JPH08152918A - 定格流量発生器 - Google Patents
定格流量発生器Info
- Publication number
- JPH08152918A JPH08152918A JP29338794A JP29338794A JPH08152918A JP H08152918 A JPH08152918 A JP H08152918A JP 29338794 A JP29338794 A JP 29338794A JP 29338794 A JP29338794 A JP 29338794A JP H08152918 A JPH08152918 A JP H08152918A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- gas
- pressure
- control
- gas pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高精度の流量が得られて、その多段な切替えが
可能であり、しかも同発生器自体を極めてコンパクトに
構成し、簡単に持ち運びが可能で且つ外部機器に接続可
能な定格流量発生器を提供する。 【構成】単一のハウジング(13)内に複数の音速ノズル(1
1)と各ノズル(11)を中央処理部(20)からの指令に基づき
所定の気体圧をもって選択的に開閉する同数の弾性シー
ト(12)とを装着すると共に、定格流量発生気体を一定圧
で前記ハウジング内に導入し、更には発生流量を予め設
定された所定の温度及び大気圧下における換算流量とし
て流出させる。
可能であり、しかも同発生器自体を極めてコンパクトに
構成し、簡単に持ち運びが可能で且つ外部機器に接続可
能な定格流量発生器を提供する。 【構成】単一のハウジング(13)内に複数の音速ノズル(1
1)と各ノズル(11)を中央処理部(20)からの指令に基づき
所定の気体圧をもって選択的に開閉する同数の弾性シー
ト(12)とを装着すると共に、定格流量発生気体を一定圧
で前記ハウジング内に導入し、更には発生流量を予め設
定された所定の温度及び大気圧下における換算流量とし
て流出させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、燃料ガス、空気等の気
体を所定の流量で切替供給するための定格流量発生器に
関し、更に詳しくは気体流量が高精度に制御されると共
に、多段階の設定流量が円滑に切替可能とされ、要すれ
ば同設定流量が所定の設定温度及び気圧下における換算
流量として制御される携帯可能で且つ簡単な構造を有す
る定格流量発生器に関する。
体を所定の流量で切替供給するための定格流量発生器に
関し、更に詳しくは気体流量が高精度に制御されると共
に、多段階の設定流量が円滑に切替可能とされ、要すれ
ば同設定流量が所定の設定温度及び気圧下における換算
流量として制御される携帯可能で且つ簡単な構造を有す
る定格流量発生器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、各種ガス器具の流量や自動車の排
ガス量を計測するガス計器類の精度試験にあたっては、
通常、各種の計器類を所定流量のガス供給源とつながっ
た基準メータや較正用メータに接続してガス流量の計測
精度を検査している。
ガス量を計測するガス計器類の精度試験にあたっては、
通常、各種の計器類を所定流量のガス供給源とつながっ
た基準メータや較正用メータに接続してガス流量の計測
精度を検査している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上述のガス
計器類の精度試験では、同計器類を基準メータや較正用
メータが設置されている場所に搬入する必要があるばか
りでなく、ガス計器類の能力によりガス供給源から供給
されるガス流量に対する多様な流量が要求され、その都
度、前記基準メータや較正用メータの調整を行う必要に
迫られる。
計器類の精度試験では、同計器類を基準メータや較正用
メータが設置されている場所に搬入する必要があるばか
りでなく、ガス計器類の能力によりガス供給源から供給
されるガス流量に対する多様な流量が要求され、その都
度、前記基準メータや較正用メータの調整を行う必要に
迫られる。
【０００４】本発明はかかる従来の課題を解決すべくな
されたものであり、その目的は簡単な機構で且つ多様な
設定流量が高精度に得られ、しかも簡単に持ち運びが可
能な定格流量発生器を提供することにある。
されたものであり、その目的は簡単な機構で且つ多様な
設定流量が高精度に得られ、しかも簡単に持ち運びが可
能な定格流量発生器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的は、本発明の
主要な構成である気体導入路を介して外部の流量発生源
に連結される気体導入室と、気体流出路を介して外部の
定格流量導入機器に連結される気体流出室とが仕切壁に
より画成されてなるハウジングを有し、臨界圧力比の異
なる複数の音速ノズルが、その絞り端を前記気体導入室
に臨設すると共に、その開放端を前記気体流出室に臨設
させて、前記仕切壁を貫通して並設され、各絞り端を開
閉するノズル開閉シートが各音速ノズルの絞り端に相対
して設置されると共に、各ノズル開閉シートの各背面に
は外部制御気体圧通路が各音速ノズルに対応して設けら
れてなることを特徴とする定格流量発生器により達成さ
れる。
主要な構成である気体導入路を介して外部の流量発生源
に連結される気体導入室と、気体流出路を介して外部の
定格流量導入機器に連結される気体流出室とが仕切壁に
より画成されてなるハウジングを有し、臨界圧力比の異
なる複数の音速ノズルが、その絞り端を前記気体導入室
に臨設すると共に、その開放端を前記気体流出室に臨設
させて、前記仕切壁を貫通して並設され、各絞り端を開
閉するノズル開閉シートが各音速ノズルの絞り端に相対
して設置されると共に、各ノズル開閉シートの各背面に
は外部制御気体圧通路が各音速ノズルに対応して設けら
れてなることを特徴とする定格流量発生器により達成さ
れる。
【０００６】また、好適な態様によれば上記外部制御気
体圧通路にはそれぞれに三方切替弁が接続され、各三方
切替弁は更に中央処理部に連結され、前記中央処理部か
らの指令により前記外部制御気体圧通路が選択的に切替
えられ、上記気体流出路から流出する設定流量を任意に
変更可能としている。
体圧通路にはそれぞれに三方切替弁が接続され、各三方
切替弁は更に中央処理部に連結され、前記中央処理部か
らの指令により前記外部制御気体圧通路が選択的に切替
えられ、上記気体流出路から流出する設定流量を任意に
変更可能としている。
【０００７】更に、前記気体導入路は二次側流路が接続
される気体圧制御弁を含む気体圧制御回路を有し、前記
中央処理部に前記気体流出路の気体温度を検出する温度
センサが接続されると共に流量制御時の実気圧値が入力
され、同中央処理部において所定の設定温度及び気圧下
における前記気体流出路の実流量を演算すると共に、同
演算値に従い前記気体圧制御回路の二次側気体圧を制御
する。
される気体圧制御弁を含む気体圧制御回路を有し、前記
中央処理部に前記気体流出路の気体温度を検出する温度
センサが接続されると共に流量制御時の実気圧値が入力
され、同中央処理部において所定の設定温度及び気圧下
における前記気体流出路の実流量を演算すると共に、同
演算値に従い前記気体圧制御回路の二次側気体圧を制御
する。
【０００８】
【作用】圧力制御弁の一次側配管路と二次側配管路との
間に強制還流管路を設置することにより、前記圧力制御
弁には一次側気体圧流路から二次側気体圧流路に所定の
圧力をもつ流量発生気体が継続的に流れるようになるた
め、気体圧制御回路の起動時、或いは設定圧力の切替時
にも周辺部材がよく追随するようになり、短時間に安定
した制御気体圧が得られる。
間に強制還流管路を設置することにより、前記圧力制御
弁には一次側気体圧流路から二次側気体圧流路に所定の
圧力をもつ流量発生気体が継続的に流れるようになるた
め、気体圧制御回路の起動時、或いは設定圧力の切替時
にも周辺部材がよく追随するようになり、短時間に安定
した制御気体圧が得られる。
【０００９】定格流量発生器の流量切替部には、前記圧
力制御弁により一定圧力の気体が送り込まれ、中央処理
部からの指令に基づき複数の臨界圧力比が同一若しくは
異なる音速ノズルのうち所望のノズルを開閉して同ノズ
ルから流出する所定流量の気体の総量をハウジングの気
体流出路から外部に流出させる。音速ノズルは、このと
き、好ましくは温度センサによる流出気体の温度信号及
び操作時の大気圧信号を中央処理部に送り、同処理部に
おいて予め設定された所定温度及び所定の大気圧下にお
ける流量を演算し、同演算値に基づき発生流量を制御す
る。
力制御弁により一定圧力の気体が送り込まれ、中央処理
部からの指令に基づき複数の臨界圧力比が同一若しくは
異なる音速ノズルのうち所望のノズルを開閉して同ノズ
ルから流出する所定流量の気体の総量をハウジングの気
体流出路から外部に流出させる。音速ノズルは、このと
き、好ましくは温度センサによる流出気体の温度信号及
び操作時の大気圧信号を中央処理部に送り、同処理部に
おいて予め設定された所定温度及び所定の大気圧下にお
ける流量を演算し、同演算値に基づき発生流量を制御す
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の代表的な実施例を図面に基づ
いて具体的に説明する。図１は本発明の定格流量発生器
の制御回路例を示すブロック図である。本実施例におけ
る前記定格流量発生器はユニット化されており、単一の
ケーシング１内に全ての関連部材が一体に組み込まれて
いる。
いて具体的に説明する。図１は本発明の定格流量発生器
の制御回路例を示すブロック図である。本実施例におけ
る前記定格流量発生器はユニット化されており、単一の
ケーシング１内に全ての関連部材が一体に組み込まれて
いる。
【００１１】前記定格流量発生器は、本発明の中枢部を
なしている定格流量を発生させる流量制御部１０と、同
流量制御部１０に所定圧力の気体を供給する圧力制御部
３０と、前記流量制御部１０及び圧力制御部３０に制御
信号を送る中央処理部２０と、前記流量制御部１０から
流出する気体温度を検出して同中央処理部２０に同検出
信号を送る温度センサ２１とを有している。前記中央処
理部２０では、後述する圧力センサにより検出された圧
力制御部３０の二次側気体圧を設定圧力と比較演算し
て、同圧力制御部３０の二次側気体圧を制御する指令信
号を出力すると共に、前記温度センサ２１により検出さ
れた気体温度とそれとは別に入力される本定格流量発生
器の作動時における気圧の実値に基づき、予め設定され
た所定の温度及び気圧下における気体流量に換算して前
記流量制御部１０の発生流量を制御する。
なしている定格流量を発生させる流量制御部１０と、同
流量制御部１０に所定圧力の気体を供給する圧力制御部
３０と、前記流量制御部１０及び圧力制御部３０に制御
信号を送る中央処理部２０と、前記流量制御部１０から
流出する気体温度を検出して同中央処理部２０に同検出
信号を送る温度センサ２１とを有している。前記中央処
理部２０では、後述する圧力センサにより検出された圧
力制御部３０の二次側気体圧を設定圧力と比較演算し
て、同圧力制御部３０の二次側気体圧を制御する指令信
号を出力すると共に、前記温度センサ２１により検出さ
れた気体温度とそれとは別に入力される本定格流量発生
器の作動時における気圧の実値に基づき、予め設定され
た所定の温度及び気圧下における気体流量に換算して前
記流量制御部１０の発生流量を制御する。
【００１２】図２は前記流量制御部１０の代表的な構成
例を示している。同図によると、同流量制御部１０は内
部に複数（本実施例では６個）の音速ノズル１１及び各
音速ノズル１１を開閉する弾性シート１２を有するハウ
ジング１３からなる流量切替器１４と、各音速ノズル１
１に対応して設置されると共に、上記中央処理部２０に
接続されて同中央処理部２０からの指令信号を受け前記
音速ノズル１１の弾性シート１２に制御気体圧を作用さ
せて、同音速ノズル１１を選択的に開閉する三方電磁弁
１５とを備えている。
例を示している。同図によると、同流量制御部１０は内
部に複数（本実施例では６個）の音速ノズル１１及び各
音速ノズル１１を開閉する弾性シート１２を有するハウ
ジング１３からなる流量切替器１４と、各音速ノズル１
１に対応して設置されると共に、上記中央処理部２０に
接続されて同中央処理部２０からの指令信号を受け前記
音速ノズル１１の弾性シート１２に制御気体圧を作用さ
せて、同音速ノズル１１を選択的に開閉する三方電磁弁
１５とを備えている。
【００１３】前記流量切替器１４は、ハウジング１３の
内部が仕切壁１３ａを介して気体導入室１６及び気体流
出室１７に分けられ、気体導入室１６側の後壁１３ｂの
中央に気体導入路１６ａが貫通して形成されると共に、
前記気体流出室１７側の前壁１３ｃの中央には気体流出
路１７ａが貫通して形成されている。前記気体導入路１
６ａは上記圧力制御部３０の後述する二次側気体圧と配
管を介して接続されている。また、前記気体流出路１７
ａは外部のガス計器類等のガス類導入口に適宜接続され
る。
内部が仕切壁１３ａを介して気体導入室１６及び気体流
出室１７に分けられ、気体導入室１６側の後壁１３ｂの
中央に気体導入路１６ａが貫通して形成されると共に、
前記気体流出室１７側の前壁１３ｃの中央には気体流出
路１７ａが貫通して形成されている。前記気体導入路１
６ａは上記圧力制御部３０の後述する二次側気体圧と配
管を介して接続されている。また、前記気体流出路１７
ａは外部のガス計器類等のガス類導入口に適宜接続され
る。
【００１４】一方、前記仕切壁１３ａの中央部には同一
円周上に６個のノズル挿通孔が形成されており、各ノズ
ル挿通孔には音速ノズル１１が挿通され、パッキング１
８を介して気密に固定されている。音速ノズル１１は、
その絞り端１１ａが気体導入室１６の内部まで臨設さ
れ、その開放端は前記気体流出室１７の内部まで臨設さ
れる。複数の音速ノズル１１は等しい臨界圧力比を有し
ても良いが、多様な流量を選択し得るようにするために
は異なる臨界圧力比とすることが好ましい。本実施例に
よれば、２０℃、７６０mmHgの条件下で０．１、０．
２、０．４，０．８、１．６、３．２（ｍ3/Ｈ）の流量
が得られるための臨界圧力比を有する６本の音速ノズル
１１が配されている。勿論、前記音速ノズル１１の数は
必要に応じて変更が可能である。なお本実施例では、前
記音速ノズル１１は硬質ガラス製の細管を所定の長さご
とに加熱して絞ると共に、その中間部と前記絞り部を切
断し、一端を所定の細径のノズル孔とする。しかして、
材質としてはガラスに限らず、金属を使用することがで
きる。
円周上に６個のノズル挿通孔が形成されており、各ノズ
ル挿通孔には音速ノズル１１が挿通され、パッキング１
８を介して気密に固定されている。音速ノズル１１は、
その絞り端１１ａが気体導入室１６の内部まで臨設さ
れ、その開放端は前記気体流出室１７の内部まで臨設さ
れる。複数の音速ノズル１１は等しい臨界圧力比を有し
ても良いが、多様な流量を選択し得るようにするために
は異なる臨界圧力比とすることが好ましい。本実施例に
よれば、２０℃、７６０mmHgの条件下で０．１、０．
２、０．４，０．８、１．６、３．２（ｍ3/Ｈ）の流量
が得られるための臨界圧力比を有する６本の音速ノズル
１１が配されている。勿論、前記音速ノズル１１の数は
必要に応じて変更が可能である。なお本実施例では、前
記音速ノズル１１は硬質ガラス製の細管を所定の長さご
とに加熱して絞ると共に、その中間部と前記絞り部を切
断し、一端を所定の細径のノズル孔とする。しかして、
材質としてはガラスに限らず、金属を使用することがで
きる。
【００１５】また、上記後壁１３ｂの各音速ノズル１１
に相対する位置には制御気体圧の導入路１９が貫通して
形成され、その気体導入室１６への各開口部を閉塞する
ように弾性シート１２が固着されている。弾性シート１
２は、例えばシリコン系ゴムや各種の合成ゴム等の弾性
エラストマー樹脂シートからなり、この弾性シート１２
と音速ノズル１１との間隙は、気体導入室１７の内部圧
力よりも大きい所定圧の制御気体が前記制御気体圧導入
路１９に導入されたとき、同制御気体圧の作用により弾
性シート１２が変形して音速ノズル１１の絞り端１１ａ
に密接し、同絞り端１１ａを閉塞する距離に設定され
る。因みに、本実施例では前記制御気体圧は３．５ｋｇ
／ｃｍ2 であり、上記圧力制御部３０により制御されて
気体導入室１６に導入される気体圧は２．５ｋｇ／ｃｍ
2 、前記気体流出室１７から流出する気体流量は上述の
如く０．１、０．２、０．４，０．８、１．６、３．２
（ｍ3/Ｈ、但し２０℃、７６０mmHgの条件下での換算
値）の組合せにより、０．１から６．３（m3/H）まで0.
1 m3/Hごとに切替えが可能である。
に相対する位置には制御気体圧の導入路１９が貫通して
形成され、その気体導入室１６への各開口部を閉塞する
ように弾性シート１２が固着されている。弾性シート１
２は、例えばシリコン系ゴムや各種の合成ゴム等の弾性
エラストマー樹脂シートからなり、この弾性シート１２
と音速ノズル１１との間隙は、気体導入室１７の内部圧
力よりも大きい所定圧の制御気体が前記制御気体圧導入
路１９に導入されたとき、同制御気体圧の作用により弾
性シート１２が変形して音速ノズル１１の絞り端１１ａ
に密接し、同絞り端１１ａを閉塞する距離に設定され
る。因みに、本実施例では前記制御気体圧は３．５ｋｇ
／ｃｍ2 であり、上記圧力制御部３０により制御されて
気体導入室１６に導入される気体圧は２．５ｋｇ／ｃｍ
2 、前記気体流出室１７から流出する気体流量は上述の
如く０．１、０．２、０．４，０．８、１．６、３．２
（ｍ3/Ｈ、但し２０℃、７６０mmHgの条件下での換算
値）の組合せにより、０．１から６．３（m3/H）まで0.
1 m3/Hごとに切替えが可能である。
【００１６】かかる気体流量の切替えは、前記制御気体
圧導入路１９に接続する配管の途中に介在する上記三方
切替弁１５によりなされる。この三方切替弁１５は上記
中央処理部２０と接続されており、中央処理部２０から
の指令に基づき複数の三方電磁弁１５が切り替えられ、
一部の制御気体圧導入路１９に所定圧の制御気体を送
り、図３に示す如く弾性シート１２を押圧変形させて対
応する音速ノズル１１の絞り端１１ａを閉塞すると共
に、残る制御気体圧導入路１９を大気に開放するか或い
は負圧下において、図４に示す如く弾性シート１２を音
速ノズル１１の絞り端１１ａから離間させる。
圧導入路１９に接続する配管の途中に介在する上記三方
切替弁１５によりなされる。この三方切替弁１５は上記
中央処理部２０と接続されており、中央処理部２０から
の指令に基づき複数の三方電磁弁１５が切り替えられ、
一部の制御気体圧導入路１９に所定圧の制御気体を送
り、図３に示す如く弾性シート１２を押圧変形させて対
応する音速ノズル１１の絞り端１１ａを閉塞すると共
に、残る制御気体圧導入路１９を大気に開放するか或い
は負圧下において、図４に示す如く弾性シート１２を音
速ノズル１１の絞り端１１ａから離間させる。
【００１７】本実施例によれば、上記三方切替弁１５に
送られる制御気体圧は上記圧力制御部３０の二次側圧力
を分岐して得ている。図５は同圧力制御部の圧力制御回
路の一例を示すブロック図であり、同図に示す符号３１
は被制御気体の二次側圧力を所定の圧力に制御する圧力
制御弁であり、この圧力制御弁３１には本発明者等が先
に提案した（特願平６−１６５３５０号）、図６に示す
精密圧力制御弁が適用されている。
送られる制御気体圧は上記圧力制御部３０の二次側圧力
を分岐して得ている。図５は同圧力制御部の圧力制御回
路の一例を示すブロック図であり、同図に示す符号３１
は被制御気体の二次側圧力を所定の圧力に制御する圧力
制御弁であり、この圧力制御弁３１には本発明者等が先
に提案した（特願平６−１６５３５０号）、図６に示す
精密圧力制御弁が適用されている。
【００１８】図６によれば、弁本体３０ａの内部に、一
次側気体圧流路３２及び二次側気体圧流路３３が形成さ
れると共に、その各流路３２，３３を連結する連絡流路
３４の一次側気体圧流路３２側の流路上方に貫通部３５
を介して制御用空間３６が設けられ、前記連絡流路３４
の途中に弁座４２及び弁体４３からなるノズル部４４を
形成している。前記連絡流路３４と前記制御用空間３６
とを連通させる貫通部３５はバランスダイアフラム５０
により仕切られ、更に前記制御用空間３６内は二つの制
御用ダイアフラム４５，４６により、連絡流路３４に関
して離れた側から順に、制御用空気６１が供給される空
圧制御室４９と、大気７４に開放される大気室４８と、
第２気体圧流路３３側と連通する均圧室４７との三室に
仕切られている。更に、前記弁体４３と各ダイアフラム
４５，４６，５０との間が弁棒５１で連結されている。
次側気体圧流路３２及び二次側気体圧流路３３が形成さ
れると共に、その各流路３２，３３を連結する連絡流路
３４の一次側気体圧流路３２側の流路上方に貫通部３５
を介して制御用空間３６が設けられ、前記連絡流路３４
の途中に弁座４２及び弁体４３からなるノズル部４４を
形成している。前記連絡流路３４と前記制御用空間３６
とを連通させる貫通部３５はバランスダイアフラム５０
により仕切られ、更に前記制御用空間３６内は二つの制
御用ダイアフラム４５，４６により、連絡流路３４に関
して離れた側から順に、制御用空気６１が供給される空
圧制御室４９と、大気７４に開放される大気室４８と、
第２気体圧流路３３側と連通する均圧室４７との三室に
仕切られている。更に、前記弁体４３と各ダイアフラム
４５，４６，５０との間が弁棒５１で連結されている。
【００１９】上述のごとく制御用空間３６を二つの連結
された制御用ダイアフラム４５，４６及びバランスダイ
アフラム５０により三室に仕切ると共に、例えば空圧制
御室４９側に配される制御用ダイアフラム４５の径を均
圧室４７側に配される制御用ダイアフラム４６の径より
小さく設定する場合には、その面積比の分だけ均圧室４
７内の僅かな圧力変動に対しても敏感に応答し、精度の
高い圧力制御を可能にする。しかも、前記制御用ダイア
フラム４５，４６の径差が任意に設定できるため、上記
空圧制御室４９内の制御用空気圧を、その供給源にとっ
て最も変動なく供給できる最適な値に選定できる。
された制御用ダイアフラム４５，４６及びバランスダイ
アフラム５０により三室に仕切ると共に、例えば空圧制
御室４９側に配される制御用ダイアフラム４５の径を均
圧室４７側に配される制御用ダイアフラム４６の径より
小さく設定する場合には、その面積比の分だけ均圧室４
７内の僅かな圧力変動に対しても敏感に応答し、精度の
高い圧力制御を可能にする。しかも、前記制御用ダイア
フラム４５，４６の径差が任意に設定できるため、上記
空圧制御室４９内の制御用空気圧を、その供給源にとっ
て最も変動なく供給できる最適な値に選定できる。
【００２０】更に、前記制御用ダイアフラム４５，４６
を一体成形すると共に、その連結軸部５２に弁棒５１を
貫通させることなく挿入固定する場合には、大気室４８
が空圧制御室４９及び均圧室４７に対して制御用ダイア
フラム４５，４６を介して完全に隔離され、しかも仮り
に前記制御用ダイアフラム４５，４６のいずれかが破損
した場合にも、制御用空気と定格流量発生気体とが混入
することはなく、上述の高精度に加えて信頼性と安定性
が確保される。そして、同圧力制御弁３１の空圧制御室
４９には電気空圧変換器６０が接続されており、この電
気空圧変換器６０は、中央処理装置２０のＤ／Ａ変換部
と電気的に接続されており、同中央処理装置２０から電
気的な切替信号を受けると、同切替信号に基づき所定の
制御空気圧に変換し、同制御空気圧を前記圧力制御弁３
１の空圧制御室４９に送り出す。
を一体成形すると共に、その連結軸部５２に弁棒５１を
貫通させることなく挿入固定する場合には、大気室４８
が空圧制御室４９及び均圧室４７に対して制御用ダイア
フラム４５，４６を介して完全に隔離され、しかも仮り
に前記制御用ダイアフラム４５，４６のいずれかが破損
した場合にも、制御用空気と定格流量発生気体とが混入
することはなく、上述の高精度に加えて信頼性と安定性
が確保される。そして、同圧力制御弁３１の空圧制御室
４９には電気空圧変換器６０が接続されており、この電
気空圧変換器６０は、中央処理装置２０のＤ／Ａ変換部
と電気的に接続されており、同中央処理装置２０から電
気的な切替信号を受けると、同切替信号に基づき所定の
制御空気圧に変換し、同制御空気圧を前記圧力制御弁３
１の空圧制御室４９に送り出す。
【００２１】また、前記中央処理装置２０のＡ／Ｄ変換
部には圧力センサ８０が接続され、この圧力センサ８０
の検出圧入力口は前記圧力制御弁３１の二次側気体圧流
路３３につなげられており、二次側気体圧を常時検出
し、同検出信号が前記中央処理装置２０に送られ、同中
央処理装置２０にて所定の比較演算処理がなされて、上
記電気空圧変換器６０を作動させ、空圧制御室４９に供
給される制御空気圧をきめ細かに切り替え、二次側気体
圧をフィードバック制御する。
部には圧力センサ８０が接続され、この圧力センサ８０
の検出圧入力口は前記圧力制御弁３１の二次側気体圧流
路３３につなげられており、二次側気体圧を常時検出
し、同検出信号が前記中央処理装置２０に送られ、同中
央処理装置２０にて所定の比較演算処理がなされて、上
記電気空圧変換器６０を作動させ、空圧制御室４９に供
給される制御空気圧をきめ細かに切り替え、二次側気体
圧をフィードバック制御する。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなごとく、本発明
の定格流量発生器によれば、単一のハウジング内に複数
の音速ノズルと同ノズルを中央処理部からの指令に基づ
き気体圧をもって選択的に開閉される弾性シートとを装
着すると共に、定格流量発生気体を一定圧で前記ハウジ
ング内に導入し、更には発生流量が予め設定された所定
の温度及び大気圧下における換算流量として流出するよ
うにしてあるため、高精度の流量が得られるばかりでな
く、その多段な切替えが可能であり、しかも同発生器自
体が極めてコンパクトなものであり、例えば検査対象と
なるガス機器類の設置位置まで持ち運んで簡単にセット
できる有用な発明である。
の定格流量発生器によれば、単一のハウジング内に複数
の音速ノズルと同ノズルを中央処理部からの指令に基づ
き気体圧をもって選択的に開閉される弾性シートとを装
着すると共に、定格流量発生気体を一定圧で前記ハウジ
ング内に導入し、更には発生流量が予め設定された所定
の温度及び大気圧下における換算流量として流出するよ
うにしてあるため、高精度の流量が得られるばかりでな
く、その多段な切替えが可能であり、しかも同発生器自
体が極めてコンパクトなものであり、例えば検査対象と
なるガス機器類の設置位置まで持ち運んで簡単にセット
できる有用な発明である。
【図１】本発明の代表的な実施例である定格流量発生器
の制御回路を示すブロック図である。
の制御回路を示すブロック図である。
【図２】同定格流量発生器に適用される流量切替器の具
体的構成を示す断面図である。
体的構成を示す断面図である。
【図３】同流量切替器の音速ノズル閉塞時の作動説明図
である。
である。
【図４】同流量切替器の音速ノズル開放時の作動説明図
である。
である。
【図５】本発明の定格流量発生器に適用される代表的な
気体圧自動制御回路を示すブロック図である。
気体圧自動制御回路を示すブロック図である。
【図６】同気体圧自動制御回路の圧力制御弁の一例を示
す断面図である。
す断面図である。
１ ケーシング １０ 流量制御部 １１ 音速ノズル １２ 弾性シート １３ ハウジング １３ａ 仕切壁 １３ｂ 後壁 １３ｃ 前壁 １４ 流量切替器 １５ 三方電磁弁 １６ 気体導入室 １６ａ 気体導入路 １７ 気体流出室 １７ａ 気体流出路 １８ パッキング ２０ 中央処理装置 ２１ 温度センサ ３０ 圧力制御部 ３１ 弁本体 ３２ 一次側気体圧流路 ３３ 二次側気体圧流路 ３４ 連絡流路 ３５ 貫通部 ３６ 制御用空間 ４１ａ 一次側配管路 ４１ｂ 二次側配管路 ４２ 弁座 ４３ 弁体 ４４ ノズル部 ４５，４６ 制御用ダイアフラム ４７ 均圧室 ４８ 大気室 ４９ 空圧制御室 ５０ バランスダイアフラム ５１ 弁棒 ５２ 連結軸部 ６０ 電気空圧変換器 ６１ 制御空気圧 ８０ 圧力センサ
Claims (4)
- 【請求項１】 気体導入路を介して外部の流量発生源に
連結される気体導入室と、気体流出路を介して外部の定
格流量導入機器に連結される気体流出室とが仕切壁によ
り画成されてなるハウジングを有し、同一の又は異なる
臨界圧力比を有する複数の音速ノズルが、その絞り端を
前記気体導入室に臨設すると共に、その開放端を前記気
体流出室に臨設させて、前記仕切壁を貫通して並設さ
れ、各絞り端を開閉するノズル開閉シートが各音速ノズ
ルの絞り端に相対して設置されると共に、各ノズル開閉
シートの各背面に通じる外部制御気体圧通路が各音速ノ
ズルに対応して設けられてなることを特徴とする定格流
量発生器。 - 【請求項２】 それぞれの外部制御気体圧通路に接続さ
れる複数の三方切替弁を有し、各三方切替弁は中央処理
部に連結され、前記中央処理部からの指令により外部制
御気体圧通路が選択的に切替えられ、前記気体流出路か
ら流出する設定流量を変更可能にしてなることを特徴と
する請求項１記載の定格流量発生器。 - 【請求項３】 二次側流路が前記気体導入路に接続され
る気体圧制御弁を含む気体圧制御回路を有し、前記中央
処理部に前記気体流出路の気体温度を検出する温度セン
サが接続されると共に流量制御時の実気圧値が入力さ
れ、同中央処理部において所定の設定温度及び気圧下に
おける前記気体流出路の実流量を演算すると共に、同演
算値に従って前記気体圧制御回路の二次側気体圧を制御
する請求項２記載の定格流量発生器。 - 【請求項４】 前記中央処理部には、外部の操作信号に
接続される入出力端子が設けられてなる請求項２又は３
記載の定格流量発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29338794A JPH08152918A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 定格流量発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29338794A JPH08152918A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 定格流量発生器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08152918A true JPH08152918A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=17794113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29338794A Pending JPH08152918A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 定格流量発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08152918A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000075931A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Stec Kk | 流路絞りノズルを備えた制御バルブ |
| JP2003529218A (ja) * | 2000-03-27 | 2003-09-30 | パーカー・ハニフィン・コーポレーション | 半導体製造におけるプロセス・ガスの流量制御 |
| JP2014531007A (ja) * | 2011-10-21 | 2014-11-20 | フィッシャーコントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 着座荷重付勢をもつボリュームブースター |
-
1994
- 1994-11-28 JP JP29338794A patent/JPH08152918A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000075931A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Stec Kk | 流路絞りノズルを備えた制御バルブ |
| JP2003529218A (ja) * | 2000-03-27 | 2003-09-30 | パーカー・ハニフィン・コーポレーション | 半導体製造におけるプロセス・ガスの流量制御 |
| JP2014531007A (ja) * | 2011-10-21 | 2014-11-20 | フィッシャーコントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 着座荷重付勢をもつボリュームブースター |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4096746A (en) | Flow controller-flow sensor assembly for gas chromatographs and the like | |
| EP0428850B1 (en) | Multi-pipe flow-dividing dilution system | |
| KR100800088B1 (ko) | 비오염 본체를 가진, 화학적 불활성의 흐름 제어장치 | |
| US6533574B1 (en) | System for active regulation of the air/gas ratio of a burner including a differential pressure measuring system | |
| ATE283452T1 (de) | Regeleinrichtung für gasbrenner | |
| US10996689B2 (en) | Flow rate ratio control device with flow velocity control mode | |
| US5614655A (en) | Gas mixing device | |
| CN104215290A (zh) | 差压式容积检测装置及检测方法 | |
| US4356840A (en) | Digital fluid flow control system | |
| JPH06295209A (ja) | 流体コントロールバルブ | |
| JPH08152918A (ja) | 定格流量発生器 | |
| EP1899784A2 (en) | Exhaust apparatus pressure control system | |
| US7017387B2 (en) | Calibration and validation for leak detector | |
| CN112611540A (zh) | 一种柔性充气风洞试验模型压力自适应调节装置及方法 | |
| GB2129170A (en) | Improvements in or relating to pressure controllers | |
| JP7216192B2 (ja) | ガスアナライザを線形化または校正するためのガス混合装置 | |
| JP2005077310A (ja) | 気体測定装置及びその自己診断方法 | |
| JP3246390U (ja) | 質量分析装置及び漏洩検出装置 | |
| JPH08226878A (ja) | 排気ガスサンプリング装置 | |
| CN214066856U (zh) | 一种氧气水蒸气透过测试切换机构及测试设备 | |
| CN112432801B (zh) | 电气设备隔爆测试系统及隔爆试验罐内气体置换方法 | |
| RU2097601C1 (ru) | Устройство для наземной проверки пневмомонтажа электрореактивной двигательной установки | |
| KR100218165B1 (ko) | Egr밸브의 유량특성 시험장치 | |
| US6938456B2 (en) | Vacuum generating method and device including a charge valve and electronic control | |
| KR100237780B1 (ko) | 진공 스위칭 밸브의 성능 및 내구성 시험장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20031211 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040106 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040303 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040727 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |