JPH08192385A - Glove box - Google Patents

Glove box

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JPH08192385A
JPH08192385A JP417895A JP417895A JPH08192385A JP H08192385 A JPH08192385 A JP H08192385A JP 417895 A JP417895 A JP 417895A JP 417895 A JP417895 A JP 417895A JP H08192385 A JPH08192385 A JP H08192385A
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box
oxygen
hatch
moisture
spare
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Junya Egashira
淳也 江頭
Masami Matsui
真美 松井
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MIWA SEISAKUSHO KK
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MIWA SEISAKUSHO KK
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Abstract

PURPOSE: To provide a glove box, which can securely prevent the intrusion of the atmospheric air into a main body box. CONSTITUTION: This glove box is provided with a moisture sensor 17 for detecting quantity of moisture of an inner space 4 of a spare box 3 and an inside hatch closing means 30 for holding an inside hatch 6 in the closed condition when the moisture at the predetermined quantity or more is detected by the moisture sensor 17. When the air is left in the spare box 3, the moisture sensor 17 detect it, and the inside hatch 6 is held at the closing position by the inside hatch closing means 30, and the diffusion of oxygen and steam among the air from the spare box 3 to the main body box 2 is thereby prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、グローブボックスに係
り、特に本体ボックス内に大気が混入することを確実に
防止できるようにしたグローブボックスに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glove box, and more particularly to a glove box capable of reliably preventing air from entering the main body box.

【0002】[0002]

【従来の技術】グローブボックスは、大気中では不安定
な固体、粉体、放射性物質、極めて毒性の強い物質及び
空気中の酸素と反応して爆発する物質等を乾燥雰囲気あ
るいは不活性雰囲気中で取り扱う作業に用いられ、作業
空間をその外部と気密状に区画する本体ボックス内を真
空掃引した後、ドライエアーあるいは窒素、アルゴン、
ヘリウムなどの不活性ガスを充満させて乾燥雰囲気ある
いは不活性雰囲気を本体ボックス内に形成するようにし
ている。
2. Description of the Related Art A glove box is a dry or inert atmosphere for solids, powders, radioactive materials, extremely toxic materials, and materials that explode in reaction with oxygen in the air, which are unstable in the atmosphere. Used for handling work, vacuum sweeps the inside of the body box that divides the work space from the outside in an airtight manner, then dry air or nitrogen, argon,
A dry atmosphere or an inert atmosphere is formed in the main body box by filling it with an inert gas such as helium.

【0003】又、本体ボックスの前面には本体ボックス
内での作業を行うために人が手を本体ボックス内に入れ
るための開口部が設けられ、この開口部を密封するよう
に手袋が取り付けられる。
Further, an opening is provided on the front surface of the main body box so that a person can put his / her hand into the main body box for working in the main body box, and gloves are attached so as to seal the opening. .

【0004】かってのグローブボックスの使用方法は、
袋、容器などによって乾燥雰囲気或いは不活性雰囲気内
に密封された大気中に置くことが危険な処理物をその
袋、容器ごと本体ボックス内に挿入し、本体ボックス内
の雰囲気を乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気にした後、
手袋を介して手を本体ボックス内に入れ、袋、容器など
を開いて必要な作業を行い、処理後に再び処理物を処理
物の袋、容器などによって乾燥雰囲気或いは不活性雰囲
気内に密封してから本体ボックスの外に取り出すという
方法が採用されていた。
The method of using the glove box used to be
Insert the bag and container together with the bag and container into the body box, which is dangerous to put in a dry or inert atmosphere sealed by a bag or container. After making the atmosphere
Put your hands in the main body box through gloves, open the bag, container, etc., and perform the necessary work.After processing, seal the processed product again in a dry or inert atmosphere with the bag, container, etc. of the processed product. The method of taking out from the main body box was adopted.

【0005】しかしながら、この方法では、本体ボック
スに処理物を入れた後、本体ボックス内の雰囲気を乾燥
あるいは不活性にするのに多大の時間が掛かり、連続的
に多量の処理物の処理を行う場合に生産性が低いという
問題がある。
However, in this method, it takes a lot of time to dry or inactivate the atmosphere in the main body box after putting the processed substances in the main body box, and a large amount of the processed substances are continuously processed. In this case, there is a problem of low productivity.

【0006】そこで、今日では、作業空間をその外部と
気密状に区画する本体ボックスと、一端を本体ボックス
内に連通させ、他端を大気中に連通させた筒状の予備ボ
ックスと、この予備ボックスの内部空間を本体ボックス
側の連通させる内側開口部を開閉する内側ハッチと、前
記予備ボックスの内部空間を大気中に連通させる外側開
口部を開閉する外側ハッチとを備えるグローブボックス
が用いられている。
Therefore, today, a main body box for partitioning the work space from the outside thereof in an airtight manner, a cylindrical spare box having one end communicating with the main body box and the other end communicating with the atmosphere, and this spare box A glove box including an inner hatch that opens and closes an inner opening that allows the inner space of the box to communicate with the main body box side and an outer hatch that opens and closes an outer opening that allows the inner space of the spare box to communicate with the atmosphere is used. There is.

【0007】このグローブボックスを用いる場合、本体
ボックス内の雰囲気は乾燥あるいは不活性に維持され、
これよりも容積が小さい予備ボックスの内側開口部を内
側ハッチで閉じた状態で予備ボックスに袋、容器などに
よって乾燥雰囲気或いは不活性雰囲気内に密封された処
理物を入れてから外側開口部を外側ハッチで閉じ、この
後予備ボックス内の雰囲気を乾燥あるいは不活性にして
から内側ハッチを開いて袋、容器などによって乾燥雰囲
気或いは不活性雰囲気内に密封された処理物を本体ボッ
クス内に移し、更にこの後、必要に応じて再び内側ハッ
チを閉じてから、本体ボックス内で処理物を袋、容器な
どから取り出して処理する。処理後の処理物は本体ボッ
クス内で袋、容器などによって乾燥雰囲気或いは不活性
雰囲気内に密封されてから、必要に応じて内側ハッチを
開き、予備ボックス内に移され、この後内側ハッチを閉
じてから外側ハッチを開いて予備ボックスから袋あるい
は容器ごと外に取り出される。
When this glove box is used, the atmosphere inside the main body box is kept dry or inert,
With the inner opening of the spare box with a smaller volume than this closed with an inner hatch, put the processed material sealed in a dry atmosphere or an inert atmosphere by a bag or container in the spare box, and then open the outer opening to the outside. After closing with a hatch, after drying or inerting the atmosphere in the spare box, open the inner hatch and transfer the processed product sealed in a dry atmosphere or inert atmosphere by a bag, container, etc. into the main box, and After that, the inner hatch is closed again if necessary, and the processed product is taken out from the bag, the container or the like in the main body box and processed. After processing, the processed product is sealed in a dry atmosphere or an inert atmosphere with a bag, container, etc. in the main body box, then the inner hatch is opened if necessary, it is moved to the spare box, and then the inner hatch is closed. Then open the outer hatch and take out the bag or container from the spare box.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、この予備ボ
ックスを有するグローブボックスの予備ボックス内の雰
囲気に空気が残留している状態で内側ハッチが開かれる
と、本体ボックス内に空気中の酸素並びに水蒸気が拡散
し、本体ボックス内の乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気
が破壊されるおそれがあり、破壊された本体ボックス内
の雰囲気を元の乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気に戻す
ために、外側ハッチを閉じてから内側ハッチを開いて従
来よりも長い時間を掛けて本体ボックス及び予備ボック
ス内の真空掃引とドライエアーあるいは不活性ガスを充
填しなければならず、却って生産性が低下するという問
題がある。
By the way, when the inner hatch is opened while air remains in the atmosphere in the spare box of the glove box having the spare box, oxygen and water vapor in the air are stored in the main body box. May be diffused and the dry atmosphere or inert atmosphere in the main body box may be destroyed.In order to return the destroyed atmosphere in the main body box to the original dry atmosphere or inert atmosphere, close the outer hatch and then It is necessary to open the inner hatch and take a longer time than before to fill the vacuum sweep and dry air or inert gas in the main body box and the spare box, which causes a problem that the productivity is rather lowered.

【0009】特に、処理物が空気中の酸素と反応して爆
発したり、発火したりする物質を予備ボックスを有する
グローブボックスで取り扱う場合には、本体ボックス内
に残留している処理物が予備ボックスから拡散した酸素
に接触し、爆発あるいは火災を起こす恐れがあるという
問題がある。
In particular, when a substance that explodes or ignites when it reacts with oxygen in the air is handled in a glove box having a spare box, the substance remaining in the main body box is reserved. There is a problem that it may come into contact with oxygen diffused from the box and cause an explosion or fire.

【0010】本発明は、上記の事情を鑑み、予備ボック
ス内の雰囲気に空気が残留している時には内側ハッチを
開けられないようにして、本体ボックス内に空気中の酸
素並びに水蒸気が混入することを確実に防止できるよう
にしたグローブボックスを提供することを目的とするも
のである。
In view of the above situation, the present invention prevents the inside hatch from being opened when air remains in the atmosphere in the spare box so that oxygen and water vapor in the air are mixed in the main body box. It is an object of the present invention to provide a glove box capable of reliably preventing the above.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、作業空間をそ
の外部と気密状に区画する本体ボックスと、一端を本体
ボックス内に連通させ、他端を大気中に連通させた筒状
の予備ボックスと、この予備ボックスの内部空間を本体
ボックス内に連通させる内側開口部を開閉する内側ハッ
チと、前記予備ボックスの内部空間を大気中に連通させ
る外側開口部を開閉する外側ハッチとを備えるグローブ
ボックスにおいて、上記の目的を達成するため、次のよ
うな手段を講じている。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a main body box for partitioning a work space from the outside thereof in an airtight manner, and a cylindrical spare having one end communicated with the main body box and the other end communicated with the atmosphere. A glove including a box, an inner hatch that opens and closes an inner opening that allows the interior space of the spare box to communicate with the main body box, and an outer hatch that opens and closes an outer opening that allows the interior space of the spare box to communicate with the atmosphere. In the box, the following measures are taken to achieve the above purpose.

【0012】即ち、本発明は、前記予備ボックスの内部
空間の水分量を検出する水分センサと、この水分センサ
が所定値以上の水分を検出する時に内側ハッチを閉状態
に保持する内側ハッチ閉止手段とを設けたことを特徴と
するグローブボックスである。
That is, according to the present invention, a moisture sensor for detecting the amount of moisture in the internal space of the spare box, and an inner hatch closing means for holding the inner hatch in a closed state when the moisture sensor detects moisture of a predetermined value or more. It is a glove box characterized by having and.

【0013】本発明における内側ハッチ閉止手段は、水
分センサが所定値以上の水分を検出する時に内側ハッチ
を閉状態に保持するように構成してあればよく、例えば
予備ボックスの本体ボックス側に予備ボックスの軸心方
向と直交する方向に移動するスライドと、このスライド
に内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進退可能に支
持するガスシリンダと、このガスシリンダに乾燥ガスあ
るいは不活性ガスを供給するガス供給路と、このガス供
給路を開閉する電磁弁と、前記水分センサが所定値以上
の水分を検出する時に電磁弁でガス供給路を連通させ、
前記水分センサが所定値以上の水分を検出しない時に電
磁弁でガス供給路を遮断する制御回路とで構成すればよ
い。
The inner hatch closing means in the present invention may be constructed so as to hold the inner hatch in a closed state when the moisture sensor detects moisture of a predetermined value or more. A slide that moves in the direction orthogonal to the axial direction of the box, a gas cylinder that supports the inner hatch so that it can move back and forth in the axial direction of the spare box, and a dry gas or an inert gas is supplied to this gas cylinder. A gas supply path, an electromagnetic valve for opening and closing the gas supply path, and a gas supply path communicated with the electromagnetic valve when the water content sensor detects water having a predetermined value or more,
It may be configured with a control circuit that shuts off the gas supply path with an electromagnetic valve when the moisture sensor does not detect moisture above a predetermined value.

【0014】また、この内側ハッチ閉止手段は、内側開
口部の周囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸
着口と、この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路
と、この真空回路を開閉する電磁弁と、前記水分センサ
が所定値以上の水分を検出する時に電磁弁で真空回路を
連通させ、前記水分センサが所定値以上の水分を検出し
ない時に電磁弁で真空回路を遮断する制御回路とで構成
してもよい。
Further, the inner hatch closing means includes a vacuum suction port opened toward the inner hatch around the inner opening, a vacuum circuit for communicating the vacuum suction port with a vacuum source, and the vacuum circuit. Control to open and close the solenoid valve and the vacuum circuit with the solenoid valve when the moisture sensor detects moisture above a predetermined value, and to shut off the vacuum circuit with the solenoid valve when the moisture sensor does not detect moisture above the predetermined value It may be configured with a circuit.

【0015】更に、このこの内側ハッチ閉止手段は、内
側ハッチを閉位置に吸着する電磁石と、この電磁石を前
記水分センサが所定値以上の水分を検出する時に作動さ
せ、前記水分センサが所定値以上の水分を検出しない時
に作動解除する制御回路とで構成してもよい。
Further, the inner hatch closing means operates an electromagnet that attracts the inner hatch to a closed position, and activates the electromagnet when the moisture sensor detects a moisture content above a predetermined value, and the moisture sensor above a predetermined value. It may be configured with a control circuit that releases the operation when the water content is not detected.

【0016】また、本発明は、前記予備ボックスの内部
空間の酸素を検出する酸素センサと、この酸素センサが
酸素を検出する時に内側ハッチを閉状態に保持する内側
ハッチ閉止手段とを設けたことを特徴とするグローブボ
ックスである。
Further, according to the present invention, an oxygen sensor for detecting oxygen in the inner space of the spare box and an inner hatch closing means for holding the inner hatch in a closed state when the oxygen sensor detects oxygen are provided. It is a glove box characterized by.

【0017】本発明における内側ハッチ閉止手段は、酸
素センサが予備ボックス内の酸素を検出する時に内側ハ
ッチを閉状態に保持するように構成してあればよく、例
えば予備ボックスの本体ボックス側に予備ボックスの軸
心方向と直交する方向に移動するスライドと、このスラ
イドに内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進退可能
に支持するガスシリンダと、このガスシリンダに乾燥ガ
スあるいは不活性ガスを供給するガス供給路と、このガ
ス供給路を開閉する電磁弁と、前記酸素センサが酸素を
検出する時に電磁弁でガス供給路を連通させ、前記酸素
センサが酸素を検出しない時に電磁弁でガス供給路を遮
断する制御回路とで構成すればよい。
The inner hatch closing means in the present invention may be constructed so as to hold the inner hatch in a closed state when the oxygen sensor detects oxygen in the spare box. For example, a spare box is provided on the main box side of the spare box. A slide that moves in the direction orthogonal to the axial direction of the box, a gas cylinder that supports the inner hatch so that it can move back and forth in the axial direction of the spare box, and a dry gas or an inert gas is supplied to this gas cylinder. A gas supply path, a solenoid valve for opening and closing the gas supply path, and a solenoid valve for communicating the gas supply path when the oxygen sensor detects oxygen, and a solenoid valve for supplying the gas supply path when the oxygen sensor does not detect oxygen. It may be configured with a control circuit that shuts off.

【0018】また、この内側ハッチ閉止手段は、内側開
口部の周囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸
着口と、この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路
と、この真空回路を開閉する電磁弁と、前記酸素センサ
が酸素を検出する時に電磁弁で真空回路を連通させ、前
記酸素センサが酸素を検出しない時に電磁弁で真空回路
を遮断する制御回路とで構成してもよい。
Further, the inner hatch closing means includes a vacuum suction port opened toward the inner hatch around the inner opening, a vacuum circuit for communicating the vacuum suction port with a vacuum source, and this vacuum circuit. A solenoid valve that opens and closes and a control circuit that connects the vacuum circuit with the solenoid valve when the oxygen sensor detects oxygen and that shuts off the vacuum circuit with the solenoid valve when the oxygen sensor does not detect oxygen may be used. .

【0019】更に、このこの内側ハッチ閉止手段は、内
側ハッチを閉位置に吸着する電磁石と、この電磁石を前
記酸素センサが酸素を検出する時に作動させ、前記酸素
センサが酸素を検出しない時に作動解除する制御回路と
で構成してもよい。
Further, the inner hatch closing means operates an electromagnet for adsorbing the inner hatch to a closed position, and activates the electromagnet when the oxygen sensor detects oxygen, and deactivates when the oxygen sensor does not detect oxygen. And a control circuit for

【0020】[0020]

【作用】本発明によれば、予備ボックス内に空気が残留
している時には水分センサがこれを検出し、内側ハッチ
閉止手段が内側ハッチを閉位置に保持するので、予備ボ
ックス内の空気中の酸素及び水蒸気が本体ボックス内に
拡散するおそれがなくなる。
According to the present invention, when air remains in the spare box, the moisture sensor detects it, and the inner hatch closing means holds the inner hatch in the closed position. There is no risk of oxygen and water vapor diffusing into the body box.

【0021】また、本発明によれば、予備ボックス内に
酸素が残留している時には酸素センサがこれを検出し、
内側ハッチ閉止手段が内側ハッチを閉位置に保持するの
で、予備ボックス内の酸素が本体ボックス内に拡散する
おそれがなくなる。
Further, according to the present invention, when oxygen remains in the spare box, the oxygen sensor detects it.
Since the inner hatch closing means holds the inner hatch in the closed position, there is no risk of oxygen in the spare box diffusing into the main box.

【0022】[0022]

【実施例】本発明の一実施例に係るグローブボックスを
図面に基づいて具体的に説明すれば、以下の通りであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A glove box according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0023】図1の正面図に示すように、本発明の一実
施例に係るグローブボックス1は、作業空間をその外部
と気密状に区画する本体ボックス2と、一端を本体ボッ
クス2内に連通させ、他端を大気中に連通させた筒状の
予備ボックス3と、この予備ボックス2の内部空間4を
本体ボックス2内に連通させる内側開口部5を開閉する
内側ハッチ6と、前記予備ボックス3の内部空間4を大
気中に連通させる外側開口部7を開閉する外側ハッチ8
とを備える。
As shown in the front view of FIG. 1, a glove box 1 according to an embodiment of the present invention has a main body box 2 for partitioning a work space from the outside thereof in an airtight manner, and one end of the main body box 2 communicating with the main body box 2. And a tubular spare box 3 having the other end communicated with the atmosphere, an inner hatch 6 for opening and closing an inner opening 5 for communicating the internal space 4 of the spare box 2 with the main body box 2, and the spare box. An outer hatch 8 that opens and closes an outer opening 7 that allows the inner space 4 of 3 to communicate with the atmosphere.
With.

【0024】本体ボックス2の前面の上部は斜め上向き
に傾斜させた窓ガラス9で覆われ、下部には人の手を本
体ボックス2内に入れるための1対の開口部10が形成
されてる。この開口部10は手袋で気密状に覆われ、更
に、不使用時等に本体ボックス2内と外部とを遮断する
ために取外し可能な蓋11で閉じられている。
The upper part of the front surface of the main body box 2 is covered with a window glass 9 which is inclined obliquely upward, and the lower part is formed with a pair of openings 10 for putting a person's hand inside the main body box 2. The opening 10 is covered with gloves in an airtight manner, and is further closed with a removable lid 11 for blocking the inside and outside of the main body box 2 when not in use.

【0025】また、本体ボックス2の下部には本体ボッ
クス2の内部を図示しない真空ポンプの吸入口に連通さ
せる真空パイプ12と、本体ボックス2内にドライエア
ー、不活性ガスなどの雰囲気ガスを供給するためのガス
供給パイプ13とが連通させてあり、本体ボックス2の
上部には本体ボックス2エアパージ用のパージパイプ1
4Aを連通させてあり、このパージパイプ14Aに分岐
管15を介して酸素計または、水分センサ(露点計)を
分岐接続して本体ボックス2内の雰囲気を確認できるよ
うにしている。
A vacuum pipe 12 for communicating the inside of the main body box 2 with the suction port of a vacuum pump (not shown) is provided below the main body box 2, and an atmospheric gas such as dry air or an inert gas is supplied into the main body box 2. And a gas supply pipe 13 for communicating with each other.
4A are communicated with each other, and an oxygen meter or a moisture sensor (dew point meter) is branched and connected to the purge pipe 14A through a branch pipe 15 so that the atmosphere in the main body box 2 can be confirmed.

【0026】すなわち、酸素計を用いる場合には、本体
ボックス2内部の酸素量を測定し、本体ボックス2内部
の雰囲気が不活性ガスなどの雰囲気ガスに置換されてい
るか確認する。
That is, when an oxygen meter is used, the amount of oxygen inside the main body box 2 is measured to confirm whether the atmosphere inside the main body box 2 has been replaced with an atmospheric gas such as an inert gas.

【0027】また、通常の大気中の空気には、水蒸気が
多く含まれている。一方、ドライエアー、不活性ガスな
どの雰囲気ガスには水蒸気が含まれていない。従って、
本体ボックス2内の大気中の空気を排気し、本体ボック
ス2内を雰囲気ガスに置換すると、本体ボックス2内の
水分量は大幅に減少する。水分センサで本体ボックス2
内の水分量を検出することで、本体ボックス2内部の雰
囲気が雰囲気ガスに置換されているか否か確認すること
ができる。例えば、水分量が1000PPM以下になれ
ば、通常は雰囲気ガスに置換しているとして判断するこ
とができる。より厳密な雰囲気ガスへの置換状態が必要
な場合には、水分量が100PPM以下になったときに
置換完了と判断すればよい。水分センサーとしては、露
点計を用いることができる。
Further, normal atmospheric air contains a large amount of water vapor. On the other hand, atmospheric gas such as dry air and inert gas does not contain water vapor. Therefore,
When the air in the atmosphere in the body box 2 is exhausted and the atmosphere in the body box 2 is replaced with the atmospheric gas, the amount of water in the body box 2 is significantly reduced. Body box 2 with moisture sensor
By detecting the amount of water inside, it is possible to confirm whether or not the atmosphere inside the main body box 2 is replaced with the atmospheric gas. For example, when the water content is 1000 PPM or less, it can be determined that the atmosphere gas is normally substituted. When a more strict replacement state with the atmospheric gas is required, it may be judged that the replacement is completed when the water content becomes 100 PPM or less. A dew point meter can be used as the moisture sensor.

【0028】予備ボックス3は、特に限定されるもので
はないが、これを介して本体ボックス2に処理物を出し
入れする作業の作業性を高めるために、横軸に配置さ
れ、その一端部が本体ボックス2の例えば右横側壁16
に気密状に固定されている。
The spare box 3 is not particularly limited, but is arranged on the horizontal axis in order to enhance workability of the work for putting the processed product in and out of the main body box 2 through the spare box 3, one end of which is the main body. For example, the right side wall 16 of the box 2
It is fixed airtightly to.

【0029】また、この予備ボックス3の一端部は本体
ボックス2内に突入させてあり、その一端面を全面的に
開放して内側開口部5を形成し、他端面を全面的に開放
して外側開口部7が形成される。そして、この予備ボッ
クス3の上部には予備ボックス3エアパージ用のエアパ
ージパイプ14Bと、アルゴンガス供給パイプ14C
と、内部空間4の水分量を検出する露点計で構成された
水分センサ17とが接続される。
Further, one end of the spare box 3 is projected into the main body box 2, one end surface of which is completely opened to form an inner opening 5, and the other end surface of which is completely opened. The outer opening 7 is formed. An air purge pipe 14B for air purging of the spare box 3 and an argon gas supply pipe 14C are provided above the spare box 3.
And a moisture sensor 17 configured by a dew point meter that detects the amount of moisture in the internal space 4 are connected.

【0030】図2の側面図に示すように、内側ハッチ6
は、左右1対のスライドレール18によって左右方向に
摺動する板状のスライダ19に、支持手段20を介して
予備ボックス3の軸心方向に進退可能に支持される。
As shown in the side view of FIG. 2, the inner hatch 6
Is supported by a plate-shaped slider 19 that slides in the left-right direction by a pair of left and right slide rails 18 via a support means 20 so as to be movable back and forth in the axial direction of the auxiliary box 3.

【0031】図3の断面図に示すように、この支持手段
は、スライダ19に固定されたボス21と、このボス2
1に予備ボックス3の軸心方向に摺動可能にスプライン
内嵌されたネジ座22と、このネジ座22を本体ボック
ス2側に付勢するスプリング23と、ネジ座22の本体
ボックス2側への脱出を制限する押え蓋24と、ネジ座
22に対して予備ボックス3の軸心方向に所定の範囲内
で進退するネジ軸25と、本体ボックス2内に配置さ
れ、上記ネジ座22の本体ボックス2側端面を受け止め
るとともに、押え蓋24から本体ボックス2内に突出し
たこのネジ軸25の先端部が予備ボックス3の軸心方向
に摺動可能にスプライン内嵌されるハンドル26とを供
えている。
As shown in the sectional view of FIG. 3, the supporting means includes a boss 21 fixed to the slider 19 and the boss 2.
1, a screw seat 22 fitted in the spline so as to be slidable in the axial direction of the spare box 3, a spring 23 for urging the screw seat 22 toward the main body box 2, and a main body box 2 side of the screw seat 22. Of the screw seat 22 disposed in the main body box 2 and the screw shaft 25 that moves back and forth within the predetermined range in the axial direction of the auxiliary box 3 with respect to the screw seat 22. In addition to receiving the end surface on the box 2 side, the tip of the screw shaft 25 projecting from the holding lid 24 into the main body box 2 is provided with a handle 26 slidably fitted in the axial direction of the auxiliary box 3. There is.

【0032】前記ネジ軸25の予備ボックス3側部分に
は雄ネジ27が形成され、また、このネジ軸25の予備
ボックス3側の先端は内側ハッチ6のほぼ中央に回転自
在に連結される。これにより、ハンドル26をスプリン
グ23に抗して予備ボックス3側に一定以上押し込んで
回転させると、ネジ座22の内周に形成した雌ネジ28
にこの雌ネジ28がネジ締めされ、スライダ19に対し
て内側ハッチ6が接近する方向に駆動される。また、こ
れら雌ネジ27と雌ネジ28とが開放された状態でハン
ドル26を手放すと、スプリング23がネジ座22及び
ハンドル26を本体ボックス2側に移動させて、ネジ軸
25及び内側ハッチ6が内側開口部5に所定の範囲内で
自由に接離できるようになる。
A male screw 27 is formed on the portion of the screw shaft 25 on the side of the auxiliary box 3, and the tip of the screw shaft 25 on the side of the auxiliary box 3 is rotatably connected to the approximate center of the inner hatch 6. As a result, when the handle 26 is pushed against the spring 23 toward the auxiliary box 3 by a certain amount and rotated, the female screw 28 formed on the inner periphery of the screw seat 22 is formed.
The female screw 28 is tightened, and the inner hatch 6 is driven toward the slider 19. When the handle 26 is released with the female screw 27 and the female screw 28 opened, the spring 23 moves the screw seat 22 and the handle 26 to the main body box 2 side, and the screw shaft 25 and the inner hatch 6 are released. It becomes possible to freely come into contact with and separate from the inner opening 5 within a predetermined range.

【0033】図2に示すように、このグローブボックス
1には、予備ボックス3内の水分量を検出する水分セン
サ17が所定値以上の水分を検出、例えば水分が100
0PPM、好ましくは100PPM以上の水分を検出す
る時に内側ハッチを閉状態に保持する内側ハッチ閉止手
段30が設けられる。
As shown in FIG. 2, in this glove box 1, a moisture sensor 17 for detecting the amount of moisture in the spare box 3 detects moisture of a predetermined value or more.
Inner hatch closure means 30 is provided for holding the inner hatch closed when detecting moisture above 0 PPM, preferably above 100 PPM.

【0034】この内側ハッチ閉止手段30は、水分セン
サ17が予備ボックス3内の水分を所定値以上検出する
時に内側ハッチ6を閉状態に保持するように構成してあ
ればよく、ここでは、上記スライド19に支持され、内
側ハッチ6を予備ボックス3の軸心方向に進退可能に支
持するアルゴンガスシリンダ31と、このアルゴンガス
シリンダ21にアルゴンガス容器32からアルゴンを供
給するアルゴンガス供給路33と、このアルゴンガス供
給路33を開閉する2連電磁弁34と、前記水分センサ
17が所定値以上の水分を検出する時に2連電磁弁34
でアルゴンガス供給路32を連通させ、前記水分センサ
17が所定値以上の水分を検出しない時に2連電磁弁3
4でアルゴンガス供給路32を遮断する制御回路35と
を備える。
The inner hatch closing means 30 may be constituted so as to hold the inner hatch 6 in the closed state when the moisture sensor 17 detects the moisture in the spare box 3 at a predetermined value or more. An argon gas cylinder 31 supported by the slide 19 and supporting the inner hatch 6 so as to be able to advance and retreat in the axial direction of the auxiliary box 3, and an argon gas supply path 33 for supplying the argon gas cylinder 21 with argon from an argon gas container 32. , A double solenoid valve 34 for opening and closing the argon gas supply passage 33, and a double solenoid valve 34 when the moisture sensor 17 detects moisture of a predetermined value or more.
To connect the argon gas supply path 32 with each other, and when the moisture sensor 17 does not detect moisture above a predetermined value, the double solenoid valve 3
4, a control circuit 35 for shutting off the argon gas supply passage 32 is provided.

【0035】上記アルゴンガスシリンダ31は、2本以
上の複数本設けられ、図4に示すように、内側ハッチ6
の本体ボックス2側面に固定される筒体36と、筒体3
6内に形成されたシリンダ室37に進退可能に、かつ、
気密状に内嵌されたピストン38と、ピストン38及び
筒体36の予備ボックス3側端壁を貫通するピストンロ
ッド39とを備え、このピストンロッド39の予備ボッ
クス3側端部に内側ハッチ6が連結される。
The above-mentioned argon gas cylinders 31 are provided in a plurality of two or more, and as shown in FIG.
Body 36 fixed to the side surface of the main body box 2 of
6 is capable of advancing and retracting into a cylinder chamber 37 formed in 6, and
A piston 38 fitted in an airtight manner and a piston rod 39 penetrating the end wall of the piston 38 and the tubular body 36 on the side of the auxiliary box 3 are provided. The inner hatch 6 is provided at the end of the piston rod 39 on the auxiliary box 3 side. Be connected.

【0036】又、筒台36の本体ボックス2側端部には
シリンダ室37内でピストン38の本体ボックス2側に
区画された受圧室40に上記アルゴンガス供給路33を
連通させるための接続部41が設けられる。
A connecting portion for connecting the argon gas supply passage 33 to a pressure receiving chamber 40 defined in the cylinder chamber 37 on the body box 2 side of the piston 38 is provided at an end portion of the cylinder base 36 on the body box 2 side. 41 is provided.

【0037】更に、筒体36の本体ボックス2側端壁に
は、継手42が固定され、上記ピストンロッド39の本
体ボックス2側端部がこの継手42内のガス通路43に
摺動可能に、かつ、気密状に内嵌される。更に、このピ
ストンロッド39を中空にすることにより、この継手4
2のガス通路43を予備ボックス3の内部空間4に連通
させ、図2に示すように、この継手42に別のアルゴン
ガス供給路44及び前記2連電磁弁34を介してアルゴ
ンガス容器32を接続することにより、前記前記水分セ
ンサ17が所定値以上の水分を検出する時に2連電磁弁
34でアルゴンガス供給路44を連通させて予備ボック
ス3の内部空間4にアルゴンガスを供給し、前記水分セ
ンサ17が所定値以上の水分を検出しない時に2連電磁
弁34でアルゴンガス供給路44を遮断して、内部空間
4へのアルゴンガスの供給を停止させるようにしてい
る。
Further, a joint 42 is fixed to an end wall of the tubular body 36 on the main body box 2 side, and an end portion of the piston rod 39 on the main body box 2 side is slidable in a gas passage 43 in the joint 42. And it is fitted in an airtight manner. Further, by making the piston rod 39 hollow, the joint 4
The second gas passage 43 is communicated with the internal space 4 of the spare box 3, and the argon gas container 32 is connected to this joint 42 via another argon gas supply passage 44 and the double solenoid valve 34 as shown in FIG. By connecting, when the moisture sensor 17 detects moisture above a predetermined value, the argon gas supply passage 44 is communicated with the two solenoid valves 34 to supply the argon gas to the internal space 4 of the spare box 3, When the moisture sensor 17 does not detect moisture above a predetermined value, the double solenoid valve 34 shuts off the argon gas supply passage 44 to stop the supply of the argon gas to the internal space 4.

【0038】なお、図4に示すように、上記シリンダ室
37内にはピストン38及びピストンロッド39を受圧
室40側に付勢する戻しバネ45が設けられる。
As shown in FIG. 4, a return spring 45 for urging the piston 38 and the piston rod 39 toward the pressure receiving chamber 40 is provided in the cylinder chamber 37.

【0039】また、図2あるいは図4に示すように、上
記内側開口部5の周縁には、予備ボックス3と内側ハッ
チ6とを気密状に閉止できるようにするため、例えばゴ
ムなどの弾性部材からなるシール29が固定されてい
る。
Further, as shown in FIG. 2 or 4, an elastic member such as rubber is formed around the inner opening 5 so that the auxiliary box 3 and the inner hatch 6 can be closed in an airtight manner. The seal 29 consisting of is fixed.

【0040】上記の構成において、内側ハッチ6を内側
開口部5に対向させた状態で、例えば、外側ハッチ8が
開放されていたり、不完全に閉じられていたり、外側ハ
ッチ8を閉じた後に内部空間4のエアパージが不完全で
あったりする場合には、内部空間4に空気が存在し、水
分センサ17が空気に含まれる水蒸気を検出し、水お分
量が所定値以上の値を示す。すなわち、前述したよう
に、通常の大気中の空気には、水蒸気が多く含まれてお
り、ドライエアー、不活性ガスなどの雰囲気ガスには水
蒸気が含まれていない。従って、内部空間4の空気が減
少して行くと、水分量は大幅に減少する。このため、こ
の水分センサ17の所定値、例えば1000PPM以上
の水分を検出すると、例えば、外側ハッチ8が開放され
ていたり、不完全に閉じられていたり、外側ハッチ8を
閉じた後に内部空間4のエアパージが不完全であったり
する場合であるので、この検出結果に基づいて制御回路
35が2連電磁弁34を切り替え、アルゴンガス供給路
33を経てアルゴンガスシリンダ31の受圧室40に加
圧されたアルゴンガスを供給して、アルゴンガスシリン
ダ31を伸長させ、これにより、内側ハッチ6を内側開
口部5に密着させて内側ハッチ6を確実に閉じる。
In the above configuration, with the inner hatch 6 facing the inner opening 5, for example, the outer hatch 8 is opened or incompletely closed, or after the outer hatch 8 is closed, the inside is closed. When the air purging of the space 4 is incomplete, air is present in the inner space 4, the moisture sensor 17 detects the water vapor contained in the air, and the water content shows a value equal to or larger than a predetermined value. That is, as described above, normal atmospheric air contains a large amount of water vapor, and atmospheric gases such as dry air and an inert gas do not contain water vapor. Therefore, as the air in the internal space 4 decreases, the water content decreases significantly. Therefore, when the moisture sensor 17 detects a predetermined value of moisture, for example, 1000 PPM or more, for example, the outer hatch 8 is opened or incompletely closed, or after the outer hatch 8 is closed, the inner space 4 of the inner space 4 is closed. Since the air purge may be incomplete, the control circuit 35 switches the two solenoid valves 34 based on the detection result, and the pressure is applied to the pressure receiving chamber 40 of the argon gas cylinder 31 via the argon gas supply passage 33. Argon gas is supplied to extend the argon gas cylinder 31, and thereby the inner hatch 6 is brought into close contact with the inner opening 5 to securely close the inner hatch 6.

【0041】また、これと同時にアルゴンガス供給路4
4、継手42のガス通路43及びピストンロッド39の
中空部を経て予備ボックス3の内部空間4にアルゴンガ
スが供給される。
At the same time, the argon gas supply path 4
4, argon gas is supplied to the internal space 4 of the auxiliary box 3 through the gas passage 43 of the joint 42 and the hollow portion of the piston rod 39.

【0042】そして、内部空間4の空気がなくなると、
水分センサ17は所定値未満の水分量になり、制御回路
35が2連電磁弁34を切り替えて、内部空間4へのア
ルゴンガスの供給を停止すると共に、アルゴンガスシリ
ンダ31へのアルゴンガスの供給停止し、アルゴンガス
シリンダ31が短縮されて内側ハッチ6が開かれる。
When the air in the internal space 4 is exhausted,
The water content of the moisture sensor 17 becomes less than a predetermined value, and the control circuit 35 switches the two solenoid valves 34 to stop the supply of the argon gas to the internal space 4 and supply the argon gas to the argon gas cylinder 31. When stopped, the argon gas cylinder 31 is shortened and the inner hatch 6 is opened.

【0043】したがって、内部空間4に空気がある限り
内側ハッチ6が開かれることはなく、これにより、予備
ボックス3から本体ボックス2への空気中の酸素及び水
蒸気の拡散が確実に防止され、本体ボックス2内に残留
している酸素に接触すると発火したり爆発したりする物
質と酸素との接触を確実に防止できることになる。
Therefore, as long as there is air in the internal space 4, the inner hatch 6 will not be opened, so that the diffusion of oxygen and water vapor in the air from the spare box 3 to the main body box 2 is surely prevented, and the main body is surely prevented. When the oxygen remaining in the box 2 is brought into contact with the oxygen, it is possible to surely prevent the contact between the substance and the oxygen that ignites or explodes.

【0044】また、予備ボックス3内の空気パージが完
全に終わると同時に、内側ハッチを開くことができるよ
うになるので、予備ボックス内への処理物の挿入からこ
の処理物の本体ボックス内に移動させるまでの時間を短
縮することができる。
Further, since the inner hatch can be opened at the same time when the air purging in the spare box 3 is completely completed, it is possible to move from the insertion of the processed product into the spare box to the main body box of the processed product. It is possible to shorten the time until it is performed.

【0045】更に、この実施例では、内側ハッチ6が予
備ボックス3の軸心に直交する方向に摺動するスライダ
19に予備ボックス3の軸心方向に進退可能に支持され
ているので、内側ハッチ6の開閉のために本体ボックス
2内の空間が犠牲になることがなく、本体ボックス2内
の作業空間を広く活用できる。
Further, in this embodiment, since the inner hatch 6 is supported by the slider 19 which slides in the direction orthogonal to the axis of the auxiliary box 3 so as to be able to move forward and backward in the axial direction of the auxiliary box 3, the inner hatch 6 is moved. Since the space inside the body box 2 is not sacrificed for opening and closing 6, the work space inside the body box 2 can be widely utilized.

【0046】図5に示す本発明の他の実施例では、内側
開口部5の周囲に全周にわたって連続して、あるいは、
断続的に内側ハッチ6に向かって開口する真空吸着口5
1と、この真空吸着口51を真空ポンプからなる真空源
52に連通させる真空回路53と、この真空回路53を
開閉する電磁弁54と、前記水分センサ17が所定値以
上の水分を検出する時に電磁弁54で真空回路53を連
通させ、前記水分センサ17が所定値の水分を検出しな
い時に遮断する制御回路55とを備える内側ハッチ閉止
手段50が設けられる。
In another embodiment of the present invention shown in FIG. 5, the inner opening 5 is continuously formed around the entire circumference, or alternatively,
Vacuum suction port 5 that intermittently opens toward the inner hatch 6
1, a vacuum circuit 53 that connects the vacuum suction port 51 to a vacuum source 52 composed of a vacuum pump, an electromagnetic valve 54 that opens and closes the vacuum circuit 53, and when the moisture sensor 17 detects moisture of a predetermined value or more. There is provided an inner hatch closing means 50 including a control circuit 55 which connects the vacuum circuit 53 with an electromagnetic valve 54 and shuts off when the moisture sensor 17 does not detect a predetermined value of moisture.

【0047】この実施例では、外側ハッチ8の開放ある
いは不完全閉止時にアルゴンガスが予備ボックス3から
流失することがなく、アルゴンガスの消費量を削減でき
る利点がある。
This embodiment has an advantage that the argon gas does not flow out from the spare box 3 when the outer hatch 8 is opened or incompletely closed, and the consumption of the argon gas can be reduced.

【0048】また、従来のグローブボックスに真空吸着
口51と、電磁弁54を介在させた真空回路53と、制
御回路55とを追加するだけで済み、容易に、かつ、安
価に実施できるとともに、既設のグローブボックスを容
易に、かつ、安価に改造して本実施例を実施できる。
Further, it is only necessary to add the vacuum suction port 51, the vacuum circuit 53 with the electromagnetic valve 54 interposed, and the control circuit 55 to the conventional glove box, which can be implemented easily and inexpensively. The present embodiment can be implemented by easily and inexpensively modifying an existing glove box.

【0049】この実施例のその他の構成、作用ないし効
果は上記の一実施例のそれらと同様であるので、重複を
避けるためこれらの説明は省略する。
Since the other constructions, functions and effects of this embodiment are the same as those of the above-mentioned one embodiment, their description will be omitted to avoid duplication.

【0050】図6に示す本発明の又他の実施例では、内
側ハッチ6を閉位置に吸着する電磁石61と、この電磁
石61を前記水分センサ17が所定値の水分を検出する
時に作動させ、前記水分センサ17が所定値の水分を検
出しない時に作動解除する制御回路62とを備える内側
ハッチ閉止手段60が設けられる。
In another embodiment of the present invention shown in FIG. 6, an electromagnet 61 for adsorbing the inner hatch 6 in the closed position, and the electromagnet 61 is operated when the moisture sensor 17 detects a predetermined amount of moisture, An inner hatch closing means 60 is provided which comprises a control circuit 62 which is deactivated when the moisture sensor 17 does not detect a predetermined amount of moisture.

【0051】この実施例では、外側ハッチ8の開放ある
いは不完全閉止時にアルゴンガスが予備ボックス3から
流失することがなく、アルゴンガスの消費量を削減でき
る利点がある。
In this embodiment, there is an advantage that the argon gas does not flow out from the spare box 3 when the outer hatch 8 is opened or incompletely closed, and the consumption of the argon gas can be reduced.

【0052】また、従来のグローブボックスに電磁石6
1と制御回路62とを追加するだけで済むので、一層容
易に、かつ、安価に実施でき、また、既設のグローブボ
ックスを一層容易に、かつ、一層安価に改造して本実施
例を実施できる。
In addition, the electromagnet 6 is added to the conventional glove box.
Since it suffices to add 1 and the control circuit 62, it can be implemented more easily and cheaply, and the existing glove box can be modified more easily and cheaper to implement this embodiment. .

【0053】この実施例のその他の構成、作用ないし効
果は上記の一実施例のそれらと同様であるので、重複を
避けるためこれらの説明は省略する。
Since the other construction, operation and effect of this embodiment are the same as those of the above-mentioned one embodiment, their description will be omitted to avoid duplication.

【0054】上記の各実施例では、内側ハッチ6が予備
ボックス3の軸心方向に直交する方向に移動するスライ
ダ19に予備ボックス3の軸心方向に進退可能に支持さ
せているが、前2例は、内側ハッチ6がその一側部ない
し一側方に設定された支軸を中心に回転して開閉される
方式のグローブボックスにも適用できる。
In each of the above-mentioned embodiments, the inner hatch 6 is supported by the slider 19 which moves in the direction orthogonal to the axial direction of the auxiliary box 3 so as to be movable back and forth in the axial direction of the auxiliary box 3. The example can also be applied to a glove box of a type in which the inner hatch 6 is opened and closed by rotating around a support shaft set at one side or one side thereof.

【0055】上記の各実施例では、内部空間4に空気の
存在を水分センサ17を用いて検出しているが、処理物
が酸素と反応して爆発するようのものの場合には、より
確実に酸素を検出するために、水分センサ17の代わり
に酸素センサを用いて内部空間4に酸素がある限り内側
ハッチ6が開かないように構成することもできる。酸素
センサとしては、熱線型半導体式ガスセンサ、接触燃焼
式ガスセンサ、気体熱伝導式ガスセンサ、定電位電解式
ガスセンサー、薄膜式ガスセンサー、隔膜ガルバニ電池
式ガスセンサー、半導体式ガスセンサー、オルガスタ式
ガスセンサなどのガスセンサを用いるることができる。
In each of the above-described embodiments, the presence of air in the internal space 4 is detected by using the moisture sensor 17. However, in the case where the object to be treated reacts with oxygen and explodes, it is more reliable. In order to detect oxygen, an oxygen sensor may be used instead of the moisture sensor 17 so that the inner hatch 6 does not open as long as there is oxygen in the internal space 4. As oxygen sensor, hot wire type semiconductor gas sensor, catalytic combustion type gas sensor, gas heat conduction type gas sensor, potentiostatic electrolysis type gas sensor, thin film type gas sensor, diaphragm galvanic cell type gas sensor, semiconductor type gas sensor, orgusta type gas sensor, etc. The gas sensor of can be used.

【0056】これらガスセンサで構成される酸素センサ
を用いて、酸素センサが内部空間4に酸素を検出した場
合には、上記各実施例の内側ハッチ6は閉状態に保持す
る。そして、酸素センサが酸素を検出しないときには、
内側ハッチ6が開放可能となる。したがって、内部空間
4に酸素がある限り内側ハッチ6が開かれることはな
く、これにより、予備ボックス3から本体ボックス2へ
の酸素の拡散が確実に防止され、本体ボックス2内に残
留している酸素に接触すると発火したり爆発したりする
物質と酸素との接触を確実に防止できることになる。
When the oxygen sensor composed of these gas sensors is used to detect oxygen in the internal space 4, the inner hatch 6 in each of the above embodiments is kept closed. And when the oxygen sensor does not detect oxygen,
The inner hatch 6 can be opened. Therefore, as long as there is oxygen in the internal space 4, the inner hatch 6 is not opened, so that the diffusion of oxygen from the spare box 3 to the main body box 2 is surely prevented and remains inside the main body box 2. It is possible to reliably prevent contact between oxygen and a substance that ignites or explodes when it comes into contact with oxygen.

【0057】酸素センサーを用いた実施例のその他の構
成、作用ないし効果は上記の各実施例のそれらと同様で
あるので、重複を避けるためこれらの説明は省略する。
Other constitutions, functions and effects of the embodiment using the oxygen sensor are the same as those of the above-mentioned embodiments, and therefore their explanation is omitted to avoid duplication.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のグロー
ブボックスは、予備ボックスの内部空間の水分量を検出
する水分センサと、この水分センサが所定値以上の水分
を検出する時に内側ハッチを閉状態に保持する内側ハッ
チ閉止手段とを設けたので、予備ボックス内に空気が残
留している時には水分センサがこれを検出し、内側ハッ
チ閉止手段が内側ハッチを閉位置に保持するので、予備
ボックス内の空気中の酸素や水蒸気が本体ボックス内に
拡散するおそれがなくなる。
As described above, in the glove box of the present invention, the moisture sensor for detecting the amount of moisture in the internal space of the spare box and the inner hatch when the moisture sensor detects moisture of a predetermined value or more. Since the inner hatch closing means for holding the closed state is provided, when air remains in the spare box, the moisture sensor detects it and the inner hatch closing means holds the inner hatch in the closed position. Oxygen and water vapor in the air inside the box will not diffuse into the main box.

【0059】これにより、本体ボックス内に残留してい
る酸素に接触すると発火したり爆発したりする物質と酸
素との接触を確実に防止でき、かかる物質の処理作業の
安全性を高めることができる。
With this, it is possible to surely prevent contact between oxygen and a substance that ignites or explodes when it contacts oxygen remaining in the main body box, and it is possible to enhance the safety of the work of treating such a substance. .

【0060】本発明において、特に、上記内側ハッチ閉
止手段を予備ボックスの本体ボックス側に予備ボックス
の軸心方向と直交する方向に移動するスライドと、この
スライドに内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進退
可能に支持するガスシリンダと、このガスシリンダに乾
燥ガスあるいは不活性ガスを供給するガス供給路と、こ
のガス供給路を開閉する電磁弁と、前記水分センサが所
定値以上の水分を検出する時に電磁弁でガス供給路を連
通させ、前記水分センサが所定値以上の水分を検出しな
い時に電磁弁でガス供給路を遮断する制御回路とを備え
るもので構成する場合には、予備ボックス内の酸素パー
ジが完全に終わると同時に、内側ハッチを開くことがで
きるようになるので、予備ボックス内への処理物の挿入
からこの処理物の本体ボックス内に移動させるまでの時
間を短縮することができるとともに、本体ボックス内の
内側ハッチ開閉のためのスペースを小さくして作業空間
を広く利用できるようになる。
In the present invention, in particular, a slide for moving the inner hatch closing means to the main body box side of the spare box in a direction orthogonal to the axial center direction of the spare box, and the inner hatch is attached to the slide in the axial direction of the spare box. A gas cylinder that can move forward and backward, a gas supply path that supplies a dry gas or an inert gas to this gas cylinder, an electromagnetic valve that opens and closes this gas supply path, and the moisture sensor detects moisture above a predetermined value. In the spare box, when it is configured with a control circuit that connects the gas supply passage with a solenoid valve when the The inner hatch can be opened at the same time when the oxygen purging of the It is possible to reduce the time to move into the body box, it becomes possible to widely use the working space by reducing the space for the inner hatch opening and closing of the main box.

【0061】また、本発明において、特に、前記内側ハ
ッチ閉止手段が、内側開口部の周囲部で内側ハッチに向
かって開口された真空吸着口と、この真空吸着口を真空
源に連通させる真空回路と、この真空回路を開閉する電
磁弁と、前記水分センサが所定値以上の水分を検出する
時に連通させ、前記水分センサが所定値以上の水分を検
出しない時に遮断する制御回路とを備えるものである場
合には、外側ハッチの開放あるいは不完全閉止時にアル
ゴンガスが予備ボックスから流失することがなく、アル
ゴンガスの消費量を削減できる上、従来のグローブボッ
クスに真空吸着口と、電磁弁を介在させた真空回路と、
制御回路とを追加するだけで済み、容易に、かつ、安価
に実施できるとともに、既設のグローブボックスを容易
に、かつ、安価に改造して本発明を実施できる。
Further, in the present invention, in particular, the inner hatch closing means has a vacuum suction port opened toward the inner hatch at the periphery of the inner opening, and a vacuum circuit for connecting the vacuum suction port to a vacuum source. And a solenoid valve that opens and closes the vacuum circuit, and a control circuit that connects when the moisture sensor detects moisture above a predetermined value and shuts off when the moisture sensor does not detect moisture above a predetermined value. In some cases, when the outer hatch is opened or incompletely closed, argon gas does not flow out of the backup box, reducing the consumption of argon gas, and adding a vacuum suction port and solenoid valve to the conventional glove box. The vacuum circuit
Only by adding a control circuit, the present invention can be implemented easily and inexpensively, and the existing glove box can be easily and inexpensively modified to implement the present invention.

【0062】更に、本発明において、特に、前記内側ハ
ッチ閉止手段が、内側ハッチを閉位置に吸着する電磁石
と、この電磁石を前記酸素センサが酸素を検出する時に
作動させ、前記水分センサが所定値以上の水分を検出し
ない時に作動解除する制御回路とを備えるものである場
合には、外側ハッチの開放あるいは不完全閉止時にアル
ゴンガスが予備ボックスから流失することがなく、アル
ゴンガスの消費量を削減できる上、従来のグローブボッ
クスに電磁石と制御回路とを追加するだけで済むので、
一層容易に、かつ、安価に実施でき、また、既設のグロ
ーブボックスを一層容易に、かつ、一層安価に改造して
本発明を実施できる。
Furthermore, in the present invention, in particular, the inner hatch closing means operates an electromagnet for adsorbing the inner hatch to the closed position, and the electromagnet is operated when the oxygen sensor detects oxygen, and the moisture sensor has a predetermined value. If it is equipped with a control circuit that deactivates when the above moisture is not detected, the argon gas will not be washed away from the spare box when the outer hatch is opened or incompletely closed, reducing the consumption of argon gas. Besides, you can add an electromagnet and a control circuit to the conventional glove box,
The present invention can be implemented more easily and cheaply, and the present invention can be implemented by modifying an existing glove box more easily and cheaper.

【0063】また、本発明のグローブボックスは、予備
ボックスの内部空間の酸素を検出する酸素センサと、こ
の酸素センサが酸素を検出する時に内側ハッチを閉状態
に保持する内側ハッチ閉止手段とを設けたので、予備ボ
ックス内に酸素が残留している時には酸素センサがこれ
を検出し、内側ハッチ閉止手段が内側ハッチを閉位置に
保持するので、予備ボックス内の酸素が本体ボックス内
に拡散するおそれがなくなる。
Further, the glove box of the present invention is provided with an oxygen sensor for detecting oxygen in the internal space of the spare box, and an inner hatch closing means for holding the inner hatch in a closed state when the oxygen sensor detects oxygen. Therefore, when oxygen remains in the spare box, the oxygen sensor detects it, and the inner hatch closing means holds the inner hatch in the closed position, so the oxygen in the spare box may diffuse into the main box. Disappears.

【0064】これにより、本体ボックス内に残留してい
る酸素に接触すると発火したり爆発したりする物質と酸
素との接触を確実に防止でき、かかる物質の処理作業の
安全性を高めることができる。
As a result, it is possible to reliably prevent contact between oxygen and a substance that ignites or explodes when it contacts oxygen remaining in the main body box, and it is possible to enhance the safety of the work for treating such a substance. .

【0065】本発明において、特に、上記内側ハッチ閉
止手段を予備ボックスの本体ボックス側に予備ボックス
の軸心方向と直交する方向に移動するスライドと、この
スライドに内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進退
可能に支持するガスシリンダと、このガスシリンダに乾
燥ガスあるいは不活性ガスを供給するガス供給路と、こ
のガス供給路を開閉する電磁弁と、前記酸素センサが酸
素を検出する時に電磁弁でガス供給路を連通させ、前記
酸素センサが酸素を検出しない時に電磁弁でガス供給路
を遮断する制御回路とを備えるもので構成する場合に
は、予備ボックス内の酸素パージが完全に終わると同時
に、内側ハッチを開くことができるようになるので、予
備ボックス内への処理物の挿入からこの処理物の本体ボ
ックス内に移動させるまでの時間を短縮することができ
るとともに、本体ボックス内の内側ハッチ開閉のための
スペースを小さくして作業空間を広く利用できるように
なる。
In the present invention, in particular, a slide for moving the inner hatch closing means to the main body box side of the spare box in a direction orthogonal to the axial center direction of the spare box, and the inner hatch is attached to the slide in the axial direction of the spare box. A gas cylinder that can be moved forward and backward, a gas supply path that supplies a dry gas or an inert gas to this gas cylinder, a solenoid valve that opens and closes this gas supply path, and a solenoid valve when the oxygen sensor detects oxygen. When the oxygen sensor is configured to include a control circuit that connects the gas supply path with each other and shuts off the gas supply path with a solenoid valve when the oxygen sensor does not detect oxygen, when the oxygen purge in the spare box is completely completed. At the same time, it will be possible to open the inner hatch, so move from the insertion of the object to be processed into the main box of this object. It is possible to reduce the time to become widely available working space by reducing the space for the inner hatch opening and closing of the main box.

【0066】また、本発明において、特に、前記内側ハ
ッチ閉止手段が、内側開口部の周囲部で内側ハッチに向
かって開口された真空吸着口と、この真空吸着口を真空
源に連通させる真空回路と、この真空回路を開閉する電
磁弁と、前記酸素センサが酸素を検出する時に連通さ
せ、前記酸素センサが酸素を検出しない時に遮断する制
御回路とを備えるものである場合には、外側ハッチの開
放あるいは不完全閉止時にアルゴンガスが予備ボックス
から流失することがなく、アルゴンガスの消費量を削減
できる上、従来のグローブボックスに真空吸着口と、電
磁弁を介在させた真空回路と、制御回路とを追加するだ
けで済み、容易に、かつ、安価に実施できるとともに、
既設のグローブボックスを容易に、かつ、安価に改造し
て本発明を実施できる。
Further, in the present invention, in particular, the inner hatch closing means has a vacuum suction port opened toward the inner hatch at the periphery of the inner opening portion, and a vacuum circuit for communicating the vacuum suction port with a vacuum source. And a solenoid valve that opens and closes this vacuum circuit, and a control circuit that communicates when the oxygen sensor detects oxygen and shuts off when the oxygen sensor does not detect oxygen. Argon gas does not flow out of the spare box when opened or incompletely closed, reducing the consumption of argon gas.In addition, a vacuum suction port in a conventional glove box, a vacuum circuit with a solenoid valve interposed, and a control circuit It is only necessary to add and, and it can be implemented easily and inexpensively,
The present invention can be implemented by modifying an existing glove box easily and inexpensively.

【0067】更に、本発明において、特に、前記内側ハ
ッチ閉止手段が、内側ハッチを閉位置に吸着する電磁石
と、この電磁石を前記酸素センサが酸素を検出する時に
作動させ、前記酸素センサが酸素を検出しない時に作動
解除する制御回路とを備えるものである場合には、外側
ハッチの開放あるいは不完全閉止時にアルゴンガスが予
備ボックスから流失することがなく、アルゴンガスの消
費量を削減できる上、従来のグローブボックスに電磁石
と制御回路とを追加するだけで済むので、一層容易に、
かつ、安価に実施でき、また、既設のグローブボックス
を一層容易に、かつ、一層安価に改造して本発明を実施
できる。
Further, in the present invention, in particular, the inner hatch closing means operates an electromagnet for adsorbing the inner hatch to the closed position, and activates the electromagnet when the oxygen sensor detects oxygen, and the oxygen sensor detects oxygen. If it is equipped with a control circuit that deactivates when it does not detect, argon gas does not flow out from the backup box when the outer hatch is opened or incompletely closed, and it is possible to reduce the consumption of argon gas. Since it is only necessary to add an electromagnet and a control circuit to the glove box,
Moreover, the present invention can be implemented at low cost, and the existing glove box can be modified more easily and more inexpensively to implement the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の正面図である。FIG. 1 is a front view of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例の内側ハッチ閉止手段の構成
図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of an inner hatch closing means according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例の支持手段の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a supporting means according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例のアルゴンガスシリンダの断
面図である。
FIG. 4 is a sectional view of an argon gas cylinder according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施例の内側ハッチ閉止手段の構
成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram of inner hatch closing means of another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の又他の実施例の内側ハッチ閉止手段の
構成図である。
FIG. 6 is a configuration diagram of an inner hatch closing means according to still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 グローブボックス 2 本体ボックス 3 予備ボックス 4 内部空間 5 内側開口部 6 内側ハッチ 7 外側開口部 8 外側ハッチ 17 水分センサ 19 スライド 31 アルゴンガスシリンダ 33 アルゴンガス供給路 34 2連電磁弁 35 制御回路 50 内側ハッチ閉止手段 51 真空吸着口 53 真空回路 54 電磁弁 55 制御回路 60 内側ハッチ閉止手段 61 電磁石 62 制御回路 1 Glove Box 2 Body Box 3 Spare Box 4 Inner Space 5 Inner Opening 6 Inner Hatch 7 Outer Opening 8 Outer Hatch 17 Moisture Sensor 19 Slide 31 Argon Gas Cylinder 33 Argon Gas Supply Path 34 Two-way Solenoid Valve 35 Control Circuit 50 Inside Hatch closing means 51 Vacuum suction port 53 Vacuum circuit 54 Solenoid valve 55 Control circuit 60 Inner hatch closing means 61 Electromagnet 62 Control circuit

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 作業空間をその外部と気密状に区画する
本体ボックスと、一端を本体ボックス内に連通させ、他
端を大気中に連通させた筒状の予備ボックスと、この予
備ボックスの内部空間を本体ボックス内に連通させる内
側開口部を開閉する内側ハッチと、前記予備ボックスの
内部空間を大気中に連通させる外側開口部を開閉する外
側ハッチとを備えるグローブボックスにおいて、 前記予備ボックスの内部空間の水分量を検出する水分セ
ンサと、この水分センサにより所定値以上の水分を検出
する時に内側ハッチを閉状態に保持する内側ハッチ閉止
手段とを設けたことを特徴とするグローブボックス。
1. A main body box for partitioning a work space in an airtight manner from the outside thereof, a cylindrical spare box having one end communicated with the main body box and the other end communicated with the atmosphere, and the inside of the spare box. A glove box including an inner hatch that opens and closes an inner opening that communicates the space with the main body box, and an outer hatch that opens and closes an outer opening that communicates the inner space of the spare box with the atmosphere, the interior of the spare box A glove box provided with a moisture sensor for detecting the amount of moisture in the space, and an inner hatch closing means for holding the inner hatch in a closed state when the moisture sensor detects moisture of a predetermined value or more.
【請求項2】 前記内側ハッチ閉止手段が、予備ボック
スの本体ボックス側に予備ボックスの軸心方向と直交す
る方向に移動するスライドと、このスライドに内側ハッ
チを予備ボックスの軸心方向に進退可能に支持するガス
シリンダと、このガスシリンダに乾燥ガスあるいは不活
性ガスを供給するガス供給路と、このガス供給路を開閉
する電磁弁と、前記水分センサが所定値以上の水分を検
出する時に電磁弁でガス供給路を連通させ、前記水分セ
ンサが所定置以上の水分を検出しない時に電磁弁でガス
供給路を遮断する制御回路とを備えるものである請求項
1に記載のグローブボックス。
2. The slide, wherein the inner hatch closing means moves toward the main body box side of the spare box in a direction orthogonal to the axial center direction of the spare box, and the inner hatch can be moved back and forth on the slide in the axial center direction of the spare box. A gas cylinder that supports the gas cylinder, a gas supply path that supplies a dry gas or an inert gas to the gas cylinder, a solenoid valve that opens and closes the gas supply path, and an electromagnetic valve when the moisture sensor detects moisture above a predetermined value. The glove box according to claim 1, further comprising a control circuit that connects the gas supply path with a valve and shuts off the gas supply path with an electromagnetic valve when the moisture sensor does not detect moisture above a predetermined position.
【請求項3】 前記内側ハッチ閉止手段が、内側開口部
の周囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸着口
と、この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路と、
この真空回路を開閉する電磁弁と、前記水分センサが所
定値以上の水分を検出する時に連通させ、前記水分セン
サが所定値以上の水分を検出しない時に遮断する制御回
路とを備えるものである請求項1に記載のグローブボッ
クス。
3. The vacuum suction port, wherein the inner hatch closing means is opened toward the inner hatch around the inner opening, and a vacuum circuit for communicating the vacuum suction port with a vacuum source.
An electromagnetic valve that opens and closes the vacuum circuit, and a control circuit that communicates when the moisture sensor detects moisture above a predetermined value and shuts off when the moisture sensor does not detect moisture above a predetermined value. The glove box according to Item 1.
【請求項4】 前記内側ハッチ閉止手段が、内側ハッチ
を閉位置に吸着する電磁石と、この電磁石を前記水分セ
ンサが所定値以上の水分を検出する時に作動させ、前記
水分センサが所定値以上の水分を検出しない時に作動解
除する制御回路とを備えるものである請求項1に記載の
グローブボックス。
4. The inner hatch closing means is an electromagnet for adsorbing the inner hatch to a closed position, and the electromagnet is activated when the moisture sensor detects moisture above a predetermined value, and the moisture sensor is above a predetermined value. The glove box according to claim 1, further comprising a control circuit that is deactivated when moisture is not detected.
【請求項5】 作業空間をその外部と気密状に区画する
本体ボックスと、一端を本体ボックス内に連通させ、他
端を大気中に連通させた筒状の予備ボックスと、この予
備ボックスの内部空間を本体ボックス内に連通させる内
側開口部を開閉する内側ハッチと、前記予備ボックスの
内部空間を大気中に連通させる外側開口部を開閉する外
側ハッチとを備えるグローブボックスにおいて、 前記予備ボックスの内部空間の酸素を検出する酸素セン
サと、この酸素センサが酸素を検出する時に内側ハッチ
を閉状態に保持する内側ハッチ閉止手段とを設けたこと
を特徴とするグローブボックス。
5. A main body box for airtightly dividing a work space from the outside, a cylindrical spare box having one end communicating with the main body box and the other end communicating with the atmosphere, and the inside of the spare box. A glove box including an inner hatch that opens and closes an inner opening that communicates the space with the main body box, and an outer hatch that opens and closes an outer opening that communicates the inner space of the spare box with the atmosphere, the interior of the spare box A glove box provided with an oxygen sensor for detecting oxygen in the space and an inner hatch closing means for holding the inner hatch in a closed state when the oxygen sensor detects oxygen.
【請求項6】 前記内側ハッチ閉止手段が、予備ボック
スの本体ボックス側に予備ボックスの軸心方向と直交す
る方向に移動するスライドと、このスライドに内側ハッ
チを予備ボックスの軸心方向に進退可能に支持するガス
シリンダと、このガスシリンダに乾燥ガスあるいは不活
性ガスを供給するガス供給路と、このガス供給路を開閉
する電磁弁と、前記酸素センサが酸素を検出する時に電
磁弁でガス供給路を連通させ、前記酸素センサが酸素を
検出しない時に電磁弁でガス供給路を遮断する制御回路
とを備えるものである請求項5に記載のグローブボック
ス。
6. The slide, wherein the inner hatch closing means moves toward the main body box side of the spare box in a direction orthogonal to the axial center direction of the spare box, and the inner hatch can be moved back and forth on the slide in the axial center direction of the spare box. A gas cylinder that supports the gas cylinder, a gas supply path that supplies a dry gas or an inert gas to the gas cylinder, a solenoid valve that opens and closes the gas supply path, and a solenoid valve that supplies gas when the oxygen sensor detects oxygen. The glove box according to claim 5, further comprising a control circuit that connects the passages and shuts off the gas supply passage with an electromagnetic valve when the oxygen sensor does not detect oxygen.
【請求項7】 前記内側ハッチ閉止手段が、内側開口部
の周囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸着口
と、この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路と、
この真空回路を開閉する電磁弁と、前記酸素センサが酸
素を検出する時に連通させ、前記酸素センサが酸素を検
出しない時に遮断する制御回路とを備えるものである請
求項5に記載のグローブボックス。
7. A vacuum suction port in which the inner hatch closing means is opened toward the inner hatch at a peripheral portion of the inner opening, and a vacuum circuit for communicating the vacuum suction port with a vacuum source.
The glove box according to claim 5, further comprising: a solenoid valve that opens and closes the vacuum circuit; and a control circuit that communicates when the oxygen sensor detects oxygen and shuts off when the oxygen sensor does not detect oxygen.
【請求項8】 前記内側ハッチ閉止手段が、内側ハッチ
を閉位置に吸着する電磁石と、この電磁石を前記酸素セ
ンサが酸素を検出する時に作動させ、前記酸素センサが
酸素を検出しない時に作動解除する制御回路とを備える
ものである請求項5に記載のグローブボックス。
8. The inner hatch closing means includes an electromagnet that adsorbs the inner hatch to a closed position, and activates the electromagnet when the oxygen sensor detects oxygen, and deactivates when the oxygen sensor does not detect oxygen. The glove box according to claim 5, further comprising a control circuit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009279718A (en) * 2008-05-23 2009-12-03 Shibuya Kogyo Co Ltd Method of conveying article from isolator and isolator
CN103507085A (en) * 2012-06-25 2014-01-15 威格高纯气体设备科技(苏州工业园区)有限公司 Automatic extracting and filling device of transfer chamber of glovebox
CN109605424A (en) * 2018-12-14 2019-04-12 福建福夏科技有限责任公司 A kind of glove box of gas Rapid replacement

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117980115A (en) * 2021-09-22 2024-05-03 发那科株式会社 Air purging device, robot and air purging method

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05104481A (en) * 1991-10-08 1993-04-27 Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp Gas purification glove box system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05104481A (en) * 1991-10-08 1993-04-27 Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp Gas purification glove box system

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009279718A (en) * 2008-05-23 2009-12-03 Shibuya Kogyo Co Ltd Method of conveying article from isolator and isolator
CN103507085A (en) * 2012-06-25 2014-01-15 威格高纯气体设备科技(苏州工业园区)有限公司 Automatic extracting and filling device of transfer chamber of glovebox
CN109605424A (en) * 2018-12-14 2019-04-12 福建福夏科技有限责任公司 A kind of glove box of gas Rapid replacement
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