JPH08185617A

JPH08185617A - 記録媒体テスト方法及び装置

Info

Publication number: JPH08185617A
Application number: JP34048294A
Authority: JP
Inventors: Yasufumi Nakagawa; 康文中川
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1994-12-29
Filing date: 1994-12-29
Publication date: 1996-07-16

Abstract

(57)【要約】【目的】グライドハイトテストやサーティファイテス
トで、リトライされた複数回のデータ収集作業時に、異
常データの同定のために用いるウインドウ幅をテスト条
件に応じて最適化し、異常データの同定精度を向上する
こと。【構成】同一のテスト軌跡上でのテストデータの収集
作業をリトライし、複数回の収集作業のそれぞれにて収
集した各テストデータ中の異常データのそれぞれが互い
に、予め定めてある同一ウインドウ幅の範囲内にある場
合に、それらの異常データを同一異常データであるもの
と判定する記録媒体テスト方法において、ウインドウ幅
をテスト条件に応じて予め定めてある値（又は、計算に
より求められた値）に設定替えするもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、記録媒体テスト方法及
び装置に係り、特に磁気ディスク、光磁気ディスク等の
記録媒体テスト方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録
媒体は、媒体表面に設定した同心円状もしくはスパイラ
ル状の記録トラックに、磁気的もしくは光学的にデータ
を書込み、また上記データを磁気的もしくは光学的に読
取り再生して用いられる。

【０００３】即ち、例えば磁気ディスク装置（ＨＤＤ）
では、磁気ディスク（ハードディスク）をスピンドルに
固定するとともに、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダ
をサスペンションを介してキャリッジに支持し、スピン
ドルの駆動による磁気ディスクの回転と、キャリッジの
駆動による磁気ヘッドの移動によって、磁気ヘッドを磁
気ディスクの表面に対して相対移動させる。そして、磁
気ディスクに設けてある複数の一様な幅の磁気トラック
のうちの指定されたトラックに、磁気ヘッドによって電
気的にデータを書込み、また、指定されたトラックから
磁気ヘッドによって電気的にデータを読取る。

【０００４】このとき、磁気ディスク装置では、磁気デ
ィスクとヘッドスライダの隙間がくさび型になるように
して、動作時にディスク回転に誘起される空気流をヘッ
ドスライダの浮上面に設けた凹状の空気流通溝に導いて
該ヘッドスライダをディスク上方に一定の浮上量で浮上
させ、磁気ヘッドとディスクとが接触しないようにして
いる。従って、ヘッドスライダは、ディスクに対し、
(a) 動作時にはディスクの回転開始に伴って静止、滑
走、浮上し、(b) 非動作時にはディスクの回転停止に伴
って浮上、滑走、静止する如くに変化する。このように
動作時にヘッドスライダが浮上することは、高ディスク
回転下でもヘッドスライダとディスクの摩耗を極小と
し、記録速度（読書速度）を高速化しながらヘッドスラ
イダとディスクの寿命を向上せしめる。

【０００５】ところで、最近における磁気ディスクの高
記録密度化の要請は、ディスク上での単位記録要素であ
るビット寸法の小型化と、これに応ずる磁気ヘッドの小
型化に起因する、磁気ヘッドとディスク間での出力信号
の低下を招く。そして、磁気ヘッドとディスク間での上
記出力信号の低下を補うため、磁気ヘッドとディスクの
間隙はできるだけ近付ける必要があり、前述のヘッドス
ライダの浮上量を小として記録エネルギのロスを減少さ
せる必要がある。

【０００６】然るに、磁気ディスク装置では、ヘッドス
ライダの浮上量を上述の如くに小としながら、ヘッドス
ライダがディスクの表面突起に尚接触しないようにする
ことが必須である。ヘッドスライダの浮上量を小さくで
きるようにディスク表面を鏡面仕上すると、ヘッドスラ
イダがディスクに対して前述の静止状態にあるときに、
両者が強固に吸着する事故を生ずる。そこで実際には、
小さな浮上量が実現できるように平面ではあるが、吸着
しないように適度の表面粗さをディスク表面に設ける必
要があり、ディスク表面にはテクスチャーと呼ばれる微
小凹凸面を設けている。ヘッド浮上量が例えば0.05μm
であるとき、ディスクの標準的な許容突起量は例えば
0.025μm である。

【０００７】以上のように、磁気ディスクは、高記録密
度を実現するために、超精密な表面性状を具備する必要
があり、その表面性状をチェックするため、グライドハ
イトテストとディスクの記録膜の欠損等の信号品質をチ
ェックするサーティファイテストとが実施されている。

【０００８】(A) グライドハイトテストグライドハイトテストは磁気ディスクの表面の異常突起
のチェックテストである。従来技術では、ピエゾ素子
（ＰＺ）或いはアコースティックエミッション（ＡＥ）
等のグライドハイトテスト用センサをヘッドスライダに
設けたテストヘッドを用いて、磁気ディスク装置のヘッ
ドとディスクの関係を再現させる。そして、ディスクの
表面上でヘッドスライダの浮上面の幅に対応する多数の
トラックを含む一定範囲の記録エリア毎に、一定高さ以
上の異常突起がテストヘッドのヘッドスライダに衝突し
たとき、これによって生ずる過大振動エネルギ（異常デ
ータ）をグライドハイトテスト用センサにより検出し、
異常突起の存在を検出するものである。例えば１枚のデ
ィスクにおいて、１個の異常突起が存在すれば、不良デ
ィスクとする。

【０００９】このとき、グライドハイトテストでは、デ
ィスクの表面上で前述の如くに多数のトラックを含む一
定範囲の記録エリア毎に、テストヘッドを一周のテスト
軌跡に沿って相対移動し、当該テスト軌跡上でのテスト
データを収集する。そして、当該テスト軌跡上で収集し
たテストデータ中に異常データがあれば、同一のテスト
軌跡上でのテストデータの収集作業を更に１回以上リト
ライし、複数回の収集作業のそれぞれにて収集した各テ
ストデータ中の異常データのそれぞれが互いに、予め定
めてある同一ウインドウ幅の範囲内にある場合に、それ
らの異常データを同一テスト位置にある同一異常データ
であるものと判定（異常データの同定）することとして
いる。そして、この同一異常データが複数回の収集作業
のうち、予め定めてある回数以上（の収集作業で）検出
されれば、この同一異常データは異常突起の存在を示す
真の異常データであるものとして取り扱うこととするの
である。

【００１０】(B) サーティファイテストサーティファイテストは磁気ディスクの磁気記録膜等の
欠陥（信号品質）のチェックテストである。従来技術で
は、サーティファイテスト用磁気ヘッドをヘッドスライ
ダに設けたテストヘッドを用いて、磁気ディスク装置の
ヘッドとディスクの関係を再現させ、ディスクの各１本
のトラック毎に、書込信号（ＨＦ信号）の書込み、読出
し、消去、再読出し等を行ない、ＭＰ（Missing Pulse
）エラー、ＥＰ（Extra Pulse ）エラー（異常デー
タ）の発生を検出することにて、欠陥の存在を検出する
ものである。例えば１トラックのビット数（例えば20万
個）に対し、上記ＭＰエラーの数、ＥＰエラーの数がそ
れぞれ一定比率を越えるディスクを不良ディスクとす
る。

【００１１】このとき、サーティファイテストでは、デ
ィスクの表面上で各１本のトラック毎に、テストヘッド
を１周のテスト軌跡に沿って相対移動し、当該テスト軌
跡上でのテストデータを収集する。そして、当該テスト
軌跡上で収集したテストデータ中に異常データがあれ
ば、同一のテスト軌跡上でのテストデータの収集作業を
更に１回以上リトライし、複数回の収集作業のそれぞれ
にて収集した各テストデータ中の異常データのそれぞれ
が互いに、予め定めてある同一ウインドウ幅の範囲内に
ある場合に、それらの異常データを同一テスト位置にあ
る同一異常データであるものと判定（異常データの同
定）することとしている。そして、この同一異常データ
が複数回の収集作業のうち、予め定めてある回数以上
（の収集作業で）検出されれば、この同一異常データは
異常欠陥の存在を示す真の異常データであるものとして
取り扱うこととするのである。

【００１２】然るに、上述(A) 、(B) のグライドハイト
テストとサーティファイテストで、リトライされた複数
回のデータ収集作業時に、異常データの同定のためにウ
インドウ幅なる概念を用いる理由は、それらのテスト中
にスピンドルの回転むら（ジッタ）が存在することに起
因する。即ち、テストヘッドが磁気ディスクに相対して
いるディスク周方向テスト位置は、スピンドルの基準回
転角度位置（インデックス信号）に対する回転角度位置
に対応するものであり、このスピンドルに初回テスト時
とリトライテスト時の異なるテスト時点で回転むらがあ
れば、ディスク表面上で実際には物理的同一位置になる
同一部分のデータがそれら異なるテスト間でスピンドル
の基準回転角度位置に対し経時的にずれた回転角度位置
のデータとして出力されるものとなる。このため、テス
ト回路では、スピンドルのジッタ量に基づき、ビット数
もしくは時間で定めたウインドウ幅をディスク上での物
理的長さ基準として用意し、同一ウインドウ幅の範囲内
にあるデータはスピンドルの回転角度位置上ではずれて
いても実際には物理的同一位置にある同一データである
とみなすようにしているのである。例えば、図５で、初
回テスト時の異常データＡと、リトライテスト時の異常
データＢは、スピンドルの回転角度位置上ではずれてい
ても、そのずれがウインドウ幅Ｗの範囲内にあるので、
互いに同一異常データであるものと判定される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
では、グライドハイトテストやサーティファイテストで
用いる上述のウインドウ幅が、磁気ディスクテスト装置
のテスト回路に唯一固定の値（スピンドルのあるジッタ
量に基づいて定めたウインドウ幅）として定められてい
るため、下記、の如くの問題点がある。

【００１４】テスト条件によりテスト時のスピンドル
回転数が変わると、それに伴ってスピンドルのジッタ量
が変わるため、上述の如くの予めあるジッタ量のみに基
づいて定めた唯一固定のウインドウ幅を用いることは不
合理であり、異常データの同定精度を損なう。

【００１５】例えば、高速回転数側で回転むら小となる
スピンドルモータを用いているテスト装置では、スピン
ドル回転数が高回転になるとジッタ量が小となる。この
ため、この高スピンドル回転時には、低スピンドル回転
時に比して、ディスク表面上で同一位置にある同一デー
タが異なるテスト間でスピンドルの基準回転角度位置に
対してなす経時的ずれが小となるため、ウインドウ幅を
小さくしないと、実際には異なる位置にある異常データ
が互いに同一ウインドウ幅内に入って同一データとして
誤認されてしまう。

【００１６】テスト条件により、テスト時（サーティ
ファイテスト時）のテスト用書込信号の周波数が変わる
と、それに伴ってディスク上でのビット寸法が変わる。
このことは、ディスク上でのウインドウ幅に対応する物
理的長さ（ウインドウ幅対応長さ）が変わってしまうこ
とを意味し、複数の異常データがディスク上で実際の物
理的同一位置にあるか否かを判定するための物理的長さ
基準として、前述の如くの唯一固定のウインドウ幅を用
いることは不合理であり、異常データの同定精度を損な
う。

【００１７】例えば、書込信号の周波数が高くなり、ビ
ット寸法（ディスク周方向長さ）が0.4μから 0.1μに
変わったとき、唯一固定のウインドウ幅が 8ビットであ
ると、ディスク上でのウインドウ幅対応長さは 3.2μか
ら 0.8μに減縮してしまい、同一データとして判定され
るべきデータがウインドウ幅外に出て、異なるデータで
あるかに誤認されてしまう。

【００１８】本発明は、グライドハイトテストやサーテ
ィファイテストで、リトライされた複数回のデータ収集
作業時に、異常データの同定のために用いるウインドウ
幅をテスト条件に応じて最適化し、異常データの同定精
度を向上することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、円盤状記録媒体の表面性状をチェックテストするた
めに、スピンドルに固定した記録媒体を回転させるとと
もに、テストヘッドを記録媒体の表面に対する一定のテ
スト軌跡に沿って相対移動し、テスト軌跡上でのテスト
データを収集するに際し、同一のテスト軌跡上でのテス
トデータの収集作業をリトライし、複数回の収集作業の
それぞれにて収集した各テストデータ中の異常データの
それぞれが互いに、予め定めてある同一ウインドウ幅の
範囲内にある場合に、それらの異常データを同一異常デ
ータであるものと同定する記録媒体テスト方法におい
て、前記ウインドウ幅をテスト条件に応じて予め定めて
ある値（又は、計算された値）に設定替えするようにし
たものである。

【００２０】請求項２に記載の本発明は、請求項１に記
載の本発明において更に、前記チェックテストが、記録
媒体の表面の異常突起をチェックするグライドハイトテ
ストであり、前記ウインドウ幅をスピンドル回転幅に応
じて予め定めてある値に設定替えするようにしたもので
ある。

【００２１】請求項３に記載の本発明は、請求項１に記
載の本発明において更に、前記チェックテストが、記録
媒体の信号品質をチェックするサーティファイテストで
あり、前記ウインドウ幅をスピンドル回転数とテスト用
書込信号周波数に応じて予め定めてある値に設定替えす
るようにしたものである。

【００２２】請求項４に記載の本発明は、円盤状記録媒
体を回転させるスピンドルと、スピンドルを駆動制御す
るスピンドルコントローラと、記録媒体の性状をチェッ
クテストするためのテストヘッドと、テストヘッドを支
持し、該テストヘッドを記録媒体の表面に対する一定の
テスト軌跡に沿って相対移動させるキャリッジと、キャ
リッジを駆動制御するキャリッジコントローラと、テス
トヘッドが記録媒体に相対しているテスト位置をスピン
ドルコントローラとキャリッジコントローラの制御信号
から求め、テストヘッドの出力を得てテスト軌跡上にお
ける各テスト位置でのテストデータを収集するととも
に、同一のテスト軌跡上でのテストデータの収集作業を
リトライし、複数回の収集作業のそれぞれにて収集した
各テストデータ中の異常データのそれぞれが互いに、予
め定めてある同一ウインドウ幅の範囲内にある場合に、
それらの異常データを同一異常データであるものと判定
するテスト回路とを有し、記録媒体の性状をチェックテ
スト可能とする記録媒体テスト装置において、前記ウイ
ンドウ幅をテスト条件に応じて設定替え可能とするウイ
ンドウ幅設定部を備えてなるものである。

【００２３】

【作用】請求項１〜４の本発明によれば下記、の作
用がある。グライドハイトテストやサーティファイテストで、テ
スト条件によりテスト時のスピンドル回転数が変わる
と、それに伴って変わるスピンドルのジッタ量に応じて
適正なウインドウ幅が設定される。

【００２４】例えば、高速回転数側で回転むら小となる
スピンドルモータを用いているテスト装置では、スピン
ドル回転数が高回転になるとジッタ量が小となる。そし
て、高スピンドル回転時には、ディスク表面上で同一位
置にある同一データが異なるテスト間でスピンドルの基
準回転角度位置に対してなす経時的ずれが小となるのに
応じてウインドウ幅が小になる。従って、実際に異なる
位置にあるデータを、上述の如くに小さく設定替えされ
た同一ウインドウ幅内に入れることにより、同一データ
として誤認する不都合を回避できる。

【００２５】サーティファイテストで、テスト条件に
よりテスト時のテスト用書込信号の周波数が変わると、
それに伴って変わるディスク上でのビット寸法（物理的
寸法）に応じて適正なウインドウ幅が設定される。

【００２６】例えば、書込信号の周波数が高くなり、ビ
ット寸法（ディスク周方向長さ）が0.4μから 0.1μに
変わったら、ウインドウ幅を 8ビットから32ビットに設
定替えすれば、ディスク上でのウインドウ幅対応長さは
常に 3.2μに維持され、同一データとして判定されるべ
きデータは常に同一ウインドウ幅内に入り、それらのデ
ータを当該ウインドウ幅外に出して異なるデータとして
誤認する不都合を回避できる。

【００２７】

【実施例】図１は本発明に係る磁気ディスクテスト装置
の一例を示す模式図、図２はテストヘッドの一例を示す
模式図、図３はテストヘッドの浮上原理を示す模式図、
図４はウインドウ幅の設定テーブルを示す図表、図５は
ウインドウ幅による異常データの同定状態を示す模式
図、図６はスピンドルのジッタ量検出状態を示す模式図
である。

【００２８】（サーティファイテスト）磁気ディスクテ
スト装置１０は、磁気ディスク（ハードディスク）１
（円盤状記録媒体）のサーティファイテストを行なう。

【００２９】磁気ディスクテスト装置１０は、図１に示
す如く、定盤の上に設けたサーボモータ１１の出力軸に
スピンドル１２を連結し、サーボモータ１１をスピンド
ルコントローラ１３により駆動制御している。制御部３
０は、スピンドル１２が所定の回転数となるようにスピ
ンドルコントローラ１３を制御する。

【００３０】磁気ディスクテスト装置１０は、定盤の上
に設けたキャリッジガイド１４にキャリッジ１５をスラ
イド可能に支持するともに、パルスモータ１６の出力軸
に連結した送りねじ１７によりキャリッジ１５を移動可
能としている。キャリッジ１５はキャリッジコントロー
ラ１８により駆動制御される。キャリッジ１５は上下の
ヘッドブロック２１、２１を支持し、上下の各ヘッドブ
ロック２１のそれぞれにはサスペンション（ばね）２２
の基端部が結合され、サスペンション２２の先端部には
テストヘッド２３が設けられている。制御部３０は、テ
ストヘッド２３が磁気ディスク１の表面に対する一定の
テスト軌跡に沿って磁気ディスク１の磁気トラックに交
差する方向（本実施例では磁気ディスク１の直径方向）
の所定位置に移動するようにキャリッジコントローラ１
８を制御する。

【００３１】テストヘッド２３は、図２に示す如く、そ
のヘッドスライダ２５に、サーティファイテスト用磁気
ヘッド２７を設けている。ヘッドスライダ２５は、図３
に示す如く、磁気ディスク１の表面に相対する左右の浮
上面２５Ａの中間に空気流通溝２５Ｂを設けるととも
に、ヘッドスライダ２５の先端側の浮上面２５Ａをくさ
び面２５Ｃとしている。これにより、磁気ディスクテス
ト装置１０の動作時に磁気ディスク１の回転に誘起され
る空気流をくさび面２５Ｃの側から浮上面２５Ａ下に導
いてヘッドスライダ２５を磁気ディスク１の上方に一定
の浮上量で浮上させるようにしている。

【００３２】サーティファイテスト用磁気ヘッド２７
は、ヘッドスライダ２５の基端側の端面に接合されてい
る。磁気ヘッド２７は、例えば薄膜磁気ヘッドであり、
薄膜素子（磁気コア、コイル）からなる。

【００３３】磁気ディスクテスト装置１０は、図１に示
す如く、制御部３０、テスト回路３１、ウインドウ幅設
定部３２、タイムインターバルアナライザ３２Ａ、表示
部３３を有している。

【００３４】テスト回路３１は、磁気ディスク１の各１
本のトラックのそれぞれを前述のテスト軌跡とし、ディ
スク１の各１本のトラック毎にサーティファイテストデ
ータを収集する。従って、例えば、ディスク１のビット
寸法がディスク周方向長さ 0.4μ、ディスク直径方向長
さ 4μであるとき、磁気ヘッド２７は１本のトラックの
１周毎をテスト軌跡とし、そのテスト軌跡毎にディスク
直径方向に 4μピッチで送られて各テスト軌跡上でのサ
ーティファイテストを繰り返す。そして、テスト回路３
１は、テストヘッド２３が各テスト軌跡上で磁気ディス
ク１に相対しているテスト位置を、スピンドルコントロ
ーラ１３の制御信号（周方向位置信号）とキャリッジコ
ントローラ１８の制御信号（直径方向位置信号）から求
めるとともに、磁気ヘッド２７の出力をアンプ３５から
得て当該テスト軌跡上における各テスト位置でのサーテ
ィファイテストデータを収集する。また、テスト回路３
１は、同一のテスト軌跡上でのサーティファイテストデ
ータの収集作業を予め定めた回数だけリトライ可能とす
る。リトライ条件に応じて、再度書き込みを実施する場
合もある。そして、テスト回路３１は、複数回のサーテ
ィファイテストデータの収集作業のそれぞれにて収集し
た各テストデータ中の異常データのそれぞれが互いに、
予め定めてある同一ウインドウ幅Ｗ（図５）の範囲内に
ある場合に、それらの異常データをディスク１の同一位
置に存在する同一異常データであるものと判定する。

【００３５】制御部３０は、スピンドルコントローラ１
３とキャリッジコントローラ１８を前述した如くに制御
するとともに、ウインドウ幅設定部３２の設定ウインド
ウ幅を用いてテスト回路３１を上述の如くに動作せしめ
る。尚、制御部３０は、サーティファイテストに適合す
るスピンドル回転数となるように、スピンドルコントロ
ーラ１３を制御する。そして、制御部３０は、テスト回
路３１から取込んだデータ、サーティファイテスト結果
等を表示部３３に表示する。

【００３６】然るに、ウインドウ幅設定部３２は、テス
ト回路３１で用いるウインドウ幅Ｗを、制御部３０から
伝達されるサーティファイテスト条件である、スピンド
ル回転数とテスト用書込信号周波数に応じて予め定めて
ある値（又は、計算された値）に設定替えする。ウイン
ドウ幅設定部３２に予め定められるウインドウ幅Ｗx
は、図４に示す如く、各スピンドル回転数（例えばＮ
₁ ）下で、各テスト用書込信号周波数（例えばＦ₁₁、Ｆ
₁₂、Ｆ₁₃）毎に、ウインドウ幅相当ビット数（例えばｂ
₁₁、ｂ₁₂、ｂ₁₃）もしくはウインドウ幅相当時間（例え
ばｔ₁₁、ｔ₁₂、ｔ₁₃）として定められている。

【００３７】図４のウインドウ幅Ｗx の定め方は、例え
ば、以下の如くなされる。即ち、(a) あるスピンドル回
転数（例えばＮ₁ ）でのジッタ量（例えばＺ₁ ）よりウ
インドウ幅が小であれば、同一テスト軌跡に関する初回
テスト時とリトライテスト時で同一データがウインドウ
幅の範囲外に出てしまう、(b) 経験則より、同一テスト
軌跡上で隣合うエラーは、8 ビットより離れた位置に発
生する。従って、上記(a) 、(b) より、ウインドウ幅の
基準値Ｗx₀を、そのスピンドル回転数（例えばＮ₁ ）で
のジッタ量をＺx （例えばＺ₁ ）とするとき、Ｗx₀＝Ｚ
x ± 8（ビット）とする。更に、テスト時のテスト用書
込信号周波数（例えばＦ₁ ）が変わると、前述した如
く、それに伴ってディスク上でのビット寸法が変わりデ
ィスク上でのウインドウ幅に対応する物理的長さ（ウイ
ンドウ幅対応長さ）が変わるから、上述のウインドウ幅
の基準値Ｗx₀を書込周波数（例えばＦ₁₂）の増減に応じ
て所定の増減量もしくは増減率で増減したものを最終的
な適正ウインドウ幅Ｗx （例えばｂ₁₂、ｔ₁₂）として定
める。例えば、上述のウインドウ幅の基準値Ｗx₀が低書
込周波数（ビット寸法（ディスク周方向長さ）が 0.4
μ）下で定めたとき、高書込周波数ではビット寸法（デ
ィスク周方向長さ）が例えば0.1 μに小となってディス
ク上でのウインドウ幅対応長さが小になってしまうか
ら、適正ウインドウ幅Ｗx は上述のウインドウ幅の基準
値Ｗx₀より所定の増加量もしくは増加率で増加せしめた
値、例えば 4×Ｗx₀＝Ｗx とする。

【００３８】このとき、上述のウインドウ幅の基準値Ｗ
x₀を定めるための各スピンドル回転数下でのジッタ量Ｚ
x は、磁気ディスクテスト装置１０によるテスト段階
で、スピンドル１２のモータ１１の１回転毎に得られる
インデックス信号Ｉ₁ 、Ｉ₂ …（図６）の時間間隔Ｔ
₁ 、Ｔ₂ …の標準偏差をタイムインターバルアナライザ
３２Ａ（もしくは同等機能部）にて算出することにより
求められる。但し、この各スピンドル回転数下でのジッ
タ量Ｚx は、テスト装置１０によるテスト段階で求める
ものでなく、予めモータ１１の回転特性から設定される
ものであっても良い。

【００３９】尚、磁気ディスクテスト装置１０は、ワッ
フル又はバーニッシュヘッド３６を有している。制御部
３０は、ワッフル又はバーニッシュヘッド３６を以下の
如くに作動せしめる。グライドハイトテストに先立ち、
磁気ディスク１の表面を平滑化する仕上げ作業。

【００４０】また、磁気ディスクテスト装置１０は、ラ
イトヘッド（書込専用ヘッド）３７を有していても良
い。制御部３０は、ライトヘッド３７を用いてサーティ
ファイテスト時の書込みを行なっても良い。但し、サー
ティファイテスト時の書込みは、サーティファイテスト
用磁気ヘッド２７が具備している書込機能を用いること
ができ、その場合には、ライトヘッド３７は不要とな
る。

【００４１】以下、磁気ディスクテスト装置１０による
テスト手順の一例について説明する。 (1) 磁気ディスク１をスピンドル１２に取付ける。そし
て、スピンドルコントローラ１３により所定のスピンド
ル回転数でスピンドル１２を駆動する。

【００４２】(2) キャリッジコントローラ１８によりテ
ストヘッド２３を磁気ディスク１上のロード位置（テス
ト開始位置）（例えば最外周トラック位置）に位置付
け、不図示のヘッドロード／アンロード機構によりテス
トヘッド２３を磁気ディスク１上で浮上させ、サーティ
ファイテストを行なう。サーティファイテストは、例え
ば下記〜により、磁気ディスク１の全記録エリアの
全トラック（例えば 1.8インチφディスクで3000TPI
（トラック密度））の各１本のトラック毎に行なう。但
し、テスト中にサーティファイテスト不良条件を満足す
る不良が検出された場合にはその時点でテスト終了とす
る。

【００４３】尚、制御部３０は、下記〜のテストシ
ーケンスの実行に際し、所定のスピンドル回転数と書込
信号周波数を選定して行なう。そして、ウインドウ幅設
定部３２は、下記、で用いるウインドウ幅として、
それらのスピンドル回転数と書込信号周波数に応じて前
述の如くに予め定めてある値を設定する。

【００４４】指定されたトラック（テスト軌跡）に書
込信号（ＨＦ信号）を書込む。

【００４５】上記の書込信号を読出し、トラック平
均読出電圧（ＴＡＡ）を算出する。

【００４６】上記の読出信号について、上記のＴ
ＡＡに対するスライスレベル（ 1〜99％、例えば70％）
を下回るパルス信号をＭＰ（Missing Pulse)エラーとす
る。第１回のテストで当該トラック上にＭＰエラーがあ
れば、同一のトラック上でのテストを更に予め定めてあ
る回数だけリトライする。そして、複数回のテストで収
集したテストデータ中のＭＰエラーのそれぞれが互い
に、前述の如くに定めてある同一ウインドウ幅の範囲内
にある場合に、それらのＭＰエラーを同一テスト位置に
ある同一ＭＰエラーであるものと判定する。そして、こ
の同一ＭＰエラーが複数回の収集作業のうち、予め定め
てある回数以上の収集作業で検出されれば、この同一Ｍ
Ｐエラーは異常欠陥の存在を示す真のＭＰエラーである
ものとする。そして、例えばディスクの１トラックのビ
ット数（例えば20万ビット）に対し上記真のＭＰエラー
の数が一定比率を越えるディスクを不良ディスクとす
る。

【００４７】上記の書込信号をイレーズ（消去）す
る。

【００４８】上記のイレーズ後に再読出しを行な
う。そして、上記のＴＡＡに対するスライスレベル
（ 1〜99％、例えば25％）を越える消え残りパルス信号
をＥＰ（Extra Pulse ）エラーとする。第１回のテスト
で当該トラック上にＥＰエラーがあれば、同一のトラッ
ク上でのテストを更に予め定めてある回数だけリトライ
する。そして、複数回のテストで収集したテストデータ
中のＥＰエラーのそれぞれが互いに、前述の如くに定め
てある同一ウインドウ幅の範囲内にある場合に、それら
のＥＰエラーを同一テスト位置にある同一ＥＰエラーで
あるものと判定する。そして、この同一ＥＰエラーが複
数回の収集作業のうち、予め定めてある回数以上の収集
作業で検出されれば、この同一ＥＰエラーは異常欠陥の
存在を示す真のＥＰエラーであるものとする。そして、
例えばディスクの１トラックのビット数（例えば20万ビ
ット）に対し上記真のＥＰエラーの数が一定比率を越え
るディスクを不良ディスクとする。

【００４９】磁気ディスク１が上記、で不良ディス
クと判定されたときその時点でテスト終了とする。

【００５０】(3) テストヘッド２３が磁気ディスク１上
のアンロード位置（テスト終了位置）（例えば最内周ト
ラック位置）に到達して、その位置での上記〜のテ
ストシーケンスを終了したら、不図示のヘッドロード／
アンロード機構によりテストヘッド２３を磁気ディスク
１から強制的に離し、テスト終了とする。

【００５１】以下、本実施例の作用について説明する。サーティファイテストで、テスト条件によりテスト時
のスピンドル回転数が変わると、それに伴って変わるス
ピンドル１２のジッタ量に応じて適正なウインドウ幅が
設定される。

【００５２】例えば、高速回転数側で回転むら小となる
スピンドルモータ１１を用いているテスト装置１０で
は、スピンドル回転数が高回転になるとジッタ量が小と
なる。そして、高スピンドル回転時には、ディスク表面
上で同一位置にある同一データが異なるテスト間でスピ
ンドル１２の基準回転角度位置に対してなす経時的ずれ
が小となるのに応じてウインドウ幅が小になる。従っ
て、実際に異なる位置にあるデータを、上述の如くに小
さく設定替えされた同一ウインドウ幅内に入れて同一デ
ータとして誤認する不都合を回避できる。

【００５３】サーティファイテストで、テスト条件に
よりテスト時のテスト用書込信号の周波数が変わると、
それに伴って変わるディスク１上でのビット寸法に応じ
て適正なウインドウ幅が設定される。

【００５４】例えば、書込信号の周波数が高くなり、ビ
ット寸法（ディスク周方向長さ）が0.4μから 0.1μに
変わったら、ウインドウ幅を 8ビットから32ビットに設
定替えすれば、ディスク１上でのウインドウ幅対応長さ
は常に 3.2μに維持され、同一データとして判定される
べきデータは常に同一ウインドウ幅内に入り、それらの
データを当該ウインドウ幅外に出して異なるデータとし
て誤認する不都合を回避できる。

【００５５】（グライドハイトテスト）磁気ディスクテ
スト装置１０は、磁気ディスク１のグライドハイトテス
トを行なうものであっても良い。テスト装置１０がグラ
イドハイトテストを行なうものであるとき、テスト装置
１０は前述のサーティファイテストを行なうものに対し
て下記(a) 〜(f) において異なる。

【００５６】(a) テストヘッド２３が、そのヘッドスラ
イダ２５に、グライドハイト用ＰＺ（Piezo 素子）セン
サ（もしくはグライドハイトテスト用ＡＥ（Acoustic E
mission ）センサ）を設ける。ＰＺセンサ（もしくはＡ
Ｅセンサ）は、ヘッドスライダ２５の側面に接合され
る。但し、センサ２６は、テストヘッド２３に結合され
るものであれば良く、サスペンション２２、ヘッドブロ
ック２１等に接合されるものであっても良い。

【００５７】(b) テスト回路３１は、磁気ディスク１の
表面上でヘッドスライダ２５の浮上面２５Ａの幅Ｗ_d
（図３）に対応する多数のトラックを含む一定範囲の記
録エリア毎にグライドハイトテストデータを収集する。
従って、例えば、ディスク１のビット寸法がディスク周
方向長さ 0.4μ、ディスク直径方向長さ 4μであり、ヘ
ッドスライダ２５の浮上面２５Ａの幅Ｗ_d が 400μであ
るとき、ＰＺセンサはディスク１の１周分で 100本のト
ラック領域をテスト軌跡とし、それら 100本のトラック
についてのグライドハイトテストを一挙に行なう。そし
て、テスト回路３１は、テストヘッド２３が磁気ディス
ク１に相対しているテスト位置を、スピンドルコントロ
ーラ１３の制御信号（周方向位置信号）とキャリッジコ
ントローラ１８の制御信号（直径方向位置信号）から求
めるとともに、ＰＺセンサ２６の出力をアンプ３５から
得て当該テスト軌跡上における各テスト位置でのグライ
ドハイトテストデータを収集する。

【００５８】また、テスト回路３１は、同一のテスト軌
跡上でのグライドハイトテストデータの収集作業を予め
定めた回数だけリトライ可能とする。そして、テスト回
路３１は、複数回のグライドハイトテストデータの収集
作業のそれぞれにて収集した各テストデータ中の異常デ
ータのそれぞれが互いに、予め定めてある同一ウインド
ウ幅Ｗ（図５）の範囲内にある場合に、それらの異常デ
ータをディスク１の同一位置に存在する同一異常データ
であるものと判定する。

【００５９】(c) 制御部３０は、スピンドルコントロー
ラ１３とキャリッジコントローラ１８を前述した如くに
制御するとともに、ウインドウ幅設定部３２の設定ウイ
ンドウ幅を用いてテスト回路３１を上述の如くに動作せ
しめる。尚、制御部３０は、グライドハイトテストに適
合するスピンドル回転数となるように、スピンドルコン
トローラ１３を制御する。そして、制御部３０は、テス
ト回路３１から取込んだデータ、グライドハイトテスト
結果等を表示部３３に表示する。

【００６０】(d) グライドハイトテストでは、サーティ
ファイテストにおける書込信号の書込工程がないから、
ウインドウ幅設定部３２は、テスト回路３１で用いるウ
インドウ幅Ｗを、制御部３０から伝達されるグライドハ
イトテスト条件である、スピンドル回転数に応じて予め
定めてある値に設定替えする。ウインドウ幅設定部３２
に予め定められるウインドウ幅Ｗx は、各スピンドル回
転数（例えばＮ₁ ）毎に、ウインドウ幅相当距離数（例
えばｂ₁₁、ｂ₁₂、ｂ₁₃）もしくはウインドウ幅相当時間
（例えばｔ₁₁、ｔ₁₂、ｔ₁₃）として定められる。

【００６１】このとき、ウインドウ幅Ｗx の定め方は、
例えば、以下の如くなされる。即ち、(a) あるスピンド
ル回転数（例えばＮ₁ ）でのジッタ量（例えばＺ₁ ）よ
りウインドウ幅が小であれば、同一テスト軌跡に関する
初回テスト時とリトライテスト時で同一データがウイン
ドウ幅の範囲外に出てしまう、(b) 経験則及びヘッドと
突起の衝突原理（ヘッドスライダの全長（ディスク周方
向での長さ、例えば 3mm）の内で、ディスク表面の異常
突起が衝突する部分の長さ（ディスク周方向での長さ）
は数10μm 程度の微小長さであること）より、同一テス
ト軌跡上で隣合うエラーは、数10μm 離れた位置の分解
能しかない。従って、上記(a) 、(b) より、ウインドウ
幅Ｗx を、そのスピンドル回転数（例えばＮ₁ ）でのジ
ッタ量をＺx （例えばＺ₁ ）とするとき、Ｗx ＝Ｚx ±
数10μm とする。

【００６２】(e) ワッフル又はバーニッシュヘッド３６
を下記(a) 、(b) の如くに作動せしめる。(a) グライド
ハイトテストとサーティファイテストに先立ち、磁気デ
ィスク１の表面を平滑化する仕上げ作業、(b) グライド
ハイトテストで不良とされた箇所に対し再研磨を行なう
作業。上記(b) の再研磨を行なわれた箇所については、
その後再度グライドハイトテストが実施される。

【００６３】(f) 磁気ディスクテスト装置１０によるグ
ライドハイトテストは以下の如くにより行なう。グライ
ドハイトテストは、磁気ディスク１の全記録エリア（例
えば1.8インチφディスクで60TPI （トラック密度））
について行なう。但し、テスト中にグライドハイトテス
ト不良条件を満足する不良が検出された場合には、前述
のワッフル又はバーニッシュヘッド３６による再研磨を
行なわない限り、その時点でテスト終了とする。

【００６４】尚、制御部３０は、以下のテストの実行に
際し、所定のスピンドル回転数を選定して行なう。そし
て、ウインドウ幅設定部３２は、以下で用いるウインド
ウ幅として、そのスピンドル回転数に応じて前述の如く
に予め定めてある値を設定する。

【００６５】磁気ディスク１の表面上でヘッドスライダ
２５の浮上面２５Ａの幅Ｗに対応する多数のトラックを
含む一定範囲の記録エリア（テスト軌跡）毎に行なう。
磁気ディスク１の表面の一定高さ以上の異常突起がヘッ
ドスライダ２５に衝突しとき、これによって生ずる（過
大）振動エネルギをグライドハイトテスト用ＰＺセンサ
により検出し、異常突起の存在を検出する。第１回のテ
ストで当該テスト軌跡上に過大振動エネルギの検出信号
があれば、同一のテスト軌跡上でのテストを更に予め定
めてある回数だけリトライする。そして、複数回のテス
トで収集したテストデータ中の過大振動エネルギの検出
信号のそれぞれが互いに、前述の如くに定めてある同一
ウインドウ幅の範囲内にある場合に、それらの過大振動
エネルギの検出信号を同一テスト位置にある同一検出信
号であるものと判定する。そして、この同一検出信号が
複数回の収集作業のうち、予め定めてある回数以上の収
集作業で検出されれば、この同一検出信号は異常突起の
存在を示す真の過大振動エネルギの検出信号であるもの
とする。

【００６６】従って、グライドハイトテストで、テスト
条件によりテスト時のスピンドル回転数が変わると、そ
れに伴って変わるスピンドル１２のジッタ量に応じて適
正なウインドウ幅が設定される。

【００６７】例えば、高速回転数側で回転むら小となる
スピンドルモータ１１を用いているテスト装置では、ス
ピンドル回転数が高回転になるとジッタ量が小となる。
そして、高スピンドル回転時には、ディスク表面上で同
一位置にある同一データが異なるテスト間でスピンドル
１２の基準回転角度位置に対してなす経時的ずれが小と
なるのに応じてウインドウ幅が小になる。従って、実際
に異なる位置にあるデータを、上述の如くに小さく設定
替えされた同一ウインドウ幅内に入れて同一データとし
て誤認する不都合を回避できる。

【００６８】異常突起の存在が検出されたとき、ワッフ
ル又はバーニッシュヘッド３６による再研磨を行なわな
い場合には、その時点でテスト終了とし、当該ディスク
１を不良ディスクとする。ワッフル又はバーニッシュヘ
ッド３６による再研磨は、当該異常突起が存在するトラ
ックについて、当該テスト時点で行なっても良く、テス
ト終了後に行なっても良い。

【００６９】以上、本発明の実施例を図面により詳述し
たが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があっても本発明に含まれる。例えば、磁気ディス
クテスト装置の形態は、上記実施例のものに限らない。
従って、キャリッジは、テストヘッドをディスクのトラ
ックに交差する方向に移動させるものであれば良く、デ
ィスクの直径上を直線動するものに限らず、スイングす
るものであっても良い。

【００７０】また、グライドハイトテスト回路によるテ
スト内容、サーティファイテスト回路によるテスト内容
は、上記実施例のものに限らず、如何なるものであって
も良い。

【００７１】また、本発明は、光磁気ディスクテスト方
法及び装置においても同様に適用できる。

【００７２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、グライド
ハイトテストやサーティファイテストで、リトライされ
た複数回のデータ収集作業時に、異常データの同定のた
めに用いるウインドウ幅をテスト条件に応じて最適化
し、異常データの同定精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に係る磁気ディスクテスト装置の
一例を示す模式図である。

【図２】図２はテストヘッドの一例を示す模式図であ
る。

【図３】図３はテストヘッドの浮上原理を示す模式図で
ある。

【図４】図４はウインドウ幅の設定テーブルを示す図表
である。

【図５】図５はウインドウ幅による異常データの同定状
態を示す模式図である。

【図６】図６はスピンドルのジッタ量検出状態を示す模
式図である。

【符号の説明】

１磁気ディスク（円盤状記録媒体）１０磁気ディスクテスト装置１２スピンドル１３スピンドルコントローラ１５キャリッジ１８キャリッジコントローラ２３テストヘッド２７サーティファイテスト用磁気ヘッド３０制御部３１テスト回路３２ウインドウ幅設定部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円盤状記録媒体の表面性状をチェックテ
ストするために、スピンドルに固定した記録媒体を回転
させるとともに、テストヘッドを記録媒体の表面に対す
る一定のテスト軌跡に沿って相対移動し、テスト軌跡上
でのテストデータを収集するに際し、同一のテスト軌跡上でのテストデータの収集作業をリト
ライし、複数回の収集作業のそれぞれにて収集した各テ
ストデータ中の異常データのそれぞれが互いに、予め定
めてある同一ウインドウ幅の範囲内にある場合に、それ
らの異常データを同一異常データであるものと判定する
記録媒体テスト方法において、前記ウインドウ幅をテスト条件に応じて定められる値に
設定替えすることを特徴とする記録媒体テスト方法。
【請求項２】前記チェックテストが、記録媒体の表面
の異常突起をチェックするグライドハイトテストであ
り、前記ウインドウ幅をスピンドル回転幅に応じて予め定め
てある値に設定替えする請求項１記載の記録媒体テスト
方法。
【請求項３】前記チェックテストが、記録媒体の信号
品質をチェックするサーティファイテストであり、前記ウインドウ幅をスピンドル回転数とテスト用書込信
号周波数に応じて予め定めてある値に設定替えする請求
項１記載の記録媒体テスト方法。
【請求項４】円盤状記録媒体を回転させるスピンドル
と、スピンドルを駆動制御するスピンドルコントローラと、記録媒体の性状をチェックテストするためのテストヘッ
ドと、テストヘッドを支持し、該テストヘッドを記録媒体の表
面に対する一定のテスト軌跡に沿って相対移動させるキ
ャリッジと、キャリッジを駆動制御するキャリッジコントローラと、テストヘッドが記録媒体に相対しているテスト位置をス
ピンドルコントローラとキャリッジコントローラの制御
信号から求め、テストヘッドの出力を得てテスト軌跡上
における各テスト位置でのテストデータを収集するとと
もに、同一のテスト軌跡上でのテストデータの収集作業
をリトライし、複数回の収集作業のそれぞれにて収集し
た各テストデータ中の異常データのそれぞれが互いに、
予め定めてある同一ウインドウ幅の範囲内にある場合
に、それらの異常データを同一異常データであるものと
判定するテスト回路とを有し、記録媒体の性状をチェックテスト可能とする記録媒体テ
スト装置において、前記ウインドウ幅をテスト条件に応じて設定替え可能と
するウインドウ幅設定部を備えてなることを特徴とする
記録媒体テスト装置。