JPH08214528A - 可動コイル型リニアアクチュエータ - Google Patents

可動コイル型リニアアクチュエータ

Info

Publication number
JPH08214528A
JPH08214528A JP7039452A JP3945295A JPH08214528A JP H08214528 A JPH08214528 A JP H08214528A JP 7039452 A JP7039452 A JP 7039452A JP 3945295 A JP3945295 A JP 3945295A JP H08214528 A JPH08214528 A JP H08214528A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
linear guide
guide body
coil
movable coil
soft magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7039452A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3680182B2 (ja
Inventor
Takatoshi Oyama
貴俊 大山
Nobuyuki Shinpo
信之 眞保
Shigeo Saito
重男 斉藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP03945295A priority Critical patent/JP3680182B2/ja
Publication of JPH08214528A publication Critical patent/JPH08214528A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3680182B2 publication Critical patent/JP3680182B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造を簡略化し、部品点数の低減、小型化、
並びに原価低減を図った可動コイル型リニアアクチュエ
ータを得る。 【構成】 同極対向された2個の永久磁石11A,11
B間に軟磁性体12を設けた構造を有する直線ガイド体
10と、該直線ガイド体10の外周面に対し直接摺動す
るボビン21に駆動コイル22を巻装してなる可動コイ
ル体20とを備え、該可動コイル体20が前記直線ガイ
ド体10の外周面を直接摺動することで直線移動する構
成としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、可動コイルへの通電に
より可動コイルを直線移動させることが可能な可動コイ
ル型リニアアクチュエータに係り、とくに磁気ヘッド等
の被駆動体の位置制御等に使用可能な可動コイル型リニ
アアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の装置としては、実開平3
−40876号のソレノイド装置が知られている。この
ソレノイド装置は、図8に示すように、断面コ字状の円
筒形状の磁性体よりなる外部ヨーク1内に、同極対向さ
れた2個の永久磁石2,4を内部ヨーク3を挟んで固定
配置し、さらにサブヨーク5及びこれと一体の軸8を前
記永久磁石4上に固着し、前記外部ヨーク1と内部ヨー
ク3との隙間に筒状非磁性体の移動部材7を配置しかつ
前記軸8にて移動自在にガイドされるようにし、移動部
材7の挿入先端にコイル9を固定したものである。
【0003】この場合、コイル9に通電することで、前
記軸8をガイド軸としてコイル9と一体の移動部材7が
直線的に移動する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の如き
従来装置は、永久磁石及び内部ヨークの他に、動作出力
を取り出すための移動部材を移動自在にガイドする軸に
ある程度の長さが必要となり、アクチュエータの全長を
短く設計することができない。また、アクチュエータの
端部にて出力をジョイントするために、アクチュエータ
を含むユニットとしても全長を短く設計することができ
ない。さらに、永久磁石及び内部ヨークの他に移動部材
をガイドする軸が必要不可欠であるため、部品点数も多
くなる嫌いがある。
【0005】本発明は、上記の点に鑑み、構造を簡略化
し、部品点数の低減、小型化、並びに原価低減を図った
可動コイル型リニアアクチュエータを提供することを目
的とする。
【0006】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施例において明らかにする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の可動コイル型リニアアクチュエータは、同
極対向された少なくとも2個の永久磁石間に軟磁性体を
設けた構造を有する直線ガイド体と、該直線ガイド体の
外周面に対し直接摺動するボビンに駆動コイルを巻装し
てなる可動コイル体とを備え、該可動コイル体が前記直
線ガイド体の外周面を直接摺動することで直線移動する
ように案内されることを特徴としている。
【0008】また、前記直線ガイド体は、前記永久磁石
及び前記軟磁性体の外周面を非磁性材で覆ったものであ
ってもよい。
【0009】さらに、前記永久磁石及び前記軟磁性体か
ら発生する磁界の前記直線移動方向に垂直な成分分布の
小さい部位に、外部軟磁性体ヨークを配置又は近接させ
てもよい。
【0010】また、前記可動コイル体の外周側に出力取
出し部材を設ける構成としてもよい。
【0011】また、前記可動コイル体は速度検出用コイ
ルをさらに備えるものであってもよい。
【0012】
【作用】本発明の可動コイル型リニアアクチュエータに
おいては、同極対向された少なくとも2個の永久磁石及
びそれらの間の軟磁性体で、可動コイル体が摺動する直
線ガイド体を構成でき、可動コイル体を直線移動自在に
案内するガイド軸等を別に設ける必要がなく、構造を簡
略化して部品点数の削減を図ることができる。また、前
記永久磁石及び軟磁性体の他にガイド軸を設けることが
不要であるため、全長を短縮して小型に構成でき、ひい
ては可動コイル型リニアアクチュエータを用いるユニッ
トの長さを短縮して小型化を図ることもできる。
【0013】また、前記直線ガイド体が、前記永久磁石
及び前記軟磁性体の外周部を非磁性材で覆ったものであ
る場合、非磁性材を適切に選択することで、非磁性材外
周面を直接摺動する可動コイル体を円滑に移動させるこ
とができる。例えば、非磁性材として摩擦の少ない材質
を選ぶことで可動コイル体の移動時の摩擦抵抗の低減を
図ることができ、また耐摩耗性の材質を選ぶことで長寿
命化を図ることができる。さらに、前記非磁性材を薄肉
パイプとすることで、永久磁石及び軟磁性体を同軸上に
組み立てることが容易となる。
【0014】さらに、前記永久磁石及び前記軟磁性体か
ら発生する磁界の前記直線移動方向に垂直な成分分布の
小さい部位に、外部軟磁性体ヨークを配置又は近接させ
た構成とした場合、可動コイル体の直線移動方向に垂直
な磁界成分を均一化し、推力のフラット性を向上させる
ことができる。すなわち、可動コイル体のストロークの
広い範囲にわたり推力を実質的に一定にでき、位置制御
の精度の向上及び信頼性の向上を図ることができる。
【0015】また、前記可動コイル体の外周側に出力取
出し部材を設ける構成とした場合、前記出力取出し部材
は前記直線ガイド体の軸方向の延長線上に突出すること
がないため、全長を短く、小型化できる。
【0016】また、前記可動コイル体が速度検出用コイ
ルを有する場合、該速度検出用コイルの誘起電圧を利用
して当該可動コイル体の移動速度や移動周期を検出でき
る。
【0017】
【実施例】以下、本発明に係る可動コイル型リニアアク
チュエータの実施例を図面に従って説明する。
【0018】図1及び図2は本発明に係る可動コイル型
リニアアクチュエータの第1実施例を示す。これらの図
において、可動コイル型リニアアクチュエータは、2個
の永久磁石11A,11B及びそれらに挟まれた軟磁性
体12で構成された直線ガイド体10と、該直線ガイド
体10に対し直接摺動するボビン21に駆動コイル22
を巻装してなる可動コイル体20と、該可動コイル体2
0の移動空間を残して前記直線ガイド体10の外側を囲
む外部ヨーク30と、外部ヨーク30の両端に固着され
かつ永久磁石11A,11Bの外側端面に当接、固着さ
れたサイドヨーク31とを備えている。
【0019】前記永久磁石11A,11Bは、例えば、
小型で強力な磁力を発生可能な希土類永久磁石であり、
鉄等の軟磁性体12を挟んで同極対向配置となってお
り、永久磁石11A,11B及び軟磁性体12共に同一
外径の円柱乃至円板形状である。従って、永久磁石11
A,11B及び軟磁性体12の外周面は同一で段差の無
いように揃っており、円柱形状の直線ガイド体10を構
成している。この場合、直線ガイド体10の軸方向(可
動コイル体20が直線移動する長手方向)と永久磁石1
1A,11Bの磁化方向とが一致している。なお、永久
磁石11A,11B及び軟磁性体12相互の固着一体化
は、接着剤等で行うことができる。
【0020】前記円柱形状の直線ガイド体10の外周面
上を摺動自在な可動コイル体20が有するボビン21
は、例えば、耐摩耗性に優れた絶縁樹脂製であり、直線
ガイド体10の外周面を環状に囲みかつ両端に鍔21a
を持つ断面がコ字状である。そして、ボビン21の内周
部(内周面)が直線ガイド体10の外周面をガイドとし
て直接摺動可能に配置されている。この結果、可動コイ
ル体20は前記直線ガイド体10により直線移動するよ
うに案内されることになる。なお、前記駆動コイル22
は前記直線ガイド体10を周回する向きでボビン21に
巻かれている。また、可動コイル体20の外周近傍、例
えばボビン21の両方の鍔21aの外側に、可動コイル
体20の動きを外部に出力するための出力取出し部材2
3が取り付けられている(固着乃至連結されている)。
この出力取出し部材23は可動コイル20の外周側、す
なわち側方に延在しており、これを介し可動コイル体2
0は磁気ヘッド等の被駆動系に連結される。
【0021】前記外部ヨーク30は鉄板等の軟磁性体で
円筒状に形成したもので、直線ガイド体10の周囲を可
動コイル体20の移動空間を隔てて囲むものであり、外
部ヨーク30の両端には同材質の円板状のサイドヨーク
31が固着、一体化されている。サイドヨーク31の内
面中央には永久磁石11A,11Bの同極対向している
磁極の反対側磁極が当接し、接着剤等で固着されてい
る。なお、被駆動系に連結された出力取出し部材23が
通過する部分、すなわち可動コイル体20の可動範囲に
おける出力取出し部材23の移動部分には切り割り32
が形成されている。なお、外部ヨーク30及びサイドヨ
ーク31は磁気回路のパーミアンス向上(磁気抵抗の低
減)と、磁気漏洩を防止するために設けられている。
【0022】以上の第1実施例の構成によって、2個の
永久磁石11A,11Bが同極(N極)対向で軟磁性体
12を挟んで配置されていることにより、軟磁性体12
の外周面と外部ヨーク30の内周面との間の円筒状空間
(可動コイル体20の移動空間)に半径方向の磁束が発
生し、すなわち、直線ガイド体10の軸方向(可動コイ
ル体20の移動方向)に垂直な磁界成分が生じる。従っ
て、駆動コイル22に電流を流すことにより、フレミン
グの左手の法則に基づく推力を可動コイル体20に発生
することができ、該可動コイル体20を直線ガイド体1
0に沿って直線移動させることができ、出力取出し部材
23を介し被駆動系を直線駆動可能である。
【0023】図3は第1実施例の場合における可動コイ
ル体20の軟磁性体12中間位置Pからの変位量X(m
m)と推力(gf)との関係を曲線(イ)で示す。この曲
線(イ)では変位量X=0で推力は24.20、変位量
X=±4で推力は22.20であって推力は変位量X=
0に対し8.3%低下しているが、変位量X=±3以内
の範囲(駆動コイル22が永久磁石11A,11Bにか
からない範囲)では実質的に平坦な推力特性となってい
る。
【0024】この第1実施例によれば、次の通りの効果
を得ることができる。
【0025】(1) 同極対向された2個の永久磁石11
A,11B間に軟磁性体12を設けた構造を有する直線
ガイド体10が可動コイル体20を直線移動可能に案内
するガイド軸として機能し、その直線ガイド体10の外
周面上に対し可動コイル体20のボビン21を直接軸方
向に摺動させることにより、ガイド軸や軸受部材を別途
設ける必要がなく、全長の短縮、小型化を図ることがで
き、部品点数も少なくなり、構造の簡略化、原価低減を
図ることができる。
【0026】(2) 可動コイル体20の外周近傍に、磁
気ヘッド等の被駆動系に連結される出力取出し部材23
を設けており、可動コイル体20の可動範囲における出
力取出し部材23の移動範囲について外部ヨーク30に
切り割り32を設けて出力取出し部材23が外部ヨーク
30の側方に(外周側に)突出した状態で移動可能とす
ることで、可動コイル型リニアアクチュエータを含むユ
ニットの全長を短くすることが可能である。
【0027】(3) 切り割り32の部分を除き、直線ガ
イド体10の周囲は外部ヨーク30及びサイドヨーク3
1で閉塞されており、漏洩磁束は少ない。
【0028】図4は本発明の第2実施例を示す。この場
合、直線ガイド体40は、同極対向された2個の永久磁
石11A,11B間に軟磁性体12を設け、それらの外
周面に非磁性材としての非磁性円筒パイプ13を被せ、
それらを相互に固着一体化したものである。非磁性円筒
パイプ13は段差の無い一様な外径であり、可動コイル
体20のボビン21がその非磁性円筒パイプ13の外周
面を軸方向に直接摺動するようにしている。非磁性円筒
パイプ13としてはステンレス、真鍮、摩擦係数の小さ
な樹脂等の薄肉パイプが使用でき、とくに耐摩耗性に優
れるステンレスが効果的である。
【0029】また、円筒状軟磁性体である外部ヨーク5
0は、推力のフラット性向上のために中央部を除く部分
に配置されている。これは、2個の永久磁石11A,1
1B及びそれらに挟まれた軟磁性体12の外周側に発生
する磁界の垂直成分(直線ガイド体40の軸方向に垂直
な成分)が比較的小さい端部領域に磁束を集中させて、
直線ガイド体40の両端寄り部分での磁界の垂直成分の
低下を補償するためである。これにより、直線ガイド体
40の全長のうちの大部分の領域で前記磁界の垂直成分
が実質的に一様となり、推力のフラット性を一層向上さ
せることができる。
【0030】なお、その他の構成は前述の第1実施例と
同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付した。
【0031】図3の曲線(ロ)は図4の第2実施例の場
合における可動コイル体20の軟磁性体12中間位置P
からの変位量X(mm)と推力(gf)との関係を示す。こ
の曲線(ロ)では変位量X=0で推力は23.64、変
位量X=±4で推力は22.64であって推力は変位量
X=0に対し4.2%低下しているが、これは第1実施
例の8.3%低下よりも低下量が少なく推力のフラット
性が第2実施例の外部ヨーク50の配置で改善されてい
ることが判る。
【0032】この第2実施例によれば、永久磁石11
A,11B及び軟磁性体12の外周面を非磁性円筒パイ
プ13で覆った直線ガイド体40を用いているため、可
動コイル体20のボビン21の摺動性を良好とし、また
組立が容易となり、可動コイル体20の円滑な直線移動
動作を実現している。また、直線ガイド体40の中央部
に対応する部分には外部ヨーク50が存在せず、外部ヨ
ーク50が直線ガイド体40の両端寄り位置に設けられ
ているため、通常直線ガイド体40の軸方向に垂直な磁
界成分が低下しがちな領域に磁束を集中でき、広範囲に
わたり前記軸方向に垂直な磁界成分が一様なものとなり
推力のフラット性をいっそう良好にすることが可能であ
る。なお、その他の作用効果は前述した第1実施例と同
様である。
【0033】さらに、図4の第2実施例では、直線ガイ
ド体40の中央部に対応する部分には外部ヨーク50が
存在しないとしたが、図1の第1実施例の全長にわたる
外部ヨークの中央部に部分的に抜き穴をあけて、直線ガ
イド体40の中央部に対応(対面)するヨーク部分の面
積を減じるようにしても差し支えない。
【0034】図5は本発明の第3実施例を示す。この場
合、直線ガイド体60は、同極対向された2個の円柱状
の永久磁石11A,11B間に長い寸法の円柱状の軟磁
性体62を設け、それらの外周面に非磁性材としての非
磁性円筒パイプ63を被せ、それらを相互に固着一体化
したものである。非磁性円筒パイプ63は段差の無い一
様な外径であり、可動コイル体20のボビン21がその
非磁性円筒パイプ63の外周面を軸方向に直接摺動する
ようにしている。非磁性円筒パイプ63の材質は、前述
の第2実施例の場合の非磁性円筒パイプ13と同様であ
る。
【0035】また、円筒状軟磁性体の外部ヨーク70
は、推力のフラット性向上のために直線ガイド体60の
中央部に対応する部分のみを円環状に囲むように配置さ
れている。これは、軟磁性体62が長いため、磁界の垂
直成分(直線ガイド体60の軸方向に垂直な成分)が軟
磁性体62の中間部で低下するので、そこに磁束を集中
させて、直線ガイド体60の中央部での磁界の垂直成分
の低下を補償するためである。これにより、長い寸法を
持つ軟磁性体62を用いた直線ガイド体60であって
も、その全長のうちの大部分の領域で前記磁界の垂直成
分が実質的に一様となり、可動コイル体20のストロー
クを大きくするとともに、推力のフラット性を良好に維
持することができる。但し、外部ヨーク70は両側のサ
イドヨーク31に連結するために細幅の延長部分70a
を有している。出力取出し部材23を通過させるための
切り割り72は例えば延長部分70aに沿って形成すれ
ばよい。
【0036】なお、その他の構成は前述の第1実施例と
同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付した。
【0037】この第3実施例によれば、直線ガイド体6
0の全長を長くして可動コイル体20のストロークを増
大させることができ、しかも推力のフラット性を良好に
維持することができる。また、前述した図4の第2実施
例と同様に、非磁性円筒パイプ63で覆った直線ガイド
体60を用いているため、可動コイル体20のボビン2
1の摺動性を良好とし、可動コイル体20の円滑な直線
移動動作を実現可能である。
【0038】図6は本発明の第4実施例を示す。この場
合、2個の同極対向の永久磁石11A,11B及びそれ
らに挟まれた軟磁性体12で構成された直線ガイド体1
0の外周面を直接摺動して直線移動する可動コイル体9
0は、直線ガイド体10に対し直接摺動するボビン91
に、駆動コイル92及び速度検出用コイル93をそれぞ
れ巻装したものである。すなわち、可動コイル体90が
有するボビン91は、例えば、耐摩耗性に優れた絶縁樹
脂製であり、直線ガイド体10の外周面を環状に囲みか
つ両端に鍔91aを持つ断面がコ字状である。そして、
ボビン91の内周部が直線ガイド体10の外周面をガイ
ドとして直接摺動可能に配置されている。前記駆動コイ
ル92はボビン91の下層に巻かれ、その上に速度検出
用コイル93が巻かれている。なお、外部ヨーク及びサ
イドヨークの図示は省略したが、第1乃至第3実施例で
用いた外部ヨーク及びサイドヨークの構造を利用可能で
ある。
【0039】この第4実施例によれば、可動コイル体9
0が駆動コイル92及び速度検出用コイル93を有する
2層コイル構造となっており、可動コイル体90が直線
ガイド体10上を移動することで速度検出用コイル93
に誘起電圧が発生し、可動コイル体90の移動速度や移
動周期を検出することができる。
【0040】図7は本発明の第5実施例を示す。この場
合、直線ガイド体100は、同極対向(N極同士の対
向)の永久磁石11A,11B間に軟磁性体12Aを配
置し、同極対向(S極同士の対向)の永久磁石11B,
11C間に軟磁性体12Bを配置して外径が一様な直線
棒状に構成したものである。また、直線ガイド体100
の外周面を直接摺動して直線移動する可動コイル体11
0は、直線ガイド体100に対し直接摺動する2連ボビ
ン111に、駆動コイル112A,112Bをそれぞれ
巻装したものである。すなわち、可動コイル体110が
有する2連ボビン111は、例えば、耐摩耗性に優れた
絶縁樹脂製であり、直線ガイド体100の外周面を環状
に囲みかつ両端及び中間に鍔111aを持つ断面がE字
状である。そして、2連ボビン111の内周部が直線ガ
イド体100の外周面をガイドとして直接摺動可能に配
置されている。なお、外部ヨーク30及びサイドヨーク
31は第1実施例で用いた外部ヨーク及びサイドヨーク
の構造を利用可能である。
【0041】この第5実施例によれば、駆動コイル11
2A,112Bに相互に逆向きの電流を通電すること
で、各コイルの推力が加算されるようにすることがで
き、推力の増大を図ることができる。その他の作用効果
は、前述の第1実施例等と同様である。
【0042】なお、第5実施例の外部ヨーク30、サイ
ドヨーク31の代わりに第2乃至第3実施例で用いた外
部ヨーク及びサイドヨークの構造を採用してもよい。
【0043】なお、図4の第2実施例に示したように、
同極対向された永久磁石間に軟磁性体を設け、それらの
外周面に非磁性材としての非磁性円筒パイプを被せ、そ
れらを相互に固着一体化して直線ガイド体とする構成
は、第1、第4、第5実施例の直線ガイド体に適用する
こともできる。また、非磁性円筒パイプを被せる代わり
に、前記永久磁石及び軟磁性体の外周面を非磁性材(例
えば、摩擦係数が少なく、耐摩耗性に優れた樹脂等)で
コーティングする構造としてもよい。
【0044】前述の各実施例では、永久磁石及びその間
に挟持された軟磁性体が円板乃至円柱状で、直線ガイド
体全体も円柱状である場合を例示したが、永久磁石及び
その間に挟持された軟磁性体が角板乃至角柱状で、直線
ガイド体全体が角柱状であってもよい。
【0045】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の可動コイ
ル型リニアアクチュエータによれば、同極対向された少
なくとも2個の永久磁石間に軟磁性体を設けた構造を有
する直線ガイド体と、該直線ガイド体の外周面に対し直
接摺動するボビンに駆動コイルを巻装してなる可動コイ
ル体とを備えているので、前記可動コイル体は前記直線
ガイド体の外周面を直接摺動することで直線移動するよ
うに案内されることになる。従って、別途可動コイル体
をガイドするガイド軸や軸受部品は不要であり、部品点
数を削減して、構造の簡略化、小型化を図ることがで
き、原価低減にも有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る可動コイル型リニアアクチュエー
タの第1実施例を示す正断面図である。
【図2】同側断面図である。
【図3】可動コイル体の変位量と推力との関係を示すグ
ラフである。
【図4】本発明の第2実施例を示す正断面図である。
【図5】本発明の第3実施例を示す正断面図である。
【図6】本発明の第4実施例を示す正断面図である。
【図7】本発明の第5実施例を示す正断面図である。
【図8】従来例の正断面図である。
【符号の説明】
10,40,60,100 直線ガイド体 11A,11B,11C 永久磁石 12,12A,12B,62 軟磁性体 13,63 非磁性円筒パイプ 20,90,110 可動コイル体 21,91,111 ボビン 22,92,112A,112B 駆動コイル 23 出力取出し部材 30,50,70 外部ヨーク 31 サイドヨーク 32,72 切り割り 93 速度検出用コイル

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同極対向された少なくとも2個の永久磁
    石間に軟磁性体を設けた構造を有する直線ガイド体と、
    該直線ガイド体の外周面に対し直接摺動するボビンに駆
    動コイルを巻装してなる可動コイル体とを備え、該可動
    コイル体が前記直線ガイド体の外周面を直接摺動するこ
    とで直線移動するように案内されることを特徴とする可
    動コイル型リニアアクチュエータ。
  2. 【請求項2】 前記直線ガイド体は、前記永久磁石及び
    前記軟磁性体の外周面を非磁性材で覆ったものである請
    求項1記載の可動コイル型リニアアクチュエータ。
  3. 【請求項3】 前記永久磁石及び前記軟磁性体から発生
    する磁界の前記直線移動方向に垂直な成分分布の小さい
    部位に、外部軟磁性体ヨークを配置又は近接させてなる
    請求項1又は2記載の可動コイル型リニアアクチュエー
    タ。
  4. 【請求項4】 前記可動コイル体の外周側に出力取出し
    部材を設けてなる請求項1,2又は3記載の可動コイル
    型リニアアクチュエータ。
  5. 【請求項5】 前記可動コイル体は速度検出用コイルを
    さらに備えている請求項1,2,3又は4記載の可動コ
    イル型リニアアクチュエータ。
JP03945295A 1995-02-06 1995-02-06 可動コイル型リニアアクチュエータ Expired - Lifetime JP3680182B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03945295A JP3680182B2 (ja) 1995-02-06 1995-02-06 可動コイル型リニアアクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03945295A JP3680182B2 (ja) 1995-02-06 1995-02-06 可動コイル型リニアアクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08214528A true JPH08214528A (ja) 1996-08-20
JP3680182B2 JP3680182B2 (ja) 2005-08-10

Family

ID=12553438

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03945295A Expired - Lifetime JP3680182B2 (ja) 1995-02-06 1995-02-06 可動コイル型リニアアクチュエータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3680182B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020089181A (ja) * 2018-11-29 2020-06-04 日立金属株式会社 偏平型ボイスコイルモータ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020089181A (ja) * 2018-11-29 2020-06-04 日立金属株式会社 偏平型ボイスコイルモータ

Also Published As

Publication number Publication date
JP3680182B2 (ja) 2005-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3139051U (ja) ボイスコイルモーター装置
US7605680B2 (en) Electromagnetic actuator
JPH0334203B2 (ja)
US8810346B2 (en) Electromagnetic actuator comprising a magnetic tube and used for actuating a hydraulic or pneumatic valve
JPS60158607A (ja) ソレノイド構造体及び製造方法
US20230368955A1 (en) Single coil apparatus and method
JP3348124B2 (ja) 可動磁石式アクチュエータ
US6877391B2 (en) Gear change device
CN110326065B (zh) 电磁式线性致动器
JPH08214528A (ja) 可動コイル型リニアアクチュエータ
US6815846B2 (en) Linear voice coil actuator with a latching feature
JP3669389B2 (ja) 可動コイル型リニアアクチュエータ
JP3669393B2 (ja) ディスク装置用リニアアクチュエータ
US6590483B2 (en) Electromagnetic solenoid actuator
JPH03112354A (ja) リニアアクチユエータ
JPH07303363A (ja) リニアアクチュエータ
JPH0549226A (ja) リニアアクチユエータ
JPS60183960A (ja) 電磁アクチユエ−タ
US11870385B2 (en) Linear motors with embedded encoder
JPS6364674B2 (ja)
JP2023122868A (ja) ソレノイド
JPH04129983U (ja) 電磁作動装置
JP2023167540A (ja) ソレノイド
RU2302051C1 (ru) Быстродействующий электромагнит с поляризующей обмоткой
JPH0287960A (ja) リニアアクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050104

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050307

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050405

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050428

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080527

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090527

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090527

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100527

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110527

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130527

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527

Year of fee payment: 9

EXPY Cancellation because of completion of term