JPH08166355A - Defect inspection apparatus - Google Patents
Defect inspection apparatusInfo
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- JPH08166355A JPH08166355A JP6313304A JP31330494A JPH08166355A JP H08166355 A JPH08166355 A JP H08166355A JP 6313304 A JP6313304 A JP 6313304A JP 31330494 A JP31330494 A JP 31330494A JP H08166355 A JPH08166355 A JP H08166355A
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は欠陥検査装置に関し、
特に、液晶表示パネルの電極パターン間を絶縁する帯状
の絶縁ストライプが電気的に短絡するような欠陥を検出
する欠陥検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect inspection device,
In particular, the present invention relates to a defect inspection device that detects a defect in which a strip-shaped insulating stripe that insulates between electrode patterns of a liquid crystal display panel is electrically short-circuited.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルは、各種電子機器への用
途が増加し、ますます表示密度の高いものが要求されて
いる。表示密度を高めるためには、液晶表示パネルの電
極パターンを細くして密度を高める必要がある。ところ
が、電極パターンの密度を高めると、パターンのエッチ
ング不良などを生じ、図１０に示すように隣接する電極
パターン１，１との間の絶縁ストライプ２の一部に電極
が完全にエッチングされずに残ってしまい、隣接する電
極１と１との間が電気的に短絡してしまう場合がある。2. Description of the Related Art Liquid crystal display panels have been increasingly used for various electronic devices and are required to have higher display density. In order to increase the display density, it is necessary to thin the electrode pattern of the liquid crystal display panel to increase the density. However, if the density of the electrode pattern is increased, a pattern etching failure or the like occurs, and the electrode is not completely etched on a part of the insulating stripe 2 between the adjacent electrode patterns 1 and 1 as shown in FIG. In some cases, the electrodes remain and the adjacent electrodes 1 are electrically short-circuited.
【０００３】このような欠陥パターンを検出する装置の
一例として、液晶表示パネルの電極パターンの画像をＣ
ＣＤカメラで撮像し、画像処理装置を用いて、パターン
マッチングによって欠陥を検出するものがある。As an example of a device for detecting such a defect pattern, an image of an electrode pattern of a liquid crystal display panel is displayed as C
There is one that detects an image by a CD camera, and detects a defect by pattern matching using an image processing device.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検査装置では、図６に示すような絶縁ストライプ２のす
べての面積を対象として欠陥検査を行なっているため、
画像のデータ量が非常に多くなり、処理時間が長くなっ
てしまうという欠点があった。However, in the conventional inspection apparatus, the defect inspection is performed for the entire area of the insulating stripe 2 as shown in FIG.
There is a drawback that the amount of image data becomes very large and the processing time becomes long.
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、処
理すべき画像のデータ量を少なくし、短い処理時間で欠
陥を検出し得る欠陥検査装置を提供することである。Therefore, a main object of the present invention is to provide a defect inspection apparatus capable of reducing a data amount of an image to be processed and detecting a defect in a short processing time.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
液晶表示パネルの電極パターン間を絶縁する帯状の絶縁
ストライプが電気的に短絡しているような欠陥を検査す
るための欠陥検査装置であって、絶縁ストライプを撮像
するための撮像手段と、撮像手段の画像出力に基づい
て、帯状の絶縁ストライプにおける長手方向に延びる中
線上の欠陥を判別する判別手段とを備えて構成される。The invention according to claim 1 is
A defect inspection apparatus for inspecting a defect such that a strip-shaped insulating stripe that insulates between electrode patterns of a liquid crystal display panel is electrically short-circuited, and an image pickup means for picking up an image of the insulating stripe, and an image pickup means. And a discriminating means for discriminating a defect on the midline extending in the longitudinal direction in the strip-shaped insulating stripes based on the image output of FIG.
【０００７】請求項２に係る発明では、請求項１の撮像
手段は、絶縁ストライプの長手方向に直交する方向に一
端側から他端側に向けて順次走査して絶縁ストライプを
撮像し、判別手段は、撮像手段の画像出力に含まれるノ
イズ成分を除去するノイズ除去手段と、ノイズ除去手段
の出力に基づいて、絶縁ストライプの一端側および他端
側の幅方向のエッジを検出するエッジ検出手段と、検出
された一端側および他端側のそれぞれのエッジ間の中点
を求める中点算出手段と、算出された一端側の中点と他
端側の中点とを結ぶ直線を求める直線算出手段と、算出
された直線上の欠陥を判別する欠陥判別手段とを備えて
構成される。According to a second aspect of the present invention, in the image pickup means of the first aspect, the insulating stripes are imaged by sequentially scanning from one end side to the other end side in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the insulating stripes, and the discriminating means. Is a noise removing means for removing a noise component included in the image output of the image pickup means, and an edge detecting means for detecting the widthwise edges of one end side and the other end side of the insulating stripe based on the output of the noise removing means. A midpoint calculating means for obtaining the midpoint between the detected edges on the one end side and the other end side, and a straight line calculating means for obtaining a straight line connecting the calculated midpoint between the one end side and the other end side And a defect discriminating means for discriminating the calculated defect on the straight line.
【０００８】請求項３に係る発明では、請求項２の判別
手段は、絶縁ストライプの一端側の中点と他端側の中点
とを結ぶ直線と、幅方向の一方側のエッジとの間の中線
および直線と幅方向の他端側のエッジとの間の中線を求
め、求めたそれぞれの直線上の欠陥を判別する。In the invention according to claim 3, the determining means according to claim 2 is between the straight line connecting the midpoint of one end side and the midpoint of the other end of the insulating stripe and the edge on one side in the width direction. The midline and the straight line between the straight line and the edge on the other end side in the width direction are obtained, and defects on each of the obtained straight lines are determined.
【０００９】[0009]
【作用】この発明に係る欠陥検査装置は、絶縁ストライ
プを撮像し、絶縁ストライプにおける長手方向に延びる
中線上の欠陥を判別するようにしたので、絶縁ストライ
プのすべての画像データを必要とせず、データ量を少な
くして短時間に欠陥を判別できる。Since the defect inspection apparatus according to the present invention picks up an image of an insulating stripe and discriminates a defect on a midline extending in the longitudinal direction of the insulating stripe, all the image data of the insulating stripe is not required, and data is not required. Defects can be identified in a short time by reducing the amount.
【００１０】[0010]
【実施例】図１はこの発明の一実施例の概略ブロック図
である。図１において、ビデオカメラ３は液晶表示パネ
ルの電極パターン１と絶縁パターン２の画像を撮像する
ものであり、その画像信号はエッジ抽出部４に与えられ
る。エッジ抽出部４は後述の図４に示すフローチャート
に基づく処理を行なって、出力信号を欠陥判別部５に与
える。欠陥判別部５はエッジ抽出部４からの信号に基づ
いて絶縁ストライプ２の欠陥を判別する。1 is a schematic block diagram of an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the video camera 3 captures images of the electrode pattern 1 and the insulating pattern 2 of the liquid crystal display panel, and the image signal thereof is given to the edge extraction unit 4. The edge extraction unit 4 performs a process based on the flowchart shown in FIG. 4 described later, and gives an output signal to the defect determination unit 5. The defect determining section 5 determines a defect in the insulating stripe 2 based on the signal from the edge extracting section 4.
【００１１】図２はこの発明の一実施例の動作を説明す
るための図であり、図３は図２に示した絶縁ストライプ
を拡大して示した図であり、図４はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフローチャートであ
り、図５〜図８はノイズを除去する方法を説明するため
の図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of one embodiment of the present invention, FIG. 3 is an enlarged view of the insulating stripe shown in FIG. 2, and FIG. It is a flow chart for explaining a concrete operation of an example, and Drawing 5-Drawing 8 are figures for explaining a method of removing noise.
【００１２】次に、図１〜図８を参照して、この発明の
一実施例の具体的な動作について説明する。ビデオカメ
ラ３は図２（ａ）に示すように、電極パターン１と帯状
の絶縁ストライプ２の画像を撮像する。このとき、ビデ
オカメラ３は絶縁ストライプ２の長手方向に直交する方
向に、一端側から他端側に向けて順次走査する。エッジ
抽出部４はビデオカメラ３からの画像信号に基づいてエ
ッジを抽出する。すなわち、図４に示すフローチャート
に従って、まずＸ方向のエッジを抽出するために、図２
（ａ），（ｂ）に示すｙ＝ｙ0 におけるエッジＡ，Ｂを
求める。このとき、図２（ｇ）に示すように、ｙ＝ｙ0
上にノイズが存在する場合は、ノイズによる濃度変化を
拾ってしまい、正常なエッジを検出できない。そこで、
図５〜図８に示すノイズ除去処理を施す。すなわち、図
５に示すように、Ｙ方向に走査したときの領域６におい
て、ノイズの含まれている部分７と、電極１と絶縁部２
との境界が含まれている部分８があるとすると、図６
（ａ）に示すように、ノイズはＸ方向またはＹ方向に連
続したエッジを持たないため除去し、図６（ｂ）に示す
ようにＹ方向に連続してエッジを有する境界は保持す
る。Next, the specific operation of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 2A, the video camera 3 captures an image of the electrode pattern 1 and the strip-shaped insulating stripe 2. At this time, the video camera 3 sequentially scans from the one end side to the other end side in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the insulating stripe 2. The edge extraction unit 4 extracts edges based on the image signal from the video camera 3. That is, according to the flow chart shown in FIG.
Edges A and B at y = y 0 shown in (a) and (b) are obtained. At this time, as shown in FIG. 2G, y = y 0
If there is noise above, the density change due to noise is picked up, and a normal edge cannot be detected. Therefore,
The noise removal processing shown in FIGS. 5 to 8 is performed. That is, as shown in FIG. 5, in the area 6 when scanned in the Y direction, a portion 7 containing noise, the electrode 1, and the insulating portion 2 are included.
Assuming that there is a part 8 that includes the boundary with
As shown in FIG. 6A, noise does not have continuous edges in the X direction or Y direction and is removed, and as shown in FIG. 6B, the boundary having continuous edges in the Y direction is retained.
【００１３】この動作を図７および図８を参照して詳細
に説明する。図７は図６（ｂ）の場合の濃度値を示し、
図８は図６（ａ）の場合の濃度値を示している。図７に
おいて、ｂ行おきの計ａ行のデータにおいて、同じＸ座
標を持つ画素の濃度値を加算して平均化する。図７にお
けるｉ−１列，ｉ列，ｉ＋１列の計算結果は次のように
なる。This operation will be described in detail with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. 7 shows the density value in the case of FIG.
FIG. 8 shows the density value in the case of FIG. In FIG. 7, the density values of pixels having the same X coordinate are added and averaged in the data of row a every other row b. The calculation results of the i−1th column, the ith column, and the i + 1th column in FIG. 7 are as follows.
【００１４】ｉ−１列：（２＋１＋０）÷３＝１ ｉ列：（５０＋４６＋６０）÷３＝５２ ｉ＋１列：（２＋１＋０）÷３＝１ 上述の計算結果により、ｉ列の濃度値からＹ方向に連続
しているものと判別でき、その値を保持する。I-1 column: (2 + 1 + 0) ÷ 3 = 1 i column: (50 + 46 + 60) ÷ 3 = 52 i + 1 column: (2 + 1 + 0) ÷ 3 = 1 From the density value of the i column in the Y direction, It can be determined that they are continuous, and the value is retained.
【００１５】一方、図８に示した例では、その計算結果
が次のようになる。 ｉ−１列：（４＋５０＋１）÷３＝１８ ｉ列：（０＋４８＋１）÷３＝１６ ｉ＋１列：（１＋４６＋０）÷３＝１６ 上述の計算結果と予め定める基準値とを比較し、基準値
以下であるため、Ｙ方向に連続していないことを判別
し、ｊ行目のエッジが小さくなる。On the other hand, in the example shown in FIG. 8, the calculation result is as follows. i-1 column: (4 + 50 + 1) / 3 = 18 i column: (0 + 48 + 1) / 3 = 16 i + 1 column: (1 + 46 + 0) / 3 = 16 Compare the above calculation result with a predetermined reference value, and Therefore, it is determined that they are not continuous in the Y direction, and the edge of the j-th row becomes smaller.
【００１６】上述のごとくして、ノイズ除去処理が行な
われ、図２（ｇ）に示すようなノイズが除去されると、
図２（ｃ），（ｄ）に示すような信号となる。When the noise removal processing is performed as described above and the noise as shown in FIG. 2 (g) is removed,
The signals are as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d).
【００１７】次に、図４に示すフローチャートに従っ
て、まずＸ方向のエッジを抽出するために、図２
（ａ），（ｂ）に示すｙ＝ｙ0 におけるエッジＡ，Ｂを
求める。ｙ＝ｙ0 におけるＸ方向の濃度は図２（ｃ）に
示すようになる。この画像信号を微分すると、図２
（ｅ）に示すようなエッジＡ，Ｂを示す信号が得られ
る。同様にして、ｙ＝ｙ1 におけるエッジＣ，Ｄを求め
る。ｙ＝ｙ1 における画像信号は図２（ｄ）に示すよう
になり、この画像信号を微分すると図２（ｆ）に示すよ
うなエッジＣ，Ｄを示す信号が得られる。Next, according to the flow chart shown in FIG. 4, first, in order to extract the edge in the X direction, as shown in FIG.
Edges A and B at y = y 0 shown in (a) and (b) are obtained. The density in the X direction when y = y 0 is as shown in FIG. When this image signal is differentiated, FIG.
A signal indicating edges A and B as shown in (e) is obtained. Similarly, the edges C and D at y = y 1 are obtained. The image signal at y = y 1 is as shown in FIG. 2 (d), and when this image signal is differentiated, signals having edges C and D as shown in FIG. 2 (f) are obtained.
【００１８】次に、エッジ抽出部４はエッジＡ，Ｂ間の
中心座標Ｃ0 を求め、エッジＣ，Ｄ間の中心座標Ｃ1 を
求める。さらに、図３に示すように、中心座標Ｃ0 とＣ
1 とを結ぶセンターラインＬを求め、センターラインＬ
の近傍をｙ方向に微分し、センターラインＬに沿った一
端側から他端側に向けて順次走査することによって、エ
ッジＥ，Ｆを検出する。そして、エッジＥ，Ｆのｙ座標
の中点Ｇを求める。この中点Ｇが求められれば、欠陥判
別部５は絶縁ストライプ２に欠陥があることを判別す
る。もし、絶縁ストライプ２上に欠陥がなければ、セン
ターラインＬに沿った一端側から他端側に走査しても、
エッジＥ，Ｆが検出されず、これらのエッジＥ，Ｆのｙ
座標の中点Ｇも求められない。したがって、欠陥判別部
５はエッジ抽出部４によって中点Ｇが求められなけれ
ば、絶縁ストライプ２が正常であると判別する。Next, the edge extraction unit 4 finds the center coordinates C 0 between the edges A and B, and finds the center coordinates C 1 between the edges C and D. Further, as shown in FIG. 3, center coordinates C 0 and C
Find the center line L connecting 1 and the center line L
Edges E and F are detected by differentiating the vicinity of in the y direction and sequentially scanning from one end side to the other end side along the center line L. Then, the midpoint G of the y coordinates of the edges E and F is obtained. When the midpoint G is obtained, the defect determining section 5 determines that the insulating stripe 2 has a defect. If there is no defect on the insulating stripe 2, even if scanning is performed from one end side along the center line L to the other end side,
Edges E and F are not detected, and y of these edges E and F is
The midpoint G of the coordinates cannot be obtained. Therefore, the defect discriminating unit 5 discriminates that the insulating stripe 2 is normal unless the midpoint G is obtained by the edge extracting unit 4.
【００１９】なお、図９に示すように、絶縁ストライプ
２上に隣接する電極パターン１，１同士を短絡すること
はなくとも、エッチング不良により、電極パターン１，
１からそれぞれ絶縁ストライプ２上にエッチングの残り
が突出するように形成されてしまうことがある。この場
合、前述の説明のようにセンターラインＬに沿って走査
しても、中点Ｇを求めることはできない。As shown in FIG. 9, even if the electrode patterns 1 and 1 adjacent to each other on the insulating stripe 2 are not short-circuited with each other, the electrode patterns 1 and 1 may be defective due to etching failure.
In some cases, the etching residue may be formed so as to project from the insulating stripe 2 on the insulating stripe 2. In this case, even if scanning is performed along the center line L as described above, the midpoint G cannot be obtained.
【００２０】そこで、他の実施例では、一方側のエッジ
とセンターラインＬとの中線Ｌ２および他方側のエッジ
とセンターラインＬとの間の中線Ｌ３に沿って一端側か
ら他端側に走査し、前述の図４と同様の処理を行なえ
ば、エッジを検出でき、そのエッジが検出されれば、ｙ
座標の中点を求め、欠陥であると判別すればよい。この
ようにすれば、欠陥判別を高速かつ高精度に誤判定なく
確実に行なうことが可能となる。Therefore, in another embodiment, from one end side to the other end side along the center line L2 between the edge on one side and the center line L and the center line L3 between the edge on the other side and the center line L. If scanning is performed and the same processing as in FIG. 4 described above is performed, an edge can be detected, and if the edge is detected, y
The midpoint of the coordinates may be obtained and the defect may be determined. By doing so, it becomes possible to surely perform defect determination at high speed and with high accuracy without erroneous determination.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、電極
パターン間を絶縁する帯状の絶縁ストライプを撮像し、
その画像出力に基づいて絶縁ストライプにおける長手方
向に延びる中線上の欠陥を判別するようにしたので、絶
縁ストライプ全面の画像データを処理する必要がなくな
り、欠陥を判別するための処理時間を短縮できる。As described above, according to the present invention, an image of a strip-shaped insulating stripe for insulating between electrode patterns is picked up,
Since the defect on the midline extending in the longitudinal direction in the insulating stripe is determined based on the image output, it is not necessary to process the image data on the entire surface of the insulating stripe, and the processing time for determining the defect can be shortened.
【図１】この発明の一実施例の概略ブロック図である。FIG. 1 is a schematic block diagram of an embodiment of the present invention.
【図２】この発明の一実施例の動作を説明するための図
である。FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the embodiment of the present invention.
【図３】図２の絶縁パターンを拡大して示した図であ
る。FIG. 3 is an enlarged view of the insulating pattern of FIG.
【図４】この発明の一実施例の具体的な動作を説明する
ためのフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart for explaining a specific operation of the embodiment of the present invention.
【図５】この発明の一実施例においてノイズを除去する
方法を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a method of removing noise in the embodiment of the present invention.
【図６】ノイズの画像と境界部の画像を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a noise image and a boundary image.
【図７】境界部の濃度値を計算する方法を示す図であ
る。FIG. 7 is a diagram showing a method of calculating a density value at a boundary portion.
【図８】ノイズ部分の濃度値を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a density value of a noise portion.
【図９】この発明の他の実施例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing another embodiment of the present invention.
【図１０】絶縁パターンの一部に欠陥がある状態を示す
図である。FIG. 10 is a diagram showing a state where a part of the insulating pattern has a defect.
１ 電極パターン ２ 絶縁ストライプ ３ ビデオカメラ ４ エッジ検出部 ５ 欠陥検出部 1 Electrode pattern 2 Insulation stripe 3 Video camera 4 Edge detection unit 5 Defect detection unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２ 7426−5Ｈ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location G09F 9/00 352 7426-5H
Claims (3)
する帯状の絶縁ストライプが電気的に短絡しているよう
な欠陥を検査するための欠陥検査装置であって、 前記絶縁ストライプを撮像するための撮像手段、および
前記撮像手段の画像出力に基づいて、前記帯状の絶縁ス
トライプにおける長手方向に延びる中線上の欠陥を判別
する判別手段を備えた、欠陥検査装置。1. A defect inspection apparatus for inspecting a defect such that a strip-shaped insulating stripe that insulates between electrode patterns of a liquid crystal display panel is electrically short-circuited. A defect inspection apparatus comprising: an image pickup unit; and a determination unit that determines a defect on a midline extending in a longitudinal direction in the strip-shaped insulating stripe based on an image output of the image pickup unit.
長手方向に直交する方向に一端側から他端側に向けて順
次走査して、該絶縁ストライプを撮像し、 前記判別手段は、 前記撮像手段の画像出力に含まれるノイズ成分を除去す
るノイズ除去手段、 前記ノイズ除去手段の出力に基づいて、前記絶縁ストラ
イプの一端側および他端側の幅方向のエッジを検出する
エッジ検出手段、 前記エッジ検出手段によって検出された一端側および他
端側のそれぞれのエッジ間の中点を求める中点算出手
段、 前記中点算出手段によって算出された一端側の中点と他
端側の中点とを結ぶ直線を求める直線算出手段、および
前記直線算出手段によって算出された直線上の欠陥を判
別する欠陥判別手段を備えた、欠陥検査装置。2. The image pickup means sequentially scans from one end side to the other end side in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the insulating stripe to pick up the insulating stripe, and the discriminating means is the image pickup means. Noise removal means for removing a noise component included in the image output of the edge detection means, edge detection means for detecting widthwise edges of one end side and the other end side of the insulating stripe based on the output of the noise removal means, the edge detection A midpoint calculating means for obtaining a midpoint between the edges on one end side and the other end side detected by the means, and connecting the midpoint on one end side and the midpoint on the other end calculated by the midpoint calculating means A defect inspection apparatus comprising: a straight line calculating unit that obtains a straight line; and a defect determining unit that determines a defect on the straight line calculated by the straight line calculating unit.
イプの一端側の中点と他端側の中点とを結ぶ直線と、幅
方向の一方側のエッジとの間の中線および前記直線と幅
方向の他端側のエッジとの間の中線を求め、求めたそれ
ぞれの直線上の欠陥を判別することを特徴とする、請求
項２の欠陥検査装置。3. The determining means further comprises a straight line connecting a midpoint of one end of the insulating stripe and a midpoint of the other end thereof, a midline between one edge in the width direction and the straight line. 3. The defect inspection apparatus according to claim 2, wherein a median between the edge on the other end side in the width direction and the edge on the other side are obtained, and defects on each of the obtained straight lines are discriminated.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6313304A JPH08166355A (en) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | Defect inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6313304A JPH08166355A (en) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | Defect inspection apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08166355A true JPH08166355A (en) | 1996-06-25 |
Family
ID=18039613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6313304A Withdrawn JPH08166355A (en) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | Defect inspection apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08166355A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1994
- 1994-12-16 JP JP6313304A patent/JPH08166355A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |