JPH08179065A - 真空室内の発熱体冷却装置 - Google Patents
真空室内の発熱体冷却装置Info
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- JPH08179065A JPH08179065A JP33607694A JP33607694A JPH08179065A JP H08179065 A JPH08179065 A JP H08179065A JP 33607694 A JP33607694 A JP 33607694A JP 33607694 A JP33607694 A JP 33607694A JP H08179065 A JPH08179065 A JP H08179065A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＤＵＴ１０の冷却効率の良い、ＤＵＴ１０よ
り発する熱を外部に伝導させるブロック１３の高さ調整
を必要としない、真空グリース１５の使用を最小限にす
る、真空室内の発熱体冷却装置を提供する。 【構成】 密閉した空間を作る真空容器壁２１と、真空
容器壁２１と機械的に固定された位置にある、ＤＵＴ１
０を搭載したプリント基板１２と、真空引きしたとき、
ＤＵＴ１０に、真空グリース１５を介して一端が接触
し、もう一端を放熱部２９としたブロック２３と、真空
容器壁２１及びブロック２３に、それぞれＯリング２６
を介して固定され、柔軟に伸縮する筒状体であるベロー
ズ２７と、真空容器壁２１とブロック２３の間に、相互
に反発する力を発生する反力調整用バネ２８とで構成す
る。
り発する熱を外部に伝導させるブロック１３の高さ調整
を必要としない、真空グリース１５の使用を最小限にす
る、真空室内の発熱体冷却装置を提供する。 【構成】 密閉した空間を作る真空容器壁２１と、真空
容器壁２１と機械的に固定された位置にある、ＤＵＴ１
０を搭載したプリント基板１２と、真空引きしたとき、
ＤＵＴ１０に、真空グリース１５を介して一端が接触
し、もう一端を放熱部２９としたブロック２３と、真空
容器壁２１及びブロック２３に、それぞれＯリング２６
を介して固定され、柔軟に伸縮する筒状体であるベロー
ズ２７と、真空容器壁２１とブロック２３の間に、相互
に反発する力を発生する反力調整用バネ２８とで構成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ（Integrated Cir
cuits ）などの発熱体を真空室内で試験及び観測する装
置における、真空室内の発熱体冷却装置に関するもので
ある。
cuits ）などの発熱体を真空室内で試験及び観測する装
置における、真空室内の発熱体冷却装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】例えば電子ビームテスタにおいては、電
子ビームの経路を真空状態に保つ必要があり、その被測
定デバイス（ＤＵＴ）も真空容器内に置かれる。また、
この被測定デバイスは、一般的に通電及び動作状態で観
測されるため発熱し、冷却を必要とする場合がある。そ
の冷却装置として、従来、図４に示すものがある。この
冷却装置は、密閉した空間を作るアルミニウム製の真空
容器壁１１と、真空容器壁１１と機械的に固定された位
置にあるＤＵＴ１０を搭載したプリント基板１２と、Ｄ
ＵＴ１０で発生した熱を真空容器壁１１に伝導するため
のアルミニウム製のブロック１３と、真空容器壁１１と
ＤＵＴ１０裏面の距離を微調整する必要がある場合に使
用する１個または複数個のアルミニウム製のスペーサ１
４と、各構成部間の熱伝導性を良くするために接触面に
塗布された真空グリース１５とで構成される。
子ビームの経路を真空状態に保つ必要があり、その被測
定デバイス（ＤＵＴ）も真空容器内に置かれる。また、
この被測定デバイスは、一般的に通電及び動作状態で観
測されるため発熱し、冷却を必要とする場合がある。そ
の冷却装置として、従来、図４に示すものがある。この
冷却装置は、密閉した空間を作るアルミニウム製の真空
容器壁１１と、真空容器壁１１と機械的に固定された位
置にあるＤＵＴ１０を搭載したプリント基板１２と、Ｄ
ＵＴ１０で発生した熱を真空容器壁１１に伝導するため
のアルミニウム製のブロック１３と、真空容器壁１１と
ＤＵＴ１０裏面の距離を微調整する必要がある場合に使
用する１個または複数個のアルミニウム製のスペーサ１
４と、各構成部間の熱伝導性を良くするために接触面に
塗布された真空グリース１５とで構成される。
【０００３】真空引きが完了し、プリント基板１２のＤ
ＵＴ１０が通電された時、ＤＵＴ１０より発生する熱
は、ブロック１３を介して真空容器壁１１に伝わり大気
冷却される。この場合、ＤＵＴ１０とブロック１３との
接触部、及びブロック１３と真空容器壁１１との接触部
には、熱伝導性を良くするための真空グリース１５が塗
布される。また、ＤＵＴ１０の品種の違いにより、その
高さは様々であるため、スペーサ１４を用いた高さ調整
が必要となり、スペーサ１４の両面にも真空グリース１
５が塗布される。
ＵＴ１０が通電された時、ＤＵＴ１０より発生する熱
は、ブロック１３を介して真空容器壁１１に伝わり大気
冷却される。この場合、ＤＵＴ１０とブロック１３との
接触部、及びブロック１３と真空容器壁１１との接触部
には、熱伝導性を良くするための真空グリース１５が塗
布される。また、ＤＵＴ１０の品種の違いにより、その
高さは様々であるため、スペーサ１４を用いた高さ調整
が必要となり、スペーサ１４の両面にも真空グリース１
５が塗布される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の構造には、次の
ような欠点がある。 （ア） ブロック１３の高さ調整のためスペーサ１４を
使用するため、真空グリース１５の塗布面が増加し、Ｄ
ＵＴ１０から真空容器壁１１に伝わる熱の伝導性が悪
く、ＤＵＴ１０の冷却効率が悪い。 （イ） ＤＵＴ１０の高さに応じて、スペーサ１４によ
るブロック１３の高さ調整が必要であり、手間がかかる
他、高さ調整が適当でないとき、プリント基板１２に曲
げを生じさせる危険がある。 （ウ） 真空グリース１５を多量に用いるため、ガスの
放出が多く、真空引き時間が長くなる。本発明は、以上
の欠点を解消し、ＤＵＴ１０の冷却効率の良い、ＤＵＴ
１０より発する熱を外部に伝導させるブロック１３の高
さ調整を必要としない、真空グリース１５の使用を最小
限にする、真空室内の発熱体冷却装置を提供することを
目的としている。
ような欠点がある。 （ア） ブロック１３の高さ調整のためスペーサ１４を
使用するため、真空グリース１５の塗布面が増加し、Ｄ
ＵＴ１０から真空容器壁１１に伝わる熱の伝導性が悪
く、ＤＵＴ１０の冷却効率が悪い。 （イ） ＤＵＴ１０の高さに応じて、スペーサ１４によ
るブロック１３の高さ調整が必要であり、手間がかかる
他、高さ調整が適当でないとき、プリント基板１２に曲
げを生じさせる危険がある。 （ウ） 真空グリース１５を多量に用いるため、ガスの
放出が多く、真空引き時間が長くなる。本発明は、以上
の欠点を解消し、ＤＵＴ１０の冷却効率の良い、ＤＵＴ
１０より発する熱を外部に伝導させるブロック１３の高
さ調整を必要としない、真空グリース１５の使用を最小
限にする、真空室内の発熱体冷却装置を提供することを
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の真空室内の発熱体冷却装置においては、次
のように構成している。まず、密閉した空間を作る真空
容器壁２１を設ける。そして、真空容器壁２１と機械的
に固定された位置にある、ＤＵＴ１０を搭載したプリン
ト基板１２を設ける。また、真空引きしたとき、ＤＵＴ
１０に、真空グリース１５を介して一端が接触し、もう
一端を放熱部２９としたブロック２３を設け、真空容器
壁２１及びブロック２３に、それぞれＯリング２６を介
して固定され、柔軟に伸縮する筒状体であるベローズ２
７を設け、真空容器壁２１とブロック２３の間に、相互
に反発する力を発生する反力調整用バネ２８を設ける。
また、別の手段として、ブロック３３と、ＤＵＴ１０を
搭載したプリント基板１２を、ＤＵＴ１０を挟んで固定
する複数の固定用ネジ３０を設ける。更に、別の手段と
して、放熱部２９に空気の流れを作る送風器３１を設け
る。更に、別の手段として、放熱部２９に換えて、ブロ
ック４３内を循環して構成される温度制御管４０を設け
る。
に、本発明の真空室内の発熱体冷却装置においては、次
のように構成している。まず、密閉した空間を作る真空
容器壁２１を設ける。そして、真空容器壁２１と機械的
に固定された位置にある、ＤＵＴ１０を搭載したプリン
ト基板１２を設ける。また、真空引きしたとき、ＤＵＴ
１０に、真空グリース１５を介して一端が接触し、もう
一端を放熱部２９としたブロック２３を設け、真空容器
壁２１及びブロック２３に、それぞれＯリング２６を介
して固定され、柔軟に伸縮する筒状体であるベローズ２
７を設け、真空容器壁２１とブロック２３の間に、相互
に反発する力を発生する反力調整用バネ２８を設ける。
また、別の手段として、ブロック３３と、ＤＵＴ１０を
搭載したプリント基板１２を、ＤＵＴ１０を挟んで固定
する複数の固定用ネジ３０を設ける。更に、別の手段と
して、放熱部２９に空気の流れを作る送風器３１を設け
る。更に、別の手段として、放熱部２９に換えて、ブロ
ック４３内を循環して構成される温度制御管４０を設け
る。
【０００６】
【作用】上記のように構成された真空室内の発熱体冷却
装置においては、真空グリース１５の塗布面がＤＵＴ１
０とブロック（２３、３３または４３）の接触部の１箇
所のみであるため熱の伝導性が良く、ＤＵＴ１０で発生
する熱は、放熱部２９で直接大気冷却されるか、また
は、温度制御管を流れる媒体を通して冷却される。ま
た、ＤＵＴ１０の品種の違いによる高さの変動に対して
は、ベローズ２７の伸縮性により対応でき、スペーサを
使用した高さ調整の必要がない。プリント基板１２の曲
げの危険性については、反力調整用バネ２８によって解
消される。真空グリース１５の使用は、最小限に留まっ
ており、真空引き時間が長くなることを防止している。
装置においては、真空グリース１５の塗布面がＤＵＴ１
０とブロック（２３、３３または４３）の接触部の１箇
所のみであるため熱の伝導性が良く、ＤＵＴ１０で発生
する熱は、放熱部２９で直接大気冷却されるか、また
は、温度制御管を流れる媒体を通して冷却される。ま
た、ＤＵＴ１０の品種の違いによる高さの変動に対して
は、ベローズ２７の伸縮性により対応でき、スペーサを
使用した高さ調整の必要がない。プリント基板１２の曲
げの危険性については、反力調整用バネ２８によって解
消される。真空グリース１５の使用は、最小限に留まっ
ており、真空引き時間が長くなることを防止している。
【０００７】
（実施例１）図１に本発明の実施例を示す。この冷却装
置は、密閉した空間を作るアルミニウム製の真空容器壁
２１と、真空容器壁２１と機械的に固定された位置にあ
るＤＵＴ１０を搭載したプリント基板１２と、ＤＵＴ１
０で発生した熱を真空グリース１５を介して放熱部２９
に伝導する、例えば銅のような熱伝導性の良い材質を使
用したブロック２３と、真空容器壁２１及びブロック２
３にそれぞれＯリング２６を介して密閉した空間とする
ため固定され、環状に成形された例えばステンレス鋼製
の薄肉金属板の内外径を互いに溶着した、柔軟に伸縮す
る筒状体であるベローズ２７と、真空時にブロック２３
がＤＵＴ１０を押す圧力を調整する反力調整用バネ２８
とで構成される。
置は、密閉した空間を作るアルミニウム製の真空容器壁
２１と、真空容器壁２１と機械的に固定された位置にあ
るＤＵＴ１０を搭載したプリント基板１２と、ＤＵＴ１
０で発生した熱を真空グリース１５を介して放熱部２９
に伝導する、例えば銅のような熱伝導性の良い材質を使
用したブロック２３と、真空容器壁２１及びブロック２
３にそれぞれＯリング２６を介して密閉した空間とする
ため固定され、環状に成形された例えばステンレス鋼製
の薄肉金属板の内外径を互いに溶着した、柔軟に伸縮す
る筒状体であるベローズ２７と、真空時にブロック２３
がＤＵＴ１０を押す圧力を調整する反力調整用バネ２８
とで構成される。
【０００８】真空引きを行う前は、ベローズ２７の伸縮
性により、ＤＵＴ１０とブロック２３は離れている。真
空引きを行うと、ブロック２３が真空側に引かれ、ブロ
ック２３の上面がＤＵＴ１０と接触し、ＤＵＴ１０が発
生する熱がブロック２３の例えば放熱フィンのような放
熱部２９に達し、直接大気冷却される。なお、真空引き
が行われ、ブロック２３がＤＵＴ１０に接触するとき、
その力でプリント基板１２が上方に押され、プリント基
板１２に曲げが発生する場合がある。そこで、反力調整
用バネ２８により、プリント基板１２に曲げが発生しな
いように調整する。
性により、ＤＵＴ１０とブロック２３は離れている。真
空引きを行うと、ブロック２３が真空側に引かれ、ブロ
ック２３の上面がＤＵＴ１０と接触し、ＤＵＴ１０が発
生する熱がブロック２３の例えば放熱フィンのような放
熱部２９に達し、直接大気冷却される。なお、真空引き
が行われ、ブロック２３がＤＵＴ１０に接触するとき、
その力でプリント基板１２が上方に押され、プリント基
板１２に曲げが発生する場合がある。そこで、反力調整
用バネ２８により、プリント基板１２に曲げが発生しな
いように調整する。
【０００９】以上の方法により、真空グリース１５の塗
布面は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部の１箇所の
みであり、ＤＵＴ１０で発生する熱は、ブロック２３の
放熱部２９で直接大気冷却される。つまり、ＤＵＴ１０
から放熱部２９に伝わる熱の伝導性が良く、ＤＵＴ１０
の冷却効率が改善される。また、ＤＵＴ１０の品種の違
いによる高さの変動に対しては、ベローズ２７の伸縮性
により対応でき、真空引きを行うことでＤＵＴ１０とブ
ロック２３が接触し、スペーサを使用した高さ調整の必
要がない。プリント基板１２の曲げの危険性について
は、反力調整用バネ２８によって解消できる。真空グリ
ース１５は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部にのみ
使用されるため、ガスの放出が少なく、真空引き時間が
長くなることを防止している。
布面は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部の１箇所の
みであり、ＤＵＴ１０で発生する熱は、ブロック２３の
放熱部２９で直接大気冷却される。つまり、ＤＵＴ１０
から放熱部２９に伝わる熱の伝導性が良く、ＤＵＴ１０
の冷却効率が改善される。また、ＤＵＴ１０の品種の違
いによる高さの変動に対しては、ベローズ２７の伸縮性
により対応でき、真空引きを行うことでＤＵＴ１０とブ
ロック２３が接触し、スペーサを使用した高さ調整の必
要がない。プリント基板１２の曲げの危険性について
は、反力調整用バネ２８によって解消できる。真空グリ
ース１５は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部にのみ
使用されるため、ガスの放出が少なく、真空引き時間が
長くなることを防止している。
【００１０】（実施例２）図２に本発明の別の実施例を
示す。この冷却装置は、ＤＵＴ１０とブロック３３の接
触圧を安定に高くし、ＤＵＴ１０で発生した熱を効率良
くブロック３３に伝導させるため、ブロック３３と、Ｄ
ＵＴ１０を搭載したプリント基板１２を複数の固定用ネ
ジ３０で固定した構成になっている。この場合、真空引
き前と真空引き後で、ＤＵＴ１０とブロック３３の位置
関係は変わらないが、真空引き後において、ＤＵＴ１
０、プリント基板１２及びブロック３３が一体となって
真空側に引かれる力が加わり、プリント基板１２の曲げ
の危険性がある。そこで、その危険性を解消するため反
力調整用バネ２８が構成されている。
示す。この冷却装置は、ＤＵＴ１０とブロック３３の接
触圧を安定に高くし、ＤＵＴ１０で発生した熱を効率良
くブロック３３に伝導させるため、ブロック３３と、Ｄ
ＵＴ１０を搭載したプリント基板１２を複数の固定用ネ
ジ３０で固定した構成になっている。この場合、真空引
き前と真空引き後で、ＤＵＴ１０とブロック３３の位置
関係は変わらないが、真空引き後において、ＤＵＴ１
０、プリント基板１２及びブロック３３が一体となって
真空側に引かれる力が加わり、プリント基板１２の曲げ
の危険性がある。そこで、その危険性を解消するため反
力調整用バネ２８が構成されている。
【００１１】更に、大気への放熱を良くして、ＤＵＴ１
０の温度を下げるため、例えば放熱フィンのような放熱
部２９に、例えばファンのような送風器３１を使用して
空気の流れを作り、強制空冷することができる。
０の温度を下げるため、例えば放熱フィンのような放熱
部２９に、例えばファンのような送風器３１を使用して
空気の流れを作り、強制空冷することができる。
【００１２】（実施例３）図３に本発明の別の実施例を
示す。この冷却装置は、熱の移動手段として、ブロック
４３内を循環して構成される温度制御管４０を設けてい
る。そして、その温度制御管４０に温度コントロールさ
れた空気、窒素ガス及び水のような媒体を流すことで熱
交換効率を上げることができる。この構成においては、
ＤＵＴ１０を冷却するだけでなく、ＤＵＴ１０の温度制
御をすることも可能である。
示す。この冷却装置は、熱の移動手段として、ブロック
４３内を循環して構成される温度制御管４０を設けてい
る。そして、その温度制御管４０に温度コントロールさ
れた空気、窒素ガス及び水のような媒体を流すことで熱
交換効率を上げることができる。この構成においては、
ＤＵＴ１０を冷却するだけでなく、ＤＵＴ１０の温度制
御をすることも可能である。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。つ
まり、実施例１においては、真空グリース１５の塗布面
は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部の１箇所のみで
あり、ＤＵＴ１０で発生する熱は、ブロック２３の放熱
部２９で直接大気冷却される。つまり、ＤＵＴ１０から
放熱部２９に伝わる熱の伝導性が良く、ＤＵＴ１０の冷
却効率が改善される。また、ＤＵＴ１０の品種の違いに
よる高さの変動に対しては、ベローズ２７の伸縮性によ
り対応でき、真空引きを行うことでＤＵＴ１０とブロッ
ク２３が接触し、スペーサを使用した高さ調整の必要が
ない。プリント基板１２の曲げの危険性については、反
力調整用バネ２８によって解消できる。真空グリース１
５は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部にのみ使用さ
れるため、ガスの放出が少なく、真空引き時間が長くな
ることを防止している。実施例２においては、ＤＵＴ１
０とブロック３３の接触圧を安定に高くしてあるため、
ＤＵＴ１０で発生した熱を効率良くブロック３３に伝導
させることができる。更に、放熱部２９に、送風器３１
を使用して空気の流れを作り、強制空冷することで、大
気への放熱を良くすることができる。実施例３において
は、熱の移動手段として、ブロック４３内を循環する温
度制御管４０に温度コントロールされた媒体を流してお
り、効率の良いＤＵＴ１０の冷却だけでなく、ＤＵＴ１
０の温度制御をすることができる。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。つ
まり、実施例１においては、真空グリース１５の塗布面
は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部の１箇所のみで
あり、ＤＵＴ１０で発生する熱は、ブロック２３の放熱
部２９で直接大気冷却される。つまり、ＤＵＴ１０から
放熱部２９に伝わる熱の伝導性が良く、ＤＵＴ１０の冷
却効率が改善される。また、ＤＵＴ１０の品種の違いに
よる高さの変動に対しては、ベローズ２７の伸縮性によ
り対応でき、真空引きを行うことでＤＵＴ１０とブロッ
ク２３が接触し、スペーサを使用した高さ調整の必要が
ない。プリント基板１２の曲げの危険性については、反
力調整用バネ２８によって解消できる。真空グリース１
５は、ＤＵＴ１０とブロック２３の接触部にのみ使用さ
れるため、ガスの放出が少なく、真空引き時間が長くな
ることを防止している。実施例２においては、ＤＵＴ１
０とブロック３３の接触圧を安定に高くしてあるため、
ＤＵＴ１０で発生した熱を効率良くブロック３３に伝導
させることができる。更に、放熱部２９に、送風器３１
を使用して空気の流れを作り、強制空冷することで、大
気への放熱を良くすることができる。実施例３において
は、熱の移動手段として、ブロック４３内を循環する温
度制御管４０に温度コントロールされた媒体を流してお
り、効率の良いＤＵＴ１０の冷却だけでなく、ＤＵＴ１
０の温度制御をすることができる。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の別の実施例を示す断面図である。
【図３】本発明の別の実施例を示す断面図である。
【図４】従来の冷却装置の断面図である。
１０ ＤＵＴ １１、２１ 真空容器壁 １２ プリント基板 １３、２３、３３、４３ ブロック １４ スペーサ １５ 真空グリース ２６ Ｏリング ２７ ベローズ ２８ 反力調整用バネ ２９ 放熱部 ３０ 固定用ネジ ３１ 送風器 ４０ 温度制御管
Claims (4)
- 【請求項１】 密閉した空間を作る真空容器壁（２１）
を設け、 真空容器壁（２１）と機械的に固定された位置にある、
ＤＵＴ（１０）を搭載したプリント基板（１２）を設
け、 真空引きしたとき、ＤＵＴ（１０）に、真空グリース
（１５）を介して一端が接触し、もう一端を放熱部（２
９）としたブロック（２３）を設け、 真空容器壁（２１）及びブロック（２３）に、それぞれ
Ｏリング（２６）を介して固定され、柔軟に伸縮する筒
状体であるベローズ（２７）を設け、 真空容器壁（２１）とブロック（２３）の間に、相互に
反発する力を発生する反力調整用バネ（２８）を設け、 以上を具備することを特徴とする真空室内の発熱体冷却
装置。 - 【請求項２】 ブロック（３３）と、ＤＵＴ（１０）を
搭載したプリント基板（１２）を、ＤＵＴ（１０）を挟
んで固定する複数の固定用ネジ（３０）を設けたことを
特徴とする請求項１記載の真空室内の発熱体冷却装置。 - 【請求項３】 放熱部（２９）に空気の流れを作る送風
器（３１）を設けたことを特徴とする請求項１及び請求
項２記載の真空室内の発熱体冷却装置。 - 【請求項４】 放熱部（２９）に換えて、ブロック（４
３）内を循環して構成される温度制御管（４０）を設け
たことを特徴とする請求項１及び請求項２記載の真空室
内の発熱体冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33607694A JPH08179065A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 真空室内の発熱体冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33607694A JPH08179065A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 真空室内の発熱体冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08179065A true JPH08179065A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18295453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33607694A Withdrawn JPH08179065A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 真空室内の発熱体冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08179065A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10254720A1 (de) * | 2002-11-23 | 2004-06-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messgerät |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33607694A patent/JPH08179065A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10254720A1 (de) * | 2002-11-23 | 2004-06-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messgerät |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |