JPH0821744A - 回転位置検出器 - Google Patents
回転位置検出器Info
- Publication number
- JPH0821744A JPH0821744A JP15696094A JP15696094A JPH0821744A JP H0821744 A JPH0821744 A JP H0821744A JP 15696094 A JP15696094 A JP 15696094A JP 15696094 A JP15696094 A JP 15696094A JP H0821744 A JPH0821744 A JP H0821744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rectifying
- coil pattern
- smoothing circuit
- output signal
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確な２相信号が出力でき、かつ容易に取付
けができる回転位置検出器の提供を目的とする。 【構成】 基板上に形成されたコイルパターンに交流電
圧を印加し、ギアの回転位置に応じてこの交流電圧によ
って流れる電流値が変化することを利用して位置検出信
号を出力する。また、ギアのピッチλに対して１／２周
期ずらした２つのコイルパターンの出力信号の平均値を
検出し、この平均値に応じて自動的にコイルパターンに
印加する交流電圧の大きさを可変する。 【効果】 温度変化等に対して特性変化が少なく、また
素子ごとの特性ばらつきが少ないので正確な２相信号が
出力できる。また、ギャップの大小に因らず一定の２相
信号が出力できるので、ギャップの調整作業が簡単にな
る。
けができる回転位置検出器の提供を目的とする。 【構成】 基板上に形成されたコイルパターンに交流電
圧を印加し、ギアの回転位置に応じてこの交流電圧によ
って流れる電流値が変化することを利用して位置検出信
号を出力する。また、ギアのピッチλに対して１／２周
期ずらした２つのコイルパターンの出力信号の平均値を
検出し、この平均値に応じて自動的にコイルパターンに
印加する交流電圧の大きさを可変する。 【効果】 温度変化等に対して特性変化が少なく、また
素子ごとの特性ばらつきが少ないので正確な２相信号が
出力できる。また、ギャップの大小に因らず一定の２相
信号が出力できるので、ギャップの調整作業が簡単にな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械の主軸の回転
位置検出や回転速度検出等に使用され、特に回転速度に
比例した周波数の２相信号を出力する手段を有する回転
位置検出器に関するものである。
位置検出や回転速度検出等に使用され、特に回転速度に
比例した周波数の２相信号を出力する手段を有する回転
位置検出器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５に従来の回転位置検出器の内部回路
図の一例を示す。回転体であるギア１に近接して磁気抵
抗素子２ａ、２ｂおよび磁石３が配置されている。ギア
１の回転にともなって磁気抵抗素子２ａ、２ｂに鎖交す
る磁束が変化することを利用して磁気抵抗素子２ａ、２
ｂから２相信号が出力される。このような２相信号を出
力する位置検出器において２相信号は振幅を等しく、位
相差を９０度に設定することが一般的であり、また直流
オフセット電圧は０に設定することが多い。
図の一例を示す。回転体であるギア１に近接して磁気抵
抗素子２ａ、２ｂおよび磁石３が配置されている。ギア
１の回転にともなって磁気抵抗素子２ａ、２ｂに鎖交す
る磁束が変化することを利用して磁気抵抗素子２ａ、２
ｂから２相信号が出力される。このような２相信号を出
力する位置検出器において２相信号は振幅を等しく、位
相差を９０度に設定することが一般的であり、また直流
オフセット電圧は０に設定することが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来の回転位置
検出器においては、磁気抵抗素子２ａ、２ｂは一般的に
半導体を利用したものであることが多く、温度の変化な
どによって特性が変化するため直流オフセット電圧が変
動したり、２相信号の振幅が変化して等しくなくなると
いう現象が発生する。その結果、位置検出を正確に行な
えないという課題があった。
検出器においては、磁気抵抗素子２ａ、２ｂは一般的に
半導体を利用したものであることが多く、温度の変化な
どによって特性が変化するため直流オフセット電圧が変
動したり、２相信号の振幅が変化して等しくなくなると
いう現象が発生する。その結果、位置検出を正確に行な
えないという課題があった。
【０００４】また、前述の従来の回転位置検出器におい
ては磁気抵抗素子２ａ、２ｂとギア１との間のギャップ
によって出力される２相信号の振幅が変化するため、所
望の２相信号出力を得るためにはこのギャップを正確に
調整する必要があり、回転位置検出器の取付けが容易に
できないという課題があった。本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、本発明は正確な２相信
号が出力でき、かつ容易に取付けができる回転位置検出
器の提供を目的とする。
ては磁気抵抗素子２ａ、２ｂとギア１との間のギャップ
によって出力される２相信号の振幅が変化するため、所
望の２相信号出力を得るためにはこのギャップを正確に
調整する必要があり、回転位置検出器の取付けが容易に
できないという課題があった。本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、本発明は正確な２相信
号が出力でき、かつ容易に取付けができる回転位置検出
器の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、回転速度に比
例した周波数の２相信号を出力する手段を有する回転位
置検出器において、円周上に一定のピッチλの凹凸を備
えたギアと、前記ギアの円周に相対して配置された基板
と、前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔で導電体に
より形成された第１のコイルパターンと、前記基板上に
前記ピッチλに等しい間隔で導電体により形成され、前
記第１のコイルパターンとλ／２だけずらして配置され
た第２のコイルパターンと、前記基板上に前記ピッチλ
に等しい間隔で導電体により形成され、前記第１のコイ
ルパターンとλ／４だけずらして配置された第３のコイ
ルパターンと、前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔
で導電体により形成され、前記第３のコイルパターンと
λ／２だけずらして配置された第４のコイルパターン
と、前記第１、第２、第３、第４のコイルパターンに交
流電圧を印加する発振回路と、前記第１のコイルパター
ンに流れる電流の振幅値を検出する第１の整流平滑回路
と、前記第２のコイルパターンに流れる電流の振幅値を
検出する第２の整流平滑回路と、前記第３のコイルパタ
ーンに流れる電流の振幅値を検出する第３の整流平滑回
路と、前記第４のコイルパターンに流れる電流の振幅値
を検出する第４の整流平滑回路と、前記第１の整流平滑
回路の出力信号と第２の整流平滑回路の出力信号とを差
動増幅して第１の位置検出信号を出力する第１の増幅器
と、前記第３の整流平滑回路の出力信号と第４の整流平
滑回路の出力信号とを差動増幅して第２の位置検出信号
を出力信号する第２の増幅器と、前記第１の整流平滑回
路の出力信号と第２の整流平滑回路の出力信号との平均
値または前記第３の整流平滑回路の出力信号と第４の整
流平滑回路の出力信号との平均値を出力する第３の増幅
器と、前記第３の増幅器の出力信号に応じて前記発振回
路の出力信号の大きさを可変する手段と、を備えたこと
を特徴とする。
例した周波数の２相信号を出力する手段を有する回転位
置検出器において、円周上に一定のピッチλの凹凸を備
えたギアと、前記ギアの円周に相対して配置された基板
と、前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔で導電体に
より形成された第１のコイルパターンと、前記基板上に
前記ピッチλに等しい間隔で導電体により形成され、前
記第１のコイルパターンとλ／２だけずらして配置され
た第２のコイルパターンと、前記基板上に前記ピッチλ
に等しい間隔で導電体により形成され、前記第１のコイ
ルパターンとλ／４だけずらして配置された第３のコイ
ルパターンと、前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔
で導電体により形成され、前記第３のコイルパターンと
λ／２だけずらして配置された第４のコイルパターン
と、前記第１、第２、第３、第４のコイルパターンに交
流電圧を印加する発振回路と、前記第１のコイルパター
ンに流れる電流の振幅値を検出する第１の整流平滑回路
と、前記第２のコイルパターンに流れる電流の振幅値を
検出する第２の整流平滑回路と、前記第３のコイルパタ
ーンに流れる電流の振幅値を検出する第３の整流平滑回
路と、前記第４のコイルパターンに流れる電流の振幅値
を検出する第４の整流平滑回路と、前記第１の整流平滑
回路の出力信号と第２の整流平滑回路の出力信号とを差
動増幅して第１の位置検出信号を出力する第１の増幅器
と、前記第３の整流平滑回路の出力信号と第４の整流平
滑回路の出力信号とを差動増幅して第２の位置検出信号
を出力信号する第２の増幅器と、前記第１の整流平滑回
路の出力信号と第２の整流平滑回路の出力信号との平均
値または前記第３の整流平滑回路の出力信号と第４の整
流平滑回路の出力信号との平均値を出力する第３の増幅
器と、前記第３の増幅器の出力信号に応じて前記発振回
路の出力信号の大きさを可変する手段と、を備えたこと
を特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明の回転位置検出器においては、ギアの円
周に相対して配置された基板上に形成されたコイルパタ
ーンに交流電圧を印加し、ギアの回転位置に応じてこの
交流電圧によって流れる電流値が変化することを利用し
て位置検出信号を出力している。また、ギアのピッチλ
に対して１／２周期ずらした２つのコイルパターンの出
力信号を平均することによって、ギアとコイルパターン
との間のギャップを検出している。この検出されたギャ
ップに応じて自動的にコイルパターンに印加する交流電
圧の大きさを可変することによって、ギャップの大小に
因らず常に一定の２相信号が出力できる。
周に相対して配置された基板上に形成されたコイルパタ
ーンに交流電圧を印加し、ギアの回転位置に応じてこの
交流電圧によって流れる電流値が変化することを利用し
て位置検出信号を出力している。また、ギアのピッチλ
に対して１／２周期ずらした２つのコイルパターンの出
力信号を平均することによって、ギアとコイルパターン
との間のギャップを検出している。この検出されたギャ
ップに応じて自動的にコイルパターンに印加する交流電
圧の大きさを可変することによって、ギャップの大小に
因らず常に一定の２相信号が出力できる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明に係る回転位置検出器の一実施
例のシステム構成を示す。５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄは基
板１０の上に印刷された銅箔によって形成されたコイル
パターンであり、それぞれギア１の凹凸に相対するよう
に互いに位置をずらして印刷されている。このコイルパ
ターン５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの位置関係を図２に示
す。ギア１の円周に設けられた凹凸のピッチをλとする
とコイルパターン５ａとコイルパターン５ｂはλ／２、
コイルパターン５ｃとコイルパターン５ｄはλ／２、コ
イルパターン５ａとコイルパターン５ｃはλ／４だけそ
れぞれずらしてある。
例のシステム構成を示す。５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄは基
板１０の上に印刷された銅箔によって形成されたコイル
パターンであり、それぞれギア１の凹凸に相対するよう
に互いに位置をずらして印刷されている。このコイルパ
ターン５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの位置関係を図２に示
す。ギア１の円周に設けられた凹凸のピッチをλとする
とコイルパターン５ａとコイルパターン５ｂはλ／２、
コイルパターン５ｃとコイルパターン５ｄはλ／２、コ
イルパターン５ａとコイルパターン５ｃはλ／４だけそ
れぞれずらしてある。
【０００８】図３はコイルパターン５ａ、５ｂ、５ｃ、
５ｄおよび基板１０とギア１との位置関係を示す斜視図
である。ただし、実際の取付け状態では基板１０とギア
１とは十分に近接して配置されるが、この図３では説明
のため離して示してある。この図の状態においてはコイ
ルパターン５ａはちょうどギア１の凸部に向かい合う位
置にあり、コイルパターン５ｂは逆に凹部に向かい合っ
ている。この状態で、コイルパターン５ａおよびコイル
パターン５ｂを高周波電圧で励磁するとコイルパターン
５ａによって発生する磁束によってギア１の凸部には渦
電流が流れる。またコイルパターン５ｂによって発生す
る磁束に対してはギア１の凹部が離れていることから渦
電流は発生しない。この結果、コイルパターン５ａには
電流が流れ、コイルパターン５ｂには電流が流れないの
で、この電流を変換することによってギア１の回転位置
が検出される。
５ｄおよび基板１０とギア１との位置関係を示す斜視図
である。ただし、実際の取付け状態では基板１０とギア
１とは十分に近接して配置されるが、この図３では説明
のため離して示してある。この図の状態においてはコイ
ルパターン５ａはちょうどギア１の凸部に向かい合う位
置にあり、コイルパターン５ｂは逆に凹部に向かい合っ
ている。この状態で、コイルパターン５ａおよびコイル
パターン５ｂを高周波電圧で励磁するとコイルパターン
５ａによって発生する磁束によってギア１の凸部には渦
電流が流れる。またコイルパターン５ｂによって発生す
る磁束に対してはギア１の凹部が離れていることから渦
電流は発生しない。この結果、コイルパターン５ａには
電流が流れ、コイルパターン５ｂには電流が流れないの
で、この電流を変換することによってギア１の回転位置
が検出される。
【０００９】図１において、発振器６はコイルパターン
５ａ、５ｂを励磁する１０ＭＨｚ程度の交流電圧を発生
する。なお、その出力波形は方形波でも正弦波でも構わ
ない。この交流電圧によってコイルパターン５ａ、５ｂ
には交流電流が流れるので整流平滑回路８ａ、８ｂによ
って、この交流電流の振幅を検出している。図４にギア
１が回転している場合のコイルパターン５ａに流れる交
流電流波形、整流平滑回路８ａ、８ｂの出力電圧波形を
示す。この図のようにギア１の回転にともなってコイル
パターン５ａに流れる交流電流は、その振幅が変化し、
整流平滑回路８ａ、８ｂの出力信号にはギア１の回転に
応じた脈流電圧が現われる。ここでコイルパターン５ａ
とコイルパターン５ｂは前記のようにギア１の凹凸に対
して１／２周期だけずらして配置されることから、整流
平滑回路８ａと８ｂの出力信号は位相が１／２周期ずれ
た脈流となる。図１のオペアンプ９ａは整流平滑回路８
ａ、８ｂの出力電圧を差動増幅して交流の位置検出信号
つまりＡ相出力信号を得ている。コイルパターン５ｃ、
５ｄはコイルパターン５ａ、５ｂに対してλ／４だけず
らして配置されていることから前記と同様な回路によっ
て得られる位置検出信号つまりＢ相出力信号はＡ相出力
信号に対してちょうど１／４周期だけ位相が異なる。
５ａ、５ｂを励磁する１０ＭＨｚ程度の交流電圧を発生
する。なお、その出力波形は方形波でも正弦波でも構わ
ない。この交流電圧によってコイルパターン５ａ、５ｂ
には交流電流が流れるので整流平滑回路８ａ、８ｂによ
って、この交流電流の振幅を検出している。図４にギア
１が回転している場合のコイルパターン５ａに流れる交
流電流波形、整流平滑回路８ａ、８ｂの出力電圧波形を
示す。この図のようにギア１の回転にともなってコイル
パターン５ａに流れる交流電流は、その振幅が変化し、
整流平滑回路８ａ、８ｂの出力信号にはギア１の回転に
応じた脈流電圧が現われる。ここでコイルパターン５ａ
とコイルパターン５ｂは前記のようにギア１の凹凸に対
して１／２周期だけずらして配置されることから、整流
平滑回路８ａと８ｂの出力信号は位相が１／２周期ずれ
た脈流となる。図１のオペアンプ９ａは整流平滑回路８
ａ、８ｂの出力電圧を差動増幅して交流の位置検出信号
つまりＡ相出力信号を得ている。コイルパターン５ｃ、
５ｄはコイルパターン５ａ、５ｂに対してλ／４だけず
らして配置されていることから前記と同様な回路によっ
て得られる位置検出信号つまりＢ相出力信号はＡ相出力
信号に対してちょうど１／４周期だけ位相が異なる。
【００１０】図１のオペアンプ９ｂは整流平滑回路８ａ
と８ｂの出力信号の平均値とツェナーダイオード１１の
発生する基準電圧との差を積分する積分器である。この
積分器は本発明の必須の構成ではないが、可変ゲインコ
ントロールを行なうときは、一般的に積分器が設けられ
ているものである。この積分器の出力信号は可変ゲイン
アンプ７に入力され、整流平滑回路８ａと８ｂの出力信
号の平均値が基準電圧に対して低い場合には出力電圧を
大きくするように動作する。もし、ギア１とコイルパタ
ーン５ａ、５ｂとのギャップが大きい場合にはコイルパ
ターン５ａに流れる電流、コイルパターン５ｂに流れる
電流がどちらも小さくなるので、整流平滑回路８ａと８
ｂの出力信号の平均値が小さくなる。そこでギャップが
小さい場合には励磁する交流電圧を大きくするよう動作
し、結果として常に同じ大きさの出力信号を得ることが
できる。
と８ｂの出力信号の平均値とツェナーダイオード１１の
発生する基準電圧との差を積分する積分器である。この
積分器は本発明の必須の構成ではないが、可変ゲインコ
ントロールを行なうときは、一般的に積分器が設けられ
ているものである。この積分器の出力信号は可変ゲイン
アンプ７に入力され、整流平滑回路８ａと８ｂの出力信
号の平均値が基準電圧に対して低い場合には出力電圧を
大きくするように動作する。もし、ギア１とコイルパタ
ーン５ａ、５ｂとのギャップが大きい場合にはコイルパ
ターン５ａに流れる電流、コイルパターン５ｂに流れる
電流がどちらも小さくなるので、整流平滑回路８ａと８
ｂの出力信号の平均値が小さくなる。そこでギャップが
小さい場合には励磁する交流電圧を大きくするよう動作
し、結果として常に同じ大きさの出力信号を得ることが
できる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、基板上に印刷等によって形成されたコイルパターン
に交流電圧を印加し、ギアの回転位置に応じてこのコイ
ルパターンに流れる電流値が変化することを利用して位
置検出信号を出力しているので、従来の半導体を利用し
た回転位置検出器に比べて温度変化等に対して特性変化
が少なく、また素子ごとの特性ばらつきが少ないので正
確な２相信号が出力できる。また、ギアのピッチλに対
して１／２周期ずらした２つのコイルパターンの出力信
号を平均することによって、ギアとコイルパターンとの
間のギャップを検出し、この検出されたギャップに応じ
て自動的にコイルパターンに印加する交流電圧の大きさ
を可変することによって、ギャップの大小に因らず常に
一定の２相信号が出力できる。その結果、ギャップの調
整作業が簡単になるので回転位置検出器の取付けが容易
にできる。
は、基板上に印刷等によって形成されたコイルパターン
に交流電圧を印加し、ギアの回転位置に応じてこのコイ
ルパターンに流れる電流値が変化することを利用して位
置検出信号を出力しているので、従来の半導体を利用し
た回転位置検出器に比べて温度変化等に対して特性変化
が少なく、また素子ごとの特性ばらつきが少ないので正
確な２相信号が出力できる。また、ギアのピッチλに対
して１／２周期ずらした２つのコイルパターンの出力信
号を平均することによって、ギアとコイルパターンとの
間のギャップを検出し、この検出されたギャップに応じ
て自動的にコイルパターンに印加する交流電圧の大きさ
を可変することによって、ギャップの大小に因らず常に
一定の２相信号が出力できる。その結果、ギャップの調
整作業が簡単になるので回転位置検出器の取付けが容易
にできる。
【００１２】
【図１】本発明に係る回転位置検出器の一実施例を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】本発明に係る回転位置検出器のコイルパターン
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの位置関係を示す図である。
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄの位置関係を示す図である。
【図３】コイルパターン５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄおよび
基板１０とギア１との位置関係を示す斜視図である。
基板１０とギア１との位置関係を示す斜視図である。
【図４】コイルパターン５ａに流れる交流電流波形、整
流平滑回路８ａ、８ｂの出力電圧波形を示す図である。
流平滑回路８ａ、８ｂの出力電圧波形を示す図である。
【図５】従来の回転位置検出器の内部回路の一例を示す
図である。
図である。
１ ギア ２ａ，２ｂ 磁気抵抗素子 ３ 磁石 ４ａ，４ｂ オペアンプ ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ コイルパターン ６ 発振器 ７ 可変ゲインアンプ ８ａ，８ｂ 整流平滑回路 ９ａ，９ｂ オペアンプ １０ 基板 １１ ツェナーダイオード
Claims (1)
- 【請求項１】 回転速度に比例した周波数の２相信号を
出力する手段を有する回転位置検出器において、 円周上に一定のピッチλの凹凸を備えたギアと、 前記ギアの円周に相対して配置された基板と、 前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔で導電体により
形成された第１のコイルパターンと、 前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔で導電体により
形成され、前記第１のコイルパターンとλ／２だけずら
して配置された第２のコイルパターンと、 前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔で導電体により
形成され、前記第１のコイルパターンとλ／４だけずら
して配置された第３のコイルパターンと、 前記基板上に前記ピッチλに等しい間隔で導電体により
形成され、前記第３のコイルパターンとλ／２だけずら
して配置された第４のコイルパターンと、 前記第１、第２、第３、第４のコイルパターンに交流電
圧を印加する発振回路と、 前記第１のコイルパターンに流れる電流の振幅値を検出
する第１の整流平滑回路と、 前記第２のコイルパターンに流れる電流の振幅値を検出
する第２の整流平滑回路と、 前記第３のコイルパターンに流れる電流の振幅値を検出
する第３の整流平滑回路と、 前記第４のコイルパターンに流れる電流の振幅値を検出
する第４の整流平滑回路と、 前記第１の整流平滑回路の出力信号と第２の整流平滑回
路の出力信号とを差動増幅して第１の位置検出信号を出
力する第１の増幅器と、 前記第３の整流平滑回路の出力信号と第４の整流平滑回
路の出力信号とを差動増幅して第２の位置検出信号を出
力する第２の増幅器と、 前記第１の整流平滑回路の出力信号と第２の整流平滑回
路の出力信号との平均値または前記第３の整流平滑回路
の出力信号と第４の整流平滑回路の出力信号との平均値
を出力する第３の増幅器と、 前記第３の増幅器の出力信号に応じて前記発振回路の出
力信号の大きさを可変する手段と、 を備えたことを特徴とする回転位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15696094A JPH0821744A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | 回転位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15696094A JPH0821744A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | 回転位置検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0821744A true JPH0821744A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15639085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15696094A Pending JPH0821744A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | 回転位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821744A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002513142A (ja) * | 1998-04-28 | 2002-05-08 | データ インダストリアル コーポレイション | フローセンサー |
| US7049924B2 (en) | 2004-06-30 | 2006-05-23 | Okuma Corporation | Electromagnetic induction type position sensor |
| JP2007127673A (ja) * | 2007-02-22 | 2007-05-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転数センサ |
| JP2013195327A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Okuma Corp | 位置検出器 |
-
1994
- 1994-07-08 JP JP15696094A patent/JPH0821744A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002513142A (ja) * | 1998-04-28 | 2002-05-08 | データ インダストリアル コーポレイション | フローセンサー |
| US7049924B2 (en) | 2004-06-30 | 2006-05-23 | Okuma Corporation | Electromagnetic induction type position sensor |
| DE102005030358B4 (de) * | 2004-06-30 | 2015-05-28 | Okuma Corporation | Mit elektromagnetischer Induktion arbeitender Positionssensor |
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