JPH08201370A - 微量水分の測定方法 - Google Patents
微量水分の測定方法Info
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
０．１〜１０ｐｐｍ程度の微量の水分を含有するアンモ
ニアガス中の微量水分を高い精度で測定する方法を提供
する。 【構成】 微量水分を含むアンモニアガスを、貴金属触
媒を用いて熱分解し、窒素と水素と水分とからなる分解
混合ガスとし、前記分解混合ガス中の水分を測定するア
ンモニアガス中の微量水分の測定方法。
ニアガス中の微量水分を高い精度で測定する方法を提供
する。 【構成】 微量水分を含むアンモニアガスを、貴金属触
媒を用いて熱分解し、窒素と水素と水分とからなる分解
混合ガスとし、前記分解混合ガス中の水分を測定するア
ンモニアガス中の微量水分の測定方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造分野等にお
いて用いられる高純度アンモニアガスの純度測定方法に
関し、更に詳しくは、上記アンモニアガスに含まれる微
量水分の測定方法に関する。
いて用いられる高純度アンモニアガスの純度測定方法に
関し、更に詳しくは、上記アンモニアガスに含まれる微
量水分の測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、アンモニアガス中に含まれる水分
の測定方法としては、ガスクロマトグラフィー法（ＧＣ
法）、赤外線吸収スペクトル法（ＦＴ−ＩＲ法）、ＳＥ
ＭＩスタンダード（ＳＥＭＩジャパンスタンダード刊
行）等によるアンモニアガス熱分解法等が知られてい
る。
の測定方法としては、ガスクロマトグラフィー法（ＧＣ
法）、赤外線吸収スペクトル法（ＦＴ−ＩＲ法）、ＳＥ
ＭＩスタンダード（ＳＥＭＩジャパンスタンダード刊
行）等によるアンモニアガス熱分解法等が知られてい
る。
【０００３】ＧＣ法は、検出下限界が約１０ｐｐｍであ
るので、微量又は極微量の水分の測定には適当ではな
い。ＦＴ−ＩＲ法では、ＮＨの吸収ノイズが入るので、
ＯＨの伸縮振動に基づく水分の分析に誤差が入り易く、
アンモニアガス中に含まれる水分が微量であればある
程、分析精度の信頼性に欠ける欠点があった。
るので、微量又は極微量の水分の測定には適当ではな
い。ＦＴ−ＩＲ法では、ＮＨの吸収ノイズが入るので、
ＯＨの伸縮振動に基づく水分の分析に誤差が入り易く、
アンモニアガス中に含まれる水分が微量であればある
程、分析精度の信頼性に欠ける欠点があった。
【０００４】ＳＥＭＩスタンダード（ＳＥＭＩ Ｃ３、
１２−９４）による方法は、水分を含むアンモニアガス
を約９５０℃に加熱して、ニッケル系触媒を充填した触
媒槽に通し、アンモニアを熱分解して窒素と水素に分解
したうえで、分解されなかった水分を、露点を計測する
ことにより測定する方法である。
１２−９４）による方法は、水分を含むアンモニアガス
を約９５０℃に加熱して、ニッケル系触媒を充填した触
媒槽に通し、アンモニアを熱分解して窒素と水素に分解
したうえで、分解されなかった水分を、露点を計測する
ことにより測定する方法である。
【０００５】しかし、ＳＥＭＩスタンダードによる方法
では、ニッケル系触媒中に含まれる酸化ニッケルが水素
によって還元され、その結果、生成した水分も同時に測
定されるので、元来アンモニアガスに含まれていた水分
よりも常に高い水分量を示すこととなる問題があった。
従って、現在、特に半導体製造分野で必要とされる高純
度アンモニアガス中の０．１〜１０ｐｐｍ程度の微量の
水分を簡単かつ正確に測定する方法は知られていない。
では、ニッケル系触媒中に含まれる酸化ニッケルが水素
によって還元され、その結果、生成した水分も同時に測
定されるので、元来アンモニアガスに含まれていた水分
よりも常に高い水分量を示すこととなる問題があった。
従って、現在、特に半導体製造分野で必要とされる高純
度アンモニアガス中の０．１〜１０ｐｐｍ程度の微量の
水分を簡単かつ正確に測定する方法は知られていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑
み、０．１〜１０ｐｐｍ程度の微量の水分を含有するア
ンモニアガス中の水分を高い精度で測定する方法を提供
することを目的とするものである。
み、０．１〜１０ｐｐｍ程度の微量の水分を含有するア
ンモニアガス中の水分を高い精度で測定する方法を提供
することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、微量水
分を含むアンモニアガスを、貴金属触媒を用いて熱分解
し、窒素と水素と水分とからなる分解混合ガスとし、前
記分解混合ガス中の水分を測定するところにある。貴金
属触媒は、本来実質的に酸化物を含むことがないため、
上記ニッケル系触媒を用いた場合のように水素還元によ
り水分を生成することがなく、アンモニウムガス中に含
まれている微量水分のみを測定することができる。
分を含むアンモニアガスを、貴金属触媒を用いて熱分解
し、窒素と水素と水分とからなる分解混合ガスとし、前
記分解混合ガス中の水分を測定するところにある。貴金
属触媒は、本来実質的に酸化物を含むことがないため、
上記ニッケル系触媒を用いた場合のように水素還元によ
り水分を生成することがなく、アンモニウムガス中に含
まれている微量水分のみを測定することができる。
【０００８】以下に、本発明の実施態様を図１を用いて
具体的に説明する。アンモニアガスボンベ１を出たアン
モニアガスは、減圧弁２によって、０．１〜３ｋｇ／ｃ
ｍ2 の所定圧力に調整され、流量指示計３で所定流量、
即ち、空間速度（ＳＶ）が３００〜１０００ｈｒ-1の範
囲に調節され、触媒槽４に入る。触媒槽４には、６００
〜１０００℃、好ましくは７００〜１０００℃に加熱さ
れた貴金属触媒が充填してあり、アンモニアガスは触媒
槽４を通過する間に、熱分解される。上記熱分解によ
り、窒素、水素及び水分の３成分となった混合ガスは、
冷却装置５で冷却され、水分測定装置６に導かれ、水分
が測定される。
具体的に説明する。アンモニアガスボンベ１を出たアン
モニアガスは、減圧弁２によって、０．１〜３ｋｇ／ｃ
ｍ2 の所定圧力に調整され、流量指示計３で所定流量、
即ち、空間速度（ＳＶ）が３００〜１０００ｈｒ-1の範
囲に調節され、触媒槽４に入る。触媒槽４には、６００
〜１０００℃、好ましくは７００〜１０００℃に加熱さ
れた貴金属触媒が充填してあり、アンモニアガスは触媒
槽４を通過する間に、熱分解される。上記熱分解によ
り、窒素、水素及び水分の３成分となった混合ガスは、
冷却装置５で冷却され、水分測定装置６に導かれ、水分
が測定される。
【０００９】本発明において用いられる貴金属触媒とし
ては特に限定されず、例えば、パラジウム、ルテニウ
ム、白金、オスミウム、イリジウム、ロジウム等を挙げ
ることができ、なかでも、アンモニアを実質的にすべて
分解することから、パラジウム、ルテニウム、白金が好
ましい。
ては特に限定されず、例えば、パラジウム、ルテニウ
ム、白金、オスミウム、イリジウム、ロジウム等を挙げ
ることができ、なかでも、アンモニアを実質的にすべて
分解することから、パラジウム、ルテニウム、白金が好
ましい。
【００１０】上記貴金属触媒としてパラジウムを用いる
場合は、例えば、パラジウム０．５重量％をアルミナ、
シリカ等に担持させたもの等の市販のパラジウム触媒を
用いることができる。上記貴金属触媒としてルテニウム
を用いる場合は、例えば、ルテニウム０．５重量％をア
ルミナ、シリカ等に担持させたもの等の市販のルテニウ
ム触媒を用いることができる。
場合は、例えば、パラジウム０．５重量％をアルミナ、
シリカ等に担持させたもの等の市販のパラジウム触媒を
用いることができる。上記貴金属触媒としてルテニウム
を用いる場合は、例えば、ルテニウム０．５重量％をア
ルミナ、シリカ等に担持させたもの等の市販のルテニウ
ム触媒を用いることができる。
【００１１】上記水分測定装置６は特に限定されず、例
えば、水晶発振式水分計、静電容量式水分計、光学式露
点計、赤外分光光度計等の公知のものを使用することが
でき、なかでも、測定の簡便さ、正確さ等の見地から、
光学式露点計、赤外分光光度計が好ましい。
えば、水晶発振式水分計、静電容量式水分計、光学式露
点計、赤外分光光度計等の公知のものを使用することが
でき、なかでも、測定の簡便さ、正確さ等の見地から、
光学式露点計、赤外分光光度計が好ましい。
【００１２】本発明は、アンモニアガスを熱分解すると
きに、ニッケル系触媒に代えて、パラジウム、ルテニウ
ム、白金、オスミウム、イリジウム、ロジウム等の貴金
属触媒を用いるので、ニッケル系触媒を用いた場合のよ
うに水素還元によってアンモニアガス由来以外の水分を
生成することがなく、アンモニアガス中に含まれている
水分のみを測定することができる。
きに、ニッケル系触媒に代えて、パラジウム、ルテニウ
ム、白金、オスミウム、イリジウム、ロジウム等の貴金
属触媒を用いるので、ニッケル系触媒を用いた場合のよ
うに水素還元によってアンモニアガス由来以外の水分を
生成することがなく、アンモニアガス中に含まれている
水分のみを測定することができる。
【００１３】
【実施例】以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説
明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるもの
ではない。
明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるもの
ではない。
【００１４】実施例１ 予め、ガスクロマトグラフィー法により水分含有量を５
０ｐｐｍと測定されたアンモニアガスを、加圧精留及び
吸着剤による水分除去を交互に数回繰り返して得られた
実質的に水分を含まない無水アンモニアガスを用いて５
倍に希釈し、水分１０ｐｐｍを含むアンモニアガスを調
製した。このガスを０．１Ｎｌ／ｍｉｎ（ＳＶ＝３００
ｈｒ-1）の流量で、パラジウムを０．５重量％担持させ
た触媒２０ｇを均一充填し、９００℃に加熱した触媒槽
に導入した。アンモニアの熱分解を行った後、分解ガス
を光学ミラー式露点計に導き分解ガスの露点を測定した
ところ、−６５．７℃で、水分は４．８ｐｐｍと計測さ
れた。アンモニア分解ガスはその体積が分解前の体積の
２倍量となることから、アンモニアガス中の水分に換算
すると９．６ｐｐｍとなり、高い精度で測定された。
０ｐｐｍと測定されたアンモニアガスを、加圧精留及び
吸着剤による水分除去を交互に数回繰り返して得られた
実質的に水分を含まない無水アンモニアガスを用いて５
倍に希釈し、水分１０ｐｐｍを含むアンモニアガスを調
製した。このガスを０．１Ｎｌ／ｍｉｎ（ＳＶ＝３００
ｈｒ-1）の流量で、パラジウムを０．５重量％担持させ
た触媒２０ｇを均一充填し、９００℃に加熱した触媒槽
に導入した。アンモニアの熱分解を行った後、分解ガス
を光学ミラー式露点計に導き分解ガスの露点を測定した
ところ、−６５．７℃で、水分は４．８ｐｐｍと計測さ
れた。アンモニア分解ガスはその体積が分解前の体積の
２倍量となることから、アンモニアガス中の水分に換算
すると９．６ｐｐｍとなり、高い精度で測定された。
【００１５】実施例２ 実施例１で用いた水分１０ｐｐｍのアンモニアガスを、
無水アンモニアガスにて希釈し、水分４ｐｐｍを含むア
ンモニアガスを調製した。このガスを０．３Ｎｌ／ｍｉ
ｎ（ＳＶ＝９００ｈｒ-1）の流量で、ルテニウムを０．
５重量％担持させた触媒２５ｇを均一充填し、８５０℃
に加熱した触媒槽に導入した。アンモニアの熱分解を行
った後、分解ガスを光学ミラー式露点計に導き分解ガス
の露点を測定したところ、−７１．７℃で、水分は２．
０ｐｐｍと計測された。アンモニア分解ガスはその体積
が分解前の体積の２倍量となることから、アンモニアガ
ス中の水分に換算すると４．０ｐｐｍであった。
無水アンモニアガスにて希釈し、水分４ｐｐｍを含むア
ンモニアガスを調製した。このガスを０．３Ｎｌ／ｍｉ
ｎ（ＳＶ＝９００ｈｒ-1）の流量で、ルテニウムを０．
５重量％担持させた触媒２５ｇを均一充填し、８５０℃
に加熱した触媒槽に導入した。アンモニアの熱分解を行
った後、分解ガスを光学ミラー式露点計に導き分解ガス
の露点を測定したところ、−７１．７℃で、水分は２．
０ｐｐｍと計測された。アンモニア分解ガスはその体積
が分解前の体積の２倍量となることから、アンモニアガ
ス中の水分に換算すると４．０ｐｐｍであった。
【００１６】実施例３ 実施例１で用いた水分１０ｐｐｍのアンモニアガスを、
無水アンモニアガスにて希釈し、水分１ｐｐｍを含むア
ンモニアガスを調製した。このガスを０．３Ｎｌ／ｍｉ
ｎ（ＳＶ＝９００ｈｒ-1）の流量で、ルテニウムを０．
５重量％担持させた触媒２８ｇを均一充填し、９５０℃
に加熱した触媒槽に導入した。アンモニアの熱分解を行
った後、分解ガスを光学ミラー式露点計に導き分解ガス
の露点を測定したところ、−７９．２℃であった。実施
例１と同様にして、アンモニアガス中の水分に換算した
ところ１．２ｐｐｍであった。
無水アンモニアガスにて希釈し、水分１ｐｐｍを含むア
ンモニアガスを調製した。このガスを０．３Ｎｌ／ｍｉ
ｎ（ＳＶ＝９００ｈｒ-1）の流量で、ルテニウムを０．
５重量％担持させた触媒２８ｇを均一充填し、９５０℃
に加熱した触媒槽に導入した。アンモニアの熱分解を行
った後、分解ガスを光学ミラー式露点計に導き分解ガス
の露点を測定したところ、−７９．２℃であった。実施
例１と同様にして、アンモニアガス中の水分に換算した
ところ１．２ｐｐｍであった。
【００１７】実施例４ 予め、実質的に水分を含まない無水窒素ガスを拡散管式
水分発生装置に導入し水分含有量１０ｐｐｍの窒素ガス
を得、これをフーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ）
の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸縮振動に基
づく３７４０ｃｍ-1付近の吸光度を測定した。吸光度
は、０．０１６０と計測され、これにより一点検量線を
作成した。一方、実施例１で用いた水分１０ｐｐｍのア
ンモニウムガスを、無水アンモニウムガスにて希釈し、
水分４ｐｐｍを含むアンモニウムガスを調製した。この
ガスを、０．３Ｎｌ／分（ＳＶ＝９００ｈ-1）の流量
で、ルテニウムを０．５重量％担持させた触媒２５ｇ均
一充填し、８５０℃に加熱した触媒槽に導入した。アン
モニアの熱分解を行った後、分解ガスをフーリエ変換赤
外分光装置の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸
縮振動に基づく３７４０ｃｍ-1付近の吸光度を測定した
ところ、０．００３２と計測された。検量線からその時
のガス中水分は２．０ｐｐｍと定量された。アンモニウ
ム分解ガスはその体積が分解前の体積の２倍量となるの
で、アンモニウムガス中の水分に換算すると４．０ｐｐ
ｍとなり、供試ガスの水分とよい一致をみた。
水分発生装置に導入し水分含有量１０ｐｐｍの窒素ガス
を得、これをフーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ）
の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸縮振動に基
づく３７４０ｃｍ-1付近の吸光度を測定した。吸光度
は、０．０１６０と計測され、これにより一点検量線を
作成した。一方、実施例１で用いた水分１０ｐｐｍのア
ンモニウムガスを、無水アンモニウムガスにて希釈し、
水分４ｐｐｍを含むアンモニウムガスを調製した。この
ガスを、０．３Ｎｌ／分（ＳＶ＝９００ｈ-1）の流量
で、ルテニウムを０．５重量％担持させた触媒２５ｇ均
一充填し、８５０℃に加熱した触媒槽に導入した。アン
モニアの熱分解を行った後、分解ガスをフーリエ変換赤
外分光装置の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸
縮振動に基づく３７４０ｃｍ-1付近の吸光度を測定した
ところ、０．００３２と計測された。検量線からその時
のガス中水分は２．０ｐｐｍと定量された。アンモニウ
ム分解ガスはその体積が分解前の体積の２倍量となるの
で、アンモニウムガス中の水分に換算すると４．０ｐｐ
ｍとなり、供試ガスの水分とよい一致をみた。
【００１８】比較例１ 実施例１で用いた水分１０ｐｐｍのアンモニアガスを、
０．１Ｎｌ／ｍｉｎ（ＳＶ＝３００ｈｒ-1）の流量で、
ニッケルを１０重量％担持させた触媒２５ｇを均一充填
し、９５０℃に加熱した触媒槽に導入した。アンモニア
の熱分解を行った後、分解ガスを光学ミラー式露点計に
導き分解ガスの露点を測定したところ、−２０℃以上で
あった。実施例１と同様にして、アンモニアガス中の水
分に換算したところ２０００ｐｐｍ以上であった。
０．１Ｎｌ／ｍｉｎ（ＳＶ＝３００ｈｒ-1）の流量で、
ニッケルを１０重量％担持させた触媒２５ｇを均一充填
し、９５０℃に加熱した触媒槽に導入した。アンモニア
の熱分解を行った後、分解ガスを光学ミラー式露点計に
導き分解ガスの露点を測定したところ、−２０℃以上で
あった。実施例１と同様にして、アンモニアガス中の水
分に換算したところ２０００ｐｐｍ以上であった。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、０．１〜１０ｐｐｍ程度の微
量水分を含有するアンモニアガスを、貴金属触媒を用い
て熱分解し、分解混合ガス中の水分を測定するので、微
量水分を高い精度で測定することができる。
量水分を含有するアンモニアガスを、貴金属触媒を用い
て熱分解し、分解混合ガス中の水分を測定するので、微
量水分を高い精度で測定することができる。
【図１】本発明の微量水分の測定方法の概略図。
１ アンモニアガスボンベ ２ 減圧弁 ３ 流量指示計 ４ 触媒槽 ５ 冷却装置 ６ 水分測定装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年６月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、微量水
分を含むアンモニアガスを、貴金属触媒を用いて熱分解
し、窒素と水素と水分とからなる分解混合ガスとし、前
記分解混合ガス中の水分を測定するところにある。貴金
属触媒は、本来実質的に酸化物を含むことがないため、
上記ニッケル系触媒を用いた場合のように水素還元によ
り水分を生成することがなく、アンモニアガス中に含ま
れている微量水分のみを測定することができる。
分を含むアンモニアガスを、貴金属触媒を用いて熱分解
し、窒素と水素と水分とからなる分解混合ガスとし、前
記分解混合ガス中の水分を測定するところにある。貴金
属触媒は、本来実質的に酸化物を含むことがないため、
上記ニッケル系触媒を用いた場合のように水素還元によ
り水分を生成することがなく、アンモニアガス中に含ま
れている微量水分のみを測定することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】実施例４ 予め、実質的に水分を含まない無水窒素ガスを拡散管式
水分発生装置に導入し水分含有量１０ｐｐｍの窒素ガス
を得、これをフーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ）
の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸縮振動に基
づく３７４０ｃｍ−１付近の吸光度を測定した。吸光度
は、０．０１６０と計測され、これにより一点検量線を
作成した。一方、実施例１で用いた水分１０ｐｐｍのア
ンモニアガスを、無水アンモニアガスにて希釈し、水分
４ｐｐｍを含むアンモニアガスを調製した。このガス
を、０．３Ｎｌ／分（ＳＶ＝９００ｈ−１）の流量で、
ルテニウムを０．５重量％担持させた触媒２５ｇ均一充
填し、８５０℃に加熱した触媒槽に導入した。アンモニ
アの熱分解を行った後、分解ガスをフーリエ変換赤外分
光装置の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸縮振
動に基づく３７４０ｃｍ−１付近の吸光度を測定したと
ころ、０．００３２と計測された。検量線からその時の
ガス中水分は２．０ｐｐｍと定量された。アンモニア分
解ガスはその体積が分解前の体積の２倍量となるので、
アンモニアガス中の水分に換算すると４．０ｐｐｍとな
り、供試ガスの水分とよい一致をみた。
水分発生装置に導入し水分含有量１０ｐｐｍの窒素ガス
を得、これをフーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ）
の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸縮振動に基
づく３７４０ｃｍ−１付近の吸光度を測定した。吸光度
は、０．０１６０と計測され、これにより一点検量線を
作成した。一方、実施例１で用いた水分１０ｐｐｍのア
ンモニアガスを、無水アンモニアガスにて希釈し、水分
４ｐｐｍを含むアンモニアガスを調製した。このガス
を、０．３Ｎｌ／分（ＳＶ＝９００ｈ−１）の流量で、
ルテニウムを０．５重量％担持させた触媒２５ｇ均一充
填し、８５０℃に加熱した触媒槽に導入した。アンモニ
アの熱分解を行った後、分解ガスをフーリエ変換赤外分
光装置の１０ｍの長光路ガスセルに導き、ＯＨの伸縮振
動に基づく３７４０ｃｍ−１付近の吸光度を測定したと
ころ、０．００３２と計測された。検量線からその時の
ガス中水分は２．０ｐｐｍと定量された。アンモニア分
解ガスはその体積が分解前の体積の２倍量となるので、
アンモニアガス中の水分に換算すると４．０ｐｐｍとな
り、供試ガスの水分とよい一致をみた。
Claims (7)
- 【請求項１】 微量水分を含むアンモニアガスを、貴金
属触媒を用いて熱分解し、窒素と水素と水分とからなる
分解混合ガスとし、前記分解混合ガス中の水分を測定す
ることを特徴とするアンモニアガス中の微量水分の測定
方法。 - 【請求項２】 微量水分が、０．１〜１０ｐｐｍである
請求項１記載のアンモニアガス中の微量水分の測定方
法。 - 【請求項３】 貴金属触媒が、パラジウムである請求項
１又は２記載のアンモニアガス中の微量水分の測定方
法。 - 【請求項４】 貴金属触媒が、ルテニウムである請求項
１又は２記載のアンモニアガス中の微量水分の測定方
法。 - 【請求項５】 熱分解の温度が、６００〜１０００℃で
ある請求項１、２、３又は４記載のアンモニアガス中の
微量水分の測定方法。 - 【請求項６】 分解混合ガス中の水分測定が、光学式露
点計を用いてするものである請求項１、２、３、４又は
５記載のアンモニアガス中の微量水分の測定方法。 - 【請求項７】 分解混合ガス中の水分測定が、赤外線吸
収スペクトル法を用いてするものである請求項１、２、
３、４又は５記載のアンモニアガス中の微量水分の測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18106795A JP3703170B2 (ja) | 1994-11-22 | 1995-06-22 | 微量水分の測定方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-312542 | 1994-11-22 | ||
| JP31254294 | 1994-11-22 | ||
| JP18106795A JP3703170B2 (ja) | 1994-11-22 | 1995-06-22 | 微量水分の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201370A true JPH08201370A (ja) | 1996-08-09 |
| JP3703170B2 JP3703170B2 (ja) | 2005-10-05 |
Family
ID=26500386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18106795A Expired - Fee Related JP3703170B2 (ja) | 1994-11-22 | 1995-06-22 | 微量水分の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3703170B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1106990A2 (en) * | 1999-12-10 | 2001-06-13 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Method for measuring water concentration in ammonia |
| US6719842B2 (en) | 1998-09-07 | 2004-04-13 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Ammonia for use in manufacture of GaN-type compound semiconductor and method for manufacturing GaN-type compound semiconductor |
| US7091043B2 (en) | 1999-12-10 | 2006-08-15 | Showa Denko K.K. | Method for measuring water concentration in ammonia |
| DE102006014278B3 (de) * | 2006-03-28 | 2007-06-14 | Basf Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Gesamtsauerstoffgehaltes und/oder des Gesamtkohlenstoffgehaltes in Ammoniak |
| CN102721786A (zh) * | 2012-05-24 | 2012-10-10 | 武汉巨正环保科技有限公司 | 一种测定水中氨氮含量的方法 |
| CN103018286A (zh) * | 2012-12-11 | 2013-04-03 | 袁万德 | 痕量水份速测仪 |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP18106795A patent/JP3703170B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6719842B2 (en) | 1998-09-07 | 2004-04-13 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Ammonia for use in manufacture of GaN-type compound semiconductor and method for manufacturing GaN-type compound semiconductor |
| US7029940B2 (en) | 1998-09-07 | 2006-04-18 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Ammonia for use in manufacture of GaN-type compound semiconductor and method for manufacturing GaN-type compound semiconductor |
| EP1106990A2 (en) * | 1999-12-10 | 2001-06-13 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Method for measuring water concentration in ammonia |
| US7091043B2 (en) | 1999-12-10 | 2006-08-15 | Showa Denko K.K. | Method for measuring water concentration in ammonia |
| DE102006014278B3 (de) * | 2006-03-28 | 2007-06-14 | Basf Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Gesamtsauerstoffgehaltes und/oder des Gesamtkohlenstoffgehaltes in Ammoniak |
| US7907283B2 (en) | 2006-03-28 | 2011-03-15 | Basf Se | Method and device for determining the total oxygen content and/or the total carbon content in ammonia |
| CN102721786A (zh) * | 2012-05-24 | 2012-10-10 | 武汉巨正环保科技有限公司 | 一种测定水中氨氮含量的方法 |
| CN103018286A (zh) * | 2012-12-11 | 2013-04-03 | 袁万德 | 痕量水份速测仪 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3703170B2 (ja) | 2005-10-05 |
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