JPH0817007A - Magnetic head and its production - Google Patents

Magnetic head and its production

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JPH0817007A
JPH0817007A JP14491594A JP14491594A JPH0817007A JP H0817007 A JPH0817007 A JP H0817007A JP 14491594 A JP14491594 A JP 14491594A JP 14491594 A JP14491594 A JP 14491594A JP H0817007 A JPH0817007 A JP H0817007A
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JP
Japan
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head
gap
thin film
forming
alloy thin
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Application number
JP14491594A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideki Okumura
英樹 奥村
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0817007A publication Critical patent/JPH0817007A/en
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Abstract

PURPOSE:To realize a magnetic head which is arranged with an alloy thin film having good characteristics and is capable of dealing with a trend toward higher density. CONSTITUTION:A recessed groove 2 is worked and formed on a gap line which is a surface to act as a head sliding surface of a magnetic material block 1. The alloy thin film 3 essentially consisting of Fe is deposited by a sputtering method on this recessed groove 2. Glass 4 is melted into the recessed groove 2 deposited with the alloy thin film 3 and the surface thereof is lapped down to a prescribed position. After the magnetic material block 1 is cut to two; a core half body 5a and a core half body 5b, grooves 6 for regulating a track width are formed by machining. Glass 7 is melted in these grooves 6 and the gap surface melted with the glass 7 is lapped down to the prescribed position. Next, a winding groove 8 is formed at the core half body 5a and a gap material is disposed between the core half body 5a and the core half body 5b to form a gap; thereafter, the assembly is cut to one head chip 9A each. The sliding surfaces of these chips are rounded by polishing. The alloy thin film 3 is formed in a horizontal direction on the head sliding surface.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、VTRなどに用いる
磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head used in a VTR or the like and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、VTRなどの磁気記録再生装置に
おいては、高密度記録化が要求され、それに伴い磁気テ
ープが高抗磁力化され、高飽和磁束密度のヘッドが要求
されている。従来の家庭用VTRにおいては、フェライ
トヘッドからメタルヘッドに移行されており、なかでも
低コストの面からMIG(Metal−In−Gap)
ヘッドが主流となっている。
2. Description of the Related Art Recently, in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR, a high density recording is required, and accordingly, a magnetic tape has a high coercive force and a head having a high saturation magnetic flux density is required. In conventional home-use VTRs, ferrite heads have been replaced with metal heads, and in particular, MIG (Metal-In-Gap) from the viewpoint of low cost.
The head is the mainstream.

【0003】図4に、従来のMIGヘッドの製造工程を
示す。この従来の製造方法は、図4(a)に示す、コア
半体10aとコア半体10bとして磁性体ブロックを用
い、図4(b)に示すように、コア半体10a,10b
のギャップ面となる面にスパッタリング法で合金薄膜
3’を形成する。この膜厚は2〜20μm程度の厚みで
ある。つぎに、図4(c)に示すように、コア半体10
a,10bのギャップ面にトラック規制用の溝6を形成
する。つぎに、図4(d)に示すように、トラック規制
用の溝6にガラス7を溶融する。つぎに、図4(e)に
示すように、一方の磁性体ブロックであるコア半体10
aに巻線用の溝8を形成する。つぎに、図4(f)に示
すように、コア半体10aとコア半体10bとの間にギ
ャップ材(図示せず)を配してギャップGを形成した
後、一つ一つのヘッドチップ9に切断し、ヘッド摺動面
をR研摩して完成する。なお、図4(f)はヘッド慴動
面から見た拡大図である。
FIG. 4 shows a manufacturing process of a conventional MIG head. This conventional manufacturing method uses magnetic blocks as the core halves 10a and the core halves 10b shown in FIG. 4 (a), and as shown in FIG. 4 (b), the core halves 10a, 10b are used.
The alloy thin film 3'is formed on the surface which will be the gap surface by sputtering. This film thickness is about 2 to 20 μm. Next, as shown in FIG.
Grooves 6 for track regulation are formed on the gap surfaces of a and 10b. Next, as shown in FIG. 4D, the glass 7 is melted in the track regulating groove 6. Next, as shown in FIG. 4 (e), the core half body 10 which is one of the magnetic blocks.
A groove 8 for winding is formed in a. Next, as shown in FIG. 4F, a gap material (not shown) is arranged between the core halves 10a and the core halves 10b to form the gap G, and then each head chip It is cut to 9 and the head sliding surface is R-polished to complete. Note that FIG. 4F is an enlarged view of the head sliding surface.

【0004】この従来の磁気ヘッドにおける合金薄膜
3’は、ヘッドチップ9のフロントからバックまで縦に
配置されている。その一例として特開平4−55143
号公報に記載のものなどがある。
The alloy thin film 3'in this conventional magnetic head is arranged vertically from the front to the back of the head chip 9. As one example thereof, Japanese Patent Laid-Open No. 4-55143
For example, those described in Japanese Patent Publication.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のMIG
ヘッドでは、スパッタリング法により形成された合金薄
膜3’の厚み方向の透磁率がヘッド特性に影響すること
になり、この方向の透磁率は測定が困難である。通常、
薄膜の透磁率はスパッタリング面にたいして水平長手方
向について測定される。つまり、従来のMIGヘッドの
構造では材料の透磁率とヘッド特性の相関が取り難いた
め、良好な特性の合金薄膜3’を配置できず、高密度化
への対応に問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the conventional MIG
In the head, the magnetic permeability in the thickness direction of the alloy thin film 3'formed by the sputtering method affects the head characteristics, and the magnetic permeability in this direction is difficult to measure. Normal,
The magnetic permeability of the thin film is measured in the horizontal longitudinal direction with respect to the sputtering surface. That is, in the structure of the conventional MIG head, since it is difficult to obtain the correlation between the magnetic permeability of the material and the head characteristics, the alloy thin film 3'having good characteristics cannot be arranged, and there is a problem in dealing with high density.

【0006】この発明の目的は、上記問題に留意し、良
好な特性の合金薄膜を配置でき、高密度化に対応するこ
とのできる磁気ヘッドおよびその製造方法を提供するこ
とである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetic head which can be arranged with an alloy thin film having good characteristics and can cope with high density, and a method of manufacturing the same in consideration of the above problems.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の磁気ヘッ
ドは、2つのコア半体のヘッド摺動面のギャップ近傍に
ヘッド慴動面に対して水平方向に合金薄膜を形成したこ
とを特徴とする。請求項2記載の磁気ヘッドの製造方法
は、磁性体ブロックのヘッド摺動面となる面のギャップ
ライン上に凹溝を形成する工程と、凹溝に合金薄膜をス
パッタリング法で形成する工程と、合金薄膜上にガラス
を溶融しその面を所定位置までラッピングする工程と、
磁性体ブロックをギャップラインで2つに切断して2つ
のコア半体とする工程と、2つのコア半体の切断面にト
ラック幅規制用の溝を形成する工程と、トラック幅規制
用の溝にガラスを溶融しその面を所定位置までラッピン
グする工程と、2つのコア半体のうち一方に巻線溝を形
成する工程と、巻線溝を形成した一方のコア半体と他方
のコア半体との間にギャップ材を配してギャップを形成
する工程と、ギャップを形成した2つのコア半体をヘッ
ドチップに切断しヘッド摺動面を研摩する工程とを含ん
でいる。
The magnetic head according to claim 1 is characterized in that an alloy thin film is formed in the horizontal direction with respect to the head sliding surface in the vicinity of the gap between the head sliding surfaces of the two core halves. And A method of manufacturing a magnetic head according to claim 2, wherein a step of forming a concave groove on a gap line of a surface which becomes a head sliding surface of the magnetic body block, a step of forming an alloy thin film in the concave groove by a sputtering method, Melting glass on the alloy thin film and lapping the surface to a predetermined position;
A step of cutting the magnetic block into two core halves by a gap line, a step of forming a track width regulating groove on the cut surface of the two core halves, and a track width regulating groove Melting glass and lapping the surface to a predetermined position, forming a winding groove in one of the two core halves, one core half having the winding groove and the other core half The process includes a step of forming a gap by providing a gap material with the body, and a step of cutting the two core halves having the gap into head chips and polishing the head sliding surface.

【0008】請求項3記載の磁気ヘッドの製造方法は、
磁性体ブロックのヘッド摺動面となる面にギャップライ
ンと垂直に複数の凹溝を形成する工程と、複数の凹溝に
合金薄膜をスパッタリング法で形成する工程と、合金薄
膜上にガラスを溶融しその面を所定位置までラッピング
する工程と、磁性体ブロックをギャップラインで2つに
切断して2つのコア半体とする工程と、2つのコア半体
の切断面にトラック幅規制用の溝を形成する工程と、ト
ラック幅規制用の溝にガラスを溶融しその面を所定位置
までラッピングする工程と、2つのコア半体のうち一方
に巻線溝を形成する工程と、巻線溝を形成した一方のコ
ア半体と他方のコア半体との間にギャップ材を配してギ
ャップを形成する工程と、ギャップを形成した2つのコ
ア半体をヘッドチップに切断しヘッド摺動面を研摩する
工程とを含んでいる。
A method of manufacturing a magnetic head according to claim 3 is
A step of forming a plurality of concave grooves on the surface of the magnetic block that becomes the head sliding surface perpendicular to the gap line, a step of forming an alloy thin film in the plurality of concave grooves by a sputtering method, and melting glass on the alloy thin film. Then, a step of lapping the surface to a predetermined position, a step of cutting the magnetic body block into two by a gap line to form two core halves, and a groove for track width regulation on the cut surfaces of the two core halves. Forming the winding groove, melting the glass in the track width regulating groove and lapping the surface to a predetermined position, forming the winding groove in one of the two core halves, and A step of arranging a gap material between one of the formed core halves and the other of the formed core halves to form a gap, and cutting the two core halves having the gap into head chips to form a head sliding surface. Including the step of polishing .

【0009】請求項4記載の磁気ヘッドの製造方法は、
磁性体ブロックのヘッド摺動面となる面にギャップライ
ンに対して斜め方向に複数の凹溝を形成する工程と、複
数の凹溝に合金薄膜をスパッタリング法で形成する工程
と、合金薄膜上にガラスを溶融しその面を所定位置まで
ラッピングする工程と、磁性体ブロックをギャップライ
ンで2つに切断して2つのコア半体とする工程と、2つ
のコア半体の切断面にトラック幅規制用の溝を形成する
工程と、トラック幅規制用の溝にガラスを溶融しその面
を所定位置までラッピングする工程と、2つのコア半体
のうち一方に巻線溝を形成する工程と、巻線溝を形成し
た一方のコア半体と他方のコア半体との間にギャップ材
を配してギャップを形成する工程と、ギャップを形成し
た2つのコア半体をヘッドチップに切断しヘッド摺動面
を研摩する工程とを含んでいる。
A method of manufacturing a magnetic head according to a fourth aspect is
A step of forming a plurality of concave grooves on the surface of the magnetic block that becomes the head sliding surface in an oblique direction with respect to the gap line, a step of forming an alloy thin film in the plurality of concave grooves by a sputtering method, and a step of forming an alloy thin film on the alloy thin film. Melting glass and lapping the surface to a predetermined position, cutting the magnetic block into two with a gap line to form two core halves, and controlling track width on the cut surface of the two core halves Forming a groove for use in the track, a step of melting glass in the groove for limiting track width and lapping the surface to a predetermined position, a step of forming a winding groove in one of the two core halves, A step of arranging a gap material between one core half body in which the line groove is formed and the other core half body to form a gap, and two core half bodies in which the gap is formed are cut into a head chip and a head slide is performed. And the process of polishing the moving surface Which comprise.

【0010】[0010]

【作用】この発明によれば、ヘッド摺動面のギャップ近
傍にヘッド慴動面に対して水平方向に合金薄膜を形成し
てあり、従来のMIGヘッドのようにヘッド摺動面に対
して垂直方向に合金薄膜が形成されたのとは全く異な
る。通常、薄膜の特性である透磁率は着膜面に対して水
平方向に測定されるので、この材料特性がそのままヘッ
ドの透磁率に効いてくる。つまり、ヘッド摺動面に対し
て水平方向とは、合金薄膜の透磁率を測定する方向なの
で材料の特性がヘッドの特性と一致し易く、良好な特性
の合金薄膜が配置できることになる。また、この方向の
透磁率は高いので磁気テープと組み合わせたときの電磁
変換特性も高くなる。
According to the present invention, the alloy thin film is formed in the vicinity of the gap of the head sliding surface in the horizontal direction with respect to the head sliding surface, and is perpendicular to the head sliding surface like the conventional MIG head. This is completely different from the direction in which the alloy thin film was formed. Usually, the magnetic permeability, which is a characteristic of the thin film, is measured in the horizontal direction with respect to the film-attached surface, and therefore the material characteristic directly affects the magnetic permeability of the head. In other words, since the horizontal direction to the head sliding surface is the direction in which the magnetic permeability of the alloy thin film is measured, the characteristics of the material are likely to match the characteristics of the head, and the alloy thin film having good characteristics can be arranged. Further, since the magnetic permeability in this direction is high, the electromagnetic conversion characteristics when combined with a magnetic tape are also high.

【0011】[0011]

【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。まず、第1の実施例について説明す
る。図1はこの発明の第1の実施例の磁気ヘッドの製造
方法を示す工程図である。まず、図1(a)に示すよう
に、フェライトから成る磁性体ブロック1のヘッド摺動
面となる面のギャップライン上に、凹溝2を加工形成す
る。つぎに、図1(b)に示すように、その凹溝2上に
Feを主成分とした合金薄膜3をスパッタリング法で着
膜する。つぎに、図1(c)に示すように、合金薄膜3
が着膜された凹溝2にガラス4を溶融し、その面を所定
位置までラッピングする。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, a first embodiment will be described. FIG. 1 is a process chart showing a method of manufacturing a magnetic head according to a first embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 1A, a groove 2 is formed on the gap line of the surface of the magnetic block 1 made of ferrite, which becomes the head sliding surface. Next, as shown in FIG. 1B, an alloy thin film 3 containing Fe as a main component is deposited on the groove 2 by a sputtering method. Next, as shown in FIG. 1C, the alloy thin film 3
The glass 4 is melted in the recessed groove 2 formed with, and the surface thereof is lapped to a predetermined position.

【0012】つぎに、図1(d)に示すように、磁性体
ブロック1をギャップラインでコア半体5aとコア半体
5bの2つに切断した後、図1(e)に示すように、そ
れぞれのコア半体5a,5bにトラック幅を規制する溝
6を切削加工する。つぎに、図1(f)に示すように、
トラック幅規制用の溝6にガラス7を溶融し、ガラス7
を溶融したギャップ面を所定位置までラッピングする。
Next, as shown in FIG. 1 (d), the magnetic block 1 is cut into two pieces, that is, a core half 5a and a core half 5b by a gap line, and then, as shown in FIG. 1 (e). The grooves 6 for restricting the track width are cut on the core halves 5a and 5b. Next, as shown in FIG.
The glass 7 is melted in the groove 6 for controlling the track width, and the glass 7
Lapping the melted gap surface to a predetermined position.

【0013】つぎに、図1(g)に示すように、コア半
体5aに巻線溝8を形成する。このとき、コア半体5a
はフロントデプス(ギャップの深さ)GDを確保できる
ように、巻線溝8とGDとの接点(アペックス)Aが一
致するようにする。つぎに、図1(h)に示すように、
コア半体5aとコア半体5bとの間にギャップ材(図示
せず)を配してギャップを形成した後、それぞれ一つの
ヘッドチップ9Aに切断し、摺動面をR研摩する。
Next, as shown in FIG. 1 (g), the winding groove 8 is formed in the core half 5a. At this time, the core half 5a
In order to secure the front depth (gap depth) GD, the contact points (apex) A between the winding groove 8 and GD are made to coincide with each other. Next, as shown in FIG.
After a gap material (not shown) is arranged between the core halves 5a and 5b to form a gap, each head chip 9A is cut, and the sliding surface is R-polished.

【0014】図1(i)は、図1(h)をヘッド慴動面
から見た拡大図であり、Gはギャップである。ヘッド慴
動面から見た構成は従来の磁気ヘッドと同様であるが、
合金薄膜3の形成方向が従来と異なっている。すなわ
ち、この実施例の磁気ヘッドは、2つのコア半体5a,
5bのヘッド摺動面のギャップ近傍にヘッド慴動面に対
して水平方向に合金薄膜3を形成した構成となってい
る。なお、合金薄膜3は、ヘッド摺動面とフロントデプ
スGDの間にのみ配置されている。
FIG. 1 (i) is an enlarged view of FIG. 1 (h) viewed from the head sliding surface, and G is a gap. The structure seen from the head sliding surface is the same as the conventional magnetic head,
The forming direction of the alloy thin film 3 is different from the conventional one. That is, the magnetic head of this embodiment has two core halves 5a,
The alloy thin film 3 is formed in the vicinity of the gap of the head sliding surface 5b in the horizontal direction with respect to the head sliding surface. The alloy thin film 3 is arranged only between the head sliding surface and the front depth GD.

【0015】この第1の実施例により製造した磁気ヘッ
ドを磁気テープと組み合わせてその特性を測定した。相
対速度5.8m/sで周波数10MHzのときのヘッド
の記録再生出力は、従来のヘッドより1dB高いことが
確認できた。つぎに、第2の実施例について説明する。
図2はこの発明の第2の実施例の磁気ヘッドの製造方法
を示す工程図である。
The magnetic head manufactured according to the first embodiment was combined with a magnetic tape to measure its characteristics. It was confirmed that the recording / reproducing output of the head when the relative speed was 5.8 m / s and the frequency was 10 MHz was 1 dB higher than that of the conventional head. Next, the second embodiment will be described.
2A to 2D are process drawings showing a method of manufacturing a magnetic head according to a second embodiment of the present invention.

【0016】まず、図2(a)に示すように、フェライ
トから成る磁性体ブロック1のヘッド摺動面となる面上
に、トラックを形成する方向と平行(ギャップラインと
垂直)に複数の凹溝2’を加工形成する。つぎに、図2
(b)に示すように、その凹溝2’上にFeを主成分と
した合金薄膜3をスパッタリング法で着膜する。つぎ
に、図2(c)に示すように、合金薄膜3が着膜された
凹溝2’にガラス4を溶融し、その面を所定位置までラ
ッピングする。
First, as shown in FIG. 2A, a plurality of concave portions are formed on the surface of the magnetic block 1 made of ferrite, which is to be the head sliding surface, in parallel to the track forming direction (perpendicular to the gap line). The groove 2'is processed and formed. Next, FIG.
As shown in (b), an alloy thin film 3 containing Fe as a main component is deposited on the groove 2'by a sputtering method. Next, as shown in FIG. 2 (c), the glass 4 is melted in the concave groove 2'on which the alloy thin film 3 is deposited, and the surface thereof is lapped to a predetermined position.

【0017】つぎに、図2(d)に示すように、磁性体
ブロック1をギャップラインでコア半体5aとコア半体
5bの2つに切断した後、図2(e)に示すように、そ
れぞれのコア半体5a,5bにトラック幅を規制する溝
6を切削加工する。つぎに、図2(f),(g)に示す
ように、トラック幅規制用の溝6にガラス7を溶融し、
ガラス7を溶融したギャップ面を所定位置までラッピン
グした後、コア半体5aに巻線溝8を形成する。このと
き、コア半体5aはフロントデプスGDを確保できるよ
うに巻線溝8とGDとの接点A(アペックス)が一致す
るようにする。その後、コア半体5aとコア半体5bと
の間にギャップ材(図示せず)を配してギャップGを形
成し、さらに、それぞれ一つのヘッドチップに切断し、
摺動面を曲線Rで示す位置までR研摩する。
Next, as shown in FIG. 2 (d), after the magnetic block 1 is cut into two pieces, that is, the core half 5a and the core half 5b by the gap line, as shown in FIG. 2 (e). The grooves 6 for restricting the track width are cut on the core halves 5a and 5b. Next, as shown in FIGS. 2F and 2G, the glass 7 is melted in the track width regulating groove 6,
After lapping the gap surface obtained by melting the glass 7 to a predetermined position, the winding groove 8 is formed in the core half body 5a. At this time, the core half 5a is arranged so that the contact points A (apex) between the winding grooves 8 and GD are aligned with each other so as to secure the front depth GD. After that, a gap material (not shown) is arranged between the core half body 5a and the core half body 5b to form a gap G, which is further cut into one head chip,
R-polish the sliding surface to the position indicated by the curve R.

【0018】図2(h)はヘッドチップ9Bに切断しR
研摩したものをヘッド慴動面から見た拡大図であり、合
金薄膜3の形成方向が従来の磁気ヘッドと異なる。すな
わち、この実施例の磁気ヘッドは、2つのコア半体5
a,5bのヘッド摺動面(ギャップ近傍を含む)にこの
ヘッド慴動面に対して水平方向に合金薄膜3を形成した
構成となっている。なお、合金薄膜3は、第1の実施例
の同様、ヘッド摺動面とフロントデプスGDの間にのみ
配置されている。
In FIG. 2 (h), the head chip 9B is cut into R
FIG. 6 is an enlarged view of the polished product as seen from the head sliding surface, in which the direction of forming the alloy thin film 3 is different from that of the conventional magnetic head. That is, the magnetic head of this embodiment has two core halves 5.
The alloy thin film 3 is formed on the head sliding surfaces of a and 5b (including the vicinity of the gap) in the horizontal direction with respect to the head sliding surface. The alloy thin film 3 is arranged only between the head sliding surface and the front depth GD as in the first embodiment.

【0019】この第2の実施例により製造した磁気ヘッ
ドを磁気テープと組み合わせてその特性を測定した。相
対速度5.8m/sで周波数10MHzのときのヘッド
の記録再生出力は、従来のヘッドより1dB高いことが
確認できた。つぎに、第3の実施例について説明する。
図3はこの発明の第3の実施例の磁気ヘッドの製造方法
を示す工程図である。
The magnetic head manufactured according to the second embodiment was combined with a magnetic tape to measure its characteristics. It was confirmed that the recording / reproducing output of the head when the relative speed was 5.8 m / s and the frequency was 10 MHz was 1 dB higher than that of the conventional head. Next, a third embodiment will be described.
FIG. 3 is a process drawing showing a method of manufacturing a magnetic head according to a third embodiment of the present invention.

【0020】まず、図3(a)に示すように、フェライ
トから成る磁性体ブロック1のヘッド摺動面となる面上
に、トラックを形成する方向に対して角度をつけて(ギ
ャップラインに対して斜め方向に)複数の凹溝2”を加
工形成する。つぎに、図3(b)に示すように、その凹
溝2”上にFeを主成分とした合金薄膜3をスパッタリ
ング法で着膜し、さらに、合金薄膜3が着膜された凹溝
2”にガラス4を溶融し、その面を所定位置までラッピ
ングする。
First, as shown in FIG. 3A, an angle is formed with respect to the track forming direction on the surface which becomes the head sliding surface of the magnetic block 1 made of ferrite (with respect to the gap line). A plurality of recessed grooves 2 ″ are formed by machining. Then, as shown in FIG. 3B, an alloy thin film 3 containing Fe as a main component is deposited on the recessed grooves 2 ″ by a sputtering method. Then, the glass 4 is melted in the groove 2 ″ on which the alloy thin film 3 is deposited, and the surface of the glass 4 is lapped to a predetermined position.

【0021】つぎに、図3(c)に示すように、磁性体
ブロック1をギャップラインでコア半体5aとコア半体
5bの2つに切断した後、それぞれのコア半体5a,5
bにトラック幅を規制する溝6を切削加工し、その溝6
にガラス7を溶融し、ガラス7を溶融したギャップ面を
所定位置までラッピングし、その後、巻線溝(図示せ
ず)をコア半体5aに形成し、コア半体5aとコア半体
5bとの間にギャップ材(図示せず)を配してギャップ
Gを形成する。また、巻線溝を形成したコア半体5a
は、図1,図2と同様、フロントデプスGDを確保でき
るように巻線溝とGDとの接点A(アペックス)が一致
するようにする。さらに、それぞれ一つのヘッドチップ
に切断し、摺動面をR研摩する。
Next, as shown in FIG. 3 (c), the magnetic block 1 is cut into two core halves 5a and 5b by a gap line, and then each of the core halves 5a, 5b is cut.
The groove 6 that regulates the track width is machined in b and the groove 6
Then, the glass 7 is melted on the first half, and the gap surface where the glass 7 is melted is lapped to a predetermined position, and then a winding groove (not shown) is formed on the core half body 5a to form the core half body 5a and the core half body 5b. A gap material (not shown) is arranged between the two to form the gap G. In addition, the core half 5a in which the winding groove is formed
In the same manner as in FIGS. 1 and 2, the contact points A (apex) between the winding groove and GD are aligned so that the front depth GD can be secured. Further, each head chip is cut and the sliding surface is R-polished.

【0022】図3(d)はヘッドチップ9Cに切断しR
研摩したものをヘッド慴動面から見た拡大図であり、合
金薄膜3の形成方向が従来の磁気ヘッドと異なる。すな
わち、この実施例の磁気ヘッドは、2つのコア半体5
a,5bのヘッド摺動面のギャップ近傍にヘッド慴動面
に対して水平方向に合金薄膜3を形成した構成であり、
合金薄膜3の配置がギャップラインに対して斜めになっ
ている。なお、合金薄膜3は、第1,第2の実施例同
様、ヘッド摺動面とフロントデプスGDの間にのみ配置
されている。
In FIG. 3 (d), the head chip 9C is cut into R
FIG. 6 is an enlarged view of the polished product as seen from the head sliding surface, in which the direction of forming the alloy thin film 3 is different from that of the conventional magnetic head. That is, the magnetic head of this embodiment has two core halves 5.
The alloy thin film 3 is formed in the horizontal direction with respect to the head sliding surface in the vicinity of the gap of the head sliding surface of a and 5b.
The arrangement of the alloy thin film 3 is oblique to the gap line. The alloy thin film 3 is arranged only between the head sliding surface and the front depth GD as in the first and second embodiments.

【0023】この第3の実施例により製造した磁気ヘッ
ドを磁気テープと組み合わせてその特性を測定した。相
対速度5.8m/sで周波数10MHzのときのヘッド
の記録再生出力は、従来のヘッドより1.5dB高いこ
とが確認できた。以上のように上記第1〜第3の実施例
によれば、磁性体ブロック1のヘッド摺動面となる面に
凹溝2,2’,2”を形成し、その上からスパッタリン
グ法により合金薄膜3を形成することにより、ヘッド摺
動面に対して水平方向に合金薄膜3が形成され、従来の
MIGヘッドのようにヘッド摺動面に対して垂直方向に
合金薄膜が形成されるのとは全く異なる。通常、薄膜の
特性である透磁率は着膜面に対して水平方向に測定され
るので、この材料特性がそのままヘッドの透磁率に効い
てくる。つまり、ヘッド摺動面に対して水平方向とは、
合金薄膜3の透磁率を測定する方向なので材料の特性が
ヘッドの特性と一致し易く、良好な特性の合金薄膜3が
配置できることになる。また、この方向の透磁率は高い
ので磁気テープと組み合わせたときの電磁変換特性も高
くなる。
The magnetic head manufactured according to the third embodiment was combined with a magnetic tape to measure its characteristics. It was confirmed that the recording / reproducing output of the head when the relative speed was 5.8 m / s and the frequency was 10 MHz was 1.5 dB higher than that of the conventional head. As described above, according to the first to third embodiments, the grooves 2, 2 ', 2 "are formed on the surface of the magnetic body block 1 which is the head sliding surface, and the alloy is formed by sputtering on the grooves. By forming the thin film 3, the alloy thin film 3 is formed in the horizontal direction with respect to the head sliding surface, and the alloy thin film is formed in the vertical direction with respect to the head sliding surface as in the conventional MIG head. Normally, the magnetic permeability, which is a characteristic of a thin film, is measured in the horizontal direction with respect to the film deposition surface, so this material property directly affects the magnetic permeability of the head. Is horizontal
Since the magnetic permeability of the alloy thin film 3 is measured, the characteristics of the material easily match the characteristics of the head, and the alloy thin film 3 having excellent characteristics can be arranged. Further, since the magnetic permeability in this direction is high, the electromagnetic conversion characteristics when combined with a magnetic tape are also high.

【0024】なお、フロントデプス部が合金薄膜3で占
められ、従来のMIGヘッドと同様、ギャップ近傍に合
金薄膜3を配する構成は満たされており、高抗磁力のテ
ープに対応できることになる。また、ヘッド摺動面とフ
ロントデプスGDの間にのみ合金薄膜3を配した構成と
なり、主コアがフェライトで形成されるので渦電流損失
が軽減され、再生出力の高い磁気ヘッドを実現すること
ができ、その効果は大なるものがある。
The front depth portion is occupied by the alloy thin film 3, and the alloy thin film 3 is provided in the vicinity of the gap as in the conventional MIG head, so that it is possible to cope with a tape having a high coercive force. Further, the alloy thin film 3 is arranged only between the head sliding surface and the front depth GD, and since the main core is made of ferrite, eddy current loss is reduced and a magnetic head with high reproduction output can be realized. You can, and the effect is great.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のようにこの発明は、ヘッド摺動面
のギャップ近傍にヘッド慴動面に対して水平方向に合金
薄膜を形成してあり、従来のMIGヘッドのようにヘッ
ド摺動面に対して垂直方向に合金薄膜が形成されたのと
は全く異なる。通常、薄膜の特性である透磁率は着膜面
に対して水平方向に測定されるので、この材料特性がそ
のままヘッドの透磁率に効いてくる。つまり、ヘッド摺
動面に対して水平方向とは、合金薄膜の透磁率を測定す
る方向なので材料の特性がヘッドの特性と一致し易く、
良好な特性の合金薄膜が配置できることになる。また、
この方向の透磁率は高いので磁気テープと組み合わせた
ときの電磁変換特性も高くなる。
As described above, according to the present invention, the alloy thin film is formed in the horizontal direction with respect to the head sliding surface in the vicinity of the gap of the head sliding surface, and the head sliding surface is formed like the conventional MIG head. It is completely different from the case where the alloy thin film was formed in the vertical direction. Usually, the magnetic permeability, which is a characteristic of the thin film, is measured in the horizontal direction with respect to the film-attached surface, and therefore the material characteristic directly affects the magnetic permeability of the head. That is, since the horizontal direction to the head sliding surface is the direction in which the magnetic permeability of the alloy thin film is measured, the characteristics of the material easily match the characteristics of the head,
An alloy thin film having good characteristics can be arranged. Also,
Since the magnetic permeability in this direction is high, the electromagnetic conversion characteristics when combined with a magnetic tape are also high.

【0026】なお、フロントデプス部が合金薄膜で占め
られ、従来のMIGヘッドと同様、ギャップ近傍に合金
薄膜を配する構成は満たされており、高抗磁力のテープ
に対応できることになる。また、ヘッド摺動面とフロン
トデプスの間にのみ合金薄膜を配した構成となり、主コ
アがフェライトで形成されるので渦電流損失が軽減さ
れ、再生出力の高い磁気ヘッドを実現することができ、
その効果は大なるものがある。
The front depth portion is occupied by the alloy thin film, and the structure in which the alloy thin film is arranged in the vicinity of the gap is satisfied as in the case of the conventional MIG head, which makes it possible to cope with a tape having a high coercive force. In addition, the alloy thin film is arranged only between the head sliding surface and the front depth, and since the main core is made of ferrite, eddy current loss is reduced and a magnetic head with high reproduction output can be realized.
The effect is great.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の第1の実施例の磁気ヘッドの製造方
法を示す工程図である。
FIG. 1 is a process drawing showing a method of manufacturing a magnetic head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の第2の実施例の磁気ヘッドの製造方
法を示す工程図である。
FIG. 2 is a process drawing showing the method of manufacturing the magnetic head of the second embodiment of the present invention.

【図3】この発明の第3の実施例の磁気ヘッドの製造方
法を示す工程図である。
FIG. 3 is a process drawing showing the method of manufacturing the magnetic head of the third embodiment of the present invention.

【図4】従来の磁気ヘッドの製造方法を示す工程図であ
る。
FIG. 4 is a process diagram showing a method of manufacturing a conventional magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁性体ブロック 2,2’,2” 凹溝 3 合金薄膜 4,7 ガラス 5a,5b コア半体 6 トラック幅規制用の溝 8 巻線溝 9A,9B,9C ヘッドチップ GD フロントデプス A アペックス G ギャップ 1 Magnetic Block 2, 2 ', 2 "Groove 3 Alloy Thin Film 4,7 Glass 5a, 5b Core Half 6 Groove for Track Width Control 8 Winding Groove 9A, 9B, 9C Head Chip GD Front Depth A Apex G gap

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ヘッド慴動面にギャップを形成した2つ
のコア半体を備えた磁気ヘッドであって、 前記2つのコア半体のヘッド摺動面のギャップ近傍に前
記ヘッド慴動面に対して水平方向に合金薄膜を形成した
ことを特徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic head comprising two core halves each having a gap formed in a head sliding surface, said head halving surface having a gap in a head sliding surface of said two core halves with respect to said head sliding surface. The magnetic head is characterized in that an alloy thin film is formed in the horizontal direction.
【請求項2】 磁性体ブロックのヘッド摺動面となる面
のギャップライン上に凹溝を形成する工程と、前記凹溝
に合金薄膜をスパッタリング法で形成する工程と、前記
合金薄膜上にガラスを溶融しその面を所定位置までラッ
ピングする工程と、前記磁性体ブロックを前記ギャップ
ラインで2つに切断して2つのコア半体とする工程と、
前記2つのコア半体の切断面にトラック幅規制用の溝を
形成する工程と、前記トラック幅規制用の溝にガラスを
溶融しその面を所定位置までラッピングする工程と、前
記2つのコア半体のうち一方に巻線溝を形成する工程
と、前記巻線溝を形成した一方のコア半体と他方のコア
半体との間にギャップ材を配してギャップを形成する工
程と、前記ギャップを形成した2つのコア半体をヘッド
チップに切断しヘッド摺動面を研摩する工程とを含む磁
気ヘッドの製造方法。
2. A step of forming a concave groove on a gap line of a surface which becomes a head sliding surface of a magnetic block, a step of forming an alloy thin film in the concave groove by a sputtering method, and a glass on the alloy thin film. Melting and lapping the surface to a predetermined position; cutting the magnetic block into two along the gap line to form two core halves;
Forming a groove for track width regulation on the cut surfaces of the two core halves; melting glass in the groove for track width regulation and lapping the surface to a predetermined position; A step of forming a winding groove in one of the bodies, a step of forming a gap by providing a gap material between the one core half body in which the winding groove is formed and the other core half body, and A method of manufacturing a magnetic head, comprising the steps of cutting two core halves having a gap into head chips and polishing a head sliding surface.
【請求項3】 磁性体ブロックのヘッド摺動面となる面
にギャップラインと垂直に複数の凹溝を形成する工程
と、前記複数の凹溝に合金薄膜をスパッタリング法で形
成する工程と、前記合金薄膜上にガラスを溶融しその面
を所定位置までラッピングする工程と、前記磁性体ブロ
ックを前記ギャップラインで2つに切断して2つのコア
半体とする工程と、前記2つのコア半体の切断面にトラ
ック幅規制用の溝を形成する工程と、前記トラック幅規
制用の溝にガラスを溶融しその面を所定位置までラッピ
ングする工程と、前記2つのコア半体のうち一方に巻線
溝を形成する工程と、前記巻線溝を形成した一方のコア
半体と他方のコア半体との間にギャップ材を配してギャ
ップを形成する工程と、前記ギャップを形成した2つの
コア半体をヘッドチップに切断しヘッド摺動面を研摩す
る工程とを含む磁気ヘッドの製造方法。
3. A step of forming a plurality of concave grooves on a surface of a magnetic body block which is a head sliding surface perpendicular to the gap line, a step of forming an alloy thin film in the plurality of concave grooves by a sputtering method, Melting glass on the alloy thin film and lapping the surface to a predetermined position; cutting the magnetic block into two at the gap line to form two core halves; and the two core halves. Forming a groove for controlling the track width on the cut surface, melting the glass in the groove for restricting the track width and lapping the surface to a predetermined position, and winding the glass on one of the two core halves. A step of forming a wire groove, a step of forming a gap by disposing a gap material between one core half body in which the winding groove is formed and the other core half body, and two steps in which the gap is formed. Head half of the core And a method of polishing the head sliding surface.
【請求項4】 磁性体ブロックのヘッド摺動面となる面
にギャップラインに対して斜め方向に複数の凹溝を形成
する工程と、前記複数の凹溝に合金薄膜をスパッタリン
グ法で形成する工程と、前記合金薄膜上にガラスを溶融
しその面を所定位置までラッピングする工程と、前記磁
性体ブロックを前記ギャップラインで2つに切断して2
つのコア半体とする工程と、前記2つのコア半体の切断
面にトラック幅規制用の溝を形成する工程と、前記トラ
ック幅規制用の溝にガラスを溶融しその面を所定位置ま
でラッピングする工程と、前記2つのコア半体のうち一
方に巻線溝を形成する工程と、前記巻線溝を形成した一
方のコア半体と他方のコア半体との間にギャップ材を配
してギャップを形成する工程と、前記ギャップを形成し
た2つのコア半体をヘッドチップに切断しヘッド摺動面
を研摩する工程とを含む磁気ヘッドの製造方法。
4. A step of forming a plurality of concave grooves on a surface of a magnetic body block which is a head sliding surface in an oblique direction with respect to a gap line, and a step of forming an alloy thin film in the plurality of concave grooves by a sputtering method. And a step of melting glass on the alloy thin film and lapping the surface thereof to a predetermined position, and cutting the magnetic block into two at the gap line.
Forming two core halves, forming a track width regulating groove in the cut surface of the two core halves, melting glass into the track width regulating groove and lapping the surface to a predetermined position And forming a winding groove in one of the two core halves, and disposing a gap material between the one core half and the other core half in which the winding groove is formed. A method of manufacturing a magnetic head, comprising: a step of forming a gap by means of a step; and a step of cutting the two core halves having the gap into head chips and polishing a head sliding surface.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6553648B2 (en) * 1996-11-18 2003-04-29 Minebea Co., Ltd. Manufacturing method of a side core type magnetic head slider

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6553648B2 (en) * 1996-11-18 2003-04-29 Minebea Co., Ltd. Manufacturing method of a side core type magnetic head slider

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