JPH0815377A - 電子機器の冷却装置 - Google Patents
電子機器の冷却装置Info
- Publication number
- JPH0815377A JPH0815377A JP14281894A JP14281894A JPH0815377A JP H0815377 A JPH0815377 A JP H0815377A JP 14281894 A JP14281894 A JP 14281894A JP 14281894 A JP14281894 A JP 14281894A JP H0815377 A JPH0815377 A JP H0815377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refrigerant
- printed circuit
- pipe
- hole
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷却水を均一に分配してプリント基板を均一
に冷却することができ、しかもスペースの有効利用を図
る。 【構成】 テストヘッド１に顕微鏡用の穴３が設けられ
る。穴３の外周に放射状にプリント基板４が配列され
る。基板４に冷媒路５を備えた放熱板６が取り付けられ
る。穴３の下部に径が穴３と略同一径をもつ内側環状管
７が設けられる。内側環状管７に冷媒路５へ冷媒９を分
配する分配支管１０が接続される。分配支管１０に適切
な絞りが設けられ冷媒が均一に分配される。分配支管１
０は、分岐管１１を介して内側環状管７から各基板４の
放熱板６の冷媒入口１６に接続される。放射状に配列し
た基板４の外周近傍に、冷媒を外部に排出する外側環状
管１２が設けられる。外側環状管１２に基板４の放熱板
６の冷媒出口１４から排出された冷媒９を集合して外側
環状管１２に集める集合支管１５が接続される。
に冷却することができ、しかもスペースの有効利用を図
る。 【構成】 テストヘッド１に顕微鏡用の穴３が設けられ
る。穴３の外周に放射状にプリント基板４が配列され
る。基板４に冷媒路５を備えた放熱板６が取り付けられ
る。穴３の下部に径が穴３と略同一径をもつ内側環状管
７が設けられる。内側環状管７に冷媒路５へ冷媒９を分
配する分配支管１０が接続される。分配支管１０に適切
な絞りが設けられ冷媒が均一に分配される。分配支管１
０は、分岐管１１を介して内側環状管７から各基板４の
放熱板６の冷媒入口１６に接続される。放射状に配列し
た基板４の外周近傍に、冷媒を外部に排出する外側環状
管１２が設けられる。外側環状管１２に基板４の放熱板
６の冷媒出口１４から排出された冷媒９を集合して外側
環状管１２に集める集合支管１５が接続される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は冷媒を用いた電子機器の
冷却装置に係り、特に放射状配列のプリント基板を冷却
するものに関する。
冷却装置に係り、特に放射状配列のプリント基板を冷却
するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子機器、例えばＩＣテスタのテストヘ
ッドのある種のものでは、小型化のためにプリント基板
が放射状に配列されている。このように放射状配列のプ
リント基板を冷却するものとして、最近、液冷式のもの
が考えられている。
ッドのある種のものでは、小型化のためにプリント基板
が放射状に配列されている。このように放射状配列のプ
リント基板を冷却するものとして、最近、液冷式のもの
が考えられている。
【０００３】これは、プリント基板に冷媒路を備えた放
熱板を取り付け、この放熱板の冷媒路に冷媒を流すこと
によりプリント基板を冷却しようとするものである。
熱板を取り付け、この放熱板の冷媒路に冷媒を流すこと
によりプリント基板を冷却しようとするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
のものでは、放射状に多数配列されたプリント基板に冷
媒を均一に供給することが難しく、各プリント基板を均
一に冷却することが困難である。
のものでは、放射状に多数配列されたプリント基板に冷
媒を均一に供給することが難しく、各プリント基板を均
一に冷却することが困難である。
【０００５】また、小型化の要請からスペースの余裕が
余りなく、冷却装置を組み込むことが困難である。
余りなく、冷却装置を組み込むことが困難である。
【０００６】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消して、冷媒を使ってプリント基板を均一に冷却す
ることができ、しかもスペースの有効利用が図れる電子
機器の冷却装置を提供することにある。
を解消して、冷媒を使ってプリント基板を均一に冷却す
ることができ、しかもスペースの有効利用が図れる電子
機器の冷却装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上下に貫通す
る顕微鏡用の穴を中央に有するテストヘッドの上記顕微
鏡用穴の外周に、放射状に複数のプリント基板を配列
し、該プリント基板に冷媒路を備えた放熱板を取り付
け、該放熱板の冷媒路に冷媒を流すことによりプリント
基板を冷却する電子機器の冷却装置において、上記顕微
鏡用穴の一部に該穴径と略同一径をもつように設けられ
た外部から冷媒を供給される内側環状管と、該内側環状
管に供給された冷媒を上記各プリント基板に備えた放熱
板の冷媒路に均一に分配する分配支管と、上記各放熱板
の冷媒路から排出された冷媒を外側環状管に集める集合
支管と、放射状に配列したプリント基板の外周近傍に設
けられ、集合支管から集められた排出液を外部に排出す
る外側環状管とを備えたものである。
る顕微鏡用の穴を中央に有するテストヘッドの上記顕微
鏡用穴の外周に、放射状に複数のプリント基板を配列
し、該プリント基板に冷媒路を備えた放熱板を取り付
け、該放熱板の冷媒路に冷媒を流すことによりプリント
基板を冷却する電子機器の冷却装置において、上記顕微
鏡用穴の一部に該穴径と略同一径をもつように設けられ
た外部から冷媒を供給される内側環状管と、該内側環状
管に供給された冷媒を上記各プリント基板に備えた放熱
板の冷媒路に均一に分配する分配支管と、上記各放熱板
の冷媒路から排出された冷媒を外側環状管に集める集合
支管と、放射状に配列したプリント基板の外周近傍に設
けられ、集合支管から集められた排出液を外部に排出す
る外側環状管とを備えたものである。
【０００８】
【作用】外部から内側環状管に冷媒を供給すると、冷媒
は内側環状管から分配支管を通って各プリント基板に取
り付けられた放熱板の冷媒路に均一に分配される。冷媒
路に分配された冷媒はプリント基板を冷却した後排出さ
れ、集合支管を通って外側環状管に集められる。外側環
状管に集められた冷媒はこれより外部に排出される。
は内側環状管から分配支管を通って各プリント基板に取
り付けられた放熱板の冷媒路に均一に分配される。冷媒
路に分配された冷媒はプリント基板を冷却した後排出さ
れ、集合支管を通って外側環状管に集められる。外側環
状管に集められた冷媒はこれより外部に排出される。
【０００９】内側環状管は、テストヘッドの顕微鏡用穴
径と略同一径をもち、顕微鏡用穴の一部に収められてい
る。
径と略同一径をもち、顕微鏡用穴の一部に収められてい
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本実施例のＩＣテスタのテストヘッドの冷却
装置を示し、図２は図１の概略縦断面図である。
る。図１は本実施例のＩＣテスタのテストヘッドの冷却
装置を示し、図２は図１の概略縦断面図である。
【００１１】テストヘッド１は上下をマザーボード２に
仕切られ、そのマザーボード２を抜けてテストヘッド１
を上下に貫通する顕微鏡用の穴３がテストヘッド１の中
央に設けられる。この顕微鏡用穴３は、もともとウェハ
テストのときに、この穴３より顕微鏡を挿入してウェハ
を観察するために用意されたものである。この穴３は、
顕微鏡用の挿入穴として利用されなくなっても、プリン
ト基板を放射状配列にする関係上、多くはそのまま残存
している。
仕切られ、そのマザーボード２を抜けてテストヘッド１
を上下に貫通する顕微鏡用の穴３がテストヘッド１の中
央に設けられる。この顕微鏡用穴３は、もともとウェハ
テストのときに、この穴３より顕微鏡を挿入してウェハ
を観察するために用意されたものである。この穴３は、
顕微鏡用の挿入穴として利用されなくなっても、プリン
ト基板を放射状配列にする関係上、多くはそのまま残存
している。
【００１２】マザーボード２の上側の顕微鏡用穴３の外
周に、放射状に多数のプリント基板４を配列してある。
このプリント基板４には冷媒路５を備えた放熱板６が取
り付けられる。冷媒路５には冷媒入口１６と冷媒出口１
４が設けられる。冷媒路５に冷媒を流すことによってプ
リント基板を冷却するようになっている。
周に、放射状に多数のプリント基板４を配列してある。
このプリント基板４には冷媒路５を備えた放熱板６が取
り付けられる。冷媒路５には冷媒入口１６と冷媒出口１
４が設けられる。冷媒路５に冷媒を流すことによってプ
リント基板を冷却するようになっている。
【００１３】マザーボード２の下側の顕微鏡用穴３の下
部に、外径が顕微鏡用穴３と略同一径をもち、穴内にち
ょうど収るように内側環状管７が設けられる。内側環状
管７には、この内部に外部から冷媒９を供給するための
供給管８が接続される。また、上記プリント基板４の放
熱板６の冷媒路５へ冷媒９を分配するための複数本の分
配支管１０が接続される。各分配支管１０には適切な絞
りが設けられて、これらに流れる冷媒流量が均一に分配
されるようにしてある。
部に、外径が顕微鏡用穴３と略同一径をもち、穴内にち
ょうど収るように内側環状管７が設けられる。内側環状
管７には、この内部に外部から冷媒９を供給するための
供給管８が接続される。また、上記プリント基板４の放
熱板６の冷媒路５へ冷媒９を分配するための複数本の分
配支管１０が接続される。各分配支管１０には適切な絞
りが設けられて、これらに流れる冷媒流量が均一に分配
されるようにしてある。
【００１４】分配支管１０は、内側環状管７から、その
周方向に沿って等間隔に出ており、それぞれマザーボー
ド２を通ってテストヘッド１の上側に導かれる。導かれ
た複数本の分配支管１０の各先端は、さらに複数に分岐
してある。この分岐数は、プリント基板４をグループ化
して、グループ単位で冷媒が分配できるように、グルー
プ内の基板数に合せてある。例えば、放射状配列の全プ
リント基板枚数が７２枚であると、それを４分割してグ
ループ化すると、１本の分配支管１０で分担するプリン
ト基板枚数は１８枚となるから、分配支管１０の先端で
の分岐数は１８本となる。分岐された各分岐管１１は、
各プリント基板４に取り付けられた放熱板６の冷媒路５
の冷媒入口１６に接続される。なお、分岐管１１にも適
切な絞りが設けられいる。
周方向に沿って等間隔に出ており、それぞれマザーボー
ド２を通ってテストヘッド１の上側に導かれる。導かれ
た複数本の分配支管１０の各先端は、さらに複数に分岐
してある。この分岐数は、プリント基板４をグループ化
して、グループ単位で冷媒が分配できるように、グルー
プ内の基板数に合せてある。例えば、放射状配列の全プ
リント基板枚数が７２枚であると、それを４分割してグ
ループ化すると、１本の分配支管１０で分担するプリン
ト基板枚数は１８枚となるから、分配支管１０の先端で
の分岐数は１８本となる。分岐された各分岐管１１は、
各プリント基板４に取り付けられた放熱板６の冷媒路５
の冷媒入口１６に接続される。なお、分岐管１１にも適
切な絞りが設けられいる。
【００１５】一方、テストヘッド１の上側の放射状に配
列したプリント基板４の外周近傍に、使用済みの冷媒を
集めてこれを外部に排出するための外側環状管１２が設
けられる。外側環状管１２には、冷媒を外部に排出する
ための排出管１３が接続される。また、上記プリント基
板４の放熱板６の冷媒出口１４から排出された冷媒９を
集合して外側環状管１２に集める集合支管１５が接続さ
れる。この集合支管１５もグループ化してもよいが、図
示例では圧力損失をなくして排出を円滑にするため、各
プリント基板４の冷媒出口１４と外側環状管１２とを基
板４と同数本の集合支管１５で直接接続してある。
列したプリント基板４の外周近傍に、使用済みの冷媒を
集めてこれを外部に排出するための外側環状管１２が設
けられる。外側環状管１２には、冷媒を外部に排出する
ための排出管１３が接続される。また、上記プリント基
板４の放熱板６の冷媒出口１４から排出された冷媒９を
集合して外側環状管１２に集める集合支管１５が接続さ
れる。この集合支管１５もグループ化してもよいが、図
示例では圧力損失をなくして排出を円滑にするため、各
プリント基板４の冷媒出口１４と外側環状管１２とを基
板４と同数本の集合支管１５で直接接続してある。
【００１６】図３に示すように、プリント基板４に取り
付けられる放熱板６は、プリント基板４を、外側上方か
ら内側下方に円弧状に延びた板状体をしている。円弧状
にしてあるのは、プリント基板上に搭載されたＬＳＩな
どの発熱電子部品１７が弧状配列になっているからであ
る。この放熱板６は、内部に点線で示すように冷媒路５
が設けてあり、その端部に冷媒入口１６、冷媒出口１４
が設けられる。放熱板６は、熱伝導性の良好なアルミま
たは銅で構成するとよい。放熱板１６は図３（Ａ）に示
すようにプリント基板４の両側に設けてもよい。
付けられる放熱板６は、プリント基板４を、外側上方か
ら内側下方に円弧状に延びた板状体をしている。円弧状
にしてあるのは、プリント基板上に搭載されたＬＳＩな
どの発熱電子部品１７が弧状配列になっているからであ
る。この放熱板６は、内部に点線で示すように冷媒路５
が設けてあり、その端部に冷媒入口１６、冷媒出口１４
が設けられる。放熱板６は、熱伝導性の良好なアルミま
たは銅で構成するとよい。放熱板１６は図３（Ａ）に示
すようにプリント基板４の両側に設けてもよい。
【００１７】また、冷媒としては水道水などでよく、特
に工業用水にさび止め用のイオン系薬剤を混入したもの
が経済的かつ簡便である。
に工業用水にさび止め用のイオン系薬剤を混入したもの
が経済的かつ簡便である。
【００１８】さて、外部から供給管８を介して内側環状
管７に冷媒９を供給すると、冷媒９は内側環状管７に一
旦貯められた後、これより分配支管１０を通って分岐管
１１に送られる。分岐管１１から各プリント基板４に取
り付けられた放熱板６の冷媒路５に冷媒入口１６を通っ
て均一に分配される。冷媒路５に分配された冷媒９はプ
リント基板４上に搭載された電子部品を冷却した後、冷
媒出口１４から排出される。冷媒出口１４から排出され
た使用済みの冷媒９は、集合支管１５を通って外側環状
管１２に集められる。そして、外側環状管１２より排出
管１３を通して外部に排出される。
管７に冷媒９を供給すると、冷媒９は内側環状管７に一
旦貯められた後、これより分配支管１０を通って分岐管
１１に送られる。分岐管１１から各プリント基板４に取
り付けられた放熱板６の冷媒路５に冷媒入口１６を通っ
て均一に分配される。冷媒路５に分配された冷媒９はプ
リント基板４上に搭載された電子部品を冷却した後、冷
媒出口１４から排出される。冷媒出口１４から排出され
た使用済みの冷媒９は、集合支管１５を通って外側環状
管１２に集められる。そして、外側環状管１２より排出
管１３を通して外部に排出される。
【００１９】本実施例によれば、外部から供給される冷
媒９を直接プリント基板４の各冷媒路５に供給するので
はなく、容量が大きな内側環状管７に一旦貯めてから、
容量が小さな各分配支管１０に分配するようにしたの
で、各分配支管１０に分配される流量が安定する。ま
た、各分配支管１０および分岐管１１に適切な絞りが設
けられ、これらに流れる冷媒流量が均一に分配されるよ
うにしてあるため、プリント基板間での流量のバラツキ
がなく、基板上の電子部品を均一に冷却することができ
る。
媒９を直接プリント基板４の各冷媒路５に供給するので
はなく、容量が大きな内側環状管７に一旦貯めてから、
容量が小さな各分配支管１０に分配するようにしたの
で、各分配支管１０に分配される流量が安定する。ま
た、各分配支管１０および分岐管１１に適切な絞りが設
けられ、これらに流れる冷媒流量が均一に分配されるよ
うにしてあるため、プリント基板間での流量のバラツキ
がなく、基板上の電子部品を均一に冷却することができ
る。
【００２０】また、容量が小さな集合支管１５から容量
が大きな外側環状管１２へ冷媒を排出するようにしたの
で、圧損が小さく、使用済み冷媒の排出が円滑に行え
る。
が大きな外側環状管１２へ冷媒を排出するようにしたの
で、圧損が小さく、使用済み冷媒の排出が円滑に行え
る。
【００２１】また、内側環状管７は、テストヘッド１の
顕微鏡用穴３の径と略同一径をもち、顕微鏡用穴３の一
部に収められているため、スペースの有効利用が図れ
る。
顕微鏡用穴３の径と略同一径をもち、顕微鏡用穴３の一
部に収められているため、スペースの有効利用が図れ
る。
【００２２】また、複数のプリント基板４をグループ化
し、グループ単位で冷媒を分配するように、分配支管１
０をさらに分岐するようにしたので、配管を簡略化する
ことができる。
し、グループ単位で冷媒を分配するように、分配支管１
０をさらに分岐するようにしたので、配管を簡略化する
ことができる。
【００２３】なお、上述した実施例では、内側環状管か
ら外側環状管へ冷媒を流すようにしたが、逆に外側環状
管に冷媒を供給し、これより内側環状管に向けて冷媒を
流すようにしてもよい。
ら外側環状管へ冷媒を流すようにしたが、逆に外側環状
管に冷媒を供給し、これより内側環状管に向けて冷媒を
流すようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、各プリント基板に取り
付けた放熱板の冷媒路への冷媒は分配支管を介して均一
に供給されるため、各プリント基板を均一に冷却ができ
る。
付けた放熱板の冷媒路への冷媒は分配支管を介して均一
に供給されるため、各プリント基板を均一に冷却ができ
る。
【００２５】また、内側環状管は顕微鏡用穴の一部に設
けられるので、テストヘッドの顕微鏡穴の有効利用が図
れる。
けられるので、テストヘッドの顕微鏡穴の有効利用が図
れる。
【図１】本発明の電子機器の冷却装置の実施例を説明す
るためのテストヘッドの冷却装置の概略構成図。
るためのテストヘッドの冷却装置の概略構成図。
【図２】図１の概略縦断面図。
【図３】本実施例のプリント基板の説明図。
１ テストヘッド（電子機器） ３ 顕微鏡用の穴 ４ プリント基板 ５ 冷媒路 ６ 放熱板 ７ 内側環状管 ９ 冷媒 １０ 分配支管 １１ 分岐管 １２ 外側環状管 １５ 集合支管
Claims (2)
- 【請求項１】上下に貫通する顕微鏡用の穴を中央に有す
るテストヘッドの上記顕微鏡用穴の外周に、放射状に複
数のプリント基板を配列し、該プリント基板に冷媒路を
備えた放熱板を取り付け、該放熱板の冷媒路に冷媒を流
すことによりプリント基板を冷却する電子機器の冷却装
置において、 上記顕微鏡用穴の一部に該穴径と略同一径をもつように
設けられた外部から冷媒を供給される内側環状管と、 該内側環状管に供給された冷媒を上記各プリント基板に
備えた放熱板の冷媒路に均一に分配する分配支管と、 上記各放熱板の冷媒路から排出された冷媒を外側環状管
に集める集合支管と、 放射状に配列したプリント基板の外周近傍に設けられ、
上記集合支管から集められた排出液を外部に排出する外
側環状管とを備えたことを特徴とする電子機器の冷却装
置。 - 【請求項２】上記複数のプリント基板をグループ化し、
グループ単位で冷媒を分配するようにしたことを特徴と
する請求項１に記載の電子機器の冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14281894A JPH0815377A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 電子機器の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14281894A JPH0815377A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 電子機器の冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815377A true JPH0815377A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15324347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14281894A Withdrawn JPH0815377A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 電子機器の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815377A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008304208A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験装置用テストヘッド |
| CN103236274A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-08-07 | 东莞星晖真空镀膜塑胶制品有限公司 | 震动散热器 |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP14281894A patent/JPH0815377A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008304208A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Yokogawa Electric Corp | 半導体試験装置用テストヘッド |
| CN103236274A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-08-07 | 东莞星晖真空镀膜塑胶制品有限公司 | 震动散热器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0538833B1 (en) | Integrated circuit package having a cooling mechanism | |
| EP0560478B1 (en) | Cooling structure for electronic circuit package | |
| US6173759B1 (en) | Method of cooling electronic devices using a tube in plate heat sink | |
| US5083194A (en) | Air jet impingement on miniature pin-fin heat sinks for cooling electronic components | |
| US4277816A (en) | Electronic circuit module cooling | |
| US7511957B2 (en) | Methods for fabricating a cooled electronic module employing a thermally conductive return manifold structure sealed to the periphery of a surface to be cooled | |
| US5986882A (en) | Electronic apparatus having removable processor/heat pipe cooling device modules therein | |
| US7990706B2 (en) | Cooling duct and electronic apparatus | |
| US8625280B2 (en) | Cooling memory modules using cold plate blades coupled to the memory modules via clips | |
| JP2022533424A (ja) | コールドプレート | |
| KR20000035950A (ko) | 전자 소자 분사 냉각 장치 | |
| US5812372A (en) | Tube in plate heat sink | |
| JP2008124458A (ja) | 空気／流体冷却システム | |
| US5166775A (en) | Air manifold for cooling electronic devices | |
| JPH0815377A (ja) | 電子機器の冷却装置 | |
| JPH08172285A (ja) | 冷却プレートおよび冷却装置 | |
| EP0972166A1 (en) | Apparatus and method for cooling an electronic heat source | |
| US20170250123A1 (en) | Method and Apparatus for Cooling Integrated Circuits | |
| JPH02206199A (ja) | タンク | |
| JP3260584B2 (ja) | マルチチップモジュールの冷却機構 | |
| EP0709885A2 (en) | Circuit pack with integrated closed-loop cooling system | |
| WO1999006782A1 (en) | Apparatus and method for cooling an electronic component using a porous material | |
| CA2026681A1 (en) | Coolant supply apparatus for liquid-cooled electronic device | |
| WO2005022052A1 (en) | Two-phase cooling apparatus and method for automatic test equipment | |
| JP2690585B2 (ja) | 半導体素子の冷却構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |