JPH08209184A - Cutting fluid, its production and cutting of ingot - Google Patents
Cutting fluid, its production and cutting of ingotInfo
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- JPH08209184A JPH08209184A JP30063995A JP30063995A JPH08209184A JP H08209184 A JPH08209184 A JP H08209184A JP 30063995 A JP30063995 A JP 30063995A JP 30063995 A JP30063995 A JP 30063995A JP H08209184 A JPH08209184 A JP H08209184A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、シリコン単結晶や多結
晶、その他化合物半導体やセラミック等のインゴットの
切断用に有効な切削液（水溶性切削液）、その製造方法
およびこの切削液を用いるインゴットの切断方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention uses a cutting fluid (water-soluble cutting fluid) effective for cutting ingots such as silicon single crystals, polycrystals, compound semiconductors and ceramics, a method for producing the cutting fluid, and the cutting fluid. The present invention relates to a method for cutting an ingot.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、シリコン単結晶等のインゴット切
断用の切削液としては、主に、鉱物油を主成分とする非
水溶性切削油が用いられており、この切削油にＳｉＣ等
の砥粒を混合・分散させた切削剤（スラリー）をインゴ
ットの切断部に供給することにより、インゴットのスラ
イスが行われている。そして、このスライス品は、洗浄
工程を経て次工程に供される。また、インゴットの切断
に用いられた後のスラリーは、廃棄物として処理されて
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, a water-insoluble cutting oil containing mineral oil as a main component has been mainly used as a cutting liquid for cutting an ingot such as a silicon single crystal. Slicing of the ingot is performed by supplying a cutting agent (slurry) in which particles are mixed and dispersed to the cutting portion of the ingot. Then, this sliced product is subjected to a cleaning process and then provided to the next process. Further, the slurry after being used for cutting the ingot is treated as waste.
【０００３】前記スライス品の洗浄は、これに付着する
切削油等を除去するものであり、従来、洗浄液として有
機溶剤系のもの（例えばトリクロロエタン、塩化メチレ
ン等）が用いられてきた。この有機溶剤系の洗浄液によ
れば、洗浄作業が簡単になる利点がある。The washing of the sliced product is to remove cutting oil and the like adhering to it, and conventionally, an organic solvent-based one (for example, trichloroethane, methylene chloride, etc.) has been used as a cleaning liquid. This organic solvent-based cleaning liquid has an advantage of simplifying the cleaning operation.
【０００４】また、上記インゴット切断用の加工具とし
ては外周刃、内周刃、バンドソーまたはワイヤソーが用
いられている。この場合、直径３インチ以上の比較的大
径のインゴットの切断には、ワイヤソーやバンドソーが
多用されるようになっている。その理由は他の加工具に
比べて、より均一な厚さでインゴットをスライスするこ
とができ、切断屑の発生量が少なくてすむだけでなく、
一度に多数のウエーハを切断できるからである。An outer peripheral blade, an inner peripheral blade, a band saw or a wire saw is used as a processing tool for cutting the ingot. In this case, a wire saw or band saw is often used to cut a relatively large ingot having a diameter of 3 inches or more. The reason is that compared to other processing tools, it is possible to slice the ingot with a more uniform thickness, not only does it generate less cutting waste,
This is because many wafers can be cut at one time.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、鉱物油を主成
分とする切削油は、引火性のある危険物であり、安全性
に乏しいという問題があった。また、上記有機溶剤系の
洗浄液は、発ガンや大気汚染（オゾン層の破壊）の主原
因になるため最近、使用が禁止されている。さらに、前
記スラリーは切断に供された後、廃棄物として焼却処理
されるのが一般的であり、この焼却も大気汚染の一原因
になっている。このため、その代替品の開発が待たれて
いた。However, there is a problem in that the cutting oil containing mineral oil as a main component is a flammable dangerous substance and poor in safety. Further, since the above-mentioned organic solvent-based cleaning liquid is a main cause of cancer and air pollution (depletion of ozone layer), its use has recently been prohibited. Further, after the slurry is cut, it is generally incinerated as a waste, and this incineration also contributes to air pollution. For this reason, the development of alternatives has been awaited.
【０００６】さらに、インゴット切断の場合において
は、切断速度の増大とともに得られたスライス品に「反
り」が発生（スライス品の中央部が凸状になる）しやす
くなり、ワイヤソーの場合では、直径８インチのシリコ
ン単結晶インゴットを切断速度１ｍｍ／ｍｉｎ以上で切
断すると、反りが２０μｍを超えることがあり、このよ
うな大きな反りは、シリコンウエーハ等を製造加工する
ときの障害になるうえ、結果として、その歩留りが低下
する原因にもなっている。Further, in the case of ingot cutting, "warp" is likely to occur in the sliced product (the central part of the sliced product becomes convex) as the cutting speed increases, and in the case of a wire saw, the diameter becomes larger. When an 8-inch silicon single crystal ingot is cut at a cutting speed of 1 mm / min or more, the warp may exceed 20 μm, and such a large warp becomes an obstacle when manufacturing and processing a silicon wafer or the like. , Is also a cause of lowering the yield.
【０００７】本発明は、上記の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、切削液を水溶性とすることにより、従
来の非水溶性切削油を用いる場合における引火の危険性
や、被切削材洗浄工程における有機溶剤の使用に伴う大
気汚染等の諸問題を解決するとともに、大径のシリコン
単結晶インゴット等を切断するときのスライス品の反り
を低下させることにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to make a cutting fluid water-soluble, thereby causing a risk of ignition when a conventional non-water-soluble cutting oil is used and a material to be cut. It is intended to solve various problems such as air pollution associated with the use of an organic solvent in a material cleaning step, and reduce the warp of a sliced product when a large-diameter silicon single crystal ingot or the like is cut.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の切削液
は、無機ベントナイト、有機ベントナイトの少なくとも
一方と、脂肪酸イミダゾールの水溶液とを、主成分とし
て含有することを特徴とする。The cutting fluid according to claim 1 is characterized by containing at least one of inorganic bentonite and organic bentonite and an aqueous solution of fatty acid imidazole as main components.
【０００９】請求項２に記載の切削液は、請求項１にお
いて、前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪酸トリグ
リセライドイミダゾールを含有し、更に２メチル−１−
ステアレートを含有することを特徴とする。A cutting fluid according to a second aspect of the present invention is the cutting fluid according to the first aspect, wherein the fatty acid imidazole contains a polymerized fatty acid triglyceride imidazole and further 2 methyl-1-.
It is characterized by containing a stearate.
【００１０】請求項３に記載の切削液は、請求項１にお
いて、前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪酸トリグ
リセライドイミダゾールを含有し、更に硼酸イミダゾー
ル、２メチル−１−ステアレートを含有することを特徴
とする。A cutting fluid according to a third aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect, a polymerized fatty acid triglyceride imidazole is contained as the fatty acid imidazole, and further, boric acid imidazole and 2-methyl-1-stearate are contained.
【００１１】請求項４に記載の切削液は、請求項１，２
または３において、保水性向上剤、水洗浄性向上剤、砥
粒の沈降防止剤、砥粒の分散性向上剤、潤滑性向上剤、
冷却性向上剤、浸透性向上剤、防錆剤、防錆力補助剤、
不凍性向上剤、粘度回復性補助剤および消泡剤からなる
群より任意に選ばれた複数種の主剤もしくは補助剤を含
有することを特徴とする。The cutting fluid according to claim 4 is the cutting fluid according to claim 1 or 2.
Alternatively, in 3, the water retention improver, the water washability improver, the abrasive grain settling preventive agent, the abrasive grain dispersibility improver, the lubricity improver,
Cooling improver, Penetration improver, Anticorrosion agent, Anticorrosion auxiliary agent,
It is characterized by containing a plurality of types of main agents or auxiliary agents arbitrarily selected from the group consisting of an antifreezing improver, a viscosity recovery auxiliary agent and an antifoaming agent.
【００１２】請求項５に記載の切削液の製造方法は、請
求項２に記載の切削液を製造するに際し、水に無機ベン
トナイト、有機ベントナイトの少なくとも一方を分散せ
しめ、該分散液に、重合脂肪酸グリセライドとイミダゾ
ールとの反応により得られた重合脂肪酸トリグリセライ
ドイミダゾールを含有する原料液（１）を溶解させた
後、該溶液に、Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリ
ン酸との反応により得られた２メチル−１−ステアレー
トを含有する原料液（２）とオレイン酸を溶解させ、更
にこの溶液に、イミダゾールと硼酸との反応により得ら
れた硼酸イミダゾールを含有する原料液（３）を溶解さ
せた後、この溶液にエチレンジアミンテトラ酢酸Ｎａ
塩、ベンゾトリアゾール、シリコーン系消泡剤等を含む
複数種の主剤もしくは補助剤を添加することを特徴とす
る。In the method for producing a cutting fluid according to a fifth aspect, in producing the cutting fluid according to the second aspect, at least one of inorganic bentonite and organic bentonite is dispersed in water, and the polymerized fatty acid is added to the dispersion. A raw material solution (1) containing a polymerized fatty acid triglyceride imidazole obtained by the reaction of glyceride and imidazole was dissolved, and then the solution obtained by the reaction of N-methyl-2-pyrrolidone and stearic acid was added to the solution. The raw material liquid (2) containing methyl-1-stearate and oleic acid were dissolved, and further the raw material liquid (3) containing imidazole borate obtained by the reaction of imidazole and boric acid was dissolved in this solution. After that, add ethylenediaminetetraacetic acid Na to this solution.
It is characterized by adding a plurality of types of main agents or auxiliary agents including salts, benzotriazole, silicone antifoaming agents and the like.
【００１３】請求項６に記載のインゴットの切断方法
は、請求項１，２，３または４に記載の切削液に砥粒を
分散させた分散液を切削剤として用い、ワイヤソーまた
はバンドソーによりシリコン単結晶等のインゴットをス
ライスすることを特徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for cutting an ingot, wherein a dispersion liquid in which abrasive grains are dispersed in the cutting liquid according to the first, second, third, or fourth is used as a cutting agent, and a silicon wire is cut by a wire saw or a band saw. It is characterized by slicing an ingot such as a crystal.
【００１４】本発明に係る切削液は無機ベントナイト、
有機ベントナイトの少なくとも一方と、脂肪酸イミダゾ
ールの水溶液とを、主成分として含有するものであり、
一般的に下記の主原料と各種補助剤との組合せにより構
成される。 （Ａ）無機ベントナイト、有機ベントナイト（主原
料）：架橋型の分散剤で、砥粒の沈降防止剤、または砥
粒の分散性向上剤として作用する。 （Ｂ）重合脂肪酸トリグリセライドイミダゾール（原料
液１）：脂肪酸イミダゾールとして、砥粒の分散性を維
持し回復剤として効果があり、保水性向上剤として作用
する外、この切削液の粘度回復性補助剤と、この切削液
の防錆剤とを兼ねるものである。 （Ｃ）２メチル−１−ステアレート（原料液２）：水洗
浄性向上剤として作用する外、砥粒の分散性向上剤およ
び、この切削液の潤滑性向上剤（摩擦係数低下剤）、冷
却性向上剤、不凍性向上剤としても作用する。 （Ｄ）オレイン酸（不飽和脂肪酸）：この切削液の潤滑
性向上剤（摩擦係数低下剤）としての外、浸透性向上剤
としての効果がある。 （Ｅ）硼酸イミダゾール（原料液３）：この切削液の防
錆剤である。 （Ｆ）エチレンジアミンテトラ酢酸Ｎａ塩：金属イオン
吸着剤（キレート剤）である。２Ｎａ〜４Ｎａ塩が使用
される。 （Ｇ）ベンゾトリアゾール（トリルトリアゾール）：こ
の切削液の防錆力補助剤である。 （Ｈ）シリコーン系消泡剤：ジメチルポリシロキサンの
エマルジョンで、この切削液の消泡剤である。 （Ｉ）精製水：この切削液をイオン化するためのイオン
化溶媒である。The cutting fluid according to the present invention is an inorganic bentonite,
At least one of organic bentonite and an aqueous solution of a fatty acid imidazole are contained as main components,
Generally, it is composed of a combination of the following main raw materials and various auxiliary agents. (A) Inorganic bentonite, organic bentonite (main material): a cross-linking type dispersant, which acts as an anti-settling agent for abrasive grains or a dispersibility improving agent for abrasive grains. (B) Polymerized fatty acid triglyceride imidazole (raw material liquid 1): As a fatty acid imidazole, it maintains the dispersibility of abrasive grains and is effective as a recovering agent. And also serves as an anti-rust agent for this cutting fluid. (C) 2-methyl-1-stearate (raw material liquid 2): In addition to acting as a water-cleaning property improving agent, an abrasive grain dispersibility improving agent and a cutting fluid lubricity improving agent (friction coefficient lowering agent), It also acts as a cooling improver and an antifreeze improver. (D) Oleic acid (unsaturated fatty acid): Effective as a lubricity improver (friction coefficient lowering agent) for this cutting fluid and also as a permeability improver. (E) Imidazole borate (raw material liquid 3): A rust preventive agent for this cutting fluid. (F) Na salt of ethylenediaminetetraacetic acid: a metal ion adsorbent (chelating agent). 2Na-4Na salts are used. (G) Benzotriazole (tolyltriazole): An auxiliary agent for the rust preventive power of this cutting fluid. (H) Silicone-based defoaming agent: an emulsion of dimethylpolysiloxane, which is a defoaming agent for this cutting fluid. (I) Purified water: An ionizing solvent for ionizing this cutting fluid.
【００１５】その他、本発明の切削液を製造するための
原材料を列挙すると以下の通りである。 （１）Ｎ−メチル−２−ピロリドン：飽和脂肪酸の溶解
を促進する溶媒としても作用する。 （２）重合脂肪酸グリセライド （３）ステアリン酸（飽和脂肪酸） （４）イミダゾール：この切削液の主原料であると同時
に、増粘・防錆剤としても作用する。分子式はＣ4 Ｈ6
Ｎ2 で２ＭＺ型が使用される。 （５）硼酸：この切削液の防錆力補助剤としても作用す
る。Other raw materials for producing the cutting fluid of the present invention are listed below. (1) N-methyl-2-pyrrolidone: Acts also as a solvent for promoting the dissolution of saturated fatty acids. (2) Polymerized fatty acid glyceride (3) Stearic acid (saturated fatty acid) (4) Imidazole: It is a main raw material of this cutting fluid, and at the same time, acts as a thickening / rust preventive agent. The molecular formula is C 4 H 6
The 2MZ type is used with N 2 . (5) Boric acid: also acts as a rust preventive power auxiliary agent for this cutting fluid.
【００１６】上記重合脂肪酸グリセライドは、少なくと
もカルボキシル基を含有する。重合脂肪酸グリセライド
としては、平均分子量は約２０００のものが好ましい。
重合脂肪酸グリセライドとしては、（１）多不飽和脂肪
酸を異性化させた後、Diels-Alder 反応で付加させて得
られる多官能性脂肪酸にグリセリンを反応させて得られ
るものや、（２）多不飽和脂肪酸の二重結合の隣の炭素
に重合性モノマーを付加させて得られる多官能性脂肪酸
にグリセリンを反応させて得られるものが挙げられる。
これらのうち上記（１）の多官能性脂肪酸としては、一
般にダイマー酸と称されるものが好ましい例として挙げ
られる。The polymerized fatty acid glyceride contains at least a carboxyl group. The polymerized fatty acid glyceride preferably has an average molecular weight of about 2000.
The polymerized fatty acid glycerides include (1) isomerized polyunsaturated fatty acids and then polyfunctional fatty acids obtained by the addition of Diels-Alder reaction with glycerin, and (2) polyunsaturated fatty acids. Examples thereof include those obtained by reacting glycerin with a polyfunctional fatty acid obtained by adding a polymerizable monomer to the carbon next to the double bond of a saturated fatty acid.
Among these, as the polyfunctional fatty acid of the above (1), what is generally called dimer acid is mentioned as a preferable example.
【００１７】本発明の切削液は、例えば以下の手順で製
造される。 原料液（１）の調製（重合脂肪酸トリグリセライドイ
ミダゾールの合成）：精製水を温度５０℃〜６０℃に加
温し、重合脂肪酸トリグリセライドを攪拌持続し、加添
する。充分攪拌し温度５０℃〜６０℃に戻った時点で、
イミダゾール２ＭＺを添加し反応させる。 原料液（２）の調製（２メチル−１−ステアレートの
合成）：メチル−２−ピロリドン液を温度６０℃〜７０
℃に加温し、且つ攪拌しつつ、飽和脂肪酸（ステアリン
酸）を添加し反応させる。 原料液（３）の調製（硼酸イミダゾールの合成）：精
製水を温度５０℃〜６０℃に加温し且つ、攪拌しつつ、
イミダゾール２ＭＺを加添し、溶解終了後硼酸を添加し
反応させる。 切削液（１）の調製：精製水にベントナイトを添加し
て攪拌・分散させ、原料液（１）を常温で溶解し、この
溶液に前記原料液（２）を添加、溶解する。その上で原
料液（３）を挿入し、溶解後温度５０℃〜６０℃に加温
した後、不飽和脂肪酸（オレイン酸）を溶解させる。こ
れにより切削液（１）の主成分液が得られる。この主成
分液に金属イオン吸着剤（キレート剤）、ベンゾトリア
ゾール（トリルトリアゾール）のような防錆力補助剤、
その他シリコーン系消泡剤を添加・混合し完成品とす
る。The cutting fluid of the present invention is produced, for example, by the following procedure. Preparation of raw material liquid (1) (synthesis of polymerized fatty acid triglyceride imidazole): Purified water is heated to a temperature of 50 ° C to 60 ° C, and polymerized fatty acid triglyceride is continuously stirred and added. When sufficiently stirred and returned to a temperature of 50 ° C to 60 ° C,
Imidazole 2MZ is added and reacted. Preparation of Raw Material Liquid (2) (Synthesis of 2-Methyl-1-stearate): Methyl-2-pyrrolidone Liquid at 60 ° C. to 70 ° C.
Saturated fatty acid (stearic acid) is added and reacted with heating to ℃ and stirring. Preparation of raw material liquid (3) (synthesis of imidazole borate): Purified water is heated to a temperature of 50 ° C to 60 ° C and stirred,
Imidazole 2MZ is added, and boric acid is added and reacted after completion of dissolution. Preparation of cutting fluid (1): Bentonite is added to purified water, stirred and dispersed, the raw material liquid (1) is dissolved at room temperature, and the raw material liquid (2) is added and dissolved in this solution. After that, the raw material liquid (3) is inserted, and after the solution is heated to a temperature of 50 ° C. to 60 ° C., the unsaturated fatty acid (oleic acid) is dissolved. As a result, the main component liquid of the cutting fluid (1) is obtained. In this main component liquid, metal ion adsorbent (chelating agent), rust prevention auxiliary agent such as benzotriazole (tolyltriazole),
Other silicone defoamers are added and mixed to make a finished product.
【００１８】本発明の切削液は、これに砥粒を混合・分
散させたスラリーとして用いられ、シリコン単結晶また
は多結晶からなるインゴットの切断用に特に有効である
が、化合物半導体あるいはセラミック等々の切断にも広
く使用することができる。また、この切削液が用いられ
る切断装置としては、ワイヤソーやバンドソー、これら
を多重化したマルチワイヤソーやマルチバンドソーが含
まれる。更には外周刃や内周刃の切断装置にも転用が可
能である。The cutting fluid of the present invention is used as a slurry in which abrasive grains are mixed and dispersed, and is particularly effective for cutting an ingot made of a silicon single crystal or a polycrystal, but a compound semiconductor, a ceramic or the like is used. It can also be widely used for cutting. A cutting device using this cutting fluid includes a wire saw and a band saw, and a multi-wire saw and a multi-band saw in which these are multiplexed. Further, it can be diverted to a cutting device for the outer peripheral blade and the inner peripheral blade.
【００１９】本発明の切削液を製造するための原料液
（１）〜（３）の成分・組成は、標準的には［表１］〜
［表３］に示すとおりである。The ingredients and compositions of the raw material liquids (1) to (3) for producing the cutting fluid of the present invention are generally [Table 1] to
As shown in [Table 3].
【００２０】[0020]
【表１】 [Table 1]
【００２１】[0021]
【表２】 [Table 2]
【００２２】[0022]
【表３】 [Table 3]
【００２３】上記原料液（１）〜（３）を用いて製造さ
れる切削液の成分・組成は、標準的には［表４］に示す
とおりである。The components and compositions of the cutting fluid produced using the above-mentioned raw material fluids (1) to (3) are as shown in Table 4 as standard.
【００２４】[0024]
【表４】 [Table 4]
【００２５】つぎに、本発明の実施例と、従来の切削液
による比較例について説明する。 実施例１および比較例１ 実施例１の切削液を構成する原料液（１）〜（３）の成
分・組成を［表５］〜［表７］に示し、この切削液を構
成する各原料成分と組成を［表８］示す。Next, examples of the present invention and comparative examples using a conventional cutting fluid will be described. Example 1 and Comparative Example 1 The ingredients and compositions of the raw material liquids (1) to (3) constituting the cutting fluid of Example 1 are shown in [Table 5] to [Table 7], and the respective raw materials constituting this cutting fluid The components and composition are shown in [Table 8].
【００２６】[0026]
【表５】 [Table 5]
【００２７】[0027]
【表６】 [Table 6]
【００２８】[0028]
【表７】 [Table 7]
【００２９】[0029]
【表８】 [Table 8]
【００３０】上記本発明の切削液と、従来例の非水溶性
切削油の物性を示すと、［表９］のとおりである。The physical properties of the cutting fluid of the present invention and the conventional non-water-soluble cutting oil are shown in Table 9.
【００３１】[0031]
【表９】 [Table 9]
【００３２】上記本発明の切削液および、従来の切削油
と砥粒（ＳｉＣ砥粒であり、ＧＣ♯６００、平均砥粒径
１９〜２０μｍ）を１．０〜１．５リットル：１．５ｋ
ｇの割合で混合・分散させたスラリー用い、線径が０．
１８ｍｍのマルチワイヤソーの張力を３．０ｋｇｆと
し、シリコン単結晶のインゴットを切断速度１ｍｍ／ｍ
ｉｎで、肉厚０．７５ｍｍのスライス品に切断した。1.0 to 1.5 liters: 1.5 k of the above cutting fluid of the present invention, conventional cutting oil and abrasive grains (SiC abrasive grains, GC # 600, average abrasive grain size 19 to 20 μm)
Using a slurry mixed and dispersed at a ratio of g, the wire diameter is 0.
The tension of the 18 mm multi-wire saw was set to 3.0 kgf, and the cutting speed of the silicon single crystal ingot was 1 mm / m.
It was cut into slices with a wall thickness of 0.75 mm.
【００３３】その結果、実施例１の切削液を用いた場
合、直径８インチのインゴットでは、スライス品の反り
（凸状に変形した中央部と、外周部との高さの差の最大
値）は１００枚の全てが２０μｍ以下となった。これに
対し、比較例１の従来の切削油を用いた場合、直径８イ
ンチのインゴットでは、スライス品の反りは１００枚
中、９６枚が２０μｍ以下となった。このように、本発
明の水溶性切削液によれば、従来の非水溶性切削油と同
等の切断結果を得ることができた。As a result, when the cutting fluid of Example 1 was used, in the case of an ingot having a diameter of 8 inches, the warp of the sliced product (the maximum value of the height difference between the convexly deformed central part and the outer peripheral part) Of all 100 sheets became 20 μm or less. On the other hand, when the conventional cutting oil of Comparative Example 1 was used, in the ingot having a diameter of 8 inches, the warp of the sliced product was 96 μm out of 100 μm and was 20 μm or less. As described above, according to the water-soluble cutting fluid of the present invention, cutting results equivalent to those of the conventional water-insoluble cutting oil could be obtained.
【００３４】[0034]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
切削液によれば、大径のシリコン単結晶等のインゴット
を、従来の切削油の場合と同等に高速で、かつスライス
品に大きな反りを発生させることなく切断することがで
きる。また、本発明の切削液は水溶性であるから、引火
による火災の危険性はなく、得られたスライス品に付着
する切削液の洗浄を水洗により行うことができて好都合
である。また、洗浄排水の処理では、既設の排水処理設
備を利用することが可能であり、切断に供したスラリー
の処理も同様に行うことができるため、従来の有機溶剤
系の洗浄液を用いる場合と異なり大気汚染を引き起こす
危険がなく、更に、本発明の切削液はアミン系化合物を
含まないから、発ガンの心配もなくなるなどの効果があ
る。As is apparent from the above description, according to the cutting fluid of the present invention, an ingot such as a silicon single crystal having a large diameter can be cut into sliced products at a speed as high as that of conventional cutting fluids. It can be cut without causing a large warp. Further, since the cutting fluid of the present invention is water-soluble, there is no danger of fire due to ignition, and the cutting fluid adhering to the obtained sliced product can be washed with water, which is convenient. In addition, in the treatment of cleaning wastewater, it is possible to use the existing wastewater treatment equipment, and the slurry used for cutting can be treated in the same way, so unlike the case of using a conventional organic solvent-based cleaning liquid. There is no risk of causing air pollution, and further, since the cutting fluid of the present invention does not contain an amine compound, there is an effect that there is no fear of cancer.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ１０Ｍ 103:00 Ｚ 105:70 107:52 125:30 133:46 155:02） Ｃ１０Ｎ 40:22 (72)発明者 芦田 昭雄 東京都墨田区八広２丁目17番10号 大智化 学産業株式会社内 (72)発明者 木内 悦男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益半 導体工業株式会社内 (72)発明者 早川 和男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益半 導体工業株式会社内 (72)発明者 外山 公平 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社半導体白河 研究所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location C10M 103: 00 Z 105: 70 107: 52 125: 30 133: 46 155: 02) C10N 40:22 (72) Inventor Akio Ashida 2-17-10 Yahiro, Sumida-ku, Tokyo Within Ochi Kagaku Sangyo Co., Ltd. (72) Inventor Etsuko Kiuchi 762 Ashimon, Gunma-gun Gunma-gun Gunma Pref. (72) Inventor, Kazuo Hayakawa, 762, Ashimon, Gunma-cho, Gunma-gun, Gunma Prefecture, within Sanmitsu Conductor Industry Co., Ltd. In the laboratory
Claims (6)
少なくとも一方と、脂肪酸イミダゾールの水溶液とを、
主成分として含有することを特徴とする切削液。1. At least one of inorganic bentonite and organic bentonite, and an aqueous solution of fatty acid imidazole,
A cutting fluid which is contained as a main component.
酸トリグリセライドイミダゾールを含有し、更に２メチ
ル−１−ステアレートを含有することを特徴とする請求
項１に記載の切削液。2. The cutting fluid according to claim 1, wherein the fatty acid imidazole contains polymerized fatty acid triglyceride imidazole, and further contains 2 methyl-1-stearate.
酸トリグリセライドイミダゾールを含有し、更に硼酸イ
ミダゾール、２メチル−１−ステアレートを含有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の切削液。3. The cutting fluid according to claim 1, which contains polymerized fatty acid triglyceride imidazole as the fatty acid imidazole, and further contains imidazole borate and 2-methyl-1-stearate.
沈降防止剤、砥粒の分散性向上剤、潤滑性向上剤、冷却
性向上剤、浸透性向上剤、防錆剤、防錆力補助剤、不凍
性向上剤、粘度回復性補助剤および消泡剤からなる群よ
り任意に選ばれた複数種の主剤もしくは補助剤を含有す
ることを特徴とする請求項１，２または３に記載の切削
液。4. A water retention improver, a water washability improver, an abrasive grain settling inhibitor, an abrasive grain dispersibility improver, a lubricity improver, a cooling improver, a permeability enhancer, a rust preventive, 3. A main ingredient or auxiliary agent selected from the group consisting of an anticorrosive auxiliary agent, an antifreezing improver, a viscosity recovering auxiliary agent, and an antifoaming agent. Or the cutting fluid according to 3.
し、水に無機ベントナイト、有機ベントナイトの少なく
とも一方を分散せしめ、該分散液に、重合脂肪酸グリセ
ライドとイミダゾールとの反応により得られた重合脂肪
酸トリグリセライドイミダゾールを含有する原料液
（１）を溶解させた後、該溶液に、Ｎ−メチル−２−ピ
ロリドンとステアリン酸との反応により得られた２メチ
ル−１−ステアレートを含有する原料液（２）とオレイ
ン酸を溶解させ、更にこの溶液に、イミダゾールと硼酸
との反応により得られた硼酸イミダゾールを含有する原
料液（３）を溶解させた後、この溶液にエチレンジアミ
ンテトラ酢酸Ｎａ塩、ベンゾトリアゾール、シリコーン
系消泡剤等を含む複数種の主剤もしくは補助剤を添加す
ることを特徴とする切削液の製造方法。5. When producing the cutting fluid according to claim 2, at least one of an inorganic bentonite and an organic bentonite is dispersed in water, and the polymerization is carried out by a reaction of a polymerized fatty acid glyceride and imidazole. After dissolving the raw material liquid (1) containing the fatty acid triglyceride imidazole, the raw material liquid containing 2-methyl-1-stearate obtained by the reaction of N-methyl-2-pyrrolidone and stearic acid in the solution. (2) and oleic acid are dissolved, and further, the raw material liquid (3) containing imidazole borate obtained by the reaction of imidazole and boric acid is dissolved in this solution, and then ethylenediaminetetraacetic acid Na salt, Cutting characterized by adding multiple kinds of main or auxiliary agents including benzotriazole, silicone antifoaming agent, etc. Liquid manufacturing method.
液に砥粒を分散させた分散液を切削剤（スラリー）とし
て用い、ワイヤソーまたはバンドソーによりシリコン単
結晶等のインゴットをスライスすることを特徴とするイ
ンゴットの切断方法。6. An ingot such as a silicon single crystal is sliced with a wire saw or band saw by using a dispersion liquid obtained by dispersing abrasive grains in the cutting liquid according to claim 1, 2, 3 or 4 as a cutting agent (slurry). A method for cutting an ingot, which is characterized in that
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|---|---|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013507490A (en) * | 2009-10-16 | 2013-03-04 | ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー | Aqueous cutting fluid for use with diamond wire saws |
| JP2013224413A (en) * | 2012-03-23 | 2013-10-31 | Daxin Material Corp | Processing composition used for cutting workpiece of hard brittle material with cutting or grinding tool |
-
1995
- 1995-10-25 JP JP30063995A patent/JP3270313B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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