JPH08160145A - X-ray detector - Google Patents

X-ray detector

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Publication number
JPH08160145A
JPH08160145A JP6302056A JP30205694A JPH08160145A JP H08160145 A JPH08160145 A JP H08160145A JP 6302056 A JP6302056 A JP 6302056A JP 30205694 A JP30205694 A JP 30205694A JP H08160145 A JPH08160145 A JP H08160145A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scintillator
collimator
ray detector
rays
photodiodes
Prior art date
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Pending
Application number
JP6302056A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Saito
泰男 斉藤
Kazufumi Ihira
和史 伊平
Hiroaki Miyazaki
博明 宮崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP6302056A priority Critical patent/JPH08160145A/en
Publication of JPH08160145A publication Critical patent/JPH08160145A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To improve the assembling accuracy of an X-ray detector by finely dividing a scintillator in the arranging direction of photodiodes. CONSTITUTION: A photoelectric conversion section 1 is constituted by arranging a plurality of photodiodes 3 two-dimensional on the upper surface of a substrate 2. A collimator 4 is provided above the section 1. The collimator 4 controls the incident direction of X rays and is constituted by arranging a plurality of partition plates in a grid-like state in a frame body. A scintillator 7 which converts X rays passed through the collimator 4 into light is provided between the collimator 4 and section 1. The scintillator 7 is constituted by closely arranging a large number of columnar members 8 composed of CsI, etc., two- dimensionally so that the scintillator 7 can be divided finely by the members 8 in the arranging direction of the photodiodes 3. Therefore, no positional deviation occurs between the photodiodes 3 and scintillator 7 and between the scintillator 7 and collimator 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、X線CT装置等に用
いられるX線検出器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray detector used in an X-ray CT apparatus or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】X線断層像を得る際に用いられるX線C
T装置は、寝台と、この寝台上の被検者にX線を曝射す
るX線管と、このX線管と被検者を挟んで対向配置され
たX線検出器と、このX線検出器および前記X線管を被
検者の体軸回りに回転走査する回転走査手段とを備えて
おり、X線検出器から出力される検出信号を画像データ
に再構成してX線断層像を得ている。
2. Description of the Related Art X-ray C used for obtaining an X-ray tomographic image
The T apparatus includes a bed, an X-ray tube that irradiates a subject on the bed with X-rays, an X-ray detector that is arranged to face the subject with the X-ray tube interposed therebetween, and the X-ray. An X-ray tomographic image is provided which includes a detector and rotary scanning means for rotationally scanning the X-ray tube around the body axis of the subject, and reconstructs the detection signal output from the X-ray detector into image data. Is getting

【0003】このようなX線CT装置のX線検出器は、
X線の入射方向を規制するコリメータと、このコリメー
タを通過したX線を感知してシンチレーション光を発生
するシンチレータと、このシンチレータで発生したシン
チレーション光を電気信号に変換するフォトダイオード
とからなり、シンチレータで発生したシンチレーション
光をフォトダイオードで検出して検出信号を出力する構
成となっている。そして、このようなX線検出器を構成
するコリメータ、シンチレータおよびフォトダイオード
は、X線管から放出されるX線が扇状の拡がりを持って
いることから、1次元方向に複数配列されており、アレ
ー状に配列された複数個(例えば512個)の検出素子
を構成している。
The X-ray detector of such an X-ray CT apparatus is
The scintillator includes a collimator that controls the incident direction of X-rays, a scintillator that detects the X-rays that have passed through the collimator to generate scintillation light, and a photodiode that converts the scintillation light generated by the scintillator into an electric signal. The scintillation light generated in 1 is detected by a photodiode and a detection signal is output. The collimator, scintillator, and photodiode that form such an X-ray detector are arranged in a one-dimensional direction because the X-rays emitted from the X-ray tube have a fan-shaped spread. A plurality of (for example, 512) detection elements arranged in an array are configured.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
X線検出器を組立てる場合、従来はフォトダイオードの
上にシンチレータを重ね合わせ、さらにその上にコリメ
ータを重ね合わせてX線検出器を組み立てている。この
ため、従来ではフォトダイオードとシンチレータおよび
フォトダイオード+シンチレータとコリメータとが位置
ずれを起こさないように組み立てる必要があり、X線検
出器の組立てに時間がかかるとともに、熟練した技能を
要するという問題があった。
By the way, in the case of assembling such an X-ray detector, conventionally, a scintillator is superposed on a photodiode, and a collimator is further superposed on the scintillator to assemble the X-ray detector. There is. For this reason, conventionally, it is necessary to assemble the photodiode and the scintillator, and the photodiode + scintillator and the collimator so as not to cause a positional deviation, and it takes a long time to assemble the X-ray detector, and there is a problem that skilled skill is required. there were.

【0005】また、このようなX線検出器をX線CT装
置のローテーションフレームに取り付ける場合、実際に
は分解能の高い画像が要求されるため、X線検出器を構
成する検出素子の中心がX線束の中心から1/4ピッチ
だけオフセットするようにX線検出器をローテーション
フレームに取り付ける必要があり、高い取付け精度が要
求されるという問題があった。この発明は上述した問題
点に鑑みてなされたもので、その目的は組付け精度の向
上を図ることのできるX線検出器を提供しようとするも
のである。
Further, when such an X-ray detector is attached to a rotation frame of an X-ray CT apparatus, an image with high resolution is actually required, so that the center of the detection element constituting the X-ray detector is at the X-axis. The X-ray detector needs to be attached to the rotation frame so as to be offset by 1/4 pitch from the center of the line bundle, which poses a problem that high attachment accuracy is required. The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide an X-ray detector capable of improving the assembling accuracy.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に係る発明は、X線の入射方向を規制す
るコリメータと、このコリメータを通過したX線を感知
してシンチレーション光を発生するシンチレータと、こ
のシンチレータで発生したシンチレーション光を電気信
号に変換するフォトダイオードとを有し、これらのコリ
メータ、シンチレータおよびフォトダイオードを少なく
とも1次元方向に配列してなるX線検出器において、前
記シンチレータを前記コリメータおよび前記フォトダイ
オードの配列方向に細かく分割したことを特徴とするも
のである。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 proposes a scintillation light which senses an X-ray passing through the collimator for regulating the incident direction of the X-ray. In the X-ray detector, which has a scintillator that generates a scintillator and a photodiode that converts the scintillation light generated by the scintillator into an electric signal, and arranges these collimator, scintillator and photodiode in at least one-dimensional direction, The scintillator is finely divided in the arrangement direction of the collimator and the photodiode.

【0007】請求項2に係る発明は、X線の入射方向を
規制するコリメータと、このコリメータを通過したX線
を感知してシンチレーション光を発生するシンチレータ
と、このシンチレータで発生したシンチレーション光を
電気信号に変換するフォトダイオードとを有し、これら
のコリメータ、シンチレータおよびフォトダイオードを
少なくとも1次元方向に配列してなるX線検出器におい
て、前記フォトダイオードを前記コリメータおよび前記
シンチレータの配列方向に細かく分割したことを特徴と
するものである。
According to a second aspect of the present invention, a collimator that regulates the incident direction of X-rays, a scintillator that senses the X-rays that have passed through the collimator, and generates scintillation light, and scintillation light that is generated by the scintillator is electrically generated. In a X-ray detector having a photodiode for converting into a signal, and arranging the collimator, the scintillator and the photodiode in at least one-dimensional direction, the photodiode is finely divided in the arrangement direction of the collimator and the scintillator. It is characterized by having done.

【0008】請求項3に係る発明は、X線の入射方向を
規制するコリメータと、このコリメータを通過したX線
を感知してシンチレーション光を発生するシンチレータ
と、このシンチレータで発生したシンチレーション光を
電気信号に変換するフォトダイオードとを有し、これら
のコリメータ、シンチレータおよびフォトダイオードを
少なくとも1次元方向に配列してなるX線検出器におい
て、前記コリメータを前記シンチレータおよび前記フォ
トダイオードの配列方向に細かく分割したことを特徴と
するものである。
According to a third aspect of the present invention, a collimator that regulates an incident direction of X-rays, a scintillator that senses the X-rays that have passed through the collimator, and generates scintillation light, and scintillation light that is generated by the scintillator is electrically generated. In a X-ray detector having a photodiode for converting into a signal and arranging the collimator, the scintillator and the photodiode in at least one-dimensional direction, the collimator is finely divided in the arrangement direction of the scintillator and the photodiode. It is characterized by having done.

【0009】請求項4に係る発明は、X線の入射方向を
規制するコリメータと、このコリメータを通過したX線
を感知してシンチレーション光を発生するシンチレータ
と、このシンチレータで発生したシンチレーション光を
電気信号に変換するフォトダイオードとを有し、これら
のコリメータ、シンチレータおよびフォトダイオードを
少なくとも1次元方向に配列してなるX線検出器におい
て、前記シンチレータおよび前記フォトダイオードを前
記コリメータの配列方向に細かく分割したことを特徴と
するものである。
According to a fourth aspect of the present invention, a collimator that regulates the incident direction of X-rays, a scintillator that senses the X-rays that have passed through the collimator, and generates scintillation light, and scintillation light that is generated by this scintillator is electrically generated. An X-ray detector having a photodiode for converting into a signal and arranging the collimator, the scintillator, and the photodiode in at least one-dimensional direction, in which the scintillator and the photodiode are finely divided in the arrangement direction of the collimator. It is characterized by having done.

【0010】請求項5に係る発明は、X線の入射方向を
規制するコリメータと、このコリメータを通過したX線
を感知してシンチレーション光を発生するシンチレータ
と、このシンチレータで発生したシンチレーション光を
電気信号に変換するフォトダイオードとを有し、これら
のコリメータ、シンチレータおよびフォトダイオードを
少なくとも1次元方向に配列してなるX線検出器におい
て、前記コリメータおよび前記シンチレータを前記フォ
トダイオードの配列方向に細かく分割したことを特徴と
するものである。
According to a fifth aspect of the present invention, a collimator for controlling the incident direction of X-rays, a scintillator for sensing the X-rays passing through the collimator to generate scintillation light, and a scintillation light generated by the scintillator are electrically generated. An X-ray detector having a photodiode for converting into a signal and arranging the collimator, the scintillator, and the photodiode in at least a one-dimensional direction, in which the collimator and the scintillator are finely divided in the arrangement direction of the photodiode. It is characterized by having done.

【0011】請求項6に係る発明は、X線の入射方向を
規制するコリメータと、このコリメータを通過したX線
を感知してシンチレーション光を発生するシンチレータ
と、このシンチレータで発生したシンチレーション光を
電気信号に変換するフォトダイオードとを有し、これら
のコリメータ、シンチレータおよびフォトダイオードを
少なくとも1次元方向に配列してなるX線検出器におい
て、前記コリメータおよび前記フォトダイオードを前記
シンチレータの配列方向に細かく分割したことを特徴と
するものである。
According to a sixth aspect of the present invention, a collimator that regulates the incident direction of X-rays, a scintillator that senses the X-rays that have passed through the collimator, and generates scintillation light, and scintillation light that is generated by the scintillator is electrically generated. An X-ray detector having a photodiode for converting into a signal and arranging the collimator, the scintillator, and the photodiode in at least a one-dimensional direction, in which the collimator and the photodiode are finely divided in the arrangement direction of the scintillator. It is characterized by having done.

【0012】請求項7に係る発明は、X線の入射方向を
規制するコリメータと、このコリメータを通過したX線
を感知してシンチレーション光を発生するシンチレータ
と、このシンチレータで発生したシンチレーション光を
電気信号に変換するフォトダイオードとを有し、これら
のコリメータ、シンチレータおよびフォトダイオードを
少なくとも1次元方向に配列してなるX線検出器におい
て、前記コリメータおよび前記シンチレータおよび前記
フォトダイオードをそれらの配列方向に細かく分割した
ことを特徴とするものである。請求項8に係る発明は、
請求項1、4、5、7記載のX線検出器において、X線
の入射方向にシンチレータブロックを積層したことを特
徴とするものである。
According to a seventh aspect of the present invention, a collimator for controlling the incident direction of X-rays, a scintillator for detecting the X-rays passing through the collimator to generate scintillation light, and a scintillation light generated by the scintillator are electrically generated. A photodiode for converting into a signal, and an X-ray detector comprising these collimators, scintillators, and photodiodes arranged in at least a one-dimensional direction, wherein the collimators, the scintillators, and the photodiodes are arranged in their arrangement direction. It is characterized by being finely divided. The invention according to claim 8 is
The X-ray detector according to any one of claims 1, 4, 5 and 7 is characterized in that scintillator blocks are laminated in the X-ray incident direction.

【0013】[0013]

【作用】請求項1に係る発明では、シンチレータをコリ
メータおよびフォトダイオードの配列方向に細かく分割
することにより、フォトダイオードとシンチレータおよ
びシンチレータとコリメータとの間に位置的なずれが生
ずることがないので、X線検出器を容易に組み立てるこ
とができる。
In the invention according to claim 1, since the scintillator is finely divided in the arrangement direction of the collimator and the photodiode, there is no positional deviation between the photodiode and the scintillator and between the scintillator and the collimator. The X-ray detector can be easily assembled.

【0014】請求項2に係る発明では、フォトダイオー
ドをコリメータおよびシンチレータの配列方向に細かく
分割することにより、ローテーションフレームへの取付
け精度を緩和することができる。
According to the second aspect of the present invention, the photodiodes are finely divided in the arrangement direction of the collimator and the scintillator, whereby the accuracy of attachment to the rotation frame can be eased.

【0015】[0015]

【実施例】以下、この発明の第1の実施例について図1
ないし図4を参照して説明する。図1および図2におい
て、1はX線検出器の光電変換部であり、この光電変換
部1は、図3に示すように、基板2の上面に複数のフォ
トダイオード3を2次元方向に配設して構成されてい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
It will be described with reference to FIGS. In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a photoelectric conversion unit of an X-ray detector. As shown in FIG. 3, the photoelectric conversion unit 1 has a plurality of photodiodes 3 arranged on a top surface of a substrate 2 in a two-dimensional direction. It is constructed and set up.

【0016】前記光電変換部1の上方には、コリメータ
4が設けられている。このコリメータ4はX線の入射方
向を規制するもので、図1に示すように、枠体5の内側
に複数の仕切板6を格子状に配設して構成されている。
A collimator 4 is provided above the photoelectric conversion unit 1. This collimator 4 regulates the incident direction of X-rays, and as shown in FIG. 1, is formed by arranging a plurality of partition plates 6 inside the frame 5 in a grid pattern.

【0017】前記コリメータ4と前記光電変換部1との
間には、コリメータ4を通過したX線を光に変換するシ
ンチレータ7が設けられている。このシンチレータ7
は、図4に示すように、CsI等からなる多数の柱状部
材8を2次元方向に密に配設して構成されており、これ
らの柱状部材8によりフォトダイオード3の配設方向に
細分化されている(図1参照)。
A scintillator 7 for converting the X-rays passing through the collimator 4 into light is provided between the collimator 4 and the photoelectric converter 1. This scintillator 7
As shown in FIG. 4, a plurality of columnar members 8 made of CsI or the like are densely arranged in the two-dimensional direction, and these columnar members 8 subdivide the photodiode 3 in the arrangement direction. (See FIG. 1).

【0018】なお、図1中9はシンチレータ7からの光
を反射する反射部材であり、この反射部材9はシンチレ
ータ7を支持する支持部材を兼ねている。このような構
成のX線検出器は、光電変換部1の上面にシンチレータ
7を接着固定し、さらにシンチレータ7の上面にコリメ
ータ4を接着固定して組み立てられる。このとき、シン
チレータ7は柱状部材8によりフォトダイオード3の配
設方向に細分化されているので、フォトダイオード3と
シンチレータ7およびシンチレータ7とコリメータ4と
の間に位置ずれが生ずることはない。
Incidentally, reference numeral 9 in FIG. 1 denotes a reflecting member for reflecting the light from the scintillator 7, and this reflecting member 9 also serves as a supporting member for supporting the scintillator 7. The X-ray detector having such a structure is assembled by adhering and fixing the scintillator 7 to the upper surface of the photoelectric conversion unit 1 and further adhering and fixing the collimator 4 to the upper surface of the scintillator 7. At this time, since the scintillator 7 is subdivided in the arrangement direction of the photodiode 3 by the columnar member 8, there is no displacement between the photodiode 3 and the scintillator 7, and between the scintillator 7 and the collimator 4.

【0019】したがって、この発明の第1の実施例によ
れば、熟練した技能を要することなくX線検出器を短時
間で組み立てることができる。次に、この発明の第2の
実施例について図5ないし図8を参照して説明する。図
5および図6において、11はX線の入射方向を規制す
るコリメータで、このコリメータ11は、図6に示すよ
うに、枠体12の内側に複数の仕切板13を格子状に配
設して構成されている。
Therefore, according to the first embodiment of the present invention, the X-ray detector can be assembled in a short time without requiring skilled skill. Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 5 and FIG. 6, 11 is a collimator that regulates the incident direction of X-rays. As shown in FIG. 6, this collimator 11 has a plurality of partition plates 13 arranged in a grid inside a frame body 12. Is configured.

【0020】前記コリメータ11の下面には、シンチレ
ータ14が接着固定されている。このシンチレータ14
はコリメータ11を通過したX線を光に変換するもの
で、図7に示すように、コリメータ11の仕切板13に
よって形成された格子窓と対応する大きさのシンチレー
タ部材15を2次元方向に複数配設し、これらシンチレ
ータ部材15の間に遮光部材16を設けて構成されてい
る。
A scintillator 14 is adhesively fixed to the lower surface of the collimator 11. This scintillator 14
Is for converting X-rays that have passed through the collimator 11 into light. As shown in FIG. 7, a plurality of scintillator members 15 having a size corresponding to the lattice window formed by the partition plate 13 of the collimator 11 are arranged in a two-dimensional direction. The scintillator members 15 are arranged and a light shielding member 16 is provided between the scintillator members 15.

【0021】前記シンチレータ14の下面には、シンチ
レータ14からの光を光電変換する光電変換部17が接
着剤層20を介して接着固定されている。この光電変換
部17は、図8に示すように、基板18の上面に多数の
光電変換素子19を2次元方向に配設して構成されてお
り、これらの光電変換素子19によりシンチレータ部材
15の配設方向に細分化されている(図5参照)。
On the lower surface of the scintillator 14, a photoelectric conversion section 17 for photoelectrically converting light from the scintillator 14 is adhered and fixed via an adhesive layer 20. As shown in FIG. 8, the photoelectric conversion unit 17 is configured by arranging a large number of photoelectric conversion elements 19 on a top surface of a substrate 18 in a two-dimensional direction, and these photoelectric conversion elements 19 form the scintillator member 15. It is subdivided in the arrangement direction (see FIG. 5).

【0022】前記シンチレータ14は光電変換素子19
に直接、接着固定されている。また、前記光電変換素子
19は基板18の上面に等ピッチで一面に並べられてお
り、光電変換素子19がどのシンチレータ14の出力を
受けているかの判断は、検出器をローテーションフレー
ムに取り付けた後に、X線を照射し、光電変換素子19
の出力を見ることにより、コリメータ11の影から別の
影までを1チャンネルとして区別する。つまり、コリメ
ータ11の影となる部分の光電変換素子19の出力は、
他の光電変換素子19の出力よりも低くなるので、コリ
メータ11の影となる部分の光電変換素子19間を1チ
ャンネルとする。
The scintillator 14 is a photoelectric conversion element 19
Directly bonded and fixed to. Further, the photoelectric conversion elements 19 are arranged on the upper surface of the substrate 18 all over at an equal pitch, and the judgment of which scintillator 14 the photoelectric conversion elements 19 receive is determined after the detector is mounted on the rotation frame. , X-ray irradiation, and photoelectric conversion element 19
By observing the output of, the shadow from the collimator 11 to another shadow is distinguished as one channel. That is, the output of the photoelectric conversion element 19 in the shadow of the collimator 11 is
Since the output is lower than the output of the other photoelectric conversion elements 19, one channel is provided between the photoelectric conversion elements 19 in the shadow of the collimator 11.

【0023】このような構成のX線検出器は、シンチレ
ータ14からの光を光電変換する光電変換部17が多数
の光電変換素子19によりシンチレータ部材15の配設
方向に細分化されているので、X線束の中心から1/4
ピッチだけオフセットするようにX線検出器をX線CT
装置のローテーションフレームに取り付けなくても高分
解能の画像を得ることができる。
In the X-ray detector having such a structure, the photoelectric conversion section 17 for photoelectrically converting the light from the scintillator 14 is subdivided in the direction in which the scintillator member 15 is arranged by a large number of photoelectric conversion elements 19. 1/4 from the center of the X-ray flux
X-ray CT the X-ray detector so that it is offset by the pitch
High resolution images can be obtained without attaching to the rotation frame of the device.

【0024】したがって、この発明の第2の実施例によ
れば、X線CT装置のローテーションフレームに対する
X線検出器の取付け精度を緩和することができる。次
に、この発明の第3の実施例について図9ないし図12
を参照して説明する。図9および図10において、21
はX線検出器の光電変換部であり、この光電変換部21
は、図11に示すように、基板22の上面に複数のフォ
トダイオード23を2次元方向に配設して構成されてい
る。
Therefore, according to the second embodiment of the present invention, the mounting accuracy of the X-ray detector on the rotation frame of the X-ray CT apparatus can be relaxed. Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
Will be described with reference to. In FIGS. 9 and 10, 21
Is a photoelectric conversion unit of the X-ray detector, and this photoelectric conversion unit 21
11, a plurality of photodiodes 23 are two-dimensionally arranged on the upper surface of the substrate 22, as shown in FIG.

【0025】前記光電変換部21の上面には、シンチレ
ータ24が接着固定されている。このシンチレータ24
はX線を光に変換するもので、図12に示すように、2
次元方向に配設された複数のシンチレータ部材25の間
に遮光部材26を設けて構成されている。
A scintillator 24 is adhesively fixed to the upper surface of the photoelectric conversion section 21. This scintillator 24
Is for converting X-rays into light, and as shown in FIG.
A light blocking member 26 is provided between a plurality of scintillator members 25 arranged in the dimensional direction.

【0026】前記シンチレータ24の上面には、X線の
入射方向を規制するコリメータ27が接着固定されてい
る。このコリメータ27は、図10に示すように、枠体
28の内側に複数の仕切板29を格子状に配設して構成
されており、これらの仕切板29によりフォトダイオー
ド23の配設方向に細分化されている。
On the upper surface of the scintillator 24, a collimator 27 that regulates the incident direction of X-rays is adhered and fixed. As shown in FIG. 10, this collimator 27 is configured by arranging a plurality of partition plates 29 inside the frame 28 in a grid pattern, and these partition plates 29 allow the photodiodes 23 to be arranged in the mounting direction. It is subdivided.

【0027】なお、図9中30はシンチレータ24から
の光を反射する反射部材であり、この反射部材30はシ
ンチレータ24を支持する支持部材を兼ねている。この
ような構成のX線検出器は、光電変換部21の上面にシ
ンチレータ24を接着固定し、さらにシンチレータ24
の上面にコリメータ27を接着固定して組み立てられ
る。このとき、コリメータ27は仕切板29によりフォ
トダイオード23の配設方向に細分化されているので、
シンチレータ24とコリメータ27との間に位置ずれが
生ずることはない。
A reference numeral 30 in FIG. 9 is a reflecting member for reflecting the light from the scintillator 24, and this reflecting member 30 also serves as a supporting member for supporting the scintillator 24. In the X-ray detector having such a configuration, the scintillator 24 is bonded and fixed to the upper surface of the photoelectric conversion unit 21, and the scintillator 24 is further attached.
The collimator 27 is bonded and fixed to the upper surface of the assembly. At this time, the collimator 27 is subdivided in the arrangement direction of the photodiodes 23 by the partition plate 29.
There is no displacement between the scintillator 24 and the collimator 27.

【0028】次に、この発明の第4の実施例について図
13および図14を参照して説明する。図13におい
て、1は基板2の上面に複数のフォトダイオード3をマ
トリクス状に配設してなる光電変換部であり、この光電
変換部1の図中上部には、シンチレータ7およびコリメ
ータ4が設けられている。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 13 and 14. In FIG. 13, reference numeral 1 denotes a photoelectric conversion unit in which a plurality of photodiodes 3 are arranged in a matrix on the upper surface of a substrate 2, and a scintillator 7 and a collimator 4 are provided above the photoelectric conversion unit 1 in the figure. Has been.

【0029】前記シンチレータ7は、複数のシンチレー
タブロック7a,7b,7c,7dをX線の入射方向
(図中上下方向)に積層して構成されている。これらの
シンチレータブロック7a,7b,7c,7dは、図1
4に示すように、柱状に結晶化した多数のCsI8から
なり、これらのCsI8にX線が入射すると、CsI8
からシンチレーション光が発生するようになっている。
なお、図中30は接着剤である。
The scintillator 7 is constructed by stacking a plurality of scintillator blocks 7a, 7b, 7c, 7d in the X-ray incident direction (vertical direction in the figure). These scintillator blocks 7a, 7b, 7c, 7d are shown in FIG.
As shown in FIG. 4, it is composed of a large number of columnar crystallized CsI8, and when X-rays enter these CsI8, CsI8
The scintillation light is generated from.
In the figure, 30 is an adhesive.

【0030】前記コリメータ4はフォトダイオード3に
対応した複数のX線入射窓4aを有しており、これらの
X線入射窓4aでX線の入射方向を規制している。な
お、図中9はシンチレータ7からの光を反射する反射部
材であり、この反射部材9はシンチレータ7を支持する
支持部材を兼ねている。
The collimator 4 has a plurality of X-ray entrance windows 4a corresponding to the photodiodes 3, and these X-ray entrance windows 4a regulate the X-ray entrance direction. Reference numeral 9 in the figure denotes a reflecting member that reflects the light from the scintillator 7, and this reflecting member 9 also serves as a supporting member that supports the scintillator 7.

【0031】上記のように構成されるX線検出器は、光
電変換部1の上面にシンチレータ7を接着固定し、さら
にシンチレータ7の上面にコリメータ4を接着固定して
組み立てられる。このとき、シンチレータ7は多数のC
sI8で構成されているので、フォトダイオード3とシ
ンチレータ7およびシンチレータ7とコリメータ4との
間に位置ずれが生ずることはない。
The X-ray detector constructed as described above is assembled by adhering and fixing the scintillator 7 to the upper surface of the photoelectric conversion unit 1 and further adhering and fixing the collimator 4 to the upper surface of the scintillator 7. At this time, the scintillator 7 has a large number of Cs.
Since it is composed of sI8, there is no displacement between the photodiode 3 and the scintillator 7, and between the scintillator 7 and the collimator 4.

【0032】また、シンチレータ7にCsI等を用いた
場合、現在のところ、柱状結晶のX線パス方向に十分な
長さの結晶が得られないので、十分なX線の吸収が得ら
れない。そこで、図14に示したように、多数のCsI
8からなるシンチレータブロック7a,7b,7c,7
dをX線の入射方向に積層してシンチレータ7を形成す
ることにより、X線の十分な吸収を得ることができる。
Further, when CsI or the like is used for the scintillator 7, at present, a crystal having a sufficient length in the X-ray path direction of the columnar crystal cannot be obtained, so that sufficient X-ray absorption cannot be obtained. Therefore, as shown in FIG.
8 scintillator blocks 7a, 7b, 7c, 7
By stacking d in the incident direction of X-rays to form the scintillator 7, sufficient absorption of X-rays can be obtained.

【0033】なお、上述した各実施例では、フォトダイ
オードを2次元方向に配設したX線検出器について説明
したが、フォトダイオードを1次元方向のみに配設した
X線検出器についても適用可能である。また、光電変換
部、シンチレータおよびコリメータのすべてを細分化し
ても良い。
In each of the above-mentioned embodiments, the X-ray detector in which the photodiodes are arranged in the two-dimensional direction has been described, but it is also applicable to the X-ray detector in which the photodiodes are arranged only in the one-dimensional direction. Is. Further, all of the photoelectric conversion unit, the scintillator and the collimator may be subdivided.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、組付け精度の向上を図ることのできるX線検出器を
提供できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide the X-ray detector capable of improving the assembling accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の第1の実施例に係るX線検出器の要
部を示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing a main part of an X-ray detector according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同実施例に係るX線検出器の斜視図。FIG. 2 is a perspective view of an X-ray detector according to the same embodiment.

【図3】同実施例に係るX線検出器の光電変換部の構成
図。
FIG. 3 is a configuration diagram of a photoelectric conversion unit of the X-ray detector according to the embodiment.

【図4】同実施例に係るX線検出器のシンチレータの構
成図。
FIG. 4 is a configuration diagram of a scintillator of the X-ray detector according to the embodiment.

【図5】この発明の第2の実施例に係るX線検出器の要
部を示す断面図。
FIG. 5 is a sectional view showing a main part of an X-ray detector according to a second embodiment of the present invention.

【図6】同実施例に係るX線検出器の斜視図。FIG. 6 is a perspective view of an X-ray detector according to the same embodiment.

【図7】同実施例に係るX線検出器のシンチレータの構
成図。
FIG. 7 is a configuration diagram of a scintillator of the X-ray detector according to the embodiment.

【図8】同実施例に係るX線検出器の光電変換部の構成
図。
FIG. 8 is a configuration diagram of a photoelectric conversion unit of the X-ray detector according to the embodiment.

【図9】この発明の第3の実施例に係るX線検出器の要
部を示す断面図。
FIG. 9 is a sectional view showing an essential part of an X-ray detector according to a third embodiment of the present invention.

【図10】同実施例に係るX線検出器の斜視図。FIG. 10 is a perspective view of the X-ray detector according to the embodiment.

【図11】同実施例に係るX線検出器の光電変換部の構
成図。
FIG. 11 is a configuration diagram of a photoelectric conversion unit of the X-ray detector according to the embodiment.

【図12】同実施例に係るX線検出器のシンチレータの
構成図。
FIG. 12 is a configuration diagram of a scintillator of the X-ray detector according to the same embodiment.

【図13】この発明の第4の実施例に係るX線検出器の
要部を示す断面図。
FIG. 13 is a sectional view showing an essential part of an X-ray detector according to a fourth embodiment of the present invention.

【図14】同実施例のシンチレータブロックの構成を示
す断面図。
FIG. 14 is a cross-sectional view showing a configuration of a scintillator block of the same embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,17,21…光電変換部 3,19,23…フォトダイオード 5,12,28…コリメータ 7,14,24…シンチレータ 7a,7b,7c,7d…シンチレータブロック 1, 17, 21 ... Photoelectric conversion section 3, 19, 23 ... Photodiode 5, 12, 28 ... Collimator 7, 14, 24 ... Scintillator 7a, 7b, 7c, 7d ... Scintillator block

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 X線の入射方向を規制するコリメータ
と、このコリメータを通過したX線を感知してシンチレ
ーション光を発生するシンチレータと、このシンチレー
タで発生したシンチレーション光を電気信号に変換する
フォトダイオードとを有し、これらのコリメータ、シン
チレータおよびフォトダイオードを少なくとも1次元方
向に配列してなるX線検出器において、 前記シンチレータを前記コリメータおよび前記フォトダ
イオードの配列方向に細かく分割したことを特徴とする
X線検出器。
1. A collimator for restricting an incident direction of X-rays, a scintillator for detecting the X-rays passing through the collimator to generate scintillation light, and a photodiode for converting the scintillation light generated by the scintillator into an electric signal. And an X-ray detector having these collimators, scintillators, and photodiodes arranged in at least one-dimensional direction, wherein the scintillators are finely divided in the arrangement direction of the collimators and the photodiodes. X-ray detector.
【請求項2】 X線の入射方向を規制するコリメータ
と、このコリメータを通過したX線を感知してシンチレ
ーション光を発生するシンチレータと、このシンチレー
タで発生したシンチレーション光を電気信号に変換する
フォトダイオードとを有し、これらのコリメータ、シン
チレータおよびフォトダイオードを少なくとも1次元方
向に配列してなるX線検出器において、 前記フォトダイオードを前記コリメータおよび前記シン
チレータの配列方向に細かく分割したことを特徴とする
X線検出器。
2. A collimator for controlling the incident direction of X-rays, a scintillator for detecting the X-rays passing through the collimator to generate scintillation light, and a photodiode for converting the scintillation light generated by the scintillator into an electric signal. And an X-ray detector in which these collimators, scintillators, and photodiodes are arranged in at least a one-dimensional direction, wherein the photodiodes are finely divided in the arrangement direction of the collimators and the scintillators. X-ray detector.
【請求項3】 X線の入射方向を規制するコリメータ
と、このコリメータを通過したX線を感知してシンチレ
ーション光を発生するシンチレータと、このシンチレー
タで発生したシンチレーション光を電気信号に変換する
フォトダイオードとを有し、これらのコリメータ、シン
チレータおよびフォトダイオードを少なくとも1次元方
向に配列してなるX線検出器において、 前記コリメータを前記シンチレータおよび前記フォトダ
イオードの配列方向に細かく分割したことを特徴とする
X線検出器。
3. A collimator for controlling the incident direction of X-rays, a scintillator for generating scintillation light by sensing the X-rays passing through the collimator, and a photodiode for converting the scintillation light generated by this scintillator into an electric signal. And an X-ray detector in which these collimators, scintillators, and photodiodes are arranged in at least one-dimensional direction, wherein the collimator is finely divided in the arrangement direction of the scintillators and the photodiodes. X-ray detector.
【請求項4】 X線の入射方向を規制するコリメータ
と、このコリメータを通過したX線を感知してシンチレ
ーション光を発生するシンチレータと、このシンチレー
タで発生したシンチレーション光を電気信号に変換する
フォトダイオードとを有し、これらのコリメータ、シン
チレータおよびフォトダイオードを少なくとも1次元方
向に配列してなるX線検出器において、 前記シンチレータおよび前記フォトダイオードを前記コ
リメータの配列方向に細かく分割したことを特徴とする
X線検出器。
4. A collimator that regulates the incident direction of X-rays, a scintillator that senses the X-rays that have passed through the collimator, and generates scintillation light, and a photodiode that converts the scintillation light generated by the scintillator into an electrical signal. And an X-ray detector having these collimators, scintillators, and photodiodes arranged in at least a one-dimensional direction, wherein the scintillators and the photodiodes are finely divided in the arrangement direction of the collimators. X-ray detector.
【請求項5】 X線の入射方向を規制するコリメータ
と、このコリメータを通過したX線を感知してシンチレ
ーション光を発生するシンチレータと、このシンチレー
タで発生したシンチレーション光を電気信号に変換する
フォトダイオードとを有し、これらのコリメータ、シン
チレータおよびフォトダイオードを少なくとも1次元方
向に配列してなるX線検出器において、 前記コリメータおよび前記シンチレータを前記フォトダ
イオードの配列方向に細かく分割したことを特徴とする
X線検出器。
5. A collimator that regulates the incident direction of X-rays, a scintillator that senses the X-rays that have passed through the collimator, and generates scintillation light, and a photodiode that converts the scintillation light generated by the scintillator into an electrical signal. And an X-ray detector in which these collimators, scintillators, and photodiodes are arranged in at least a one-dimensional direction, wherein the collimators and the scintillators are finely divided in the arrangement direction of the photodiodes. X-ray detector.
【請求項6】 X線の入射方向を規制するコリメータ
と、このコリメータを通過したX線を感知してシンチレ
ーション光を発生するシンチレータと、このシンチレー
タで発生したシンチレーション光を電気信号に変換する
フォトダイオードとを有し、これらのコリメータ、シン
チレータおよびフォトダイオードを少なくとも1次元方
向に配列してなるX線検出器において、 前記コリメータおよび前記フォトダイオードを前記シン
チレータの配列方向に細かく分割したことを特徴とする
X線検出器。
6. A collimator for controlling the incident direction of X-rays, a scintillator for detecting the X-rays passing through the collimator to generate scintillation light, and a photodiode for converting the scintillation light generated by the scintillator into an electric signal. And an X-ray detector in which the collimator, the scintillator, and the photodiode are arranged in at least one-dimensional direction, wherein the collimator and the photodiode are finely divided in the arrangement direction of the scintillator. X-ray detector.
【請求項7】 X線の入射方向を規制するコリメータ
と、このコリメータを通過したX線を感知してシンチレ
ーション光を発生するシンチレータと、このシンチレー
タで発生したシンチレーション光を電気信号に変換する
フォトダイオードとを有し、これらのコリメータ、シン
チレータおよびフォトダイオードを少なくとも1次元方
向に配列してなるX線検出器において、 前記コリメータおよび前記シンチレータおよび前記フォ
トダイオードをそれらの配列方向に細かく分割したこと
を特徴とするX線検出器。
7. A collimator for controlling the incident direction of X-rays, a scintillator for detecting the X-rays passing through the collimator to generate scintillation light, and a photodiode for converting the scintillation light generated by the scintillator into an electric signal. And an X-ray detector having these collimators, scintillators, and photodiodes arranged in at least a one-dimensional direction, wherein the collimator, the scintillators, and the photodiodes are finely divided in their arrangement direction. And an X-ray detector.
【請求項8】 請求項1、4、5、7記載のX線検出器
において、 X線の入射方向にシンチレータブロックを積層したこと
を特徴とするX線検出器。
8. The X-ray detector according to claim 1, wherein the scintillator blocks are laminated in the X-ray incident direction.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001174563A (en) * 1999-12-15 2001-06-29 Ge Yokogawa Medical Systems Ltd X-ray detector and x-ray ct device
JP2007527122A (en) * 2004-03-05 2007-09-20 インテバック・インコーポレイテッド Solid image device with thinned back
WO2010095530A1 (en) * 2009-02-20 2010-08-26 浜松ホトニクス株式会社 Radiation detection device
JP2011106887A (en) * 2009-11-13 2011-06-02 Hitachi Ltd Radiographic imaging apparatus and nuclear medical diagnostic apparatus using the same
WO2012026222A1 (en) * 2010-08-25 2012-03-01 富士フイルム株式会社 Grid for capturing radiation image, method for manufacturing same, and radiation image capturing system
WO2016076824A1 (en) * 2014-11-10 2016-05-19 Halliburton Energy Services, Inc. Energy detection apparatus, methods, and systems

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001174563A (en) * 1999-12-15 2001-06-29 Ge Yokogawa Medical Systems Ltd X-ray detector and x-ray ct device
JP2007527122A (en) * 2004-03-05 2007-09-20 インテバック・インコーポレイテッド Solid image device with thinned back
WO2010095530A1 (en) * 2009-02-20 2010-08-26 浜松ホトニクス株式会社 Radiation detection device
JP2010190830A (en) * 2009-02-20 2010-09-02 Hamamatsu Photonics Kk Radiation detection device
US20120025086A1 (en) * 2009-02-20 2012-02-02 Hamamatsu Photonics K.K. Radiation detection device
JP2011106887A (en) * 2009-11-13 2011-06-02 Hitachi Ltd Radiographic imaging apparatus and nuclear medical diagnostic apparatus using the same
WO2012026222A1 (en) * 2010-08-25 2012-03-01 富士フイルム株式会社 Grid for capturing radiation image, method for manufacturing same, and radiation image capturing system
WO2016076824A1 (en) * 2014-11-10 2016-05-19 Halliburton Energy Services, Inc. Energy detection apparatus, methods, and systems
US10126433B2 (en) 2014-11-10 2018-11-13 Halliburton Energy Services, Inc. Energy detection apparatus, methods, and systems
US10281593B2 (en) 2014-11-10 2019-05-07 Halliburton Energy Services, Inc. Energy detection apparatus, methods, and systems

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