JPH0820337B2 - 偏波無依存干渉型反射光測定装置 - Google Patents
偏波無依存干渉型反射光測定装置Info
- Publication number
- JPH0820337B2 JPH0820337B2 JP12109690A JP12109690A JPH0820337B2 JP H0820337 B2 JPH0820337 B2 JP H0820337B2 JP 12109690 A JP12109690 A JP 12109690A JP 12109690 A JP12109690 A JP 12109690A JP H0820337 B2 JPH0820337 B2 JP H0820337B2
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- JP
- Japan
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- light
- polarization
- reflected light
- measurement
- optical fiber
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、光通信或いは光情報処理用の光部品の評価
技術、光計測技術に関し、特に無偏波光部品中の反射点
位置及び反射率を測定する装置に用いて好適なものであ
る。
技術、光計測技術に関し、特に無偏波光部品中の反射点
位置及び反射率を測定する装置に用いて好適なものであ
る。
〈従来の技術〉 従来の干渉型反射光測定装置を第３図に示す。同図に
示すように、インコヒーレント光源１から出射したイン
コヒーレント光は偏光子２を通過して直線偏光状態とな
り、偏波保持光ファイバカップラ４にピグテイルP1から
入射する。予めピグテイルP1の偏光軸は直線偏波方向に
合致させてある。偏波保持光ファイバカップラ４は、偏
波状態を保持する四つのピグテイルP1,P2,P3及びP4から
構成されている。ピグテイルP1から入射した光は偏波保
持光ファイバカップラ４を伝播中に光分岐部Ｃで測定光
又は参照光として二つピグテイルP2又はP3に分岐され
る。ピグテイルP2,P3は全反射ミラー5,測定対象物19に
それぞれ突き合わせられており、この為、参照光，測定
光は各々ピグテイルP2,P3から出射して全反射ミラー5,
測定対象物19で反射し、再び光分岐部Ｃに戻ることにな
る。更に、ピグテイルP3には円筒型電歪振動子７が巻き
付けられており、この振動子７に振動数fpの交流電流を
印加し半径方向に収縮させることにより、ピグテイルP3
を縦方向に伸縮させることができる。これにより、ピグ
テイルP3を伝播する測定光及び測定対象物19で反射した
反射光は移相変調されることになる。
示すように、インコヒーレント光源１から出射したイン
コヒーレント光は偏光子２を通過して直線偏光状態とな
り、偏波保持光ファイバカップラ４にピグテイルP1から
入射する。予めピグテイルP1の偏光軸は直線偏波方向に
合致させてある。偏波保持光ファイバカップラ４は、偏
波状態を保持する四つのピグテイルP1,P2,P3及びP4から
構成されている。ピグテイルP1から入射した光は偏波保
持光ファイバカップラ４を伝播中に光分岐部Ｃで測定光
又は参照光として二つピグテイルP2又はP3に分岐され
る。ピグテイルP2,P3は全反射ミラー5,測定対象物19に
それぞれ突き合わせられており、この為、参照光，測定
光は各々ピグテイルP2,P3から出射して全反射ミラー5,
測定対象物19で反射し、再び光分岐部Ｃに戻ることにな
る。更に、ピグテイルP3には円筒型電歪振動子７が巻き
付けられており、この振動子７に振動数fpの交流電流を
印加し半径方向に収縮させることにより、ピグテイルP3
を縦方向に伸縮させることができる。これにより、ピグ
テイルP3を伝播する測定光及び測定対象物19で反射した
反射光は移相変調されることになる。
光分岐部Ｃに戻ってきた参照光、測定光はここで結合
し、その結合光はピグテイルP4を伝播して、その光強度
が光検出部９で検出される。その結合光の干渉は、全反
射ミラー５を保持するステージ６を光軸方向に掃引して
光分岐部Ｃからそれぞれの反射位置までの光学距離が等
しくなったときに起こる。干渉光強度中には、円筒型電
歪振動子７に印加される周波数fpと全反射ミラー５の掃
引により参照光が受けるドップラシフト周波数fdとの和
周波数（fp＋fd）のビードが生じる。ドップラシフト周
波数fdは全反射ミラー５の掃引速度をｖとするとfd＝2v
/λ（λは光の波長）の関係がある。反射率はビード信
号の振幅の二乗に比例するので、周波数フィルタ13及び
二乗検波器15で周波数（fp＋fd）成分の信号を二乗検波
し、横軸を全反射ミラー５の位置、縦軸を二乗検波信号
強度に取れば、モニタ18で反射率の分布がモニタでき
る。尚、第３図中で、11は電流増幅器である。
し、その結合光はピグテイルP4を伝播して、その光強度
が光検出部９で検出される。その結合光の干渉は、全反
射ミラー５を保持するステージ６を光軸方向に掃引して
光分岐部Ｃからそれぞれの反射位置までの光学距離が等
しくなったときに起こる。干渉光強度中には、円筒型電
歪振動子７に印加される周波数fpと全反射ミラー５の掃
引により参照光が受けるドップラシフト周波数fdとの和
周波数（fp＋fd）のビードが生じる。ドップラシフト周
波数fdは全反射ミラー５の掃引速度をｖとするとfd＝2v
/λ（λは光の波長）の関係がある。反射率はビード信
号の振幅の二乗に比例するので、周波数フィルタ13及び
二乗検波器15で周波数（fp＋fd）成分の信号を二乗検波
し、横軸を全反射ミラー５の位置、縦軸を二乗検波信号
強度に取れば、モニタ18で反射率の分布がモニタでき
る。尚、第３図中で、11は電流増幅器である。
このような構成の干渉型反射光測定装置によれば光フ
ァイバ型干渉計の外乱に弱い点を信号光の位相変調と交
流成分検波により補い、光ファイバカップラの特徴であ
る過剰損のない光結合と光波面の容易な結合を生かして
高感度な反射率測定を可能にしている。
ァイバ型干渉計の外乱に弱い点を信号光の位相変調と交
流成分検波により補い、光ファイバカップラの特徴であ
る過剰損のない光結合と光波面の容易な結合を生かして
高感度な反射率測定を可能にしている。
〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、従来の干渉型反射光測定装置では無偏
波光部品或いは長い真円光ファイバのピグテイルの付い
た光部品を測定する場合、光部品の特性或いはピグテイ
ルの応力状態で光の偏光状態が変化し、反射光のうち偏
波保持光ファイバ中の参照光と同一の偏波モードを伝播
する成分が減少するため干渉光強度が低下し、反射率が
実際より低い測定されてしまう問題点があった。特に、
反射光の偏波状態が参照光のそれと完全に直交する場
合、干渉光強度成分は零となり反射点が存在しても存在
しないかのように測定されてしまうことがあった。
波光部品或いは長い真円光ファイバのピグテイルの付い
た光部品を測定する場合、光部品の特性或いはピグテイ
ルの応力状態で光の偏光状態が変化し、反射光のうち偏
波保持光ファイバ中の参照光と同一の偏波モードを伝播
する成分が減少するため干渉光強度が低下し、反射率が
実際より低い測定されてしまう問題点があった。特に、
反射光の偏波状態が参照光のそれと完全に直交する場
合、干渉光強度成分は零となり反射点が存在しても存在
しないかのように測定されてしまうことがあった。
本発明は、上記従来技術に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは光部品中に反射率測定を反
射光の偏波状態にかかわらず行える装置を提供するにあ
る。
り、その目的とするところは光部品中に反射率測定を反
射光の偏波状態にかかわらず行える装置を提供するにあ
る。
〈課題を解決するための手段〉 斯かる目的を達成する本発明の偏波無依存干渉型反射
光測定装置にかかる構成は、無偏波光部品中の反射点位
置及び反射率を測定する干渉型反射光測定装置におい
て、インコヒーレント光を出射するインコヒーレント光
源と、該光源の出射光を直線偏光にし偏波保持光ファイ
バの単一偏波モードを励起する直線偏光励起手段と、該
直線偏光を参照光及び測定光として分岐しその反射光を
結合する光分岐部、該参照光及びその反射光の偏波状態
を保持する偏波保持光ファイバ、該測定光及びその反射
光の偏光状態を制御せず前記結合光を結合時の偏光状態
のまま保持して出力する真円光ファイバとからなる光分
岐結合手段と、前記参照光を全反射する全反射ミラー
と、前記測定光を入射させ、その或る反射点で反射する
測定対象物と、前記測定対象物からの反射光に位相変調
を与える位相変調手段と、前記結合光を前記参照光の直
線偏波方向と45度をなす二つの直交成分に分離する分離
手段と、分離された二つの直交成分の光強度を検出する
二つの光強度検出手段と、二つの前記光強度中の干渉信
号成分を二乗検波する検波手段と、二つの前記二乗検波
信号を足し合わせる足し算回路とを具備したことを特徴
とする。
光測定装置にかかる構成は、無偏波光部品中の反射点位
置及び反射率を測定する干渉型反射光測定装置におい
て、インコヒーレント光を出射するインコヒーレント光
源と、該光源の出射光を直線偏光にし偏波保持光ファイ
バの単一偏波モードを励起する直線偏光励起手段と、該
直線偏光を参照光及び測定光として分岐しその反射光を
結合する光分岐部、該参照光及びその反射光の偏波状態
を保持する偏波保持光ファイバ、該測定光及びその反射
光の偏光状態を制御せず前記結合光を結合時の偏光状態
のまま保持して出力する真円光ファイバとからなる光分
岐結合手段と、前記参照光を全反射する全反射ミラー
と、前記測定光を入射させ、その或る反射点で反射する
測定対象物と、前記測定対象物からの反射光に位相変調
を与える位相変調手段と、前記結合光を前記参照光の直
線偏波方向と45度をなす二つの直交成分に分離する分離
手段と、分離された二つの直交成分の光強度を検出する
二つの光強度検出手段と、二つの前記光強度中の干渉信
号成分を二乗検波する検波手段と、二つの前記二乗検波
信号を足し合わせる足し算回路とを具備したことを特徴
とする。
〈作用〉 本発明によれば、無偏波光部品或いは長い真円光ファ
イバのピグテイルのついた光部品の反射点を干渉法を用
いて測定する場合においても、参照光を直線偏光状態に
制御し、参照光と測定対象物からの反射光を直線偏波方
向と45度をなす二つの直交成分でそれぞれ干渉させ、二
つの干渉光強度を二乗検波し、足し合わせることによ
り、反射光の偏波状態に依存せず常に一定の反射光強度
で信号強度を得ることができ、反射率を確実に測定する
ことができる。
イバのピグテイルのついた光部品の反射点を干渉法を用
いて測定する場合においても、参照光を直線偏光状態に
制御し、参照光と測定対象物からの反射光を直線偏波方
向と45度をなす二つの直交成分でそれぞれ干渉させ、二
つの干渉光強度を二乗検波し、足し合わせることによ
り、反射光の偏波状態に依存せず常に一定の反射光強度
で信号強度を得ることができ、反射率を確実に測定する
ことができる。
〈実施例〉 以下、本発明について、図面に示す実施例を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図に本発明の一実施例を示す。同図に示すように
インコヒーレント光源１から出射したコヒーレント光は
偏光子２を通過して直線偏光状態となり、光ファイバカ
ップラ３にピグテイルP1から入射する。予めピグテイル
P1の偏光軸は直線偏波方向に合致させてある。ここで、
光ファイバカップラ３は、偏波保持光ファイバよりなる
ピグテイルP1及びP2と、真円光ファイバよりなるピグテ
イルP3及びP4で構成されている。また、ピグテイルP4の
長さは数センチメートルであり、応力が加わらないよう
にされている。ピグテイルP1に入射した光は偏波保持光
ファイバカップラ４を伝播中に光分岐部Ｃで測定光又は
参照光として二つピグテイルP2又はP3に分岐される。ピ
グテイルP2は全反射ミラー５に突き合わせられており、
この為、参照光はピグテイルP2から出射して全反射ミラ
ー５で全反射し、再びピグテイルP2を伝播して光分岐部
Ｃに戻ることになる。また、ピグテイルP3は測定対象物
19に突き合わせられており、この為、測定光はピグテイ
ルP3から出射して測定対象物19に入射しその中のある点
で反射し、再びピグテイルP3を伝播して光分岐部Ｃに戻
ることになる。ここで、参照光は偏波保持光ファイバで
あるピグティルP2を伝播するので直線偏光状態が保持さ
れるのに対して、測定光は真円光ファイバであるピグテ
イルP3を伝播するので、ピグテイルP3の応力分布等によ
り偏波状態が変化するとその変化した偏波状態で伝播す
ることになる。更に、ピグテイルP3には円筒型電歪振動
子７が巻き付けられており、この振動子７に振動数fpの
交流電流を印加し半径方向に収縮させることにより、ピ
グテイルP3を縦方向に伸縮させることができる。これに
より、ピグテイルP3を伝播する測定光測定対象物19で反
射した反射光は位相変調されることになる。
インコヒーレント光源１から出射したコヒーレント光は
偏光子２を通過して直線偏光状態となり、光ファイバカ
ップラ３にピグテイルP1から入射する。予めピグテイル
P1の偏光軸は直線偏波方向に合致させてある。ここで、
光ファイバカップラ３は、偏波保持光ファイバよりなる
ピグテイルP1及びP2と、真円光ファイバよりなるピグテ
イルP3及びP4で構成されている。また、ピグテイルP4の
長さは数センチメートルであり、応力が加わらないよう
にされている。ピグテイルP1に入射した光は偏波保持光
ファイバカップラ４を伝播中に光分岐部Ｃで測定光又は
参照光として二つピグテイルP2又はP3に分岐される。ピ
グテイルP2は全反射ミラー５に突き合わせられており、
この為、参照光はピグテイルP2から出射して全反射ミラ
ー５で全反射し、再びピグテイルP2を伝播して光分岐部
Ｃに戻ることになる。また、ピグテイルP3は測定対象物
19に突き合わせられており、この為、測定光はピグテイ
ルP3から出射して測定対象物19に入射しその中のある点
で反射し、再びピグテイルP3を伝播して光分岐部Ｃに戻
ることになる。ここで、参照光は偏波保持光ファイバで
あるピグティルP2を伝播するので直線偏光状態が保持さ
れるのに対して、測定光は真円光ファイバであるピグテ
イルP3を伝播するので、ピグテイルP3の応力分布等によ
り偏波状態が変化するとその変化した偏波状態で伝播す
ることになる。更に、ピグテイルP3には円筒型電歪振動
子７が巻き付けられており、この振動子７に振動数fpの
交流電流を印加し半径方向に収縮させることにより、ピ
グテイルP3を縦方向に伸縮させることができる。これに
より、ピグテイルP3を伝播する測定光測定対象物19で反
射した反射光は位相変調されることになる。
光分岐部Ｃに戻ってきた参照光、測定光はここで結合
し、結合光はピグテイルP4を伝播する。ピグテイルP4は
短いので、結合光は結合時の偏波状態を保持したまま偏
光ビームスプリッタ８に出射される。この偏光ビームス
プリッタ８は参照光の直線偏光に対して45度傾けられて
おり、結合光を参照光の直線偏光方向に対して45度をな
す二つの直線成分に分離する。二つの直交成分はそれぞ
れ光検出器9,10により検出され、電流増幅器11,12で増
幅される。二つの信号中の干渉成分は電歪振動子７の振
動周波数fp及び全反射ミラー５の掃引による参照光が受
けるドップラシフト周波数fdとの和周波数（fp＋fd）を
中心周波数にセットした周波数フィルタ13、14を介し
て、二乗検波器15、16により二乗検波される。この二つ
の検波信号は足し算回路17により足し合わされ、ステー
ジ６により全反射ミラー５を掃引しながらモニタ18で観
察することにより反射率分布が測定される。
し、結合光はピグテイルP4を伝播する。ピグテイルP4は
短いので、結合光は結合時の偏波状態を保持したまま偏
光ビームスプリッタ８に出射される。この偏光ビームス
プリッタ８は参照光の直線偏光に対して45度傾けられて
おり、結合光を参照光の直線偏光方向に対して45度をな
す二つの直線成分に分離する。二つの直交成分はそれぞ
れ光検出器9,10により検出され、電流増幅器11,12で増
幅される。二つの信号中の干渉成分は電歪振動子７の振
動周波数fp及び全反射ミラー５の掃引による参照光が受
けるドップラシフト周波数fdとの和周波数（fp＋fd）を
中心周波数にセットした周波数フィルタ13、14を介し
て、二乗検波器15、16により二乗検波される。この二つ
の検波信号は足し算回路17により足し合わされ、ステー
ジ６により全反射ミラー５を掃引しながらモニタ18で観
察することにより反射率分布が測定される。
この際の干渉信号の検出方法について第２図を参照し
て説明する。
て説明する。
第２図に示すように、偏光ビームスプリッタ８により
分離される二つの直交偏波軸をｘ軸及びｙ軸とする。Er
は参照光の複素振幅、Esは測定対象物19内の或る反射点
からの反射光の複素振幅、θは反射光の偏波方向がｘ軸
となす角度、Ex及びEyはそれぞれ偏光ビームスプリッタ
８で分離した直交成分の複素振幅である。
分離される二つの直交偏波軸をｘ軸及びｙ軸とする。Er
は参照光の複素振幅、Esは測定対象物19内の或る反射点
からの反射光の複素振幅、θは反射光の偏波方向がｘ軸
となす角度、Ex及びEyはそれぞれ偏光ビームスプリッタ
８で分離した直交成分の複素振幅である。
ここで、Erはドップラシフト周波数fdを、Esは位相変
調周波数fp及び変調度φを考慮してそれぞれ次式で表さ
れる。
調周波数fp及び変調度φを考慮してそれぞれ次式で表さ
れる。
Er＝Er0ej(ωt+2πfdt) Es＝rEs0ej(ωt+φcos2πfpt) ここで、Er0は参照光の電界振幅、Es0は測定対象物へ
の入射光の電界振幅、ｒは反射点の電界振幅に対する反
射率、ωは光の角速度である。
の入射光の電界振幅、ｒは反射点の電界振幅に対する反
射率、ωは光の角速度である。
ここで、Ex及びEyはそれぞれ次式で示される。
Ex＝Ercos45°＋Escosθ Ey＝Ersin45°＋Essinθ 従って、Exは次のように表せることになる。
これにより、ｘ軸で検出される光強度Ixは次式で示さ
れる。
れる。
ここで、第３項の交流成分は次式のように示される。
ここで、Jn（φ）はｎ次の第１種ベッセル関数であ
る。従って、ｎ＝１である周波数成分（fp＋fd）の二乗
検波出力Px.fp+fdは次のよう示される。
る。従って、ｎ＝１である周波数成分（fp＋fd）の二乗
検波出力Px.fp+fdは次のよう示される。
のよう示される。
Px.fp+fd＝2r2cos2θEro 2Eso 2J1（φ）２ 同様に、二乗検波出力Py.fp+fdは次のよう示される。
Py.fp+fd＝2r2sin2θEro 2Eso 2J1（φ）２ 従って、両出力の和Pfp+fdは次のようになる。
Pfp+fd＝Px.fp+fd＋Py.fp+fd ＝2r2（sin2θ＋cos2θ） ×Ero 2Eso 2J1（φ）２ ＝2r2Ero 2Eso 2J1（φ）２ この結果から明らかなように、両出力の和Pfp+fdはθ
に依存しない。従って、予め、反射率ｒの既知のものを
測定し、 2Ero 2Eso 2J1（φ）２の値を校正しておけば、反射率ｒ
を両出力の和Pfp+fdから求めることが可能である。
に依存しない。従って、予め、反射率ｒの既知のものを
測定し、 2Ero 2Eso 2J1（φ）２の値を校正しておけば、反射率ｒ
を両出力の和Pfp+fdから求めることが可能である。
尚、上記実施例では、測定対象物19の或る一点の反射
点からの反射光について説明したが、全反射ミラー５を
ステージ６で掃引しながら、上記のように各反射点の出
力を検出することにより測定対処物19の全体的な反射率
分布を測定することが可能である。
点からの反射光について説明したが、全反射ミラー５を
ステージ６で掃引しながら、上記のように各反射点の出
力を検出することにより測定対処物19の全体的な反射率
分布を測定することが可能である。
〈発明の効果〉 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように、本
発明は偏波保持光ファイバ及び真円光ファイバよりなる
光ファイバカップラを使用して参照光の偏波状態を直線
偏光状態に保持すると共に測定光の偏光状態が途中で変
化しもそのままの偏光状態で出力を減少させることな
く、測定対象物からの反射光を参照光の直線偏光方向と
45度をなす二つの直交成分で干渉させ、その干渉光強度
を二乗検波して足し合わせることにより、測定対象物で
ある光部品の特性が変化してその偏波状態が変わっても
確実に反射率の計測が可能となる。
発明は偏波保持光ファイバ及び真円光ファイバよりなる
光ファイバカップラを使用して参照光の偏波状態を直線
偏光状態に保持すると共に測定光の偏光状態が途中で変
化しもそのままの偏光状態で出力を減少させることな
く、測定対象物からの反射光を参照光の直線偏光方向と
45度をなす二つの直交成分で干渉させ、その干渉光強度
を二乗検波して足し合わせることにより、測定対象物で
ある光部品の特性が変化してその偏波状態が変わっても
確実に反射率の計測が可能となる。
第１図は本発明の偏波無依存干渉型反射光測定装置に係
る一実施例の構成図、第２図は偏光ビームスプリッタに
おける直交成分の干渉示す説明図、第３図は従来の干渉
型反射光測定装置の構成図である。 図面中、 １はインコヒーレント光源、２は偏光子、３は光ファイ
バカップラ、４は偏光保持光ファイバカップラ、５は全
反射ミラー、６はステージ、７は円筒型電歪振動子、８
は偏光ビームスプリッタ、9,10は光検出器、11,12は電
流増幅器、13,14は周波数フィルタ、15,16は二乗検波
器、17は足し算器、18はモニタ、P1,P2,P3,P4はピグテ
イル、Ｃは光分岐部である。
る一実施例の構成図、第２図は偏光ビームスプリッタに
おける直交成分の干渉示す説明図、第３図は従来の干渉
型反射光測定装置の構成図である。 図面中、 １はインコヒーレント光源、２は偏光子、３は光ファイ
バカップラ、４は偏光保持光ファイバカップラ、５は全
反射ミラー、６はステージ、７は円筒型電歪振動子、８
は偏光ビームスプリッタ、9,10は光検出器、11,12は電
流増幅器、13,14は周波数フィルタ、15,16は二乗検波
器、17は足し算器、18はモニタ、P1,P2,P3,P4はピグテ
イル、Ｃは光分岐部である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野田 寿一 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−207927（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−242435（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】無偏波光部品中の反射点位置及び反射率を
測定する干渉型反射光測定装置において、 インコヒーレント光を出射するインコヒーレント光源
と、 該光源の出射光を直線偏光にし偏波保持光ファイバの単
一偏波モードを励起する直線偏光励起手段と、 該直線偏光を参照光及び測定光として分岐しその反射光
を結合する光分岐部、該参照光及びその反射光の偏波状
態を保持する偏波保持光ファイバ、該測定光及びその反
射光の偏光状態を制御せず前記結合光を結合時の偏光状
態のまま保持して出力する真円光ファイバとからなる光
分岐結合手段と、 前記参照光を全反射する全反射ミラーと、 前記測定光を入射させ、その或る反射点で反射する測定
対象物と、 前記測定対象物からの反射光に位相変調を与える位相変
調手段と、 前記結合光を前記参照光の直線偏波方向と45度をなす二
つの直交成分に分離する分離手段と、 分離された二つの直交成分の光強度を検出する二つの光
強度検出手段と、 二つの前記光強度中の干渉信号成分を二乗検波する検波
手段と、 二つの前記二乗検波信号を足し合わせる足し算手段とを
具備したことを特徴とする偏波無依存干渉型反射光測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12109690A JPH0820337B2 (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 | 偏波無依存干渉型反射光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12109690A JPH0820337B2 (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 | 偏波無依存干渉型反射光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0419535A JPH0419535A (ja) | 1992-01-23 |
| JPH0820337B2 true JPH0820337B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=14802780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12109690A Expired - Lifetime JPH0820337B2 (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 | 偏波無依存干渉型反射光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820337B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5268741A (en) * | 1992-01-31 | 1993-12-07 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for calibrating a polarization independent optical coherence domain reflectometer |
-
1990
- 1990-05-14 JP JP12109690A patent/JPH0820337B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0419535A (ja) | 1992-01-23 |
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