JPH08155935A - Production of ceramic sheet provided with slits and slit processing blade attaching block used therein - Google Patents
Production of ceramic sheet provided with slits and slit processing blade attaching block used thereinInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、狭い間隔で複数の窓部
が形成されたセラミックスシートの前記窓部間に寸法精
度のよいスリットを形成する方法に係り、例えば、セラ
ミックダイヤフラム構造体の製造方法、特に、薄肉のダ
イヤフラム部位の形状に特徴を有するセラミックダイヤ
フラム構造体を有利に製造する方法およびその製造に用
いるスリット加工用治具を提供するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming slits having a high dimensional accuracy between the windows of a ceramic sheet having a plurality of windows formed at narrow intervals. For example, the manufacture of a ceramic diaphragm structure. A method, particularly a method for advantageously producing a ceramic diaphragm structure characterized by the shape of a thin diaphragm portion, and a slitting jig used for the production.
【0002】[0002]
【従来の技術】本発明の背景であるセラミックダイヤフ
ラム構造体について、まず説明する。従来から、少なく
とも一つの窓部を有する基体を支持体として、そのよう
な窓部を可撓性の薄肉膜材料にて覆蓋してダイヤフラム
とした構造体が、各種センサの構成部材などとして用い
られて来ており、また近年では、圧電/電歪アクチュエ
ータの構成部材としても、注目を受けている。例えば、
センサ構成部材として用いられる場合にあっては、その
ようなダイヤフラム構造体のダイヤフラム部位が測定す
べき対象によって受ける屈曲変位を、適当な検出手段に
て検出するように構成され、また、圧電/電歪アクチュ
エータの構成部材として用いられる場合にあっては、か
かるダイヤフラム構造体のダイヤフラム部位が、圧電/
電歪素子によって変形せしめられて、前記構造体の内部
に形成された加圧室に圧力を生ぜしめるようにして用い
られることとなる。2. Description of the Related Art First, a ceramic diaphragm structure which is the background of the present invention will be described. Conventionally, a structure having a base body having at least one window portion as a support body and covering such a window portion with a flexible thin film material to form a diaphragm has been used as a component member of various sensors. In recent years, it has been receiving attention as a constituent member of a piezoelectric / electrostrictive actuator. For example,
When used as a sensor constituent member, the diaphragm displacement of such a diaphragm structure is configured to be detected by a suitable detecting means for the bending displacement received by the object to be measured. When used as a constituent member of a strain actuator, the diaphragm portion of such a diaphragm structure is piezoelectric /
It is deformed by the electrostrictive element and used so as to generate a pressure in the pressurizing chamber formed inside the structure.
【0003】しかして、そのようなダイヤフラム構造体
は、それを構成する支持体としての基体と、ダイヤフラ
ムを与える膜部材とを、一体的に組付けることによって
製造されることになるが、その一体的構造の信頼性や耐
熱、耐蝕性の付与等の点より、そのようなダイヤフラム
構造体を、セラミックスの一体焼成体にて構成すること
が考えられ、本願出願人も、先に、特願昭62-129360 号
(特開昭63-292032 号)や特願平3-204845号(特開平5-
49270 号)等として、一体焼成にて得られたセラミック
ス製のダイヤフラム構造体を用いた圧力検出器や圧電/
電歪アクチュエータを明らかにした。Thus, such a diaphragm structure is manufactured by integrally assembling a base body as a support constituting the diaphragm structure and a membrane member providing the diaphragm. It is considered that such a diaphragm structure is composed of an integrally fired body of ceramics from the viewpoint of the reliability of the dynamic structure, heat resistance and corrosion resistance, and the like. 62-129360 (Japanese Patent Laid-Open No. 63-292032) and Japanese Patent Application No. 3-204845 (Japanese Patent Laid-Open No. 5-20545)
49270) etc., a pressure detector or a piezoelectric / piezoelectric / piezoelectric structure using a ceramic diaphragm structure obtained by integral firing.
The electrostrictive actuator was clarified.
【0004】ところで、このような一体焼成により得ら
れるセラミックス製のダイヤフラム構造体は、一般に、
窓部を有する所定形状のセラミックグリーン基体と前記
窓部を覆蓋する薄肉のセラミックグリーンシートとの一
体的な積層物を焼成せしめることにより、得られるもの
である。複数の作動部を同一基板面に設けて素子を構成
した場合、図6に示すように、作動部(33)のみが作
動した場合は、薄肉部は下方向へ湾曲する。その際、厚
肉部が僅かに変形し、薄肉部が効果的に撓むのである。
ところが、隣接する作動部を同時に作動すると、各作動
部に設けられた薄肉部(26)は厚肉部(28)を介し
て連続形成されているため、互いに引っ張り合う力が作
用し、薄肉部の湾曲が困難になる。すなわち、素子を単
独で作動させた場合と比較して変位が低下し、素子が本
来有する特性を十分発揮することができない。そこで、
図7に示すように厚肉部(28)にスリット(24)を
設けることにより、各作動部間の影響を回避することが
できることを特願平5-163945号にて明らかにした。By the way, the ceramic diaphragm structure obtained by such integral firing is generally
It is obtained by firing an integral laminate of a ceramic green base having a predetermined shape having a window and a thin ceramic green sheet covering the window. When a plurality of actuating parts are provided on the same substrate surface to form an element, as shown in FIG. 6, when only the actuating part (33) is actuated, the thin part bends downward. At that time, the thick portion is slightly deformed, and the thin portion is effectively bent.
However, when the adjacent actuating parts are simultaneously actuated, the thin portions (26) provided in the respective actuating portions are continuously formed via the thick portion (28), so that the pulling forces act on each other and the thin portion Bending becomes difficult. That is, the displacement is reduced as compared with the case where the element is operated alone, and the characteristics originally possessed by the element cannot be sufficiently exhibited. Therefore,
It has been clarified in Japanese Patent Application No. 5-163945 that the influence between the respective operating parts can be avoided by providing the thick part (28) with the slit (24) as shown in FIG.
【0005】図5〜図8は本発明の製造方法を適用した
ダイヤフラム構造体の説明図である。図8において(5
3)はグリ−ンシ−ト状態の板状の第1のセラミック部
材、(51)はグリ−ンシ−ト状態の薄肉で平板状の第
2のセラミック部材、(55)はグリ−ンシ−ト状態の
板状の第3のセラミック部材である。第1のセラミック
部材(53)の表面上に第2のセラミック部材(51)
を積層するとともに、裏面に第3のセラミック部材(5
5)を積層する。そして、その積層したセラミック部材
を焼成一体化してセラミック基板(57)を形成する。
次にセラミック基板(57)の外表面上の各第1のスリ
ット(59)に対応する部位へ第2のスリットを第1の
スリット(59)に連通するようにそれぞれ加工し、目
的の構造体を完成する。図7は完成した構造体の図5に
おけるA−A断面説明図である。図示のように第1のス
リット(59)および第2のスリットによって最終的な
スリット(24)が形成される。5 to 8 are explanatory views of a diaphragm structure to which the manufacturing method of the present invention is applied. In FIG. 8, (5
3) is a plate-shaped first ceramic member in a green sheet state, (51) is a thin, flat plate-shaped second ceramic member in a green sheet state, and (55) is a green sheet. It is a plate-shaped third ceramic member in the state. The second ceramic member (51) is provided on the surface of the first ceramic member (53).
And the third ceramic member (5
5) are laminated. Then, the laminated ceramic members are fired and integrated to form a ceramic substrate (57).
Next, the second slits are processed so as to communicate with the respective first slits (59) on the outer surface of the ceramic substrate (57) so as to communicate with the first slits (59), and the target structure is obtained. To complete. FIG. 7 is a cross-sectional view of the completed structure taken along the line AA in FIG. The first slit (59) and the second slit form the final slit (24) as shown.
【0006】上記の如きセラミックスにスリットを入れ
る従来技術には、セラミックスグリーンシートに金型で
スリットを入れる方法と焼成後のセラミックスシートを
第1次・第2次・第4次高調波等を利用したYAG、エ
キシマ、炭酸ガスなどのレーザによりスリットを入れる
方法,ダイシング、スライシング、超音波による機械加
工等が考えられる。In the prior art for making slits in ceramics as described above, a method of making slits in a ceramic green sheet with a mold and the ceramic sheet after firing using first, second and fourth harmonics, etc. It is conceivable to use a method of slitting with a laser such as YAG, excimer, carbon dioxide gas, dicing, slicing, or ultrasonic machining.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術に
は、次に示す欠点がある。金型でスリットを形成する方
法においては、スリット加工刃は、金型のプレート上に
設けられた矩形の取り付け穴に挿入される。したがっ
て、スリット加工刃の位置精度は、その取り付け穴の位
置精度、および取り付け穴とスリット加工用刃との相互
の篏合精度で決まる。この篏合精度は、本発明が対象と
しているようなスリット加工刃の厚みが200μm以下
となると、取り付け穴の角の直角度が問題となる。たと
えば、図4に示すように130μm幅の刃の場合、取り
付け穴の角を50μmRで加工し、面取りしたスリット
加工刃を嵌め込んでも、取り付け穴の幅に対する角の曲
率が大きく直線部分がわずか30μm接触するだけであ
るため、正確な篏合が出来ない。なお、高精度な加工が
できるワイヤカット放電加工機を使用して角を加工して
も50μmR以下とすることは容易なことではない。The above-mentioned prior art has the following drawbacks. In the method of forming a slit with a die, the slitting blade is inserted into a rectangular mounting hole provided on the plate of the die. Therefore, the positional accuracy of the slit processing blade is determined by the positional accuracy of the mounting hole and the mutual accuracy of the mounting hole and the slit processing blade. With respect to the accuracy of the integration, when the thickness of the slitting blade as the object of the present invention is 200 μm or less, the squareness of the corner of the mounting hole becomes a problem. For example, in the case of a blade having a width of 130 μm as shown in FIG. 4, even if the corner of the mounting hole is machined at 50 μmR and a chamfered slit processing blade is fitted, the curvature of the corner with respect to the width of the mounting hole is large and the straight line portion is only 30 μm Since it only touches, accurate mating cannot be performed. Even if a corner is processed using a wire-cut electric discharge machine capable of high-accuracy processing, it is not easy to set the angle to 50 μmR or less.
【0008】YAG等のレーザによりスリットを入れる
方法は、必要なスリット深さを得るためには、同一箇所
を繰り返しスキャンする必要がある。また、多数個取り
基板の場合、焼成時の収縮に起因する位置バラツキが生
じるので、狭い間隔で複数の窓部が形成され、該窓部間
に位置精度良くスリットを入れるためには一個所ごとに
アライメントが必要となる。したがって、高価な設備を
用い、かつ生産性の低いものとなる。ダイシング等の機
械加工も上記と同様に位置精度良くスリットを入れるた
めには一個所ごとにアライメントが必要となり、生産性
の低いものとなる。In the method of forming a slit with a laser such as YAG, it is necessary to repeatedly scan the same portion in order to obtain a required slit depth. Further, in the case of a multi-cavity substrate, since position variations due to shrinkage during firing occur, a plurality of windows are formed at narrow intervals, and in order to form slits between the windows with good positional accuracy, each location should be provided. Alignment is required. Therefore, expensive equipment is used and the productivity is low. Similar to the above, machining such as dicing requires alignment at each position in order to form slits with high positional accuracy, resulting in low productivity.
【0009】そこで、本発明者等は、生産性が高く、か
つ、低コストで狭い間隔で複数の窓部が形成され、該窓
部間に寸法精度のよいスリットを設けたセラミックスシ
ートを製造する方法を研究した。当初検討した工程は、
先ず、無垢のグリーンシートに窓を形成し、次いで、ス
リットを形成するものであった。しかし、狭い窓部間に
寸法精度良くスリット加工することは極めて困難であっ
た。Therefore, the inventors of the present invention manufacture a ceramic sheet having high productivity, low cost, a plurality of window portions formed at narrow intervals, and slits having good dimensional accuracy provided between the window portions. Researched the method. The process initially examined is
First, a window was formed on a solid green sheet, and then a slit was formed. However, it was extremely difficult to slit the narrow window portions with high dimensional accuracy.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明の狭い間隔で複数
の窓部が形成され、該窓部間に寸法精度のよいスリット
を設けたセラミックスシートを製造する方法において
は、グリーンシートにスリット加工用治具を用いて、ス
リットを形成する第1の工程と、窓部加工用治具を用い
て、窓部を形成する第2の工程を備え、第1の工程の後
に第2の工程を行うものである。In the method of manufacturing a ceramic sheet according to the present invention, in which a plurality of windows are formed at a narrow interval and slits with good dimensional accuracy are provided between the windows, a slit processing is performed on a green sheet. A first step of forming a slit using a jig for forming a window and a second step of forming a window using a jig for processing a window are provided, and a second step is performed after the first step. It is something to do.
【0011】また、上記した本発明に従う製造手法の好
ましい態様には、前記第1の工程および第2の工程それ
ぞれの加工用治具を順送型金型としたものがある。In a preferred embodiment of the above-described manufacturing method according to the present invention, there is a progressive die for each of the processing jigs in the first step and the second step.
【0012】ここで、順送型金型とは、図1に示すよう
に前記第1の工程で使用する第1の金型と前記第2の工
程で使用する第2の金型とを一つのホルダに取り付けた
もので、前記第1の金型に対応する第1のテーブル上の
グリーンシートにスリットを形成し、次に該グリーンシ
ートを前記第2の金型に対応する第2のテーブル上へ搬
送し、窓部を形成するものをいう。Here, the progressive die is a combination of a first die used in the first step and a second die used in the second step, as shown in FIG. Attached to two holders, a slit is formed in the green sheet on the first table corresponding to the first mold, and then the green sheet is attached to the second table corresponding to the second mold. It is one that is conveyed upward and forms a window.
【0013】本発明のスリット加工刃取り付けブロック
においては、直方体の下面にその断面を逆凹形状とする
第1の溝が長手方向に形成されており、該第1の溝の幅
がスリット加工刃長と同じ寸法であり、該第1の溝の側
壁は互いに平行に形成されて成り、前記第1の溝が形成
されている面の下面に、前記第1の溝の長手方向に対し
て、直角方向に、スリット加工刃の厚みと同じ寸法であ
る幅を持つ第2の溝が、所定の間隔で複数個設けられ、
該第2の溝の側壁は互いに平行に形成され、該第2の溝
は前記第1の溝まで貫通して成ることを特徴とするもの
である。In the slitting blade mounting block of the present invention, the lower surface of the rectangular parallelepiped is formed with the first groove having a cross-sectionally concave shape in the longitudinal direction, and the width of the first groove is the slitting blade. It has the same dimension as the length, the side walls of the first groove are formed in parallel to each other, and on the lower surface of the surface on which the first groove is formed, with respect to the longitudinal direction of the first groove, A plurality of second grooves having a width having the same dimension as the thickness of the slitting blade are provided at a predetermined interval in the perpendicular direction,
The side walls of the second groove are formed parallel to each other, and the second groove penetrates to the first groove.
【0014】[0014]
【作用】狭い間隔で複数の窓部が形成され、該窓部間に
寸法精度のよいスリットを設けたセラミックスシートを
製造する方法において、グリーンシートにスリットを形
成し、次いで、窓を形成する。この工程順にすることに
より、容易に狭い窓部間に寸法精度のよいスリットを設
けることができる。これは、無垢のグリーンシートにス
リットを形成するときは、スリット加工刃の圧力に対し
て、グリーンシート自体がずれないことによる。なお、
無垢のグリーンシートに窓を形成した後にスリットを形
成しようとすると、グリーンシートの形状は狭い間隔で
複数の窓部により構成されており、その剛性が低いた
め、スリット加工刃の圧力に対して、グリーンシート自
体がずれてしまい、所定のスリット位置、スリット深さ
等の寸法が得られ難い。また、順送型金型を使用するこ
とにより、省力化が図られる。本発明の加工刃取り付け
ブロックは図2に示すように、刃を挿入する第1の溝お
よび第2の溝を開端から切り込むことができるので、通
常の機械を用いても、前記第1の溝および第2の溝の寸
法精度は、通常の機械精度で得られかつ容易に加工で
き、矩形取り付け穴の角の直角度仕上げが篏合精度に影
響する従来の刃を孔に挿入する場合と異なり、スリット
加工刃の位置(X、Y)決めをそれぞれ、角の直角精度
の高い第1の溝および第2の溝の側面で行っており、溝
とスリット加工刃との篏合精度およびスリット加工刃間
の寸法精度も向上させることが出来る。In the method of manufacturing a ceramic sheet in which a plurality of windows are formed at narrow intervals, and slits with good dimensional accuracy are provided between the windows, slits are formed in the green sheet, and then the windows are formed. By adopting this process order, it is possible to easily provide the slits with good dimensional accuracy between the narrow window portions. This is because when the slit is formed on the solid green sheet, the green sheet itself does not shift with respect to the pressure of the slit processing blade. In addition,
If you try to form a slit after forming a window on a solid green sheet, the shape of the green sheet is composed of multiple windows at narrow intervals, and because of its low rigidity, against the pressure of the slitting blade, The green sheet itself is displaced, and it is difficult to obtain a predetermined slit position, slit depth, and other dimensions. Further, labor saving can be achieved by using the progressive die. As shown in FIG. 2, the machining blade mounting block of the present invention can cut the first groove and the second groove into which the blade is inserted from the open end. Therefore, even if a normal machine is used, the first groove can be cut. And the dimensional accuracy of the second groove can be obtained with normal machine accuracy and can be easily machined, and the squareness of the corners of the rectangular mounting hole affects the accuracy of insertion. , The positions (X, Y) of the slitting blades are determined on the side surfaces of the first groove and the second groove, which have a high angle right angle accuracy, respectively, and the accuracy of slitting between the groove and the slitting blade and the slitting processing. The dimensional accuracy between the blades can also be improved.
【0015】[0015]
【実施例】次に、本発明の狭い間隔で複数の窓部が形成
され、該窓部間に寸法精度のよいスリットを設けたセラ
ミックスシートを製造する方法を実施例に基づいて説明
する。本実施例は、本発明を上記の第1のスリット(5
9)の加工に適用したものである。図1〜図3に基づい
て説明する。まず、前記第1のテーブル(65)上にグ
リーンシートを供給する。該グリーンシートの寸法は4
0mm×45mm×0.3mmtとした。スリット加工
刃(10)の厚みは、130μmとし、該スリット加工
刃(10)が600μmのピッチで31個挿入されてい
る逆凹形状のブロック(1)を、12個併設し、さら
に、基準孔加工用ポンチ4個を挿入した第1の金型を、
前記第1のテーブル(65)に対応した上型ホルダ部
(71)に装着させた。グリーンシートに形成するスリ
ットは、図3の如く、スリット幅は30μm,深さ90
μmとした。基準孔の直径は、3mmとし、グリーンシ
ートの四隅に各1個形成した。次に、スリットおよび基
準孔加工されたグリーンシート(73)を前記第2のテ
ーブル(67)に搬送し、前記基準孔に前記第2のテー
ブル(67)の位置決めピン(20)を挿入させる。次
に、前記第2のテーブル(67)に対応した上型ホルダ
部(71)に装着させた第2の金型により450μm×
7000μmの窓部を120個形成した。したがって、
図1及び図3の如く、スリットは、150μmの幅の窓
部間の中央に形成されることになる。EXAMPLES Next, a method of manufacturing a ceramic sheet according to the present invention, in which a plurality of windows are formed at a narrow interval and slits with high dimensional accuracy are provided between the windows, will be described based on examples. In this embodiment, the present invention is applied to the first slit (5
It is applied to the processing of 9). A description will be given based on FIGS. 1 to 3. First, a green sheet is supplied onto the first table (65). The size of the green sheet is 4
It was set to 0 mm × 45 mm × 0.3 mmt. The slit processing blade (10) has a thickness of 130 μm, and the slit processing blade (10) is provided with 12 reverse recessed blocks (1) in which 31 pieces are inserted at a pitch of 600 μm. The first mold with four processing punches inserted,
The upper mold holder part (71) corresponding to the first table (65) was mounted. The slits formed in the green sheet have a slit width of 30 μm and a depth of 90 as shown in FIG.
μm. The diameter of the reference hole was 3 mm, and one was formed at each of the four corners of the green sheet. Next, the green sheet (73) processed with slits and reference holes is conveyed to the second table (67), and the positioning pins (20) of the second table (67) are inserted into the reference holes. Next, 450 μm × by the second die attached to the upper die holder part (71) corresponding to the second table (67).
120 windows of 7,000 μm were formed. Therefore,
As shown in FIGS. 1 and 3, the slit is formed in the center between the windows having a width of 150 μm.
【0016】[0016]
【発明の効果】以上の説明から明かなように、本発明の
スリットを設けたセラミックシートの製造方法は、ス
リット加工した後に、窓の打ち抜き加工をすることによ
り、所定の位置に、所定の深さのスリットを寸法精度良
く加工することができ、グリーンシートに多数列のス
リットを同時に加工することにより生産性を大幅に向上
させ、また、金型を使用しスリット入れをすることに
より、高価なレ−ザ加工機が不要となり大幅なコストダ
ウンが可能となった。本発明のスリット加工刃取り付け
ブロックは、加工刃の位置決めを、XY方向、それぞ
れ、個別の基準面を設けてなることにより容易に、ま
た、その基準面は通常の機械加工で得られ、スリット加
工刃と溝との篏合精度およびスリット加工刃間の寸法精
度良く、かつ、安価に製作できるため、極めて有益であ
る。As is apparent from the above description, in the method of manufacturing a ceramic sheet having slits according to the present invention, after slitting, the window is punched to obtain a predetermined depth at a predetermined position. Size slits can be processed with high dimensional accuracy, and a large number of rows of slits can be processed on the green sheet at the same time to greatly improve productivity. A laser processing machine is no longer required, which enables a significant cost reduction. The slitting blade mounting block of the present invention facilitates positioning of the machining blades by providing individual reference planes in the XY directions, and the reference planes can be obtained by ordinary machining, and slit machining This is extremely useful because it can be manufactured at a low cost with good accuracy in the integration of the blade and the groove and dimensional accuracy between the slitting blades.
【図1】 順送型金型の概略側面図及びグリーンシート
の加工状態簡略図FIG. 1 is a schematic side view of a progressive die and a simplified view of a green sheet processing state.
【図2】 スリット加工刃のブロックの斜視図FIG. 2 is a perspective view of a block of a slitting blade.
【図3】 本発明の一実施例のスリットおよび窓部加工
されたグリ−ンシ−トの部分断面概略図FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view of a slit and a window-processed green sheet according to an embodiment of the present invention.
【図4】 従来の金型の場合のスリット加工刃取り付け
穴端部の模式図FIG. 4 is a schematic view of a slit processing blade mounting hole end portion in the case of a conventional die.
【図5】 本発明の製造方法の実施例に使用した素子FIG. 5 is an element used in an example of the manufacturing method of the present invention.
【図6】 スリットが形成されていない従来の素子の説
明図FIG. 6 is an explanatory view of a conventional element in which a slit is not formed.
【図7】 図4の素子のA−A線断面部分説明図FIG. 7 is a partial sectional view taken along the line AA of the device of FIG.
【図8】 セラミック基板の構造を示す説明図FIG. 8 is an explanatory diagram showing the structure of a ceramic substrate.
1 逆凹形状のブロック 2 第1の溝 3 第2の溝 10 スリット加工刃 11 基準孔 12 第1の金型 13 第2の金型 14 窓打ち抜きポンチ 16 順送位置決定用ポンチ 18 スリット加工刃ブロック 20 位置決めピン 22 素子 24 スリット 26 薄肉部 28 厚肉部 32、33 作動部 51 第1のセラミック部材 53 第2のセラミック部材 55 第3のセラミック部材 57 セラミック基板 59 第1のスリット 63 窓 65 第1のテーブル 67 第2のテーブル 71 上型ホルダ 73 スリットおよび基準孔が形成されたグリーンシー
ト 77 窓部が形成されたグリーンシート1 Block of reverse concave shape 2 1st groove 3 2nd groove 10 Slit processing blade 11 Reference hole 12 1st metal mold 13 2nd metal mold 14 Window punching punch 16 Punch for forward position determination 18 Slit processing blade Block 20 Positioning pin 22 Element 24 Slit 26 Thin portion 28 Thick portion 32, 33 Working portion 51 First ceramic member 53 Second ceramic member 55 Third ceramic member 57 Ceramic substrate 59 First slit 63 Window 65th Table 1 of 1 67 Second table 71 Upper die holder 73 Green sheet with slits and reference holes 77 Green sheet with windows
Claims (3)
部間にスリットを設けたセラミックスシートを製造する
方法において、グリーンシートにスリット加工用治具を
用いて、スリットを形成する第1の工程と、窓部加工用
治具を用いて、窓部を形成する第2の工程を備え、第1
の工程の後に第2の工程を行うことを特徴とするスリッ
トを設けたセラミックシートの製造方法。1. A method of manufacturing a ceramic sheet having a plurality of windows formed at narrow intervals and having slits between the windows, wherein slits are formed on a green sheet by using a slitting jig. The first step and the second step of forming the window using the jig for processing the window are provided.
The method for producing a ceramic sheet having slits, which comprises performing the second step after the step.
れの加工用治具を順送型金型とした請求項1に記載のス
リットを設けたセラミックシートの製造方法。2. The method for producing a ceramic sheet provided with slits according to claim 1, wherein the processing jigs in each of the first step and the second step are progressive die.
する第1の溝が長手方向に形成されており、該第1の溝
の幅がスリット加工刃長さと同じ寸法であり、該第1の
溝の側壁は互いに平行に形成されて成り、 前記第1の溝が形成されている面の上面に、前記第1の
溝の長手方向に対して、直角方向に、スリット加工刃の
厚みと同じ寸法である幅を持つ第2の溝が、所定の間隔
で複数個設け、該第2の溝の側壁は互いに平行に形成さ
れ、該第2の溝は前記第1の溝まで貫通して成ることを
特徴とするスリット加工用刃取り付けブロック。3. A rectangular parallelepiped has a lower surface on which a first groove having a cross-section of an inverted concave shape is formed in the longitudinal direction, and the width of the first groove is the same as the slitting blade length. The side walls of the first groove are formed in parallel to each other, and on the upper surface of the surface on which the first groove is formed, in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the first groove, A plurality of second grooves having a width having the same dimension as the thickness are provided at predetermined intervals, the side walls of the second grooves are formed in parallel with each other, and the second grooves penetrate to the first groove. A blade mounting block for slit processing, characterized in that
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30620294A JPH08155935A (en) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | Production of ceramic sheet provided with slits and slit processing blade attaching block used therein |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30620294A JPH08155935A (en) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | Production of ceramic sheet provided with slits and slit processing blade attaching block used therein |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH08155935A true JPH08155935A (en) | 1996-06-18 |
Family
ID=17954230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30620294A Pending JPH08155935A (en) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | Production of ceramic sheet provided with slits and slit processing blade attaching block used therein |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH08155935A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010030032A1 (en) | 2008-09-12 | 2010-03-18 | 日本碍子株式会社 | Manufacturing method for three-dimensional molded parts |
KR101433646B1 (en) * | 2013-03-07 | 2014-08-25 | 주식회사 솔텍코리아 | Film punching device for pattern formation |
-
1994
- 1994-12-09 JP JP30620294A patent/JPH08155935A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010030032A1 (en) | 2008-09-12 | 2010-03-18 | 日本碍子株式会社 | Manufacturing method for three-dimensional molded parts |
US7955461B2 (en) | 2008-09-12 | 2011-06-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for manufacturing a three-dimensional forming portion |
KR101433646B1 (en) * | 2013-03-07 | 2014-08-25 | 주식회사 솔텍코리아 | Film punching device for pattern formation |
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