JPH08204342A - Paste for multilayer wiring board and manufacture thereof - Google Patents

Paste for multilayer wiring board and manufacture thereof

Info

Publication number
JPH08204342A
JPH08204342A JP752595A JP752595A JPH08204342A JP H08204342 A JPH08204342 A JP H08204342A JP 752595 A JP752595 A JP 752595A JP 752595 A JP752595 A JP 752595A JP H08204342 A JPH08204342 A JP H08204342A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
polymerization
resin
polymer material
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP752595A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3630459B2 (en
Inventor
Eishin Nishikawa
英信 西川
Koichi Tsurumi
浩一 鶴見
Takahiko Iwaki
隆彦 岩城
Hiroyuki Otani
博之 大谷
Koichi Kumagai
浩一 熊谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP752595A priority Critical patent/JP3630459B2/en
Publication of JPH08204342A publication Critical patent/JPH08204342A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3630459B2 publication Critical patent/JP3630459B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PURPOSE: To stably maintain the paste printing amount and printing shape even in the case of continuously printing by strengthening the paste aggregating force. CONSTITUTION: The paste for a multilayer wiring board comprises an inorganic material made of at least one of a conductor material and an insulating material, and an organic vehicle containing polymer material and solvent. The polymer material is so formed of mixture of low polymerization resin and high polymerization resin that the aggregate force 16 of the paste 14 overcome viscous force 17 to be clearly separated from a mask plate 13. The inorganic material of the composition is 50 to 90wt.%, the vehicle is 10 to 50wt.%, the polymer material in the vehicle is 5 to 2Owt.%, and the solvent is 80 to 95wt.%. The low polymerization resin in the polymer material is 30 to 70wt.%, and the high polymerization resin is 30 to 70wt.%.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、LSIやICなどの電
子部品を搭載して電子回路を構成する多層配線基板の素
材としてのペーストおよびその製造方法に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a paste as a raw material for a multilayer wiring board for mounting an electronic component such as an LSI or an IC to form an electronic circuit, and a method for manufacturing the paste.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、低温焼結ガラス・セラミック基板
が開発されたのに伴い、その配線用導体およびビア導体
にAu、Ag、CuおよびPdの少なくとも一つを用い
ることが可能となった。これらの金属は、従来のセラミ
ック多層配線基板に用いられてきたWやMo等に比べて
導体抵抗および溶融温度がともに低いので、安全性のよ
い設備を用いて良質の多層配線基板を低コストで製造す
ることができる。
2. Description of the Related Art With the recent development of low-temperature sintered glass / ceramic substrates, it has become possible to use at least one of Au, Ag, Cu and Pd for the wiring conductors and via conductors. Since these metals have lower conductor resistance and melting temperature than W and Mo that have been used for conventional ceramic multilayer wiring boards, a good quality multilayer wiring board can be manufactured at low cost using equipment with good safety. It can be manufactured.

【0003】かかるセラミック多層配線基板の製造方法
に、グリーンシート積層法と、厚膜印刷法とがある。前
者は高積層に適し、微細な配線パターンを形成すること
ができる反面、焼成時の基板収縮にばらつきを生じやす
く、製造歩留まりがよくないという欠点がある。一方、
後者は焼成時における基板の平面方向の収縮が少ないの
で、多層配線基板を歩留まりよく製造することができる
反面、配線による段差が基板表面に生じるので、高積層
や微細な配線パターンには適しないという欠点がある。
As a method of manufacturing such a ceramic multilayer wiring board, there are a green sheet laminating method and a thick film printing method. The former is suitable for high stacking and can form a fine wiring pattern, but on the other hand, it has a drawback that the shrinkage of the substrate during firing tends to vary and the manufacturing yield is not good. on the other hand,
Since the latter has less shrinkage in the planar direction of the substrate during firing, it is possible to manufacture a multilayer wiring board with high yield, but on the other hand, a step due to wiring occurs on the surface of the board, so it is not suitable for high stacking and fine wiring patterns. There are drawbacks.

【0004】配線用導体の印刷およびビア導体の形成
は、一般に図2に示す要領によって行われている。すな
わち、図2の(a)に示す事例では、ステージ1上に載
置されたガラス・セラミックグリーンシート2をスクリ
ーン版3で覆い、スクリーン版3上に支給した導電性ペ
ースト4をスキージ5で展延させる。スクリーン版3に
は配線パターンに対応した形状の開口が設けられている
ので、ガラス・セラミックグリーンシート2上に配線用
導体を厚膜印刷することができる。また、図2の(b)
に示す事例でのスクリーン版3は、ガラス・セラミック
グリーンシート2のスルーホールたるビア穴6に対応し
た開口7を有しているので、スキージ5を用いた導電性
ペースト4の印刷によって、ビア穴6内にビア導体8を
形成することができる。
Printing of wiring conductors and formation of via conductors are generally performed according to the procedure shown in FIG. That is, in the case shown in FIG. 2A, the glass / ceramic green sheet 2 placed on the stage 1 is covered with the screen plate 3, and the conductive paste 4 supplied on the screen plate 3 is spread with the squeegee 5. Delay. Since the screen plate 3 is provided with an opening having a shape corresponding to the wiring pattern, a wiring conductor can be thick-film printed on the glass-ceramic green sheet 2. In addition, FIG.
Since the screen plate 3 in the example shown in FIG. 6 has the openings 7 corresponding to the via holes 6 which are the through holes of the glass / ceramic green sheet 2, the via holes are formed by printing the conductive paste 4 using the squeegee 5. Via conductors 8 can be formed in 6.

【0005】図2の(c)に示す事例では、ガラス・セ
ラミックグリーンシート2自体が、その表面上にフィル
ム9を有し、このフィルム9にビア穴6に対応した穴が
設けられているので、フィルム6を介して導電性ペース
ト4を印刷すると、ビア導体8を得ることができる。こ
の場合、ビア穴6内に導電性ペースト4を効率よく充填
させるために、ガラス・セラミックグリーンシート2の
裏面側から真空吸引することが行われている。
In the case shown in FIG. 2C, the glass-ceramic green sheet 2 itself has a film 9 on its surface, and this film 9 is provided with holes corresponding to the via holes 6. When the conductive paste 4 is printed through the film 6, the via conductor 8 can be obtained. In this case, in order to efficiently fill the conductive paste 4 in the via holes 6, vacuum suction is performed from the back surface side of the glass / ceramic green sheet 2.

【0006】このような配線用導体の印刷およびビア導
体の形成においては、導体抵抗に変化を生じたり、にじ
みを生じたりすることがないように、導電性ペーストの
粘度や、チクソトロピーを管理することが重要となる。
また、配線パターンの高微細化に伴い、導電性ペースト
の凝集力を管理することも重要となってきた。図3に示
すように、導電性ペースト4の粘性力が矢印10で示す
方向に作用するのに対し、凝集力は矢印11で示す方向
に作用する。つまり、導電性ペースト4の凝集力は、ペ
ースト4自体をスクリーン版3から粘性力に抗して引き
離す方向に作用する。
In the printing of such a wiring conductor and the formation of a via conductor, the viscosity and thixotropy of the conductive paste should be controlled so that the conductor resistance does not change or bleeding occurs. Is important.
Further, with the miniaturization of wiring patterns, it has become important to manage the cohesive force of the conductive paste. As shown in FIG. 3, the viscous force of the conductive paste 4 acts in the direction indicated by the arrow 10, whereas the cohesive force acts in the direction indicated by the arrow 11. That is, the cohesive force of the conductive paste 4 acts in the direction of separating the paste 4 itself from the screen plate 3 against the viscous force.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ビア導体の形成におい
ては、図4の(a)に示す印刷段階を経て図4の(b)
に示す版離れ段階に入り、図4の(c)に示す状態に移
行するのであるが、導電性ペースト4の凝集力が弱い
と、スクリーン版3を通過する過程でのペースト4の凝
集力が粘性力に打ち勝つことができなくなり、ペースト
4の一部分4aがスクリーン版3上に残留してしまう。
このため、引き続き行う印刷処理において、ペースト4
の版裏まわりにおいて、だれ、にじみなどの問題が発生
する。
In forming the via conductor, the printing step shown in FIG. 4 (a) is performed, and then the via conductor shown in FIG. 4 (b) is formed.
The plate separation step shown in Fig. 4 is entered and the state shown in Fig. 4 (c) is entered. However, if the cohesive force of the conductive paste 4 is weak, the cohesive force of the paste 4 in the process of passing through the screen plate 3 is The viscous force cannot be overcome, and the portion 4a of the paste 4 remains on the screen plate 3.
Therefore, in the subsequent printing process, the paste 4
There are problems such as drooling and bleeding around the backside of the print.

【0008】とくに、ビア導体用の導電性ペーストに
は、Al2 3 等の収縮抑制材料を添加して、焼成時に
おける収縮量をガラス・セラミックペーストの焼成時に
おける収縮量に近づけることが多い。そのために、ペー
スト中に占める無機質材料の混合比率が大きくなり、配
線用ペーストと同様の有機質ビークルを使用すると、ペ
ーストの粘度が増して、ビア導体の充填印刷が困難にな
る。
Particularly, a conductive paste for a via conductor is often added with a shrinkage suppressing material such as Al 2 O 3 so that the shrinkage amount at the time of firing is close to the shrinkage amount of the glass / ceramic paste at the time of firing. . Therefore, the mixing ratio of the inorganic material in the paste becomes large, and when an organic vehicle similar to the wiring paste is used, the viscosity of the paste increases and filling printing of the via conductor becomes difficult.

【0009】そこで、従来よりも重合度の低い樹脂を用
いて有機質ビークルを調製しているのであるが、重合度
の低い樹脂を用いると、ペースト自身の凝集力がさらに
弱まるので、ビア導体の充墳印刷において版裏まわり、
だれ、にじみなどの問題がさらに顕著に現れる。
Therefore, an organic vehicle is prepared by using a resin having a lower degree of polymerization than before. However, when a resin having a low degree of polymerization is used, the cohesive force of the paste itself is further weakened, so that the via conductor is filled. When printing on a mound
Problems such as who and bleeding appear more prominently.

【0010】したがって本発明の目的は、ペーストの凝
集力を強め、連続的に印刷処理を施しても、ペーストの
印刷量および印刷形状を安定に維持できる多層配線基板
用ペーストおよびその製造方法を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a paste for a multilayer wiring board and a method for producing the same, which can strengthen the cohesive force of the paste and maintain a stable print amount and print shape of the paste even when the paste is continuously printed. To do.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明によると、上述し
た目的を達成するために、導体材料および絶縁材料の少
なくとも一方からなる無機質材料と、高分子材料および
溶剤を含む有機質ビークルとからなる組成物にして、高
分子材料が低重合度樹脂と、高重合度樹脂との混合物か
らなることを特徴とする多層配線基板用ペーストが提供
される。
According to the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a composition comprising an inorganic material comprising at least one of a conductor material and an insulating material and an organic vehicle containing a polymer material and a solvent. Specifically, there is provided a paste for a multilayer wiring board, wherein the polymer material is a mixture of a low polymerization degree resin and a high polymerization degree resin.

【0012】低重合度樹脂の重合度を数平均重合度で1
00以上500未満、高重合度樹脂の重合度を数平均重
合度で500以上1000以下となすことができる。
The degree of polymerization of the low degree of polymerization resin is 1 by the number average degree of polymerization.
It is possible to make the degree of polymerization of the high-polymerization resin to be not less than 00 and less than 500 and not less than 500 and not more than 1000 in terms of number average degree of polymerization.

【0013】高分子材料がエチルセルローズ、ポリビニ
ルブチラールおよびアクリル樹脂のうちの少なくとも一
つを含む構成となすことができる。
The polymer material may include at least one of ethyl cellulose, polyvinyl butyral and acrylic resin.

【0014】組成物中の無機質材料が50〜90重量
%、有機質ビークルが10〜50重量%であり、有機質
ビークル中の高分子材料が5〜20重量%、溶剤が80
〜95重量%であり、高分子材料中の低重合度樹脂が3
0〜70重量%、高重合度樹脂が30〜70重量%であ
る構成となすことができる。
The composition contains 50 to 90% by weight of an inorganic material, 10 to 50% by weight of an organic vehicle, 5 to 20% by weight of a polymer material in an organic vehicle, and 80% of a solvent.
~ 95% by weight, and the low degree of polymerization resin in the polymer material is 3
The composition may be 0 to 70% by weight and the high-polymerization degree resin is 30 to 70% by weight.

【0015】また、無機質材料の粉末に、低重合度樹脂
と溶剤とからなる有機質ビークルを混合したのち、高重
合度樹脂と溶剤とからなる有機質ビークルを混合するこ
とを特徴とする多層配線基板用ペーストの製造方法が提
供される。
A multilayer wiring board characterized by mixing an inorganic vehicle powder with an organic vehicle composed of a low polymerization degree resin and a solvent, and then mixing an organic vehicle composed of a high polymerization degree resin and a solvent. A method of making a paste is provided.

【0016】[0016]

【作用】本発明においては、有機質ビークルを構成する
高分子材料が、低重合度樹脂および高重合度樹脂の混合
物からなるので、高分子材料の重合度分布を、低重合度
域および高重合度域のそれぞれにおいて広げることがで
きる。高重合度樹脂はペーストの凝集力を強める作用を
なすが、有機質ビークル中の高分子材料を全て高重合度
樹脂に置換してしまうと、ペーストの粘度が増して印刷
不能となる。そこで、低重合度樹脂を添加するのであっ
て、従来のペースト中に含まれる樹脂の平均重合度を中
心にして広い範囲から重合度を選択することができる。
つまり、従来のペーストにおけると同様の粘度およびチ
クソ性を保ちながら、ペーストの凝集力を強めることが
可能となる。
In the present invention, the polymer material constituting the organic vehicle is composed of a mixture of a low-polymerization degree resin and a high-polymerization degree resin. Can be expanded in each of the zones. The high-polymerization degree resin has a function of strengthening the cohesive force of the paste, but if all the high-polymerization degree resin in the organic vehicle is replaced with the high-polymerization degree resin, the viscosity of the paste increases and printing becomes impossible. Therefore, since the low degree of polymerization resin is added, the degree of polymerization can be selected from a wide range centered on the average degree of polymerization of the resin contained in the conventional paste.
That is, the cohesive force of the paste can be increased while maintaining the same viscosity and thixotropy as those of the conventional paste.

【0017】[0017]

【実施例】本発明の一実施例における導電性ペースト
は、平均粒径2.0μmのAg粉末41.7重量%、平
均粒径1.8μmのガラス・セラミック粉末(日本電気
硝子社製、MLS−25)41.7重量%、バインダと
しての数平均重合度250のエチルセルローズ樹脂(日
新化成製、エトセルN−10)0.32重量%、数平均
重合度900のエチルセルローズ樹脂(日新化成製、エ
トセルN−100)0.48重量%および溶剤としての
テルピネオール15.8重量%を組成とする。
EXAMPLE An electroconductive paste in one example of the present invention is 41.7% by weight of Ag powder having an average particle size of 2.0 μm and glass-ceramic powder having an average particle size of 1.8 μm (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., MLS). -25) 41.7% by weight, ethyl cellulose resin having a number average degree of polymerization of 250 as a binder (manufactured by Nisshin Kasei, Etocel N-10) 0.32% by weight, ethyl cellulose resin having a number average degree of polymerization of 900 (Nisshin Chemical composition, Etocel N-100) 0.48% by weight and terpineol 15.8% by weight as a solvent.

【0018】これらの素材を3本ロールで混合・混練
し、ビア導体用の導電性ペーストを調製する。
These materials are mixed and kneaded by a triple roll to prepare a conductive paste for via conductors.

【0019】前記混合にさいし、数平均重合度250の
エチルセルローズ樹脂と、テルピネオールとの混合物
(第1ビークル)および数平均重合度900のエチルセ
ルローズ樹脂と、テルピネオールとの混合物(第2ビー
クル)をまず用意し、第1ビークル、Ag粉末およびガ
ラス・セラミック粉末を混合したのち、第2ビークルを
混合して混練すると、ペースト中の無機質粉末の分散性
を良好ならしめ得ることが判明した。
During the mixing, a mixture of ethyl cellulose resin having a number average degree of polymerization of 250 and terpineol (first vehicle) and a mixture of ethyl cellulose resin having a number average degree of polymerization of 900 and terpineol (second vehicle) were mixed. It was found that the dispersibility of the inorganic powder in the paste can be made good by first preparing and mixing the first vehicle, the Ag powder and the glass-ceramic powder, and then mixing and kneading the second vehicle.

【0020】本実施例の導電性ペーストの粘度、チクソ
指数および凝集力の指数となるタック値を表1に示す。
本実施例におけるペーストは、従来のビア導体用ペース
トと比較して、粘度およびチクソ指数の点でほぼ同等で
あり、しかも、タック値すなわちペースト凝集力が約
1.5倍に強化されていることがわかる。
Table 1 shows the tack, which is the viscosity, thixo index, and cohesive force index of the conductive paste of this example.
The paste in this example is substantially equivalent in viscosity and thixo index as compared with the conventional via conductor paste, and the tack value, that is, the paste cohesive force is strengthened by about 1.5 times. I understand.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】絶縁層となるガラス・セラミックグリーン
シートの原料としては、B2 3 −SiO2 −PbOガ
ラス粉末にAl2 3 を重量比で45対55の割合で混
合した組成物(日本硝子社製MLS−1000)、バイ
ンダとしてのポリビニルブチラール、可塑剤としてのブ
チルベンジルフタレートおよび溶剤としてのトルエンを
用いた。これらを混合してスラリーとなし、ドクターブ
レード法を適用してフィルム上にガラス・セラミックグ
リーンシート(以下、グリーンシートと略称する)を形
成した。
As a raw material for the glass-ceramic green sheet to be the insulating layer, a composition in which B 2 O 3 --SiO 2 --PbO glass powder was mixed with Al 2 O 3 in a weight ratio of 45:55 (Nippon Glass Co., Ltd.) MLS-1000), polyvinyl butyral as a binder, butylbenzyl phthalate as a plasticizer, and toluene as a solvent were used. These were mixed to form a slurry, and a doctor blade method was applied to form a glass-ceramic green sheet (hereinafter abbreviated as a green sheet) on the film.

【0023】このグリーンシートのビア導体形成位置
に、パンチング加工を施してビア穴を形成したのち、当
該グリーンシートの表面をメタルマスクで覆い、このメ
タルマスクを介してグリーンシートの表面上に前記導電
性ペーストを印刷した。メタルマスクはビア穴に対応し
た位置に開口を有しているので、スキージによって展延
された導電性ペーストの一部分がビア穴内に充填され
る。このとき、グリーンシートの裏面側から焼結金属お
よびろ紙を通じて真空吸引をした。
After punching is performed at the via conductor forming position of the green sheet to form a via hole, the surface of the green sheet is covered with a metal mask, and the conductive film is formed on the surface of the green sheet through the metal mask. The sex paste was printed. Since the metal mask has an opening at a position corresponding to the via hole, a part of the conductive paste spread by the squeegee is filled in the via hole. At this time, vacuum suction was performed from the back surface side of the green sheet through the sintered metal and the filter paper.

【0024】次いで、配線用導体をグリーンシート上に
形成するための印刷を施したのち、複数のグリーンシー
トを積層して熱プレスで積層体となし、これを加熱炉内
に納めて大気中でバインダを除去し、ガラス・セラミッ
クの焼成を行った。
Next, after printing for forming the wiring conductor on the green sheet, a plurality of green sheets are laminated and formed into a laminated body by hot pressing, which is placed in a heating furnace and placed in the atmosphere. The binder was removed and the glass / ceramic was fired.

【0025】導電性ペーストの印刷工程では図1の
(a)に示すように、グリーンシート12の表面をメタ
ルマスク13で覆い、メタルマスク13上に支給した導
電性ペースト14をスキージ15で展延させる。使用し
た導電性ペースト14が表1の上段に示すような特性を
有していると、図1の(b)に示す版離れ段階を経て図
1の(c)に示す状態に移行する過程で、導電性ペース
ト14のメタルマスク13からの離脱性が良好となる。
In the step of printing the conductive paste, as shown in FIG. 1A, the surface of the green sheet 12 is covered with a metal mask 13, and the conductive paste 14 provided on the metal mask 13 is spread with a squeegee 15. Let When the used conductive paste 14 has the characteristics shown in the upper part of Table 1, in the process of shifting to the state shown in FIG. 1C through the plate separating step shown in FIG. Therefore, the releasability of the conductive paste 14 from the metal mask 13 is improved.

【0026】これは、メタルマスク13を通過した導電
性ペースト14の凝集力(矢印16で示す)が粘性力
(矢印17で示す)に打ち勝った結果であり、グリーン
シート12の表面上や、ビア穴内に所定量の導電性ペー
スト14を支給して所定形状の導体を繰り返し形成する
ことが可能となる。
This is a result of the cohesive force (indicated by the arrow 16) of the conductive paste 14 passing through the metal mask 13 overcoming the viscous force (indicated by the arrow 17), on the surface of the green sheet 12 and vias. It is possible to supply a predetermined amount of the conductive paste 14 in the holes to repeatedly form a conductor having a predetermined shape.

【0027】上述した実施例で示した組成の導電性ペー
ストは、ビア導体用のみならず配線用にも使える。最小
配線幅が0.75mmの多層配線基板におけるグリーン
シート100枚に対して適用したところ、にじみや、配
線切れなどの障害は全く認められなかった。また、ビア
導体の形成においては0.05mm〜0.15mm径の
ビア穴に対し、連続的に乱れなく印刷することができ
た。
The conductive paste having the composition shown in the above-mentioned embodiment can be used not only for via conductors but also for wiring. When applied to 100 green sheets in a multilayer wiring board having a minimum wiring width of 0.75 mm, no trouble such as bleeding or broken wiring was observed. Further, in forming the via conductor, it was possible to print continuously in a via hole having a diameter of 0.05 mm to 0.15 mm without disturbance.

【0028】本発明に係るペーストおよびその製造方法
は、導電性ペーストに限定されず、グリーンシート形成
用の絶縁性ペーストにも適用できる。
The paste and the manufacturing method thereof according to the present invention are not limited to the conductive paste, but can be applied to the insulating paste for forming the green sheet.

【0029】ペースト組成物中の無機質材料は、50〜
90重量%の範囲から選択するのが好ましい。また、有
機質ビークル中の高分子材料は5〜20重量%の範囲か
ら選択できる。さらに、高分子材料中の低重合度樹脂お
よび高重合度樹脂はそれぞれ30〜70重量%の範囲か
ら選択できる。低重合度樹脂が高重合度樹脂に比べて極
端に少ないと、印刷処理がしにくくなり、逆に多すぎる
と、にじみや、だれ等が発生しやすくなる。
The inorganic material in the paste composition is 50 to 50%.
It is preferably selected from the range of 90% by weight. Further, the polymer material in the organic vehicle can be selected from the range of 5 to 20% by weight. Further, the low polymerization degree resin and the high polymerization degree resin in the polymer material can be selected from the range of 30 to 70% by weight, respectively. If the amount of the low-polymerization resin is extremely small compared to the high-polymerization resin, it becomes difficult to carry out the printing process.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上のように本発明によると、有機質ビ
ークル中の高分子材料が、低重合度樹脂と高重合度樹脂
とからなるので、重合度を広範囲に選択でき、従来にお
けると同様の粘度およびチクソ性を保持しながら、ペー
ストの凝集力を強めることができ、そのために、印刷時
におけるペーストの版裏まわり、にじみ、だれ等の障害
発生を抑え得て、多層配線基板を歩留まりよく製造する
ことができる。
As described above, according to the present invention, since the polymer material in the organic vehicle is composed of the low-polymerization resin and the high-polymerization resin, the polymerization degree can be selected in a wide range and the same as in the conventional case. While maintaining viscosity and thixotropy, it is possible to strengthen the cohesive force of the paste, and therefore, it is possible to suppress the occurrence of obstacles such as the plate back and back of the paste during printing, bleeding, dripping, etc., and to manufacture a multilayer wiring board with good yield. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る導電性ペーストを用いた印刷工程
の模式図。
FIG. 1 is a schematic diagram of a printing process using a conductive paste according to the present invention.

【図2】配線用導体およびビア導体を形成する印刷工程
の模式図。
FIG. 2 is a schematic diagram of a printing process for forming a wiring conductor and a via conductor.

【図3】マスク版を通過する印刷用ペーストの粘性力と
凝集力との関係を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between a viscous force and a cohesive force of a printing paste which passes through a mask plate.

【図4】従来の導電性ペーストを用いた印刷工程の模式
図。
FIG. 4 is a schematic diagram of a printing process using a conventional conductive paste.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12 グリーンシート 13 メタルマスク 14 導電性ペースト 16 凝集力の方向 17 粘性力の方向 12 Green sheet 13 Metal mask 14 Conductive paste 16 Direction of cohesive force 17 Direction of viscous force

フロントページの続き (72)発明者 大谷 博之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 熊谷 浩一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内(72) Inventor Hiroyuki Otani 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Koichi Kumagai, 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導体材料および絶縁材料の少なくとも一
方からなる無機質材料と、 高分子材料および溶剤を含む有機質ビークルとからなる
組成物にして、 高分子材料が低重合度樹脂と、高重合度樹脂との混合物
からなることを特徴とする多層配線基板用ペースト。
1. A composition comprising an inorganic material composed of at least one of a conductor material and an insulating material and an organic vehicle containing a polymer material and a solvent, wherein the polymer material is a low-polymerization resin and a high-polymerization resin. A paste for a multilayer wiring board, which comprises a mixture of
【請求項2】 低重合度樹脂の重合度が数平均重合度で
100以上500未満、高重合度樹脂の重合度が数平均
重合度で500以上1000以下である請求項1記載の
多層配線基板用ペースト。
2. The multilayer wiring board according to claim 1, wherein the low degree of polymerization resin has a number average degree of polymerization of 100 or more and less than 500, and the high degree of polymerization resin has a number average degree of polymerization of 500 or more and 1000 or less. Paste.
【請求項3】 高分子材料がエチルセルローズ、ポリビ
ニルブチラールおよびアクリル樹脂のうちの少なくとも
一つを含むものである請求項1記載の多層配線基板用ペ
ースト。
3. The paste for a multilayer wiring board according to claim 1, wherein the polymer material contains at least one of ethyl cellulose, polyvinyl butyral and acrylic resin.
【請求項4】 組成物中の無機質材料が50〜90重量
%、有機質ビークルが10〜50重量%であり、有機質
ビークル中の高分子材料が5〜20重量%、溶剤が80
〜95重量%であり、高分子材料中の低重合度樹脂が3
0〜70重量%、高重合度樹脂が30〜70重量%であ
る請求項1記載の多層配線基板用ペースト。
4. The composition contains 50 to 90% by weight of an inorganic material, 10 to 50% by weight of an organic vehicle, 5 to 20% by weight of a polymer material in an organic vehicle, and 80% of a solvent.
~ 95% by weight, and the low degree of polymerization resin in the polymer material is 3
The paste for a multilayer wiring board according to claim 1, wherein 0 to 70% by weight and the high-polymerization degree resin are 30 to 70% by weight.
【請求項5】 無機質材料の粉末に、低重合度樹脂と溶
剤とからなる有機質ビークルを混合したのち、高重合度
樹脂と溶剤とからなる有機質ビークルを混合することを
特徴とする多層配線基板用ペーストの製造方法。
5. A multi-layer wiring board characterized by mixing an inorganic vehicle powder with an organic vehicle composed of a low polymerization resin and a solvent, and then mixing an organic vehicle composed of a high polymerization resin and a solvent. Paste manufacturing method.
JP752595A 1995-01-20 1995-01-20 Multilayer wiring board paste Expired - Fee Related JP3630459B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP752595A JP3630459B2 (en) 1995-01-20 1995-01-20 Multilayer wiring board paste

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP752595A JP3630459B2 (en) 1995-01-20 1995-01-20 Multilayer wiring board paste

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08204342A true JPH08204342A (en) 1996-08-09
JP3630459B2 JP3630459B2 (en) 2005-03-16

Family

ID=11668203

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP752595A Expired - Fee Related JP3630459B2 (en) 1995-01-20 1995-01-20 Multilayer wiring board paste

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3630459B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP3630459B2 (en) 2005-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100462289B1 (en) Conductive paste, Ceramic multilayer substrate, and Method for manufacturing ceramic multilayer substrate
JP2004047856A (en) Conductive paste and printing method as well as manufacturing method of ceramic multilayer circuit board
JP3121822B2 (en) Conductor paste and wiring board
JPH08204342A (en) Paste for multilayer wiring board and manufacture thereof
JPH06224556A (en) Multilayer board baked at low temperature
US6846375B2 (en) Method of manufacturing multilayer ceramic wiring board and conductive paste for use
JP3231918B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic circuit board
JPH0685466A (en) Multilayer circuit board
JP3258231B2 (en) Ceramic circuit board and method of manufacturing the same
JPH0653654A (en) Multilayer circuit substrate and its manufacture
JP2002016345A (en) Conductive paste and conductive powdery composition, green sheet, multilayer ceramic circuit board and its producing method
JP3222296B2 (en) Conductive ink
JPH088505A (en) Low temperature fired ceramic circuit board and manufacture thereof
JPH08134388A (en) Electrically conductive ink
JP2004241432A (en) Multilayered ceramic board and its manufacturing method
JPH06313137A (en) Conductive ink
JPH08242049A (en) Conductive paste for multilayer wiring board
JPS60167489A (en) Method of producing ceramic circuit board
JPH10200227A (en) Method for manufacturing via hole conductor of low-temperature baked ceramic substrate, and conductor paste for via hole
JPH0645762A (en) Multilayer ceramic board and manufacture thereof
JPH08191177A (en) Via conducting paste and its manufacture
JP2000353877A (en) Multilayer circuit board and its manufacture
JP2001267742A (en) Method of manufacturing ceramic multilayer board, and conductor paste used for the same
JPH05194895A (en) Gold ink composition
JP2001068813A (en) Ceramic wiring board and its manufacture

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040302

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040506

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20041116

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20041214

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071224

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081224

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091224

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees