JPH08124855A

JPH08124855A - 薄膜形成装置における材料供給装置

Info

Publication number: JPH08124855A
Application number: JP5679795A
Authority: JP
Inventors: Yasuaki Mori; 靖晃森
Original assignee: Nissin Electric Co Ltd
Current assignee: Nissin Electric Co Ltd
Priority date: 1994-08-31
Filing date: 1995-02-22
Publication date: 1996-05-17

Abstract

(57)【要約】【目的】材料供給装置自体で容器の供給開口を開閉す
ること。【構成】材料供給装置１は成膜室２に取付け、るつぼ
２５に材料２６を供給する。パイプ部材４の内部に配置
された操作軸５’は、材料容器６が取り付けられた内軸
５ａと、蓋部材３０が取り付けられた中空の外軸５ｂか
らなり、外軸は内軸に回転可能に軸支されている。内軸
に操作軸マグネット２０を取付け、同マグネットと磁気
結合し、パイプ部材に嵌合している操作用マグネット７
を下降操作し、外軸に取り付けた係止ピン３２が、操作
軸の移動ストロークを制限し、外軸の回転を防止するス
トッパ３３に係合するまで、操作軸を軸方向に駆動し、
容器を材料供給位置まで下げる。内軸を回動操作し、容
器を回し、容器の開口６ａと蓋部材の開口３０ａを合わ
せ、るつぼに材料を供給する。球面状の底部をもつ有底
筒状の材料容器と蓋部材により各種形状の材料を詰まら
ずに供給できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空中で試料基板に薄
膜を形成する真空蒸着装置、分子線エピタキシー装置等
における材料供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着装置、分子線エピタキシー（Ｍ
ＢＥ）装置等の超高真空中で試料基板（ウエハ）に薄膜
を形成する装置、例えばＭＢＥ装置にあっては、所要の
元素の蒸発源である分子線セルが成膜室を形成する真空
チャンバに取り付けられており、分子線セルのるつぼ
（坩堝）から飛びでた分子（原子）線を試料基板に到達
させ、基板上に結晶を成長させている。

【０００３】装置の運転に伴い、るつぼ内の蒸発材料が
消耗すると、材料を供給しなければならない。分子線セ
ルを取り外して材料の補給を行う場合には、超高真空下
にある真空チャンバを大気圧に戻し、再び真空排気しな
ければならないから、かなりの日数、手間がかかる。そ
こで、分子線セルを取り外さずに材料を補給することが
できるものが提案されている。

【０００４】図５は、かかる材料供給装置の一例の構成
図である。材料供給装置１は成膜室２のポート・フラン
ジ３に取り付けられており、パイプ部材４の内部に操作
軸５を配置し、同軸の先端に補給材料を入れる容器６を
取り付ける。パイプ部材４には環状の操作用マグネット
７が嵌合しており、パイプ部材の上端は閉塞部材８で封
止し、そしてパイプ部材の下端にはフランジ部材９を取
り付け、パイプ部材４は、このフランジ部材に結合した
管路部材１０を介してポート・フランジ３に取り付けら
れており、同管路部材の中間部には内部監視用のビュー
ポート１１が設けられている。

【０００５】パイプ部材４の内部に設けた操作軸５は操
作用マグネット７の上下操作に連動して上下する。パイ
プ部材４の上端の閉塞部材８及びフランジ部材９にはそ
れぞれ腕部材１２、１３を取付け、この腕部材にスプロ
ケットギア１４、１５が軸支されており、両ギア間にチ
ェーン１６が張設されている。操作用マグネット７は、
パイプ部材４に嵌合し、チェーン１６の所要箇所に結合
した可動部材１７の上に載置されており、例えばスプロ
ケットギア１５を回転操作によるチェーンの上下駆動に
伴い操作用マグネット７は上下する。

【０００６】操作軸５はパイプ部材４内で上下移動及び
回動できる。同操作軸の上部に軸受１８を介して転動ロ
ーラ１９が取り付けられており、この転動ローラがパイ
プ部材４の内壁に接触して転動する。そして、操作軸５
には操作用マグネット７と磁気結合する環状の操作軸マ
グネット２０が取り付けられており、操作軸は操作用マ
グネットを上下させることにより連動して上下し、また
操作用マグネットをパイプ部材４の周りで回すことによ
り操作軸を回動させることもできる。

【０００７】操作軸５の先端部に取り付けた材料容器６
の下部開口は蓋２１で開閉される。この蓋に結合する連
結杆２２は、蓋開放用の操作片２３を有し、容器６に取
り付けたピン２４で枢支されており、通常、蓋２１はそ
の自重により容器の開口を閉じている。

【０００８】成膜室２内のるつぼ２５に材料２６を補給
するとき、操作用マグネット７を下げることにより操作
軸５を所定ストローク下降させる。これに伴い、材料容
器６が矢印ａ方向に所定の材料供給位置まで低下する
と、蓋開閉用の操作片２３が成膜室内の構造物等の操作
用係合部材、例えば、内部に液体窒素を供給することに
より冷却されて成膜室内の不要の材料蒸気を捕捉するシ
ュラウド２７の端部に接触して跳ね上げられ、蓋２１が
開き、材料がるつぼ２５に落ちる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】かかる従来技術によれ
ば、容器６の蓋２１を開くとき、容器の蓋２１を開閉操
作する操作片２３を成膜室２内の構造物等に接触させる
ことを要するから、その接触時の衝撃で接触箇所或いは
成膜室内に付着していた生成物が落下し、被成膜試料の
パーティクル汚染の原因となり、特に超高真空ＭＢＥ装
置としては好ましくない。さらに、操作片２３について
は所定のるつぼ２５近辺の操作用係合部材の形状、位置
に合わせて製作しなければならないし、操作片２３が接
触しうる適当な構造物が存在しないこともあり、この場
合には成膜室内の操作用係合部材を別途設けなければな
らない。

【００１０】本発明は、従来技術のように、材料容器の
蓋を開閉操作する操作片とその操作用係合部材を要する
ことなく、材料供給機構自体で容器の蓋を開けることが
できる薄膜形成装置における材料供給装置の提供を目的
とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、真空
中で試料基板に薄膜を形成する装置のるつぼに材料を供
給する装置において、軸方向に駆動操作される同心の操
作軸を形成し、相対的に可動の内軸及び外軸と、前記内
軸の先端に取り付けられた材料容器と、前記外軸の先端
に取り付けられ、前記材料容器の開口を蔽う蓋部材とを
有することを主たる特徴とするものである。

【００１２】材料をるつぼに供給するとき、内軸と外軸
からなる操作軸を軸方向に駆動し、材料供給位置まで材
料容器と蓋部材を下げる。そして、相対的に可動の、材
料容器が取り付けられた内軸と蓋部材が取り付けられた
外軸のいずれかを動かし、蓋部材で蔽われていた容器の
開口を開放し、材料をるつぼに供給する。

【００１３】さらに本発明は、軸方向に駆動操作される
同心の上記操作軸が、相対的に回転可能の内軸と外軸で
形成され、この内軸の先端に、底部の中心から偏位した
位置に開口が形成された材料容器を取付け、そして、外
軸の先端に、底部の中心から偏位した位置に形成された
開口を有し、前記材料容器の底面を蔽う蓋部材を取り付
けたことを特徴とするものである。これにより、材料容
器と蓋部材をるつぼへの材料供給位置まで下げ、それか
ら、容器と蓋部材を相対的に回転させることにより、容
器と蓋部材の開口を合わせ、るつぼに材料を供給する。

【００１４】そして本発明は、上記操作軸が、軸方向に
駆動操作されると共に回動操作される内軸並びに、この
内軸に回転可能に軸支され、内軸と同心の中空の外軸か
らなり、この外軸に設けられた係止ピンと、この係止ピ
ンに係合し、操作軸の軸方向の移動ストロークを制限す
ると共に前記外軸の回転を防止するストッパを有する。
したがって、るつぼへの材料供給位置で操作軸の移動は
止まり、そこで、内軸を回動操作することにより、容器
と蓋部材の開口を合わせ、るつぼに材料を供給する。

【００１５】また本発明の薄膜形成装置における材料供
給装置は、軸方向に駆動操作される同心の操作軸を形成
し、相対的に軸方向に移動可能の内軸及び外軸と、前記
内軸の先端に取り付けられ、下部に開口が形成された材
料容器と、前記外軸の先端に取り付けられ、前記材料容
器の下部開口を開閉する蓋部材とを有することを特徴と
する。これにより、材料容器と蓋部材をるつぼへの材料
供給位置まで下げ、それから、容器と蓋部材を相対的に
軸方向に移動させることにより、容器の開口を開放す
る。

【００１６】そして本発明は、かかる操作軸が、内軸並
びに、この内軸と同心で軸方向に駆動操作される中空の
外軸であって、側面部に長孔を有し、前記内軸との間に
圧縮バネを介在させて内軸に軸方向に摺動可能に軸支さ
れた外軸からなり、前記内軸に設けられ、前記外軸の長
孔から突き出たピンと、このピンに係合し、前記操作軸
の移動ストロークを制限するストッパを有する。したが
って、るつぼへの材料供給位置で容器が取り付けられた
操作軸における内軸の移動を止め、そこで、外軸に形成
した長孔の移動がピンで制限されるまで、さらに外軸を
圧縮バネに抗して軸方向に駆動することにより、蓋部材
を下げ、容器の開口を開放し、るつぼに材料を供給す
る。

【００１７】また、さらに本発明は、真空中で試料基板
に薄膜を形成する装置のるつぼに材料を供給する装置に
おいて、軸方向に駆動操作される同心の操作軸を形成
し、相対的に軸方向に移動可能の内軸及び外軸と、前記
内軸の先端に取り付けられた有底筒状の材料容器であっ
て、その筒状部の下端半部を覆う球面状の底部を有する
材料容器と、前記外軸の先端に取り付けられ、前記材料
容器が嵌合していると共に材料容器の下部開口を開閉す
る有底筒状の蓋部材であって、その筒状部の下端半部を
覆う球面状の底部を有する蓋部材とを備えてなることを
特徴とする。

【００１８】材料容器と蓋部材の底部は共に球面状に形
成されており、これら底部は筒状部に続く傾斜が急な部
分から各底部端に向かうにつれて傾斜が緩くなると共
に、開口面積を大きくすることができるから、材料が途
中でひっかかって留まることもなく、そして過大な速度
で蓋部材の開口から飛び出すことが防止され、同開口の
下に位置するるつぼに円滑に材料を供給することができ
る。

【００１９】そして、本発明の薄膜形成装置における材
料供給装置は、上述の有底筒状の蓋部材に、同部材の下
部開口の周りを蔽う材料飛散防止カバーを取り付けたこ
とを特徴とするものであり、これにより、開口から大き
な勢いで飛びだしたり、開口から脇方向に飛び出す材料
についても、るつぼに落下させることができる。

【００２０】

【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１に実施例の構成を示し、同図（ａ）は全体の
構成図、同（ｂ）ストッパ部の断面図であり、図３と同
一符号は同一もしくは同等部分を示す。図１（ａ）に示
すように、材料供給装置１は、そのパイプ部材４を管路
部材１０を介してポート・フランジ３に結合することに
より、成膜室２に取り付ける。パイプ部材４の内部に配
置される操作軸５’は相対的に可動関係にある内軸５ａ
と中空の外軸５ｂの同心２軸で構成されており、内軸の
先端には材料容器６が、そして中空の外軸には材料容器
の開口を開閉する蓋部材３０がそれぞれ取り付けられて
いる。材料容器６の底部には中心より偏位した位置に材
料の供給開口６ａが形成されており、この開口を開閉す
る蓋部材３０は、容器６の側面と底面部を蔽う、同容器
と同様形状のものであり、その底部には容器の開口６ａ
に合わせ、中心より変位した位置に開口３０ａが形成さ
れている。

【００２１】操作軸５’を駆動する操作用マグネット７
は可動部材１７で載置されており、これらはパイプ部材
４に嵌合し、同可動部材は、スプロケットギア１４，１
５間に張設したチェーン１６に結合されている。操作軸
５’の中空の外軸５ｂは上端部分で軸受３１を介して内
軸５ａに対して回転可能に結合されている。内軸５ａは
この軸受結合部分より上に更に延び、上部に操作用マグ
ネット７に磁気結合する操作軸マグネット２０を取り付
け、同マグネットの上下位置に軸受１８を介してパイプ
部材４の内壁に接する転動ローラ１９が取り付けられて
いる。したがって、スプロケットギア１４，１５により
チェーン１６を介して可動部材１７を駆動し、操作用マ
グネット７を上下操作すると、操作軸５’の内軸５ａと
中空の外軸５ｂは一体となって軸方向に駆動されて上下
し、同マグネットをパイプ部材の周りで回動させると内
軸５ａは回動する。

【００２２】材料容器６からるつぼ２５に材料を供給す
る容器の所定の矢印ａ方向における下降位置に対応させ
て、外軸５ｂの下部に係止ピン３２が設けられており、
そして前記所定の下降位置に対応させて、パイプ部材４
の内側に、係止ピン３２が嵌合する溝が形成されている
ストッパ３３が設けられている。図１（ｂ）にストッパ
部の拡大断面図を示し、ストッパ３３に係止溝３４が形
成されており、これにより、操作軸５’を所定ストロー
ク低下させると、外軸５ｂに設けた係止ピン３２がスト
ッパの係止溝３４に嵌合する位置で下降停止する。

【００２３】この操作軸５’の下降停止位置でパイプ部
材４に嵌合している操作用マグネット７をパイプ部材４
の周りで回動操作することにより、同マグネットと操作
軸マグネット２０との磁気結合力により内軸５ａを回動
させ、同内軸に取り付けられている材料容器６を回転さ
せる。操作軸５’の外軸５ｂは係止ピン３２が係止溝３
４に嵌合し回転が阻止されているから、材料容器６を矢
印ｂで示すように回転させて開口６ａを、外軸５ｂに取
り付けられている蓋部材３０の開口３０ａに合わせるこ
とにより、容器内の材料２６はるつぼ２５に落下供給さ
れる。所要の材料供給が終ると、内軸５ａを回転させ
て、容器６の開口６ａを蓋部材３０で閉じる元の位置ま
で戻し、操作軸５’の内軸５ａ，外軸５ｂを引き上げ
る。

【００２４】図２は他の実施例の構成図であり、図１，
図３と同一符号は同一もしくは同等部分を示す。図２
（ａ）の全体の構成図に示すように、操作用マグネット
７が嵌合しているパイプ部材４の内部に配置される操作
軸５’は相対的に可動関係にある内軸５ａと中空の外軸
５ｂの同心２軸で構成されており、内軸の先端には材料
容器６が、そして中空の外軸には材料容器の下部開口を
開閉する蓋部材３０’がそれぞれ取り付けられている。

【００２５】操作軸５’の外軸５ｂの延長上部には操作
用マグネット７に磁気結合する操作軸マグネット２０を
取り付け、同マグネット２０の上下位置に軸受１８を介
してパイプ部材４の内壁に接する転動ローラ１９が取り
付けられている。内軸５ａはその上部に配置された摺動
軸受３５によって外軸５ｂに対して軸方向に移動可能に
構成されている。外軸５ｂには、２個の長孔３６が対向
して形成されており、これら長孔から、内軸５ａに貫通
して設けられたピン３７が突き出ている。この部分の拡
大正面図を図２（ｂ）に示す。内軸５ａと外軸５ｂに
は、これら長孔とピンの設置位置の下方に、それぞれバ
ネ受け３８，３９を取付け、両バネ受け間に圧縮バネ４
０を配置する。これにより、通常、内軸５ａは外軸５ｂ
に対し、ピン３７が長孔３６の下端に接する偏位位置に
あり、このとき材料容器６の開口は蓋部材３０’で閉じ
られている。パイプ部材４の内壁には、外軸５ｂの長孔
３６から突き出ているピン３７が当接する例えば環状の
ストッパ４１が取付けられており、操作軸５’の下降行
程を制限する。

【００２６】るつぼに材料２６を補給するとき、パイプ
部材４に嵌合している操作用マグネット７を下げる。操
作軸マグネット１９に磁気結合力が作用し、操作軸５’
の内軸５ａと外軸５ｂは一緒に軸方向に駆動されて矢印
ａで示すように所定ストローク下降し、内軸に設けたピ
ン３７がストッパ４１に当ると同軸したがって材料容器
６の下降は止まる。更に操作用マグネット７を下げるこ
とにより、圧縮バネ４０の反発力に抗して外軸５ｂした
がって蓋部材３０’が矢印ｃで示すように下り、材料容
器６の開口から材料２６をるつぼに落下供給する。

【００２７】上述の両実施例では、操作軸５’により材
料容器６と蓋部材３０，３０’を上下方向に移動させて
いるが、材料容器の材料供給開口は、操作軸の外軸５ａ
を操作することにより蓋部材で強制的に開閉することが
できるから、材料容器と蓋部材は斜め角度方向からるつ
ぼの材料供給位置に移動させても良い。

【００２８】図３は更に他の実施例の材料容器と蓋部材
部分についての更に他の実施例の構成図で、同図（ａ）
は材料容器の下部開口閉止時の側面図、同図（ｂ）は材
料容器と蓋部材の下方の一部を切り欠いて示した、るつ
ぼへの材料供給時の側面図であり、操作機構は図２に示
したものと同じで、同図に記載した符号を援用して説明
する。操作軸５’は軸方向に相対的に可動関係にある内
軸５ａと中空の外軸５ｂの同心２軸で構成されており、
内軸の先端には有底筒状の材料容器５０が取り付けられ
ており、また中空の外軸の先端には、材料容器５が嵌合
している有底筒状の蓋部材５１が、取付け部材５２を介
して取り付けられている。

【００２９】材料容器５０には筒状部５０ａの下端半部
を蔽うほぼ四半球面（全球面の１／４）による球面状の
底部５０ｂが形成されており、蓋部材５１も同様に筒状
部５１ａの下端半部を蔽うほぼ四半球面による球面状の
底部５１ｂを有し、この有底外筒の底部５１ｂによって
材料容器下部の底部５０ｂが設けられていない部分、す
なわち材料容器の下部開口を閉じる。操作軸５’の内軸
５ａと外軸５ｂの間には、材料容器５０と取付け部材５
２との間隔部を利用して、材料容器の下部開口を閉じる
ように蓋部材５１を変位させる圧縮バネ５３が設けられ
ており、これにより図２に示した圧縮バネ４０は取り除
いてもよい。

【００３０】るつぼに材料２６を補給するとき、先ず操
作軸５’の内軸５ａと外軸５ｂを共に軸方向下方に駆動
し、内軸に設けたピン３７がストッパ４１に当るところ
まで所定ストローク下降させる。次いで、圧縮バネ５３
の反発力に抗して外軸５ｂしたがって蓋部材５１を図３
（ｂ）に示すように下げることにより、蓋部材下部の底
部５１ｂが設けられていない部分、すなわち蓋部材の下
部開口から材料２６をるつぼに落下させる。

【００３１】材料２６は、粉状のもの、粒，球状のも
の、それも表面がでこぼこした粒，球状のもの、細長い
形状のもの、錠剤を小さくしたようなものなど様々な形
状のものがある。この点、材料容器５０の底部５０ｂ及
び蓋部材５１の底部５１ｂは共に球面状に形成されてお
り、これら底部は筒状部５０ａ，５１ａに続く傾斜が急
な部分から各底部端に向かうにつれて傾斜が緩くなると
共に、開口面積を大きくすることができるから、材料が
途中でひっかかって留まることもなく、そして過大な速
度で蓋部材の開口５１ｂから飛び出すことが防止され、
同開口の下に位置するるつぼに各種形状の材料を円滑に
供給することができ、これは実験によって確認されてい
る。

【００３２】ただ、なかには大きな勢いで飛びだすも
の、或いは蓋部材５１の下部開口から脇に飛び出すもの
もある。材料の飛散防止カバーを設けた実施例を図４に
示す。同図（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線
での断面図、（ｃ）は飛散防止カバーの一部を切り欠い
て示した材料供給時の側面図である。蓋部材５１の下部
開口の周囲に位置するように同部材にほぼ円筒を半割り
した形状の材料飛散防止カバー５４を取り付ける。蓋部
材５１の下部開口から大きな勢いで、また脇の方向に飛
び出した材料２６は飛散防止カバー５４に当たって下に
落ち、るつぼ内に供給される。

【００３３】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、材料をるつぼに供給するとき、材料供給位置まで
材料容器と蓋部材を下げ、相対的に可動の、材料容器が
取り付けられた内軸ないし蓋部材が取り付けられた外軸
を操作することにより、蓋部材で蔽われていた容器の開
口を開放し、材料をるつぼに供給することができ、外部
からの軸操作だけで済むから、材料供給時におけるパー
ティクルの発生、るつぼ内への付着生成物の落下等も少
なくなり、不純物ガスの発生も少なくなった。

【００３４】内軸と中空の外軸の同心の操作軸の操作だ
けで材料の供給が行えるから、成膜室内の構造物を利用
して容器の蓋を開く従来装置と比較して、成膜室の構
造、内部構造物の取付け精度に左右されにくくなり、単
に、るつぼとの位置関係を考慮するだけでよいから、容
器と蓋部材の取付け角度調整も簡単になり、材料の供給
が簡単、確実になった。

【００３５】外部から操作により、容器の材料供給開口
を強制的に開閉できるから、材料をストックする容器の
形状に自由度が生じ、操作軸による容器の移動方向につ
いても上下方向に留まらず、斜め方向からるつぼに材料
を供給することができ、材料供給装置の取付けについて
の制限が少なくなった。

【００３６】材料容器と蓋部材を有底筒状とし、それら
底部を共に球面状に形成することにより、これら底部は
筒状部に続く傾斜が急な部分から各底部端に向かうにつ
れて傾斜が緩くなると共に、開口面積を大きくすること
ができるから、材料が途中でひっかかって留まったり、
詰まることがなくなり、そして過大な速度で蓋部材の開
口から飛び出すことが防止され、材料の各種形状に幅広
く対応し、るつぼに円滑に材料を供給することができ
る。

【００３７】有底筒状の蓋部材に開口の周囲を蔽う材料
の飛散防止カバーを取り付けることにより、材料容器内
の材料をこぼさずに全てるつぼに供給することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の構成図である。

【図２】他の実施例の構成図である。

【図３】材料容器と蓋部材部分についての更に他の実施
例の構成図であり、（ａ）は材料容器の下部開口閉止時
の側面図、（ｂ）は材料容器と蓋部材の下方の一部を切
り欠いて示した、るつぼへの材料供給時の側面図であ
る。

【図４】図３に示した蓋部材に材料の飛散防止カバーを
設けた実施例の構成図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）
は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図、（ｃ）は飛散防止カバ
ーの一部を切り欠いて示した材料供給時の側面図であ
る。

【図５】従来の材料供給装置の構成図である。

【符号の説明】

１材料供給装置２成膜室３ポート・フランジ４パイプ部材５' 操作軸５ａ操作軸の内軸５ｂ操作軸の中空の外軸６材料容器６ａ容器の開口７操作用マグネット１８ベアリング軸受１９転動ローラ２０操作軸マグネット２５るつぼ２６材料３０，３０’ 蓋部材３０ａ蓋部材３０の開口３１軸受３２係止ピン３３ストッパ３４係止溝３５摺動軸受３６長孔３７ピン３８，３９バネ受け４０圧縮バネ４１ストッパ５０材料容器５０ｂ材料容器の底部５１蓋部材５１ｂ蓋部材の底部５３圧縮バネ５４材料飛散防止カバー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空中で試料基板に薄膜を形成する装置
のるつぼに材料を供給する装置において、軸方向に駆動
操作される同心の操作軸を形成し、相対的に可動の内軸
及び外軸と、前記内軸の先端に取り付けられた材料容器
と、前記外軸の先端に取り付けられ、前記材料容器の開
口を蔽う蓋部材とを有することを特徴とする薄膜形成装
置における材料供給装置。
【請求項２】真空中で試料基板に薄膜を形成する装置
のるつぼに材料を供給する装置において、軸方向に駆動
操作される同心の操作軸を形成し、相対的に回転可能の
内軸及び外軸と、この内軸の先端に取り付けられ、底部
の中心から偏位した位置に開口が形成された材料容器
と、前記外軸の先端に取り付けられ、底部の中心から偏
位した位置に形成された開口を有し、前記材料容器の底
面を蔽う蓋部材とを備えてなることを特徴とする薄膜形
成装置における材料供給装置。
【請求項３】真空中で試料基板に薄膜を形成する装置
のるつぼに材料を供給する装置において、軸方向に駆動
操作されると共に回動操作される内軸並びに、この内軸
に回転可能に軸支され、内軸と同心の中空の外軸からな
る操作軸と、この外軸に設けられた係止ピンと、この係
止ピンに係合し、前記操作軸の軸方向の移動ストローク
を制限すると共に前記外軸の回転を防止するストッパ
と、前記内軸の先端に取り付けられ、底部の中心から偏
位した位置に開口が形成された材料容器と、前記外軸の
先端に取り付けられ、底部の中心から偏位した位置に形
成された開口を有し、前記材料容器の底面を蔽う蓋部材
とを備えたことを特徴とする薄膜形成装置における材料
供給装置。
【請求項４】真空中で試料基板に薄膜を形成する装置
のるつぼに材料を供給する装置において、軸方向に駆動
操作される同心の操作軸を形成し、相対的に軸方向に移
動可能の内軸及び外軸と、前記内軸の先端に取り付けら
れ、下部に開口が形成された材料容器と、前記外軸の先
端に取り付けられ、前記材料容器の下部開口を開閉する
蓋部材とを有することを特徴とする薄膜形成装置におけ
る材料供給装置。
【請求項５】真空中で試料基板に薄膜を形成する装置
のるつぼに材料を供給する装置において、内軸並びに、
この内軸と同心で軸方向に駆動操作される中空の外軸で
あって、側面部に長孔を有し、前記内軸との間に圧縮バ
ネを介在させて内軸に軸方向に摺動可能に軸支された外
軸からなる操作軸と、前記内軸に設けられ、前記外軸の
長孔から突き出たピンと、このピンに係合し、前記操作
軸の移動ストロークを制限するストッパと、前記内軸の
先端に取り付けられ、下部に開口が形成された材料容器
と、前記外軸の先端に取り付けられ、前記材料容器の下
部開口を開閉する蓋部材とを備えたことを特徴とする薄
膜形成装置における材料供給装置。
【請求項６】真空中で試料基板に薄膜を形成する装置
のるつぼに材料を供給する装置において、軸方向に駆動
操作される同心の操作軸を形成し、相対的に軸方向に移
動可能の内軸及び外軸と、前記内軸の先端に取り付けら
れた有底筒状の材料容器であって、その筒状部の下端の
半部を覆う球面状の底部を有する材料容器と、前記外軸
の先端に取り付けられ、前記材料容器が嵌合していると
共に材料容器の下部開口を開閉する有底筒状の蓋部材で
あって、その筒状部の下端半部を覆う球面状の底部を有
する蓋部材とを備えてなることを特徴とする薄膜形成装
置における材料供給装置。
【請求項７】真空中で試料基板に薄膜を形成する装置の
るつぼに材料を供給する装置において、軸方向に駆動操
作される同心の操作軸を形成し、相対的に軸方向に移動
可能の内軸及び外軸と、前記内軸の先端に取り付けられ
た有底筒状の材料容器であって、その筒状部の下端の半
部を覆う球面状の底部を有する材料容器と、前記外軸の
先端に取り付けられ、前記材料容器が嵌合していると共
に材料容器の下部開口を開閉する有底筒状の蓋部材であ
って、その筒状部の下端半部を覆う球面状の底部を有す
る蓋部材と、この蓋部材に取り付けられ、蓋部材の下部
開口の周りを蔽う材料飛散防止カバーとを備えてなるこ
とを特徴とする薄膜形成装置における材料供給装置。