiC), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), cerium oxide (CeO 2 ), or a mixture thereof. Polishing sheet.
ス、アセチルセルロース、トリエチルセルロース、ポリ
ビニルアセタール、ポリアクリル酸エステル、ポリビニ
ルアルコール、ポリ塩化ビニル、エポキシ樹脂、ポリイ
ソブチレン、若しくは天然ゴム又はこれらの混合物であ
る、請求項１記載の研磨シート。3. The binder adhesive is nitrocellulose, acetyl cellulose, triethyl cellulose, polyvinyl acetal, polyacrylic acid ester, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, epoxy resin, polyisobutylene, natural rubber or a mixture thereof. The polishing sheet according to claim 1.
って、光開始剤、増感剤を含む、エポキシアクリレー
ト、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレー
ト、ジエン系アクリレート、若しくはシリコン系アクリ
レート又はこれらの混合物である、請求項１記載の研磨
シート。4. The adhesive is an ultraviolet curable resin adhesive, which contains a photoinitiator and a sensitizer, and includes epoxy acrylate, polyester acrylate, urethane acrylate, diene acrylate, or silicone acrylate, or a mixture thereof. The polishing sheet according to claim 1, which is
リエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニル
樹脂、若しくはナイロン又はこれら混合物である、請求
項１記載の研磨シート。5. The polishing sheet according to claim 1, wherein the adhesive is a heat-adhesive resin and is polyethylene resin, polypropylene resin, polyvinyl chloride resin, nylon, or a mixture thereof.
テル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ酢酸樹脂、若しくは
ポリ塩化ビニル樹脂、又はこれらの混合物である、請求
項１記載の研磨シート。6. The polishing sheet according to claim 1, wherein the adhesive is a polyester resin, a polyurethane resin, a polyacetic acid resin, a polyvinyl chloride resin, or a mixture thereof which cures at room temperature.
テル、ポリプロピレン、ポリエチレン、又はポリウレタ
ンシートである、請求項１記載の研磨シート。7. The polishing sheet according to claim 1, wherein the plastic sheet substrate is a polyester, polypropylene, polyethylene, or polyurethane sheet.
レン、ガラス、又は鏡面研磨した金属から成る、請求項
１記載の研磨シート。8. The polishing sheet according to claim 1, wherein the peelable member is made of Teflon, polypropylene, glass, or mirror-polished metal.
プロピレンシート、又はポリエチレンシートである、請
求項１記載の研磨シート。9. The polishing sheet according to claim 1, wherein the peelable member is a Teflon sheet, a polypropylene sheet, or a polyethylene sheet.
合したスラリーを乾燥させた研磨層をプラスチックシー
ト基板に接着させて成る研磨シートの製造方法におい
て、 前記スラリーを可剥離部材の表面に塗布する工程と、 前記可剥離部材の表面に塗布した前記スラリーを乾燥さ
せて前記可剥離部材の表面に研磨層を形成させる工程
と、 接着剤を塗布したプラスチックシート基板を前記研磨層
の表面に重ねて接着させる工程と、 前記可剥離部材から前記プラスチックシート基板と共に
前記研磨層を剥離させる工程とから成ることを特徴とす
る、研磨シートの製造方法。10. A method for producing a polishing sheet, which comprises adhering a dried polishing layer obtained by mixing a slurry obtained by mixing abrasive particles and a binder adhesive to a plastic sheet substrate, wherein the slurry is applied to the surface of a peelable member. A step of drying the slurry applied to the surface of the peelable member to form a polishing layer on the surface of the peelable member, and overlaying a plastic sheet substrate coated with an adhesive on the surface of the polishing layer. A method of manufacturing a polishing sheet, comprising: a step of adhering and a step of peeling the polishing layer together with the plastic sheet substrate from the peelable member.
（C）、アルミナ（Al2O3）、酸化鉄（Fe2O3）、カーボ
ランダム（SiC）、酸化クロム（Cr2O3）、若しくは酸化
セリウム（CeO2）又はそれらの混合物である、請求項１
０記載の方法。11. The abrasive particles are diamond (C), alumina (Al 2 O 3 ), iron oxide (Fe 2 O 3 ), carborundum (SiC), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), or oxidized. Cerium (CeO 2 ) or mixtures thereof.
0. The method of claim 0.
ース、アセチルセルロース、トリエチルセルロース、ポ
リビニルアセタール、ポリアクリル酸エステル、ポリビ
ニルアルコール、ポリ塩化ビニル、エポキシ樹脂、ポリ
イソブチレン、若しくは天然ゴム又はこれらの混合物で
ある、請求項１０記載の方法。12. The binder adhesive is nitrocellulose, acetyl cellulose, triethyl cellulose, polyvinyl acetal, polyacrylic ester, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, epoxy resin, polyisobutylene, natural rubber or a mixture thereof. The method according to claim 10.
あって、光開始剤、増感剤を含む、エポキシアクリレー
ト、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレー
ト、ジエン系アクリレート、若しくはシリコン系アクリ
レート又はこれらの混合物である、請求項１０記載の方
法。13. The adhesive is an ultraviolet curable resin adhesive, which contains a photoinitiator and a sensitizer, and includes epoxy acrylate, polyester acrylate, urethane acrylate, diene acrylate, or silicon acrylate, or a mixture thereof. 11. The method of claim 10, wherein
ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニ
ル樹脂、若しくはナイロン又はこれら混合物である、請
求項１０記載の方法。14. The adhesive is a heat-adhesive resin,
The method according to claim 10, which is a polyethylene resin, a polypropylene resin, a polyvinyl chloride resin, nylon, or a mixture thereof.
ステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ酢酸樹脂、若しく
はポリ塩化ビニル樹脂、又はこれらの混合物である、請
求項１０記載の方法。15. The method according to claim 10, wherein the adhesive is a polyester resin, a polyurethane resin, a polyacetic acid resin, a polyvinyl chloride resin, or a mixture thereof which cures at room temperature.
ステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、又はポリウレ
タンシートである、請求項１０記載の方法。16. The method of claim 10, wherein the plastic sheet substrate is a polyester, polypropylene, polyethylene, or polyurethane sheet.
ピレン、ガラス、又は鏡面研磨した金属から成る、請求
項１０記載の方法。17. The method of claim 10, wherein the peelable member comprises Teflon, polypropylene, glass, or mirror-polished metal.
リプロピレンシート、又はポリエチレンシートである、
請求項１０記載の方法。18. The peelable member is a Teflon sheet, a polypropylene sheet, or a polyethylene sheet,
The method according to claim 10.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245395A JPH08243931A (en) | 1995-03-07 | 1995-03-07 | Polishing sheet and its manufacture |
| US09/013,716 US6007591A (en) | 1995-03-07 | 1998-01-26 | Abrasive sheet and method for producing same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP7245395A JPH08243931A (en) | 1995-03-07 | 1995-03-07 | Polishing sheet and its manufacture |
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|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JPH08243931A (en) |
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1995
- 1995-03-07 JP JP7245395A patent/JPH08243931A/en active Pending
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