JPH08165904A - タービンのスチームによる衝突冷却装置、タービンシュラウドを冷却するシステム及びタービンシュラウドをスチーム衝突により冷却する方法 - Google Patents

タービンのスチームによる衝突冷却装置、タービンシュラウドを冷却するシステム及びタービンシュラウドをスチーム衝突により冷却する方法

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JPH08165904A
JPH08165904A JP7156573A JP15657395A JPH08165904A JP H08165904 A JPH08165904 A JP H08165904A JP 7156573 A JP7156573 A JP 7156573A JP 15657395 A JP15657395 A JP 15657395A JP H08165904 A JPH08165904 A JP H08165904A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 冷却効率を最大にすると共に交差流効果を最
小限に抑えることのできるタービンシュラウドを冷却す
るシステムを提供する。 【構成】 タービンシュラウド18が複数のキャビティ
28、30、32を含んでおり、複数のキャビティは、
冷却用スチームを受け取って、キャビティを直列に通し
高熱燃焼ガスの流れ方向とは向流方向に流す。キャビテ
ィ28では、突起36がノズル38を形成しており、冷
却用スチームの速度を増加させて対流係数を増加し、シ
ュラウドの壁を冷却する。キャビティ30でのスチーム
流れは、衝突板46を通過し、シュラウドの壁を衝突冷
却する。同様に、スチームはキャビティ30からキャビ
ティ32に通過し、衝突板56を通過してシュラウドの
壁を更に衝突冷却する。キャビティ30、32では、衝
突板46、56は複数のダクト62、66を含んでお
り、衝突後のスチームの流れが進行する方向に流れ面積
を増加させ、交差流効果を軽減させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、タービンシュラウドを
冷却する装置に関し、特に、交差流効果を軽減してター
ビンシュラウドの衝突(インピンジメント)冷却を行う
装置、及び冷却媒体をタービンシュラウドの数個の冷却
用キャビティに単一の流れ回路にて直流的に流すシステ
ムに関する。
【0002】
【従来の技術】タービンシュラウドを冷却する現在の方
法では、空気衝突(インピンジメント)板が用いられて
いる。この空気衝突板は、衝突板の両側での圧力差に基
づいて空気を比較的高速で衝突板を通流させる多数の孔
を有している。孔を通る高速の空気流は、冷却すべき部
品に衝突する。部品に衝突し、その部品を冷却した後
に、衝突後の空気は圧力の最も低いシンクへ進む。しか
しながら、この使用済みの冷却用空気がシンクへ移行す
る際に、徐々に増加する使用済み空気は、冷却すべき部
品に衝突するように向けられた他の高速の空気ジェット
の通路と交差する。こうして、使用済みの冷却用空気は
低圧シンクに向かう下流方向に徐々に増加する。この使
用済み空気の交差流(クロスフロー)は、高速で入って
くる衝突冷却空気と相互作用して、衝突板から冷却すべ
き部品へ進む際の衝突冷却空気の有効性を著しく劣化さ
せる。この劣化作用は、質量流量の増加する下流区域で
一層顕著になる。
【0003】本出願人に譲渡された米国特許出願番号第
08/152,363号(1993年11月16日出
願)に、冷却媒体としてスチーム(蒸気)を用いて、タ
ービン部品、特にタービンシュラウドを衝突冷却する装
置及び方法が提案されている。この出願に開示された装
置及び方法は、タービンシュラウドをスチームで効果的
に冷却することができるが、冷却媒体の使用量を最小に
抑え、有害な交差流効果を更に軽減することにより、タ
ービンのスチーム冷却を改良することが依然として求め
られている。
【0004】
【発明の概要】本発明によれば、直列冷却流れ回路にお
ける冷却作用の効率を最大にするシステム、及び交差流
効果を最小限に抑える装置が提供される。先ず、このシ
ステムについて説明すると、タービンバケットの先端の
半径方向外側のタービンシュラウド、即ち、固定シュラ
ウドに、冷却媒体、例えばスチームを、タービンを通る
高熱ガス通路の方向とは反対の流れ(向流)方向に通過
させる複数のキャビティが設けられている。尚、シュラ
ウドの少なくとも1つの壁表面が、タービンを通過する
高熱の燃焼ガスに露出される。複数のキャビティを向流
方向に直列に冷却することにより、順序が適切に制御さ
れた流れが得られる。更に、同じ面積を冷却するのに使
用するスチームが少なくて済み、流れ条件が余り過酷で
ない比較的低温の区域の予熱が行われる。又、スチーム
が流路条件の過酷なキャビティに達した段階では、スチ
ームは既に加熱されており、その区域を有効に冷却する
のに十分であるが、部品に大きな熱勾配を与えるほど余
りに低温ではない(そうでなければ、部品は大きな応力
を受ける。)。
【0005】具体的には、冷却用スチームはシュラウド
に第1のキャビティから入る。第1のキャビティは、ノ
ズルを形成している面積の減少した区域を有しており、
このノズルは、スチームがノズルを下流に進むにつれ
て、スチームの速度を増加させる。この速度の増加によ
り、第1のキャビティ内の冷却すべきシュラウドの壁に
沿った対流係数が増加し、こうして当該領域を冷却し、
その結果、スチームの温度は上昇する。第1のキャビテ
ィ内のシュラウド壁を冷却した後に、スチームは排出通
路を高速で第2のキャビティへ通過する。この第2のキ
ャビティでは、衝突板がこのキャビティを第1の室と第
2の室とに分割している。スチームは第1の室から衝突
板に設けられた孔を通過し(これらの孔が、高速の蒸気
ジェットを形成する。)、第2の室に入り、こうして、
蒸気ジェットは、冷却すべき第2のキャビティの壁に衝
突し、同時に、冷却を行った後に、スチームの温度が上
昇する。スチームは第2のキャビティから小さな排出開
口を、従って高速で通過して、第3のキャビティへ流れ
る。第3のキャビティにも衝突板が設けられている。し
かしながら、第3のキャビティでは、エンクロジャ板が
衝突板と共に、他のキャビティを画定しており、この他
のキャビティの強制作用で、スチームは衝突板の孔を通
過し、第3のキャビティ内の冷却すべき壁に直接衝突す
る。次いで、スチームはエンクロージャ板の周りを通っ
て、排出パイプに連通した捕集マニホールドへ流れる。
【0006】本発明の他の観点によれば、衝突冷却交差
流効果が最小になるか又は軽減される。これを達成する
ために、1つ以上のダクトが衝突板の各々に冷却孔の列
の間に形成されている。冷却孔は、キャビティからの出
口に向かう衝突後のスチームの流れの方向に対して全体
的に平行に配列されている。ダクトの高さを下流流れ方
向に増加させることが好ましい。従って、ダクトは、使
用済みのスチーム流れの質量流量が下流位置で増加する
につれて、その使用済みのスチーム流れが移動するため
の面積を増大させる。この増大した面積は、交差流効果
を軽減させる傾向がある。これは、衝突孔と冷却すべき
壁との間に生じる使用済み流れの量が少なくなるからで
ある。そのような使用済み流れは、増大すると、冷却す
べき表面に衝突する冷却用スチームの高速ジェットに干
渉するおそれがある。
【0007】本発明による好適な実施例では、タービン
のスチーム・衝突冷却装置が提供される。この装置は、
互いに離間した第1の壁及び第2の壁を有しているター
ビンシュラウドと、第1の壁と第2の壁との間に隔設さ
れている衝突板であって、この衝突板の両側に互いに実
質的にシールされた第1の室と第2の室とを画定してい
る衝突板とを含んでいる。衝突板は、衝突板を貫通して
いる複数の流れ開口であって、冷却用スチームをこれら
の流れ開口を通して第1の室と第2の室との間を通流さ
せる複数の流れ開口と、第1の室と連通している供給通
路であって、冷却用スチームを第1の室に供給し、衝突
板の開口を通して第2の室に流し、第2の壁を衝突冷却
させる供給通路とを有している。排出開口が、第2の室
と連通して設けられており、第2の室から流れ出る衝突
後の冷却用スチームを排出する。少なくとも1つのダク
トが、衝突後のスチームの少なくとも一部のための流れ
面積を形成するように、衝突板に第2の室と連通関係に
形成されており、この流れ面積は、衝突後のスチームの
質量流量が排出開口に向かって下流方向に増加するにつ
れて増加している。
【0008】本発明による他の好適な実施例では、ター
ビンシュラウドを冷却するシステムが提供される。この
システムは、複数のキャビティを含んでいる。複数のキ
ャビティのうちの第1のキャビティが、冷却用スチーム
を受け取る入口と、スチーム出口通路とを有している。
第1のキャビティは、第1のキャビティを通って出口通
路に流れるスチームの速度を増加させるノズルを画定し
ている。複数のキャビティのうちの第2のキャビティ
が、互いに離間した第1の壁及び第2の壁と、第1の壁
と第2の壁との間に隔設されている衝突板であって、衝
突板の両側に互いに実質的にシールされた第1の室と第
2の室とを画定している、衝突板とを有している。第1
の室は、第1のキャビティからスチームを受け取るよう
に、出口通路と連通している。衝突板は、衝突板を貫通
している複数の流れ開口であって、冷却用スチームをこ
れらの流れ開口を通して第1の室から第2の室に通流さ
せて、第2のキャビティの第2の壁を衝突冷却させる複
数の流れ開口を有している。排出開口が、第2の室と連
通しており、第2の室から流れ出る衝突後の冷却用スチ
ームを排出する。第2のキャビティの一部を形成してい
るダクトが、第2の室から排出開口に向かって流れる衝
突後のスチームの流れと連通しており、第2の室内での
交差流効果を軽減するために、衝突後のスチームの質量
流量が排出開口に向かって下流方向に増加するにつれ
て、衝突後のスチームの少なくとも一部に増加した流れ
面積を提供している。
【0009】本発明による更に他の好適な実施例では、
シュラウドのスチーム衝突によりタービンシュラウドを
冷却する方法が提供される。この方法は、冷却用スチー
ムをシュラウド内のキャビティに流す工程と、キャビテ
ィを第1の室と第2の室とに分割している衝突板に設け
られた複数の開口へキャビティからの冷却用スチームを
流す工程と、開口を通流するスチームをシュラウドの壁
に衝突させてその壁を冷却するように、第2の室を横切
らせる工程と、第2の室内の衝突後の冷却用スチームを
排出開口に流す工程と、衝突板の開口と壁との間のスチ
ームの衝突後の流れを減少させることにより交差流効果
を軽減するために第2の室内の衝突後の冷却用スチーム
に増加した流れ面積を提供するように、キャビティに少
なくとも1つのダクトを形成する工程とを含んでいる。
【0010】従って、本発明の主たる目的は、良好な冷
却効率で且つ衝突冷却中の交差流効果を抑えて、タービ
ンシュラウドを冷却する新規で改良された装置及び方法
を提供することにある。
【0011】
【実施例】図1はタービンの内側シェルの配置図であ
る。このタービンの内側シェルは、第1段ノズル10
と、第1段バケット12と、第2段ノズル14と、第2
段バケット16とを含んでいる。第1段バケット12及
び第2段バケット16は、タービンのシャフトの軸線
(図示していない)の周りに回転する一方、第1段ノズ
ル10及び第2段ノズル14は静止しており、タービン
の内側シェルに固定されていることが明らかである。本
発明は、シュラウド・ハンガ20に固定されていると共
に静止内側シェルの一部を形成しているタービンシュラ
ウド18に関する。内側シュラウド壁は、バケットの第
1段においてバケットの外側先端から離間している。内
側シェルは、冷却スチーム入口供給通路22と、衝突後
の冷却用スチーム排出通路24とを含んでおり、冷却ス
チーム入口供給通路22と、衝突後の冷却用スチーム排
出通路24とは共に、シュラウド18と連通している。
シュラウド・ハンガ・アセンブリは、スチーム供給通路
22及び排出通路24と共に、図2に拡大して示されて
いる。
【0012】図3はシュラウドに形成されている冷却キ
ャビティの断面図であり、図4は第2のキャビティの衝
突板の斜視図である。高熱ガス通路が高熱燃焼ガスを図
3の白抜き矢印の方向に流し、シュラウド18の内面2
6を通過していることがわかる。シュラウド18は、3
つの実質的に閉じたキャビティ28、30及び32から
形成されている。図示のように、キャビティ28はスチ
ーム供給通路22からスチーム(蒸気)を受け取り、受
け取ったスチームを第2のキャビティ30に流す。後述
するように、キャビティ30における冷却用スチーム
は、衝突(インピンジメント)板を通過して、壁表面2
6の一部を衝突冷却し、その後、排気通路を通って第3
のキャビティ32に流入する。第3のキャビティ32内
の壁部26でも衝突冷却が同様に行われ、スチームは最
終的にスチーム排出通路24を通ってシュラウドから出
ていく。
【0013】図3及び図4について詳述すると、第1の
キャビティ28はマニホールド34を含んでいる。マニ
ホールド34の壁には突起36が設けられており、流れ
面積を減少させるノズル38を形成している。ノズル3
8は、スチームがキャビティ28内を下流に移行するに
つれて、スチームが速度を増すように作用し、スチーム
はその後、複数の離間した通路40に抜け出る。スチー
ムを突起36の周りに押し付け、又、突起によって形成
されているノズルを通過させることにより、スチームは
速度を増し、その結果、高熱ガス通路に露出されたキャ
ビティ28の下面に沿っての対流係数が増加する。従っ
て、高熱ガス通路はその領域で冷却され、冷却用スチー
ムは、排出通路40を通って第2のキャビティ30に流
入するにつれて、温度が上昇する。
【0014】第1の壁37と第2の壁39との間に画定
されている第2のキャビティ30において、第1のキャ
ビティ28からの加熱された冷却用スチームが第1の室
42に流入する。キャビティ30は衝突板46によっ
て、第1の室42と第2の室44に分割されている。衝
突板46は、複数の開口48を有しており、冷却用スチ
ームは開口48を通って高速で第1の室42から第2の
室44に通過し、第2の室44の壁39に衝突し、その
壁の衝突冷却を行う。スチームの温度は、冷却を行うに
つれて当然に上昇する。衝突後のスチームは、キャビテ
ィ30とキャビティ32との間に形成されている排出開
口50を通過する。
【0015】第3の壁49と第4の壁51との間に画定
されている第3のキャビティ32において、冷却用スチ
ームは、閉止板54と第2の衝突板56との間に画定さ
れている第3の室52に入る。第2の衝突板56は、複
数の流れ開口58を含んでおり、冷却用スチームが流れ
開口58を通って高速で流れ、キャビティ32の壁51
に衝突し、これにより、その壁を衝突冷却する。衝突後
のスチームは第3の室52の周囲を流れ、第4の室60
から排出通路24に流れる。
【0016】以上の説明から明らかなように、冷却用ス
チームは、高熱燃焼ガスの流れに対して向流方向に複数
のキャビティを直列的に流れる。従って、流れ通路条件
が過酷になるにつれて、冷却用スチームは、温度が上昇
し、高熱ガスに露出した表面を効果的に冷却するが、冷
却用スチームと高熱ガスとの間の熱勾配は減少し、冷却
すべき表面に大きな応力が生じるのを防止する。
【0017】図4に、第2のキャビティ30に設けられ
た衝突板46を示す。衝突板46は、衝突板46と冷却
すべき壁39との間の第2の室44と連通している少な
くとも1つの、好ましくは複数のダクト62を含んでい
る。開口48は、キャビティ30から排出開口50に向
かって流れる衝突後のスチームの流れ方向に延在してい
る複数の列に配列していることが好ましい。従って、ダ
クト62は開口48の列の間に配設されており、衝突後
の冷却用スチームの流れ方向に面積を増加するように広
がっている。その結果、図4に示すように、ダクト62
の断面積は排出開口50に向かう方向に増加しており、
これにより、第2の室44の断面積も同様に、衝突後の
冷却流れの方向に増加している。言い換えると、ダクト
62が衝突板46の下流端に近付くにつれて、ダクト6
2の高さは増加する。従って、衝突後の冷却用スチーム
の質量流量が下流位置で増加するにつれて、ダクト62
は使用済み冷却用スチームの流れが移動するための増加
分の面積を提供する。この衝突後のスチームを流すため
の追加の面積は、交差流(クロスフロー)効果を低減さ
せる傾向がある。これは、衝突の開口とシュラウドの床
との間を通る使用済み冷却用スチームの量が少なくなる
からである。
【0018】図3に戻ると、第3のキャビティ32の第
2の衝突板56も第2のキャビティ30の衝突板46と
同様に成形されている。即ち、衝突板56も同様に、第
4の室60に向かって開口した複数のダクト66を含ん
でおり、これにより、排出通路24に向かう方向に衝突
後の冷却用スチームの流れ面積が増加する。以上、本発
明を現在のところ最も実用的且つ好適と考えられる実施
例について説明したが、本発明は、開示の実施例に限定
されず、本発明の要旨の範囲に含まれる種々の変更及び
均等構成を包含している。例えば、好適な実施例では、
スチームを冷却流体として用いたが、より低温の用途で
は、ガスタービン用途において圧縮機から周知の方法で
典型的に抽出される空気等の他の流体を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】タービン内側シェルの一部の線図的立面図であ
って、タービンのバケットの周りのタービンシュラウド
の位置を示す図である。
【図2】シュラウド・ハンガに固定されている図1の冷
却用シュラウドの拡大斜視図である。
【図3】図1及び図2に示すシュラウドに形成されてい
る冷却用キャビティの拡大断面図である。
【図4】図3に示す第2のキャビティ内の衝突板の斜視
図である。
【符号の説明】
18 タービンシュラウド 22 入口通路 24 排出通路 28、30、32 キャビティ 36 突起 38 ノズル 42 第1の室 44 第2の室 46、56 衝突板 48 開口 50 排出開口 52 第3の室 60 第4の室 62、66 ダクト

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに離間した第1の壁及び第2の壁
    と、該第1の壁と該第2の壁との間に隔設されている衝
    突板をと有しているタービンシュラウドであって、前記
    衝突板は、該衝突板の両側に互いに実質的にシールされ
    た第1の室と第2の室とを画定しており、前記衝突板
    は、該衝突板を貫通している複数の流れ開口を有してお
    り、冷却用スチームが、該開口を通して前記第1の室と
    前記第2の室との間を通流している、タービンシュラウ
    ドと、 前記第1の室と連通している供給通路であって、冷却用
    スチームを前記第1の室に供給し、前記衝突板の開口を
    通して前記第2の室に流し、前記第2の壁を衝突冷却さ
    せる供給通路と、 前記第2の室と連通しており、前記第2の室から流れ出
    る衝突後の冷却用スチームを排出する排出開口と、 前記衝突板に前記第2の室と連通して形成されている少
    なくとも1つのダクトであって、衝突後のスチームの質
    量流量が前記排出開口に向かって下流方向に増加するに
    つれて、該衝突後のスチームの少なくとも一部に増加し
    た流れ面積を提供している、少なくとも1つのダクトと
    を備えたタービンのスチームによる衝突冷却装置。
  2. 【請求項2】 前記衝突板を貫通している流れ開口は、
    衝突後のスチームが前記第2の室に沿って排出通路に向
    かって流れる方向に全体的に平行な複数の列に配列され
    ており、前記ダクトは、前記開口の列の間に設けられて
    いる請求項1に記載の装置。
  3. 【請求項3】 前記衝突板に前記第2の室と連通して形
    成されており、衝突後のスチームの質量流量が前記排出
    開口に向かって下流方向に増加するにつれて、該衝突後
    のスチームの少なくとも一部に増加した流れ面積を提供
    する1つの前記ダクトを含んでいる複数のダクトを含ん
    でいる請求項1に記載の装置。
  4. 【請求項4】 前記ダクトは、前記衝突板に形成されて
    いると共に該衝突板の一方の側から前記第1の壁に向か
    って突出しているチャンネルを含んでいる請求項1に記
    載の装置。
  5. 【請求項5】 前記供給通路は、冷却用スチームを増加
    した速度で前記第1の室に流すノズルを画定している入
    口キャビティを含んでいる請求項1に記載の装置。
  6. 【請求項6】 複数のキャビティを画定しているシュラ
    ウド・ハウジングと、 前記複数のキャビティのうちの第1のキャビティであっ
    て、該第1のキャビティは、冷却用スチームを受け取る
    入口と、スチーム排出通路とを有しており、該第1のキ
    ャビティは、該第1のキャビティを通って前記排出通路
    に流れるスチームの速度を増加させるノズルを画定して
    いる、第1のキャビティと、 前記複数のキャビティのうちの第2のキャビティであっ
    て、該第2のキャビティは、互いに離間した第1の壁及
    び第2の壁と、該第1の壁と該第2の壁との間に隔設さ
    れている衝突板とを有しており、該衝突板は、該衝突板
    の両側に互いに実質的にシールされた第1の室と第2の
    室とを画定しており、前記第1の室は、前記第1のキャ
    ビティからのスチームを受け取るように前記排出通路と
    連通しており、前記衝突板は、該衝突板を貫通している
    複数の流れ開口を有しており、冷却用スチームが、該開
    口を通して前記第1の室から前記第2の室に通流し、前
    記第2のキャビティの前記第2の壁を衝突冷却してい
    る、第2のキャビティと、 前記第2の室と連通しており、該第2の室から流れ出る
    衝突後の冷却用スチームを排出する排出開口と、 前記第2のキャビティの一部を形成しており、前記第2
    の室から前記排出開口に向かって流れる衝突後のスチー
    ムの流れと連通しているダクトであって、前記第2の室
    内での交差流効果を軽減するために、衝突後のスチーム
    の質量流量が前記排出開口に向かって下流方向に増加す
    るにつれて、該衝突後のスチームの少なくとも一部に増
    加した流れ面積を提供している、ダクトとを備えたター
    ビンシュラウドを冷却するシステム。
  7. 【請求項7】 前記ダクトの断面積は、衝突後のスチー
    ムが前記排出開口に向かって流れる下流方向に増加して
    いる請求項6に記載のシステム。
  8. 【請求項8】 前記複数のキャビティのうちの第3のキ
    ャビティであって、該第3のキャビティは、互いに離間
    した第3の壁及び第4の壁と、該第3の壁と該第4の壁
    との間に隔設されている第2の衝突板とを有しており、
    該第2の衝突板は、該第2の衝突板の両側に互いに実質
    的にシールされた第3の室と第4の室とを画定してお
    り、該第3の室は、前記第2のキャビティからの衝突後
    のスチームを受け取るように前記第2の室の排出開口と
    連通しており、前記第2の衝突板は、該第2の衝突板を
    貫通している複数の流れ開口を有しており、冷却用スチ
    ームが、該開口を通して前記第3の室から前記第4の室
    に流通し、該第3のキャビティの前記第4の壁を衝突冷
    却している、第3のキャビティと、 前記第4の室と連通しており、該第4の室から流れ出る
    衝突後の冷却用スチームを排出する排出通路と、 前記第3のキャビティの一部を形成しており、前記第4
    の室と連通しているダクトであって、前記第4の室内で
    の交差流効果を軽減するために、該第4の室に沿って流
    れる衝突後のスチームの質量流量が前記排出通路に向か
    って下流方向に増加するにつれて、該衝突後のスチーム
    の少なくとも一部に増加した流れ面積を提供している、
    ダクトとを含んでいる請求項6に記載のシステム。
  9. 【請求項9】 タービンシュラウドをスチーム衝突によ
    り冷却する方法であって、 冷却用スチームを前記シュラウド内のキャビティに流す
    工程と、 前記キャビティからの冷却用スチームを衝突板に設けら
    れている複数の開口に流す工程であって、前記衝突板
    は、前記キャビティを第1の室と第2の室とに分割して
    いる、前記キャビティからの冷却用スチームを複数の開
    口に流す工程と、 前記開口を通流するスチームを前記シュラウドの壁に衝
    突させて該壁を冷却するように、前記開口を通流するス
    チームを前記第2の室を横切らせる工程と、 前記第2の室内の衝突後の冷却用スチームを排出開口に
    流す工程と、 前記衝突板の開口と前記壁との間の前記スチームの衝突
    後の流れを減少させることにより交差流効果を軽減する
    ために前記第2の室内の衝突後の冷却用スチームに増加
    した流れ面積を提供するように、前記キャビティに少な
    くとも1つのダクトを形成する工程とを備えたタービン
    シュラウドをスチーム衝突により冷却する方法。
  10. 【請求項10】 流れノズルを有している他の流れキャ
    ビティを前記シュラウドに設ける工程と、 冷却用スチームを最初に前記他のキャビティに流し、前
    記ノズルに通してスチーム流れの速度及び前記シュラウ
    ドに沿った対流係数を増加させる工程と、 冷却用スチームを前記他のキャビティから前記第1の室
    に排出する工程とを含んでいる請求項9に記載の方法。
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