JPH08240632A - 電源供給方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査体に対して離れた位置にあるコントロ
ール装置から電源電圧およびアナログ信号を供給して検
査するエージング装置のような検査装置において、グラ
ンドラインを構成するケーブル本数の増加を抑えつつ電
源供給系のノイズや電圧変動による信号系への悪影響を
回避することができるようにする。 【構成】 比較的離れた位置にあるコントロール装置２
０から液晶表示パネル１１へ電源ラインＬ０によって供
給する動作電流を、アナログバッファ１３のグランドラ
インＧＬに流す代わりに、電流シンク用のアンプ１４を
介して低電位側の電源ラインＬ３に流すようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電源供給技術に関し、
例えばエージング装置においてコントロール部から治具
上の被検査体への電源供給方法および液晶表示パネルの
検査装置に適用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、薄膜集積回路もしくはそれを備え
た液晶表示パネルのような電子装置においては、その信
頼性を保証するため、製造ラインの最終工程で、エージ
ング装置により、高温、高電圧を印加した状態で回路を
動作させて、故障や劣化の有無を検査する試験が行われ
ている。

【０００３】従来のエージング装置においては、図４に
示すように、コントロール装置２０から離れた位置にあ
る液晶表示パネル等の被検査体１１に対して、電源ライ
ンＬ０，Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３や信号ラインＳＬ１，ＳＬ２
によって電源電圧やデジタル信号、アナログ信号を供給
するようにしていた。また、従来のエージング装置にお
いては、被検査体１１に対する電源供給系のグランドラ
インとデジタル信号およびアナログ信号の基準となる電
位を与えるグランドラインとを、共通のグランドライン
ＧＬとして設けることによりケーブルの本数を減らすよ
うにしていた。

【０００４】ところが、グランドラインを共通にする
と、それぞれのシンク電流が一本のグランドラインに向
かって流れ込むことになるため、特にシンク電流の大き
な電源供給系におけるパルス性のノイズや電圧変動が信
号系に悪影響を与えるという欠点がある。そこで、電源
供給系、デジタル信号系およびアナログ信号系のグラン
ドラインＧＬを、図５に示すように分離することによっ
て電源供給系による信号系への悪影響を防止する方法が
考えられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グラン
ドラインＧＬを図５のようにそれぞれ別個にすると、ケ
ーブルの本数が増えてしまうという不具合がある。特
に、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を使用した液晶表示パ
ネルにあっては、５Ｖや１２Ｖ等複数の電源を必要とす
るため、それぞれに対応してグランドラインを設ける
と、その分ケーブルの本数が多くなってしまう。また、
液晶表示パネルの表示駆動試験では電源供給系からのノ
イズが信号系に入ると画質が低下してしまい、正しい検
査が行なえないという不都合がある。

【０００６】本発明は、上記のような問題点に着目して
なされたもので、その目的とするところは、グランドラ
インを構成するケーブル本数の増加を抑えつつ電源供給
系のノイズや電圧変動による信号系への悪影響を回避で
きるような電源供給および信号伝送方式を提供すること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、被検査体に対して離れた位置にあるコン
トロール装置から電源電圧およびアナログ信号を供給し
て検査する検査装置において、被検査体の動作電流をグ
ランドラインへ流す代わりにアンプを介して低電位側の
電源ラインに流すようにしたものである。

【０００８】また、被検査体にアナログ信号の他にデジ
タル信号も供給して検査する検査装置においては、デジ
タル信号を印加するバッファ回路の動作電流もアンプを
介して低電位側の電源ラインに流すようにするとよい。

【０００９】コントロール装置から被検査体に供給する
電源電圧が負電源である場合には、被検査体の動作電流
をグランドラインへ流す代わりに、高電位側の電源ライ
ンからアンプを介して被検査体に電流を供給するように
する。

【００１０】

【作用】本発明によれば、被検査体の動作電流をアンプ
を介して電源ラインに引き込みあるいは電源ラインから
流し込むことができるため、グランドラインの本数を減
らすことができる。しかも、被検査体に流される電流が
グランドラインに流れないようになるため、電源供給系
のノイズや電圧変動がグランドラインを通してアナログ
信号系に回り込むのを防止することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
図１は本発明を適用したエージング装置の一実施例を示
す図である。

【００１２】図１において、１０は液晶表示パネルのよ
うな被検査体１１が設置されるエージング装置、２０は
上記被検査体１１に対する電源電圧やデジタル信号、ア
ナログ信号を供給するコントロール装置である。特に限
定されるものでないが、上記エージング装置１０内には
複数の被検査体１１を搭載可能にするために複数の治具
（図示略）が設置され、同時に複数の被検査体の検査を
行なえるように構成されている。図１には、複数の被検
査体のうち一つが代表として示されている。

【００１３】上記コントロール装置２０は、被検査体１
１に供給される電源電圧Ｖｃｃを出力する電源アンプ２
１と、被検査体１１に入力する検査用のアナログ信号Ｄ
Ｓを出力するデジタル出力バッファ２２と、被検査体１
１に入力する検査用のアナログ信号ＡＳを出力するアナ
ログ出力バッファ２３等を備えている。図示しないが、
上記デジタル出力バッファ２２およびアナログ出力バッ
ファ２３は、それぞれ被検査体に必要とされるデジタル
信号およびアナログ信号の種類と同じ数だけ設けられ
る。

【００１４】上記エージング装置１０には、信号ライン
ＳＬ１を介してコントロール装置２０から供給されるデ
ジタル信号ＤＳを受けて被検査体１１に供給するオぺア
ンプ等からなるデータバッファ１２と、信号ラインＳＬ
２を介してコントロール装置２０から供給されるアナロ
グ信号ＡＳを受けて被検査体１１に供給するオぺアンプ
等からなるアナログバッファ１３と、被検査体１１の動
作電流を引き込む第１の電流シンク用アンプ１４と、上
記データバッファ１２の動作電流を引き込む第２の電流
シンク用アンプ１５とが設けられている。

【００１５】上記データバッファ１２とアナログバッフ
ァ１３は、上記デジタル出力バッファ２２およびアナロ
グ出力バッファ２３に対応して信号の種類に応じた数だ
け設けられる。一方、上記電流シンク用アンプ１４およ
び１５は、それぞれ複数の被検査体１１および複数のデ
ータバッファ１２に対して一つずつ設けるように構成す
ることができる。

【００１６】上記データバッファ１２は、電源ラインＬ
１を介してコントロール装置２０から供給される＋５Ｖ
のような電源電圧によって動作する。また、上記アナロ
グバッファ１３と電流シンク用アンプ１４および１５
は、電源ラインＬ２およびＬ３を介してコントロール装
置２０からそれぞれ供給される＋１２Ｖと−１２Ｖのよ
うな電源電圧によって動作される。そして、電流シンク
用アンプ１４および１５は、グランドラインＧＬを介し
てその入力端子に０Ｖのようなアナロググランド電位が
印加されている。

【００１７】上記実施例の電流供給、電流伝送方式によ
れば、被検査体１１を流れる電流は、グランドラインＧ
Ｌには流れず、電流シンク用アンプ１４に流れる。その
ため、アナログ信号系のグランドが、被検査体１１を流
れる電流による直流的な電圧降下やパルス状のノイズに
よって影響を受けることがなく、図４に示されているよ
うなグランドラインを共通にする従来の伝送方式に比較
してノイズの少ない安定したアナログ信号伝送を行なう
ことができる。

【００１８】また、上記実施例では、データバッファ１
２を流れる電流も電流シンク用アンプ１５を介して電源
ラインＬ３に流れるようにしているため、アナログ信号
系のグランドが、データバッファ１２の動作に伴う電源
ノイズによる影響を受けることもない。

【００１９】さらに、上記アナログ信号ラインＳＬ２と
グランドラインＧＬとの間には抵抗Ｒが接続されてお
り、アナログ信号ＡＳにのってくるノイズ分を抵抗Ｒを
介してグランドラインＧＬにバイパスすることで被検査
体１１に入力されるノイズを低減するように構成されて
いる。これによって、より一層ノイズの少ないアナログ
信号の伝送が可能となり、液晶表示パネルの検査におい
ては画質の低下の少ない正確な検査を行なうことができ
る。

【００２０】しかも、上記実施例によれば、図５に示す
ようにグランドラインを分離する方式に比べて、グラン
ドラインの本数を減らすことができるため、ケーブル敷
設に伴なうコストを少なくすることができる。

【００２１】上記実施例においては、電源ラインＬ１か
ら被検査体に電源を流し込み、シンク用アンプ１４で電
源を引き込むように構成されたエージング装置に本発明
を適用した場合について説明したが、本発明は負電源を
被検査体に供給して動作させるエージング装置にも適用
することができる。その場合には、図２に示すように電
流用アンプ１４を高電位側に設けて、その電流用アンプ
１４から被検査体１１に対して電流を供給し、引き込み
電流は負電源（−Ｖｅｅ）を供給する電源ラインＬ０へ
流すように構成すれば良い。

【００２２】また、上記実施例では、データバッファ１
２を流れる電流も電流シンク用アンプ１５を介してグラ
ンドラインＧＬに流れるようにしているが、図３に示す
ようにアンプ１５を省略してデータバッファ１２を流れ
る電流が直接グランドラインＧＬへ流れるように構成し
てもよい。

【００２３】なお、上記実施例においては、液晶表示パ
ネルのエージング装置に適用した例について説明した
が、この発明はそれに限定されるものでなく、ＴＦＴを
使用した回路さらにはデジタル回路とアナログ回路が混
在した装置の検査、試験装置その他ケーブル等により比
較的離れた装置間で信号と電源電圧を伝送するシステム
に利用することが可能である。

【００２４】

【発明の効果】請求項１記載の電源供給方法によれば、
エージング装置のような検査装置において、グランドラ
インを構成するケーブル本数の増加を抑えつつ電流供給
系のノイズや電圧変動による信号系への悪影響を回避す
ることができる。また、これによって、液晶表示パネル
のエージング装置においては、画質の低下を防止してよ
り正確な検査を行なうことができるという効果がある。

【００２５】請求項２記載の電源供給方法によれば、ア
ナログ信号系のグランドが、デジタル信号系のデータバ
ッファの動作に伴う電源ノイズによる影響を受けること
もないという効果がある。

【００２６】請求項３記載の発明によれば、エージング
装置のような検査装置において、グランドラインを構成
するケーブル本数の増加を抑えつつ電流供給系のノイズ
や電圧変動による信号系への悪影響を回避することがで
きるとともに、同時に複数の被検査体の検査を行なうこ
とができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電流供給および信号伝送方法を適
用したエージング装置の一実施例を示す説明図である。

【図２】本発明に係る電流供給および信号伝送方法を適
用したエージング装置の第２実施例を示す説明図であ
る。

【図３】本発明に係る電流供給および信号伝送方法を適
用したエージング装置の第３実施例を示す説明図であ
る。

【図４】従来の電源供給および信号伝送方法を適用した
エージング装置の一例を示す説明図である。

【図５】従来の電源供給および信号伝送方法を適用した
エージング装置の他の例を示す説明図である。

【符号の説明】

１０ エージング装置 １１ 被検査体 １２ データバッファ １３ アナログバッファ １４，１５ 電流シンク用アンプ ２０ コントロール装置 ２１ 電源アンプ ２２ デジタル出力バッファ ２３ アナログ出力バッファ Ｌ０，Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３ 電源ライン ＳＬ１，ＳＬ２ 信号ライン ＧＬ グランドライン

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査体に対して離れた位置にあるコント
   ロール装置から電源電圧とアナログ信号およびその基準
   電位を供給して検査する検査装置において、 上記被検査体の動作電流をアンプを介して異なる電位側
   の電源ラインに流すようにしたことを特徴とする被検査
   体に対する電源供給方法。
2. 【請求項２】上記被検査体にアナログ信号とともにデジ
   タル信号を供給して検査するように構成された検査装置
   において、デジタル信号を印加するバッファ回路の動作
   電流をアンプを介して供給もしくは引き込むようにした
   ことを特徴とする請求項１に記載の被検査体に対する電
   源供給方法。
3. 【請求項３】複数個の被検査体をそれぞれ載置するため
   の複数個の治具と、 該治具上の被検査体に対して電源電圧を供給するための
   共通の電源ラインと、 外部のコントロール装置から供給される検査用アナログ
   信号を受けて上記治具上の被検査体へ供給するアナログ
   バッファと、 外部のコントロール装置から供給される検査用デジタル
   信号を受けて上記治具上の被検査体へ供給するデータバ
   ッファと、 上記治具上の被検査体の動作電流を引き込む第１の電流
   シンク用アンプと、 上記データバッファの動作電流を引き込む第２の電流シ
   ンク用アンプと、 上記アナログバッファへ基準電位を供給するグランドラ
   インと、 上記アナログバッファおよびデータバッファ、電流シン
   ク用アンプへそれぞれ電源電圧を供給する電源ラインと
   を有し、 少なくとも上記被検査体の動作電流は上記第１の電流シ
   ンク用アンプを介して異なる電位側の電源ラインに流す
   ように構成されていることを特徴とする検査装置。