JPH08152414A - 光学部品検査装置 - Google Patents
光学部品検査装置Info
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- JPH08152414A JPH08152414A JP6317632A JP31763294A JPH08152414A JP H08152414 A JPH08152414 A JP H08152414A JP 6317632 A JP6317632 A JP 6317632A JP 31763294 A JP31763294 A JP 31763294A JP H08152414 A JPH08152414 A JP H08152414A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業が容易かつ迅速な光学部品検査装置を提
供する。 【構成】 ＩＴＶカメラ１１は検査物からの透過光を読
み取る。画像処理装置１３は読み込まれた画像信号を処
理して複数階調の多値化データを生成する。計算機１５
は、この多値化データを複数の区間に分割し、各区間の
多値化データを補間して基準値を生成するとともに、多
値化データと基準値を比較し、検査物の検査を行う。従
来のように良品の検査を実施する必要がないため、作業
が容易かつ迅速になる。
供する。 【構成】 ＩＴＶカメラ１１は検査物からの透過光を読
み取る。画像処理装置１３は読み込まれた画像信号を処
理して複数階調の多値化データを生成する。計算機１５
は、この多値化データを複数の区間に分割し、各区間の
多値化データを補間して基準値を生成するとともに、多
値化データと基準値を比較し、検査物の検査を行う。従
来のように良品の検査を実施する必要がないため、作業
が容易かつ迅速になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レンズ、プリズム等の
光学部品のゴミ、キズの検査を行う装置に関する。
光学部品のゴミ、キズの検査を行う装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レンズ・プリズム等のゴミ、キズ
の検査を行う場合、検査物である検査品と良品の双方を
検査し、良品との比較により検査品の判定を行ってい
た。すなわち、例えば検査品と良品を同じ条件、すなわ
ち光軸、位置等を合わせて同様の試験を行い、両者の相
違に基づいて検査品を判定していた。
の検査を行う場合、検査物である検査品と良品の双方を
検査し、良品との比較により検査品の判定を行ってい
た。すなわち、例えば検査品と良品を同じ条件、すなわ
ち光軸、位置等を合わせて同様の試験を行い、両者の相
違に基づいて検査品を判定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の検
査では、検査品以外に良品の検査も行わねばならず、作
業が煩雑であった。さらに、良品と検査品の光軸および
位置が合致していないと、正しい判定が行われないた
め、高精度な位置決めを必要とし、更に作業が煩雑とな
り、作業時間も長くかかった。
査では、検査品以外に良品の検査も行わねばならず、作
業が煩雑であった。さらに、良品と検査品の光軸および
位置が合致していないと、正しい判定が行われないた
め、高精度な位置決めを必要とし、更に作業が煩雑とな
り、作業時間も長くかかった。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、上述した従来技術の課題に鑑
みてなされたものであり、従来よりも作業が容易かつ迅
速な光学部品検査装置を提供することを目的としてい
る。
みてなされたものであり、従来よりも作業が容易かつ迅
速な光学部品検査装置を提供することを目的としてい
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光学部品検
査装置は、検査物からの透過光を読み取り可能なカメラ
と、このカメラにより読み込まれた画像信号を処理して
複数階調の多値化データを生成する多値化データ生成手
段と、この多値化データを複数の区間に分割し、各区間
の多値化データを補間して基準値を生成する基準値生成
手段と、多値化データと基準値を比較し、検査物の検査
を行う検査手段とを備えたことを特徴としている。
査装置は、検査物からの透過光を読み取り可能なカメラ
と、このカメラにより読み込まれた画像信号を処理して
複数階調の多値化データを生成する多値化データ生成手
段と、この多値化データを複数の区間に分割し、各区間
の多値化データを補間して基準値を生成する基準値生成
手段と、多値化データと基準値を比較し、検査物の検査
を行う検査手段とを備えたことを特徴としている。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。図
１は、本実施例に係る光学部品検査装置を示すブロック
図である。検査物であるレンズ２１を透過した透過光
は、ＩＴＶカメラ１１に取り込まれ、画像処理装置１３
において複数階調の多値化データに変換される。計算機
１５ではこの多値化データを複数の区間に分割し、各区
間毎に補間して基準値が生成される。この基準値と上記
多値化データを比較することにより、レンズ２１のゴ
ミ、キズ等が検査される。
１は、本実施例に係る光学部品検査装置を示すブロック
図である。検査物であるレンズ２１を透過した透過光
は、ＩＴＶカメラ１１に取り込まれ、画像処理装置１３
において複数階調の多値化データに変換される。計算機
１５ではこの多値化データを複数の区間に分割し、各区
間毎に補間して基準値が生成される。この基準値と上記
多値化データを比較することにより、レンズ２１のゴ
ミ、キズ等が検査される。
【０００７】光源２５とＩＴＶカメラ１１の間には、検
査対象である光学部品のレンズ２１が、所定の位置、す
なわちＩＴＶカメラ１１によりほぼ全面にわたって読み
込まれる位置に設置される。
査対象である光学部品のレンズ２１が、所定の位置、す
なわちＩＴＶカメラ１１によりほぼ全面にわたって読み
込まれる位置に設置される。
【０００８】拡散板２３は、レンズ２１と光源２５の間
に設けられ、光源２５に固定されている。光源２１から
発せられた光は拡散板２３により拡散光に変換されてレ
ンズ２１に照射され、このレンズ２１を透過した透過光
が、ＩＴＶカメラ１１に読み込まれる。
に設けられ、光源２５に固定されている。光源２１から
発せられた光は拡散板２３により拡散光に変換されてレ
ンズ２１に照射され、このレンズ２１を透過した透過光
が、ＩＴＶカメラ１１に読み込まれる。
【０００９】ＩＴＶカメラ１１は、撮影された画像を画
像信号（ビデオ映像信号）に変換して出力する機能を有
する。この画像信号により構成される画面は２５６本の
水平走査線（ライン）から成り、各ラインは２５６画素
を有する。
像信号（ビデオ映像信号）に変換して出力する機能を有
する。この画像信号により構成される画面は２５６本の
水平走査線（ライン）から成り、各ラインは２５６画素
を有する。
【００１０】画像処理装置１３は、上記画像信号を処理
して複数階調の多値化データを生成するものであり、本
実施例では２５６階調の濃淡データが生成される。
して複数階調の多値化データを生成するものであり、本
実施例では２５６階調の濃淡データが生成される。
【００１１】計算機１５は、この多値化データを所定の
間隔で複数の区間に分割し、各区間毎に補間して基準値
を生成する機能を有している。さらに計算機１５では、
この基準値と上記多値化データとを比較し、検査物の検
査が行われる。
間隔で複数の区間に分割し、各区間毎に補間して基準値
を生成する機能を有している。さらに計算機１５では、
この基準値と上記多値化データとを比較し、検査物の検
査が行われる。
【００１２】ディスプレイ１７は、読み込まれた画像デ
ータ、計算機１５から出力される検査結果（例えば後述
する図２のグラフ）、あるいはエラー表示等を必要に応
じて画面に表示する機能を有し、これにより作業者は必
要な情報をディスプレイ１７を介して得ることができ
る。
ータ、計算機１５から出力される検査結果（例えば後述
する図２のグラフ）、あるいはエラー表示等を必要に応
じて画面に表示する機能を有し、これにより作業者は必
要な情報をディスプレイ１７を介して得ることができ
る。
【００１３】図２は、１水平走査線分の多値化データお
よび基準値の光量分布を表すグラフであり、（ａ）は多
値化データ（点線）と補間された基準曲線（実線）、
（ｂ）は多値化データと基準曲線の差を示している。
（ａ）の縦軸Ｙは光量、（ｂ）の縦軸Ｙは多値化データ
と基準データの光量差、横軸Ｘは（ａ）、（Ｂ）とも水
平走査線方向の画素を示している。
よび基準値の光量分布を表すグラフであり、（ａ）は多
値化データ（点線）と補間された基準曲線（実線）、
（ｂ）は多値化データと基準曲線の差を示している。
（ａ）の縦軸Ｙは光量、（ｂ）の縦軸Ｙは多値化データ
と基準データの光量差、横軸Ｘは（ａ）、（Ｂ）とも水
平走査線方向の画素を示している。
【００１４】多値化データは、開始点Ｘ［１］、終了点
Ｘ［７］、最大点Ｘ［４］および４つの分割点Ｘ
［２］，Ｘ［３］，Ｘ［５］，Ｘ［６］により６個の区
間に分割され、各区間毎に円弧補間が行われて基準値が
生成される。
Ｘ［７］、最大点Ｘ［４］および４つの分割点Ｘ
［２］，Ｘ［３］，Ｘ［５］，Ｘ［６］により６個の区
間に分割され、各区間毎に円弧補間が行われて基準値が
生成される。
【００１５】例えば分割点Ｘ［２］からＸ［３］の区間
の基準値を求める場合、この区間内の中点（ｘm,ｙm）
を抽出し、各分割点上の点（Ｘ［２］,Ｙ［２］）、
（Ｘ［３］,Ｙ［３］）および中点（ｘm,ｙm）の３点に
基づいて、円弧補間により基準曲線を求める。
の基準値を求める場合、この区間内の中点（ｘm,ｙm）
を抽出し、各分割点上の点（Ｘ［２］,Ｙ［２］）、
（Ｘ［３］,Ｙ［３］）および中点（ｘm,ｙm）の３点に
基づいて、円弧補間により基準曲線を求める。
【００１６】すなわち、区間上の３点を通る円の方程式
は、各２点間の垂直２等分線の交点が円の中心座標とな
るため、始点（ｘs,ｙs）、中点（ｘm,ｙm）、終点（ｘ
e,ｙe）から成る円の方程式は、この円の中心座標を
（ｘc,ｙc）、半径をｒとすると、
は、各２点間の垂直２等分線の交点が円の中心座標とな
るため、始点（ｘs,ｙs）、中点（ｘm,ｙm）、終点（ｘ
e,ｙe）から成る円の方程式は、この円の中心座標を
（ｘc,ｙc）、半径をｒとすると、
【数１】 となる。したがってこの区間［ｘs，ｘe］における基準
曲線は
曲線は
【数２】 となる（図２の（ａ）参照）。
【００１７】この基準曲線に、多値化データのｘ座標を
与えれば、その多値化データに対応する基準値が得られ
る。この基準値と多値化データの差をとり、図２の
（ｂ）に示す１次元のグラフを得る。（ｂ）において、
Ａ、Ｂで示す地点が、ゴミ、キズ等が検出された地点で
ある。このように、多値化データと基準値の差が、許容
誤差ΔＤより大きければ、レンズ２１にゴミ、キズ等が
あると判定される。なお、許容誤差ΔＤの値は、少なく
とも測定誤差より大きな値が設定され、目的に応じて適
宜定められる。このような作業が他のライン（走査線）
についても実施されてレンズ２１が検査される。
与えれば、その多値化データに対応する基準値が得られ
る。この基準値と多値化データの差をとり、図２の
（ｂ）に示す１次元のグラフを得る。（ｂ）において、
Ａ、Ｂで示す地点が、ゴミ、キズ等が検出された地点で
ある。このように、多値化データと基準値の差が、許容
誤差ΔＤより大きければ、レンズ２１にゴミ、キズ等が
あると判定される。なお、許容誤差ΔＤの値は、少なく
とも測定誤差より大きな値が設定され、目的に応じて適
宜定められる。このような作業が他のライン（走査線）
についても実施されてレンズ２１が検査される。
【００１８】なお、一般的に、分割する区間の数を増や
すと、検査精度は向上するが、反面処理時間が長くな
る。本実施例では多値化データを６区間に分割している
が、これは図２の（ａ）に示すように、この種のレンズ
の光量分布は、両端（Ｘ［１］〜Ｘ［２］およびＸ
［６］〜Ｘ［７］の区間）で下に向かって凸な曲線とな
り、その他の部分では上に向かって凸な曲線となる傾向
にある。したがって多値化データを少なくとも６個以上
に分割すると、検査において精度が良好に保たれる。し
かしながら処理の高速化の目的等から５個以下の分割と
してもよい。
すと、検査精度は向上するが、反面処理時間が長くな
る。本実施例では多値化データを６区間に分割している
が、これは図２の（ａ）に示すように、この種のレンズ
の光量分布は、両端（Ｘ［１］〜Ｘ［２］およびＸ
［６］〜Ｘ［７］の区間）で下に向かって凸な曲線とな
り、その他の部分では上に向かって凸な曲線となる傾向
にある。したがって多値化データを少なくとも６個以上
に分割すると、検査において精度が良好に保たれる。し
かしながら処理の高速化の目的等から５個以下の分割と
してもよい。
【００１９】また、本実施例では、各区間の補間には処
理の高速化のために円弧補間を用いたが、これに限るも
のではなく、従来公知の他の高次式による補間でもよ
い。
理の高速化のために円弧補間を用いたが、これに限るも
のではなく、従来公知の他の高次式による補間でもよ
い。
【００２０】図３、４は、本実施例の光学部品検査装置
の動作を示すフローチャートである。ステップ１０１で
は、ＩＴＶカメラ１１により１画面分の画像が取り込ま
れ、ステップ１０２では、この画像信号が画像処理装置
１３に読み込まれて多値化データに変換され、計算機１
５に出力される。以下、ステップ１０３以降では、計算
機１５においてこの多値化データに基づいて基準値が生
成されるとともに、多値化データと基準値を比較してレ
ンズ２１の検査が行われる。
の動作を示すフローチャートである。ステップ１０１で
は、ＩＴＶカメラ１１により１画面分の画像が取り込ま
れ、ステップ１０２では、この画像信号が画像処理装置
１３に読み込まれて多値化データに変換され、計算機１
５に出力される。以下、ステップ１０３以降では、計算
機１５においてこの多値化データに基づいて基準値が生
成されるとともに、多値化データと基準値を比較してレ
ンズ２１の検査が行われる。
【００２１】ステップ１０３では、これから処理を行う
ライン番号を示す変数ｌｉｎｅが１に初期化される。ス
テップ１０４以降では、変数ｌｉｎｅが示すラインの検
査が実行される。すなわちステップ１０４では、変数ｌ
ｉｎｅが２５６以上になるまでＮＯと判定されてステッ
プ１０５に進み、ステップ１０５〜１０７では、後述す
るサブルーチンが実行され、開始点Ｘ［１］、終了点Ｘ
［７］、最大点Ｘ［４］および各分割点Ｘ［２］，Ｘ
［３］，Ｘ［５］，Ｘ［６］が取り出される。ステップ
１０８では、上記各点の変数であるｎが１に初期化さ
れ、このｎが６より小さければステップ１１０からステ
ップ１１１へと進む。
ライン番号を示す変数ｌｉｎｅが１に初期化される。ス
テップ１０４以降では、変数ｌｉｎｅが示すラインの検
査が実行される。すなわちステップ１０４では、変数ｌ
ｉｎｅが２５６以上になるまでＮＯと判定されてステッ
プ１０５に進み、ステップ１０５〜１０７では、後述す
るサブルーチンが実行され、開始点Ｘ［１］、終了点Ｘ
［７］、最大点Ｘ［４］および各分割点Ｘ［２］，Ｘ
［３］，Ｘ［５］，Ｘ［６］が取り出される。ステップ
１０８では、上記各点の変数であるｎが１に初期化さ
れ、このｎが６より小さければステップ１１０からステ
ップ１１１へと進む。
【００２２】ステップ１１１以降では、変数ｎにより定
められる区間Ｘ［ｎ］〜Ｘ［ｎ＋１］についての検査が
実施される。まずステップ１１１では、この区間の両端
が、変数（ｘstart,ｙstart）、（ｘend,ｙend）に格納
され、ステップ１１２では、後述するサブルーチンが実
行され、この区間における中点が（ｘm,ｙm）が取り出
される。ステップ１１３では、上記（ｘstart,
ｙstart）、（ｘend,ｙend）および中間点（ｘm,ｙm）
の３点を用いて、円弧補間計算が行われ、この区間にお
ける基準線、および各画素に対応した基準値が求められ
る。
められる区間Ｘ［ｎ］〜Ｘ［ｎ＋１］についての検査が
実施される。まずステップ１１１では、この区間の両端
が、変数（ｘstart,ｙstart）、（ｘend,ｙend）に格納
され、ステップ１１２では、後述するサブルーチンが実
行され、この区間における中点が（ｘm,ｙm）が取り出
される。ステップ１１３では、上記（ｘstart,
ｙstart）、（ｘend,ｙend）および中間点（ｘm,ｙm）
の３点を用いて、円弧補間計算が行われ、この区間にお
ける基準線、および各画素に対応した基準値が求められ
る。
【００２３】図５は、ステップ１１４において実行され
るサブルーチンである。ステップ１２１では、変数ｉが
ｘstartに初期化される。ここで変数ｉは、図２の
（ａ）のＸ座標、すなわち主走査方向の各画素に対応す
るものである。本実施例では１ラインに２５６画素の多
値化データが得られるため、変数ｉは１から２５６の整
数値を取り得る。
るサブルーチンである。ステップ１２１では、変数ｉが
ｘstartに初期化される。ここで変数ｉは、図２の
（ａ）のＸ座標、すなわち主走査方向の各画素に対応す
るものである。本実施例では１ラインに２５６画素の多
値化データが得られるため、変数ｉは１から２５６の整
数値を取り得る。
【００２４】変数ｉの値がｘendを越えるまでステップ
１２２からステップ１２３に進み、変数ｉの画素に対応
した多値化データの画像出力値ｙgiと基準値の計算値ｙ
hiとの差が許容誤差ΔＤより大きいかが判定される。こ
の差が許容誤差ΔＤより大きい場合、ゴミ、キズ等が検
出されたと判定され、ステップ１２４において、その画
素の位置、すなわちＸ座標に相当する変数ｉの値と、Ｙ
座標に相当する変数ｌｉｎｅの値が、例えば図１のディ
スプレイ１７に表示される。
１２２からステップ１２３に進み、変数ｉの画素に対応
した多値化データの画像出力値ｙgiと基準値の計算値ｙ
hiとの差が許容誤差ΔＤより大きいかが判定される。こ
の差が許容誤差ΔＤより大きい場合、ゴミ、キズ等が検
出されたと判定され、ステップ１２４において、その画
素の位置、すなわちＸ座標に相当する変数ｉの値と、Ｙ
座標に相当する変数ｌｉｎｅの値が、例えば図１のディ
スプレイ１７に表示される。
【００２５】ステップ１２５では変数ｉの値が１つイン
クリメントされ、次の画素がセットされる。このように
してステップ１２２〜１２５の動作が繰返し実行され、
区間内の全画素について検査が実施される。ｘendの画
素の検査を終えると、ステップ１２２において、区間内
の全画素について検査が実施されたと判定され、このサ
ブルーチンは終了して図４のステップ１１５へと進む。
クリメントされ、次の画素がセットされる。このように
してステップ１２２〜１２５の動作が繰返し実行され、
区間内の全画素について検査が実施される。ｘendの画
素の検査を終えると、ステップ１２２において、区間内
の全画素について検査が実施されたと判定され、このサ
ブルーチンは終了して図４のステップ１１５へと進む。
【００２６】ステップ１１５では、区間変数ｎの値が１
つインクリメントされて次の区間がセットされ、上記ス
テップ１１０〜１１５の動作が繰返し実行されて全区間
の検査が実施される。最後の区間、すなわち分割点Ｘ
［６］から終了点Ｘ［７］までの区間の検査を終了する
と、ステップ１１０においてＮＯと判定され、ステップ
１１６において変数ｌｉｎｅの値が１つインクリメント
されて次のラインがセットされ、ステップ１０４へと戻
り、新たなラインの検査が実行される。
つインクリメントされて次の区間がセットされ、上記ス
テップ１１０〜１１５の動作が繰返し実行されて全区間
の検査が実施される。最後の区間、すなわち分割点Ｘ
［６］から終了点Ｘ［７］までの区間の検査を終了する
と、ステップ１１０においてＮＯと判定され、ステップ
１１６において変数ｌｉｎｅの値が１つインクリメント
されて次のラインがセットされ、ステップ１０４へと戻
り、新たなラインの検査が実行される。
【００２７】このようにして全ライン、すなわち２５６
本のラインの検査が終了すると、ステップ１０４におい
て１画面分の検査が終了したと判定されて、このフロー
チャートは終了する。
本のラインの検査が終了すると、ステップ１０４におい
て１画面分の検査が終了したと判定されて、このフロー
チャートは終了する。
【００２８】図６は、図３のステップ１０５において実
行されるサブルーチンである。ステップ２０１〜２０４
では開始点Ｘ［１］が定められる。すなわち、ステップ
２０１では変数ｉが１に初期化され、ステップ２０２で
は、このときの開始点Ｘ［１］が所定の基準に達してい
るかが判定される。すなわち図２の（ａ）に示すよう
に、光量Ｙは、開始点Ｘ［１］まではほぼ０であり、開
始点Ｘ［１］近傍で急激に増加している。したがってこ
こでは変数ｉおよびｉ＋１に対応する多値化データの光
量の差をとり、この差が所定のΔｙ以下であるか、さら
にはｙiの値が０でないかを判定し、その点が開始点Ｘ
［１］であるか否かが判定される。
行されるサブルーチンである。ステップ２０１〜２０４
では開始点Ｘ［１］が定められる。すなわち、ステップ
２０１では変数ｉが１に初期化され、ステップ２０２で
は、このときの開始点Ｘ［１］が所定の基準に達してい
るかが判定される。すなわち図２の（ａ）に示すよう
に、光量Ｙは、開始点Ｘ［１］まではほぼ０であり、開
始点Ｘ［１］近傍で急激に増加している。したがってこ
こでは変数ｉおよびｉ＋１に対応する多値化データの光
量の差をとり、この差が所定のΔｙ以下であるか、さら
にはｙiの値が０でないかを判定し、その点が開始点Ｘ
［１］であるか否かが判定される。
【００２９】ステップ２０２でＮＯと判定されると、ス
テップ２０３で変数ｉの値が１つインクリメントされ、
再びステップ２０２に戻って上述した動作が繰り返され
る。そしてステップ２０２においてＹＥＳと判定された
時点で、ステップ２０４に進み、このときの変数ｉの値
に基づいて開始点Ｘ［１］が定められる。
テップ２０３で変数ｉの値が１つインクリメントされ、
再びステップ２０２に戻って上述した動作が繰り返され
る。そしてステップ２０２においてＹＥＳと判定された
時点で、ステップ２０４に進み、このときの変数ｉの値
に基づいて開始点Ｘ［１］が定められる。
【００３０】続くステップ２０５〜２０８では、終了点
Ｘ［７］が定められる。すなわちステップ２０５では、
変数ｉが、１ラインにおける最大画素数である２５６に
定められ、ステップ２０６では、この変数ｉにより定ま
る終了点Ｘ［７］が所定の基準に達しているかが判定さ
れる。すなわち上記開始点Ｘ［１］の場合とは逆に、光
量Ｙは、終了点Ｘ［７］近傍で急激に減少して０とな
る。したがってここでは変数ｉ−１とｉにおける多値化
データの光量の差をとり、この差が所定のΔｙ以下であ
るか、さらにはｙiの値が０でないかを判定し、その点
が終了点Ｘ［７］であるか否かが判定される。
Ｘ［７］が定められる。すなわちステップ２０５では、
変数ｉが、１ラインにおける最大画素数である２５６に
定められ、ステップ２０６では、この変数ｉにより定ま
る終了点Ｘ［７］が所定の基準に達しているかが判定さ
れる。すなわち上記開始点Ｘ［１］の場合とは逆に、光
量Ｙは、終了点Ｘ［７］近傍で急激に減少して０とな
る。したがってここでは変数ｉ−１とｉにおける多値化
データの光量の差をとり、この差が所定のΔｙ以下であ
るか、さらにはｙiの値が０でないかを判定し、その点
が終了点Ｘ［７］であるか否かが判定される。
【００３１】ステップ２０６でＮＯと判定されると、ス
テップ２０７で変数ｉの値が１つデクリメントされ、再
びステップ２０６で上記判定が行われる。ＹＥＳと判定
されると、ステップ２０８に進み、このときの変数ｉの
値に基づいて終了点Ｘ［７］が定められる。
テップ２０７で変数ｉの値が１つデクリメントされ、再
びステップ２０６で上記判定が行われる。ＹＥＳと判定
されると、ステップ２０８に進み、このときの変数ｉの
値に基づいて終了点Ｘ［７］が定められる。
【００３２】図７は、ステップ１０６で実行されるサブ
ルーチンである。ここでは開始点Ｘ［１］から終了点Ｘ
［７］の間にある全ての多値化データの光量Ｙを比較し
て、最大の光量Ｙをもつ多値化データを抽出し、最大点
Ｘ［４］を定めている。すなわちステップ２１１では、
変数ｉが開始点Ｘ［１］に定められ、このときの光量ｙ
iがＭａｘに定められる。ステップ２１２では、変数ｉ
が１つインクリメントされ、このときの光量ｙiがＭａ
ｘを越えていると、ステップ２１４からステップ２１５
に進み、このときの変数ｉが最大点Ｘ［４］に、また光
量ｙiがＭａｘに更新される。
ルーチンである。ここでは開始点Ｘ［１］から終了点Ｘ
［７］の間にある全ての多値化データの光量Ｙを比較し
て、最大の光量Ｙをもつ多値化データを抽出し、最大点
Ｘ［４］を定めている。すなわちステップ２１１では、
変数ｉが開始点Ｘ［１］に定められ、このときの光量ｙ
iがＭａｘに定められる。ステップ２１２では、変数ｉ
が１つインクリメントされ、このときの光量ｙiがＭａ
ｘを越えていると、ステップ２１４からステップ２１５
に進み、このときの変数ｉが最大点Ｘ［４］に、また光
量ｙiがＭａｘに更新される。
【００３３】次いでステップ２１２にもどり、再び変数
ｉがインクリメントされてステップ２１４が実行され
る。このような動作を繰り返して、変数ｉの値が終了点
Ｘ［７］に達すると、ステップ２１３においてＮＯと判
定され、ステップ２１６において、後述する抽出点チェ
ックのサブルーチンが実行されて最大点Ｘ［４］がチェ
ックされた後、このルーチンは終了してメインフローチ
ャートに戻る。
ｉがインクリメントされてステップ２１４が実行され
る。このような動作を繰り返して、変数ｉの値が終了点
Ｘ［７］に達すると、ステップ２１３においてＮＯと判
定され、ステップ２１６において、後述する抽出点チェ
ックのサブルーチンが実行されて最大点Ｘ［４］がチェ
ックされた後、このルーチンは終了してメインフローチ
ャートに戻る。
【００３４】図８は、ステップ１０７において実行され
るサブルーチンである。ステップ２２１、２２４では、
開始点Ｘ［１］から最大点Ｘ［４］までの区間を３分割
し、それぞれ分割点Ｘ［２］，Ｘ［３］が取り出され、
ステップ２２２、２２５では、後述する抽出点チェック
のサブルーチンが実行される。以下同様にして、ステッ
プ２２５以下では分割点Ｘ［５］，Ｘ［６］が取り出さ
れ、各抽出点がチェックされる。
るサブルーチンである。ステップ２２１、２２４では、
開始点Ｘ［１］から最大点Ｘ［４］までの区間を３分割
し、それぞれ分割点Ｘ［２］，Ｘ［３］が取り出され、
ステップ２２２、２２５では、後述する抽出点チェック
のサブルーチンが実行される。以下同様にして、ステッ
プ２２５以下では分割点Ｘ［５］，Ｘ［６］が取り出さ
れ、各抽出点がチェックされる。
【００３５】図９は、ステップ１１２において実行され
るサブルーチンである。ステップ２３１では、開始点と
終了点より区間の中点を求めて分割点が取出され、ステ
ップ２３２では、抽出点がチェックされる。ステップ２
３３では、分割点ｘmのときの光量ｙmが求められ、これ
により中点（ｘm,ｙm）が取り出される。
るサブルーチンである。ステップ２３１では、開始点と
終了点より区間の中点を求めて分割点が取出され、ステ
ップ２３２では、抽出点がチェックされる。ステップ２
３３では、分割点ｘmのときの光量ｙmが求められ、これ
により中点（ｘm,ｙm）が取り出される。
【００３６】図１０は、ステップ２１６（図７）、ステ
ップ２２２、２２４、２２６、２２８（図８）およびス
テップ２３２（図９）で実行されるサブルーチンであ
る。ここでは抽出点が図２のＡ、Ｂに示すような位置、
すなわちゴミ、キズ等が検出されるべき位置にある場
合、その抽出点を前後にずらす動作を示している。これ
によりＡ、Ｂ等の検出すべき点が各区間内に位置し、正
しく検出されるようになる。
ップ２２２、２２４、２２６、２２８（図８）およびス
テップ２３２（図９）で実行されるサブルーチンであ
る。ここでは抽出点が図２のＡ、Ｂに示すような位置、
すなわちゴミ、キズ等が検出されるべき位置にある場
合、その抽出点を前後にずらす動作を示している。これ
によりＡ、Ｂ等の検出すべき点が各区間内に位置し、正
しく検出されるようになる。
【００３７】ステップ３０１、３０２では、その抽出点
が、所定の基準に合致しているかが判定される。すなわ
ち抽出点における光量ｙxと、その前後の点ｙx+1，ｙ
x-1における光量との出力差が所定値ΔＰより小さいと
判定されると、そのまま図３のメインフローチャートに
戻るが、そうでない場合は、ステップ３０３において、
この抽出点がΔｑだけずらされる。
が、所定の基準に合致しているかが判定される。すなわ
ち抽出点における光量ｙxと、その前後の点ｙx+1，ｙ
x-1における光量との出力差が所定値ΔＰより小さいと
判定されると、そのまま図３のメインフローチャートに
戻るが、そうでない場合は、ステップ３０３において、
この抽出点がΔｑだけずらされる。
【００３８】このずらした後のｘの値が、ずらし限界点
以下であればステップ３０４よりステップ３０１に戻っ
て上記動作が繰り返される。ずらし限界点は、ここでは
各区間の１／２に定められる。すなわち、ずらした量
が、その区間の半分にまで達すると、ステップ３０５に
おいてディスプレイ１７にエラー表示をしてこのルーチ
ンは終了する。
以下であればステップ３０４よりステップ３０１に戻っ
て上記動作が繰り返される。ずらし限界点は、ここでは
各区間の１／２に定められる。すなわち、ずらした量
が、その区間の半分にまで達すると、ステップ３０５に
おいてディスプレイ１７にエラー表示をしてこのルーチ
ンは終了する。
【００３９】なお、ΔＰおよびΔｑの値は、検出したい
ゴミ、キズ等の大きさ等に応じて適宜定められるもので
あり、ΔＰは、通常、正常出力誤差の３、４倍以上、ま
たΔｑは、２、３画素程度に定められる。
ゴミ、キズ等の大きさ等に応じて適宜定められるもので
あり、ΔＰは、通常、正常出力誤差の３、４倍以上、ま
たΔｑは、２、３画素程度に定められる。
【００４０】以上のように本実施例によれば、多値化デ
ータを分割し、各区間毎に補間して基準値を生成し、こ
の基準値と多値化データを比較することにより、レンズ
２１のゴミ、キズ等が検査される。したがって従来必要
であった良品の検査を実施する必要がないため、その分
検査が簡素化されるとともに、良品と検査品の光軸、位
置合わせ等の作業をする必要がなく、作業が容易かつ迅
速になる。
ータを分割し、各区間毎に補間して基準値を生成し、こ
の基準値と多値化データを比較することにより、レンズ
２１のゴミ、キズ等が検査される。したがって従来必要
であった良品の検査を実施する必要がないため、その分
検査が簡素化されるとともに、良品と検査品の光軸、位
置合わせ等の作業をする必要がなく、作業が容易かつ迅
速になる。
【００４１】また本実施例では、各区間毎に基準線を求
めて基準値を定めているため、検査対象物の光量分布曲
線に応じた基準値を得ることができ、検査精度が向上す
る。なお、分割する区間の数を６個以上にすると、実質
上要求されるに充分な検査精度で検査を実施することが
できる。
めて基準値を定めているため、検査対象物の光量分布曲
線に応じた基準値を得ることができ、検査精度が向上す
る。なお、分割する区間の数を６個以上にすると、実質
上要求されるに充分な検査精度で検査を実施することが
できる。
【００４２】さらに各区間の補間に円弧補間を用いれ
ば、高速な処理でを行うことができ、さらに作業時間を
短縮することができる。
ば、高速な処理でを行うことができ、さらに作業時間を
短縮することができる。
【００４３】すなわち、多値化データを５乃至６区間に
分割し、各区間を円弧補間すれば、検査が高速かつ高精
度になる。
分割し、各区間を円弧補間すれば、検査が高速かつ高精
度になる。
【００４４】なお、本実施例装置ではレンズ２１の検査
について述べたが、他の光学部品、プリズム等も同様に
して検査可能である。
について述べたが、他の光学部品、プリズム等も同様に
して検査可能である。
【００４５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、作業が容
易かつ迅速な光学部品検査装置が得られる。
易かつ迅速な光学部品検査装置が得られる。
【図１】本発明の実施例に係る光学部品検査装置を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】多値化データと基準値の光量分布を表すグラフ
であり、（ａ）は多値化データと基準曲線、（ｂ）は多
値化データと基準曲線の差を示している。
であり、（ａ）は多値化データと基準曲線、（ｂ）は多
値化データと基準曲線の差を示している。
【図３】図１の光学部品検査装置の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図４】図１の光学部品検査装置の動作を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図５】図４のステップ１１５において実行されるサブ
ルーチンである。
ルーチンである。
【図６】図３のステップ１０５において実行されるサブ
ルーチンである。
ルーチンである。
【図７】図３のステップ１０６において実行されるサブ
ルーチンである。
ルーチンである。
【図８】図３のステップ１０７において実行されるサブ
ルーチンである。
ルーチンである。
【図９】図４のステップ１１２において実行されるサブ
ルーチンである。
ルーチンである。
【図１０】図７〜９の抽出点チェックの際に実行される
サブルーチンである。
サブルーチンである。
１１ ＩＴＶカメラ １３ 画像処理装置 １５ 計算機 １７ ディスプレイ ２１ レンズ ２５ 光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０１Ｂ 11/00 Ｈ Ｇ０６Ｔ 7/00
Claims (4)
- 【請求項１】 検査物からの透過光を読み取り可能なカ
メラと、このカメラにより読み込まれた画像信号を処理
して複数階調の多値化データを生成する多値化データ生
成手段と、この多値化データを複数の区間に分割し、各
区間の多値化データを補間して基準値を生成する基準値
生成手段と、前記多値化データと基準値を比較し、検査
物の検査を行う検査手段とを備えたことを特徴とする光
学部品検査装置。 - 【請求項２】 前記多値化データが、２５６階調の濃淡
画像データであることを特徴とする請求項１に記載の光
学部品検査装置。 - 【請求項３】 前記複数の区間が、少なくとも６個以上
であることを特徴とする請求項１に記載の光学部品検査
装置。 - 【請求項４】 前記基準値生成手段が、各区間上の３点
に基づく円弧補間を用いることを特徴とする請求項１に
記載の光学部品検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6317632A JPH08152414A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 光学部品検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6317632A JPH08152414A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 光学部品検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08152414A true JPH08152414A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=18090331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6317632A Pending JPH08152414A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 光学部品検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08152414A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102053094A (zh) * | 2009-11-05 | 2011-05-11 | 株式会社小原 | 光学材料的内部状态的检查方法以及光学元件的制造方法 |
| CN104374420A (zh) * | 2013-08-16 | 2015-02-25 | 镒生电线塑料(昆山)有限公司 | 一种防漏件影像检测机及检测方法 |
-
1994
- 1994-11-28 JP JP6317632A patent/JPH08152414A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102053094A (zh) * | 2009-11-05 | 2011-05-11 | 株式会社小原 | 光学材料的内部状态的检查方法以及光学元件的制造方法 |
| CN104155314A (zh) * | 2009-11-05 | 2014-11-19 | 株式会社小原 | 光学材料的内部状态的检查方法以及光学元件的制造方法 |
| CN104374420A (zh) * | 2013-08-16 | 2015-02-25 | 镒生电线塑料(昆山)有限公司 | 一种防漏件影像检测机及检测方法 |
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