JPH08235578A - Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device using the medium - Google Patents

Magnetic recording medium and magnetic recording and reproducing device using the medium

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JPH08235578A
JPH08235578A JP3861195A JP3861195A JPH08235578A JP H08235578 A JPH08235578 A JP H08235578A JP 3861195 A JP3861195 A JP 3861195A JP 3861195 A JP3861195 A JP 3861195A JP H08235578 A JPH08235578 A JP H08235578A
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JP
Japan
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magnetic recording
recording medium
magnetic
layer
protective layer
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3861195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Nishimori
賢一 西森
Yoichi Yamaguchi
洋一 山口
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Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a magnetic recording medium having a function to suppress stiction under a wide range of humidity conditions. CONSTITUTION: The magnetic recording medium MM consists of a glass substrate 1, base layer 2, magnetic layer 3 and protective layer 6. The protective layer 6 consists of TiO2 fine particles 4 which can induce photocatalytic reaction and has a texture function to decrease stiction between a magnetic head slider and the magnetic recording medium MM, and a fine particle holding layer 5 to hold the TiO2 fine particles 4 on the magnetic layer 3.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドおよび磁気記
録媒体を相対運動させることで情報の記録および再生を
行う磁気記録・再生装置と、それに使用される磁気記録
媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording / reproducing apparatus for recording and reproducing information by relatively moving a magnetic head and a magnetic recording medium, and a magnetic recording medium used for the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、磁気記録・再生装置は磁
気ヘッドにより磁気記録媒体上に情報の記録再生を行う
装置である。その磁気記録・再生装置の一つにハードデ
ィスク装置がある。ハードディスク装置においては、ハ
ードディスク装置の起動あるいは停止時に磁気ヘッドと
磁気記録媒体が接触摩擦状態にあり、ハードディスク装
置の起動後に磁気ヘッドが浮上状態に遷移するコンタク
ト・スタート・ストップ方式(以下、CSS方式と呼
ぶ)が主に採用されている。
2. Description of the Related Art As is well known, a magnetic recording / reproducing apparatus is an apparatus for recording / reproducing information on / from a magnetic recording medium by a magnetic head. A hard disk device is one of the magnetic recording / reproducing devices. In a hard disk device, the magnetic head and the magnetic recording medium are in a contact friction state when the hard disk device is started or stopped, and the magnetic head transitions to a floating state after the hard disk device is started (hereinafter referred to as CSS system). Called) is mainly adopted.

【0003】上記CSS方式を用いたハードディスク装
置は、その原理上次のようなトライボロジー的問題を提
起してきた。第1に、ハードディスク装置の起動・停止
時においてヘッドスライダーおよび磁気記録媒体は完全
接触状態になるが、両者の表面は超精密仕上げが施され
ている。このため、両者が吸着してしまい、その吸着力
により磁気記録媒体が装着されているスピンドルの回転
が不可能となり、ハードディスク装置自体を起動出来な
くなるという問題(以下、スティクション問題と記す)
が生じる。さらに第2の問題として、ヘッドスライダー
と磁気記録媒体との接触摩擦状態において、両者の間に
発生する摩擦力は、ヘッドスライダー又は磁気記録媒体
の表面摩耗損傷を誘発する原因となる。この原因によ
り、磁気記録媒体の摩耗損傷が磁性層まで到達した場
合、磁性層に記録されている情報が破壊される、いわゆ
るヘッドクラッシュ現象がある。
A hard disk device using the CSS method has raised the following tribological problem in principle. First, the head slider and the magnetic recording medium are in a complete contact state when the hard disk device is started and stopped, but the surfaces of both are subjected to ultra-precision finishing. For this reason, the two are attracted to each other, and the attraction force makes it impossible to rotate the spindle on which the magnetic recording medium is mounted, so that the hard disk device itself cannot be activated (hereinafter referred to as stiction problem).
Occurs. Further, as a second problem, in the contact friction state between the head slider and the magnetic recording medium, the frictional force generated between them causes the surface abrasion damage of the head slider or the magnetic recording medium. Due to this cause, there is a so-called head crash phenomenon in which when the wear damage of the magnetic recording medium reaches the magnetic layer, the information recorded in the magnetic layer is destroyed.

【0004】上記スティクション問題およびヘッドクラ
ッシュ問題を解決するために、従来より次のような工夫
が磁気記録媒体に対して施されてきた。すなわち、ヘッ
ドスライダーと磁気記録媒体間(Head Disk Interface,
以下HDIと記す)の接触面積を低下させ、両者の吸着
を軽減するため、ラッピングテープ方式で磁気記録媒体
の基板表面凹凸を創成するメカニカルテクスチャーや、
特開平3−113823号公報に記載されているよう
に、ガラス基板を化学処理(ケミカルエッチング)する
ことにより、その基板表面に凹凸を創成することが行わ
れていた。そしてこれらのテクスチャリングの行われた
基板上に下地層、磁性層を積層し、磁性層自体がヘッド
スライダーと直接摺動することを防止し、磁気記録媒体
の耐摩耗性を向上させることを目的として、磁性層上に
は炭素、金属酸化物、炭化物、窒化物から成る保護層が
オーバーコートされ、さらにその保護層上にはパーフル
オロポリエーテル(PFPE)などの液体潤滑剤が塗布
されていた。
In order to solve the above-mentioned stiction problem and head crash problem, the following measures have been conventionally applied to the magnetic recording medium. That is, between the head slider and the magnetic recording medium (Head Disk Interface,
(Hereinafter referred to as "HDI") to reduce the contact area and reduce the adsorption of both, a mechanical texture that creates unevenness on the substrate surface of the magnetic recording medium by a wrapping tape method,
As described in JP-A-3-113823, a glass substrate is chemically treated (chemical etching) to create irregularities on the substrate surface. An underlayer and a magnetic layer are laminated on the textured substrate to prevent the magnetic layer itself from sliding directly on the head slider and to improve the wear resistance of the magnetic recording medium. As a result, a protective layer made of carbon, metal oxide, carbide, or nitride is overcoated on the magnetic layer, and a liquid lubricant such as perfluoropolyether (PFPE) is applied on the protective layer. .

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】近年、コンピュータに
はダウンサイジング化、或は使用するソフトウエアの多
様化に伴い、より高速でしかも大容量のもので対応しな
ければならないといった市場要求が課せられており、そ
れに伴い磁気記録・再生装置でもより大容量・高記録密
度タイプのものが望まれている。また、コンピュータの
使用用途も比較的温度・湿度などが安定している通常の
オフィスから、それら温度・湿度が不規則的にしかも広
い範囲で変化する環境下(コンピュータの携帯化によ
り、アウトドア環境下での使用頻度が増加)への拡大し
てきており、そのような環境の変化に依存せず安定して
動作する磁気記録・再生装置が必要とされている。
In recent years, due to downsizing of computers and diversification of software to be used, computers are required to be marketed at a higher speed and with a large capacity. Accordingly, a magnetic recording / reproducing apparatus with a larger capacity and a higher recording density has been demanded accordingly. In addition, the computer is used in an environment where the temperature and humidity change from a normal office where the temperature and humidity are relatively stable, and the temperature and humidity change irregularly and in a wide range (due to the portable computer, it can be used outdoors. The frequency of use has increased, and there is a need for a magnetic recording / reproducing device that operates stably without depending on such environmental changes.

【0006】しかしながら、従来より開示されている技
術により、磁気記録・再生装置の高記録密度化、そして
広範囲にわたる環境下での磁気記録・再生装置の安定動
作性向上を両立させることは、技術的にも困難が伴うこ
とが知られており、以下その内容につき詳述する。
[0006] However, it is technically possible to achieve both the high recording density of the magnetic recording / reproducing device and the improvement of the stable operability of the magnetic recording / reproducing device in a wide range of environment by the technique disclosed heretofore. It is known that there are difficulties, and the details will be described below.

【0007】まず、磁気記録・再生装置の高密度化のた
めには、磁気ヘッドスライダーに設けられた磁気センサ
ーと磁気記録媒体上に形成された磁性層上面との距離
(以下、実効浮上高さと記す)を低減させなければなら
ない。この要求に対し、磁気記録媒体側では上記したテ
クスチャーの高さを低減し、場所による実効浮上高さの
バラツキを小さくして情報の記録・再生を安定して行う
こと、そして磁性層上に設けられた保護層の厚さを薄く
することなどの工夫が必要となってくる。
First, in order to increase the density of the magnetic recording / reproducing apparatus, the distance between the magnetic sensor provided on the magnetic head slider and the upper surface of the magnetic layer formed on the magnetic recording medium (hereinafter referred to as the effective flying height). Note) must be reduced. In response to this demand, the height of the above-mentioned texture is reduced on the magnetic recording medium side to reduce the variation in the effective flying height depending on the location to stably record and reproduce information, and to provide it on the magnetic layer. It is necessary to take measures such as reducing the thickness of the protective layer provided.

【0008】テクスチャー自体は、HDIの接触面積を
低下させ、両者の吸着を軽減するということを主目的と
して、主に媒体基板上に直接設けられる場合が多い。こ
のテクスチャー高さを低減するという試みは、例えば特
開平2−214014号公報に記載(メカニカルテクス
チャリングによる表面凹凸形成)されているように、広
く当業者間で行われていることは周知の事実である。し
かしながら、磁気記録媒体の基板表面に機械的な加工を
施すメカニカルテクスチャリング法では、どうしても磁
気記録媒体上に形成される凹凸の高さが不揃いとなり、
実効浮上高さを一定にすることが困難である。またヘッ
ドスライダー自体の浮上高さを低下させても、突発的に
存在する表面凸部にヘッドスライダーが接触することで
その浮上安定性が損なわれ、それによって記録再生特性
が不安定になるなどの磁気特性上の問題が発生してい
た。そしてそれに加え、その突発的な接触点を起点とし
て磁気記録媒体の損傷が誘発され易くなるといった問題
も提起されてきている。そのため、一方では同テクスチ
ャリング法とは全く異なる手法を用い、突起高さが均一
で、かつ実効浮上高さを低減できるような振幅の小さな
表面凹凸の形成(ヘッドスライダー浮上方向に対して)
を行う方法も提案(例えば、特開平4−89616号公
報参照)されている。
[0008] The texture itself is often provided directly on the medium substrate mainly for the purpose of reducing the contact area of HDI and reducing the adsorption of both. It is a well-known fact that attempts to reduce the texture height are widely made by those skilled in the art, as described in, for example, JP-A-2-214014 (formation of surface irregularities by mechanical texturing). Is. However, in the mechanical texturing method of mechanically processing the substrate surface of the magnetic recording medium, the heights of the irregularities formed on the magnetic recording medium are inevitably uneven,
It is difficult to keep the effective flying height constant. In addition, even if the flying height of the head slider itself is reduced, the flying stability is impaired by the head slider coming into contact with the surface protrusions that are abruptly present, resulting in unstable recording / reproducing characteristics. There was a problem with magnetic properties. In addition to that, a problem has also been raised that damage to the magnetic recording medium is likely to be induced from the point of sudden contact. Therefore, on the other hand, a method that is completely different from the texturing method is used to form surface irregularities with a uniform projection height and small amplitude that can reduce the effective flying height (with respect to the head slider flying direction).
A method of performing the above has also been proposed (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 4-89616).

【0009】しかしながら、上述したような均一な高さ
を有する表面凹凸では、高記録密度化においては有利で
あっても、磁気記録・再生装置が使用される環境の変化
に応じて、新たな技術的問題(上記スティクション問
題)が発生する。
However, even if the surface unevenness having a uniform height as described above is advantageous in increasing the recording density, a new technique is required in accordance with a change in the environment in which the magnetic recording / reproducing apparatus is used. Problem (above stiction problem) occurs.

【0010】スティクション問題において、その発生要
因として特に重要視されるのが湿度であり、IEEE Tran
s.Magn., Vol.26, 2487(1990)に記載されているよう
に、ヘッドスライダーおよび磁気記録媒体に吸着する水
分量の多少は、上記した“スティクション”を直接左右
する重要な影響因子となる。また、高湿度化でのスティ
クションは、常温常湿におけるそれよりも吸着力が著し
く、最悪の場合、磁気記録媒体が装着されているスピン
ドルが完全に起動不能な状態に陥ってしまうこともあ
る。この高湿度下でのスティクションを軽減するために
は、HDIでの吸着水分の凝集をし難くすることが必要
である。しかしながら、前述した突起高さが均一で、か
つヘッドスライダー浮上方向に対し、振幅の小さな表面
凹凸の形成した磁気記録媒体では、結果的にヘッドスラ
イダー/磁気記録媒体の接触領域が増加し、それを核と
して吸着水分の凝集が発生し易くなるため、耐スティク
ション特性は逆に劣化してしまう。
In the stiction problem, humidity is particularly important as a factor causing the stiction problem.
As described in s.Magn., Vol.26, 2487 (1990), the amount of water adsorbed on the head slider and the magnetic recording medium is an important influential factor that directly affects the above-mentioned "stiction". Becomes In addition, the stiction at high humidity has a stronger adsorption force than that at room temperature and normal humidity, and in the worst case, the spindle on which the magnetic recording medium is mounted may be completely unbootable. . In order to reduce this stiction under high humidity, it is necessary to make it difficult for the HDI to aggregate adsorbed water. However, in the above-described magnetic recording medium in which the projection height is uniform and the surface unevenness having a small amplitude is formed in the head slider flying direction, the contact area of the head slider / magnetic recording medium is increased, and Aggregation of adsorbed water is likely to occur as nuclei, so that the stiction resistance is deteriorated.

【0011】以上のように、磁気記録媒体の表面粗度の
低減という、従来技術を改善することで磁気記録媒体の
高記録密度化を図る場合、どうしても耐スティクション
特性が犠牲になるというトレードオフの関係が両者間に
存在する。そのため、この技術的ブレークスルーを達成
し、ヘッドスライダーの低浮上高さ化が可能で、かつ高
湿度下でのスティクションが誘発され難い磁気記録媒体
が必要とされているのが現状である。
As described above, in order to increase the recording density of the magnetic recording medium by improving the conventional technique of reducing the surface roughness of the magnetic recording medium, the trade-off is that the stiction resistance is inevitably sacrificed. There is a relationship between the two. Therefore, under the present circumstances, there is a need for a magnetic recording medium that achieves this technical breakthrough, enables the head slider to have a low flying height, and is unlikely to induce stiction under high humidity.

【0012】したがって、本発明の目的は、上述した従
来の問題点に鑑み、広範囲にわたる湿度条件下で優れた
スティクション抑制機能を有する磁気記録媒体およびそ
れを用いた磁気記録・再生装置を提供することにある。
Therefore, in view of the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having an excellent stiction suppressing function under a wide range of humidity conditions and a magnetic recording / reproducing apparatus using the same. Especially.

【0013】本発明の他の目的は、ヘッドクラクション
防止機能を有する磁気記録媒体およびそれを用いた磁気
記録・再生装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a magnetic recording medium having a head horn preventing function and a magnetic recording / reproducing apparatus using the same.

【0014】本発明のさらに他の目的は、ヘッドスライ
ダーの低浮上化を可能とする磁気記録媒体およびそれを
用いた磁気記録・再生装置を提供することにある。
Still another object of the present invention is to provide a magnetic recording medium capable of lowering the flying height of a head slider and a magnetic recording / reproducing apparatus using the same.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明における磁気記録媒体は、 (構成1)非磁性基板上に、少なくとも磁性層を設け、
該磁性層の上面に直接もしくは間接に保護層を設けた磁
気記録媒体において、前記保護層が水分分解触媒機能と
テクスチャー機能とを有する材料を含むことを特徴とす
る。
In order to solve the above-mentioned problems, a magnetic recording medium according to the present invention comprises (Structure 1) at least a magnetic layer provided on a non-magnetic substrate,
A magnetic recording medium in which a protective layer is directly or indirectly provided on the upper surface of the magnetic layer is characterized in that the protective layer contains a material having a water decomposition catalyst function and a texture function.

【0016】この構成1の態様として、 (構成2)構成1の磁気記録媒体において、前記保護層
の主成分として、光触媒反応を誘発でき、かつ磁気ヘッ
ドスライダーと磁気記録媒体との間のスティクションを
軽減できるテクスチャー機能を有する第1の材料と、該
第1の材料を前記磁性層の上面に保持するための第2の
材料とを含むことを特徴とした。
As an aspect of this configuration 1, (configuration 2) In the magnetic recording medium of configuration 1, as the main component of the protective layer, a photocatalytic reaction can be induced and stiction between the magnetic head slider and the magnetic recording medium. And a second material for holding the first material on the upper surface of the magnetic layer.

【0017】また、本発明にかかる磁気記録・再生装置
は、 (構成3)構成1および2記載の磁気記録媒体を搭載
し、かつ該磁気記録媒体表面上の吸着水分を光触媒反応
により分解させるための光源を具備したことを特徴とす
る。
Further, the magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention has (Structure 3) the magnetic recording medium according to Structures 1 and 2 mounted, and for desorbing adsorbed moisture on the surface of the magnetic recording medium by a photocatalytic reaction. It is characterized by being equipped with a light source of.

【0018】[0018]

【作用】本発明において、上述の構成1および3によれ
ば、保護層に水分分解触媒機能を持たせることにより、
広範囲にわたる湿度条件下での優れたスティクション抑
制機能を有しつつ、かつヘッドスライダーの低浮上化が
容易な磁気記録媒体を得ることが可能となった。
In the present invention, according to the above-mentioned constitutions 1 and 3, by providing the protective layer with a water decomposition catalyst function,
It has become possible to obtain a magnetic recording medium that has an excellent stiction suppressing function under a wide range of humidity conditions and that can easily reduce the flying height of the head slider.

【0019】これはまず、保護層が前記第1の材料を含
み、かつ磁気記録・再生装置に光触媒反応を誘発させる
ための光源が具備されていることから、磁気記録媒体上
の吸着水分をその光触媒作用により分解し、媒体表面上
の水分量自体を減少させる第1の機能を有し、かつ上記
記載のテクスチャー機能を持たせることより磁気ヘッド
スライダー/磁気記録媒体間の接触面積を低減し、水分
の凝集をし難くした第2の機能を有することで、よりス
ティクションを軽減することが可能となった。
First, since the protective layer contains the first material, and the magnetic recording / reproducing apparatus is equipped with a light source for inducing a photocatalytic reaction, the adsorbed moisture on the magnetic recording medium is removed. It has a first function of decomposing by a photocatalytic action and reducing the amount of water itself on the medium surface, and by having the above-described texture function, the contact area between the magnetic head slider and the magnetic recording medium is reduced, By having the second function that makes it difficult for water to aggregate, it is possible to further reduce stiction.

【0020】また、第1の材料は従来のメカニカルテク
スチャー法に比べ、創成された表面凹凸の不揃いを小さ
くでき、かつその突起高さ自体も低減できる。このこと
から、磁気記録媒体に対する情報の記録・再生時におけ
る浮上中の磁気ヘッドスライダーと磁性層との距離、す
なわち実効浮上高さの変動を小さくできる。かつまたテ
クスチャー処理に伴う異常突起の生成というヘッドスラ
イダーの浮上安定性を著しく損ねる要因を除去すること
で、磁気記録媒体に対して高密度記録・再生を安定して
行うことが可能になった。
In addition, the first material can reduce the unevenness of the created surface irregularities and can reduce the height itself of the protrusions as compared with the conventional mechanical texture method. As a result, it is possible to reduce the fluctuation of the distance between the magnetic head slider and the magnetic layer that are being floated, that is, the effective flying height when recording / reproducing information on / from the magnetic recording medium. In addition, by removing the factor that remarkably deteriorates the flying stability of the head slider, that is, the generation of abnormal protrusions due to the texture processing, it has become possible to stably perform high-density recording / reproduction on the magnetic recording medium.

【0021】また、保護層中に含まれる第2の材料は、
第1の材料を前記磁性層上に強固に保持する役割を持つ
ことで、保護層自体の機械的耐久性を向上させる役割を
持つとともに、磁性層全面を被覆することで、磁性層の
耐腐食性を維持する機能も有する。
The second material contained in the protective layer is
By having the role of firmly holding the first material on the magnetic layer, it has the role of improving the mechanical durability of the protective layer itself, and by covering the entire surface of the magnetic layer, the corrosion resistance of the magnetic layer is improved. It also has the function of maintaining sex.

【0022】[0022]

【実施例】以下、まず、実施例および比較例の主たる構
成および製造方法を説明し、次いで、これらのトライボ
ロジー的特性を比較説明する。
EXAMPLES First, the main constitutions and manufacturing methods of Examples and Comparative Examples will be described, and then their tribological characteristics will be compared and described.

【0023】[実施例]図1に本発明の一実施例による
磁気記録媒体MMを示す。本実施例における磁気記録媒
体MMは下記のように作製された。
[Embodiment] FIG. 1 shows a magnetic recording medium MM according to an embodiment of the present invention. The magnetic recording medium MM in this example was manufactured as follows.

【0024】まず、直径65mmのガラス基板1をR
max が3nm以下になるよに鏡面研磨仕上げした後、そ
のガラス基板1を洗浄器内において、純水および純度9
9.9%以上のイソプロピルアルコール(IPA)内で
20分間超音波洗浄し、IPA蒸気内に5分間放置後、
乾燥させた。そして洗浄工程を経たガラス基板1上に下
地層2、磁気層3をRFマグネトロンスパッタリング法
により作製した。その際、下地層2としてCrをガラス
基板1上に100nm、この下地層2上に、磁性層3と
してCoNiCrを50nm積層した。下地層2および
磁性層3は、同一のスパッタリング条件下(雰囲気ガ
ス:純度99.9%のArガスを使用、ガス圧:10m
Torr、ガス流量:10SCCM、投入電力:200
W、背圧:10-7Torr、基板加熱なし)で作製し
た。
First, the glass substrate 1 having a diameter of 65 mm is R
After mirror-polishing so that the max becomes 3 nm or less, the glass substrate 1 is cleaned with pure water and a purity of 9
After ultrasonic cleaning in 9.9% or more isopropyl alcohol (IPA) for 20 minutes and leaving it in IPA vapor for 5 minutes,
Dried. Then, the underlayer 2 and the magnetic layer 3 were formed on the glass substrate 1 that has undergone the washing process by the RF magnetron sputtering method. At this time, Cr was deposited as the underlayer 2 on the glass substrate 1 to a thickness of 100 nm, and CoNiCr was deposited to a thickness of 50 nm as the magnetic layer 3 on the underlayer 2. The underlayer 2 and the magnetic layer 3 are under the same sputtering conditions (atmosphere gas: Ar gas with a purity of 99.9% is used, gas pressure: 10 m).
Torr, gas flow rate: 10 SCCM, input power: 200
W, back pressure: 10 −7 Torr, no substrate heating).

【0025】次に、平均粒径が20nmのTiO2 微粒
子4を、ディッピング法により磁性層3の表面上に分散
させた。その際、純度99.9%のIPA(1000m
l)にTiO2 微粒子を1mg混入した溶液を作製した
後、ディスクサンプルを1分間溶液中に浸漬した後、
1.4mm/秒の引き上げ速度で徐々に溶液から引き上
げ、TiO2 微粒子を磁性層3の表面上に分散させた。
Next, TiO 2 fine particles 4 having an average particle diameter of 20 nm were dispersed on the surface of the magnetic layer 3 by the dipping method. At that time, IPA with a purity of 99.9% (1000 m
After preparing a solution in which 1 mg of TiO 2 fine particles was mixed in 1), the disk sample was immersed in the solution for 1 minute,
The TiO 2 fine particles were dispersed on the surface of the magnetic layer 3 by gradually pulling up from the solution at a pulling rate of 1.4 mm / sec.

【0026】次に、TiO2 微粒子4および磁性層3上
に、RFマグネトロンスパッタリング法によりカーボン
からなる微粒子保護層5を形成し、TiO2 微粒子4と
併せて保護層6とした。この際、雰囲気ガスに純度9
9.9%のアルゴンガスとCH4 ガスを使用し、ガス
圧:5mTorr(ガス流量、Ar:10SCCM、C
4 :5SCCM)、投入電力:100W、背圧:10
-7Torr、基板加熱なしの条件で成膜を行った。そし
て微粒子保護層6の成膜終了後、反応性イオンエッチン
グ法(ガス:CF4 、ガス流量:30SCCM、RF電
力:200W、背圧:3×10-2Torr、エッチング
時間:1分間)により、微粒子保護層5の成膜時にTi
2 微粒子4上に余剰に積層されたカーボンを除去した
後、本実施例の磁気記録媒体MMを得た。また、本実施
例における磁気記録媒体MMの表面粗さを、触針式粗さ
計(ランクテーラーホブソン製:タリーステップ、スタ
イラス:0.1μm×2.5μm角錘型使用、測定力:
2mgf)で評価した結果、RMS(自乗平均粗さ)で
3nmであった。
Next, on the TiO 2 fine particles 4 and the magnetic layer 3 to form a particulate protective layer 5 made of carbon by RF magnetron sputtering method, a protective layer 6 together with TiO 2 particles 4. At this time, the atmosphere gas has a purity of 9
Using 9.9% argon gas and CH 4 gas, gas pressure: 5 mTorr (gas flow rate, Ar: 10 SCCM, C
H 4 : 5SCCM), input power: 100W, back pressure: 10
The film was formed under the conditions of -7 Torr and no substrate heating. After the formation of the fine particle protective layer 6, the reactive ion etching method (gas: CF 4 , gas flow rate: 30 SCCM, RF power: 200 W, back pressure: 3 × 10 -2 Torr, etching time: 1 minute) was used. When the fine particle protective layer 5 is formed, Ti
After the excess carbon deposited on the O 2 fine particles 4 was removed, a magnetic recording medium MM of this example was obtained. Further, the surface roughness of the magnetic recording medium MM in this example was measured by a stylus type roughness meter (manufactured by Rank Taylor Hobson: Tally step, stylus: 0.1 μm × 2.5 μm pyramidal type, measuring force:
As a result of evaluation by 2 mgf, RMS (root mean square roughness) was 3 nm.

【0027】[比較例]図2に磁気記録媒体の比較例を
示す。本磁気記録媒体MM´は下記のように作製され
た。
[Comparative Example] FIG. 2 shows a comparative example of a magnetic recording medium. The magnetic recording medium MM 'was manufactured as follows.

【0028】まず、直径65mmのガラス基板7をR
max が3nm以下になるよに鏡面研磨仕上げした後、そ
のガラス基板7を洗浄器内において、純水および純度9
9.9%以上のイソプロピルアルコール(IPA)内で
20分間超音波洗浄し、IPA蒸気内に5分間放置後、
乾燥させた。そして洗浄工程を経たガラス基板7上に、
テクスチャー層8、下地層9、磁性層10、保護層11
をRFマグネトロンスパッタリング法により一貫して作
製した。テクスチャー層8には低融点金属であるAl
を、雰囲気ガスに純度99.9%のアルゴンガスを使用
し、ガス圧:5mTorr(ガス流量、Ar:10SC
CM、CH4 :5SCCM)、投入電力:100W、背
圧:10-7Torr、基板加熱温度:200℃の条件
で、ガラス基板7上に積層した。
First, the glass substrate 7 having a diameter of 65 mm is R
After mirror-polishing so that the max becomes 3 nm or less, the glass substrate 7 is cleaned with pure water and a purity of 9
After ultrasonic cleaning in 9.9% or more isopropyl alcohol (IPA) for 20 minutes and leaving it in IPA vapor for 5 minutes,
Dried. Then, on the glass substrate 7 that has undergone the cleaning process,
Texture layer 8, underlayer 9, magnetic layer 10, protective layer 11
Were consistently produced by the RF magnetron sputtering method. The texture layer 8 has a low melting point of Al
Argon gas with a purity of 99.9% is used as the atmosphere gas, and the gas pressure is 5 mTorr (gas flow rate, Ar: 10 SC
CM, CH 4 : 5 SCCM), input power: 100 W, back pressure: 10 −7 Torr, substrate heating temperature: 200 ° C.

【0029】次に下地層9としてCrをテクスチャー層
8上に100nm積層し、この下地層9上に磁性層10
としてCoNiCrを50nm積層した。下地層9およ
び磁性層10は、同一のスパッタリング条件下(雰囲気
ガス:純度99.9%のArガスを使用、ガス圧:10
mTorr、ガス流量:10SCCM、投入電力:20
0W、背圧:10-7Torr、基板加熱なし)で作製し
た。
Next, 100 nm of Cr was laminated as the underlayer 9 on the texture layer 8, and the magnetic layer 10 was formed on the underlayer 9.
As a result, CoNiCr was laminated in a thickness of 50 nm. The underlayer 9 and the magnetic layer 10 are under the same sputtering conditions (atmosphere gas: Ar gas with a purity of 99.9% is used, gas pressure: 10).
mTorr, gas flow rate: 10 SCCM, input power: 20
0 W, back pressure: 10 −7 Torr, no substrate heating).

【0030】また、保護層11としてカーボンを磁性層
10上に10nm積層した。その際、雰囲気ガスに純度
99.9%のアルゴンガスとCH4 ガスを使用し、ガス
圧:5mTorr(ガス流量、Ar:10SCCM、C
4 :5SCCM)、投入電力:100W、背圧:10
-7Torr、基板加熱なしの条件で成膜を行った後、本
比較例の磁気記録媒体MM´を得た。また、本比較例に
おける磁気記録媒体MM´の表面粗さを、触針式粗さ計
(ランクテーラーホブソン製:タリーステップ、スタイ
ラス:0.1μm×2.5μm角錘型使用、測定力:2
mgf)で評価した結果、RMS(自乗平均粗さ)で3
nmであった。
As the protective layer 11, carbon was laminated on the magnetic layer 10 to have a thickness of 10 nm. At that time, argon gas and CH 4 gas having a purity of 99.9% were used as the atmosphere gas, and the gas pressure was 5 mTorr (gas flow rate, Ar: 10 SCCM, C
H 4 : 5SCCM), input power: 100W, back pressure: 10
After the film formation was performed under the conditions of -7 Torr and no substrate heating, a magnetic recording medium MM 'of this comparative example was obtained. Further, the surface roughness of the magnetic recording medium MM 'in this comparative example was measured by a stylus type roughness meter (Rank Taylor Hobson: Tally step, stylus: 0.1 μm × 2.5 μm pyramidal type, measuring force: 2
As a result of evaluation by mgf), RMS (root mean square roughness) is 3
was nm.

【0031】図3に上記実施例で作製した磁気記録媒体
MMを搭載する磁気記録・再生装置の概略を示す。
FIG. 3 schematically shows a magnetic recording / reproducing apparatus equipped with the magnetic recording medium MM manufactured in the above embodiment.

【0032】本磁気記録・再生装置はスピンドル部1
2、磁気ヘッド13、磁気ヘッド保持部14、光源1
5、および制御回路部16より構成される。スピンドル
部12は磁気記録媒体MMを保持してそれを回転駆動さ
せる。磁気ヘッド13は磁気記録媒体MM上を滑動又は
浮上走行して、磁気記録媒体MMに磁気記録をし又は磁
気記録媒体MMに記録されている磁気記録信号を再生す
る。磁気ヘッド保持部14はこの磁気ヘッド13を保持
して該磁気ヘッド13の磁気記録媒体MMに対する位置
を制御する。光源15は磁気記録媒体MMの表面上の吸
着水分を光触媒反応により分解させるため、磁気記録媒
体MMの表面に対し斜め方向(磁気記録媒体MMに面に
対し10°)から光を照射する。制御回路部16はこれ
らスピンドル部12、磁気ヘッド13、磁気ヘッド保持
部14、および光源15を制御する。光源15に関して
は、波長が200〜750nmの紫外光から可視光にか
けての光(電磁波)を発生できるものを用いている。
This magnetic recording / reproducing apparatus has a spindle unit 1
2, magnetic head 13, magnetic head holder 14, light source 1
5 and the control circuit unit 16. The spindle unit 12 holds the magnetic recording medium MM and drives it to rotate. The magnetic head 13 slides or floats on the magnetic recording medium MM to perform magnetic recording on the magnetic recording medium MM or reproduce a magnetic recording signal recorded on the magnetic recording medium MM. The magnetic head holder 14 holds the magnetic head 13 and controls the position of the magnetic head 13 with respect to the magnetic recording medium MM. The light source 15 irradiates the surface of the magnetic recording medium MM with light from an oblique direction (10 ° with respect to the surface) in order to decompose the adsorbed moisture on the surface of the magnetic recording medium MM by a photocatalytic reaction. The control circuit unit 16 controls the spindle unit 12, the magnetic head 13, the magnetic head holding unit 14, and the light source 15. As the light source 15, a light source that can generate light (electromagnetic wave) from ultraviolet light having a wavelength of 200 to 750 nm to visible light is used.

【0033】また、本発明の効果を実証すべく、図4
に、スティクションの度合いを評価する初期摩擦力測定
を実施するため、上記磁気記録・再生装置の構成以外
に、磁気ヘッド保持部14に歪ゲージセンサー17を装
備し、かつその歪ゲージセンサー17で検出された初期
摩擦力をモニターする装置(ストレインアンプ18、パ
ーソナルコンピュータ19)を具備した磁気記録・再生
装置を示す。
Further, in order to demonstrate the effect of the present invention, FIG.
In addition, in order to perform the initial friction force measurement for evaluating the degree of stiction, in addition to the configuration of the magnetic recording / reproducing apparatus, the magnetic head holding unit 14 is equipped with a strain gauge sensor 17, and the strain gauge sensor 17 is used. 1 shows a magnetic recording / reproducing device equipped with a device (strain amplifier 18, personal computer 19) for monitoring the detected initial frictional force.

【0034】図5は、本発明における実施例の磁気記録
媒体MMおよび比較例の磁気記録媒体MM´を装備した
図4に示す磁気記録・再生装置を、恒温恒湿槽の中に設
置し、温度を50℃一定とし、相対湿度を10〜90%
R.Hまで変化させた場合の初期摩擦係数を示したもの
である。本試験では、磁気記録・再生装置を設置した恒
温恒湿槽内が所定の湿度になって後、CSS操作(磁気
記録媒体上でのヘッドスライダーの離着陸)を、図6に
示すようなパターンに沿って行い、その際に得られるス
ライダー浮上曲線20(ヘッドスライダー浮上時に観察
される摩擦力のディスク回転時間に対する変化、図7参
照)より、ディスク回転開始時に観察される初期摩擦力
21の値を、後述のヘッド荷重で除すことで初期摩擦係
数を算出した。なお、測定に用いた磁気ヘッドは、IB
M3370タイプのインライン型磁気ヘッドで、ヘッド
荷重は6.5gf、ヘッドスライダー材質はAl2 3
−TiC製のものである。
FIG. 5 shows the magnetic recording / reproducing apparatus shown in FIG. 4 equipped with the magnetic recording medium MM of the embodiment of the present invention and the magnetic recording medium MM 'of the comparative example, which is installed in a thermo-hygrostat. The temperature is constant at 50 ° C and the relative humidity is 10 to 90%.
R. It shows the initial coefficient of friction when changed to H. In this test, after the inside of the constant temperature and humidity chamber where the magnetic recording / reproducing device is installed reaches a predetermined humidity, the CSS operation (takeoff and landing of the head slider on the magnetic recording medium) is performed in the pattern shown in FIG. Based on the slider levitation curve 20 (change in friction force observed during head slider levitation with respect to disk rotation time, see FIG. 7) obtained at that time, the value of the initial friction force 21 observed at the start of disk rotation is determined. The initial friction coefficient was calculated by dividing by the head load described later. The magnetic head used for the measurement was IB
M3370 type in-line type magnetic head, head load 6.5gf, head slider material Al 2 O 3
-Made of TiC.

【0035】その結果、磁気記録・再生装置に装備され
た光源15による光励起を行わない場合、実施例の磁気
記録媒体MMおよび比較例の磁気記録媒体MM´はほぼ
同じ初期摩擦係数を示し、特に80%R.Hを越える湿
度環境下では初期摩擦係数が急激に増大し、著しいステ
ィクションが磁気ヘッドスライダー/磁気記録媒体間で
発生していることが分かる。これに対して、光源15よ
り光を照射すると、実施例の磁気記録媒体MMでは特に
高湿度環境下(≧70%R.H)で大幅に初期摩擦係数
が低減し、本発明の効果が実証されている。
As a result, the magnetic recording medium MM of the example and the magnetic recording medium MM 'of the comparative example show almost the same initial friction coefficient when the optical excitation by the light source 15 equipped in the magnetic recording / reproducing apparatus is not carried out. 80% R.I. It can be seen that in a humidity environment exceeding H, the initial friction coefficient sharply increases, and remarkable stiction occurs between the magnetic head slider and the magnetic recording medium. On the other hand, when the light is emitted from the light source 15, the initial friction coefficient is significantly reduced in the magnetic recording medium MM of the embodiment, especially in a high humidity environment (≧ 70% RH), and the effect of the present invention is proved. Has been done.

【0036】これは、図8に示すように、実施例に記載
の磁気記録媒体MMの表面に対し、斜め方向から光を照
射することで、光触媒機能を有する磁気記録媒体MM上
のTiO2 微粒子4の光照射部22(価電子帯)には電
子、非照射部23(伝導帯)には正孔が生成する。伝導
帯に生成された電子は還元力が高く磁気記録媒体MM上
に吸着した水分(H2 O→H+ +OH- )のH+ を還元
し水素H2 に、価電子帯中に生成された正孔は酸化力が
高くOH- を酸化しH2 2 の生成を経て酸素O2 を生
成し、結果的に吸着水分が分解されることとなる。その
結果、特に水分が凝集し易く、かつまたその水分による
メニスカス効果(磁気ヘッドスライダー/磁気記録媒体
両者を引きつける効果)が発生し易い磁気ヘッドスライ
ダー/磁気記録媒体間の真実接触部(この場合は、磁気
ヘッドスライダー/TiO2 微粒子間)では、メニスカ
ス効果を発現する吸着水分自体の存在が少なくなるた
め、大幅にスティクションが緩和されたと考えられる。
As shown in FIG. 8, the TiO 2 fine particles on the magnetic recording medium MM having a photocatalytic function are obtained by irradiating the surface of the magnetic recording medium MM described in the example with light from an oblique direction. 4, electrons are generated in the light irradiation part 22 (valence band) and holes are generated in the non-irradiation part 23 (conduction band). Moisture electrons generated in the conduction band is adsorbed on reducing power higher magnetic recording medium on MM (H 2 O → H + + OH -) in hydrogen H 2 and reduction of H + of, generated during the valence band The holes have a high oxidizing power and oxidize OH to generate oxygen O 2 through the generation of H 2 O 2 , and as a result, the adsorbed moisture is decomposed. As a result, the true contact portion between the magnetic head slider and the magnetic recording medium (in this case, the moisture tends to agglomerate and the meniscus effect (effect of attracting both the magnetic head slider and the magnetic recording medium) due to the moisture is likely to occur. , Magnetic head slider / TiO 2 fine particles), the amount of adsorbed water itself that exhibits the meniscus effect is reduced, and it is considered that the stiction is significantly reduced.

【0037】なお、テクスチャー機能と光触媒機能を有
する第1の材料の組み合わせとしては、実施例でかかげ
た以外にもSnO2 、ZnS、ZnO、WO3 、SrT
iO3 、SiC、CdS、Fe2 3 、GaP、CdS
e等を用いることができ、また第1の材料を保持する保
持層(第2の材料)に対しても、従来技術において提案
されている材料(SiO2 、ZrO2 、Al2 3 、Y
2 3 、In2 3 、SnO3 、Ta2 5 、MgO、
Cr2 3 、La2 3 、SiC、WC、TiC、C3
4 、S3 4 、BN、TiN等の酸化物、炭化物、窒
化物セラミックス等およびそれらの組み合わせ)の使用
を排除するものではない。さらに、保護層の形成方法に
関しても制約はなく、本実施例で用いたスパッタリング
およびディッピング法を併用する以外にも例えばゾルー
ゲル法、CVD、蒸着法等のウェット、ドライプロセス
およびそれらを組み合わせた形での成膜が可能である。
As a combination of the first material having a texture function and a photocatalytic function, SnO 2 , ZnS, ZnO, WO 3 , SrT is used in addition to the combination of the materials described in the examples.
iO 3 , SiC, CdS, Fe 2 O 3 , GaP, CdS
e or the like can be used, and also for the holding layer (second material) holding the first material, the materials (SiO 2 , ZrO 2 , Al 2 O 3 , Y) proposed in the prior art are used.
2 O 3 , In 2 O 3 , SnO 3 , Ta 2 O 5 , MgO,
Cr 2 O 3 , La 2 O 3 , SiC, WC, TiC, C 3
The use of oxides such as N 4 , S 3 N 4 , BN and TiN, carbides, nitride ceramics and the like and combinations thereof is not excluded. Further, there is no limitation on the method of forming the protective layer, and in addition to the combined use of the sputtering and dipping methods used in this example, for example, a wet or dry process such as a sol-gel method, a CVD method, an evaporation method, or a combination thereof. It is possible to form a film.

【0038】また、本実施例における磁気記録媒体MM
上には潤滑層を形成していないが、パーフルオロポリエ
ーテル(PFPE)を始めとし、従来技術において提案
されている各潤滑剤の適用が可能である。
Further, the magnetic recording medium MM in the present embodiment.
Although a lubricating layer is not formed on the upper part, it is possible to apply each of the lubricants proposed in the prior art including perfluoropolyether (PFPE).

【0039】本実施例では、室温において磁性層3の上
に保護層6を積層しているが、より耐摺動性および磁性
層の耐腐食性を向上させるために、その両者の間に中間
層を設けてもよい。さらに、本実施例では適用していな
いが、下地層、磁性層、保護層の成膜プロセスにおいて
基板加熱あるいは、基板にバイアス電圧などの成膜予備
プロセスを付加することも可能である。
In this embodiment, the protective layer 6 is laminated on the magnetic layer 3 at room temperature, but in order to further improve the sliding resistance and the corrosion resistance of the magnetic layer, an intermediate layer between them is used. Layers may be provided. Further, although not applied in the present embodiment, it is possible to add a substrate heating process or a film forming preliminary process such as a bias voltage to the substrate in the film forming process of the underlayer, the magnetic layer and the protective layer.

【0040】本実施例では、非磁性基板としてガラス基
板1を用いているが、例えばAl合金基板、セラミック
ス基板、プラスチック基板、カーボン基板等でもよく、
その基板材質、サイズ、厚さなどの基板仕様に関係なく
本発明の適用が可能である。
Although the glass substrate 1 is used as the non-magnetic substrate in this embodiment, it may be an Al alloy substrate, a ceramics substrate, a plastic substrate, a carbon substrate, or the like.
The present invention can be applied regardless of the substrate specifications such as substrate material, size, and thickness.

【0041】本実施例では磁性層3にCoNiCrを使
用しているが、従来技術として既に開示されている磁性
層、例えば、CoCrTa、CoCrPt、CoPtN
i等のCo系磁性材料、或いはFe系磁性材料等を使用
してもよい。
Although CoNiCr is used for the magnetic layer 3 in the present embodiment, the magnetic layers already disclosed in the prior art, for example, CoCrTa, CoCrPt, CoPtN.
A Co-based magnetic material such as i or Fe-based magnetic material may be used.

【0042】本実施例では磁気記録・再生装置に具備さ
れた光源15を、磁気記録媒体MMの表面に対し斜め方
向(磁気記録媒体MMに面に対し10°)から照射して
いるが、磁気記録媒体MMの表面に創成される表面粗
さ、磁気ヘッドスライダー表面粗さ、そしてスティクシ
ョンの軽減の度合いにより、この照射角度を0〜90°
の間で自由に設定可能である。また、本実施例では、光
源15を、直接、磁気記録・再生装置内部に具備してい
るが、例えば光源本体を別装置とし、そこからの光を光
ファイバーにより磁気記録・再生装置に導入するような
方法をとっても、本発明と同様の効果が得られる。
In the present embodiment, the light source 15 provided in the magnetic recording / reproducing apparatus irradiates the surface of the magnetic recording medium MM from an oblique direction (10 ° to the surface of the magnetic recording medium MM). Depending on the surface roughness created on the surface of the recording medium MM, the magnetic head slider surface roughness, and the degree of stiction reduction, this irradiation angle is set to 0 to 90 °.
It can be freely set between. Further, in this embodiment, the light source 15 is directly provided inside the magnetic recording / reproducing apparatus. However, for example, the light source main body is provided as a separate device, and the light from the light source main body is introduced into the magnetic recording / reproducing apparatus by an optical fiber. The same effect as that of the present invention can be obtained even if the above method is adopted.

【0043】また本発明において作製された磁気記録媒
体は、完全浮上型磁気ヘッドによる記録方式への適用に
限らず、疑似接触記録方式(Quasi-Contact Recording
)あるいは、接触記録方式(Contact Recording )に
用いることも可能である。
Further, the magnetic recording medium manufactured in the present invention is not limited to the application to the recording system by the complete flying type magnetic head, but is also a pseudo contact recording system (Quasi-Contact Recording).
) Alternatively, it can be used for a contact recording method.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、保護層
自身に吸着水分分解触媒機能とテクスチャー機能両者を
持たせることで、広範囲にわたる湿度条件下において優
れたスティクション抑制機能を有しつつ、かつ磁気ヘッ
ドスライダーの低浮上化が容易な磁気記録媒体を得るこ
とが可能となった。
As is clear from the above description, the protective layer itself has both the adsorption moisture decomposition catalyst function and the texture function, thereby having an excellent stiction suppressing function under a wide range of humidity conditions. Moreover, it is possible to obtain a magnetic recording medium in which the flying height of the magnetic head slider can be easily reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例による磁気記録媒体の層構造
を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a layer structure of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention.

【図2】比較例の磁気記録媒体の層構造を示す断面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a layer structure of a magnetic recording medium of a comparative example.

【図3】本発明による磁気記録・再生装置の概略を示す
内部透視斜視図である。
FIG. 3 is an internal perspective view showing an outline of a magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention.

【図4】本発明による磁気記録・再生装置に摩擦力測定
用の歪ゲージセンサーおよび摩擦力モニター装置を装備
した内部透視斜視図およびブロック図である。
4A and 4B are an internal perspective view and a block diagram in which a magnetic recording / reproducing apparatus according to the present invention is equipped with a strain gauge sensor for measuring a frictional force and a frictional force monitoring device.

【図5】実施例および比較例の磁気記録媒体に対する相
対湿度と初期摩擦係数の関係を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between relative humidity and initial friction coefficient for magnetic recording media of Examples and Comparative Examples.

【図6】CSS試験におけるCSSパターンを示した図
である。
FIG. 6 is a diagram showing a CSS pattern in a CSS test.

【図7】磁気ヘッドスライダー浮上曲線を示した図であ
る。
FIG. 7 is a diagram showing a flying curve of a magnetic head slider.

【図8】本発明における水分分解触媒機能のメカニズム
の説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram of a mechanism of a water decomposition catalyst function in the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 下地層 3 磁性層 4 TiO2 微粒子 5 微粒子保持層 6 保護層 7 ガラス基板 8 テクスチャー層 9 下地層 10 磁性層 11 保護層 12 スピンドル部 13 磁気ヘッド 14 磁気ヘッド保持部 15 光源 16 制御回路部 17 歪ゲージセンサー 18 ストレインアンプ 19 パーソナルコンピュータ 20 スライダー浮上曲線 21 初期摩擦力 22 光照射部(価電子帯) 23 非照射部(伝導帯) 24 照射光 MM 磁気記録媒体1 Glass Substrate 2 Underlayer 3 Magnetic Layer 4 TiO 2 Fine Particles 5 Fine Particle Retaining Layer 6 Protective Layer 7 Glass Substrate 8 Texture Layer 9 Underlayer 10 Magnetic Layer 11 Protective Layer 12 Spindle Part 13 Magnetic Head 14 Magnetic Head Holding Part 15 Light Source 16 Control Circuit part 17 Strain gauge sensor 18 Strain amplifier 19 Personal computer 20 Slider levitation curve 21 Initial friction force 22 Light irradiation part (valence band) 23 Non-irradiation part (conduction band) 24 Irradiation light MM Magnetic recording medium

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性基板上に、少なくとも磁性層を設
け、該磁性層の上面に直接もしくは間接に保護層を設け
た磁気記録媒体において、前記保護層が水分分解触媒機
能とテクスチャー機能とを有する材料を含むことを特徴
とする磁気記録媒体。
1. In a magnetic recording medium in which at least a magnetic layer is provided on a non-magnetic substrate, and a protective layer is provided directly or indirectly on the upper surface of the magnetic layer, the protective layer has a water decomposition catalyst function and a texture function. A magnetic recording medium comprising a material having:
【請求項2】 前記保護層の主成分として、光触媒反応
を誘発でき、かつ磁気ヘッドスライダーと磁気記録媒体
との間のスティクションを軽減できるテクスチャー機能
を有する第1の材料と、該第1の材料を前記磁性層の上
面に保持するための第2の材料とを含む、請求項1記載
の磁気記録媒体。
2. A first material having, as a main component of the protective layer, a texture function capable of inducing a photocatalytic reaction and reducing stiction between a magnetic head slider and a magnetic recording medium, and the first material. The magnetic recording medium according to claim 1, further comprising a second material for holding a material on the upper surface of the magnetic layer.
【請求項3】 請求項1又は2記載の磁気記録媒体を搭
載し、かつ該磁気記録媒体の表面上の吸着水分を光触媒
反応により分解させるための光源を具備したことを特徴
とする磁気記録・再生装置。
3. A magnetic recording medium comprising the magnetic recording medium according to claim 1 or 2, and a light source for decomposing adsorbed moisture on the surface of the magnetic recording medium by a photocatalytic reaction. Playback device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010231858A (en) * 2009-03-27 2010-10-14 Hoya Corp Magnetic disk

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