JPH08201240A - エアーサンプラ - Google Patents
エアーサンプラInfo
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- JPH08201240A JPH08201240A JP7028698A JP2869895A JPH08201240A JP H08201240 A JPH08201240 A JP H08201240A JP 7028698 A JP7028698 A JP 7028698A JP 2869895 A JP2869895 A JP 2869895A JP H08201240 A JPH08201240 A JP H08201240A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ブラウン管の製造ラインの雰囲気中のＣｕ分
析が可能となるように、エアーサンプラの排気口部から
の粉塵の排出を大きく低減させる。 【構成】 フィルタ２を備えた吸気口部３、吸引ファン
４を内蔵した本体部５及び排気口部６を有してなり、吸
気口部３から空気を吸引し、該吸気口部３のフィルタ２
で粉塵を捕集するエアーサンプラ１０において、排気口
部６に排気口用フィルタ１１を設ける。
析が可能となるように、エアーサンプラの排気口部から
の粉塵の排出を大きく低減させる。 【構成】 フィルタ２を備えた吸気口部３、吸引ファン
４を内蔵した本体部５及び排気口部６を有してなり、吸
気口部３から空気を吸引し、該吸気口部３のフィルタ２
で粉塵を捕集するエアーサンプラ１０において、排気口
部６に排気口用フィルタ１１を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、空気中の粉塵の分析の
ために空気中の粉塵を捕集するエアーサンプラに関す
る。さらに詳しくは本発明は、吸引量が大きいハイボリ
ュームエアーサンプラであって、エアーサンプラに内蔵
された吸引ファンに起因してエアーサンプラ自体から排
出される粉塵を大きく抑制したエアーサンプラに関す
る。
ために空気中の粉塵を捕集するエアーサンプラに関す
る。さらに詳しくは本発明は、吸引量が大きいハイボリ
ュームエアーサンプラであって、エアーサンプラに内蔵
された吸引ファンに起因してエアーサンプラ自体から排
出される粉塵を大きく抑制したエアーサンプラに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】空気中の粉塵の分析のために、空気中の
粉塵を捕集する装置としてエアーサンプラが使用されて
いる。
粉塵を捕集する装置としてエアーサンプラが使用されて
いる。
【０００３】図３は、このようなエアーサンプラ１の概
略構成図である。同図のように、エアーサンプラ１はフ
ィルタ２を備えた吸気口部３と、吸引ファン４を内蔵し
た本体部５と、排気口部６からなっている。吸引ファン
４はモータ７で駆動され、吸気口部３から空気が吸引さ
れる。吸気口部３から空気が吸引されると空気中の粉塵
はフィルタ２で捕集されるので、このフィルタ２を分析
に供することにより空気中の粉塵の分析が可能となる。
また、排気口部６には、流量計８が接続されている。
略構成図である。同図のように、エアーサンプラ１はフ
ィルタ２を備えた吸気口部３と、吸引ファン４を内蔵し
た本体部５と、排気口部６からなっている。吸引ファン
４はモータ７で駆動され、吸気口部３から空気が吸引さ
れる。吸気口部３から空気が吸引されると空気中の粉塵
はフィルタ２で捕集されるので、このフィルタ２を分析
に供することにより空気中の粉塵の分析が可能となる。
また、排気口部６には、流量計８が接続されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ブラウン管
の青色蛍光体はＣｕ粒子と反応すると緑色化し、所期の
青色が得られなくなるので、ブラウン管の製造工程にお
いては、その雰囲気のＣｕ量を減少させる必要がある。
そこで、従来よりブラウン管の製造ラインでは銅製部品
の使用を抑制することや、経験的にＣｕ系粉塵の発生源
をつきとめ、その発生の防止対策をとることがなされて
いる。これに対しては、より効率的にブラウン管の製造
ライン中のＣｕ系粉塵の発生源をつきとめ、Ｃｕ系粉塵
の発生の防止対策がとれるようにするため、エアーサン
プラを使用して製造ラインの空気中の粉塵を捕集するこ
とが考えられる。
の青色蛍光体はＣｕ粒子と反応すると緑色化し、所期の
青色が得られなくなるので、ブラウン管の製造工程にお
いては、その雰囲気のＣｕ量を減少させる必要がある。
そこで、従来よりブラウン管の製造ラインでは銅製部品
の使用を抑制することや、経験的にＣｕ系粉塵の発生源
をつきとめ、その発生の防止対策をとることがなされて
いる。これに対しては、より効率的にブラウン管の製造
ライン中のＣｕ系粉塵の発生源をつきとめ、Ｃｕ系粉塵
の発生の防止対策がとれるようにするため、エアーサン
プラを使用して製造ラインの空気中の粉塵を捕集するこ
とが考えられる。
【０００５】しかしながら、従来のエアーサンプラを用
いてブラウン管の製造ラインの雰囲気中の粉塵を捕集す
る場合には、エアーサンプラから排出されるＣｕ系粉塵
のために、空気中のＣｕ系粒子を正確に捕集することが
できないという問題や、エアーサンプラを使用したため
にかえって製造ラインの雰囲気が汚染されるという問題
が考えられる。即ち、図３に示したように、エアーサン
プラ１の吸引ファン４はモータ７で駆動されるので、モ
ータ７のＣｕ製電極とカーボンブラシとの摺接のために
Ｃｕ系粉塵が発生し、それが排気口部６から空気中へ放
出される。したがって、上述のような問題が生じる。
いてブラウン管の製造ラインの雰囲気中の粉塵を捕集す
る場合には、エアーサンプラから排出されるＣｕ系粉塵
のために、空気中のＣｕ系粒子を正確に捕集することが
できないという問題や、エアーサンプラを使用したため
にかえって製造ラインの雰囲気が汚染されるという問題
が考えられる。即ち、図３に示したように、エアーサン
プラ１の吸引ファン４はモータ７で駆動されるので、モ
ータ７のＣｕ製電極とカーボンブラシとの摺接のために
Ｃｕ系粉塵が発生し、それが排気口部６から空気中へ放
出される。したがって、上述のような問題が生じる。
【０００６】本発明は以上のような従来技術の課題を解
決しようとするものであり、ブラウン管の製造ラインの
雰囲気中のＣｕ分析が可能となるように、排気口部から
の粉塵の排出が大きく抑制されたエアーサンプラを提供
すること目的とする。
決しようとするものであり、ブラウン管の製造ラインの
雰囲気中のＣｕ分析が可能となるように、排気口部から
の粉塵の排出が大きく抑制されたエアーサンプラを提供
すること目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、エアーサ
ンプラの排気口部に、吸気口部のフィルタとは別個に第
２のフィルタとして排気口用フィルタを設けることによ
り上記の目的が達成できることを見出し、本発明を完成
させるに至った。
ンプラの排気口部に、吸気口部のフィルタとは別個に第
２のフィルタとして排気口用フィルタを設けることによ
り上記の目的が達成できることを見出し、本発明を完成
させるに至った。
【０００８】即ち、本発明は、フィルタを備えた吸気口
部、吸引ファンを内蔵した本体部及び排気口部を有して
なり、吸気口部から空気を吸引し、該吸気口部のフィル
タで粉塵を捕集するエアーサンプラにおいて、排気口部
に排気口用フィルタが設けられていることを特徴とする
エアーサンプラを提供する。
部、吸引ファンを内蔵した本体部及び排気口部を有して
なり、吸気口部から空気を吸引し、該吸気口部のフィル
タで粉塵を捕集するエアーサンプラにおいて、排気口部
に排気口用フィルタが設けられていることを特徴とする
エアーサンプラを提供する。
【０００９】以下、本発明を詳細に説明する。
【００１０】図１は本発明の一態様のエアーサンプラ１
０の概略構成図である。同図のエアーサンプラ１０は、
図３に示した従来のエアーサンプラ１と同様に、吸気口
部３にはフィルタ２が設けられており、本体部５にはモ
ータ７で駆動される吸引ファン４が設けられており、吸
気口部３のフィルタ２に捕集された粉塵が分析に供され
るようになっている。
０の概略構成図である。同図のエアーサンプラ１０は、
図３に示した従来のエアーサンプラ１と同様に、吸気口
部３にはフィルタ２が設けられており、本体部５にはモ
ータ７で駆動される吸引ファン４が設けられており、吸
気口部３のフィルタ２に捕集された粉塵が分析に供され
るようになっている。
【００１１】吸気口部３のフィルタ２としては、分析の
目的に応じてガラス繊維濾紙、メンブラン濾紙、α−セ
ルロースを原料とした定量濾紙等種々のフィルタを適宜
選択して使用することができるが、空気中のＣｕ系粒子
の定量分析のためにエアーサンプラ１０を使用する場
合、フィルタ２としては、定量濾紙を使用することが好
ましい。定量濾紙を使用することにより、捕集後、フィ
ルタに捕集された粉塵の成分元素を分析するためにその
粉塵を溶液化する操作が容易となる。即ち、捕集後の定
量濾紙を白金るつぼ内で加熱して灰化し、酸で溶解する
ことにより、容易に定量濾紙に捕集された粉塵を分析用
の溶液とすることができる。これに対して、ガラス繊維
濾紙を使用した場合には、ガラス成分をフッ酸で処理し
て除去する必要があり、操作が繁雑となる。また、メン
ブラン濾紙はニトロセルロースタイプの濾紙であるた
め、灰化に際して爆発的に燃焼するという問題がある。
爆発的な燃焼の抑制のためには、予めメンブラン濾紙を
イソプロピルアルコールで湿潤させ、その後燃焼させる
ことが一般に有効であるとされているが、それでも相当
に激しく燃焼するため、捕集した粉塵が飛散し、正確な
分析をすることが困難となる。
目的に応じてガラス繊維濾紙、メンブラン濾紙、α−セ
ルロースを原料とした定量濾紙等種々のフィルタを適宜
選択して使用することができるが、空気中のＣｕ系粒子
の定量分析のためにエアーサンプラ１０を使用する場
合、フィルタ２としては、定量濾紙を使用することが好
ましい。定量濾紙を使用することにより、捕集後、フィ
ルタに捕集された粉塵の成分元素を分析するためにその
粉塵を溶液化する操作が容易となる。即ち、捕集後の定
量濾紙を白金るつぼ内で加熱して灰化し、酸で溶解する
ことにより、容易に定量濾紙に捕集された粉塵を分析用
の溶液とすることができる。これに対して、ガラス繊維
濾紙を使用した場合には、ガラス成分をフッ酸で処理し
て除去する必要があり、操作が繁雑となる。また、メン
ブラン濾紙はニトロセルロースタイプの濾紙であるた
め、灰化に際して爆発的に燃焼するという問題がある。
爆発的な燃焼の抑制のためには、予めメンブラン濾紙を
イソプロピルアルコールで湿潤させ、その後燃焼させる
ことが一般に有効であるとされているが、それでも相当
に激しく燃焼するため、捕集した粉塵が飛散し、正確な
分析をすることが困難となる。
【００１２】吸引ファン４を内蔵した本体部５として
は、質量の大きいＣｕ等の金属粒子を効率よく捕集でき
るようにするため、また、比較的粉塵量が少ない雰囲気
においても短時間で分析可能な粉塵量を捕集できるよう
にするため、吸引流量が通常のエアーサンプラの吸引流
量（１ｌ／ｍｉｎ程度）に比して大きいものが好まし
い。例えば、一般にハイボリュームエアーサンプラ（Ｈ
ＶＡＳ）と称されているエアーサンプラの吸引流量は５
００ｌ／ｍｉｎ程度であるが、本体部５としてはこの程
度の吸引流量を実現できるものが好ましい。
は、質量の大きいＣｕ等の金属粒子を効率よく捕集でき
るようにするため、また、比較的粉塵量が少ない雰囲気
においても短時間で分析可能な粉塵量を捕集できるよう
にするため、吸引流量が通常のエアーサンプラの吸引流
量（１ｌ／ｍｉｎ程度）に比して大きいものが好まし
い。例えば、一般にハイボリュームエアーサンプラ（Ｈ
ＶＡＳ）と称されているエアーサンプラの吸引流量は５
００ｌ／ｍｉｎ程度であるが、本体部５としてはこの程
度の吸引流量を実現できるものが好ましい。
【００１３】一方、排気口部６には、本発明に特徴的な
排気用フィルタ１１が設けられており、排気用フィルタ
１１の後段に流量計８が接続されている。
排気用フィルタ１１が設けられており、排気用フィルタ
１１の後段に流量計８が接続されている。
【００１４】この排気口用フィルタ１１のフィルタ素材
としては、捕集効率の点からガラス繊維濾紙、メンブラ
ン濾紙等が好ましい。また、フィルタの粗さに関して
は、捕集粒子径が０．３〜１．０μｍとなるようにする
ことが好ましい。捕集粒子径が小さ過ぎると排気口用フ
ィルタによる圧力損失が大きくなり過ぎるので好ましく
ない。また、捕集粒子径が大き過ぎると捕集効率が低下
するので好ましくない。
としては、捕集効率の点からガラス繊維濾紙、メンブラ
ン濾紙等が好ましい。また、フィルタの粗さに関して
は、捕集粒子径が０．３〜１．０μｍとなるようにする
ことが好ましい。捕集粒子径が小さ過ぎると排気口用フ
ィルタによる圧力損失が大きくなり過ぎるので好ましく
ない。また、捕集粒子径が大き過ぎると捕集効率が低下
するので好ましくない。
【００１５】排気口用フィルタ１１の大きさとしては、
この排気口用フィルタによる圧力損失の増加を防止する
ため、吸気口部３のフィルタ２よりも大面積とすること
が好ましい。
この排気口用フィルタによる圧力損失の増加を防止する
ため、吸気口部３のフィルタ２よりも大面積とすること
が好ましい。
【００１６】また、排気口用フィルタ１１は、その目づ
まりに対して取換え可能とするために、排気口部に容易
に着脱できるように設けることが好ましい。このために
は、例えば、図示したように、両端の口径が異なる外筒
１２、１３を用意し、それらの口径の大きい方の端部１
２ｂ、１３ａを互いに合わせ、Ｏリング１４を介してそ
れらをボルトナット（図示せず）で接続するようにし、
また、外筒１３内の口径の大きい方の端部１３ａ側に金
網１５を設けておき、その金網１５上に排気口用フィル
タ１１を配し、フィルタ保持リング１６で排気口用フィ
ルタ１１が固定されるようにすればよい。
まりに対して取換え可能とするために、排気口部に容易
に着脱できるように設けることが好ましい。このために
は、例えば、図示したように、両端の口径が異なる外筒
１２、１３を用意し、それらの口径の大きい方の端部１
２ｂ、１３ａを互いに合わせ、Ｏリング１４を介してそ
れらをボルトナット（図示せず）で接続するようにし、
また、外筒１３内の口径の大きい方の端部１３ａ側に金
網１５を設けておき、その金網１５上に排気口用フィル
タ１１を配し、フィルタ保持リング１６で排気口用フィ
ルタ１１が固定されるようにすればよい。
【００１７】なおこの場合、外筒１３内の口径の小さい
方の端部１３ｂは、従来の排気口部の端部と同径とする
ことが好ましい。これにより従来のエアーサンプラに接
続していた流量計８を本発明のエアーサンプラ１０でも
そのまま使用することが可能となる。
方の端部１３ｂは、従来の排気口部の端部と同径とする
ことが好ましい。これにより従来のエアーサンプラに接
続していた流量計８を本発明のエアーサンプラ１０でも
そのまま使用することが可能となる。
【００１８】以上、図１に示した本発明のエアーサンプ
ラについて説明したが、本発明のエアーサンプラは図示
した態様に限定されず、排気口部にフィルタを設ける限
り、種々の態様とすることができる。また、本発明のエ
アーサンプラが捕集する粉塵は、Ｃｕ系粒子に限定され
ることはない。種々の捕集場所で種々の粉塵を捕集する
場合に本発明のエアーサンプラを使用することができ
る。
ラについて説明したが、本発明のエアーサンプラは図示
した態様に限定されず、排気口部にフィルタを設ける限
り、種々の態様とすることができる。また、本発明のエ
アーサンプラが捕集する粉塵は、Ｃｕ系粒子に限定され
ることはない。種々の捕集場所で種々の粉塵を捕集する
場合に本発明のエアーサンプラを使用することができ
る。
【００１９】
【作用】本発明のエアーサンプラは、吸気口部のフィル
タとは別個に、排気口部に第２のフィルタとして排気口
用フィルタが設けられているので、吸引ファンの駆動に
起因して発生するＣｕ系粉塵がこの排気口用フィルタで
捕集される。したがって、エアーサンプラから排出され
るＣｕ系粉塵が大きく抑制される。よって、吸気口部の
フィルタに捕集された粉塵を分析することにより、正確
に空気中の粉塵の分析をすることが可能となる。
タとは別個に、排気口部に第２のフィルタとして排気口
用フィルタが設けられているので、吸引ファンの駆動に
起因して発生するＣｕ系粉塵がこの排気口用フィルタで
捕集される。したがって、エアーサンプラから排出され
るＣｕ系粉塵が大きく抑制される。よって、吸気口部の
フィルタに捕集された粉塵を分析することにより、正確
に空気中の粉塵の分析をすることが可能となる。
【００２０】また、エアーサンプラの使用による当該測
定雰囲気の汚染も防止される。よって、本発明のエアー
サンプラはクリーンルーム内で使用することも可能とな
る。
定雰囲気の汚染も防止される。よって、本発明のエアー
サンプラはクリーンルーム内で使用することも可能とな
る。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。
明する。
【００２２】実施例１ 本発明のエアーサンプラからＣｕ系粉塵が排出されてい
ないことを確認するために、図２に示したように、第１
のエアーサンプラとして図１に示したエアーサンプラ１
０と、第２のエアーサンプラとして従来のエアーサンプ
ラ１とを、第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の後
段に第２のエアーサンプラ１をビニール袋１７を用いて
直列に接続した。
ないことを確認するために、図２に示したように、第１
のエアーサンプラとして図１に示したエアーサンプラ１
０と、第２のエアーサンプラとして従来のエアーサンプ
ラ１とを、第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の後
段に第２のエアーサンプラ１をビニール袋１７を用いて
直列に接続した。
【００２３】この場合、第１のエアーサンプラ１０の吸
気口部３のフィルタ２（捕集場所Ａ）としては直径１１
０ｍｍの定量濾紙Ｎｏ．５Ａを使用し、このエアーサン
プラ１０の排気口部６の排気口用フィルタ１１（捕集場
所Ｂ）としては直径１８５ｍｍの定性濾紙Ｎｏ．１（保
留粒子径６μｍ、捕集効率６５％）を使用した。また、
第２のエアーサンプラ１の吸気口部３のフィルタ２（捕
集場所Ｃ）としては、直径１１０ｍｍ、定量濾紙Ｎｏ．
５Ａを使用した。なお、使用した定量濾紙は、α−セル
ロース９９．９％以上の非常に優れたセルロース繊維を
原料とし、塩酸とフッ酸による複酸処理を施し、灰分含
有量を０．０１％程度の低レベルにしたものである。
気口部３のフィルタ２（捕集場所Ａ）としては直径１１
０ｍｍの定量濾紙Ｎｏ．５Ａを使用し、このエアーサン
プラ１０の排気口部６の排気口用フィルタ１１（捕集場
所Ｂ）としては直径１８５ｍｍの定性濾紙Ｎｏ．１（保
留粒子径６μｍ、捕集効率６５％）を使用した。また、
第２のエアーサンプラ１の吸気口部３のフィルタ２（捕
集場所Ｃ）としては、直径１１０ｍｍ、定量濾紙Ｎｏ．
５Ａを使用した。なお、使用した定量濾紙は、α−セル
ロース９９．９％以上の非常に優れたセルロース繊維を
原料とし、塩酸とフッ酸による複酸処理を施し、灰分含
有量を０．０１％程度の低レベルにしたものである。
【００２４】吸引速度を５００ｌ／ｍｉｎとして３時間
大気中の集塵を行った。その後、各フィルタを構成して
いた濾紙をそれぞれ白金るつぼに入れて９１０℃で灰化
し、得られた灰分を６Ｎ塩酸２ｍｌで溶解し、純水で１
０ｍｌにメスアップした。そして、この溶液を誘導結合
プラズマ発光分光分析計にて、測定波長３２４．７５４
ｎｍでＣｕ量を測定し、それに基づいて大気中のＣｕ濃
度を算出した。この結果を表１に示す。
大気中の集塵を行った。その後、各フィルタを構成して
いた濾紙をそれぞれ白金るつぼに入れて９１０℃で灰化
し、得られた灰分を６Ｎ塩酸２ｍｌで溶解し、純水で１
０ｍｌにメスアップした。そして、この溶液を誘導結合
プラズマ発光分光分析計にて、測定波長３２４．７５４
ｎｍでＣｕ量を測定し、それに基づいて大気中のＣｕ濃
度を算出した。この結果を表１に示す。
【００２５】なお、この誘導結合プラズマ発光分光分析
計のＣｕ濃度の定量下限値は１０ｐｐｂ（ｎｇ／ｍｌ）
である。したがって、吸引流量５００ｌ／ｍｉｎで３時
間捕集し、灰化後１０ｍｌにメスアップするという測定
方法での大気中のＣｕ濃度の定量下限値は１．１ｎｇ／
ｍ３となる。よって、この測定方法により十分に低濃度
のＣｕ分析をすることが可能である。
計のＣｕ濃度の定量下限値は１０ｐｐｂ（ｎｇ／ｍｌ）
である。したがって、吸引流量５００ｌ／ｍｉｎで３時
間捕集し、灰化後１０ｍｌにメスアップするという測定
方法での大気中のＣｕ濃度の定量下限値は１．１ｎｇ／
ｍ３となる。よって、この測定方法により十分に低濃度
のＣｕ分析をすることが可能である。
【００２６】
【表１】 フィルタ Ｃｕ濃度（ng/m3 ） A.第１のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A ５００ B.第１のエアーサンフ゜ラの排気口部 定性濾紙No.1 １６５００ C.第２のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A ４３０ 表１から、第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の排
気口用フィルタ１１（捕集場所Ｂ）では高濃度のＣｕが
検出されていることから、このエアーサンプラ１０の本
体部５から多量のＣｕが放出されており、それを排気口
用フィルタ１１が捕集していることがわかる。
気口用フィルタ１１（捕集場所Ｂ）では高濃度のＣｕが
検出されていることから、このエアーサンプラ１０の本
体部５から多量のＣｕが放出されており、それを排気口
用フィルタ１１が捕集していることがわかる。
【００２７】また、第１のエアーサンプラ１０の排気口
部６の排気口用フィルタ１１（捕集場所Ｂ）で捕集され
たＣｕと第２のエアーサンプラ１の吸気口部３のフィル
タ２（捕集場所Ｃ）で捕集されたＣｕとの合計量に対
し、第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の排気口用
フィルタ１１（捕集場所Ｂ）で捕集されたＣｕの捕集効
率は、約９７．５％であることがわかる。
部６の排気口用フィルタ１１（捕集場所Ｂ）で捕集され
たＣｕと第２のエアーサンプラ１の吸気口部３のフィル
タ２（捕集場所Ｃ）で捕集されたＣｕとの合計量に対
し、第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の排気口用
フィルタ１１（捕集場所Ｂ）で捕集されたＣｕの捕集効
率は、約９７．５％であることがわかる。
【００２８】なお、第１のエアーサンプラ１０の排気口
部６の排気口用フィルタ１１として、同様の濾紙を２枚
重ねて使用しても、この排気口部での捕集効率はほとん
ど変わらなかった。
部６の排気口用フィルタ１１として、同様の濾紙を２枚
重ねて使用しても、この排気口部での捕集効率はほとん
ど変わらなかった。
【００２９】実施例２〜４ 第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の排気口用フィ
ルタ１１（捕集場所Ｂ）として、表２に示した特性を有
する濾紙を使用する以外は、実施例１を繰り返し、第１
のエアーサンプラ１０の吸気口部３のフィルタ２（捕集
場所Ａ）、第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の排
気口用フィルタ１１（捕集場所Ｂ）及び第２のエアーサ
ンプラ１の吸気口部３のフィルタ２（捕集場所Ｃ）の各
フィルタでの捕集量に基づき、大気中のＣｕ濃度を算出
した。ただし、第１の排気口部６のフィルタ１１（捕集
場所Ｂ）としてガラス繊維濾紙を使用した実施例２〜４
においては、前述のように濾紙を灰化してＣｕを定量す
ることが困難であるため、このガラス繊維濾紙に捕集さ
れたＣｕの定量は行わなかった。これらの結果を表３〜
５に示す。
ルタ１１（捕集場所Ｂ）として、表２に示した特性を有
する濾紙を使用する以外は、実施例１を繰り返し、第１
のエアーサンプラ１０の吸気口部３のフィルタ２（捕集
場所Ａ）、第１のエアーサンプラ１０の排気口部６の排
気口用フィルタ１１（捕集場所Ｂ）及び第２のエアーサ
ンプラ１の吸気口部３のフィルタ２（捕集場所Ｃ）の各
フィルタでの捕集量に基づき、大気中のＣｕ濃度を算出
した。ただし、第１の排気口部６のフィルタ１１（捕集
場所Ｂ）としてガラス繊維濾紙を使用した実施例２〜４
においては、前述のように濾紙を灰化してＣｕを定量す
ることが困難であるため、このガラス繊維濾紙に捕集さ
れたＣｕの定量は行わなかった。これらの結果を表３〜
５に示す。
【００３０】
【表２】 実施例２ 実施例３ 実施例４ 排気口用 カ゛ラス繊維 カ゛ラス繊維 カ゛ラス繊維 フィルタ(*1) GA-100 GB-100R GF-75 保留粒子径（μｍ） 1.0 0.6 0.3 圧力損失(mmH2O) 20 30 150 捕集効率（％）(*2) 96 99.99 99.999 (*1)排気口用フィルタはいずれも東洋理化社製 (*2)ＪＩＳ Ｚ８９０１（試験用ダスト）に規定する１３種Ａ（０．３μｍＤＯ Ｐ粒子）を分散した大気を５ｃｍ／ｓｅｃの通気速度にて濾過したときの捕集効 率
【００３１】
【表３】実施例２ フィルタ Ｃｕ濃度（ng/m3 ） A.第１のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A ６００ B.第１のエアーサンフ゜ラの排気口部 カ゛ラス繊維 GA-100 C.第２のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A １０．４
【００３２】
【表４】実施例３ フィルタ Ｃｕ濃度（ng/m3 ） A.第１のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A ８１０ B.第１のエアーサンフ゜ラの排気口部 カ゛ラス繊維 GB-100R C.第２のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A ３．６
【００３３】
【表５】実施例４ フィルタ Ｃｕ濃度（ng/m3 ） A.第１のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A ７９０ B.第１のエアーサンフ゜ラの排気口部 カ゛ラス繊維 GF-75 C.第２のエアーサンフ゜ラの吸気口部 定量濾紙No.5A １．１以下 （注）第１のエアーサンプラの排気口部のフィルタでの圧力損失が大きいため、 所期の５００ｌ／ｍｉｎの吸引流量を得ることができず、４８０ｌ／ｍｉｎの吸 引流量で集塵を行った。
【００３４】表３〜５の結果から、第１のエアーサンプ
ラ１０の排気口部６のフィルタ１１としてガラス繊維フ
ィルタを使用した実施例２〜４の中で、第１のエアーサ
ンプラ１０から排出されるＣｕ量が最も少ないのは実施
例４の場合であり、その排出量は大気中のＣｕ濃度のわ
ずか約０．１４％以下であることがわかる。また、第１
のエアーサンプラ１０から排出されるＣｕ量が最も多い
のは実施例２であるが、その場合でも排出されるＣｕ量
は大気中のＣｕ濃度の約１．７％にすぎないことがわか
る。したがって、排気口部のフィルタ１１としてガラス
繊維フィルタを使用したエアーサンプラは、いずれもブ
ラウン管の製造ラインの雰囲気中のＣｕ分析に使用でき
ることがわかる。特に、エアーサンプラからのＣｕの排
出量及び吸引流量の双方の点から、排気口部のフィルタ
としては、これら実施例の中ではガラス繊維フィルタＧ
Ｂ−１００Ｒ（実施例３）が最も好ましいことがわか
る。
ラ１０の排気口部６のフィルタ１１としてガラス繊維フ
ィルタを使用した実施例２〜４の中で、第１のエアーサ
ンプラ１０から排出されるＣｕ量が最も少ないのは実施
例４の場合であり、その排出量は大気中のＣｕ濃度のわ
ずか約０．１４％以下であることがわかる。また、第１
のエアーサンプラ１０から排出されるＣｕ量が最も多い
のは実施例２であるが、その場合でも排出されるＣｕ量
は大気中のＣｕ濃度の約１．７％にすぎないことがわか
る。したがって、排気口部のフィルタ１１としてガラス
繊維フィルタを使用したエアーサンプラは、いずれもブ
ラウン管の製造ラインの雰囲気中のＣｕ分析に使用でき
ることがわかる。特に、エアーサンプラからのＣｕの排
出量及び吸引流量の双方の点から、排気口部のフィルタ
としては、これら実施例の中ではガラス繊維フィルタＧ
Ｂ−１００Ｒ（実施例３）が最も好ましいことがわか
る。
【００３５】実施例５ エアーサンプラ１０の排気口部６のフィルタ１１の使用
耐用時間を調べるために、集塵時間を５、１０、１５、
２０時間とする以外は実施例３を繰り返した。その結
果、少なくとも２０時間はエアーサンプラから排出され
る粉塵を十分に捕集できることがわかった。
耐用時間を調べるために、集塵時間を５、１０、１５、
２０時間とする以外は実施例３を繰り返した。その結
果、少なくとも２０時間はエアーサンプラから排出され
る粉塵を十分に捕集できることがわかった。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、エアーサンプラから排
出される粉塵を大きく低減させることが可能となる。し
たがって、ブラウン管の製造ラインの雰囲気中のＣｕ分
析にエアーサンプラを使用することが可能となる。
出される粉塵を大きく低減させることが可能となる。し
たがって、ブラウン管の製造ラインの雰囲気中のＣｕ分
析にエアーサンプラを使用することが可能となる。
【図１】本発明のエアーサンプラの説明図である。
【図２】実施例におけるエアーサンプラの配置図であ
る。
る。
【図３】従来のエアーサンプラの説明図である。
２ フィルタ ３ 吸気口部 ４ 吸引ファン ５ 本体部 ６ 排気口部 ７ モータ ８ 流量計 １０ 本発明のエアーサンプラ １１ 排気口用フィルタ
Claims (3)
- 【請求項１】 フィルタを備えた吸気口部、吸引ファン
を内蔵した本体部及び排気口部を有してなり、吸気口部
から空気を吸引し、該吸気口部のフィルタで粉塵を捕集
するエアーサンプラにおいて、排気口部に排気口用フィ
ルタが設けられていることを特徴とするエアーサンプ
ラ。 - 【請求項２】 排気口用フィルタの捕集粒子径が０．３
〜１．０μｍである請求項１記載のエアーサンプラ。 - 【請求項３】 排気口用フィルタ面積が、吸気口部のフ
ィルタの面積よりも大きい請求項１又は２記載のエアー
サンプラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7028698A JPH08201240A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | エアーサンプラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7028698A JPH08201240A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | エアーサンプラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201240A true JPH08201240A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=12255700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7028698A Pending JPH08201240A (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | エアーサンプラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08201240A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001050870A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-02-23 | Terumu:Kk | 気中物質捕集装置 |
| CN109269947A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-01-25 | 郑州云海信息技术有限公司 | 一种基于假内存条的灰尘检测装置 |
-
1995
- 1995-01-24 JP JP7028698A patent/JPH08201240A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001050870A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-02-23 | Terumu:Kk | 気中物質捕集装置 |
| CN109269947A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-01-25 | 郑州云海信息技术有限公司 | 一种基于假内存条的灰尘检测装置 |
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