JPH08130448A - Variable delay circuit - Google Patents

Variable delay circuit

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JPH08130448A
JPH08130448A JP6267605A JP26760594A JPH08130448A JP H08130448 A JPH08130448 A JP H08130448A JP 6267605 A JP6267605 A JP 6267605A JP 26760594 A JP26760594 A JP 26760594A JP H08130448 A JPH08130448 A JP H08130448A
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JP
Japan
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delay
delay time
control signal
switch means
delay element
Prior art date
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Application number
JP6267605A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Mogi
比呂志 茂木
Satoaki Iijima
聡章 飯島
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

PURPOSE: To relieve a defective product by speedily adjusting delay time after the completion of a wafer by adjusting the delay time by switching a control signal to be supplied from a permanent memory means and changing the number of stages of an inverter for delay. CONSTITUTION: A control signal ϕC is switched by cutting off a fuse inside a permanent memory means 6 by irradiating it with a laser. When the control signal ϕC from the means 6 is 'L', a switch means 2 is turned on, delay elements 1 and 3 are serially connected, an input signal ϕin is delayed by the elements 1 and 3, and the long delay time is provided from an AND gate 5. On the other hand, when the control signal ϕC is 'H', the switch means 2 is turned off, the elements 1 and 3 are disconnected and a switch means 4 is turned on, so that the input to the element 3 can be fixed at a power supply potential VCC and the output of the element 3 can become 'H'. Therefore, since the input signal ϕin is delayed by only the element 1 and outputted from the AND gate 5, the short delay time is provided. Thus, the yield of an integrated circuit is improved by speedily adjusting the delay time after the completion of the wafer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、DRAM等の半導体集
積回路に組み込まれる可変遅延回路に関するものであ
り、特にウェハ完成後に遅延時間を調節することを可能
とした可変遅延回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable delay circuit incorporated in a semiconductor integrated circuit such as a DRAM, and more particularly to a variable delay circuit capable of adjusting a delay time after completion of a wafer.

【0002】[0002]

【従来の技術】遅延回路は、信号を一定時間遅らせる回
路であり、DRAM等の半導体集積回路では広く用いら
れている。例えば、DRAMにおいてデータの読み出し
を行う場合には、ローアドレス・ストローブ信号*RA
Sの立ち下がりによって、選択されたワード線が立ち上
がり、これによって選択されたメモリセルから記憶され
たデータが微少な差電圧として一対のビット線に出力さ
れる。そして、その差電圧をセンスアンプによって増幅
した後にデータ線に転送している。しかしながら、上記
差電圧が十分発生しないうちにセンスアンプが動作する
と、不確定なデータが増幅されることとなり、誤読み出
しの原因となる。そこで、遅延回路を用いて上記ワード
線の立ち上がりからセンスアンプの活性化までの間に一
定の遅延時間を確保していた。
2. Description of the Related Art A delay circuit is a circuit that delays a signal for a fixed time and is widely used in semiconductor integrated circuits such as DRAM. For example, when reading data from a DRAM, a row address strobe signal * RA
The selected word line rises due to the fall of S, and the data stored from the selected memory cell is output to the pair of bit lines as a minute difference voltage. Then, the difference voltage is amplified by the sense amplifier and then transferred to the data line. However, if the sense amplifier operates before the above-mentioned difference voltage is sufficiently generated, indeterminate data is amplified, which causes erroneous reading. Therefore, a delay circuit is used to secure a constant delay time from the rise of the word line to the activation of the sense amplifier.

【0003】従来、半導体集積回路で用いられている一
般的な遅延回路は、図5に示すように、複数のインバー
タを直列接続したものである。遅延時間はインバータの
段数によって自由に設定できるが、半導体プロセスで生
じるデバイスパラメータのばらつきのために設計値と実
際の遅延時間とがずれることがある。このため、同図に
示すように、メタルマスクを変更してインバータの段数
を切り換えることにより、遅延時間を調節していた。
Conventionally, a general delay circuit used in a semiconductor integrated circuit has a plurality of inverters connected in series as shown in FIG. The delay time can be freely set depending on the number of inverter stages, but the design value and the actual delay time may deviate due to variations in device parameters generated in the semiconductor process. Therefore, as shown in the figure, the delay time is adjusted by changing the metal mask and switching the number of inverter stages.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
遅延回路では、遅延時間の調節を行うには、メタルマス
クを変更して再度メタル工程以降の製造プロセスを経な
ければならず、迅速な調節を行うことできなかった。ま
た、一旦完成した不良品を救済して歩留まりを確保する
ことも不可能であった。
However, in the conventional delay circuit, in order to adjust the delay time, it is necessary to change the metal mask and go through the manufacturing process after the metal process again, which requires a quick adjustment. I couldn't do it. In addition, it is impossible to relieve a defective product that has been completed once and secure a yield.

【0005】本発明は、上記の課題に鑑みてなされたも
のであり、ウェハ完成後に遅延時間を迅速に調節し、不
良品の救済を可能とした可変遅延回路を提供することを
目的としている。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a variable delay circuit capable of promptly adjusting a delay time after completion of a wafer and relieving a defective product.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の可変遅延回路
は、図1に示すように、偶数段のインバータを直列に接
続してなる第一の遅延素子(1)と、前記第一の遅延素
子(1)と第一のスイッチ手段(2)を介して直列に接
続され、偶数段のインバータを直列に接続してなる第二
の遅延素子(3)と、前記第二の遅延素子の入力を電源
電位Vccに固定する第二のスイッチ手段(4)と、前記
第一および第二の遅延素子の出力が入力されたANDゲ
ート(5)と、前記第一および第二のスイッチ手段を制
御する信号φcを供給する永久メモリ手段(6)とを具
備する。
As shown in FIG. 1, a variable delay circuit according to the present invention comprises a first delay element (1) formed by connecting an even number of inverters in series, and the first delay element. An input of the second delay element (3), which is connected in series with the element (1) via the first switch means (2), and is formed by connecting even-numbered-stage inverters in series, and the second delay element. Controlling the first and second switch means, and an AND gate (5) to which outputs of the first and second delay elements are input. A permanent memory means (6) for supplying a signal φc for

【0007】また、上記永久メモリ手段(6)は、例え
ば図3に示すように、ヒューズの切断より前記制御信号
φcを切り換えている。
Further, the permanent memory means (6) switches the control signal φc by cutting the fuse as shown in FIG. 3, for example.

【0008】[0008]

【作用】本発明の可変遅延回路によれば、永久メモリ手
段(6)から供給される制御信号φcがロウレベル(以
下、Lレベルという。)の時は、第一のスイッチ手段
(2)がオン状態となり、第一の遅延素子(1)と第二
の遅延素子(3)とが直列に接続される。これにより、
入力信号φinは第一の遅延素子(1)および第二の遅延
素子(3)で遅延されてANDゲート(6)から出力さ
れるので、図2に示すように、長い遅延時間tDAが得ら
れる。
According to the variable delay circuit of the present invention, the first switch means (2) is turned on when the control signal φc supplied from the permanent memory means (6) is at low level (hereinafter referred to as L level). Then, the first delay element (1) and the second delay element (3) are connected in series. This allows
Since the input signal φin is delayed by the first delay element (1) and the second delay element (3) and output from the AND gate (6), a long delay time tDA is obtained as shown in FIG. .

【0009】一方、制御信号φcがハイレベル(以下、
Hレベルという。)の時は、第一のスイッチ手段(2)
はオフ状態となり、第一の遅延素子(1)と第二の遅延
素子(3)とは切り離され、かつ第二のスイッチ手段
(4)がオン状態になるので第二の遅延素子(3)の入
力が電源電位Vccに固定され、第二の遅延素子(3)の
出力はHレベルとなる。これにより、入力信号φinは第
一の遅延素子(1)のみで遅延されてANDゲート
(6)から出力されるので、図2に示すように、短い遅
延時間tDBが得られる。上記制御信号φcの切り換え
は、例えば永久メモリ手段(6)のヒューズを切断する
ことによって行うことができる。したがって、本発明に
よれば、ウェハ完成後に遅延時間を迅速に調節し、不良
品の救済を可能とした可変遅延回路を提供することが可
能となる。
On the other hand, the control signal φc has a high level (hereinafter,
It is called H level. ), The first switch means (2)
Is turned off, the first delay element (1) and the second delay element (3) are separated, and the second switch means (4) is turned on, so that the second delay element (3) is turned on. Is fixed to the power supply potential Vcc, and the output of the second delay element (3) becomes H level. As a result, the input signal φin is delayed only by the first delay element (1) and output from the AND gate (6), so that a short delay time tDB is obtained as shown in FIG. The control signal φc can be switched by, for example, cutting the fuse of the permanent memory means (6). Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a variable delay circuit capable of quickly adjusting the delay time after completion of a wafer and relieving a defective product.

【0010】[0010]

【実施例】以下で、本発明の可変遅延回路に係る一実施
例を図1から図4を参照しながら詳細に説明する。本実
施例の可変遅延回路は図1に示すように、偶数段のイン
バータを直列に接続してなる第一の遅延素子(1)と、
前記第一の遅延素子(1)と第一のスイッチ手段(2)
を介して直列に接続され、偶数段のインバータを直列に
接続してなる第二の遅延素子(3)と、前記第二の遅延
素子の入力を電源電位Vccに固定する第二のスイッチ手
段(4)と、前記第一および第二の遅延素子の出力が入
力されたANDゲート(5)と、前記第一および第二の
スイッチ手段を制御する信号φcを供給する永久メモリ
手段(6)とを具備する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a variable delay circuit according to the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the variable delay circuit of the present embodiment includes a first delay element (1) formed by connecting inverters in even stages in series,
The first delay element (1) and the first switch means (2)
A second delay element (3) connected in series via an even number of inverters in series, and a second switch means for fixing the input of the second delay element to the power supply potential Vcc ( 4), an AND gate (5) to which outputs of the first and second delay elements are input, and a permanent memory means (6) for supplying a signal φc for controlling the first and second switch means. It is equipped with.

【0011】上記第一のスイッチ手段(2)は、制御信
号φcとその反転信号*φcによって制御されたCMOS
型トランスミッションゲートで構成され、また上記第二
のスイッチ手段(4)は反転信号*φcによって制御さ
れたPチャネル型MOSトランジスタで構成されてい
る。また、永久メモリ手段(6)は、制御信号φcを供
給するプログラム可能な永久メモリであり、例えば不揮
発性メモリ方式やDRAMの冗長アドレス回路に用いら
れるヒューズ方式などを利用して構成できる。永久メモ
リ手段(6)の回路構成の一例は、図3に示すように、
ポリシリコン層等からなるヒューズ(10)を介してP
チャネル型MOSトランジスタ(11)とNチャネル型
MOSトランジスタ(12)とを直列に接続し、Pチャ
ネル型MOSトランジスタ(11)とヒューズ(10)
との接続点Aからインバータ(13)(14)を介して
制御信号φcを取り出している。また、その制御信号φc
を安定化するためにレベル保持用のPチャネル型MOS
トランジスタ(15)を前記接続点Aに設けている。P
チャネル型MOSトランジスタ(11)とNチャネル型
MOSトランジスタ(12)のゲートには、それぞれ制
御信号φA,φBが入力されている。DRAMの場合に
は、制御信号φA,φBはローアドレス・ストローブ信号
*RASを遅延させた信号で作ることができる。
The first switch means (2) is a CMOS controlled by the control signal φc and its inverted signal * φc.
Type transmission gate, and the second switch means (4) is a P-channel type MOS transistor controlled by an inverted signal * φc. The permanent memory means (6) is a programmable permanent memory that supplies the control signal φc, and can be configured by using, for example, a nonvolatile memory system or a fuse system used in a redundant address circuit of DRAM. An example of the circuit configuration of the permanent memory means (6) is as shown in FIG.
P through a fuse (10) made of a polysilicon layer or the like
A channel type MOS transistor (11) and an N channel type MOS transistor (12) are connected in series, and a P channel type MOS transistor (11) and a fuse (10) are connected.
The control signal φc is taken out from the connection point A with the inverters (13) and (14). In addition, the control signal φc
P-channel type MOS for level retention to stabilize the
A transistor (15) is provided at the connection point A. P
Control signals φA and φB are input to the gates of the channel type MOS transistor (11) and the N channel type MOS transistor (12), respectively. In the case of DRAM, the control signals φA and φB can be generated by delaying the row address strobe signal * RAS.

【0012】次に、上記可変遅延回路の動作を説明す
る。永久メモリ手段(6)から供給される制御信号φc
がLレベルの時は、第一のスイッチ手段(2)がオン状
態となり、第一の遅延素子(1)と第二の遅延素子
(3)とが直列に接続される。これにより、入力信号φ
inは第一の遅延素子(1)および第二の遅延素子(3)
で遅延されてANDゲート(5)から出力されるので、
図2に示すように、長い遅延時間tDAが得られる。
Next, the operation of the variable delay circuit will be described. Control signal φc supplied from the permanent memory means (6)
Is at the L level, the first switch means (2) is turned on, and the first delay element (1) and the second delay element (3) are connected in series. As a result, the input signal φ
in is the first delay element (1) and the second delay element (3)
Since it is delayed by and output from the AND gate (5),
As shown in FIG. 2, a long delay time tDA is obtained.

【0013】一方、制御信号φcがHレベルの時は、第
一のスイッチ手段(2)はオフ状態となり、第一の遅延
素子(1)と第二の遅延素子(3)とは切り離され、か
つ第二のスイッチ手段(4)がオン状態になるので第二
の遅延素子(3)の入力が電源電位Vccに固定され、第
二の遅延素子(3)の出力はHレベルとなる。これによ
り、入力信号φinは第一の遅延素子(1)のみで遅延さ
れてANDゲート(5)から出力されるので、図2に示
すように、短い遅延時間tDBが得られる。
On the other hand, when the control signal φc is at the H level, the first switch means (2) is turned off and the first delay element (1) and the second delay element (3) are separated from each other, Moreover, since the second switch means (4) is turned on, the input of the second delay element (3) is fixed to the power supply potential Vcc, and the output of the second delay element (3) becomes H level. As a result, the input signal φin is delayed only by the first delay element (1) and output from the AND gate (5), so that a short delay time tDB is obtained as shown in FIG.

【0014】上記制御信号φcの切り換えは、図3に示
した永久メモリ手段(6)のヒューズ(10)をレーザ
ー照射等により切断することによって容易に行うことが
できる。その永久メモリ手段(6)の動作を図4を参照
して説明する。ローアドレス・ストローブ信号*RAS
がHレベルの期間は、φA,φBはLレベルであり、接続
点Aは電位Vccにプリチャージされている。ローアドレ
ス・ストローブ信号*RASがLレベルになると、これ
に基づいてφA,φBはHレベルに立ち上がり、Pチャネ
ル型MOSトランジスタ(11)はオフ状態となりNチ
ャネル型MOSトランジスタ(12)はオン状態とな
る。これにより、ヒューズ(10)が切断されていない
状態では、制御信号φcはLレベルとなり、ヒューズ
(10)を切断した状態では、制御信号φcはHレベル
を維持する。したがって、本実施例の可変遅延回路で
は、初期状態では、遅延時間はtDAであるが、ヒューズ
(10)を切断することにより、遅延時間をtDBに短縮
することができる。また、制御信号φcを反転させるこ
とにより、逆に初期状態の遅延時間をtDBとし、ヒュー
ズ(10)切断後の遅延時間をtDAに増加させることも
可能である。このようにして、本発明によれば、ウェハ
完成後に遅延時間を迅速に調節し、不良品の救済するこ
とができる。
The switching of the control signal φc can be easily performed by cutting the fuse (10) of the permanent memory means (6) shown in FIG. 3 by laser irradiation or the like. The operation of the permanent memory means (6) will be described with reference to FIG. Low address strobe signal * RAS
Is at the H level, .phi.A and .phi.B are at the L level, and the connection point A is precharged to the potential Vcc. When the low address strobe signal * RAS becomes L level, φA and φB rise to H level based on this, the P channel type MOS transistor (11) is turned off and the N channel type MOS transistor (12) is turned on. Become. As a result, the control signal φc becomes L level when the fuse (10) is not blown, and the control signal φc maintains H level when the fuse (10) is blown. Therefore, in the variable delay circuit of this embodiment, the delay time is tDA in the initial state, but the delay time can be reduced to tDB by cutting the fuse (10). By inverting the control signal φc, the delay time in the initial state can be set to tDB, and the delay time after the fuse (10) is blown can be increased to tDA. Thus, according to the present invention, the delay time can be quickly adjusted after the completion of the wafer, and the defective product can be relieved.

【0015】なお、上記の実施例において論理ゲートと
してANDゲート(5)を用いたが、これに限定される
ことなくORゲート等を用いることも可能である。
Although the AND gate (5) is used as the logic gate in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and it is also possible to use an OR gate or the like.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の可変遅延
回路によれば、ヒューズ(10)の切断により永久メモ
リ手段(6)の供給する制御信号φcを切り換え、遅延
用インバータの段数を変更することにより遅延時間を調
節しているので、ウェハ完成後に遅延時間を迅速に調節
することが可能となり、半導体集積回路の歩留向上に寄
与することができる。
As described above, according to the variable delay circuit of the present invention, the control signal φc supplied from the permanent memory means (6) is switched by cutting the fuse (10) to change the number of stages of the delay inverter. Since the delay time is adjusted by doing so, it is possible to quickly adjust the delay time after the completion of the wafer, which can contribute to the improvement of the yield of the semiconductor integrated circuit.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る可変遅延回路を説明す
る回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram illustrating a variable delay circuit according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例に係る可変遅延回路の動作を
説明するタイミング図である。
FIG. 2 is a timing diagram illustrating an operation of the variable delay circuit according to the exemplary embodiment of the present invention.

【図3】永久メモリ手段を説明する回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram illustrating permanent memory means.

【図4】永久メモリ手段の動作を説明するタイミング図
である。
FIG. 4 is a timing diagram illustrating the operation of the permanent memory means.

【図5】従来例に係る可変遅延回路を説明する回路図で
ある。
FIG. 5 is a circuit diagram illustrating a variable delay circuit according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

(1) 第一の遅延素子 (2) 第一のスイッチ手段 (3) 第二の遅延素子 (4) 第二のスイッチ手段 (5) ANDゲート (6) 永久メモリ手段 (10) ヒューズ (11) Pチャネル型MOSトランジスタ (12) Nチャネル型MOSトランジスタ (13)(14) インバータ (15) Pチャネル型MOSトランジスタ (1) First delay element (2) First switch means (3) Second delay element (4) Second switch means (5) AND gate (6) Permanent memory means (10) Fuse (11) P-channel MOS transistor (12) N-channel MOS transistor (13) (14) Inverter (15) P-channel MOS transistor

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のインバータを直列に接続してなる
第一の遅延素子と、前記第一の遅延素子と第一のスイッ
チ手段を介して直列に接続された第二の遅延素子と、前
記第二の遅延素子の入力を一定電位に固定する第二のス
イッチ手段と、前記第一および第二の遅延素子の出力が
入力された論理ゲートと、前記第一および第二のスイッ
チ手段を制御する信号を供給する永久メモリ手段とを具
備することを特徴とする可変遅延回路。
1. A first delay element formed by connecting a plurality of inverters in series, a second delay element connected in series via the first delay element and a first switch means, and Second switch means for fixing the input of the second delay element to a constant potential, a logic gate to which outputs of the first and second delay elements are input, and control of the first and second switch means And a permanent memory means for supplying a signal for controlling the variable delay circuit.
【請求項2】 前記永久メモリ手段は、ヒューズの切断
により前記制御信号を切り換えることを特徴とする請求
項1記載の可変遅延回路。
2. The variable delay circuit according to claim 1, wherein the permanent memory means switches the control signal by blowing a fuse.
JP6267605A 1994-10-31 1994-10-31 Variable delay circuit Pending JPH08130448A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001520431A (en) * 1997-10-10 2001-10-30 ラムバス インコーポレイテッド Apparatus and method for compensating device timing
KR20030050351A (en) * 2001-12-18 2003-06-25 삼성전자주식회사 Variable delay circuit for controlling delay time and DLL(Delay Locked Loop) thereof
KR100413764B1 (en) * 2001-07-14 2003-12-31 삼성전자주식회사 Variable delay circuit and method for controlling delay time
US10879902B2 (en) 2017-03-17 2020-12-29 Nec Corporation Reconfigurable circuit using nonvolatile resistive switches

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