JPH08195516A - Gas laser tube - Google Patents
Gas laser tubeInfo
- Publication number
- JPH08195516A JPH08195516A JP597395A JP597395A JPH08195516A JP H08195516 A JPH08195516 A JP H08195516A JP 597395 A JP597395 A JP 597395A JP 597395 A JP597395 A JP 597395A JP H08195516 A JPH08195516 A JP H08195516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- tube
- anode
- thin tube
- tube portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、アルゴンやクリプトン
等の気体放電による励起作用を用いてレーザ発振するガ
スレーザ管に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas laser tube which oscillates a laser by using an exciting action of a gas discharge of argon or krypton.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図８はアルゴンイオンを用いたガスレー
ザ管（以下、イオンレーザ管と称する）の構成図であ
る。気密管１には、アルゴンが封入され、かつその中間
に放電部となる細管部２が形成されている。この気密管
１における細管部２の管軸方向両端には、それぞれブリ
ュースタ窓３、４が設けられ、かつ気密管１内部の細管
部２の管軸方向には、この細管部２を通して陰極５と陽
極６とが対向配置されている。2. Description of the Related Art FIG. 8 is a block diagram of a gas laser tube using argon ions (hereinafter referred to as an ion laser tube). Argon is sealed in the airtight tube 1, and a thin tube section 2 serving as a discharge section is formed in the middle thereof. Brewster windows 3 and 4 are provided at both ends of the airtight tube 1 in the tube axis direction of the thin tube section 2, and in the tube axis direction of the thin tube section 2 inside the airtight tube 1, the cathode 5 is passed through the thin tube section 2. And the anode 6 are arranged to face each other.
【０００３】このうち陰極５は、コイル状に形成された
直熱型であり、例えば多孔質のタングステン焼結体の孔
にバリウム化合物を浸透させたものとなっている。これ
ら陰極５及び陽極６には、それぞれリード７、８が接続
されて気密管１の外部に導出されている。なお、陰極５
とリード７との接合部９ａ、９ｂは、ヘリアーク溶接に
よって結合されている。Of these, the cathode 5 is of a direct heating type formed in a coil shape, and is, for example, one in which a barium compound is permeated into the pores of a porous tungsten sintered body. Leads 7 and 8 are connected to the cathode 5 and the anode 6, respectively, and led out to the outside of the airtight tube 1. The cathode 5
The joints 9a and 9b of the lead 7 and the lead 7 are joined by heli-arc welding.
【０００４】このような構成であれば、陰極５にリード
７を通して所定の電流が流れると、陰極５は温度８００
℃程度に加熱され、この陰極５から熱電子放出が可能な
状態となる。With such a structure, when a predetermined current flows through the cathode 5 through the lead 7, the temperature of the cathode 5 becomes 800.
The cathode 5 is heated to about 0 ° C., and the cathode 5 is ready for thermionic emission.
【０００５】この状態に、陰極５と陽極６との間に放電
維持電圧以上の電圧が印加されると、これら陰極５と陽
極６との間にアーク放電が発生し、このアーク放電によ
り各ブリュースタ窓３、４の間で光共振が生じ、レーザ
光が出力される。In this state, when a voltage higher than the discharge sustaining voltage is applied between the cathode 5 and the anode 6, arc discharge is generated between the cathode 5 and the anode 6, and the arc discharge causes each blue discharge. Optical resonance occurs between the star windows 3 and 4, and laser light is output.
【０００６】このようなイオンレーザ管の放電維持電圧
Ｖは、陰極降下電圧をｅc 、陽極降下電圧をｅa 、細管
部２における陽光中の電圧降下をｅp 、さらに陽光中の
一様でない２つの遷移域の電圧降下をｅ1 、ｅ2 とする
と、 Ｖ＝ｅc ＋ｅa ＋ｅp ＋（ｅ1 ＋ｅ2 ） …(1) により求められる。The discharge sustaining voltage V of such an ion laser tube is such that the cathode drop voltage is ec, the anode drop voltage is ea, the voltage drop in the sunlight in the narrow tube portion 2 is ep, and two non-uniform transitions in the sunlight are also present. Assuming that the voltage drop in the region is e1 and e2, it can be obtained by V = ec + ea + ep + (e1 + e2) (1).
【０００７】又、イオンレーザ管は、１３３Ｐａ（１Ｔ
orr ）程度の低圧ガスの比較的小電流密度アーク放電で
動作させている。このときの放電維持電圧Ｖ及び細管部
１の管軸方向の電界強度Ｅは、細管部２の半径をｒ（ｃ
ｍ）、放電長（細管部２の長さ）をＬ（ｃｍ）とする
と、 Ｅ＝０．６／ｒ （Ｖ／ｃｍ） …(2) Ｖ＝ｅc ＋ｅa ＋（Ｖ・Ｌ） （Ｖ） …(3) となる。なお、ｅ1 、ｅ2 は非常に小さいので無視でき
る。Further, the ion laser tube is 133 Pa (1 T
It is operated by a relatively low current density arc discharge of low pressure gas of about orr). At this time, the discharge sustaining voltage V and the electric field strength E of the thin tube portion 1 in the tube axis direction are r (c
m) and the discharge length (length of the thin tube portion 2) is L (cm), E = 0.6 / r (V / cm) (2) V = ec + ea + (V · L) (V) … (3). Note that e1 and e2 are so small that they can be ignored.
【０００８】一方、図８の下部には陰極５と陽極６との
間の電位分布が示されている。このうちＶ・Ｌが陽光柱
部分すなわち細管部２の電圧降下ｅp である。又、陰極
降下電圧ｅc は約２５Ｖ、陽極降下電圧ｅa は約５Ｖで
あり、特に陰極５側の細管部２の端部付近で急激な電位
の傾きがあり、この部分が陰極降下電圧の８０％以上を
占めている。On the other hand, the potential distribution between the cathode 5 and the anode 6 is shown in the lower part of FIG. Of these, V · L is the voltage drop ep of the positive column portion, that is, the thin tube portion 2. Further, the cathode drop voltage ec is about 25V and the anode drop voltage ea is about 5V. Especially, there is a sharp potential gradient near the end of the thin tube portion 2 on the cathode 5 side, and this portion is 80% of the cathode drop voltage. Account for more than.
【０００９】ところで、イオンレーザ管の場合、レーザ
発振に寄与する部分は細管部２のみである。陰極降下電
圧ｅc と陽極降下電圧ｅa とは、イオンレーザ管のアー
ク放電を維持するためのものであり、レーザ管投入電圧
に対するレーザ出力（変換効率η）からみると、陰極５
及び陽極６の各降下電圧を低くくすることが、イオンレ
ーザ管の効率向上となる。By the way, in the case of the ion laser tube, only the thin tube portion 2 contributes to the laser oscillation. The cathode drop voltage ec and the anode drop voltage ea are for maintaining the arc discharge of the ion laser tube, and when viewed from the laser output (conversion efficiency η) with respect to the laser tube input voltage, the cathode 5
Also, lowering the voltage drops of the anode 6 improves the efficiency of the ion laser tube.
【００１０】例えばレーザ出力１０ｍＷのアルゴンイオ
ンレーザ管（株式会社東芝製ＬＡＩ−２３２５）におい
て放電維持電圧Ｖを算出すると、細管部２の半径ｒが
０．０５ｃｍ、放電長が４．７ｃｍであるので、 Ｖ＝２５＋５＋（０．６／０．０５）×４．７ ＝８６．４（Ｖ） …(4) となる。For example, when the discharge sustaining voltage V is calculated in an argon ion laser tube (LAI-2325 manufactured by Toshiba Corporation) having a laser output of 10 mW, the radius r of the thin tube portion 2 is 0.05 cm and the discharge length is 4.7 cm. , V = 25 + 5 + (0.6 / 0.05) × 4.7 = 86.4 (V) (4)
【００１１】又、このときの放電電流Ｉは７（Ａ）であ
り、投入電力Ｐ（Ｗ）は、 Ｐ＝８６．４×７ ＝６００（Ｗ） …(5) となる。At this time, the discharge current I is 7 (A) and the input power P (W) is P = 86.4 × 7 = 600 (W) (5)
【００１２】従って、変換効率ηは、 η＝（レーザ出力／投入電力）×１００ ＝｛（１０×１０-3）／６００｝×１００ ＝１．７×１０-3 （％） …(6) となる。Therefore, the conversion efficiency η is: η = (laser output / input power) × 100 = {(10 × 10 −3 ) / 600} × 100 = 1.7 × 10 −3 (%) (6) Becomes
【００１３】このようにレーザ管に加わる全電圧（８
６．４Ｖ）のうち、約３５％が直接レーザ発振に寄与し
ない各電極５、６の降下電圧であり、特に陰極５側の細
管部２の入口付近に発生する電圧を低くすることが、イ
オンレーザ管の効率ηを向上させるための必要となる。In this way, the total voltage (8
6.4 V), about 35% is the voltage drop of each electrode 5, 6 that does not directly contribute to laser oscillation, and in particular, lowering the voltage generated near the entrance of the thin tube portion 2 on the cathode 5 side is It is necessary to improve the efficiency η of the laser tube.
【００１４】一方、このようなガスレーザ管には、気密
管を円筒状の外容器内に支持する構造のものがある。図
９はかかる冷却式ガスレーザ管の構成図である。On the other hand, such a gas laser tube has a structure in which an airtight tube is supported in a cylindrical outer container. FIG. 9 is a configuration diagram of such a cooled gas laser tube.
【００１５】外容器である円筒形外囲器１０の内部に
は、ガスレーザ媒質を封入した気密管１１が支持されて
いる。この気密管１１は、その中間に放電部となるベリ
リアセラミックスからなる細管部１２が形成されてい
る。An airtight tube 11 containing a gas laser medium is supported inside a cylindrical envelope 10 which is an outer container. The airtight tube 11 has a thin tube portion 12 made of beryllia ceramics formed in the middle thereof as a discharge portion.
【００１６】この気密管１１における細管部１２の管軸
方向両端には、それぞれ光共振器を形成する各ミラー１
３、１４が設けられ、かつ気密管１１内部の細管部１２
の管軸方向には、この細管部２を通して陰極１５と陽極
１６とが対向配置されている。At each end of the airtight tube 11 in the tube axis direction of the thin tube portion 12, each mirror 1 forming an optical resonator is formed.
3 and 14 are provided and the thin tube portion 12 inside the airtight tube 11 is provided.
A cathode 15 and an anode 16 are arranged to face each other through the thin tube portion 2 in the tube axis direction.
【００１７】これら陰極１５及び陽極１６は、光の進行
を妨げないように設けられており、このうち陰極１５に
はこの陰極１５を囲みガスタンクを兼ねる陰極バルブ１
１ａが設けられている。The cathode 15 and the anode 16 are provided so as not to interfere with the progress of light. Of these, the cathode 15 surrounds the cathode 15 and also serves as a gas tank.
1a is provided.
【００１８】又、細管部１２の外周には、この細管部１
２で発生した熱を効率よく気密管１１の外部に放出する
ための放熱フィン１７が設けられている。ところで、こ
のような気密管１１は、円筒形外囲器１０に対し、板ば
ね状の陰極保持具１９、陽極保持具２０及び各絶縁スペ
ーサ２１、２２を介して支持されている。On the outer periphery of the thin tube portion 12, the thin tube portion 1
Radiating fins 17 are provided for efficiently releasing the heat generated in 2 to the outside of the airtight tube 11. By the way, such an airtight tube 11 is supported by the cylindrical envelope 10 via a leaf spring-shaped cathode holder 19, an anode holder 20, and insulating spacers 21 and 22.
【００１９】なお、図１０及び図１１は、それぞれ陰極
１５側、陽極１６側の断面図である。すなわち、気密管
１１は、少なくとも３枚以上の陰極保持具１９及び陽極
保持具２０を介して円筒形外囲器１０に支持されてい
る。10 and 11 are cross-sectional views of the cathode 15 side and the anode 16 side, respectively. That is, the airtight tube 11 is supported by the cylindrical envelope 10 via at least three or more cathode holders 19 and anode holders 20.
【００２０】このような構成であれば、陰極１５から熱
電子放出が可能な状態に、陰極１５と陽極１６との間に
放電維持電圧以上の電圧が印加されると、これら陰極１
５と陽極１６との間にアーク放電が発生し、このアーク
放電により各ミラー１３、１４の間で光共振が生じ、レ
ーザ光が出力される。With such a structure, when a voltage higher than the discharge sustaining voltage is applied between the cathode 15 and the anode 16 in a state where the thermoelectron can be emitted from the cathode 15, these cathodes 1
An arc discharge is generated between the anode 5 and the anode 16, and the arc discharge causes optical resonance between the mirrors 13 and 14 to output laser light.
【００２１】この放電により細管部１２に発生した熱
は、放熱フィン１７を通して強制空冷される。この強制
空冷は、円筒形外囲器１０の陰極１５側に接続された冷
却ダクトとシロッコファンとにより行われる。The heat generated in the thin tube portion 12 by this discharge is forcedly cooled by the radiation fins 17. This forced air cooling is performed by a cooling duct connected to the cathode 15 side of the cylindrical envelope 10 and a sirocco fan.
【００２２】しかしながら、陰極及び陽極の各保持具１
９、２０を用いた支持構造では、レーザ管を放電動作さ
せたとき、細管部１２の発熱による放電軸方向の伸び
は、ある程度吸収されるが、曲りや捩じれについては吸
収されず、細管部１２や陰極部又は陽極部を接続してい
るロー付け部分に歪みがかかり、特に捩じれによる歪み
等に弱いセラミックス製の細管部１２に亀裂（クラッ
ク）が発生してガス漏れ（リーク）を起こしてしまう。However, each holder 1 for the cathode and the anode
In the supporting structure using 9 and 20, when the laser tube is discharged, the expansion in the discharge axis direction due to the heat generation of the thin tube portion 12 is absorbed to some extent, but the bending and twisting are not absorbed, and the thin tube portion 12 is not absorbed. The brazed part connecting the cathode part or the anode part is distorted, and cracks are generated in the thin tube part 12 made of ceramics, which is particularly vulnerable to distortion due to twisting, causing gas leakage. .
【００２３】[0023]
【発明が解決しようとする課題】以上のようにレーザ管
に加わる全電圧（８６．４Ｖ）のうち、約３５％が直接
レーザ発振に寄与しない各電極５、６の降下電圧であ
り、これによりイオンレーザ管の効率ηが低くなってい
る。As described above, of the total voltage (86.4 V) applied to the laser tube, about 35% is the voltage drop of each electrode 5, 6 that does not directly contribute to laser oscillation. The efficiency η of the ion laser tube is low.
【００２４】又、陰極及び陽極の各保持具１９、２０に
よる支持では、細管部１２の発熱による曲りや捩じれを
吸収できず、特に捩じれによる歪み等により亀裂が発生
してガス漏れを起こす。Further, the support by the respective holders 19 and 20 for the cathode and the anode cannot absorb the bending and twisting due to the heat generation of the thin tube portion 12, and in particular, cracks are generated due to distortion due to twisting and gas leakage occurs.
【００２５】そこで本発明は、陰極降下電圧を低くくし
てレーザ管の効率を向上できるガスレーザ管を提供する
ことを目的とする。又、本発明は、放電発熱によるレー
ザ管の捩じれなどを吸収できるガスレーザ管を提供する
ことを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a gas laser tube capable of improving the efficiency of the laser tube by lowering the cathode drop voltage. Another object of the present invention is to provide a gas laser tube capable of absorbing twisting of the laser tube due to heat generation from discharge.
【００２６】又、本発明は、陰極降下電圧を低くくして
レーザ管の効率を向上でき、かつ放電発熱によるレーザ
管の捩じれなどを吸収できるガスレーザ管を提供するこ
とを目的とする。Another object of the present invention is to provide a gas laser tube which can lower the cathode drop voltage to improve the efficiency of the laser tube and can absorb the twist of the laser tube due to the heat generation of discharge.
【００２７】[0027]
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、細管
部を有するガスレーザ媒質を封入した気密管の細管部を
通して陰極と陽極とを対向配置し、これら陰極と陽極と
の間の放電により光共振を発生させてレーザ光を出力す
るガスレーザ管において、陰極を円筒状に形成し、かつ
この陰極を細管部の管軸方向に沿って取り付けて上記目
的を達成しようとするガスレーザ管である。According to a first aspect of the present invention, a cathode and an anode are arranged to face each other through a thin tube portion of an airtight tube in which a gas laser medium having a thin tube portion is sealed, and a discharge is generated between the cathode and the anode. A gas laser tube for producing a laser beam by generating optical resonance, in which a cathode is formed in a cylindrical shape and the cathode is attached along a tube axis direction of a thin tube portion to achieve the above object.
【００２８】請求項２によれば、円筒状に形成した傍熱
型の陰極の外周にヒータを配置したガスレーザ管であ
る。請求項３によれば、コイル状の陰極を細管部の開口
に接近して配置したガスレーザ管である。According to a second aspect of the present invention, there is provided a gas laser tube in which a heater is arranged on the outer circumference of an indirectly heated cathode formed in a cylindrical shape. According to the third aspect of the present invention, the gas laser tube has a coiled cathode arranged close to the opening of the thin tube portion.
【００２９】請求項４によれば、陰極の内径は、細管部
内径の１〜１０倍以内に形成されたガスレーザ管であ
る。請求項５によれば、外容器の内部に細管部を有する
ガスレーザ媒質を封入した気密管を支持し、かつ細管部
を通して陰極と陽極とを対向配置してこれら陰極と陽極
との間の放電により光共振を発生させてレーザ光を出力
するガスレーザ管において、外容器内壁に対して気密管
を、外力を吸収する支持機構により支持して上記目的を
達成しようとするガスレーザ管である。According to the fourth aspect, the inner diameter of the cathode is a gas laser tube formed within 1 to 10 times the inner diameter of the thin tube portion. According to claim 5, an airtight tube containing a gas laser medium having a thin tube portion is supported inside the outer container, and the cathode and the anode are arranged to face each other through the thin tube portion, and discharge between the cathode and the anode is performed. In a gas laser tube for generating optical resonance and outputting laser light, the gas laser tube aims to achieve the above object by supporting an airtight tube with respect to an inner wall of an outer container by a support mechanism that absorbs an external force.
【００３０】請求項６によれば、支持機構は、Ｕ字板ば
ねの一片側を気密管に固定しかつ他片側を外容器内壁に
圧接するガスレーザ管である。請求項７によれば、陰極
は、円筒状に形成し、この陰極を細管部の管軸方向に沿
って取り付けたガスレーザ管である。According to the sixth aspect, the support mechanism is a gas laser tube in which one side of the U-shaped leaf spring is fixed to the airtight tube and the other side is pressed against the inner wall of the outer container. According to the seventh aspect, the cathode is a gas laser tube which is formed in a cylindrical shape and which is attached along the tube axis direction of the thin tube portion.
【００３１】[0031]
【作用】請求項１によれば、気密管の細管部を通して円
筒状に形成した陰極と陽極とを対向配置し、これら陰極
と陽極との間の放電により光共振を発生させてレーザ光
を出力させることにより、陰極降下電圧が低くなり、発
振効率が高くなる。According to the first aspect of the present invention, the cathode and the anode, which are formed in a cylindrical shape through the thin tube portion of the airtight tube, are arranged to face each other, and the optical resonance is generated by the discharge between the cathode and the anode to output the laser light. By doing so, the cathode drop voltage becomes low and the oscillation efficiency becomes high.
【００３２】請求項２によれば、円筒状に形成した陰極
をその外周のヒータにより加熱して熱電子放出可能と
し、この状態の陰極と陽極との間の放電により光共振を
発生させてレーザ光を出力させることにより、陰極降下
電圧が低くなり、発振効率が高くなる。According to the second aspect, the cathode formed in the cylindrical shape is heated by the heater on the outer periphery of the cathode to enable thermionic emission, and the laser light is generated by the electric discharge between the cathode and the anode in this state. By outputting light, the cathode drop voltage becomes low and the oscillation efficiency becomes high.
【００３３】請求項３によれば、コイル状の陰極を細管
部の開口に接近して配置し、この陰極と陽極との間の放
電により光共振を発生させてレーザ光を出力させること
により、陰極降下電圧が低くなり、発振効率が高くな
る。According to the third aspect of the present invention, the coiled cathode is arranged close to the opening of the narrow tube portion, and the optical resonance is generated by the discharge between the cathode and the anode to output the laser beam. The cathode drop voltage becomes low and the oscillation efficiency becomes high.
【００３４】請求項４によれば、円筒状に形成した陰極
の内径を細管部内径の１〜１０倍以内に形成すれば、陰
極降下電圧が低くなり、発振効率が高くなる。請求項５
によれば、外容器内に対して気密管を、外力を吸収する
支持機構により支持することにより、外力例えばレーザ
発振動作のときの曲りや捩じれが吸収され、この捩じれ
による歪み等による亀裂は発生しない。According to the fourth aspect, when the inner diameter of the cylindrically-shaped cathode is formed within 1 to 10 times the inner diameter of the thin tube portion, the cathode drop voltage becomes low and the oscillation efficiency becomes high. Claim 5
According to the above, by supporting the airtight tube in the outer container by a support mechanism that absorbs external force, bending or twisting during external force, for example, laser oscillation operation is absorbed, and cracks due to strain due to this twisting occur. do not do.
【００３５】請求項６によれば、外容器内に対して気密
管を、Ｕ字板ばねを介して支持することにより、外力例
えばレーザ発振動作のときの曲りや捩じれが吸収され
る。請求項７によれば、気密管の細管部を通して円筒状
に形成した陰極と陽極とを対向配置し、かつ外容器内に
対して気密管を外力を吸収する支持機構により支持する
ことにより、レーザ発振動作のときの陰極降下電圧が低
くなり、発振効率が高くなり、かつ外力例えばレーザ発
振動作のときの曲りや捩じれが吸収される。According to the sixth aspect, by supporting the airtight tube in the outer container via the U-shaped plate spring, the bending force and the twisting during the laser oscillation operation are absorbed. According to claim 7, the cathode and the anode, which are formed in a cylindrical shape through the thin tube portion of the airtight tube, are arranged to face each other, and the airtight tube is supported in the outer container by a support mechanism that absorbs an external force. The cathode drop voltage during the oscillating operation becomes low, the oscillating efficiency becomes high, and the external force, for example, bending or twisting during the lasing operation is absorbed.
【００３６】[0036]
(1) 以下、本発明の第１の実施例について図面を参照し
て説明する。なお、図８と同一部分には同一符号を付し
てその詳しい説明は省略する。図１はアルゴンイオンを
用いたイオンレーザ管の構成図である。(1) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The same parts as those in FIG. 8 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. FIG. 1 is a block diagram of an ion laser tube using argon ions.
【００３７】傍熱型の陰極３０は、多孔質のタングステ
ン焼結体の孔にバリウム化合物を含浸した材質により中
空円筒に形成されている。この陰極３０の内径は、細管
部２の内径の１〜１０倍以内に形成されるものであり、
ここでは細管部２の内径と同一に形成されている。そし
て、この陰極３０は、細管部２に近接し、かつ細管部２
の管軸方向に沿って取り付けられている。The indirectly heated cathode 30 is formed as a hollow cylinder by a material in which the pores of a porous tungsten sintered body are impregnated with a barium compound. The inner diameter of the cathode 30 is formed within 1 to 10 times the inner diameter of the thin tube portion 2,
Here, it is formed to have the same inner diameter as the thin tube portion 2. The cathode 30 is close to the thin tube portion 2 and
It is attached along the tube axis direction.
【００３８】この陰極３０の外周には、熱電子放出のた
めの加熱用ヒータ３１が近接して設けられている。この
加熱用ヒータ３１は、例えばタングステンヒータが用い
られている。そして、この加熱用ヒータ３１にリード７
が接続されている。A heating heater 31 for emitting thermoelectrons is provided near the outer periphery of the cathode 30. As the heating heater 31, for example, a tungsten heater is used. Then, the lead 7 is attached to the heating heater 31.
Is connected.
【００３９】次に上記の如く構成されたレーザ管の動作
について説明する。陰極３０にリード７を通して所定の
電流が供給されると陰極３０は、温度８００℃程度に加
熱され、この陰極３０から熱電子放出可能な状態とな
る。Next, the operation of the laser tube configured as described above will be described. When a predetermined current is supplied to the cathode 30 through the lead 7, the cathode 30 is heated to a temperature of about 800 ° C., and the cathode 30 is ready to emit thermoelectrons.
【００４０】この状態に、陰極３０と陽極６との間に放
電維持電圧以上の電圧が印加されると、これら陰極３０
と陽極６との間にアーク放電が発生し、このアーク放電
により各ブリュースタ窓３、４の間で光共振が生じ、レ
ーザ光が出力される。In this state, when a voltage higher than the discharge sustaining voltage is applied between the cathode 30 and the anode 6, these cathodes 30
Arc discharge is generated between the anode 6 and the anode 6, and the arc discharge causes optical resonance between the Brewster windows 3 and 4, and laser light is output.
【００４１】ところで、図１下部にはイオンレーザ管の
陰極・陽極間の電圧分布を示すが、この電圧分布から陰
極降下電圧はおよそ５Ｖとなる。このときの放電維持電
圧Ｖは、上記式(3) から、 Ｖ＝５＋５＋（０．６＋０．０５）×４．７ ＝６６．４（Ｖ） …(7) となる。By the way, the lower part of FIG. 1 shows the voltage distribution between the cathode and the anode of the ion laser tube. From this voltage distribution, the cathode drop voltage is about 5V. The discharge sustaining voltage V at this time is V = 5 + 5 + (0.6 + 0.05) × 4.7 = 66.4 (V) (7) from the above formula (3).
【００４２】従って、イオンレーザ管への投入電力Ｐ
は、 Ｐ＝６６．４（Ｖ）×７（Ａ） ＝４６５（Ｗ） …(8) となる。Therefore, the input power P to the ion laser tube is
Becomes P = 66.4 (V) × 7 (A) = 465 (W) (8)
【００４３】このような事から、この投入電力Ｐは、従
来のイオンレーザ管で同一レーザ出力を得るための投入
電力と比較して約２０％低下できる。又、陰極側の細管
部２の入口付近に発生する電位勾配は、細管部２の内径
と筒状の陰極３０の内径とが同一径のときに最小となる
が、この陰極３０の内径は、上記の如く細管部２の内径
の１０倍でも従来レーザ管の電位勾配よりも低いことが
確認された。From the above, the input power P can be reduced by about 20% as compared with the input power for obtaining the same laser output with the conventional ion laser tube. Further, the potential gradient generated near the entrance of the thin tube portion 2 on the cathode side is minimum when the inner diameter of the thin tube portion 2 and the inner diameter of the tubular cathode 30 are the same, but the inner diameter of the cathode 30 is As described above, it was confirmed that even 10 times the inner diameter of the thin tube portion 2 was lower than the potential gradient of the conventional laser tube.
【００４４】このように上記第１の実施例においては、
気密管１の細管部２を通して円筒状に形成した陰極３０
と陽極６とを対向配置し、陰極３０をその外周の加熱用
ヒータ３１により加熱して熱電子放出可能とし、この状
態の陰極３０と陽極６との間の放電により光共振を発生
させてレーザ光を出力させるようにしたので、陰極降下
電圧を低くできて発振効率を高くできる。すなわち、イ
オンレーザ管の放電維持電圧を２０％程度低下でき、従
来イオンレーザ管でのレーザ出力と同一のレーザ出力を
得るためのイオンレーザ管への投入電力を小さくでき、
高効率でレーザ光を出力できる。 (2) 次に本発明の第２の実施例について説明する。な
お、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説
明は省略する。As described above, in the first embodiment,
A cathode 30 formed in a cylindrical shape through the thin tube portion 2 of the airtight tube 1.
And the anode 6 are arranged so as to face each other, and the cathode 30 is heated by the heater 31 on the outer periphery of the cathode 30 to enable thermionic emission, and the laser light is generated by the discharge between the cathode 30 and the anode 6 in this state. Since light is output, the cathode drop voltage can be lowered and the oscillation efficiency can be increased. That is, the discharge sustaining voltage of the ion laser tube can be reduced by about 20%, and the input power to the ion laser tube for obtaining the same laser output as that of the conventional ion laser tube can be reduced.
Laser light can be output with high efficiency. (2) Next, a second embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００４５】図２はアルゴンイオンを用いたイオンレー
ザ管の構成図である。陰極３０は、細管部２の内径と同
一に形成され、かつ細管部２に近接し、細管部２の管軸
方向に沿って取り付けられている。FIG. 2 is a block diagram of an ion laser tube using argon ions. The cathode 30 is formed to have the same inner diameter as that of the thin tube portion 2, is adjacent to the thin tube portion 2, and is attached along the tube axis direction of the thin tube portion 2.
【００４６】一方、陽極６は、陰極３０と同様に細管部
２に近接して細管部２の管軸方向に沿って取り付けられ
ている。このような構成であれば、陰極３０から熱電子
放出可能な状態に、陰極３０と陽極６との間に放電維持
電圧以上の電圧が印加されると、これら陰極３０と陽極
６との間にアーク放電が発生し、このアーク放電により
各ブリュースタ窓３、４の間で光共振が生じ、レーザ光
が出力される。On the other hand, similarly to the cathode 30, the anode 6 is mounted close to the thin tube portion 2 along the tube axis direction of the thin tube portion 2. With such a configuration, when a voltage equal to or higher than the discharge sustaining voltage is applied between the cathode 30 and the anode 6 in a state where the thermoelectron can be emitted from the cathode 30, the cathode 30 and the anode 6 are connected to each other. An arc discharge is generated, and the arc discharge causes optical resonance between the Brewster windows 3 and 4 to output laser light.
【００４７】この場合の陰極・陽極間の電圧分布におい
て陰極降下電圧は上記第１の実施例と同様に低下し、こ
れと共に陽極降下電圧も陰極降下電圧程でもないが、数
％程度の低下がある。これにより、イオンレーザ管への
投入電力をさらに小さくでき、高効率でレーザ光を出力
できる。 (3) 次に本発明の第３の実施例について説明する。な
お、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説
明は省略する。In this case, in the voltage distribution between the cathode and the anode, the cathode drop voltage drops as in the first embodiment. Along with this, neither the anode drop voltage nor the cathode drop voltage, but a drop of about several percent. is there. As a result, the electric power supplied to the ion laser tube can be further reduced, and laser light can be output with high efficiency. (3) Next, a third embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００４８】図３はアルゴンイオンを用いたイオンレー
ザ管の構成図である。陰極３２は、コイル状に形成さ
れ、そのコイル内径は細管部２の内径と同一又は１０倍
以内に形成されている。そして、この陰極３２は、細管
部２に近接し、細管部２の管軸方向に沿って取り付けら
れている。FIG. 3 is a block diagram of an ion laser tube using argon ions. The cathode 32 is formed in a coil shape, and the inner diameter of the coil is equal to or less than 10 times the inner diameter of the thin tube portion 2. Then, the cathode 32 is adjacent to the thin tube portion 2 and is attached along the tube axis direction of the thin tube portion 2.
【００４９】このような構成であれば、陰極３２から熱
電子放出可能な状態に、陰極３２と陽極６との間に放電
維持電圧以上の電圧が印加されると、これら陰極３２と
陽極６との間にアーク放電が発生し、このアーク放電に
より各ブリュースタ窓３、４の間で光共振が生じ、レー
ザ光が出力される。With such a structure, when a voltage higher than the discharge sustaining voltage is applied between the cathode 32 and the anode 6 in a state where the thermoelectron can be emitted from the cathode 32, the cathode 32 and the anode 6 are separated from each other. During this period, arc discharge is generated, and this arc discharge causes optical resonance between the Brewster windows 3 and 4, and laser light is output.
【００５０】この場合においても陰極降下電圧が低下
し、イオンレーザ管への投入電力を小さくでき、高効率
でレーザ光を出力できる。なお、この陰極３２を用いた
場合においても、陽極６を細管部２に近接して取り付け
てもよい。これにより、イオンレーザ管への投入電力を
さらに小さくできる。 (4) 次に本発明の第４の実施例について説明する。な
お、図９と同一部分には同一符号を付してその詳しい説
明は省略する。Also in this case, the cathode drop voltage is lowered, the electric power supplied to the ion laser tube can be reduced, and the laser light can be output with high efficiency. Even when the cathode 32 is used, the anode 6 may be attached close to the thin tube portion 2. As a result, the input power to the ion laser tube can be further reduced. (4) Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIG. 9 are designated by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.
【００５１】図４は冷却式ガスレーザ管の構成図であ
る。気密管１１における陰極バルブ１１ａの外周には、
気密管１１を円筒形外囲器１０の内壁に対して支持する
支持機構４０が設けられている。FIG. 4 is a block diagram of a cooling type gas laser tube. On the outer circumference of the cathode bulb 11a in the airtight tube 11,
A support mechanism 40 that supports the airtight tube 11 against the inner wall of the cylindrical envelope 10 is provided.
【００５２】この支持機構４０は、細管部１２の発熱に
よる放電軸方向の伸びや曲り、捩じれなどの外力を吸収
する機能を有し、図５の外観図に示すように陰極バルブ
１１ａの外周に少なくとも３カ所に等配されている。This support mechanism 40 has a function of absorbing external force such as expansion, bending, and twisting in the discharge axis direction due to heat generation of the thin tube portion 12, and as shown in the external view of FIG. It is evenly distributed in at least three places.
【００５３】具体的な構成は、陰極バルブ１１ａの外周
に絶縁板４１を設け、この絶縁板４１にＵ字板ばね状陰
極保持具４２が設けられている。このＵ字板ばね状陰極
保持具４２は、ばね用鋼材により形成され、その一片側
を上記絶縁板４１に設け、かつ他片側に孔４３が形成さ
れている。そして、この孔４３にボールベアリング４４
が転動自在に設けられている。このボールベアリング４
４は、Ｕ字板ばね状陰極保持具４２の付勢力により円筒
形外囲器１０の内壁に対して圧接されている。As a concrete structure, an insulating plate 41 is provided on the outer periphery of the cathode bulb 11a, and a U-shaped plate spring-shaped cathode holder 42 is provided on the insulating plate 41. The U-shaped plate spring-shaped cathode holder 42 is formed of a steel material for springs, one side of which is provided on the insulating plate 41, and a hole 43 is formed on the other side. The ball bearing 44 is inserted in the hole 43.
Is rotatably provided. This ball bearing 4
4 is pressed against the inner wall of the cylindrical envelope 10 by the urging force of the U-shaped plate spring cathode holder 42.
【００５４】次に上記の如く構成されたレーザ管の作用
について説明する。陰極１５から熱電子放出が可能な状
態に、陰極１５と陽極１６との間に放電維持電圧以上の
電圧が印加されると、これら陰極１５と陽極１６との間
にアーク放電が発生し、このアーク放電により各ミラー
１３、１４の間で光共振が生じ、レーザ光が出力され
る。Next, the operation of the laser tube configured as described above will be described. When a voltage higher than the discharge sustaining voltage is applied between the cathode 15 and the anode 16 in a state where the thermoelectron can be emitted from the cathode 15, an arc discharge is generated between the cathode 15 and the anode 16, and this The arc discharge causes optical resonance between the mirrors 13 and 14, and laser light is output.
【００５５】この放電により細管部１２に発生した熱
は、放熱フィン１７を通して強制空冷される。この強制
空冷は、円筒形外囲器１０の陰極１５側に接続された冷
却ダクトとシロッコファンとにより行われる。The heat generated in the thin tube portion 12 by this discharge is forcibly air-cooled through the radiation fins 17. This forced air cooling is performed by a cooling duct connected to the cathode 15 side of the cylindrical envelope 10 and a sirocco fan.
【００５６】このとき、細管部１２の発熱による放電軸
方向の伸びや曲り、捩じれは、Ｕ字板ばね状陰極保持具
４２のばね用鋼材という材質、及びＵ字形状により吸収
される。At this time, the expansion, bending, and twisting in the discharge axis direction due to the heat generation of the thin tube portion 12 are absorbed by the material of the spring steel material of the U-shaped plate spring cathode holder 42 and the U-shape.
【００５７】このように細管部１２の伸びや曲り、捩じ
れが吸収されると、細管部１２や陰極部又は陽極部を接
続しているロー付け部分に歪みがかからず、特に捩じれ
による歪み等に弱いセラミックス製の細管部１２に亀裂
が発生することなく、ガス漏れは起こらない。When the expansion, bending, and twist of the thin tube portion 12 are absorbed in this way, no distortion is applied to the brazed portion connecting the thin tube portion 12 and the cathode portion or the anode portion. No gas leak occurs without cracks in the thin tube portion 12 made of ceramics, which is very weak.
【００５８】このように上記第４の実施例においては、
Ｕ字板ばね状陰極保持具４２を用いた支持機構４０によ
り気密管１１を円筒形外囲器１０の内壁に対して支持す
るようにしたので、細管部１２の発熱による放電軸方向
の伸びや曲り、捩じれは吸収され、細管部１２や陰極部
又は陽極部を接続しているロー付け部分に歪みがかから
ず、かつ捩じれによる歪み等に弱いセラミックス製の細
管部１２に亀裂が発生することなく、ガス漏れは起こら
ない。従って、放電発熱によりガスレーザ管が破壊する
ことなく信頼性を高いできる。 (5) 次に本発明の第５の実施例について説明する。な
お、図９と同一部分には同一符号を付してその詳しい説
明は省略する。As described above, in the fourth embodiment,
Since the airtight tube 11 is supported against the inner wall of the cylindrical envelope 10 by the support mechanism 40 using the U-shaped plate spring-shaped cathode holder 42, the expansion of the thin tube portion 12 in the discharge axis direction due to heat generation and Bending and twisting are absorbed, and cracks do not occur in the thin tube portion 12 or the brazing portion connecting the cathode portion or the anode portion, and cracks occur in the ceramic thin tube portion 12 which is weak against distortion due to twisting. No, no gas leaks occur. Therefore, the reliability can be increased without the gas laser tube being destroyed by the heat generated by the discharge. (5) Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIG. 9 are designated by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.
【００５９】図６は冷却式ガスレーザ管の構成図であ
る。気密管１１における陽極バルブ１１ｂの外周には、
気密管１１を円筒形外囲器１０の内壁に対して支持する
支持機構５０が設けられている。この支持機構５０は、
細管部１２の発熱による放電軸方向の伸びや曲り、捩じ
れなどの外力を吸収する機能を有するもので、陽極バル
ブ１１ｂの外周に少なくとも３カ所に等配されている。FIG. 6 is a block diagram of a cooling type gas laser tube. On the outer circumference of the anode valve 11b in the airtight tube 11,
A support mechanism 50 that supports the airtight tube 11 against the inner wall of the cylindrical envelope 10 is provided. This support mechanism 50
It has a function of absorbing external force such as expansion, bending, and twisting in the discharge axis direction due to heat generation of the thin tube portion 12, and it is evenly arranged at at least three locations on the outer circumference of the anode valve 11b.
【００６０】具体的な構成は、陽極バルブ１１ｂの外周
に絶縁板５１を設け、この絶縁板５１にＵ字板ばね状陰
極保持具５２が設けられている。このＵ字板ばね状陰極
保持具５２は、ばね用鋼材により形成され、その一片側
を上記絶縁板５１に設け、かつ他片側に孔５３が形成さ
れている。なお、このＵ字板ばね状陰極保持具５２は、
上記第４実施例の保持具４２よりもＵ字の湾曲つまり曲
率半径が大きく形成されている。そして、この孔５３に
ボールベアリング５４が転動自在に設けられている。こ
のボールベアリング５４は、Ｕ字板ばね状陰極保持具５
２の付勢力により円筒形外囲器１０の内壁に対して圧接
されている。As a specific structure, an insulating plate 51 is provided on the outer periphery of the anode valve 11b, and a U-shaped plate spring-shaped cathode holder 52 is provided on the insulating plate 51. The U-shaped plate spring-shaped cathode holder 52 is formed of a steel material for springs, one side of which is provided on the insulating plate 51, and a hole 53 is formed on the other side. The U-shaped leaf spring-shaped cathode holder 52 is
The U-shaped curve, that is, the radius of curvature is larger than that of the holder 42 of the fourth embodiment. A ball bearing 54 is rotatably provided in the hole 53. This ball bearing 54 is used for the U-shaped plate spring cathode holder 5.
It is pressed against the inner wall of the cylindrical envelope 10 by the urging force of 2.
【００６１】このような構成であれば、レーザ動作時に
おける細管部１２の発熱による放電軸方向の伸びや曲
り、捩じれは、Ｕ字板ばね状陰極保持具５２のばね用鋼
材という材質、及びＵ字形状により吸収される。With such a structure, the expansion, bending, and twisting in the discharge axis direction due to the heat generation of the thin tube portion 12 during the laser operation, the material of the spring steel material of the U-shaped plate spring cathode holder 52, and U It is absorbed by the letter shape.
【００６２】従って、細管部１２や陰極部又は陽極部を
接続しているロー付け部分に歪みがかからず、特に捩じ
れによる歪み等に弱いセラミックス製の細管部１２に亀
裂が発生することなく、ガス漏れは起こらない。 (6) 次に本発明の第６の実施例について説明する。な
お、図１及び図２と同一部分には同一符号を付してその
詳しい説明は省略する。Therefore, no distortion is applied to the thin tube portion 12 or the brazed portion connecting the cathode portion or the anode portion, and cracks are not particularly generated in the ceramic thin tube portion 12 which is vulnerable to distortion due to twisting. No gas leaks occur. (6) Next, a sixth embodiment of the present invention will be described. The same parts as those in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
【００６３】図７は冷却式ガスレーザ管の構成図であ
る。このガスレーザ管は、気密管１１における陰極及び
陽極バルブ１１ａ、１１ｂの外周に、それぞれ気密管１
１を円筒形外囲器１０の内壁に対して支持する各支持機
構４０、５０を設けたものとなっている。FIG. 7 is a block diagram of a cooling type gas laser tube. This gas laser tube is provided on the outer circumferences of the cathode and anode bulbs 11a and 11b in the airtight tube 11, respectively.
Each supporting mechanism 40, 50 for supporting the inner peripheral surface of the cylindrical envelope 10 against the inner wall of the cylindrical envelope 10 is provided.
【００６４】このような構成であれば、レーザ動作時に
おける細管部１２の発熱による放電軸方向の伸びや曲
り、捩じれは、陰極側及び陽極側の両Ｕ字板ばね状陰極
保持具４２、５２において、そのばね用鋼材という材
質、及びＵ字形状により吸収される。With such a construction, the U-shaped leaf spring-shaped cathode holders 42 and 52 on both the cathode side and the anode side are prevented from being stretched, bent or twisted in the discharge axis direction due to heat generation of the thin tube portion 12 during laser operation. In the above, it is absorbed by the material of the spring steel material and the U-shape.
【００６５】従って、細管部１２や陰極部又は陽極部を
接続しているロー付け部分に歪みがかからず、特に捩じ
れによる歪み等に弱いセラミックス製の細管部１２に亀
裂が発生することなく、ガス漏れは起こらない。Therefore, no distortion is applied to the thin tube portion 12 or the brazed portion connecting the cathode portion or the anode portion, and cracks are not particularly generated in the ceramic thin tube portion 12 which is vulnerable to distortion due to twisting. No gas leaks occur.
【００６６】なお、本発明は、上記第１〜第６の実施例
に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。例え
ば、図１に示すイオンレーザ管を円筒形状の外囲器内に
支持する場合に、図４に示す支持機構４０を適用しても
よい。The present invention is not limited to the above first to sixth embodiments, but may be modified as follows. For example, when supporting the ion laser tube shown in FIG. 1 in a cylindrical envelope, the supporting mechanism 40 shown in FIG. 4 may be applied.
【００６７】[0067]
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、陰
極降下電圧を低くくしてレーザ管の効率を向上できるガ
スレーザ管を提供できる。又、本発明は、放電発熱によ
るレーザ管の捩じれなどを吸収できるガスレーザ管を提
供できる。又、本発明は、陰極降下電圧を低くくしてレ
ーザ管の効率を向上でき、かつ放電発熱によるレーザ管
の捩じれなどを吸収できるガスレーザ管を提供できる。As described in detail above, according to the present invention, it is possible to provide a gas laser tube which can lower the cathode drop voltage and improve the efficiency of the laser tube. Further, the present invention can provide a gas laser tube capable of absorbing twisting of the laser tube due to heat generation from discharge. Further, the present invention can provide a gas laser tube which can lower the cathode drop voltage to improve the efficiency of the laser tube and can absorb the twist of the laser tube due to heat generation by discharge.
【図１】本発明に係わるイオンレーザ管の第１の実施例
を示す構成図。FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of an ion laser tube according to the present invention.
【図２】本発明に係わるイオンレーザ管の第２の実施例
を示す構成図。FIG. 2 is a configuration diagram showing a second embodiment of an ion laser tube according to the present invention.
【図３】本発明に係わるイオンレーザ管の第３の実施例
を示す構成図。FIG. 3 is a configuration diagram showing a third embodiment of an ion laser tube according to the present invention.
【図４】本発明に係わる冷却式ガスレーザ管の第４の実
施例を示す構成図。FIG. 4 is a configuration diagram showing a fourth embodiment of a cooled gas laser tube according to the present invention.
【図５】支持機構の外観構成図。FIG. 5 is an external configuration diagram of a support mechanism.
【図６】本発明に係わる冷却式ガスレーザ管の第５の実
施例を示す構成図。FIG. 6 is a configuration diagram showing a fifth embodiment of a cooled gas laser tube according to the present invention.
【図７】本発明に係わる冷却式ガスレーザ管の第６の実
施例を示す構成図。FIG. 7 is a configuration diagram showing a sixth embodiment of a cooled gas laser tube according to the present invention.
【図８】従来のイオンレーザ管の構成図。FIG. 8 is a configuration diagram of a conventional ion laser tube.
【図９】従来の冷却式ガスレーザ管の構成図。FIG. 9 is a configuration diagram of a conventional cooling type gas laser tube.
【図１０】陰極側の断面構成図。FIG. 10 is a cross-sectional configuration diagram on the cathode side.
【図１１】陽極側の断面構成図。FIG. 11 is a cross-sectional configuration diagram on the anode side.
１…気密管、２…細管部、３，４…ブリュースタ窓、６
…陽極、３０…陰極、３１…加熱用ヒータ、１０…円筒
形外囲器、１１…気密管、１２…細管部、１３，１４…
ミラー、１５…陰極、１６…陽極、１７…陰極バルブ、
１８…放熱フィン、４０…支持機構、４１…絶縁板、４
２…Ｕ字板ばね状陰極保持具、４３…孔、４４…ボール
ベアリング。1 ... Airtight tube, 2 ... Narrow tube part, 3, 4 ... Brewster window, 6
... Anode, 30 ... Cathode, 31 ... Heating heater, 10 ... Cylindrical envelope, 11 ... Airtight tube, 12 ... Thin tube section, 13, 14 ...
Mirror, 15 ... Cathode, 16 ... Anode, 17 ... Cathode bulb,
18 ... Radiating fins, 40 ... Support mechanism, 41 ... Insulation plate, 4
2 ... U-shaped spring holder for cathode, 43 ... Hole, 44 ... Ball bearing.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｓ 3/03 Ｊ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display area H01S 3/03 J
Claims (7)
た気密管の前記細管部を通して陰極と陽極とを対向配置
し、これら陰極と陽極との間の放電により光共振を発生
させてレーザ光を出力するガスレーザ管において、 前記陰極を円筒状に形成し、かつこの陰極を前記細管部
の管軸方向に沿って取り付けたことを特徴とするガスレ
ーザ管。1. A cathode and an anode are arranged to face each other through the thin tube portion of an airtight tube in which a gas laser medium having a thin tube portion is sealed, and optical resonance is generated by discharge between the cathode and the anode to output laser light. In the gas laser tube described above, the cathode is formed in a cylindrical shape, and the cathode is attached along the tube axis direction of the thin tube portion.
ヒータを配置したことを特徴とする請求項１記載のガス
レーザ管。2. The gas laser tube according to claim 1, wherein a heater is arranged on the outer periphery of the indirectly heated cathode formed in a cylindrical shape.
て配置したことを特徴とする請求項１記載のガスレーザ
管。3. The gas laser tube according to claim 1, wherein the coiled cathode is arranged close to the opening of the thin tube portion.
以内に形成されたことを特徴とする請求項１記載のガス
レーザ管。4. The gas laser tube according to claim 1, wherein the inner diameter of the cathode is formed within 1 to 10 times the inner diameter of the thin tube portion.
ザ媒質を封入した気密管を支持し、かつ前記細管部を通
して陰極と陽極とを対向配置してこれら陰極と陽極との
間の放電により光共振を発生させてレーザ光を出力する
ガスレーザ管において、 前記外容器内壁に対して前記気密管を、外力を吸収する
支持機構により支持することを特徴とするガスレーザ
管。5. An outer container supporting an airtight tube containing a gas laser medium having a thin tube portion, and a cathode and an anode are arranged to face each other through the thin tube portion, and light is generated by discharge between the cathode and the anode. A gas laser tube for generating resonance and outputting laser light, wherein the airtight tube is supported by an inner wall of the outer container by a support mechanism that absorbs an external force.
管に固定しかつ他片側を外容器内壁に圧接することを特
徴とする請求項５記載のガスレーザ管。6. The gas laser tube according to claim 5, wherein the support mechanism fixes one side of the U-shaped leaf spring to the airtight tube and presses the other side against the inner wall of the outer container.
管部の管軸方向に沿って取り付けたことことを特徴とす
る請求項５記載のガスレーザ管。7. The gas laser tube according to claim 5, wherein the cathode is formed in a cylindrical shape, and the cathode is attached along the tube axis direction of the thin tube portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP597395A JPH08195516A (en) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | Gas laser tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP597395A JPH08195516A (en) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | Gas laser tube |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08195516A true JPH08195516A (en) | 1996-07-30 |
Family
ID=11625805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP597395A Pending JPH08195516A (en) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | Gas laser tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08195516A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030068908A (en) * | 2002-02-18 | 2003-08-25 | (주)한비젼 | Laser Resonator for the DC 200W Sealed Off CO2 Laser |
-
1995
- 1995-01-18 JP JP597395A patent/JPH08195516A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030068908A (en) * | 2002-02-18 | 2003-08-25 | (주)한비젼 | Laser Resonator for the DC 200W Sealed Off CO2 Laser |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05198873A (en) | Device for pre-ionizing gas in pulse-gas-laser | |
| GB2083687A (en) | Circulating gas laser | |
| JPH08195516A (en) | Gas laser tube | |
| US5050184A (en) | Method and apparatus for stabilizing laser mirror alignment | |
| US5675214A (en) | Low-pressure discharge lamp having hollow electrodes | |
| JP2725493B2 (en) | Air-cooled argon ion laser tube | |
| US3452295A (en) | Gas laser discharge tube having insulator shields | |
| JP2003151492A (en) | Short arc type extra-high pressure discharge lamp | |
| US4680770A (en) | Dual beam gas ion laser | |
| JPS62111487A (en) | Laser tube | |
| JP3345879B2 (en) | High pressure mercury vapor discharge lamp and light source device using the same | |
| JPH04272639A (en) | Micro focus x-ray tube | |
| JP2633604B2 (en) | Metal vapor laser device | |
| JPH06111763A (en) | Low pressure discharge lamp | |
| JP3289628B2 (en) | Cold cathode discharge lamp | |
| JPH0453010Y2 (en) | ||
| JP2003086139A (en) | Electrodeless field discharge excimer lamp | |
| JP3782169B2 (en) | Electrodeless discharge lamp | |
| JP2983570B2 (en) | Laser oscillator | |
| JP2602919B2 (en) | Metal vapor laser device | |
| JPH0635487Y2 (en) | Metal vapor laser discharge tube | |
| JPH10125283A (en) | Low-pressure mercury vapor discharge lamp | |
| JPH0412593Y2 (en) | ||
| JPS62222686A (en) | Ion laser tube | |
| JP2602962Y2 (en) | Mounting structure of pumping lamp for solid-state laser |