JPH08122052A - プロフィル測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プロフィルデータを正確にかつ効率的に測定
しうるプロフィル測定装置を提供すること。 【構成】 各厚み計（１，２）が一定時間の間、被測定
物（２０）の同一箇所の厚みを測定した測定データを入
力し、その測定データから各厚み計（１，２）相互間の
測定機差を求める測定機差演算部（５１）と、一定時間
経過後、各厚み計（１，２）が被測定物（２０）の所定
の位置の厚みを測定した測定データを入力し、その測定
データから測定機差を補正してクラウン量を演算する演
算補正部（５２）とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば圧延工程におい
て、鋼板等の被圧延物の断面形状（プロフィル）を測定
するプロフィル測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば鋼板等の圧延材を圧延する工程に
おいて、圧延材の断面形状（プロフィル）が測定されて
いる。図５はこのような測定に用いられる従来のプロフ
ィル測定装置のブロック図である。

【０００３】図示するように、従来のプロフィル測定装
置は、高速で走行する圧延材すなわち被測定物２０の中
央部２１の厚みを測定する固定形厚み計１と、被測定物
２０の幅方向に走査して被測定物２０の幅方向の厚みを
測定する走査形厚み計２と、固定形厚み計１及び走査形
厚み計２をそれぞれ制御する固定形厚み計制御部３及び
走査形厚み計制御部４と、固定形厚み計制御部３及び走
査形厚み計制御部４を介して入力した中央部２１及び幅
方向の厚みの測定データを演算し被測定物２０のプロフ
ィルデータを求めるプロフィル演算部５と、そのプロフ
ィルデータを表示する表示部６とから構成される。

【０００４】まず、被測定物２０の全幅を走査しその断
面全体の形状を求める動作（全幅測定モード）について
説明する。

【０００５】まず、固定形厚み計１は被測定物２０の中
央部２１の厚みを測定し、その測定データを固定形厚み
計制御部３に出力する。他方、走査形厚み計２は、被測
定物２０の幅方向に（図の矢印方向）走査することによ
って、各走査地点毎の厚みを測定し、その測定データを
走査形厚み計制御部４に出力する。プロフィル演算部５
は、固定形厚み計制御部３及び走査形厚み計制御部４を
介して中央部の測定データ及び幅方向の測定データを入
力し、それら両者のデータの差を求め、この差を例えば
幅１ｍｍ毎のプロフィルデータに変換し、この変換した
プロフィルデータを線形補間し、表示部６に送る。この
ように、走査形厚み計２が被測定物２０の全幅を走査す
る毎に例えば１分間に１回の割合で、新しく走査された
被測定物２０の断面（プロフィル）が表示される。

【０００６】次に、被測定物の全幅でなくエッジ部を連
続的に測定し（定点測定モード）、クラウン量を求める
動作について図５及び図６を基に説明する。図６は、被
測定物２０が矢印方向に運ばれていく時の固定形厚み計
１及び走査形厚み計２の走査位置を説明するためのもの
である。

【０００７】まず、図示してしない上位計算機から定点
測定モードでクラウン量を求めるように指令を受けたプ
ロフィル演算部５は、走査形厚み計制御部４に走査形厚
み計２が被測定物２０のエッジ２３から一定距離だけ外
側の地点２０１に移動するように指令を発する。指令を
受けた走査形厚み計制御部４は走査形厚み計２を地点２
０１に移動させる。次に、予め被測定物２０の中央部２
１の延長線上に位置している固定形厚み計１が被測定物
２０の存在を検出し、このことを固定形厚み計制御部３
を介してプロフィル演算部５に通知する。プロフィル演
算部５は被測定物２０を検出した後、一定時間経過する
と走査形厚み計制御部４を起動し、走査形厚み計２を地
点２０１から被測定物２０のエッジ部２２に移動させる
（地点２０２）。エッジ部２２の位置は、予め被測定物
２０のエッジ２３から内側へ所定の距離だけずれた地点
として、プロフィル演算部５に記憶されている。

【０００８】走査形厚み計２はエッジ部２２に移動した
後、その地点の厚みを測定しその測定データを走査形厚
み計制御部４を介してプロフィル演算部５に送る。他
方、固定形厚み計１は引き続き被測定物２０の中央部２
１の厚みを測定し、その測定データを固定形厚み計制御
部３を介してプロフィル演算部５に送る。プロフィル演
算部５は、入力した両者の測定データから以下の式
（１）に示すように演算し、クラウン量Ｃを求める。

【０００９】 Ｃ ＝ Ｘｃ − Ｘｅ （１） ここで、Ｘｃは固定形厚み計１の測定データを示し、Ｘ
ｅは走査形厚み計２の測定データを示す。

【００１０】次に、被測定物の全幅でなくエッジ部を連
続的に測定し（定点測定モード）、ウエッジ量を求める
動作について図７及び図８を基に説明する。図７は、ウ
エッジ量を求めるための従来のプロフィル測定装置のブ
ロック図であり、図８は被測定物２０が矢印方向に運ば
れていく時の固定形厚み計１、第１の走査形厚み計２
ａ、及び第２の走査形厚み計２ｂの走査位置を説明する
ためのものである。

【００１１】ウエッジ量を求めるために被測定物２０の
幅方向の両端部（エッジ部２２ａ，２２ｂ）で厚みを測
定する必要があるため、第１の走査形厚み計２ａ及び第
２の走査形厚み計２ｂが設けられ、更にそれらを制御す
るために第１の走査形厚み計制御部４ａ及び第２の走査
形厚み計制御部４ｂが設けられ、第１及び第２の走査形
厚み計制御部４ａ，４ｂはそれぞれプロフィル演算部５
に接続されている。

【００１２】図７に示すように、第１の走査形厚み計２
ａは被測定物２０のドライブサイドのエッジ部２２ａの
厚みを測定し、第２の走査形厚み計２ｂは被測定物２０
のオペレータサイドのエッジ部２２ｂの厚みを測定す
る。

【００１３】以下ウエッジ量を求めるための動作を具体
的に説明する。

【００１４】図示してしない上位計算機から定点測定モ
ードでウェッジ量を求めるように指令を受けたプロフィ
ル演算部５は、第１の走査形厚み計制御部４ａを起動
し、第１の走査形厚み計２ａを被測定物２０のドライブ
サイドのエッジ２３ａから一定距離だけ外側の地点２０
１ａに移動させ、また第２の走査形厚み計制御部４ｂを
起動し、第２の走査形厚み計２ｂを被測定物２０のオペ
レータサイドのエッジ２３ｂから一定距離外側の地点２
０１ｂに移動させるように制御する。次に、予め被測定
物２０の中央部２１の延長線上に位置していた固定形厚
み計１が被測定物２０の存在を検出し、このことを固定
形厚み計制御部３を介してプロフィル演算部５に通知す
る。プロフィル演算部５は被測定物２０を検出した後一
定時間経過すると、第１の走査形厚み計制御部４ａを起
動し，第１の走査形厚み計制御部４ａは第１の走査形厚
み計２ａを被測定物２０のドライブサイドのエッジ部２
２ａに移動させ（地点２０２ａ）、また第２の走査形厚
み計制御部４ｂを起動し，第２の走査形厚み計制御部４
ｂは第２の走査形厚み計２ｂを被測定物２０のオペレー
タサイドのエッジ部２２ｂに移動させる（地点２０２
ｂ）。２つのエッジ部２２ａ，２２ｂの位置は、予め被
測定物２０のエッジ２３ａ，２３ｂから内側へ所定の距
離だけずれた地点として、プロフィル演算部５に記憶さ
れている。

【００１５】第１及び第２の走査形厚み計２ａ，２ｂは
それぞれエッジ部２２ａ，２２ｂに到達後その地点の厚
みを測定し，それぞれの測定データを第１及び第２の走
査形厚み計制御部４ａ，４ｂを介してプロフィル演算部
５に送る。プロフィル演算部５は、入力した２つの測定
データから以下の式（２）に示すように演算し、ウェッ
ジ量Ｗを求める。

【００１６】 Ｗ ＝ Ｘｏ − Ｘｄ （２） ここで、Ｘｏは第１の走査形厚み計２ａの測定データで
あり、Ｘｄは第２の走査形厚み計２ｂの測定データであ
る。

【００１７】ところで、上述した固定形厚み計１、走査
形厚み計２、及び第１及び第２の走査形厚み計２ａ，２
ｂは、それぞれ固有の測定誤差を有している。そこで、
それぞれ固有の測定誤差を補正をするために、オフライ
ン時に被測定物と同一のサンプル材料を測定し予め各厚
み計に固有の測定誤差をそれぞれ測定しておき、オンラ
イン時にプロフィル演算部５でそれぞれの測定誤差を補
正している。

【００１８】しかし、測定誤差を測定した後で被測定物
の厚みをオンラインで測定しても、各厚み計は被測定物
の厚みの±０．１％以内の測定誤差を生じる。従って、
上式（１），（２）によって求められるクラウン量及び
ウェッジ量はそれぞれ±０．２％以内の誤差が含まれう
ることになる。このことは、例えば圧延材の厚みが１０
ｍｍであるとすれば、最大２０μｍの誤差が生じうるこ
とを示し、この大きさの誤差は無視しえない。

【００１９】これに対処するために、従来は予めオフラ
インで各厚み計相互間の測定誤差（以下、測定機差とい
う）を求めておき、オフライン時にプロフィル演算部で
その測定機差を補正していた。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この方式では
各厚み計相互間の測定機差が被測定物の厚さにより異な
るため、オンラインで被測定物の測定範囲が全域に渡る
場合、予めオフライン時でも全域に渡り測定機差を測定
する必要があり、時間がかかるという問題を有してい
た。さらに、各厚み計自体が、機械的な磨耗等により劣
化するため、プロフィル演算部に記憶させる測定機差を
定期的に更新する必要があり、効率的でない。

【００２１】そこで本発明の目的は、被測定物のプロフ
ィルデータを正確にかつ効率的に測定しうるプロフィル
測定装置を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
プロフィル測定装置は、被測定物の中央部の厚みを測定
する第１の厚み計と、被測定物のエッジ部の厚みを測定
する第２の厚み計とを有し、この第１及び第２の厚み計
の測定データに基いて前記被測定物のプロフィルを測定
するものであって、第１の厚み計及び第２の厚み計に一
定時間の間被測定物の同一箇所の厚みを測定させ、一定
時間経過後は第１の厚み計に被測定物の中央部の厚みを
測定させ、第２の厚み計に被測定物のエッジ部の厚みを
測定させるように制御する制御手段と、一定時間の間に
第１の厚み計及び第２の厚み計によって測定された測定
データから、第１の厚み計及び第２の厚み計相互間の測
定機差を求める測定機差演算部と、一定時間経過後に第
１の厚み計及び第２の厚み計によって測定された測定デ
ータから測定機差を補正してクラウン量を演算する演算
補正部とを有するプロフィル演算手段とを備えたもので
ある。

【００２３】本発明の請求項２記載のプロフィル測定装
置は、被測定物の中央部の厚みを測定する第１の厚み計
と、被測定物の両サイドのエッジ部の厚みをそれぞれ測
定する第２及び第３の厚み計とを有し、この第１ないし
至第３の厚み計の測定データに基いて被測定物のプロフ
ィルを測定するプロフィル測定装置において、第１、第
２、及び第３の厚み計に被測定物の同一箇所の厚みを一
定時間測定させ、一定時間経過後は第１の厚み計に被測
定物の中央部を測定させ、第２及び第３の厚み計に被測
定物の両サイドのエッジ部をそれぞれ測定させるように
制御する制御手段と、第１、第２、及び第３の厚み計に
よって一定時間測定された測定データから、第１の厚み
計及び第２の厚み計相互間の第１の測定機差と第１の厚
み計及び第３の厚み計相互間の第２の測定機差とを求め
る測定機差演算部と、一定時間経過後に第１、第２、及
び第３の厚み計によって測定された測定データから第１
及び第２の測定機差を補正してクラウン量及びウェッジ
量を演算する演算補正部とを有するプロフィル演算手段
とを備えたものである。

【００２４】

【作用】本発明の請求項１記載のプロフィル測定装置
は、まず第１の厚み計及び第２の厚み計が一定時間の間
被測定物の同一箇所の厚みを測定し、それぞれの測定デ
ータをプロフィル演算部の測定機差演算部に送る。測定
機差演算部は、この測定データから各厚み計相互間の測
定機差を求める。一定時間が経過すると、クラウン量を
求めるために第１の厚み計は被測定物の中央部に移動
し、第２の厚み計は被測定物のエッジ部に移動し、それ
ぞれ移動場所で被測定物の厚みを測定する。プロフィル
演算部の演算補正部はそれらの測定データを入力し、測
定機差演算部で求めた測定機差を補正してクラウン量を
演算する。

【００２５】これによって、クラウン量を正確にかつ効
率的に測定することができる。

【００２６】本発明の請求項２記載のプロフィル測定装
置は、まず第１の厚み計、第２の厚み計、及び第３の厚
み計が一定時間の間被測定物の同一箇所の厚みを測定
し、それぞれの測定データをプロフィル演算部の測定機
差演算部に送る。測定機差演算部は、この測定データか
ら第１の厚み計及び第２の厚み計相互間の第１の測定機
差と第１の厚み計及び第３の厚み計相互間の第２の測定
機差を求める。一定時間が経過すると、クラウン量及び
ウェッジ量を求めるために第１の厚み計は被測定物の中
央部に移動し、第２の厚み計及び第３の厚み計は被測定
物の両サイドのエッジ部にそれぞれ移動し、それぞれ移
動場所で被測定物の厚みを測定する。プロフィル演算部
の演算補正部はそれらの測定データを入力し、測定機差
演算部で求めた第１及び第２の測定機差を補正してクラ
ウン量及びウェッジ量を演算する。

【００２７】これによって、クラウン量及びウェッジ量
を正確にかつ効率的に測定することができる。

【００２８】

【実施例】本発明のプロフィル測定装置による一実施例
を図１及び図２を基に説明する。図１は本実施例を示す
ブロック図であり、図２は被測定物２０が矢印方向に運
ばれていく時の本実施例の固定形厚み計１及び走査形厚
み計２の走査位置を説明するためのものである。本実施
例は、クラウン量を求めるためのものであり、その構成
は従来のプロフィル測定装置（図５参照）に比較してプ
ロフィル演算部５の中に、測定機差演算部５１と演算補
正部５２とが新たに備えられている。

【００２９】図２において、固定形厚み計１は被測定物
２０の中央部２１を測定するため従来通り常時中央部２
１の延長線上にすなわち圧延ラインの中央に位置する。
他方、走査形厚み計２も測定前は固定形厚み計１と同じ
ように圧延ラインの中央に位置する（地点１００）。

【００３０】この状態で被測定物２０が地点１０１に突
入すると、固定形厚み計１は被測定物２０を検出し、こ
のことを固定形厚み計制御部３を介してプロフィル演算
部５に通知する。それと同時に固定形厚み計１は被測定
物２０の中央部２１の厚みを測定し、その測定データを
固定形厚み計制御部３を介してプロフィル演算部５の測
定機差演算部５１に送信する。また走査形厚み計２も固
定形厚み計１と同様に被測定物２０の中央部２１の厚み
を測定し、その測定データを走査形厚み計制御部４を介
してプロフィル演算部５の測定機差演算部５１に送信す
る。測定機差演算部５１は、固定形厚み計１から被測定
物２０を検出したとの通知を受けてから一定時間経過す
るまで、すなわち被測定物２０が図２の区間ｄにある間
は、固定形厚み計１及び走査形厚み計２から測定データ
を受信し続ける。測定機差演算部５１は、それらの測定
データを平均化して以下の式（３）に示すように固定形
厚み計１及び走査形厚み計２の測定機差ｄＸを演算し記
憶しておく。

【００３１】 ｄＸ ＝ Ｘｓ − Ｘｆ （３） ここで、Ｘｓは、走査形厚み計２の測定データを平均化
したもので、Ｘｆの固定形厚み計１の測定データを平均
化したものである。

【００３２】次にプロフィル演算部５はその一定時間が
経過した時点で（図２の地点１０３）、走査形厚み計制
御部４を起動し、走査形厚み計２を被測定物２０のエッ
ジ部２２に移動させる（地点１０４）。走査形厚み計２
は地点１０４から被測定物２０のエッジ部２２の厚みを
測定を開始する。固定形厚み計１は、そのまま被測定物
２０の中央部２１の厚みを測定し続ける。

【００３３】プロフィル演算部５の演算補正部５２は、
走査形厚み計２による中央部２１の測定データ、固定形
厚み計１によるエッジ部２２の測定データ、及び先に求
めておいた測定機差演算部５１の測定機差から以下の式
（４）に示すようにしてクラウン量Ｃを求める。

【００３４】 Ｃ ＝ Ｘｃ − Ｘｅ − ｄＸ （４） ここで、Ｘｃは走査形厚み計２の中央部２１の測定デー
タであり、Ｘｅは固定形厚み計１のエッジ部２２の測定
データであり、ｄＸは測定機差演算部５１で求めた測定
機差である。

【００３５】以上のようにして求めたクラウン量Ｃは、
固定形厚み計１及び走査形厚み計２相互間の測定機差が
補正されているため、精度の高い値となっている。

【００３６】このように、まず移動中の被測定物の同一
箇所の厚みを各厚み計に測定させて各厚み計相互間の測
定機差を求めておき、それから各厚み計に所定の箇所の
厚みを測定させ、その測定データから先に求めておいた
測定機差を補正してクラウン量を演算することによっ
て、定期的にオフライン時に測定機差を測定したりその
機差を登録したりする手間が省けかつ精度の高いクラウ
ン量Ｃを求めることができる。

【００３７】本発明による別の実施例を図３及び図４を
説明する。図３は本実施例を示すブロック図であり、図
４は被測定物２０が矢印方向に運ばれていく時の本実施
例の固定形厚み計１と第１及び第２の走査形厚み計２
ａ，２ｂとの走査位置を説明するためのものである。

【００３８】本実施例は、クラウン量とウェッジ量とを
求めるためのものであり、その構成は従来のプロフィル
測定装置（図７参照）で説明したものに比較して、プロ
フィル演算器５Ａの中に新たに測定機差演算部５１Ａと
演算補正部５２Ａが備えられている。

【００３９】本実施例の固定形厚み計制御部３と第１及
び第２の走査形厚み計２ａ，２ｂとは、測定前は被測定
物２０の中央部２１の延長線上にすなわち圧延ラインの
中央（地点１０５）に位置している。ここに移動中の被
測定物２０が突入すると（地点１０６）、固定形厚み計
１が被測定物２０の存在を検出し、このことを固定形厚
み計制御部３を介してプロフィル演算部５Ａに通知す
る。それと同時に固定形厚み計制御部３は被測定物２０
の中央部２１の厚みを測定し、その測定データを固定形
厚み計制御部３を介してプロフィル演算部５Ａの測定機
差演算部５１Ａに送信する。また第１及び第２の走査形
厚み計２ａ，２ｂも、被測定物２０の中央部２１の厚み
を測定し、その測定データをそれぞれ第１及び第２の走
査形厚み計制御部４ａ，４ｂを介してプロフィル演算部
５Ａの測定機差演算部５１Ａに送信する。

【００４０】プロフィル演算部５Ａの測定機差演算部５
１Ａは、固定形厚み計１から被測定物２０を検出したと
の通知を受けてから一定時間経過するまで、すなわち被
測定物２０が図４の区間ｄにある間は、固定形厚み計１
と第１及び第２の走査形厚み計２ａ，２ｂとから測定デ
ータを受信し続ける。プロフィル演算部５Ａの測定機差
演算部５１Ａはこれらのデータを平均化する処理を行
い、以下の式から固定形厚み計１及び第１の走査形厚み
計２ａの測定機差ｄＸ１と、固定形厚み計１及び第２の
走査形厚み計２ｂの測定機差ｄＸ２とを求め、記憶して
おく。

【００４１】 ｄＸ１ ＝ Ｘｓ１ − Ｘｆ （５） ｄＸ２ ＝ Ｘｓ２ − Ｘｆ （６） ここでＸｓ１は、第１の走査形厚み計２ａの測定データ
であり、Ｘｓ２は、第２の走査形厚み計２ｂの測定デー
タであり、Ｘｆは固定形厚み計１の測定データである。

【００４２】プロフィル演算部５Ａは、その一定時間が
経過した時点で（図４の地点１０７）、第１の走査形厚
み計制御部４ａを起動し、第１の走査形厚み計２ａを被
測定物２０のドライブサイドのエッジ２３ａから一定距
離内側の地点１０８ａに移動させ、また第２の走査形厚
み計制御部４ｂを起動し、第２の走査形厚み計２ｂを被
測定物２０のオペレータサイドのエッジ２３ｂから地点
１０８ｂに移動させる。第１及び第２の走査形厚み計２
ａ，２ｂはそれぞれ地点１０８ａ，１０８ｂに移動した
後、被測定物２０のエッジ部２２ａ，２２ｂの厚みを測
定し，それぞれの測定データＸｄ，Ｘｏを、第１及び第
２の走査形厚み計制御部４ａ，４ｂを介してプロフィル
演算部５Ａの演算補正部５２Ａに送る。固定形厚み計１
は、引き続き被測定物２０の中央部２１の厚みを測定
し、その測定データＸｃを固定形厚み計制御部３を介し
てプロフィル演算部５Ａの演算補正部５２Ａに送る。

【００４３】プロフィル演算部５Ａの演算補正部５２Ａ
は、これらの測定データと先に求めた測定機差演算５１
Ａの各測定機差ｄＸ１，ｄＸ２を基に以下の式（７），
（８）に示すようにクラウン量Ｃ及びウェッジ量Ｗを求
める。

【００４４】 Ｃ＝Ｘｃ−｛（Ｘｄ−ｄＸ１）＋（Ｘｏ−ｄＸ２）｝／２ （７） Ｗ＝（Ｘｏ−ｄＸ２）−（Ｘｄ−ｄＸ１） （８） 以上のようにして求めたクラウン量Ｃ及びウェッジ量Ｗ
は、固定形厚み計１と第１及び第２の走査形厚み計２
ａ，２ｂとのそれぞれの測定機差も、第１の走査形厚み
計２ａと第２の走査形厚み計２ｂとの測定機差も補正さ
れているため、それぞれ精度の高い値となっている。

【００４５】このように、まず移動中の被測定物の同一
箇所の厚みを各厚み計に測定させて各厚み計の測定機差
を求めておき、それから各厚み計に所定の箇所の厚みを
測定させ、その測定データから先に求めておいた測定機
差を考慮してクラウン量及びウェッジ量を求めることに
よって、定期的にオフライン時に測定機差を測定し、そ
の測定機差を登録しておく手間が省けかつ精度の高いク
ラウン量及びウェッジ量を求めることができる。

【００４６】

【発明の効果】本発明により、被測定物のプロフィルデ
ータを正確にかつ効率的に測定しうるプロフィル測定装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるプロフィル測定装置による一実施
例を示すブロック図。

【図２】本発明による一実施例の固定形厚み計及び走査
形厚み計の走査位置を説明するための図。

【図３】本発明による別の実施例を示すブロック図。

【図４】本発明による別の実施例の固定形厚み計と第１
及び第２の走査形厚み計との走査位置を説明するための
図。

【図５】従来技術によるプロフィル測定装置を示すブロ
ック図。

【図６】従来技術による固定形厚み計及び走査形厚み計
の走査位置を説明するための図。

【図７】従来技術による別のプロフィル測定装置を示す
ブロック図。

【図８】従来技術による固定形厚み計と第１及び第２の
走査形厚み計との走査位置を説明するための図。

【符号の説明】

１ 固定形厚み計 ２，２ａ，２ｂ 走査形厚み計 ３ 固定形厚み計制御部 ４，４ａ，４ｂ 走査形厚み計制御部 ５，５Ａ プロフィル演算部 ６ 表示部 ２０ 被測定物 ２１ 被測定物の中央部 ２２，２２ａ，２２ｂ 被測定物のエッジ部 ２３，２３ａ，２３ｂ 被測定物のエッジ ５１，５１Ａ 測定機差演算部 ５２，５２Ａ 演算補正部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定物の中央部の厚みを測定する第１の
   厚み計と、前記被測定物のエッジ部の厚みを測定する第
   ２の厚み計とを有し、この第１及び第２の厚み計の測定
   データに基いて前記被測定物のプロフィルを測定するプ
   ロフィル測定装置において、 前記第１の厚み計及び前記第２の厚み計に一定時間の間
   前記被測定物の同一箇所の厚みを測定させ、前記一定時
   間経過後は前記第１の厚み計に前記被測定物の中央部の
   厚みを測定させ、前記第２の厚み計に前記被測定物のエ
   ッジ部の厚みを測定させるように制御する制御手段と、 前記一定時間の間に前記第１の厚み計及び第２の厚み計
   によって測定された測定データから、前記第１の厚み計
   及び第２の厚み計相互間の測定機差を求める測定機差演
   算部と、前記一定時間経過後に前記第１の厚み計及び第
   ２の厚み計によって測定された測定データから前記測定
   機差を補正してクラウン量を演算する演算補正部とを有
   するプロフィル演算手段とを具備することを特徴とする
   プロフィル測定装置。
2. 【請求項２】被測定物の中央部の厚みを測定する第１の
   厚み計と、前記被測定物の両サイドのエッジ部の厚みを
   それぞれ測定する第２及び第３の厚み計とを有し、この
   第１ないし至第３の厚み計の測定データに基いて前記被
   測定物のプロフィルを測定するプロフィル測定装置にお
   いて、 前記第１、第２、及び第３の厚み計に前記被測定物の同
   一箇所の厚みを一定時間測定させ、前記一定時間経過後
   は前記第１の厚み計に前記被測定物の中央部を測定さ
   せ、前記第２及び第３の厚み計に前記被測定物の両サイ
   ドのエッジ部をそれぞれ測定させるように制御する制御
   手段と、 前記第１、第２、及び第３の厚み計によって一定時間測
   定された測定データから、前記第１の厚み計及び前記第
   ２の厚み計相互間の第１の測定機差と前記第１の厚み計
   及び第３の厚み計相互間の第２の測定機差とを求める測
   定機差演算部と、前記一定時間経過後に前記第１、第
   ２、及び第３の厚み計によって測定された測定データか
   ら前記第１及び第２の測定機差を補正してクラウン量及
   びウェッジ量を演算する演算補正部とを有するプロフィ
   ル演算手段とを具備することを特徴とするプロフィル測
   定装置。