JPH08185616A - 磁気ディスクテスト方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡易なテスト装置により、グライドハイトテ
ストとサーティファイテストを短時間で完了可能とする
こと。 【構成】 磁気ディスク１のグライドハイトテストとサ
ーティファイテストとを行なう磁気ディスクテスト方法
において、グライドハイトテスト用センサ２６とサーテ
ィファイテスト用磁気ヘッド２７とを結合されたテスト
ヘッド２３を用い、テストヘッド２３を磁気ディスク１
の表面に対して相対移動し、テストヘッド２３が磁気デ
ィスク１に相対しているテスト位置を求め、グライドハ
イトテスト用センサ２６の出力を得て上記テスト位置で
のグライドハイトテストデータを求め、及び／又は、サ
ーティファイテスト用磁気ヘッド２７の出力を得て上記
テスト位置でのサーティファイテストデータを求めるも
の。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクテスト方
法及び装置に係り、特にハードディスクの磁気ディスク
テスト方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置（ＨＤＤ）は、磁気デ
ィスク（ハードディスク）をスピンドルに固定するとと
もに、磁気ヘッドを備えたヘッドスライダをキャリッジ
に支持し、スピンドルの駆動による磁気ディスクの回転
と、キャリッジの駆動による磁気ヘッドの移動によっ
て、磁気ヘッドを磁気ディスクの表面に対して相対移動
させる。そして、磁気ディスクに設けてある複数の一様
な幅の磁気トラックのうちの指定されたトラックに、磁
気ヘッドによって電気的にデータを書込み、また、指定
されたトラックから磁気ヘッドによって電気的にデータ
を読取る。

【０００３】このとき、磁気ディスク装置では、磁気デ
ィスクとヘッドスライダの隙間がくさび型になるように
して、動作時にディスク回転に誘起される空気流をヘッ
ドスライダの浮上面に設けた凹状の空気流通溝に導いて
該ヘッドスライダをディスク上方に一定の浮上量で浮上
させ、磁気ヘッドとディスクとが接触しないようにして
いる。従って、ヘッドスライダは、ディスクに対し、
(a) 動作時にはディスクの回転開始に伴って静止、滑
走、浮上し、(b) 非動作時にはディスクの回転停止に伴
って浮上、滑走、静止する如くに変化する。このように
動作時にヘッドスライダが浮上することは、高ディスク
回転下でもヘッドスライダとディスクの摩耗を極小と
し、記録速度（読書速度）を高速化しながらヘッドスラ
イダとディスクの寿命を向上せしめる。

【０００４】ところで、最近における磁気ディスクの高
記録密度化の要請は、ディスク上での単位記録要素であ
るビット寸法の小型化と、これに応ずる磁気ヘッドの小
型化に起因して、磁気ヘッドとディスク間での出力信号
の低下を招く。そして、磁気ヘッドとディスク間での上
記出力信号の低下を補うため、磁気ヘッドとディスクの
間隙はできるだけ近付ける必要があり、前述のヘッドス
ライダの浮上量を小として記録エネルギのロスを減少さ
せる必要がある。

【０００５】然るに、磁気ディスク装置では、ヘッドス
ライダの浮上量を上述の如くに小としながら、ヘッドス
ライダがディスクの表面突起に尚接触しないようにする
ことが必須である。ヘッドスライダの浮上量を小さくで
きるようにディスク表面を鏡面仕上すると、ヘッドスラ
イダがディスクに対して前述の静止状態にあるときに、
両者が強固に吸着する事故を生ずる。そこで実際には、
小さな浮上量が実現できるように平面ではあるが、吸着
しないように適度の表面粗さをディスク表面に設ける必
要があり、ディスク表面にはテクスチャーと呼ばれる微
小凹凸面を設けている。ヘッド浮上量が例えば0.05μm
であるとき、ディスクの標準的な許容突起量は例えば0.
025 μm である。

【０００６】以上のように、磁気ディスクは、高記録密
度を実現するために、超精密な表面性状を具備する必要
があり、その表面性状をチェックするため、グライドハ
イトテストとディスクの記録膜の欠損等の信号品質をチ
ェックするサーティファイテストとが実施されている。

【０００７】(A) グライドハイトテスト グライドハイトテストは磁気ディスクの表面の異常突起
のチェックテストである。従来技術では、ピエゾ素子
（ＰＺ）或いはアコースティックエミッション（ＡＥ）
等のグライドハイトテスト用センサをヘッドスライダに
設けたテストヘッドを用いて、磁気ディスク装置のヘッ
ドとディスクの関係を再現させる。そして、ディスクの
表面上でヘッドスライダの浮上面の幅に対応する多数の
トラックを含む一定範囲の記録エリア毎に、一定高さ以
上の異常突起がテストヘッドのヘッドスライダに衝突し
たとき、これによって生ずる過大振動エネルギをグライ
ドハイトテスト用センサにより検出し、異常突起の存在
を検出するものである。例えば１枚のディスクにおい
て、１個の異常突起が存在すれば、不良ディスクとす
る。

【０００８】(B) サーティファイテスト サーティファイテストは磁気ディスクの磁気記録膜等の
欠陥（信号品質）のチェックテストである。従来技術で
は、サーティファイテスト用磁気ヘッドをヘッドスライ
ダに設けたテストヘッドを用いて、磁気ディスク装置の
ヘッドとディスクの関係を再現させ、ディスクの各１本
のトラック毎に、書込信号（ＨＦ信号）の書込み、読出
し、消去、再読出し等を行ない、ＭＰ（Missing Pulse
）エラー、ＥＰ（Extra Pulse ）エラーの発生数を検
出することにて、欠陥の存在を検出するものである。例
えば１トラックのビット数（例えば20万個）に対し、上
記ＭＰエラーの数、ＥＰエラーの数がそれぞれ一定比率
を越えるディスクを不良ディスクとする。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
には、下記、の問題点がある。 グライドハイトテスト装置とサーティファイテスト装
置とを別装置としている。このため、１つのディスクを
グライドハイトテスト装置でグライドハイトテストし、
次に、当該ディスクをサーティファイテスト装置に持込
んでサーティファイテストする必要がある。従って、２
台のテスト装置を必要とし、テスト時間も長時間にな
る。

【００１０】１台のテスト装置のキャリッジにグライ
ドハイトテストヘッドとサーティファイテストヘッドの
２個のテストヘッドを並列設置することも考えられる
が、この場合にも、１つのディスクをグライドハイトテ
ストヘッドでグライドハイトテストし、そのグライドハ
イトテスト完了後に当該ディスクをサーティファイテス
トヘッドでサーティファイテストする必要がある。従っ
て、２個のテストヘッドを必要とする他、１つのディス
クの全記録エリアについて、グライドハイトテストヘッ
ドを１往復し、更にサーティファイテストヘッドも１往
復させる必要があり、テスト時間が長時間になる。

【００１１】本発明は、簡易なテスト装置により、グラ
イドハイトテストとサーティファイテストを短時間で完
了可能とすることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、磁気ディスクのグライドハイトテストとサーティフ
ァイテストとを行なう磁気ディスクテスト方法におい
て、グライドハイトテスト用センサとサーティファイテ
スト用磁気ヘッドとが結合されたテストヘッドを用い、
テストヘッドを磁気ディスクの表面に対して相対移動
し、テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト
位置を求め、グライドハイトテスト用センサの出力を得
て上記テスト位置でのグライドハイトテストデータを求
め、及び／又は、サーティファイテスト用磁気ヘッドの
出力を得て上記テスト位置でのサーティファイテストデ
ータを求めるようにしたものである。

【００１３】請求項２に記載の本発明は、磁気ディスク
のグライドハイトテストとサーティファイテストとを行
なう磁気ディスクテスト装置において、磁気ディスクを
回転させるスピンドルと、スピンドルを駆動制御するス
ピンドルコントローラと、グライドハイトテスト用セン
サとサーティファイテスト用磁気ヘッドとが結合された
テストヘッドと、テストヘッドを支持し、該テストヘッ
ドを磁気ディスクの表面に沿って該磁気ディスクの磁気
トラックに交差する方向に移動させるキャリッジと、キ
ャリッジを駆動制御するキャリッジコントローラと、テ
ストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置を
スピンドルコントローラとキャリッジコントローラの制
御信号から求めるとともに、グライドハイトテスト用セ
ンサの出力を得て当該テスト位置でのグライドハイトテ
ストデータを求めるグライドハイトテスト回路と、テス
トヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置をス
ピンドルコントローラとキャリッジコントローラの制御
信号から求めるとともに、サーティファイテスト用磁気
ヘッドの出力を得て当該テスト位置でのサーティファイ
テストデータを求めるサーティファイテスト回路と、ス
ピンドルコントローラとキャリッジコントローラを制御
するとともに、グライドハイトテスト回路とサーティフ
ァイテスト回路を制御する制御部とを有してなるもので
ある。

【００１４】請求項３に記載の本発明は、請求項２に記
載の本発明において更に、前記制御部が、グライドハイ
トテストデータの取込み時期をグライドハイトテスト回
路に命令するとともに、サーティファイテストデータの
取込み時期をサーティファイテスト回路に命令する、テ
スト時期設定機能を具備してなるものである。

【００１５】請求項４に記載の本発明は、請求項２又は
３に記載の本発明において更に、前記制御部が、グライ
ドハイトテストデータの取込み時期には該グライドハイ
トテストに適合するスピンドル回転数となるように、サ
ーティファイテストデータの取込み時期には該サーティ
ファイテストに適合するスピンドル回転数となるよう
に、スピンドルコントローラを制御するようにしたもの
である。

【００１６】

【作用】請求項１、２の本発明によれば下記の作用が
ある。 単一のテスト装置に唯一のテストヘッドを設けるもの
でありながら、グライドハイトテスト用センサの出力に
よってグライドハイトテストデータを求め、且つサーテ
ィファイテスト用磁気ヘッドの出力によってサーティフ
ァイテストデータを求めることができ、装置構成は簡易
である。

【００１７】グライドハイトテスト用センサとサーティ
ファイテスト用磁気ヘッドが唯一のテストヘッドに併設
されるものであるから、ディスクの全記録エリアについ
て、テストヘッドを１往復する間に、グライドハイトテ
ストとサーティファイテストを同時もしくは交互に行な
うことができ、テスト時間を短時間にできる。

【００１８】請求項３に記載の本発明によれば下記の
作用がある。 制御部が、グライドハイトテストデータの取込み時期
をグライドハイトテスト回路に命令するとともに、サー
ティファイテストデータの取込み時期をサーティファイ
テスト回路に命令する、テスト時期設定機能を具備する
から、グライドハイトテストとサーティファイテストを
相互に独立に、それぞれ指定時期に行なうことができ、
テストの確実と合理化を図ることができる。

【００１９】請求項４に記載の本発明によれば下記の
作用がある。 制御部が、グライドハイトテストデータの取込み時期
には該グライドハイトテストに適合するスピンドル回転
数となるように、サーティファイテストデータの取込み
時期には該サーティファイテストに適合するスピンドル
回転数となるように、スピンドルコントローラを制御す
るから、グライドハイトテストとサーティファイテスト
をそれぞれ最適なスピンドル回転数（ディスク回転速
度）で行なうことができ、テストの確実と合理化を図る
ことができる。

【００２０】

【実施例】図１は本発明に係る磁気ディスクテスト装置
の一実施例を示す模式図、図２は磁気ディスクテスト装
置の制御系統図、図３はテストヘッドの一例を示す模式
図、図４はテストヘッドの他の例を示す模式図、図５は
テストヘッドの浮上原理を示す模式図である。

【００２１】磁気ディスクテスト装置１０は、磁気ディ
スク（ハードディスク）１のグライドハイトテストとサ
ーティファイテストとを行なう。

【００２２】磁気ディスクテスト装置１０は、図１に示
す如く、定盤１０Ａの上に設けたサーボモータ１１の出
力軸にスピンドル１２を連結し、サーボモータ１１をス
ピンドルコントローラ１３により駆動制御している。制
御部３０は、スピンドル１２が所定の回転数となるよう
にスピンドルコントローラ１３を制御する。

【００２３】磁気ディスクテスト装置１０は、定盤１０
Ａの上に設けたキャリッジガイド１４にキャリッジ１５
をスライド可能に支持するともに、パルスモータ１６の
出力軸に連結した送りねじ１７によりキャリッジ１５を
移動可能としている。キャリッジ１５はキャリッジコン
トローラ１８により駆動制御される。キャリッジ１５は
上下のヘッドブロック２１、２１を支持し、上下の各ヘ
ッドブロック２１のそれぞれにはサスペンション（ば
ね）２２の基端部が結合され、サスペンション２２の先
端部にはテストヘッド２３が設けられている。制御部３
０は、テストヘッド２３が磁気ディスク１の表面に沿っ
て磁気ディスク１の磁気トラックに交差する方向（本実
施例では磁気ディスク１の直径方向）の所定位置に移動
するようにキャリッジコントローラ１８を制御する。

【００２４】テストヘッド２３は、図３に示す如く、そ
のヘッドスライダ２５に、グライドハイトテスト用ＰＺ
（Piezo 素子）センサ２６と、サーティファイテスト用
磁気ヘッド２７とを設けている。

【００２５】ヘッドスライダ２５は、図５に示す如く、
磁気ディスク１の表面に相対する左右の浮上面２５Ａの
中間に空気流通溝２５Ｂを設けるとともに、ヘッドスラ
イダ２５の先端側の浮上面２５Ａをくさび面２５Ｃとし
ている。これにより、磁気ディスクテスト装置１０の動
作時に磁気ディスク１の回転に誘起される空気流をくさ
び面２５Ｃの側から空気流通溝２５Ｂに導いてヘッドス
ライダ２５を磁気ディスク１の上方に一定の浮上量で浮
上させるようにしている。

【００２６】グライドハイトテスト用ＰＺセンサ２６
は、ヘッドスライダ２５の側面に接合されている。但
し、センサ２６は、テストヘッド２３に結合されるもの
であれば良く、サスペンション２２、ヘッドブロック２
１等に接合されるものであっても良い。

【００２７】サーティファイテスト用磁気ヘッド２７
は、ヘッドスライダ２５の基端側の端面に接合されてい
る。磁気ヘッド２７は、例えば薄膜磁気ヘッドであり、
薄膜素子（磁気コア、コイル）からなる。

【００２８】磁気ディスクテスト装置１０は、図２に示
す如く、制御部３０、グライドハイトテスト回路３１、
サーティファイテスト回路３２、表示部３３を有してい
る。

【００２９】グライドハイトテスト回路３１は、テスト
ヘッド２３が磁気ディスク１に相対しているテスト位置
を、スピンドルコントローラ１３の制御信号（周方向位
置信号）とキャリッジコントローラ１８の制御信号（直
径方向位置信号）から求めるとともに、ＰＺセンサ２６
の出力をアンプ３４から得て当該テスト位置でのグライ
ドハイトテストデータを求める。

【００３０】サーティファイテスト回路３２は、テスト
ヘッド２３が磁気ディスク１に相対しているテスト位置
を、スピンドルコントローラ１３の制御信号（周方向位
置信号）とキャリッジコントローラ１８の制御信号（直
径方向位置信号）から求めるとともに、磁気ヘッド２７
の出力をアンプ３５から得て当該テスト位置でのサーテ
ィファイテストデータを求める。

【００３１】制御部３０は、スピンドルコントローラ１
３とキャリッジコントローラ１８を前述した如くに制御
するとともに、グライドハイトテスト回路３１とサーテ
ィファイテスト回路３２を制御する。

【００３２】制御部３０は、グライドハイトテストデー
タの取込み時期をグライドハイトテスト回路３１に命令
するとともに、サーティファイテストデータの取込み時
期をサーティファイテスト回路３２に命令する、テスト
時期設定機能を備える。即ち、グライドハイトテストは
前述した如く、ディスク１の表面上でヘッドスライダ２
５の浮上面２５Ａの幅Ｗ（図５）に対応する多数のトラ
ックを含む一定範囲の記録エリア毎にディスク１周分行
なえば足りる。これに対し、サーティファイテストは前
述した如くディスクの各１本のトラック毎に行なう。従
って、例えば、磁気ディスク１のビット寸法がディスク
周方向長さ 0.4μ、ディスク直径方向長さ 4μであり、
ヘッドスライダ２５の浮上面２５Ａの幅Ｗが 400μであ
るとき、磁気ヘッド２７は１本のトラックの１周毎にデ
ィスク直径方向に 4μピッチで送られてサーティファイ
テストを繰り返す。これに対し、ＰＺセンサ２６は磁気
ディスク１の１周分で400 本のトラックについてのグラ
イドハイトテストを一挙に行なうことができる。よっ
て、磁気ヘッド２７によるサーティファイテストを100
トラックのそれぞれについて各１回、全100 回繰り返す
毎に、ＰＺセンサ２６によるグライドハイトテストを１
回行なえば足りるものとなる。即ち、この場合、制御部
３０は、100 トラックについてサーティファイテストを
100 回（ディスク100 周分）繰り返す間はサーティファ
イテスト回路３２からのデータの取込み時期とし、この
サーティファイテスト回路３２からのデータの取込み時
期中もしくはその取込み時期終了直後のディスク１周分
だけをグライドハイトテスト回路３１からのデータの取
り込み時期として定めることができる（サーティファイ
テストとグライドハイトテストのテスト期間比率は100
対１となる）。

【００３３】制御部３０は、グライドハイトテストデー
タの取込み時期には該グライドハイトテストに適合する
スピンドル回転数となるように、サーティファイテスト
データの取込み時期には該サーティファイテストに適合
するスピンドル回転数となるように、スピンドルコント
ローラ１３を制御する。一般的には、グライドハイトテ
ストはディスク表面の異常突起を見つけるものである
が、ヘッドスライダ２５の浮上量は使用者が決める。ま
た、スピンドル回転数は特定の低回転数に設定される。
また、例えばサーティファイテストはテスト時間短縮の
ために、スピンドル回転数は特定の高回転数に設定され
ても良い。従って、制御部３０が前述したテスト時期設
定機能により、グライドハイトテスト回路３１からのグ
ライドハイトテストデータの取込み時期と、サーティフ
ァイテスト回路３２からのサーティファイテストデータ
の取込み時期を異ならせている（同一時期に重ねない）
場合には、各テストのそれぞれに適合するスピンドル回
転数を実施できる。尚、グライドハイトテスト時のスピ
ンドル回転数とサーティファイテスト時のスピンドル回
転数を同一とすることもできることは勿論である。

【００３４】制御部３０は、グライドハイトテスト回路
３１とサーティファイテスト回路３２から取り込んだデ
ータ、グライドハイトテスト結果、サーティファイテス
ト結果等を表示部３３に表示する。

【００３５】尚、磁気ディスクテスト装置１０は、ワッ
フル又はバーニッシュヘッド３６を有している。制御部
３０は、ワッフル又はバーニッシュヘッド３６を以下の
(a)、(b) の如くに作動せしめる。(a) グライドハイト
テストとサーティファイテストに先立ち、磁気ディスク
１の表面を平滑化する仕上げ作業、(b) グライドハイト
テストで不良とされたビットに対し再研磨を行なう作
業。上記(b) の再研磨を行なわれたビットについては、
その後再度グライドハイトテストが実施される。

【００３６】また、磁気ディスクテスト装置１０は、ラ
イトヘッド（書込専用ヘッド）３７を有している。制御
部３０は、ライトヘッド３７を用いてサーティファイテ
スト時の書込みを行なう。但し、サーティファイテスト
時の書込みは、サーティファイテスト用磁気ヘッド２７
が具備している書込機能を用いることができ、その場合
には、ライトヘッド３７は不要となる。

【００３７】以下、磁気ディスクテスト装置１０による
テスト手順の一例について説明する。 (1) 磁気ディスク１をスピンドル１２に取付ける。そし
て、スピンドルコントローラ１３により所定のスピンド
ル回転数でスピンドル１２を駆動する。

【００３８】(2) キャリッジコントローラ１８によりテ
ストヘッド２３を磁気ディスク１上のロード位置（テス
ト開始位置）（例えば最外周トラック位置）に位置付
け、不図示のヘッドロード／アンロード機構によりテス
トヘッド２３を磁気ディスク１上で浮上させ、グライド
ハイトテストとサーティファイテストを行なう。グライ
ドハイトテストとサーティファイテストは、例えば下記
(a) 、(b) により、磁気ディスク１の全記録エリアの全
トラック（例えば1.8 インチφディスクで3000TPI （ト
ラック密度））について行なう。但し、テスト中にサー
ティファイテスト不良が出力された場合にはその時点で
テスト終了とする。また、テスト中にグライドハイトテ
スト不良が出力された場合には、前述のワッフル又はバ
ーニッシュヘッド３６による再研磨を行なわない限り、
その時点でテスト終了とする。

【００３９】(a) グライドハイトテスト 磁気ディスク１の表面上でヘッドスライダ２５の浮上面
２５Ａの幅Ｗに対応する多数のトラックを含む一定範囲
の記録エリア毎に行なう。磁気ディスク１の表面の一定
高さ以上の異常突起がヘッドスライダ２５に衝突しと
き、これによって生ずる（過大）振動エネルギをグライ
ドハイトテスト用ＰＺセンサ２６により検出し、異常突
起の存在を検出する。

【００４０】異常突起の存在が検出されたとき、ワッフ
ル又はバーニッシュヘッド３６による再研磨を行なわな
い場合には、その時点でテスト終了とし、当該ディスク
１を不良ディスクとする。ワッフル又はバーニッシュヘ
ッド３６による再研磨は、当該異常突起が存在するトラ
ックについて、当該テスト時点で行なっても良く、テス
ト終了後に行なっても良い。

【００４１】(b) サーティファイテスト 磁気ディスク１の各１本のトラック毎に、下記〜の
テストシーケンスによってなされる。

【００４２】指定されたトラックに書込信号（ＨＦ信
号）を書込む。

【００４３】上記の書込信号を読出し、トラック平
均読出電圧（ＴＡＡ）を算出する。

【００４４】上記の読出信号について、上記のＴ
ＡＡに対するスライスレベル（ 1〜99％、例えば70％）
を下回るパルス信号をＭＰ（Missing Pulse)エラーとす
る。そして、例えばディスクの１トラックのビット数
（例えば20万ビット）に対し上記ＭＰエラーの数が一定
比率を越えるディスクを不良ディスクとする。

【００４５】上記の書込信号をイレーズ（消去）す
る。

【００４６】上記のイレーズ後に再読出しを行な
う。そして、上記のＴＡＡに対するスライスレベル
（ 1〜99％、例えば25％）を越える消残りパルス信号を
ＥＰ（Extra Pulse ）エラーとする。そして、例えばデ
ィスクの１トラックのビット数（例えば20万ビット）に
対し上記ＥＰエラーの数が一定比率を越えるディスクを
不良ディスクとする。

【００４７】磁気ディスク１が上記、で不良ディス
クと判定されたときその時点でテスト終了とする。

【００４８】尚、制御部３０によるグライドハイトテス
ト回路３１からのデータ取込み時期と、サーティファイ
テスト回路３２からのデータ取込み時期は、前述の制御
部３０のテスト時期設定機能によりなされ、上記(a) 又
は（b)は同時、もしくは一定の時期差（テスト期間比
率）で交互になされる。

【００４９】また、制御部３０によるスピンドルコント
ローラ１３の制御は、前述の如く、上記(a) もしくは
(b) のそれぞれに適合するスピンドル回転数となるよう
に制御され得る。

【００５０】(3) テストヘッド２３が磁気ディスク１上
のアンロード位置（テスト終了位置）（例えば最内周ト
ラック位置）に到達して、その位置での上記(a) 、(b)
を終了したら、不図示のヘッドロード／アンロード機構
によりテストヘッド２３を磁気ディスク１から強制的に
離し、テスト終了とする。

【００５１】以下、本実施例の作用について説明する。 単一のテスト装置１０に唯一のテストヘッド２３を設
けるものでありながら、グライドハイトテスト用センサ
２６の出力によってグライドハイトテストデータを求
め、且つサーティファイテスト用磁気ヘッド２７の出力
によってサーティファイテストデータを求めることがで
き、装置構成は簡易である。

【００５２】グライドハイトテスト用センサ２６とサー
ティファイテスト用磁気ヘッド２７が唯一のテストヘッ
ド２３に併設されるものであるから、ディスク１の全記
録エリアについて、テストヘッド２３を１往復する間
に、グライドハイトテストとサーティファイテストを同
時もしくは交互に行なうことができ、テスト時間を短時
間にできる。

【００５３】制御部３０が、グライドハイトテストデ
ータの取込み時期をグライドハイトテスト回路３１に命
令するとともに、サーティファイテストデータの取込み
時期をサーティファイテスト回路３２に命令する、テス
ト時期設定機能を具備するから、グライドハイトテスト
とサーティファイテストを相互に独立に、それぞれ指定
時期に行なうことができ、テストの確実と合理化を図る
ことができる。

【００５４】制御部３０が、グライドハイトテストデ
ータの取込み時期には該グライドハイトテストに適合す
るスピンドル回転数となるように、サーティファイテス
トデータの取込み時期には該サーティファイテストに適
合するスピンドル回転数となるように、スピンドルコン
トローラ１３を制御するから、グライドハイトテストと
サーティファイテストをそれぞれ最適なスピンドル回転
数（ディスク回転速度）で行なうことができ、テストの
確実と合理化を図ることができる。

【００５５】図４は本発明のテストヘッドの変形例であ
る。このテストヘッド４０は、前述のヘッドブロック２
１の端面にグライドハイトテスト用ＡＥ（Acoustic Emi
ssion ）センサ４１を設け、ヘッドスライダ２５の端面
にサーティファイテスト用磁気ヘッド２７を設けたもの
である。但し、ＡＥセンサ４１は、テストヘッド４０に
結合されるものであれば良く、サスペンション２２、ヘ
ッドスライダ２５に接合されるものであっても良い。

【００５６】以上、本発明の実施例を図面により詳述し
たが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があっても本発明に含まれる。例えば、磁気ディス
クテスト装置の形態は、上記実施例のものに限らない。
従って、キャリッジは、テストヘッドをディスクのトラ
ックに交差する方向に移動させるものであれば良く、デ
ィスクの直径上を直線動するものに限らず、スイングす
るものであっても良い。

【００５７】また、グライドハイトテスト回路によるテ
スト内容、サーティファイテスト回路によるテスト内容
は、上記実施例のものに限らず、如何なるものであって
も良い。

【００５８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、簡易なテ
スト装置により、グライドハイトテストとサーティファ
イテストを短時間で完了可能とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に係る磁気ディスクテスト装置の
一実施例を示す模式図である。

【図２】図２は磁気ディスクテスト装置の制御系統図で
ある。

【図３】図３はテストヘッドの一例を示す模式図であ
る。

【図４】図４はテストヘッドの他の例を示す模式図であ
る。

【図５】図５はテストヘッドの浮上原理を示す模式図で
ある。

【符号の説明】

１ 磁気ディスク １０ 磁気ディスクテスト装置 １２ スピンドル １３ スピンドルコントローラ １５ キャリッジ １８ キャリッジコントローラ ２３ テストヘッド ２６ グライドハイトテスト用ＰＺセンサ ２７ サーティファイテスト用磁気ヘッド ３０ 制御部 ３１ グライドハイトテスト回路 ３２ サーティファイテスト回路 ４０ テストヘッド ４１ グライドハイトテスト用ＡＥセンサ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ディスクのグライドハイトテストと
   サーティファイテストとを行なう磁気ディスクテスト方
   法において、 グライドハイトテスト用センサとサーティファイテスト
   用磁気ヘッドとが結合されたテストヘッドを用い、 テストヘッドを磁気ディスクの表面に対して相対移動
   し、 テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置
   を求め、 グライドハイトテスト用センサの出力を得て上記テスト
   位置でのグライドハイトテストデータを求め、及び／又
   は、サーティファイテスト用磁気ヘッドの出力を得て上
   記テスト位置でのサーティファイテストデータを求める
   ことを特徴とする磁気ディスクテスト方法。
2. 【請求項２】 磁気ディスクのグライドハイトテストと
   サーティファイテストとを行なう磁気ディスクテスト装
   置において、 磁気ディスクを回転させるスピンドルと、 スピンドルを駆動制御するスピンドルコントローラと、 グライドハイトテスト用センサとサーティファイテスト
   用磁気ヘッドとが結合されたテストヘッドと、 テストヘッドを支持し、該テストヘッドを磁気ディスク
   の表面に沿って該磁気ディスクの磁気トラックに交差す
   る方向に移動させるキャリッジと、 キャリッジを駆動制御するキャリッジコントローラと、 テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置
   をスピンドルコントローラとキャリッジコントローラの
   制御信号から求めるとともに、グライドハイトテスト用
   センサの出力を得て当該テスト位置でのグライドハイト
   テストデータを求めるグライドハイトテスト回路と、 テストヘッドが磁気ディスクに相対しているテスト位置
   をスピンドルコントローラとキャリッジコントローラの
   制御信号から求めるとともに、サーティファイテスト用
   磁気ヘッドの出力を得て当該テスト位置でのサーティフ
   ァイテストデータを求めるサーティファイテスト回路
   と、 スピンドルコントローラとキャリッジコントローラを制
   御するとともに、グライドハイトテスト回路とサーティ
   ファイテスト回路を制御する制御部とを有してなること
   を特徴とする磁気ディスクテスト装置。
3. 【請求項３】 前記制御部が、グライドハイトテストデ
   ータの取込み時期をグライドハイトテスト回路に命令す
   るとともに、サーティファイテストデータの取込み時期
   をサーティファイテスト回路に命令する、テスト時期設
   定機能を具備してなる請求項２記載の磁気ディスクテス
   ト装置。
4. 【請求項４】 前記制御部が、グライドハイトテストデ
   ータの取込み時期には該グライドハイトテストに適合す
   るスピンドル回転数となるように、サーティファイテス
   トデータの取込み時期には該サーティファイテストに適
   合するスピンドル回転数となるように、スピンドルコン
   トローラを制御する請求項２又は３に記載の磁気ディス
   クテスト装置。