JP2858689B2 - Glove box - Google Patents

Glove box

Info

Publication number
JP2858689B2
JP2858689B2 JP7004178A JP417895A JP2858689B2 JP 2858689 B2 JP2858689 B2 JP 2858689B2 JP 7004178 A JP7004178 A JP 7004178A JP 417895 A JP417895 A JP 417895A JP 2858689 B2 JP2858689 B2 JP 2858689B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
box
oxygen
closing
hatch
moisture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP7004178A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH08192385A (en
Inventor
淳也 江頭
真美 松井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MIWA SEISAKUSHO KK
Original Assignee
MIWA SEISAKUSHO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MIWA SEISAKUSHO KK filed Critical MIWA SEISAKUSHO KK
Priority to JP7004178A priority Critical patent/JP2858689B2/en
Publication of JPH08192385A publication Critical patent/JPH08192385A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2858689B2 publication Critical patent/JP2858689B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、グローブボックスに係
り、特に本体ボックス内に大気が混入することを確実に
防止できるようにしたグローブボックスに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glove box, and more particularly to a glove box capable of reliably preventing air from entering a main body box.

【0002】[0002]

【従来の技術】グローブボックスは、大気中では不安定
な固体、粉体、放射性物質、極めて毒性の強い物質及び
空気中の酸素と反応して爆発する物質等を乾燥雰囲気あ
るいは不活性雰囲気中で取り扱う作業に用いられ、作業
空間をその外部と気密状に区画する本体ボックス内を真
空掃引した後、ドライエアーあるいは窒素、アルゴン、
ヘリウムなどの不活性ガスを充満させて乾燥雰囲気ある
いは不活性雰囲気を本体ボックス内に形成するようにし
ている。
2. Description of the Related Art A glove box is used to dry solids, powders, radioactive substances, extremely toxic substances, substances which react with oxygen in the air and explosions in the atmosphere in a dry or inert atmosphere. Used for handling work, after vacuum sweeping the inside of the main body box that partitions the working space from the outside in an airtight manner, dry air or nitrogen, argon,
An inert gas such as helium is filled to form a dry atmosphere or an inert atmosphere in the main body box.

【0003】又、本体ボックスの前面には本体ボックス
内での作業を行うために人が手を本体ボックス内に入れ
るための開口部が設けられ、この開口部を密封するよう
に手袋が取り付けられる。
In addition, an opening is provided at the front of the main body box so that a person can put his / her hand into the main body box in order to perform work in the main body box, and gloves are attached so as to seal the opening. .

【0004】かってのグローブボックスの使用方法は、
袋、容器などによって乾燥雰囲気或いは不活性雰囲気内
に密封された大気中に置くことが危険な処理物をその
袋、容器ごと本体ボックス内に挿入し、本体ボックス内
の雰囲気を乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気にした後、
手袋を介して手を本体ボックス内に入れ、袋、容器など
を開いて必要な作業を行い、処理後に再び処理物を処理
物の袋、容器などによって乾燥雰囲気或いは不活性雰囲
気内に密封してから本体ボックスの外に取り出すという
方法が採用されていた。
[0004] The method of using the glove box has been
Insert the bag and container together with the hazardous material, which is dangerous to be placed in a dry atmosphere or an inert atmosphere with bags or containers, into the main box, and change the atmosphere in the main box to a dry or inert atmosphere. After the atmosphere
Put your hands in the main body box through gloves, open the bag, container, etc., perform necessary work, and after processing, seal the processed material again in a dry atmosphere or an inert atmosphere with the processed bag, container, etc. To take it out of the main body box.

【0005】しかしながら、この方法では、本体ボック
スに処理物を入れた後、本体ボックス内の雰囲気を乾燥
あるいは不活性にするのに多大の時間が掛かり、連続的
に多量の処理物の処理を行う場合に生産性が低いという
問題がある。
However, in this method, it takes a lot of time to dry or inactivate the atmosphere in the main body box after the processed material is put in the main body box, and a large amount of processed material is continuously processed. In this case, there is a problem that productivity is low.

【0006】そこで、今日では、作業空間をその外部と
気密状に区画する本体ボックスと、一端を本体ボックス
内に連通させ、他端を大気中に連通させた筒状の予備ボ
ックスと、この予備ボックスの内部空間を本体ボックス
側の連通させる内側開口部を開閉する内側ハッチと、前
記予備ボックスの内部空間を大気中に連通させる外側開
口部を開閉する外側ハッチとを備えるグローブボックス
が用いられている。
Therefore, today, a main body box for partitioning the working space from the outside in an airtight manner, a cylindrical spare box having one end communicating with the inside of the main body box and the other end communicating with the atmosphere, A glove box including an inner hatch that opens and closes an inner opening that communicates the inner space of the box on the side of the main body box and an outer hatch that opens and closes an outer opening that communicates the inner space of the spare box to the atmosphere is used. I have.

【0007】このグローブボックスを用いる場合、本体
ボックス内の雰囲気は乾燥あるいは不活性に維持され、
これよりも容積が小さい予備ボックスの内側開口部を内
側ハッチで閉じた状態で予備ボックスに袋、容器などに
よって乾燥雰囲気或いは不活性雰囲気内に密封された処
理物を入れてから外側開口部を外側ハッチで閉じ、この
後予備ボックス内の雰囲気を乾燥あるいは不活性にして
から内側ハッチを開いて袋、容器などによって乾燥雰囲
気或いは不活性雰囲気内に密封された処理物を本体ボッ
クス内に移し、更にこの後、必要に応じて再び内側ハッ
チを閉じてから、本体ボックス内で処理物を袋、容器な
どから取り出して処理する。処理後の処理物は本体ボッ
クス内で袋、容器などによって乾燥雰囲気或いは不活性
雰囲気内に密封されてから、必要に応じて内側ハッチを
開き、予備ボックス内に移され、この後内側ハッチを閉
じてから外側ハッチを開いて予備ボックスから袋あるい
は容器ごと外に取り出される。
When using this glove box, the atmosphere in the main box is kept dry or inert,
With the inside opening of the spare box smaller than this, closed inside with the inner hatch, put the processed material sealed in a dry atmosphere or an inert atmosphere with bags, containers, etc. in the spare box, and then put the outside opening outside. Close with a hatch, then dry or inert the atmosphere in the spare box, then open the inner hatch, transfer the processed material sealed in the dry or inert atmosphere by bags, containers, etc. into the main box, Thereafter, the inner hatch is closed again if necessary, and the processed product is taken out of the bag, the container, etc. in the main body box and processed. The treated product is sealed in a dry atmosphere or an inert atmosphere by bags, containers, etc. in the main body box, then the inner hatch is opened as necessary, moved into the spare box, and then the inner hatch is closed. Then open the outer hatch and remove the bag or container from the spare box.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、この予備ボ
ックスを有するグローブボックスの予備ボックス内の雰
囲気に空気が残留している状態で内側ハッチが開かれる
と、本体ボックス内に空気中の酸素並びに水蒸気が拡散
し、本体ボックス内の乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲
気が破壊されるおそれがあり、破壊された本体ボックス
内の雰囲気を元の乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気に戻
すために、外側ハッチを閉じてから内側ハッチを開いて
従来よりも長い時間を掛けて本体ボックス及び予備ボッ
クス内の真空掃引とドライエアーあるいは不活性ガスを
充填しなければならず、却って生産性が低下するという
問題がある。
When the inner hatch is opened with air remaining in the atmosphere in the spare box of the glove box having the spare box, the oxygen and water vapor in the air remain in the main body box. Is diffused and dry or inert atmosphere in the main body box
In order to return the atmosphere inside the destroyed main body box to the original dry atmosphere or inert atmosphere, close the outer hatch and open the inner hatch, and take a longer time than before There is a problem that the vacuum sweep and the dry air or the inert gas in the main body box and the spare box must be filled and the productivity is rather lowered.

【0009】特に、処理物が空気中の酸素と反応して爆
発したり、発火したりする物質を予備ボックスを有する
グローブボックスで取り扱う場合には、本体ボックス内
に残留している処理物が予備ボックスから拡散した酸素
に接触し、爆発あるいは火災を起こす恐れがあるという
問題がある。
[0009] In particular, when a substance that reacts with the oxygen in the air and explodes or ignites is handled in a glove box having a spare box, the treated substance remaining in the main body box is reserved. There is a problem that an explosion or fire may be caused by contact with oxygen diffused from the box.

【0010】本発明は、上記の事情を鑑み、予備ボック
ス内の雰囲気に空気が残留している時には内側ハッチを
開けられないようにして、本体ボックス内に空気中の酸
素並びに水蒸気が混入することを確実に防止できるよう
にしたグローブボックスを提供することを目的とするも
のである。
[0010] In view of the above circumstances, the present invention is to prevent the inside hatch from being opened when air remains in the atmosphere in the spare box, and to mix oxygen and water vapor in the air into the main box. It is an object of the present invention to provide a glove box capable of reliably preventing the glove box.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、作業空間をそ
の外部と気密状に区画する本体ボックスと、一端を本体
ボックス内に連通させ、他端を大気中に連通させた筒状
の予備ボックスと、この予備ボックスの内部空間を本体
ボックス内に連通させる内側開口部を開閉する内側ハッ
チと、前記予備ボックスの内部空間を大気中に連通させ
る外側開口部を開閉する外側ハッチとを備えるグローブ
ボックスにおいて、上記の目的を達成するため、次のよ
うな手段を講じている。
According to the present invention, there is provided a main body box for partitioning a working space from the outside thereof in an airtight manner, and a cylindrical auxiliary box having one end communicating with the inside of the main body box and the other end communicating with the atmosphere. A glove provided with a box, an inner hatch for opening and closing an inner opening for communicating an inner space of the spare box with the main body box, and an outer hatch for opening and closing an outer opening for communicating the inner space of the spare box to the atmosphere. In the box, the following measures are taken in order to achieve the above object.

【0012】即ち、本発明は、前記予備ボックスの内部
空間の水分量を検出する水分センサと、前記内側ハッチ
が前記内側開閉部を閉止するための力を付与する閉止力
付与手段と、前記水分センサにより所定値以上の水分を
検出するときに前記閉止のための力を生じるように前記
閉止力付与手段を制御する制御手段と、を設けたことを
特徴とするグローブボックスである。
That is, the present invention provides a moisture sensor for detecting a moisture content in the internal space of the spare box, a closing force applying means for applying a force for closing the inner opening / closing portion by the inner hatch, A glove box provided with control means for controlling the closing force applying means so as to generate the force for closing when detecting moisture equal to or more than a predetermined value by a sensor.

【0013】本発明においては、水分センサが所定値以
上の水分を検出する時に内側ハッチを閉状態に保持する
ように構成してあればよく、例えば、前記閉止力付与手
段は、予備ボックスの本体ボックス側に予備ボックスの
軸心方向と直交する方向に移動するスライドと、このス
ライドに内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進退可
能に支持するガスシリンダと、このガスシリンダに乾燥
ガスあるいは不活性ガスを供給するガス供給路とから成
り、前記制御手段は、前記ガス供給路を開閉する電磁弁
と、前記水分センサが所定値以上の水分を検出する時に
電磁弁でガス供給路を連通させ、前記水分センサが所定
値以上の水分を検出しない時に電磁弁でガス供給路を遮
断する制御回路とから成っていてもよい。
In the present invention, the inner hatch may be kept closed when the moisture sensor detects moisture equal to or greater than a predetermined value. For example, the closing force applying means may be a main body of the spare box. A slide that moves in the direction orthogonal to the axis of the spare box on the box side, a gas cylinder that supports the inner hatch on this slide so that it can advance and retreat in the axis of the spare box, and a dry gas or an inert gas A gas supply path for supplying gas, wherein the control means communicates the gas supply path with an electromagnetic valve that opens and closes the gas supply path and the electromagnetic valve when the moisture sensor detects moisture equal to or greater than a predetermined value. And a control circuit for shutting off a gas supply path by an electromagnetic valve when the moisture sensor does not detect moisture of a predetermined value or more.

【0014】また、前記閉止力付与手段は、内側開口部
の周囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸着口
と、この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路とか
ら成り、前記制御手段は、前記真空回路を開閉する電磁
弁と、前記水分センサが所定値以上の水分を検出する時
に電磁弁で真空回路を連通させ、前記水分センサが所定
値以上の水分を検出しない時に電磁弁で真空回路を遮断
する制御回路とから成っていてもよい。
Further, the closing force applying means comprises a vacuum suction port opened toward the inner hatch around the inner opening, and a vacuum circuit for communicating the vacuum suction port with a vacuum source. Means is a solenoid valve that opens and closes the vacuum circuit, and communicates the vacuum circuit with the solenoid valve when the moisture sensor detects moisture equal to or greater than a predetermined value, and the solenoid valve when the moisture sensor does not detect moisture equal to or greater than a predetermined value. And a control circuit for interrupting the vacuum circuit.

【0015】更に、前記閉止力付与手段は、内側ハッチ
を閉位置に吸着する電磁石から成り、前記制御手段は、
前記電磁石を前記水分センサが所定値以上の水分を検出
する時に作動させ、前記水分センサが所定値以上の水分
を検出しない時に作動解除する制御回路から成っていて
もよい。
Further, the closing force applying means comprises an electromagnet for attracting the inner hatch to the closed position, and the control means comprises:
The electromagnet may be configured to operate when the moisture sensor detects moisture equal to or more than a predetermined value, and to cancel the operation when the moisture sensor does not detect moisture equal to or more than the predetermined value.

【0016】また、本発明は、予備ボックスの内部空間
の酸素を検出する酸素センサと、前記内側ハッチが前記
内側開閉部を閉止するための力を付与する閉止力付与手
段と、前記酸素センサが酸素を検出するときに前記閉止
のための力を生じるように前記閉止力付与手段を制御す
る制御手段と、を設けたことを特徴とするグローブボッ
クスである。
Further, the present invention provides an oxygen sensor for detecting oxygen in an internal space of a spare box, a closing force applying means for applying a force for closing the inner opening / closing portion by the inner hatch, and an oxygen sensor comprising: A glove box provided with control means for controlling the closing force applying means so as to generate the closing force when oxygen is detected.

【0017】本発明においては、酸素センサが予備ボッ
クス内の酸素を検出する時に内側ハッチを閉状態に保持
するように構成してあればよく、例えば、前記閉止力付
与手段は、予備ボックスの本体ボックス側に予備ボック
スの軸心方向と直交する方向に移動するスライドと、こ
のスライドに内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進
退可能に支持するガスシリンダと、このガスシリンダに
乾燥ガスあるいは不活性ガスを供給するガス供給路とか
ら成り、前記制御手段は、前記ガス供給路を開閉する電
磁弁と、前記酸素センサが酸素を検出する時に電磁弁で
ガス供給路を連通させ、前記酸素センサが酸素を検出し
ない時に電磁弁でガス供給路を遮断する制御回路とから
成っていてもよい。
In the present invention, it is sufficient that the inner hatch is kept closed when the oxygen sensor detects oxygen in the spare box. For example, the closing force applying means may include a main body of the spare box. A slide that moves in the direction orthogonal to the axis of the spare box on the box side, a gas cylinder that supports the inner hatch on this slide so that it can advance and retreat in the axis of the spare box, and a dry gas or an inert gas A gas supply path for supplying gas, wherein the control means communicates the gas supply path with an electromagnetic valve that opens and closes the gas supply path and the electromagnetic valve when the oxygen sensor detects oxygen. And a control circuit that shuts off the gas supply path with an electromagnetic valve when oxygen is not detected.

【0018】また、前記閉止力付与手段は、内側開口部
の周囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸着口
と、この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路とか
ら成り、前記制御回路は、前記真空回路を開閉する電磁
弁と、前記酸素センサが酸素を検出する時に電磁弁で真
空回路を連通させ、前記酸素センサが酸素を検出しない
時に電磁弁で真空回路を遮断する制御回路とから成って
いてもよい。
Further, the closing force applying means comprises a vacuum suction port opened toward the inner hatch around the inner opening, and a vacuum circuit for communicating the vacuum suction port with a vacuum source. A circuit is a control circuit that opens and closes the vacuum circuit and a solenoid circuit that connects the vacuum circuit with the solenoid valve when the oxygen sensor detects oxygen, and shuts off the vacuum circuit with the solenoid valve when the oxygen sensor does not detect oxygen. And may consist of

【0019】更に、前記閉止力付与手段は、内側ハッチ
を閉位置に吸着する電磁石から成り、前記制御手段は、
前記電磁石を前記酸素センサが酸素を検出する時に作動
させ、前記酸素センサが酸素を検出しない時に作動解除
する制御回路から成っていてもよい。
Further, the closing force applying means comprises an electromagnet for attracting the inner hatch to the closed position, and the control means comprises:
The electromagnet may include a control circuit that is activated when the oxygen sensor detects oxygen, and is deactivated when the oxygen sensor does not detect oxygen.

【0020】[0020]

【作用】本発明によれば、予備ボックス内に空気が残留
している時には水分センサがこれを検出し、内側ハッチ
閉止手段が内側ハッチを閉位置に保持するので、予備ボ
ックス内の空気中の酸素及び水蒸気が本体ボックス内に
拡散するおそれがなくなる。
According to the present invention, when air remains in the spare box, the moisture sensor detects this, and the inner hatch closing means holds the inner hatch in the closed position. The possibility that oxygen and water vapor diffuse into the main body box is eliminated.

【0021】また、本発明によれば、予備ボックス内に
酸素が残留している時には酸素センサがこれを検出し、
内側ハッチ閉止手段が内側ハッチを閉位置に保持するの
で、予備ボックス内の酸素が本体ボックス内に拡散する
おそれがなくなる。
According to the present invention, when oxygen remains in the spare box, the oxygen sensor detects this,
Since the inner hatch closing means holds the inner hatch in the closed position, there is no danger of oxygen in the spare box diffusing into the main box.

【0022】[0022]

【実施例】本発明の一実施例に係るグローブボックスを
図面に基づいて具体的に説明すれば、以下の通りであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A glove box according to an embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0023】図1の正面図に示すように、本発明の一実
施例に係るグローブボックス1は、作業空間をその外部
と気密状に区画する本体ボックス2と、一端を本体ボッ
クス2内に連通させ、他端を大気中に連通させた筒状の
予備ボックス3と、この予備ボックス3の内部空間4を
本体ボックス2内に連通させる内側開口部5を開閉する
内側ハッチ6と、前記予備ボックス3の内部空間4を大
気中に連通させる外側開口部7を開閉する外側ハッチ8
とを備える。
As shown in the front view of FIG. 1, a glove box 1 according to one embodiment of the present invention communicates with a main body box 2 that partitions a working space from the outside in an airtight manner, and one end communicates with the inside of the main body box 2. A cylindrical spare box 3 having the other end communicating with the atmosphere, an inner hatch 6 for opening and closing an inner opening 5 for communicating an internal space 4 of the spare box 3 into the main body box 2, and An outer hatch 8 that opens and closes an outer opening 7 that communicates the internal space 4 of 3 with the atmosphere.
And

【0024】本体ボックス2の前面の上部は斜め上向き
に傾斜させた窓ガラス9で覆われ、下部には人の手を本
体ボックス2内に入れるための1対の開口部10が形成
されてる。この開口部10は手袋で気密状に覆われ、更
に、不使用時等に本体ボックス2内と外部とを遮断する
ために取外し可能な蓋11で閉じられている。
The upper part of the front face of the main body box 2 is covered with a window glass 9 which is inclined obliquely upward, and a lower part is formed with a pair of openings 10 for putting human hands into the main body box 2. The opening 10 is air-tightly covered with gloves, and is closed with a removable lid 11 to shut off the inside of the main body box 2 from the outside when not in use.

【0025】また、本体ボックス2の下部には本体ボッ
クス2の内部を図示しない真空ポンプの吸入口に連通さ
せる真空パイプ12と、本体ボックス2内にドライエア
ー、不活性ガスなどの雰囲気ガスを供給するためのガス
供給パイプ13とが連通させてあり、本体ボックス2の
上部には本体ボックス2エアパージ用のパージパイプ1
4Aを連通させてあり、このパージパイプ14Aに分岐
管15を介して酸素計または、水分センサ(露点計)を
分岐接続して本体ボックス2内の雰囲気を確認できるよ
うにしている。
A vacuum pipe 12 for communicating the inside of the main body box 2 with a suction port of a vacuum pump (not shown) is provided at a lower portion of the main body box 2, and an atmosphere gas such as dry air or an inert gas is supplied into the main body box 2. A gas supply pipe 13 is connected to the main body box 2, and a purge pipe 1 for air purging is provided on the main body box 2.
An oxygen meter or a moisture sensor (dew point meter) is connected to the purge pipe 14A via a branch pipe 15 so that the atmosphere in the main body box 2 can be checked.

【0026】すなわち、酸素計を用いる場合には、本体
ボックス2内部の酸素量を測定し、本体ボックス2内部
の雰囲気が不活性ガス などの雰囲気ガスに置換されて
いるか確認する。
That is, when an oxygen meter is used, the amount of oxygen inside the main body box 2 is measured, and it is confirmed whether the atmosphere inside the main body box 2 has been replaced with an atmosphere gas such as an inert gas.

【0027】また、通常の大気中の空気には、水蒸気が
多く含まれている。一方、ドライエアー、不活性ガスな
どの雰囲気ガスには水蒸気が含まれていない。従って、
本体ボックス2内の大気中の空気を排気し、本体ボック
ス2内を雰囲気ガスに置換すると、本体ボックス2内の
水分量は大幅に減少する。水分センサで本体ボックス2
内の水分量を検出することで、本体ボックス2内部の雰
囲気が雰囲気ガスに置換されているか否か確認すること
ができる。例えば、水分量が1000PPM以下になれ
ば、通常は雰囲気ガスに置換しているとして判断するこ
とができる。より厳密な雰囲気ガスへの置換状態が必要
な場合には、水分量が100PPM以下になったときに
置換完了と判断すればよい。水分センサーとしては、露
点計を用いることがで きる。
Further, ordinary atmospheric air contains a large amount of water vapor. On the other hand, atmospheric gases such as dry air and inert gas do not contain water vapor. Therefore,
When the air in the air in the main body box 2 is exhausted and the inside of the main body box 2 is replaced with an atmospheric gas, the amount of water in the main body box 2 is greatly reduced. Body box 2 with moisture sensor
By detecting the amount of water in the inside, it can be confirmed whether or not the atmosphere inside the main body box 2 has been replaced with the atmospheric gas. For example, when the water content becomes 1000 PPM or less, it can be generally determined that the atmosphere gas has been replaced. If a more strict replacement with the atmosphere gas is required, the completion of the replacement may be determined when the water content becomes 100 PPM or less. A dew point meter can be used as the moisture sensor.

【0028】予備ボックス3は、特に限定されるもので
はないが、これを介して本体ボックス2に処理物を出し
入れする作業の作業性を高めるために、横軸に配置さ
れ、その一端部が本体ボックス2の例えば右横側壁16
に気密状に固定されている。
Although the spare box 3 is not particularly limited, the spare box 3 is arranged on the horizontal axis in order to enhance the workability of loading and unloading the processed material into and out of the main body box 2 through the spare box, and one end of the spare box 3 is attached to the main body box. For example, the right side wall 16 of the box 2
It is fixed airtight.

【0029】また、この予備ボックス3の一端部は本体
ボックス2内に突入させてあり、その一端面を全面的に
開放して内側開口部5を形成し、他端面を全面的に開放
して外側開口部7が形成される。そして、この予備ボッ
クス3の上部には予備ボックス3エアパージ用のエアパ
ージパイプ14Bと、アルゴンガス供給パイプ14C
と、内部空間4の水分量を検出する露点計で構成された
水分センサ17とが接続される。
One end of the spare box 3 protrudes into the main body box 2, and one end surface thereof is completely opened to form an inner opening 5, and the other end surface is completely opened. An outer opening 7 is formed. An air purge pipe 14B for air purging of the spare box 3 and an argon gas supply pipe 14C
And a moisture sensor 17 composed of a dew point meter for detecting the amount of moisture in the internal space 4.

【0030】図2の側面図に示すように、内側ハッチ6
は、左右1対のスライドレール18によって左右方向に
摺動する板状のスライダ19に、支持手段20を介して
予備ボックス3の軸心方向に進退可能に支持される。
As shown in the side view of FIG.
Is supported by a plate-like slider 19 slidable in the left-right direction by a pair of left and right slide rails 18 via support means 20 so as to be able to advance and retreat in the axial direction of the spare box 3.

【0031】図3の断面図に示すように、この支持手段
20は、スライダ19に固定されたボス21と、このボ
ス21に予備ボックス3の軸心方向に摺動可能にスプラ
イン内嵌されたネジ座22と、このネジ座22を本体ボ
ックス2側に付勢するスプリング23と、ネジ座22の
本体ボックス2側への脱出を制限する押え蓋24と、ネ
ジ座22に対して予備ボックス3の軸心方向に所定の範
囲内で進退するネジ軸25と、本体ボックス2内に配置
され、上記ネジ座22の本体ボックス2側端面を受け止
めるとともに、押え蓋24から本体ボックス2内に突出
したこのネジ軸25の先端部が予備ボックス3の軸心方
向に摺動可能にスプライン内嵌されるハンドル26とを
供えている。
As shown in the sectional view of FIG. 3, the supporting means
Reference numeral 20 denotes a boss 21 fixed to the slider 19, a screw seat 22 fitted in the boss 21 in a spline slidably in the axial direction of the spare box 3, and the screw seat 22 on the main body box 2 side. A biasing spring 23, a holding lid 24 for restricting the screw seat 22 from coming out to the main body box 2 side, and a screw shaft 25 which moves forward and backward within a predetermined range in the axial direction of the spare box 3 with respect to the screw seat 22. The screw shaft 25, which is disposed in the main body box 2 and receives the end surface of the screw seat 22 on the main body box 2 side, projects from the holding lid 24 into the main body box 2 in the axial direction of the spare box 3. And a handle 26 slidably fitted in the spline.

【0032】前記ネジ軸25の予備ボックス3側部分に
は雄ネジ27が形成され、また、このネジ軸25の予備
ボックス3側の先端は内側ハッチ6のほぼ中央に回転自
在に連結される。これにより、ハンドル26をスプリン
グ23に抗して予備ボックス3側に一定以上押し込んで
回転させると、ネジ座22の内周に形成した雌ネジ28
にこの雄ネジ27がネジ締めされ、スライダ19に対し
て内側ハッチ6が接近する方向に駆動される。また、こ
れら雄ネジ27と雌ネジ28とが開放された状態でハン
ドル26を手放すと、スプリング23がネジ座22及び
ハンドル26を本体ボックス2側に移動させて、ネジ軸
25及び内側ハッチ6が内側開口部5に所定の範囲内で
自由に接離できるようになる。
A male screw 27 is formed at a portion of the screw shaft 25 on the side of the spare box 3, and a tip of the screw shaft 25 on the side of the spare box 3 is rotatably connected to substantially the center of the inner hatch 6. As a result, when the handle 26 is pushed into the spare box 3 by a certain amount or more against the spring 23 and rotated, the female screw 28 formed on the inner periphery of the screw seat 22 is rotated.
Then, the male screw 27 is screwed, and the inner hatch 6 is driven in a direction to approach the slider 19. When the handle 26 is released in a state where the male screw 27 and the female screw 28 are opened, the spring 23 moves the screw seat 22 and the handle 26 to the main body box 2 side, and the screw shaft 25 and the inner hatch 6 are moved. The inner opening 5 can be freely contacted and separated within a predetermined range.

【0033】図2に示すように、このグローブボックス
1には、予備ボックス3内の水分量を検出する水分セン
サ17が所定値以上の水分を検出、例えば水分が100
0PPM、好ましくは100PPM以上の水分を検出す
る時に内側ハッチを閉状態に保持する内側ハッチ閉止手
段30が設けられる。
As shown in FIG. 2, in the glove box 1, a moisture sensor 17 for detecting the amount of moisture in the spare box 3 detects moisture of a predetermined value or more.
An inner hatch closing means 30 is provided for holding the inner hatch closed when detecting water at 0 PPM, preferably 100 PPM or more.

【0034】この内側ハッチ閉止手段30は、水分セン
サ17が予備ボックス3内の水分を所定値以上検出する
時に内側ハッチ6を閉 状態に保持するように構成して
あればよく、ここでは、上記スライダ19に支持され、
内側ハッチ6を予備ボックス3の軸心方向に進退可能に
支持するアルゴンガスシリンダ31と、このアルゴンガ
スシリンダ31にアルゴンガス容器32からアルゴンを
供給するアルゴンガス供給路33と、このアルゴンガス
供給路33を開閉する2連電磁弁34と、前記水分セン
サ17が所定値以上の水分を検出する時に2連電磁弁3
4でアルゴンガス供給路33を連通させ、前記水分セン
サ17が所定値以上の水分を検出しない時に2連電磁弁
34でアルゴンガス供給路33を遮断する制御回路35
とを備える。
The inner hatch closing means 30 may be configured so as to hold the inner hatch 6 in a closed state when the moisture sensor 17 detects the moisture in the spare box 3 at a predetermined value or more. Supported by a slider 19 ,
An argon gas cylinder 31 for supporting the inner hatch 6 so as to be able to advance and retreat in the axial direction of the spare box 3 ;
An argon gas supply path 33 for supplying argon from the argon gas container 32 to the scan cylinder 31 , a double solenoid valve 34 for opening and closing the argon gas supply path 33, and a double valve when the moisture sensor 17 detects moisture of a predetermined value or more. Continuous solenoid valve 3
4 communicates with argon gas supply passage 33, the control circuit 35 of the moisture sensor 17 to block the argon gas supply passage 33 in duplicate solenoid valve 34 when not detecting a predetermined value or more water
And

【0035】上記アルゴンガスシリンダ31は、2本以
上の複数本設けられ、図4に示すように、内側ハッチ6
の本体ボックス2側面に固定される筒体36と、筒体3
6内に形成されたシリンダ室37に進退可能に、かつ、
気密状に内嵌されたピストン38と、ピストン38及び
筒体36の予備ボックス3側端壁を貫通するピストンロ
ッド39とを備え、このピストンロッド39の予備ボッ
クス3側端部に内側ハッチ6が連結される。
The argon gas cylinders 31 are provided in a plurality of two or more, and as shown in FIG.
And a cylindrical body 36 fixed to the side of the main body box 2
6 so as to be able to advance and retreat to a cylinder chamber 37 formed therein, and
It has a piston 38 which is fitted in an airtight manner, and a piston rod 39 penetrating through the end wall of the piston 38 and the cylinder 36 on the side of the spare box 3. Be linked.

【0036】又、筒体36の本体ボックス2側端部には
シリンダ室37内でピストン38の本体ボックス2側に
区画された受圧室40に上記アルゴンガス供給路33を
連通させるための接続部41が設けられる。
A connecting portion for connecting the argon gas supply passage 33 to a pressure receiving chamber 40 defined on the side of the main body box 2 of the piston 38 in the cylinder chamber 37 at the end of the cylindrical body 36 on the main body box 2 side. 41 are provided.

【0037】更に、筒体36の本体ボックス2側端壁に
は、継手42が固定され、上記ピストンロッド39の本
体ボックス2側端部がこの継手42内のガス通路43に
摺動可能に、かつ、気密状に内嵌される。更に、このピ
ストンロッド39を中空にすることにより、この継手4
2のガス通路43を予備ボックス3の内部空間4に連通
させ、図2に示すように、この継手42に別のアルゴン
ガス供給路44及び前記2連電磁弁34を介してアルゴ
ンガス容器32を接続することにより、前記前記水分セ
ンサ17が所定値以上の水分を検出する時に2連電磁弁
34でアルゴンガス供給路44を連通させて予備ボック
ス3の内部 空間4にアルゴンガスを供給し、前記水分
センサ17が所定値以上の水分を検出しない時に2連電
磁弁34でアルゴンガス供給路44を遮断して、内部空
間4へのアルゴンガスの供給を停止させるようにしてい
る。
Further, a joint 42 is fixed to an end wall of the cylindrical body 36 on the main body box 2 side, and an end of the piston rod 39 on the main body box 2 side is slidable in a gas passage 43 in the joint 42. And it is fitted in an airtight manner. Further, by making the piston rod 39 hollow, the joint 4
The second gas passage 43 communicates with the internal space 4 of the spare box 3. As shown in FIG. 2, the argon gas container 32 is connected to the joint 42 via another argon gas supply path 44 and the dual solenoid valve 34. By connecting, when the moisture sensor 17 detects moisture equal to or greater than a predetermined value, the argon gas supply passage 44 is communicated with the dual solenoid valve 34 to supply argon gas to the internal space 4 of the spare box 3. When the moisture sensor 17 does not detect moisture equal to or more than a predetermined value, the argon gas supply passage 44 is shut off by the dual solenoid valve 34 to stop the supply of the argon gas to the internal space 4.

【0038】なお、図4に示すように、上記シリンダ室
37内にはピストン38及びピストンロッド39を受圧
室40側に付勢する戻しバネ45が設けられる。
As shown in FIG. 4, a return spring 45 for urging the piston 38 and the piston rod 39 toward the pressure receiving chamber 40 is provided in the cylinder chamber 37.

【0039】また、図2あるいは図4に示すように、上
記内側開口部5の周縁には、予備ボックス3と内側ハッ
チ6とを気密状に閉止できるようにするため、例えばゴ
ムなどの弾性部材からなるシール29が固定されてい
る。
As shown in FIG. 2 or FIG. 4, an elastic member such as rubber is provided around the inner opening 5 so that the spare box 3 and the inner hatch 6 can be hermetically closed. Is fixed.

【0040】上記の構成において、内側ハッチ6を内側
開口部5に対向させた状態で、例えば、外側ハッチ8が
開放されていたり、不完全に閉じられていたり、外側ハ
ッチ8を閉じた後に内部空間4のエアパージが不完全で
あったりする場合には、内部空間4に空気が存在し、水
分センサ17が空気に含まれる水蒸気を検出し、水お分
量が所定値以上の値を示す。すなわち、前述したよう
に、通常の大気中の空気には、水蒸気が多く含まれてお
り、ドライエアー、不活性ガスなどの雰囲気ガスには水
蒸気が含まれていない。従って、内部空間4の空気が減
少して行くと、水分量は大幅に減少する。このため、こ
の水分センサ17の所定値、例えば1000PPM以上
の水分を検出すると、例えば、外側ハッチ8が開放され
ていたり、不完全に閉じられていたり、外側ハッチ8を
閉じた後に内部空間4のエアパージが不完全であったり
する場合であるので、この検出結果に基づいて制御回路
35が2連電磁弁34を切り替え、アルゴンガス供給路
33を経てアルゴンガスシリンダ31の受圧室40に加
圧されたアルゴンガスを供給して、アルゴンガスシリン
ダ31を伸長させ、これにより、内側ハッチ6を内側開
口部5に密着させて内側ハッチ6を確実に閉じる。
In the above configuration, for example, when the inner hatch 6 is opposed to the inner opening 5, the outer hatch 8 is opened, incompletely closed, or closed after the outer hatch 8 is closed. When the air purge of the space 4 is incomplete or the like, air is present in the internal space 4 and the moisture sensor 17 detects water vapor contained in the air, and the amount of water indicates a value equal to or more than a predetermined value. That is, as described above, normal atmospheric air contains a large amount of water vapor, and atmospheric gases such as dry air and inert gas do not contain water vapor. Therefore, as the air in the internal space 4 decreases, the amount of water greatly decreases. For this reason, when the moisture sensor 17 detects moisture of a predetermined value, for example, 1000 PPM or more, for example, the outer hatch 8 is opened, incompletely closed, or after the outer hatch 8 is closed, Since the air purge is incomplete, the control circuit 35 switches the dual solenoid valve 34 based on the detection result, and is pressurized to the pressure receiving chamber 40 of the argon gas cylinder 31 through the argon gas supply path 33. The supplied argon gas is supplied to extend the argon gas cylinder 31, whereby the inner hatch 6 is brought into close contact with the inner opening 5 and the inner hatch 6 is securely closed.

【0041】また、これと同時にアルゴンガス供給路4
4、継手42のガス通路43及びピストンロッド39の
中空部を経て予備ボックス3の内部空間4にアルゴンガ
スが供給される。
At the same time, the argon gas supply path 4
4. Argon gas is supplied to the internal space 4 of the preliminary box 3 via the gas passage 43 of the joint 42 and the hollow portion of the piston rod 39.

【0042】そして、内部空間4の空気がなくなると、
水分センサ17は所定値未満の水分量になり、制御回路
35が2連電磁弁34を切り替えて、内部空間4へのア
ルゴンガスの供給を停止すると共に、アルゴンガスシリ
ンダ31へのアルゴンガスの供給停止し、アルゴンガス
シリンダ31が短縮されて内側ハッチ6が開かれる。
When the air in the internal space 4 runs out,
When the water content of the moisture sensor 17 becomes less than the predetermined value, the control circuit 35 switches the dual solenoid valve 34 to stop the supply of the argon gas to the internal space 4 and to supply the argon gas to the argon gas cylinder 31. Stopping, the argon gas cylinder 31 is shortened and the inner hatch 6 is opened.

【0043】したがって、内部空間4に空気がある限り
内側ハッチ6が開かれることはなく、これにより、予備
ボックス3から本体ボックス2への空気中の酸素及び水
蒸気の拡散が確実に防止され、本体ボックス2内に残留
している酸素に接触すると発火したり爆発したりする物
質と酸素との接触を確実に防止できることになる。
Therefore, as long as there is air in the internal space 4, the inner hatch 6 is not opened, whereby the diffusion of oxygen and water vapor in the air from the spare box 3 to the main body box 2 is reliably prevented, and Contact with oxygen remaining in the box 2 can reliably prevent contact between a substance that ignites or explodes and oxygen.

【0044】また、予備ボックス3内の空気パージが完
全に終わると同時に、内側ハッチ6を開くことができる
ようになるので、予備ボックス3内への処理物の挿入か
らこの処理物の本体ボックス2内に移動させるまでの時
間を短縮することができる。
Further, since the inner hatch 6 can be opened at the same time when the air purging in the spare box 3 is completely completed, the processing object can be inserted into the spare box 3 and the main body box 2 of the treated object can be opened. The time required to move the inside can be reduced.

【0045】更に、この実施例では、内側ハッチ6が予
備ボックス3の軸心に直交する方向に摺動するスライダ
19に予備ボックス3の軸心方向に進退可能に支持され
ているので、内側ハッチ6の開閉のために本体ボックス
2内の空間が犠牲になることがなく、本体ボックス2内
の作業空間を広く活用できる。
Further, in this embodiment, the inner hatch 6 is supported by the slider 19 which slides in a direction perpendicular to the axis of the spare box 3 so as to be able to advance and retreat in the axial direction of the spare box 3. The space inside the main body box 2 is not sacrificed for the opening and closing of 6, and the work space inside the main body box 2 can be widely used.

【0046】図5に示す本発明の他の実施例では、内側
開口部5の周囲に全周にわたって連続して、あるいは、
断続的に内側ハッチ6に向かって開口する真空吸着口5
1と、この真空吸着口51を真空ポンプからなる真空源
52に連通させる真空回路53と、この真空回路53を
開閉する電磁弁54と、前記水分センサ17が所定値以
上の水分を検出する時に電磁弁54で真空回路53を連
通させ、前記水分センサ17が所定値の水分を検出しな
い時に遮断する制御回路55とを備える内側ハッチ閉止
手段50が設けられる。
In another embodiment of the present invention shown in FIG. 5, the entire circumference of the inner opening 5 is continuous or
Vacuum suction port 5 intermittently opening toward inner hatch 6
1, a vacuum circuit 53 for connecting the vacuum suction port 51 to a vacuum source 52 composed of a vacuum pump, an electromagnetic valve 54 for opening and closing the vacuum circuit 53, and when the moisture sensor 17 detects moisture of a predetermined value or more. An inner hatch closing means 50 is provided which includes a control circuit 55 which communicates a vacuum circuit 53 with an electromagnetic valve 54 and shuts off when the moisture sensor 17 does not detect a predetermined value of moisture.

【0047】この実施例では、外側ハッチ8の開放ある
いは不完全閉止時にアルゴンガスが予備ボックス3から
流失することがなく、アルゴンガスの消費量を削減でき
る利点がある。
In this embodiment, there is an advantage that when the outer hatch 8 is opened or incompletely closed, the argon gas does not flow out of the spare box 3 and the consumption of the argon gas can be reduced.

【0048】また、従来のグローブボックスに真空吸着
口51と、電磁弁54を介在させた真空回路53と、制
御回路55とを追加するだけで済み、容易に、かつ、安
価に実施できるとともに、既設のグローブボックスを容
易に、かつ、安価に改造して本実施例を実施できる。
Further, a vacuum suction port 51, a vacuum circuit 53 having an electromagnetic valve 54 interposed therebetween, and a control circuit 55 need only be added to the conventional glove box, which can be implemented easily and inexpensively. The present embodiment can be implemented by easily and inexpensively modifying an existing glove box.

【0049】この実施例のその他の構成、作用ないし効
果は上記の一実施例のそれらと同様であるので、重複を
避けるためこれらの説明は省略する。
Other configurations, operations and effects of this embodiment are the same as those of the above-described embodiment, and therefore, description thereof will be omitted to avoid duplication.

【0050】図6に示す本発明の又他の実施例では、内
側ハッチ6を閉位置に吸着する電磁石61と、この電磁
石61を前記水分センサ17が所定値の水分を検出する
時に作動させ、前記水分センサ17が所定値の水分を検
出しない時に作動解除する制御回路62とを備える内側
ハッチ閉止手段60が設けられる。
In another embodiment of the present invention shown in FIG. 6, an electromagnet 61 for attracting the inner hatch 6 to the closed position, and operating the electromagnet 61 when the moisture sensor 17 detects a predetermined value of moisture, An inner hatch closing means 60 comprising a control circuit 62 for canceling operation when the moisture sensor 17 does not detect a predetermined value of moisture is provided.

【0051】この実施例では、外側ハッチ8の開放ある
いは不完全閉止時にアルゴンガスが予備ボックス3から
流失することがなく、アルゴンガスの消費量を削減でき
る利点がある。
In this embodiment, there is an advantage that when the outer hatch 8 is opened or incompletely closed, the argon gas does not flow out of the spare box 3 and the consumption of the argon gas can be reduced.

【0052】また、従来のグローブボックスに電磁石6
1と制御回路62とを追加するだけで済むので、一層容
易に、かつ、安価に実施でき、また、既設のグローブボ
ックスを一層容易に、かつ、一層安価に改造して本実施
例を実施できる。
Further, the electromagnet 6 is attached to the conventional glove box.
1 and the control circuit 62 need only be added, so that the present embodiment can be implemented more easily and inexpensively, and the present embodiment can be implemented by modifying the existing glove box more easily and cheaper. .

【0053】この実施例のその他の構成、作用ないし効
果は上記の一実施例のそれらと同様であるので、重複を
避けるためこれらの説明は省略する。
Other configurations, operations and effects of this embodiment are the same as those of the above-described embodiment, and therefore, description thereof will be omitted to avoid duplication.

【0054】上記の各実施例では、内側ハッチ6が予備
ボックス3の軸心方向に直交する方向に移動するスライ
ダ19に予備ボックス3の軸心方向に進退可能に支持さ
せているが、前2例は、内側ハッチ6がその一側部ない
し一側方に設定された支軸を中心に回転して開閉される
方式のグローブボックスにも適用できる。
In each of the above embodiments, the inner hatch 6 is supported by the slider 19 which moves in a direction perpendicular to the axial direction of the spare box 3 so as to be able to advance and retreat in the axial direction of the spare box 3. The example is also applicable to a glove box in which the inner hatch 6 is opened and closed by rotating about a support shaft set at one side or one side thereof.

【0055】上記の各実施例では、内部空間4に空気の
存在を水分センサ17を用いて検出しているが、処理物
が酸素と反応して爆発するようのものの場合には、より
確実に酸素を検出するために、水分センサ17の代わり
に酸素センサを用いて内部空間4に酸素がある限り内側
ハッチ6が開かないように構成することもできる。酸素
センサとしては、熱線型半導体式ガスセンサ、接触燃焼
式ガスセンサ、気体熱伝導式ガスセンサ、定電位電解式
ガスセンサー、薄膜式ガスセンサー、隔膜ガルバニ電池
式ガスセンサー、半導体式ガスセンサー、オルガスタ式
ガスセンサなどのガスセンサを用いるることができる。
In each of the above embodiments, the presence of air in the internal space 4 is detected by using the moisture sensor 17. However, in the case where the processing object reacts with oxygen and explodes, it is more reliable. In order to detect oxygen, an oxygen sensor may be used in place of the moisture sensor 17 so that the inner hatch 6 is not opened as long as there is oxygen in the internal space 4. Examples of oxygen sensors include hot-wire semiconductor gas sensors, contact combustion gas sensors, gas heat conduction gas sensors, potentiostatic electrolytic gas sensors, thin-film gas sensors, diaphragm galvanic cell gas sensors, semiconductor gas sensors, and orgaster gas sensors. Can be used.

【0056】これらガスセンサで構成される酸素センサ
を用いて、酸素センサが内部空間4に酸素を検出した場
合には、上記各実施例の内側ハッチ6は閉状態に保持す
る。そして、酸素センサが酸素を検出しないときには、
内側ハッチ6が開放可能となる。したがって、内部空間
4に酸素がある限り内側ハッチ6が開かれることはな
く、これにより、予備ボックス3から本体ボックス2へ
の酸素の拡散が確実に防止され、本体ボックス2内に残
留している酸素に接触すると発火したり爆発したりする
物質と酸素との接触を確実に防止できることになる。
When the oxygen sensor detects oxygen in the internal space 4 using the oxygen sensor constituted by these gas sensors, the inner hatch 6 in each of the above embodiments is kept closed. And when the oxygen sensor does not detect oxygen,
The inner hatch 6 can be opened. Therefore, the inner hatch 6 is not opened as long as there is oxygen in the internal space 4, whereby the diffusion of oxygen from the spare box 3 to the main box 2 is reliably prevented, and the oxygen remains in the main box 2. The contact between oxygen and a substance that ignites or explodes upon contact with oxygen can be reliably prevented.

【0057】酸素センサーを用いた実施例のその他の構
成、作用ないし効果は上記の各実施例のそれらと同様で
あるので、重複を避けるためこれらの説明は省略する。
Other configurations, operations, and effects of the embodiment using the oxygen sensor are the same as those of the above-described embodiments, and therefore, description thereof will be omitted to avoid duplication.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のグロー
ブボックスは、予備ボックスの内部空間の水分量を検出
する水分センサと、前記内側ハッチが前記内側開閉部を
閉止するための力を付与する閉止力付与手段と、前記水
分センサにより所定値以上の水分を検出するときに前記
閉止のための力を生じるように前記閉止力付与手段を制
御する制御手段と、を設けたので、予備ボックス内に空
気が残留している時には水分センサがこれを検出し、制
御手段が閉止力付与手段を制御して内側ハッチを閉位置
に保持するので、予備ボックス内の水分が本体ボックス
内に拡散するおそれがなくなる。
As described above, in the glove box of the present invention, the moisture sensor for detecting the amount of moisture in the internal space of the spare box and the inner hatch apply a force for closing the inner opening / closing portion. A closing force applying means, and a control means for controlling the closing force applying means so as to generate a force for closing when detecting moisture equal to or more than a predetermined value by the moisture sensor. When air remains in the inside, the moisture sensor detects this, and the control means controls the closing force applying means to hold the inner hatch in the closed position, so that the water in the spare box diffuses into the main box. There is no fear.

【0059】これにより、本体ボックス内に残留してい
る水分に接触すると発火したり爆発したりする物質と水
分との接触を確実に防止でき、かかる物質の処理作業の
安全性を高めることができる。
This makes it possible to reliably prevent contact between the substance that ignites or explodes when it comes into contact with the moisture remaining in the main body box and the moisture, thereby improving the safety of the processing operation of such a substance. .

【0060】本発明において、特に、前記閉止力付与手
段が、予備ボックスの本体ボックス側に予備ボックスの
軸心方向と直交する方向に移動するスライドと、このス
ライドに内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進退可
能に支持するガスシリンダと、このガスシリンダに乾燥
ガスあるいは不活性ガスを供給するガス供給路とから成
り、前記制御手段が、前記ガス供給路を開閉する電磁弁
と、前記水分センサが所定値以上の水分を検出する時に
電磁弁でガス供給路を連通させ、前記水分センサが所定
値以上の水分を検出しない時に電磁弁でガス供給路を遮
断する制御回路とから成る場合には、予備ボックス内の
水分パージが完全に終わると同時に、内側ハッチを開く
ことができるようになるので、予備ボックス内への処理
物の挿入からこの処理物を本体ボックス内に移動させる
までの時間を短縮することができるとともに、本体ボッ
クス内の内側ハッチ開閉のためのスペースを小さくして
作業空間を広く利用できるようになる。
In the present invention, in particular, the closing force applying means includes a slide that moves toward the main box side of the spare box in a direction perpendicular to the axial direction of the spare box, and an inner hatch attached to the slide to provide an axial center of the spare box. A gas cylinder that supports the gas cylinder so that the gas cylinder can move forward and backward, and a gas supply path that supplies a drying gas or an inert gas to the gas cylinder. A control circuit that communicates the gas supply path with an electromagnetic valve when detecting moisture equal to or greater than a predetermined value, and shuts off the gas supply path with the electromagnetic valve when the moisture sensor does not detect moisture equal to or greater than a predetermined value. Since the inside hatch can be opened at the same time that the water purging in the spare box is completed, It is possible to shorten the time of the physical object to be moved into the main box, it becomes possible to widely use the working space by reducing the space for the inner hatch opening and closing of the main box.

【0061】また、本発明において、特に、前記閉止力
付与手段は、内側開口部の周囲部で内側ハッチに向かっ
て開口された真空吸着口と、この真空吸着口を真空源に
連通させる真空回路とから成り、前記制御手段は、前記
真空回路を開閉する電磁弁と、前記水分センサが所定値
以上の水分を検出する時に連通させ、前記水分センサが
所定値以上の水分を検出しない時に遮断する制御回路と
から成るものである場合には、外側ハッチの開放あるい
は不完全閉止時にアルゴンガスが予備ボックスから流失
することがなく、アルゴンガスの消費量を削減できる
上、従来のグローブボックスに真空吸着口と、電磁弁を
介在させた真空回路と、制御回路とを追加するだけで済
み、容易に、かつ、安価に実施できるとともに、既設の
グローブボックスを容易に、かつ、安価に改造して本発
明を実施できる。
In the present invention, in particular, the closing force applying means includes a vacuum suction port opened toward the inner hatch around the inner opening, and a vacuum circuit for connecting the vacuum suction port to a vacuum source. The control means communicates with the electromagnetic valve that opens and closes the vacuum circuit when the moisture sensor detects moisture of a predetermined value or more, and shuts off when the moisture sensor does not detect moisture of a predetermined value or more. In the case of the control circuit, when the outer hatch is opened or incompletely closed, the argon gas does not flow out of the spare box, the consumption of the argon gas can be reduced, and the conventional glove box is vacuum-adsorbed. It is only necessary to add a port, a vacuum circuit with a solenoid valve interposed, and a control circuit, which can be implemented easily and at low cost. The easy and the present invention can be implemented with low cost modification.

【0062】更に、本発明において、特に、前記閉止力
付与手段は、内側ハッチを閉位置に吸着する電磁石から
成り、前記制御手段は、前記電磁石を前記水分センサが
所定値以上の水分を検出する時に作動させ、前記水分セ
ンサが所定値以上の水分を検出しない時に作動解除する
制御回路から成る場合には、外側ハッチの開放あるいは
不完全閉止時にアルゴンガスが予備ボックスから流失す
ることがなく、アルゴンガスの消費量を削減できる上、
従来のグローブボックスに電磁石と制御回路とを追加す
るだけで済むので、一層容易に、かつ、安価に実施で
き、また、既設のグローブボックスを一層容易に、か
つ、一層安価に改造して本発明を実施できる。
Further, in the present invention, in particular, the closing force applying means comprises an electromagnet for attracting the inner hatch to the closed position, and the control means uses the electromagnet to detect the moisture above a predetermined value by the moisture sensor. In the case where the control circuit is activated at the time when the moisture sensor does not detect the moisture of a predetermined value or more, the operation circuit is deactivated when the outer hatch is opened or incompletely closed. In addition to reducing gas consumption,
Since it is only necessary to add an electromagnet and a control circuit to the conventional glove box, the present invention can be implemented more easily and at lower cost, and the existing glove box can be modified more easily and at lower cost. Can be implemented.

【0063】また、本発明のグローブボックスは、予備
ボックスの内部空間の酸素を検出する酸素センサと、内
側ハッチが前記内側開閉部を閉止するための力を付与す
る閉止力付与手段と、前記酸素センサが酸素を検出する
ときに前記閉止のための力を生じるように前記閉止力付
与手段を制御する制御手段と、を設けたので、予備ボッ
クス内に酸素が残留している時には酸素センサがこれを
検出し、制御手段が閉止力付与手段を制御して内側ハッ
チを閉位置に保持するので、予備ボックス内の酸素が本
体ボックス内に拡散するおそれがなくなる。
Further, the glove box of the present invention has an oxygen sensor for detecting oxygen in the internal space of the spare box, a closing force applying means for applying a force for closing the inner opening / closing portion by the inner hatch, and the oxygen sensor. Control means for controlling the closing force applying means so as to generate the force for closing when the sensor detects oxygen, so that when oxygen remains in the spare box, Is detected, and the control means controls the closing force applying means to hold the inner hatch in the closed position, so that there is no possibility that oxygen in the spare box diffuses into the main body box.

【0064】これにより、本体ボックス内に残留してい
る酸素に接触すると発火したり爆発したりする物質と酸
素との接触を確実に防止でき、かかる物質の処理作業の
安全性を高めることができる。
As a result, the contact between oxygen and a substance that ignites or explodes when it comes into contact with oxygen remaining in the main body box can be reliably prevented, and the safety of the processing operation of such a substance can be improved. .

【0065】本発明において、特に、前記閉止力付与手
段が、予備ボックスの本体ボックス側に予備ボックスの
軸心方向と直交する方向に移動するスライドと、このス
ライドに内側ハッチを予備ボックスの軸心方向に進退可
能に支持するガスシリンダと、このガスシリンダに乾燥
ガスあるいは不活性ガスを供給するガス供給路とから成
り、前記制御手段が、前記ガス供給路を開閉する電磁弁
と、酸素センサが酸素を検出する時に電磁弁でガス供給
路を連通させ、前記酸素センサが酸素を検出しない時に
電磁弁でガス供給路を遮断する制御回路とから成る場合
には、予備ボックス内の酸素パージが完全に終わると同
時に、内側ハッチを開くことができるようになるので、
予備ボックス内への処理物の挿入からこの処理物を本体
ボックス内に移動させるまでの時間を短縮することがで
きるとともに、本体ボックス内の内側ハッチ開閉のため
のスペースを小さくして作業空間を広く利用できるよう
になる。
In the present invention, in particular, the closing force applying means includes a slide that moves toward the main box side of the spare box in a direction perpendicular to the axial direction of the spare box, and an inner hatch attached to the slide to provide an axial center of the spare box. A gas cylinder that supports the gas cylinder so that the gas cylinder can move forward and backward, and a gas supply path that supplies a dry gas or an inert gas to the gas cylinder. A control circuit that connects the gas supply path with an electromagnetic valve when oxygen is detected, and shuts off the gas supply path with an electromagnetic valve when the oxygen sensor does not detect oxygen. At the same time, you will be able to open the inner hatch,
It is possible to shorten the time from the insertion of the processed material into the spare box to the movement of this processed material into the main box, and to reduce the space for opening and closing the inner hatch in the main box to increase the work space. Will be available.

【0066】また、本発明において、特に、前記閉止力
付与手段は、内側開口部の周囲部で内側ハッチに向かっ
て開口された真空吸着口と、この真空吸着口を真空源に
連通させる真空回路とから成り、前記制御手段は、前記
真空回路を開閉する電磁弁と、前記酸素センサが酸素を
検出する時に連通させ、前記酸素センサが酸素を検出し
ない時に遮断する制御回路とから成るものである場合に
は、外側ハッチの開放あるいは不完全閉止時にアルゴン
ガスが予備ボックスから流失することがなく、アルゴン
ガスの消費量を削減できる上、従来のグローブボックス
に真空吸着口と、電磁弁を介在させた真空回路と、制御
回路とを追加するだけで済み、容易に、かつ、安価に実
施できるとともに、既設のグローブボックスを容易に、
かつ、安価に改造して本発明を実施できる。
Further, in the present invention, in particular, the closing force applying means includes a vacuum suction port opened toward the inner hatch around the inner opening, and a vacuum circuit for connecting the vacuum suction port to a vacuum source. Wherein the control means comprises an electromagnetic valve that opens and closes the vacuum circuit, and a control circuit that communicates when the oxygen sensor detects oxygen and shuts off when the oxygen sensor does not detect oxygen. In this case, when the outer hatch is opened or incompletely closed, argon gas does not flow out of the spare box, the consumption of argon gas can be reduced, and a vacuum suction port and a solenoid valve are interposed in the conventional glove box. It is only necessary to add a vacuum circuit and a control circuit, which can be easily and inexpensively implemented.
In addition, the present invention can be implemented at a low cost.

【0067】更に、本発明において、特に、前記閉止力
付与手段は、内側ハッチを閉位置に吸着する電磁石から
成り、前記制御手段は、前記電磁石を前記酸素センサが
酸素を検出する時に作動させ、前記酸素センサが酸素を
検出しない時に作動解除する制御回路から成る場合に
は、外側ハッチの開放あるいは不完全閉止時にアルゴン
ガスが予備ボックスから流失することがなく、アルゴン
ガスの消費量を削減できる上、従来のグローブボックス
に電磁石と制御回路とを追加するだけで済むので、一層
容易に、かつ、安価に実施でき、また、既設のグローブ
ボックスを一層容易に、かつ、一層安価に改造して本発
明を実施できる。
Further, in the present invention, in particular, the closing force applying means comprises an electromagnet for attracting the inner hatch to a closed position, and the control means operates the electromagnet when the oxygen sensor detects oxygen. When the oxygen sensor comprises a control circuit for releasing the operation when no oxygen is detected, the argon gas does not flow out of the spare box when the outer hatch is opened or incompletely closed, so that the consumption of the argon gas can be reduced. Since it is only necessary to add an electromagnet and a control circuit to the conventional glove box, it can be implemented more easily and at lower cost, and the existing glove box can be modified more easily and at lower cost. The invention can be implemented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の正面図である。FIG. 1 is a front view of one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例の内側ハッチ閉止手段の構成
図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of an inner hatch closing means according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例の支持手段の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a supporting means according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例のアルゴンガスシリンダの断
面図である。
FIG. 4 is a sectional view of an argon gas cylinder according to one embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施例の内側ハッチ閉止手段の構
成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram of an inner hatch closing means according to another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の又他の実施例の内側ハッチ閉止手段の
構成図である。
FIG. 6 is a structural view of an inner hatch closing means according to still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 グローブボックス 2 本体ボックス 3 予備ボックス 4 内部空間 5 内側開口部 6 内側ハッチ 7 外側開口部 8 外側ハッチ 17 水分センサ 19 スライド 31 アルゴンガスシリンダ 33 アルゴンガス供給路 34 2連電磁弁 35 制御回路 50 内側ハッチ閉止手段 51 真空吸着口 53 真空回路 54 電磁弁 55 制御回路 60 内側ハッチ閉止手段 61 電磁石 62 制御回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glove box 2 Main body box 3 Spare box 4 Inner space 5 Inner opening 6 Inner hatch 7 Outer opening 8 Outer hatch 17 Moisture sensor 19 Slide 31 Argon gas cylinder 33 Argon gas supply path 34 Dual solenoid valve 35 Control circuit 50 Inside Hatch closing means 51 Vacuum suction port 53 Vacuum circuit 54 Solenoid valve 55 Control circuit 60 Inner hatch closing means 61 Electromagnet 62 Control circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B25J 21/00──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) B25J 21/00

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 作業空間をその外部と気密状に区画する
本体ボックスと、一端を本体ボックス内に連通させ、他
端を大気中に連通させた筒状の予備ボックスと、この予
備ボックスの内部空間を本体ボックス内に連通させる内
側開口部を開閉する内側ハッチと、前記予備ボックスの
内部空間を大気中に連通させる外側開口部を開閉する外
側ハッチとを備えるグローブボックスにおいて、 前記予備ボックスの内部空間の水分量を検出する水分セ
ンサと、前記内側ハッチが前記内側開閉部を閉止するた
めの力を付与する閉止力付与手段と、前記水分センサに
より所定値以上の水分を検出するときに前記閉止のため
の力を生じるように前記閉止力付与手段を制御する制御
手段と、を設けたことを特徴とするグローブボックス。
1. A main body box for airtightly partitioning a working space from the outside, a cylindrical spare box having one end communicating with the inside of the main body box and the other end communicating with the atmosphere, and an inside of the spare box. A glove box comprising: an inner hatch for opening and closing an inner opening for communicating a space with the inside of the main body box; and an outer hatch for opening and closing an outer opening for communicating an inner space of the spare box to the atmosphere. A moisture sensor for detecting the amount of moisture in the space, and the inner hatch closing the inner opening / closing part.
Closing force applying means for applying a force to the moisture sensor;
For the above-mentioned closure when detecting water more than a predetermined value
For controlling the closing force applying means so as to generate a force of
And a means .
【請求項2】 前記閉止力付与手段は、予備ボックスの
本体ボックス側に予備ボックスの軸心方向と直交する方
向に移動するスライドと、このスライドに内側ハッチを
予備ボックスの軸心方向に進退可能に支持するガスシリ
ンダと、このガスシリンダに乾燥ガスあるいは不活性ガ
スを供給するガス供給路とから成り、前記制御手段は、
前記ガス供給路を開閉する電磁弁と、前記水分センサが
所定値以上の水分を検出する時に電磁弁でガス供給路を
連通させ、前記水分センサが所定値以上の水分を検出し
ない時に電磁弁でガス供給路を遮断する制御回路とから
成る請求項1に記載のグローブボックス。
2. The closing force applying means includes : a slide that moves in a direction orthogonal to the axial direction of the spare box on the main box side of the spare box; and an inner hatch on the slide can advance and retreat in the axial direction of the spare box. And a gas supply path for supplying a dry gas or an inert gas to the gas cylinder .
An electromagnetic valve that opens and closes the gas supply path, and communicates the gas supply path with the electromagnetic valve when the moisture sensor detects moisture equal to or greater than a predetermined value, and the electromagnetic valve when the moisture sensor does not detect moisture equal to or greater than a predetermined value. and a control circuit to shut off the gas supply passage
The glove box according to claim 1, comprising:
【請求項3】 前記閉止力付与手段は、内側開口部の周
囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸着口と、
この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路とから成
り、前記制御手段は、前記真空回路を開閉する電磁弁
と、前記水分センサが所定値以上の水分を検出する時に
連通させ、前記水分センサが所定値以上の水分を検出し
ない時に遮断する制御回路とから成る請求項1に記載の
グローブボックス。
3. A vacuum suction port opened toward an inner hatch around an inner opening;
Forming the vacuum suction port and a vacuum circuit for communicating with a vacuum source
The control means communicates with an electromagnetic valve that opens and closes the vacuum circuit, when the moisture sensor detects moisture of a predetermined value or more, and shuts off when the moisture sensor does not detect moisture of a predetermined value or more. The glove box according to claim 1, comprising :
【請求項4】 前記閉止力付与手段は、内側ハッチを閉
位置に吸着する電磁石から成り、前記制御手段は、前記
電磁石を前記水分センサが所定値以上の水分を検出する
時に作動させ、前記水分センサが所定値以上の水分を検
出しない時に作動解除する制御回路から成る請求項1に
記載のグローブボックス。
4. The closing force applying means comprises an electromagnet for attracting an inner hatch to a closed position, and the control means activates the electromagnet when the moisture sensor detects moisture equal to or greater than a predetermined value. 2. The glove box according to claim 1, further comprising a control circuit for canceling the operation when the sensor does not detect the moisture of a predetermined value or more.
【請求項5】 作業空間をその外部と気密状に区画する
本体ボックスと、一端を本体ボックス内に連通させ、他
端を大気中に連通させた筒状の予備ボックスと、この予
備ボックスの内部空間を本体ボックス内に連通させる内
側開口部を開閉する内側ハッチと、前記予備ボックスの
内部空間を大気中に連通させる外側開口部を開閉する外
側ハッチとを備えるグローブボックスにおいて、 前記予備ボックスの内部空間の酸素を検出する酸素セン
サと、前記内側ハッチが前記内側開閉部を閉止するため
の力を付与する閉止力付与手段と、前記酸素センサが酸
素を検出するときに前記閉止のための力を生じるように
前記閉止力付与手段を制御する制御手段と、を設けたこ
とを特徴とするグローブボックス。
5. A main box for airtightly partitioning a working space from the outside, a cylindrical spare box having one end communicating with the inside of the main body box and the other end communicating with the atmosphere, and an inside of the spare box. A glove box comprising: an inner hatch for opening and closing an inner opening for communicating a space with the inside of the main body box; and an outer hatch for opening and closing an outer opening for communicating an inner space of the spare box to the atmosphere. An oxygen sensor for detecting oxygen in the space and the inner hatch for closing the inner opening / closing part
Closing force applying means for applying a force of
To generate the closing force when detecting the element
A glove box provided with control means for controlling the closing force applying means .
【請求項6】 前記閉止力付与手段は、予備ボックスの
本体ボックス側に予備ボックスの軸心方向と直交する方
向に移動するスライドと、このスライドに内側ハッチを
予備ボックスの軸心方向に進退可能に支持するガスシリ
ンダと、このガスシリンダに乾燥ガスあるいは不活性ガ
スを供給するガス供給路とから成り、前記制御手段は、
前記ガス供給路を開閉する電磁弁と、前記酸素センサが
酸素を検出する時に電磁弁でガス供給路を連通させ、前
記酸素センサが酸素を検出しない時に電磁弁でガス供給
路を遮断する制御回路とから成る請求項5に記載のグロ
ーブボックス。
6. The closing force applying means includes: a slide that moves in a direction orthogonal to the axial direction of the spare box on the main body box side of the spare box; and an inner hatch on the slide can advance and retreat in the axial direction of the spare box. And a gas supply path for supplying a dry gas or an inert gas to the gas cylinder .
A control circuit that opens and closes the gas supply path and a gas supply path with the solenoid valve when the oxygen sensor detects oxygen, and shuts off the gas supply path with the solenoid valve when the oxygen sensor does not detect oxygen. The glove box according to claim 5, comprising :
【請求項7】 前記閉止力付与手段は、内側開口部の周
囲部で内側ハッチに向かって開口された真空吸着口と、
この真空吸着口を真空源に連通させる真空回路とから成
り、前記制御手段は、前記真空回路を開閉する電磁弁
と、前記酸素センサが酸素を検出する時に連通させ、前
記酸素センサが酸素を検出しない時に遮断する制御回路
とから成る請求項5に記載のグローブボックス。
7. A vacuum suction port opened toward an inner hatch around an inner opening , wherein :
Forming the vacuum suction port and a vacuum circuit for communicating with a vacuum source
The control means comprises an electromagnetic valve for opening and closing the vacuum circuit, and a control circuit for communicating when the oxygen sensor detects oxygen and shutting off when the oxygen sensor does not detect oxygen. Glove box.
【請求項8】 前記閉止力付与手段は、内側ハッチを閉
位置に吸着する電磁石から成り、前記制御手段は、前記
電磁石を前記酸素センサが酸素を検出する時に作動さ
せ、前記酸素センサが酸素を検出しない時に作動解除す
る制御回路から成る請求項5に記載のグローブボック
ス。
8. The closing force applying means comprises an electromagnet for attracting an inner hatch to a closed position, and the control means operates the electromagnet when the oxygen sensor detects oxygen, and the oxygen sensor supplies oxygen. 6. The glove box according to claim 5, further comprising a control circuit for canceling operation when no detection is performed.
JP7004178A 1995-01-13 1995-01-13 Glove box Expired - Fee Related JP2858689B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7004178A JP2858689B2 (en) 1995-01-13 1995-01-13 Glove box

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7004178A JP2858689B2 (en) 1995-01-13 1995-01-13 Glove box

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08192385A JPH08192385A (en) 1996-07-30
JP2858689B2 true JP2858689B2 (en) 1999-02-17

Family

ID=11577465

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7004178A Expired - Fee Related JP2858689B2 (en) 1995-01-13 1995-01-13 Glove box

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2858689B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023047481A1 (en) * 2021-09-22 2023-03-30 ファナック株式会社 Air purge mechanism, robot, and air purge method

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5018639B2 (en) * 2008-05-23 2012-09-05 澁谷工業株式会社 Method for carrying article from isolator and isolator
CN103507085A (en) * 2012-06-25 2014-01-15 威格高纯气体设备科技(苏州工业园区)有限公司 Automatic extracting and filling device of transfer chamber of glovebox
CN109605424B (en) * 2018-12-14 2024-01-26 福州福夏电池有限责任公司 Glove box capable of quickly replacing gas

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2620830B2 (en) * 1991-10-08 1997-06-18 動力炉・核燃料開発事業団 Gas purification glove box system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023047481A1 (en) * 2021-09-22 2023-03-30 ファナック株式会社 Air purge mechanism, robot, and air purge method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08192385A (en) 1996-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7878112B2 (en) Apparatus and methods for storing sensitive materials
AU685883B2 (en) Method for inerting packaging covers, devices therefor, and packaging cover used therein
KR940006184A (en) Decompression Treatment System and Decompression Treatment Method
US11422070B2 (en) Sampling probe, automatic sampling device, and container detection system
JP2001508536A (en) Inspection of sealing properties of packaging materials
KR960026535A (en) Processing equipment
KR900014606A (en) Apparatus for injecting and recovering gas at high pressure and high speed into the hermetic chamber
JPH07218376A (en) Device and method for testing leakage
JP2858689B2 (en) Glove box
US5607384A (en) Apparatus and process for safely containing and delivering hazardous fluid substances from supply cylinders
EP1122422A3 (en) Diagnosing apparatus for evaporation purge system and pressure sensor
JP3564588B2 (en) Pinhole inspection device and pinhole inspection method for sealed packaging bags
JP3331693B2 (en) Gas purge device
JP2007522424A (en) Explosion containment chamber airlock purge
JPH02268242A (en) Method and instrument for inspecting sealing ability of flexible plastic container
JPH03117800A (en) Dangerous gas vessel storehouse
JPH0247472Y2 (en)
US20230408365A1 (en) System and Method for Leak Testing a Sealed Package
JPS6333440U (en)
JP2540398Y2 (en) Mixed gas filling control device
JP2557321Y2 (en) Gas sterilizer using small cylinder
JPS63200032A (en) Detecting method of leak in vessel
JPH0951935A (en) Gas sterilizer and its operation method
JPS63121727A (en) Inspecting method for pin hole
TWM652331U (en) Collection box and its control system

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081204

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091204

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101204

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101204

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111204

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121204

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121204

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131204

Year of fee payment: 15

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R154 Certificate of patent or utility model (reissue)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R154

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees