JPH08159810A - リニアエンコーダ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リニアモータの磁極位置を求めることができ
るリニアエンコーダ装置を提供する。 【構成】 リニアモータに設けるリニアエンコーダ装置
において、リニアモータの磁極の周期と同周期の信号を
出力するよう構成するものであり、リニアモータの磁極
と一定の位置関係に設置された指標部と、指標部を検出
する検出部とを備え、検出部から磁極の周期と同周期の
信号を出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リニアエンコーダ装置
に関し、特に、リニアモータを制御するための位置検出
を行なうリニアエンコーダ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に電磁力によって直線的な運動ある
いは往復運動を与える駆動装置としてリニアモータが知
られており、また直線的な運動あるいは往復運動を行な
う移動体の位置を求める検出装置としてリニアエンコー
ダ装置が知られている。

【０００３】従来知られているリニアエンコーダ装置
は、移動体の位置を求めることを目的とするものである
ため、移動体の移動に同期した周期的なパルスを出力す
るよう構成されている。このようなリニアエンコーダ装
置として、例えば、固定側に設けた固定スリットに対し
て、移動スリットを移動体と共に移動可能に設置し、移
動体の移動に伴う両スリットの重なりの程度を光検出器
等によって検出する検出手段が知られている。

【０００４】そして、従来リニアエンコーダ装置をリニ
アモータに設置する場合には、リニアモータによって移
動される移動体の位置や移動量を求めることを目的とし
て、リニアモータにリニアエンコーダ装置を併設してい
る。

【０００５】図８は従来のリニアモータに設置したリニ
アエンコーダ装置の概略図であり、図９は従来のリニア
モータに設置したリニアエンコーダ装置の出力を説明す
るための図である。図８において、従来のリニアエンコ
ーダ装置２はリニアモータ１に併設されており、位置エ
ンコーダ３及び原点位置エンコーダ４を備えている。位
置エンコーダ３はリニアモータによる駆動される移動体
の位置を検出するためのエンコーダであり、また、原点
位置エンコーダ４は移動体の基準位置を検出するための
エンコーダである。

【０００６】位置エンコーダ３及び原点位置エンコーダ
４を固定スリット２２，移動スリット２１及び光検出器
の検出手段によって構成することができる。この場合に
は、位置エンコーダ３は移動方向に沿って連続して形成
されたスリットを有する固定スリット３２と移動スリッ
ト３１を備え、原点位置エンコーダ４は基準の位置に設
けられた固定スリット４２と移動スリット４１を備えて
いる。そして、固定スリット３２と移動スリット３１の
両方のスリットを通過した光を光検出器で検出し、該検
出信号を位置信号生成手段８において信号処理すること
によって位置出力を得ている。図９は、この位置エンコ
ーダ３及び原点位置エンコーダ４の検出出力の概略を示
すものである。位置エンコーダ３から得られる出力をパ
ルス化した信号をカウントすることによって移動体のイ
ンクリメンタルな位置を求めることができ、また、原点
位置エンコーダ４から得られる出力をパルス化した信号
によって基準位置を求めることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
リニアエンコーダ装置においては、リニアモータの駆動
制御に適した位置信号を得ることができないという問題
点を有している。

【０００８】従来のリニアエンコーダ装置は、移動体の
位置や移動量を求めることを主たる目的としており、該
移動体を駆動するリニアモータの制御については考慮さ
れていない。

【０００９】一般に、リニアモータの駆動制御において
は、コイルに供給する駆動電流を順に切り替えることに
よって駆動を行なっており、磁極位置に応じてコイルへ
供給する電流の位相を合わせることが重要である。この
コイルへの供給電流の位相にずれが生じている場合に
は、リニアモータは充分なトルクが発生しないため、摩
擦力によって停止したままとなる。この状態でコイルへ
の供給電流を増加させると、許容電流を超えたり、発生
トルクが摩擦力を超えた時点で動き出してトルクが急増
し、リニアモータを損傷させる虞がある。

【００１０】そのため、リニアモータにおいて駆動制御
を行なうためには、コイルへ供給する電流の位相を適正
なものとするために、磁極の位置を知ることが必要な事
項となっている。

【００１１】しかしながら、従来のリニアエンコーダ装
置の出力とリニアモータの磁極との間には何等の関係も
なく、リニアエンコーダ装置の出力からリニアモータの
磁極の位置関係を求めるには複雑な演算を要することに
なる。そのため、リニアエンコーダ装置の出力を用いて
リニアモータの制御を行なうためには、前記演算により
磁極との位置関係を求めながら、モータコイルへの制御
信号を出力する必要があるが、演算速度の関係から容易
に行なうことはできず、良好な駆動制御を行なうことが
できない。

【００１２】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決して、リニアモータの磁極位置を求めることができ
るリニアエンコーダ装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、リニアモータ
に設けるリニアエンコーダ装置であって、リニアモータ
の磁極の周期と同周期の信号を出力することによって、
前記目的を達成するものである。また、本発明はリニア
モータに設けるリニアエンコーダ装置であって、リニア
モータの磁極の周期と同周期の信号とインクリメンタル
信号と原点位置信号を出力することによって、前記目的
を達成するものである。また、本発明はリニアモータに
設けるリニアエンコーダ装置であって、リニアモータの
磁極と一定の位置関係に設置された指標部と、指標部を
検出する検出部とを備え、検出部から磁極の周期と同周
期の信号を出力することによって、前記目的を達成する
ものである。さらに、本発明はリニアモータに設けるリ
ニアエンコーダ装置であって、リニアモータの磁極と一
定の位置関係に設置された指標部、インクリメンタル用
指標部、原点位置用指標部と、これら指標部を検出する
検出部とを備え、検出部は磁極の周期と同周期の信号、
インクリメンタル信号、原点位置信号とを出力すること
によって、前記目的を達成するものである。

【００１４】本発明のリニアエンコーダ装置は、リニア
モータに設置されてリニアモータの磁極位置を求めるこ
とができる装置であり、その出力信号はリニアモータの
磁極と同じ周期の信号であり、位相が異なる複数個の同
周期の信号により構成することができる。

【００１５】また、本発明のリニアエンコーダ装置の出
力信号は、リニアモータの隣接する磁極間の周期を一磁
極周期とする周期信号であり、一磁極周期内における位
置を位相が異なる複数個の同周期の出力信号により区間
指定することができる。この区間指定は、位相が異なる
複数個の同周期の出力信号の組み合わせによって定める
ことができる。

【００１６】また、本発明のリニアエンコーダ装置の出
力信号をリニアモータのコイルに供給することによっ
て、リニアモータを少なくとも一磁極周期内で移動させ
ることができる。

【００１７】

【作用】本発明のリニアエンコーダ装置によれば、リニ
アエンコーダ装置の出力信号の周期はリニアモータの磁
極の周期と同周期であり、該出力信号を検出することに
よってリニアモータの磁極位置の情報を得ることができ
る。リニアモータの隣接する磁極間の周期を一磁極周期
とすると、リニアエンコーダ装置の出力信号は、この一
磁極周期内で増減することになる。したがって、このリ
ニアモータの磁極の周期と同周期であるリニアエンコー
ダ装置の出力信号によって、リニアモータの磁極位置を
知ることができる。

【００１８】そこで、この一磁極周期内において、位相
が異なる複数個のリニアエンコーダ装置の出力信号を求
めると、該出力信号の組み合わせと磁極位置との間に対
応関係を持たせることができる。この出力信号の組み合
わせによる磁極位置の対応関係は、一磁極周期内を複数
個の区間に区分けし、各区間と出力信号の組み合わせと
を対応付けることによって定めることができる。

【００１９】この区間指定によれば、リニアエンコーダ
装置からの出力信号を位相が異なる複数個の信号の組み
合わせとし、その組み合わせを知ることによって一磁極
周期内における磁極の位置を求めることができる。

【００２０】さらに、本発明のリニアエンコーダ装置に
よれば、インクリメンタル信号と原点位置信号を出力し
ており、この出力信号によって原点位置の検出及び原点
位置からの位置を求めることができる。さらに、この原
点位置信号とリニアモータの磁極の周期と同周期の信号
により求めた磁極位置に応じた駆動信号によってリニヤ
モータを原点位置に位置決めすることができる。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図を参照しながら
詳細に説明する。 （本発明の実施例の構成）はじめに、図１を用いて本発
明のエンコーダ装置を実施する構成例について説明す
る。図１において、リニアエンコーダ装置２はリニアモ
ータ１に配設され、位置エンコーダ３と原点位置エンコ
ーダ４と磁極位置エンコーダ５の３つのエンコーダを備
えている。

【００２２】位置エンコーダ３は、従来のリニアエンコ
ーダ装置と同様の構成であり、リニアモータ１の移動量
を検出し、リニアモータ１によって移動される移動体の
位置を検出する装置である。この位置エンコーダ３を例
えば固定スリット３２と移動スリット３１からなる光学
式エンコーダによって構成する場合には、このリニアモ
ータ１の磁極方向に沿って一定の周期で配列した複数個
のスリットからなる固定スリット３２をリニアモータ１
の固定側に設置し、該固定スリット３２のスリットと重
なるように移動スリット３１をリニアモータ１の移動側
に取り付ける。

【００２３】このような構成の位置エンコーダ３におい
て、リニアモータ１の駆動に伴って移動スリット３１が
移動すると、その移動量に応じて移動スリット３１と固
定スリット３２との間のスリット同士の重なりの程度が
変化する。位置エンコーダ３はこのスリットの重なりの
変化を光検出器等によって検出して、リニアモータ１の
移動量を検出する。この位置エンコーダ３によって検出
される移動量は基準位置からの値でないため、この移動
量によって定められる位置はインクリメンタルな相対位
置である。

【００２４】また、原点位置エンコーダ４も従来のリニ
アエンコーダ装置と同様の構成であり、リニアモータ１
の一定の移動量の変化を検出するものであって、該検出
信号をリニアモータ１による移動体の基準位置とするこ
とができる。この原点位置エンコーダ４を例えば固定ス
リット４２と移動スリット４１からなる光学式エンコー
ダによって構成する場合には、リニアモータ１に対して
基準位置とする所定の位置にスリットを形成した固定ス
リット４２をリニアモータ１の固定側に設置し、移動ス
リット４１をリニアモータ１の移動側に取り付ける。

【００２５】このような構成の原点位置エンコーダ４に
おいて、リニアモータ１の駆動に伴って移動スリット４
１が移動すると、その移動に応じて移動スリット４１が
固定スリット４２のスリット位置に到達すると、両スリ
ット同士の重なりの程度が変化する。原点位置エンコー
ダ４はこのスリットの重なりの変化を光検出器等によっ
て検出して、リニアモータ１における基準の位置を検出
する。

【００２６】この原点位置エンコーダ４によって検出さ
れる基準位置は、例えば原点位置とし、位置エンコーダ
３からの移動量をこの原点からカウントすることによっ
て、移動体の原点位置からの位置を検出することができ
る。

【００２７】前記した位置エンコーダ３及び原点位置エ
ンコーダ４は従来知られた構成であり、リニアモータ１
による移動体の移動量や移動位置を検出するために設け
られている。

【００２８】本発明のエンコーダ装置は、該位置エンコ
ーダ３及び原点位置エンコーダ４と異なる目的で第３の
エンコーダとして磁極位置エンコーダ５を設置してい
る。磁極位置エンコーダ５は、リニアモータ１の磁極位
置を検出する装置であり、この検出した磁極位置に応じ
てリニアモータ１の駆動制御を行なうものである。

【００２９】この磁極位置エンコーダ５を例えば固定ス
リット５２（図中の実線の矩形）と移動スリット５１
（図中の破線の矩形）からなる光学式エンコーダによっ
て構成する場合には、このリニアモータ１の磁極方向に
沿うとともにこの磁極の周期と同周期で配列した複数個
のスリットからなる固定スリット５２をリニアモータ１
の固定側に設置し、該固定スリット５２のスリットと重
なるように移動スリット５１をリニアモータ１の移動側
に取り付ける。

【００３０】この移動スリット５１は位相をずらせて配
置した複数個のスリットによって構成することができ、
この位相のずれ量は磁極周期に対応付けて定めることが
できる。このような構成の磁極位置エンコーダ５におい
て、リニアモータ１の駆動に伴って移動スリット５１が
移動すると、その移動量に応じて移動スリット５１と固
定スリット５２との間のスリット同士の重なりの程度が
変化する。磁極位置エンコーダ５はこのスリットの重な
りの変化を光検出器等によって検出して、リニアモータ
１の移動量を磁極周期と同一の周期で検出する。

【００３１】したがって、磁極位置エンコーダ５によっ
て得られる信号はリニアモータの磁極周期と同周期であ
り、隣接する磁極間を一磁極周期とすると、該信号によ
って一磁極周期における磁極位置を表すことができる。

【００３２】例えば、移動スリット５１を４つのスリッ
トによって構成する場合には、各スリットの位相のずれ
量を磁極周期の１／４とすることができ、これによって
各スリットからはリニアモータ１の移動に従って、磁極
周期と同周期の検出信号がそれぞれ磁極周期の１／４周
期ずれた状態で検出される。

【００３３】図２は、本発明の実施例に於けるスリット
及び出力信号を説明するための図である。図２におい
て、固定スリット及び移動スリットの開口部を一磁極周
期の半分とする。そして、固定スリットを磁極周期と同
周期で配置し、４つの移動スリットａ〜ｄをそれぞれ磁
極周期の１／４の位相をずらせて配置している。なお、
移動スリットｄについては、一磁極周期内に表示するた
めに分割して表している。

【００３４】移動スリットａ〜ｄが固定スリットに対し
て移動すると、移動スリットと固定スリットとの重ね合
わせの程度が変化して、各移動スリットａ〜ｄに設けた
光検出器からは検出出力ａ−１〜ｄ−１の４つの出力が
得られる。なお、ここでは、この出力を正弦波状の出力
波形によって示している。

【００３５】この検出出力ａ−１〜ｄ−１を適当なスレ
ショルドレベルで切って波形整形すると、図示するよう
な４つの矩形波出力ａ−２〜ｄ−２が得られる。この矩
形波出力ａ−２〜ｄ−２において、例えば、ハイの状態
を「１」に対応させローの状態を「０」に対応させると
一磁極周期は０と１の信号の組み合わせによって４つの
区間に区分して表すことができる。例えば区間（１）は
（１，０，０，１）の信号の組み合わせにより表すこと
ができ、区間（２）は（１，１，０，０）」の信号の組
み合わせにより表すことができる。また、他の区間
（３）及び（４）についても同様に０と１の信号の組み
合わせによって表すことができる。

【００３６】このように、１／４周期ずつずれた４つの
信号の組み合わせは、隣接する磁極を一磁極周期とした
場合にこの周期一磁極周期間を４つに区分する各区間と
対応付けることができ、移動スリット５１の各信号の組
み合わせを知ることによって、リニアモータの一磁極周
期内における磁極位置を求めることができる。

【００３７】なお、前記実施例では、移動スリットのス
リット数を４つとしているが、このスリットの個数を増
加することによって一磁極周期内における磁極位置を定
める区間の幅を短くし、より詳細な磁極位置を求めるこ
ともできる。

【００３８】したがって、図１に示す実施例のリニアエ
ンコーダ装置２においては、固定スリット３２，４２，
５２の３種類の固定スリット２２と、移動スリット３
１，４１，５２の３種類の移動スリット２１とを備え、
リニアモータ１の駆動に応じて移動スリット２１は固定
スリット２２に対して移動することになる。

【００３９】リニアエンコーダ装置２から検出される各
検出信号は信号生成手段６に送られ、リニアモータ１を
駆動するための駆動制御信号を生成する。信号生成手段
６は例えば矩形波形成手段６１とゲートアレイ６２によ
って構成することができ、駆動制御信号としてコード信
号を出力することができる。

【００４０】矩形形成手段６１は、アナログ信号をある
スレショルドレベルによって判別して矩形波に変換する
手段であり、ゲートアレイ６２は複数個の入力信号を論
理処理してシリアルなコード信号に変換する手段であ
る。この矩形形成手段６１及びゲートアレイ６２は通常
知られている回路であり、スレショルドレベル及び出力
する信号の形態は任意に設定することができる。

【００４１】この実施例においては、ゲートアレイ６２
から出力されるコード信号は、例えば図示するように磁
極内位置信号、原点からの位置信号、原点信号等の組み
合わせとすることができる。このコード信号の中で原点
からの位置信号及び原点信号は、従来のリニアエンコー
ダ装置から得られる信号と同様の位置信号であり、磁極
内位置信号は本発明のリニアエンコーダ装置によるリニ
アモータの磁極位置を表す信号である。

【００４２】信号生成手段６からの駆動制御信号は駆動
手段７に送られ、この駆動制御信号中の磁極内位置信号
によってリニアモータ１の一磁極内における駆動を行な
うことができる。

【００４３】（本発明の実施例の作用）次に本発明の実
施例の作用について、図３〜図７を用いて説明する。

【００４４】図３は本発明の実施例のリニアエンコーダ
装置から得られる各出力と磁極位置との関係を説明する
図である。図示するように、磁極位置エンコーダから得
られる出力はリニアモータの磁極周期と同期して得られ
るのに対して、従来から知られる位置エンコーダの出力
及び原点位置エンコーダの出力はリニアモータの磁極位
置と無関係な状態で出力される。

【００４５】本発明のリニアエンコーダ装置の磁極位置
エンコーダからは、前記図２を用いて説明したように、
リニアモータの移動に伴って磁極周期に同期した出力を
得ることができ、各移動スリットの出力信号の組み合わ
せによって一磁極周期内における磁極の位置を知ること
ができる。

【００４６】次に、本発明のリニアエンコーダ装置によ
り得られる磁極内位置信号を用いたリニアモータの駆動
について説明する。

【００４７】図４はリニアモータの駆動における位置関
係を説明する図である。なお、図４においてｘ軸はリニ
アモータの移動軸を表している。図４の（ａ）におい
て、リニアモータに最初に電源をオンの状態として時の
リニアモータの初期位置は不明であり、移動軸に設けら
れた基準位置である原点位置に対してどの位置にあるか
を知ることはできない。この状態でリニアモータにコイ
ルに駆動電流を供給することは、前記したようにリニア
モータにとって好ましいことではなく、一磁極周期内に
おける磁極位置を知り、この磁極位置に応じた駆動電流
を供給す必要がある。また、リニアモータによりテーブ
ルや移動体の位置制御を良好に行なうためには、原点位
置からの移動量を知る必要があり、電源投入時の初期位
置から原点位置に移動させ、原点位置からの移動量を求
める必要がある。

【００４８】そこで、図４の（ｂ）に示すように、一磁
極周期内での磁極位置に応じた駆動電流を供給しながら
初期位置（破線の矢印）から原点位置に移動させ、その
後図４の（ｃ）に示すように、原点位置からの位置を求
める。

【００４９】以下、一磁極周期内における移動、及び原
点位置からの移動についてに説明する。

【００５０】なお、図５は本発明のリニアエンコーダ装
置による一磁極周期内における移動を説明するフローチ
ャートであり、図６は本発明のリニアエンコーダ装置に
よる一磁極周期内における移動を説明する図であり、図
７は本発明のリニアエンコーダ装置による移動を説明す
る図である。以下、図１及び図５のフローチャートのス
テップＳの符号に従って説明する。

【００５１】ステップＳ１；リニアモータ１及びリニア
エンコーダ装置２の電源を投入して、リニアモータ１の
駆動を開始する。このとき、位置エンコーダ３による位
置は通常リセットされているため、電源投入時からの移
動量のカウント値はリニアモータの磁極位置との関係は
不明であり、位置エンコーダ３の出力値を用いてリニア
モータ１を駆動制御することはできない。また、原点位
置エンコーダ４からは、電源投入時にかならずしも原点
位置を検出する出力が得られるとは限らず、リニアモー
タ１の移動のどの時点で原点位置が得られるかは不明で
ある。

【００５２】図７のａは初期位置を示しており、以下に
示すステップに従って原点位置への移動を行なう。

【００５３】ステップＳ２，３；そこで、次に本発明の
リニアエンコーダ装置２の磁極位置エンコーダ５からの
出力を読み取る。この読み取った出力値を図１に示す信
号生成手段６において矩形波としゲートアレイによって
論理処理して、一磁極周期内における磁極位置の区間を
表す信号を求める。

【００５４】図６において初期位置をａとすると、磁極
位置エンコーダはこの初期位置ａを該初期位置ａが存在
する磁極周期中の区間として検出してエンコーダ出力ｂ
を出力し、磁極内位置信号生成信号は該エンコーダ出力
ｂから磁極内位置信号ｃを生成する。この磁極内位置信
号ｃは、図２中の矩形波出力の組み合わせ信号に対応す
るものである。

【００５５】ステップＳ４；移動手段はこの磁極内位置
信号ｃを受けてリニアモータのコイルに移動信号ｄを信
号する。この移動信号ｄは、磁極位置エンコーダが検出
した磁極位置の区間に対応する信号である。この実施例
の一磁極周期を４つに区分した区間は図６の階段状部分
で示され、磁極位置は該階段の各ステップの何れかの位
置に存在する。

【００５６】移動信号ｄは、初期位置ａが存在するステ
ップにおいてコイルに供給される電流を代表する値であ
り、磁極位置に対応する電流にほぼ近似した値となる。
したがって、リニアモータは、この移動信号ｄによって
例えば図６中の破線ｅに示す方向に移動を開始する。

【００５７】ステップＳ５；前記ステップＳ４の移動が
進むと磁極位置は次の区間内に移動し、図６中のｆの位
置に移動する。図７においては、初期位置ａから同じ磁
極周期内の移動位置ｆへの移動が行なわれることにな
る。図６では次の区間を階段状部分の次のステップによ
って表している。

【００５８】ステップＳ６，７，８；ここで、再び磁極
位置エンコーダによって移動位置ｆを検出し、エンコー
ダ出力ｇ及び磁極内位置信号ｈを得る。このとき、原点
位置エンコーダの出力が原点位置の検出を示しているか
否かの判定を行なう。原点位置が検出されている場合に
は、図７においてリニアモータは基準点である原点位置
に位置設定されることになり、その後は位置検出エンコ
ーダからの出力をカウントすることによってリニアモー
タ及び移動体の現在位置を求めることができる。

【００５９】一方、原点位置が検出されていない場合に
は、図６に示すように磁極内位置信号ｈに基づいて移動
信号ｉをリニアモータに供給して一点鎖線ｊに示す移動
を行なう。この移動信号ｉは、移動位置ｅが存在するス
テップにおいてコイルに供給される電流を代表する値で
あり、磁極位置に対応する電流にほぼ近似した値とな
る。この移動ｊが進むと磁極位置はさらに次の区間内に
移動し、図６中のｋの位置に移動する。図７において
は、移動位置ｅから同じ磁極周期内の移動位置ｋへの移
動が行なわれることになる。

【００６０】ここで、前記ステップＳ６の原点位置を検
出したか否かの判定を行う。そして、原点位置を検出し
ている場合には、ステップＳ７，８の処理によって現在
位置を求めることができる。一方、原点位置を検出して
いない場合には、前記と同様にしてエンコーダ出力ｌ及
び磁極内位置信号ｍを求め、さらに移動信号ｎをリニア
モータに供給して図６中の二点鎖線ｏで示す移動を行な
う。図６では、この移動ｏによって磁極は、一磁極周期
の終端でありかつ隣接する磁極周期の始端に移動する。
これによって、磁極は一磁極周期内における移動が終了
する。この段階で、原点位置が検出されていない場合に
は、さらに次の磁極周期において前記と同様の移動によ
って一磁極周期内における移動を原点が検出されるまで
行う。

【００６１】図７において、初期位置ａから端点ｑまで
の移動によって初期位置が存在した磁極周期内における
移動が行なわれ、その後は図７中の破線で示すように原
点位置が検出されるまで同様の移動を行なう。

【００６２】原点位置エンコーダによって原点位置が検
出された後は、従来知られているようにこの原点位置を
始点として位置エンコーダの出力をカウントして現在位
置を求めることができる。

【００６３】（変形例）前記実施例では、エンコーダを
スリット及び光検出器によって構成しているが、磁気的
検出手段等その他の検出手段によっても構成することが
できる。

【００６４】（実施例の効果）リニアモータの一磁極周
期内の磁極位置を求め、その磁極位置に応じた駆動信号
をリニアモータに供給することによって、リニアモータ
の円滑な駆動開始及び駆動制御を行なうことができる。

【００６５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
リニアモータの磁極位置を求めることができるリニアエ
ンコーダ装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のエンコーダ装置を説明するためのブロ
ック構成図である。

【図２】本発明の実施例に於けるスリット及び出力信号
を説明するための図である。

【図３】本発明の実施例のリニアエンコーダ装置から得
られる各出力と磁極位置との関係を説明する図である。

【図４】リニアモータの駆動における位置関係を説明す
る図である。

【図５】本発明のリニアエンコーダ装置による一磁極周
期内における移動を説明するフローチャートである。

【図６】本発明のリニアエンコーダ装置による一磁極周
期内における移動を説明する図である。

【図７】本発明のリニアエンコーダ装置による移動を説
明する図である。

【図８】従来のリニアモータに設置したリニアエンコー
ダ装置の概略図である。

【図９】従来のリニアモータに設置したリニアエンコー
ダ装置の出力を説明するための図である。

【符号の説明】

１ リニアモータ ２ リニアエンコーダ装置 ３ 位置エンコーダ ４ 原点位置エンコーダ ５ 磁極位置エンコーダ ６ 信号生成手段 ７ 駆動手段 ２１，３１，４１，５１ 移動スリット ２２，３２，４２，５２ 固定スリット ６１ 矩形波形成手段 ６２ ゲートアレイ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０２Ｋ 11/00 41/00

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リニアモータに設けるリニアエンコーダ
   装置であって、前記リニアモータの磁極の周期と同周期
   の信号を出力することを特徴とするリニアエンコーダ装
   置。
2. 【請求項２】 リニアモータに設けるリニアエンコーダ
   装置であって、前記リニアモータの磁極の周期と同周期
   の信号とインクリメンタル信号と原点位置信号を出力す
   るすることを特徴とするリニアエンコーダ装置。
3. 【請求項３】 リニアモータに設けるリニアエンコーダ
   装置であって、前記リニアモータの磁極と一定の位置関
   係に設置された指標部と、前記指標部を検出する検出部
   とを備え、前記検出部は磁極の周期と同周期の信号を出
   力することを特徴とするリニアエンコーダ装置。
4. 【請求項４】 リニアモータに設けるリニアエンコーダ
   装置であって、前記リニアモータの磁極と一定の位置関
   係に設置された指標部、インクリメンタル用指標部、原
   点位置用指標部と、前記指標部を検出する検出部とを備
   え、前記検出部は磁極の周期と同周期の信号、インクリ
   メンタル信号、原点位置信号とを出力することを特徴と
   するリニアエンコーダ装置。
5. 【請求項５】 前記磁極の周期と同周期の信号は、一磁
   極周期内のリニアモータの駆動を制御する信号であるこ
   とを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のリニアエ
   ンコーダ装置。
6. 【請求項６】 前記磁極の周期と同周期の信号は位相の
   ずれた複数個の信号を含み、該複数個の信号の出力値の
   組み合わせを一磁極周期内の位置信号とすることを特徴
   とする請求項１，２，３，４又は５記載のリニアエンコ
   ーダ装置。