JPH08116005A - 半導体モジュール - Google Patents
半導体モジュールInfo
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- JPH08116005A JPH08116005A JP6270892A JP27089294A JPH08116005A JP H08116005 A JPH08116005 A JP H08116005A JP 6270892 A JP6270892 A JP 6270892A JP 27089294 A JP27089294 A JP 27089294A JP H08116005 A JPH08116005 A JP H08116005A
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- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
に優れ、かつ小型で、かつ保守作業が容易な構造の半導
体モジュールを提供する。 【構成】 半導体モジュールにおいて、半導体デバイス
(3)又はハウジング(7)内壁との間に接触面を有し、互い
に対向する伝熱面を持つ熱伝導体を設け、そのフィン(1
4,18)間の間隙を小さくし、フィン厚さを比較的厚く保
ちながらフィン高さを低くした。モジュール内の封入液
面を最上部の半導体デバイスに固着した第1フィン(14)
の上下端の中間高さに制御し、モジュール内の液体を導
入し排出するバルブ機構を、第1及び第2フィン(14,1
8)の長手方向に平行な方向にモジュールの1辺の長さに
ほぼ等しい距離をおいて2個所に設けた。 【効果】 量産性を確保しながら、高い冷却性能が得ら
れると同時にモジュールを小型化でき、かつ分解組立て
も容易になる。
Description
り、特に、大形コンピュータおよびスーパーコンピュー
タ等の発熱密度の高い電子装置に好適な半導体モジュー
ルに関する。
軟性を有する熱伝導体を設け、半導体デバイスから発生
する熱を熱伝導体を介してハウジングに伝えて冷却する
構造のモジュールは、例えば、特開昭57−10333
7号公報に開示されている。この例では、平板フィンを
互いに組み合わせた熱伝導体を半導体チップおよびハウ
ジング内壁に固着する構造が開示されている。
は、平板フィンを互いに組み合わせる構造の。熱伝導体
をばねにより半導体チップ面に押し付ける構造が開示さ
れている。また、米国特許4800956号明細書に
は、平板フィンを互いに組み合わせた熱伝導体を半導体
チップおよびハウジングの内壁に固着する構造が開示さ
れている。また、米国特許4498530号明細書に
は、柔軟性を有する平板フィンを互いに組み合わせた熱
伝導体を半導体チップおよびハウジングの内壁の双方に
接触させる構造が開示されている。
lopment Vol.35 No.3 (1991)には、金属ピストンを半
導体チップに接触させる構造において、伝熱媒体として
オイルを用いた例が記載されている。
た半導体デバイスを冷却するのに、前述の柔軟性を有す
る熱伝導体が用いられるのは次の理由による。
バイスの表面は同一平面上にはなく、組み立て精度に起
因する高さや傾きのばらつきがある。また、半導体デバ
イスが作動状態にあるときと休止状態にあるときでは温
度が異なるために熱変形が生じ、これらの高さや傾きの
ばらつきは、作動状態と休止状態では異なった値をと
る。このような組み立て精度や熱変形による静的および
動的な変位を吸収しつつ半導体デバイスの発生熱をハウ
ジングに伝えるのが柔軟熱伝導体の機能である。柔軟熱
伝導体には柔軟性と同時に熱抵抗が低いことが要求され
る。また、量産性に優れることも実用上極めて重要であ
る。
常80〜90℃に抑える必要がある。室温または冷却水
の温度は通常25〜30℃程度であるから、室温または
冷却水からの温度上昇の許容値は50〜65℃程度であ
る。従来の半導体モジュールでは発熱密度は10W/c
m2程度であったため、前述の柔軟熱伝導体にはそれほ
ど低い熱抵抗値は要求されなかった。しかしながら、半
導体モジュールの発熱量は年々増加の一途をたどってお
り、近い将来に50W/cm2のレベルに達することが
予想されている。従来の技術ではこのような高発熱密度
モジュールを冷却することは極めて困難であり、熱伝導
体の大幅な低熱抵抗化を量産性を考慮しながら達成する
ことが大きな課題となってきている。
に開示されている平板フィンを組み合わせた柔軟熱伝導
体の例では、熱抵抗は単位断面積当たり約2.5℃cm2
/Wと大きく、50W/cm2級の高発熱密度モジュー
ルはとても冷却できない。このような対向伝熱面を有す
る熱伝導体ではフィン間の間隙を小さくすることが低熱
抵抗化のためには基本的に重要であるが、この例ではフ
ィン間の間隙は200μmと大きく、50W/cm2級
のモジュールを冷却できるだけの低熱抵抗化に対する配
慮がなされているとは考えられない。また、フィン厚さ
が0.2mmと薄いにもかかわらず、高さ10mmの背
の高いフィンを用いており、量産性に対する配慮も十分
ではない。
開示されている柔軟熱伝導体の例では単位断面積当たり
の熱抵抗は最も低い例でも約1.2℃cm2/Wである。
この場合でも、50W/cm2級のモジュールに適用す
ると熱伝導体の部分だけで約60℃の温度差がつくこと
になり、室温または冷却水からの温度上昇を許容値の5
0〜65℃以下に抑えることは極めて困難である。この
例では、フィン間の間隙は25〜200μmの範囲にあ
り、代表的には50μmである。また、フィン厚の範囲
は0.2〜2.6mm、フィン高さは約3〜10mmであ
る。
開示されている柔軟熱伝導体の例ではフィンの厚さとフ
ィン間の間隙を等しくとる設計法が記載されている。さ
らに設計例として厚さ69μm、高さ7.38mmの銅
フィンを間隙69μmで組み合わせて単位断面積当たり
1.0℃cm2/W程度の熱抵抗値が得られるとしてい
る。この場合でも50W/cm2級のモジュールに適用
すると熱伝導体の部分だけで約50℃の温度差がつくこ
とになり、室温または冷却水からの温度上昇を許容値の
50〜65℃以下に抑えることは困難である。また、厚
さ69μm、高さ7.38mmの薄く、かつ、背の高い
フィンを精度良く製作することは非常に困難であるた
め、量産性に対する配慮が十分になされているとは考え
られない。
開示されている柔軟熱伝導体の例では、フィン間の間隙
をフィンの厚さの1/2にとる設計法が記載されてい
る。この場合は熱抵抗の計算例は記載されていないが、
5.08〜127μmの薄い柔軟性のあるフィンをスペ
ーサを介して多数枚積層する構造に成っており、やはり
量産性に対する配慮が十分ではない。
ない他の問題は、モジュール内へ封入する伝熱媒体の量
と実装時のモジュールの姿勢の関係である。この問題
は、媒体がオイル等の液体である場合に重要になる。オ
イルを用いることの利点は、ヘリウム等の気体を用いた
場合よりも冷却効率を上げられる点にある。
velopment Vol.35 No.3 (1991) に記載されている構造
では、オイルの熱膨張によるモジュールの内圧の上昇を
緩和するために、モジュール内に膨張吸収室を設けてい
る。計算機の処理速度の点からはモジュールはできるか
ぎり小型化する必要があるが、この例では膨張吸収室を
設けたためにモジュールのサイズが大きくなっている。
平板フィンを組み合わせた熱伝導体を用いたモジュール
に適した、モジュールの小型化が可能であるようなオイ
ル封入量、封入構造、実装時のモジュールの姿勢につい
ては従来技術では十分な配慮がなされていない。
50W/cm2級の高発熱密度モジュールを、量産性と
モジュールのコンパクト性を確保しつつ冷却することは
困難であった。
題点を解決した冷却構造を備えた半導体モジュールを提
供することにある。即ち、冷却性能が高く、かつ、量産
性に優れた半導体モジュール構造を提供することにあ
る。
題点を解決した冷却構造を備えた半導体モジュール、即
ち、小型で、かつ、高性能な放熱構造を備えた半導体モ
ジュールを提供することにある。
に本発明は、回路基板と、前記回路基板上に実装された
複数の半導体デバイスと、前記回路基板を覆うハウジン
グと、前記半導体デバイスと前記ハウジングとの間に設
けられた、前記半導体デバイス面に垂直な方向にのび、
かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面を有する第1お
よび第2の熱伝導部材から構成される熱伝導体とから成
る半導体モジュールにおいて、前記第1および第2の熱
伝導部材のそれぞれに形成されたフィンどうしの間隙
が、5〜25μmの範囲の構造であることを特徴とし、
また、前記第1および第2のフィンの厚みが0.3〜0.
5mmの範囲、また、前記第1および第2のフィンの高
さが1.5〜4mmの範囲であることを特徴とする。
方向が鉛直方向と実質的に一致するように立てた場合
に、モジュール内に封入する伝熱液体の液面が、モジュ
ールの最上部に位置する半導体デバイスに固着された第
1フィンの下端から上端の間の高さ、好ましくは、上下
端の中央の高さから上端の高さの間にあることを特徴と
する。又、前記第2の熱伝導部材のベース部に前記ハウ
ジングと接触する面と第2フィンの根元部が貫通する微
細な穴を一つあるいは複数個設け、かつ、前記ハウジン
グの内壁には前記第2の熱伝導部材のベース部の接触面
と交わるように微細な溝を一つあるいは複数個設け、前
記熱伝導性かつ電気絶縁性の流体の液面が、前記ハウジ
ングの内壁に設けられた微細な溝の一部に接触するよう
に制御し、モジュールを、ハウジングの微細な溝の長手
方向が鉛直方向と実質的に一致するように立てて実装す
ることを特徴とする。また、前記モジュールの上下の各
端部に、前記伝熱液体を導入し排出するバルブ機構を設
けたことを特徴とするものである。そして、前記モジュ
ールを、第1および第2のフィンの長手方向が鉛直方向
に実質的に一致するように立てて実装したものである。
合わせた熱伝導体のフィン間の間隙を必要最小限にする
ことによりフィン間の介在流体の熱抵抗の低く抑えるこ
とができ、さらに、フィン厚さを比較的厚く保ちながら
フィン高さを低くすることにより、フィン内部の熱伝導
抵抗を低く抑えることができる。また、この二つの相乗
作用により熱伝導体の熱抵抗を極めて低く抑えることが
できる。さらに、比較的厚いフィンを用いるため、フィ
ンの加工が容易になり、例えばフィンの材質として窒化
アルミニウムを用いた場合は高精度の加工が容易に行え
る。
液体の量を、モジュールを第1および第2のフィンの長
手方向が鉛直方向と実質的に一致するように立てた場合
に、液面が、モジュールの最上部に位置する半導体デバ
イスに固着された第1フィンの下端から上端の間の高
さ、好ましくは、前記第1フィンの下端と上端の中央の
高さから上端の高さの間の高さにくるような量にし、モ
ジュールを、第1および第2のフィンの長手方向が鉛直
方向と実質的に一致するように立てて実装することのよ
り、液体の表面張力によって、フィン間および第2フィ
ンとハウジング内壁間の接触面に液体を供給しながらモ
ジュール内に液体の膨張を吸収するための空間を作り出
すことができ、余分な膨張吸収室を設ける必要が無いた
め、伝熱媒体として液体を用いて高い冷却性能を得なが
らモジュールを小型化できる。
材のベース部にハウジングと接触する面と第2フィンの
根元部が貫通する微細な穴を設け、かつ、ハウジングの
内壁には第2の熱伝導部材のベース部の接触面と交わる
ように微細な溝を設け、液体の液面をハウジングの内壁
に設けられた微細な溝の一部に接触するようにモジュー
ルに封入する液体の量を制御し、モジュールを、ハウジ
ングの微細な溝の長手方向が鉛直方向と実質的に一致す
るように立てて実装することのより、液体の表面張力に
よって、ハウジングの微細な溝を伝わり第2の熱伝導部
材のベース部とハウジング内壁間の接触面、接触面から
第2の熱伝導部材のベース部に設けられた微細な穴を介
してフィン間および第2フィンに液体を供給しながらモ
ジュール内に液体の膨張を吸収するための更に大きな空
間を作り出すことができ、余分な膨張吸収室を設ける必
要が無いため、伝熱媒体として液体を用いて高い冷却性
能を得ながらモジュールを更に、小型化できる。
参照して説明する。
より説明する。図1は、本実施例の半導体モジュールを
示す縦断面図である。図1に示すように、多数のI/O
ピン1を有するセラミクスの多層基板2上に複数の半導
体デバイス3が、微小な半田ボール4を介して搭載され
ている。基板2にはフランジ5が取り付けられており、
このフランジ5とハウジング7とはOリング6を介在さ
せてボルト8により固定されて、フランジ5と基板2で
囲まれる空間9を気密封止している。
は、ヘリウムガスまたは電気絶縁性のオイル等の液体が
封入されている。ハウジング7の上端面部には、冷却流
体を通すための複数の流路10がハウジング7と一体的
に形成され、この流路10を覆うように上蓋11が取り
付けられている。さらに、ハウジング7あるいは上蓋1
1には、バルブ機構を内蔵したカプラ12が設けられて
おり、このカプラ12を介して冷却流体が、外部から流
入、流出されるようになっている。
ベース13と一体にベース13に垂直に形成された平板
状の第1のフィン14を有する第1の熱伝導部材15
が、半田層16により固着されている。第1の熱伝導部
材15の材質は、電気絶縁性を有するとともに熱伝導率
が高く、かつ、線膨張率が半導体デバイス材料に近いこ
とが望ましい。このような材料としては、例えば窒化ア
ルミニウム(AlN)がある。
8からなる第2の熱伝導部材19が、微小な間隙を介し
て第1の熱伝導部材15と係合しており、第1の熱伝導
部材と対をなして一つの熱伝導体を形成する。第2の熱
伝導部材19のベース部17は、個々の半導体デバイス
3が基板2上で占有している面積とほぼ等しい面積を有
し、半導体デバイス3の面積より大きくなるように形成
されている。第2の熱伝導部材19のベース部17は、
第1の熱伝導部材15と第2の熱伝導部材19の間に設
けられた弾性部材(図には示されていない)によりハウ
ジングの平坦な内壁20に押し当てられる。ハウジング
7の内壁と第2の熱伝導部材19のベース部の接触面は
伝熱面として作用するとともにモジュールの面方向の変
形を吸収するようになっている。
は、電気絶縁性を有し、かつ、熱伝導率の高い流体、例
えばヘリウムガスやオイルが満たされている。第1の熱
伝導部材15に設けられた第1フィン14および第2の
熱伝導部材19に設けられた第2フィン18の寸法は、
本実施例ではフィン厚が0.3〜0.5mm、フィン高さ
が1.5〜4mm、フィン間の間隙(片側)が5〜25
μmの範囲にある。
の熱伝導部材15が半田層16により固着されているの
で、抑制しにくいデバイス面の反りに起因する接触熱抵
抗のばらつきは生じない。また、第2の熱伝導部材19
のベース部17の面積は個々の半導体デバイス3が基板
2上に占有する面積とほぼ等しく、半導体デバイス3の
面積よりも大きいから、熱伝導部材をデバイス面に接触
させる場合に比べて、接触面積を大きくとることができ
る。
伝導部材19のベース部17はともに加工が容易な平坦
面に形成されており、機械加工面であるので、反りの抑
制は極めて容易である。このため、ハウジング7の平坦
な内壁20に第2の熱伝導部材のベース部17間の接触
熱抵抗を小さく抑えることが可能である。さらに、本実
施例ではフィン厚さを比較的厚く保ちながらフィン間の
間隙を小さく、かつ、フィン高さを低くするため第1お
よび第2の熱伝導部材の加工の容易さを保ちながら熱抵
抗を極めて小さくすることができる。
当たりの熱抵抗の計算例を示す。横軸はフィンの高さを
表し、縦軸は単位断面積当たりの熱抵抗を表す。この例
では、第1フィンの材質は窒化アルミニウムであり、第
2フィンの材質は銅である。また、伝熱媒体は鉱物油で
ある。パラメータはフィン間の間隙(片側)であり、本
実施例では、従来の熱伝導体では検討されていない狭間
隙の領域に着目している。また本実施例では加工の容易
さを保つために、フィン厚さの比較的厚い領域に着目し
ており、この計算例ではフィン厚さは0.5mmであ
る。狭間隙の領域を用いることにより、このような比較
的厚いフィンを用いながら単位断面積当たり0.5〜0.
75℃cm2/W程度の極めて低い熱抵抗値を得ること
ができる。
ことにより、熱抵抗を最小にするフィン高さが、1.5
〜4mmと従来の熱伝導体よりも低くなり、フィンの加
工もさらに容易になる。図2の計算例ではフィン厚さは
0.5mmであるが、加工の容易さからはフィン厚さは
0.3〜0.5mmであることが望ましい。また、第1お
よび第2フィンの材質としては図2の計算例の他にも、
例えば双方とも窒化アルミニウムの場合、シリコンを用
いる場合等、種々考えられる。
電気絶縁性の液体を用いている。このような液体として
は、例えば鉱物油がある。本実施例ではモジュールを、
前記第1フィン14および第2のフィン18の長手方向
が鉛直方向と実質的に一致するように実装し、液体の封
入量は、液面21が、モジュールの最上部に位置する半
導体デバイスに固着された第1フィン14の下端から上
端の間の高さにくるように制御されている。また、この
ようにしてモジュール内に作り出された空間22には、
窒素等の不活性気体が満たされる。
表面張力によって、フィン間および第2フィンとハウジ
ング内壁間の接触面23に液体を供給しながらモジュー
ル内に液体の膨張を吸収するための空間を作り出すこと
ができ、余分な膨張吸収室を設ける必要が無いため、伝
熱媒体として液体を用いて高い冷却性能を得ながらモジ
ュールを小型化できる。
なる。すなわち、第2の熱伝導部材19のベース部17
にハウジング7と接触する面23と第2フィン18の根
元部が貫通する微細な穴26を設け、ハウジング7の内
壁20には第2の熱伝導部材19のベース部17の接触
面23と交わるように微細な溝27を設けられている。
モジュ−ル内には、熱伝導性かつ電気絶縁性を有する液
体が封入されており、その液面21は、ハウジング7の
内壁20に設けられた微細な溝27の一部に接触するよ
うに液体の量が調整されている。モジュールは、ハウジ
ング7の微細な溝27の長手方向が鉛直方向と実質的に
一致するように立てて実装されている。
は、液体の表面張力によってハウジング7の微細な溝2
7を伝わり第2の熱伝導部材19のベース部17とハウ
ジング7の内壁20間の接触面23、接触面23から第
2の熱伝導部材19のベース部17に設けられた微細な
穴26を介して第1フィン14および第2フィン18間
に供給される。このように液体の封入量を調整している
ので、液体を供給することができ、かつモジュール内に
液体の膨張を吸収するための更に大きな空間を作り出す
ことができるため、余分な膨張吸収室を設ける必要が無
いため、伝熱媒体として液体を用いて高い冷却性能を得
ながらモジュールを更に、小型化できる。
ジュール内に導入、排出するためのバルブ機構24、2
5が2個所に設けられ、かつ、それらが第1フィン14
および第2フィン18の長手方向に平行な方向にモジュ
ールの1辺の長さにほぼ等しい距離をおいて設けられて
いる。
うな作用が生じる。
ジュールを第1フィン14および第2フィン18の長手
方向が鉛直方向と一致するように立て、バルブ24が上
に、バルブ25が下に位置するようにする。この状態
で、これらのバルブを開き、バルブ25から液体をモジ
ュール内に導入する。本実施例ではバルブ24が最上部
に位置しているので、モジュール内の空気を液面の上昇
によってバルブ24から排出することができる。また第
1フィン14および第2フィン18の長手方向が鉛直方
向と一致しているのでフィン間の間隙内に空気がトラッ
プされることが少なく、安定した冷却性能を得ることが
できる。
は、バルブ24とバルブ25の位置関係を前記したのと
同様に保ち、これらのバルブを開くことにより、液体が
バルブ25から排出されると同時に空気がバルブ24か
らモジュール内に導入されるので、液体の排出は極めて
容易であり、保守作業時のモジュールの分解も容易であ
る。
下の効果が得られる。
厚く保ちながらフィン間の間隙を小さく、かつ、フィン
の高さを低くすることにより、フィンの加工が容易にな
ると同時に極めて高い冷却性能を得ることができる。
の量を、モジュールを第1および第2のフィンの長手方
向が鉛直方向と実質的に一致するように立てた場合に、
液面が、モジュールの最上部に位置する半導体デバイス
に固着された第1フィンの下端から上端の間の高さ、好
ましくは、第1フィンの下端と上端の中央の高さから上
端の高さの間の高さにくるように制御するため、余分な
膨張吸収室を設けること無く、モジュール内に液体の膨
張を吸収するための空間を作り出すことができ、高い冷
却性能を得ながらモジュールを小型化することができ
る。又、第2の熱伝導部材のベース部にハウジングと接
触する面と第2フィンの根元部が貫通する微細な穴を設
け、ハウジングの内壁には第2の熱伝導部材のベース部
の接触面と交わるように微細な溝を設け、液体の液面を
ハウジングの内壁に設けられた微細な溝の一部に接触す
るようにモジュールに封入する液体の量を調整し、モジ
ュールを、ハウジングの微細な溝の長手方向が鉛直方向
と実質的に一致するように立てて実装することにより、
液体は、液体の表面張力によってハウジングの微細な溝
を伝わり第2の熱伝導部材のベース部とハウジング内壁
間の接触面、接触面から第2の熱伝導部材のベース部に
設けられた微細な穴を介してフィン間および第2フィン
に供給される。そして、液体を供給しながらモジュール
内に液体の膨張を吸収するための更に大きな空間を作り
出すことができ、余分な膨張吸収室を設ける必要が無
い。このため、伝熱媒体として液体を用いて高い冷却性
能を得ながらモジュールを更に、小型化できる。
し排出するためのバルブ機構を2個所に設け、かつ、そ
れらが第1フィンおよび第2フィンの長手方向に平行な
方向にモジュールの1辺の長さにほぼ等しい距離をおい
て設けられるようにしたため、モジュール内への液体の
導入および排出が容易になる。
面図である。
る。
面図である。
面図である。
面図である。
ス、4…半田ボール、5…フランジ、6…Oリング、7
…ハウジング、8…ボルト、9…密閉空間、10…流
路、11…上蓋、12…カプラ、13…ベース、14…
第1フィン、15…第1の熱伝導部材、16…半田層、
17…ベース、18…第2フィン、19…第2の熱伝導
部材、20…平坦な内壁、21…液面、22…空間、2
3…接触面、24、25…バルブ、26…穴、27…
溝、28…弾性部材。
Claims (15)
- 【請求項1】回路基板と、前記回路基板上に実装された
複数の半導体デバイスと、前記回路基板を覆うハウジン
グと、前記半導体デバイスと前記ハウジングとの間に設
けられた、前記半導体デバイス面に垂直な方向にのび、
かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面を有する第1お
よび第2の熱伝導部材から構成される熱伝導体とから成
る半導体モジュールにおいて、前記第1および第2の熱
伝導部材のそれぞれに形成されたフィンどうしの間隙
が、5〜25μmの範囲の構造であることを特徴とする
半導体モジュール。 - 【請求項2】請求項1に記載の半導体モジュールにおい
て、前記第1および第2のフィンの厚みが、0.3〜0.
5mmの範囲であることを特徴とする半導体モジュー
ル。 - 【請求項3】請求項1に記載の半導体モジュールにおい
て、前記第1および第2のフィンの高さが、1.5〜4
mmの範囲であることを特徴とする半導体モジュール。 - 【請求項4】請求項1に記載の半導体モジュールを、前
記第1および第2のフィンの長手方向が鉛直方向と実質
的に一致するように立てた場合に、モジュール内に封入
する伝熱液体の液面が、モジュールの最上部に位置する
半導体デバイスに固着された第1フィンの下端から上端
の間の高さにあるようにしたことを特徴とする半導体モ
ジュール。 - 【請求項5】請求項1に記載の半導体モジュールにおい
て、前記モジュールの上下の各端部に、前記伝熱液体を
導入し排出するバルブ機構を設けたことを特徴とする半
導体モジュール。 - 【請求項6】回路基板と、前記回路基板上に実装された
複数の半導体デバイスと、前記回路基板を覆うハウジン
グと、前記半導体デバイスと前記ハウジングとの間に設
けられた、前記半導体デバイス面に垂直な方向にのび、
かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面を有する第1お
よび第2の熱伝導部材から構成される熱伝導体とから成
る半導体モジュールにおいて、前記第1および第2の熱
伝導部材のそれぞれに形成されたフィンどうしの間隙が
5〜25μm、かつ厚みが0.3〜0.5mm、かつ高さ
が1.5〜4mmの範囲にあるとともに、前記第1およ
び第2のフィンの長手方向が鉛直方向と実質的に一致す
るように立てた場合に、モジュール内に封入する伝熱液
体の液面が、モジュールの最上部に位置する半導体デバ
イスに固着された第1フィンの上下端の中央の高さから
上端の高さの間にあり、かつ、前記モジュールの上下の
各端部に、前記伝熱液体を導入し排出するバルブ機構を
設けたことを特徴とする半導体モジュール。 - 【請求項7】回路基板(2)と、前記回路基板上に実装さ
れた複数の半導体デバイス(3)と、前記回路基板を覆う
ハウジング(7)と、前記半導体デバイスと前記ハウジン
グとの間に設けられた、前記半導体デバイス面に垂直な
方向にのび、かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面を
有する第1および第2の熱伝導部材(15)、(19)から構成
される熱伝導体とから成る半導体モジュールにおいて、
前記半導体デバイス(3)には、ベース(13)に垂直に一体
形成された互いに平行な複数の第1フィン(14)を有し、
かつ、前記第1フィンが前記ハウジング側に垂直に伸長
するように第1の熱伝導部材(15)が固着され、前記ハウ
ジングは、外壁側に一体に形成された放熱器と平坦な内
壁とを備え、前記第2の熱伝導部材(19)は、前記半導体
デバイスの各々が回路基板上に占有する面積にほぼ等し
い面積を有するベースと該ベース上に互いに平行に垂直
に一体形成された複数の第2フィン(18)から成り、前記
半導体デバイス(3)に個々に固着された第1の熱伝導部
材(15)の第1フィン(14)と前記個々の第2の熱伝導部材
(19)の第2フィン(18)とは微小な間隙を介して係合して
おり、前記第1フィン(14)および第2フィン(18)の寸法
は、フィン厚が0.3〜0.5mm、高さが1.5〜4m
mの範囲にあり、かつ、前記第1フィンおよび第2フィ
ンの間の間隙の大きさが5〜25μmの範囲にあり、前
記第1の熱伝導部材(15)と第2の熱伝導部材(19)の間に
は弾性部材が設けられ、前記第2の熱伝導部材(19)のベ
ース部のフィン形成面とは逆側の面は、前記弾性部材の
ばね力により前記ハウジングの内壁に接触しており、前
記回路基板と前記ハウジングで形成される密閉空間内に
は熱伝導性かつ電気絶縁性の流体が封入されていること
を特徴とする半導体モジュール。 - 【請求項8】請求項7に記載の半導体モジュールにおい
て、前記第1の熱伝導部材または第2の熱伝導部材は窒
化アルミニウムで形成されている半導体モジュール。 - 【請求項9】回路基板(2)と、前記回路基板上に実装さ
れた複数の半導体デバイス(3)と、前記回路基板を覆う
ハウジング(7)と、前記半導体デバイスと前記ハウジン
グとの間に設けられた、前記半導体デバイス面に垂直な
方向にのび、かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面を
有する第1および第2の熱伝導部材(15)、(19)から構成
される熱伝導体とを備えた半導体モジュールにおいて、
前記半導体デバイス(3)には、ベース(13)に垂直に一体
形成された互いに平行な複数の第1フィン(14)を有し、
かつ、前記第1フィンが前記ハウジング側に垂直に伸長
するように第1の熱伝導部材(15)が固着され、前記ハウ
ジングは、外壁側に一体に形成された放熱器と平坦な内
壁とを備え、前記第2の熱伝導部材(19)は、前記半導体
デバイスの各々が回路基板上に占有する面積にほぼ等し
い面積を有するベースと該ベース上に互いに平行に垂直
に一体形成された複数の第2フィン(18)から成り、前記
半導体デバイス(3)に個々に固着された第1の熱伝導部
材(15)の第1フィン(14)と前記個々の第2の熱伝導部材
(19)の第2フィン(18)とは微小な間隙を介して係合して
おり、前記第1の熱伝導部材(15)と第2の熱伝導部材(1
9)の間には弾性部材が設けられ、前記第2の熱伝導部材
(19)のベース部のフィン形成面とは逆側の面は、前記弾
性部材のばね力により前記ハウジングの内壁に接触して
おり、前記回路基板と前記ハウジングで形成される密閉
空間内には熱伝導性かつ電気絶縁性の流体が封入されて
いるとともに、その封入量は、前記第1および第2のフ
ィンの長手方向が鉛直方向と実質的に一致するようにモ
ジュールを立てた場合に、液面(21)が、モジュールの最
上部に位置する半導体デバイスに固着された第1フィン
の下端から上端の間の高さにあるように制御されている
ことを特徴とする半導体モジュール。 - 【請求項10】請求項9記載の半導体モジュールにおい
て、前記熱伝導性かつ電気絶縁性の流体の液面(21)が、
モジュールの最上部に位置する半導体デバイス(3)に固
着された第1フィン(14)の下端と上端との中央の高さか
ら上端の高さの間にあるように制御されていることを特
徴とする半導体モジュール。 - 【請求項11】回路基板(2)と、前記回路基板上に実装
された複数の半導体デバイス(3)と、前記回路基板に取
り付けられたフランジ(5)と、前記回路基板を覆うハウ
ジング(7)と、前記半導体デバイスと前記ハウジングと
の間に設けられた、前記半導体デバイス面に垂直な方向
にのび、かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面を有す
る第1および第2の熱伝導部材から構成される熱伝導体
とを備えた半導体モジュールにおいて、前記半導体デバ
イス(3)には、ベース(13)と該ベースに垂直に一体形成
された互いに平行な複数の第1フィン(14)を有する第1
の熱伝導部材(15)が、前記第1フィンが前記ハウジング
側に垂直に伸長するように固着され、前記ハウジング
(7)は、外壁側に一体に形成された放熱器と平坦な内壁
とを備え、前記第2の熱伝導部材(19)は、前記半導体デ
バイスの各々が回路基板上に占有する面積にほぼ等しい
面積を有するベースと互いに平行にベース上に垂直に一
体形成された複数の第2フィン(18)から成り、前記半導
体デバイスに個々に固着された第1の熱伝導部材の第1
フィン(14)と前記個々の第2の熱伝導部材の第2フィン
(18)とは微小な間隙を介して系合しており、前記第1の
熱伝導部材(15)と第2の熱伝導部材(19)の間には弾性部
材が設けられ、前記第2の熱伝導部材のベース部のフィ
ン形成面とは逆側の面は、前記弾性部材のばね力により
前記ハウジングの内壁に接触しており、前記回路基板
(2)と前記フランジ(5)と前記ハウジング(7)で形成され
る密閉空間内には熱伝導性かつ電気絶縁性の流体が封入
されており、前記ハウジングまたは前記フランジには前
記流体を前記密閉空間内に導入、排出するためのバルブ
機構(24)、(25)が2ヵ所に設けられ、かつ、それらが前
記第1および第2のフィンの長手方向に平行な方向に距
離をおいて設けられていることを特徴とする半導体モジ
ュール。 - 【請求項12】回路基板(2)と、前記回路基板上に実装
された複数の半導体デバイス(3)と、前記回路基板に取
り付けられたフランジ(5)と、前記回路基板を覆うハウ
ジング(7)と、前記半導体デバイスと前記ハウジングと
の間に設けられた、前記半導体デバイス面に垂直な方向
にのび、かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面を有す
る第1および第2の熱伝導部材(15)、(19)から構成され
る熱伝導体とを備えた半導体モジュールにおいて、前記
半導体デバイス(3)には、ベース(13)と該ベース上に垂
直に一体形成された互いに平行な複数の第1フィン(14)
を有し、かつ、前記第1フィンが前記ハウジング側に垂
直に伸長するように第1の熱伝導部材(15)が固着され、
前記ハウジングは、外壁側に一体に形成された放熱器と
平坦な内壁とを備え、前記第2の熱伝導部材(19)は、前
記半導体デバイスの各々が回路基板上に占有する面積に
ほぼ等しい面積を有するベースと該ベース上に互いに平
行に垂直に一体形成された複数の第2フィン(18)から成
り、前記半導体デバイスに個々に固着された第1の熱伝
導部材の第1フィン(14)と前記個々の第2の熱伝導部材
の第2フィン(18)とは微小な間隙を介して係合してお
り、前記第1の熱伝導部材と第2の熱伝導部材の間には
弾性部材が設けられ、前記第2の熱伝導部材のベース部
のフィン形成面とは逆側の面は、前記弾性部材のばね力
により前記ハウジングの内壁に接触しており、前記回路
基板(2)と前記フランジ(5)と前記ハウジング(7)で形成
される密閉空間内には熱伝導性かつ電気絶縁性を有する
流体が封入されており、前記ハウジングまたは前記フラ
ンジには前記流体を前記密閉空間内に導入し排出するた
めのバルブ機構(24)、(25)が2ヵ所に設けられ、かつ、
それらが前記第1および第2のフィン(14)、(18)の長手
方向に平行な方向にモジュールの1辺の長さとほぼ等し
い距離をおいて設けられていることを特徴とする半導体
モジュール。 - 【請求項13】請求項9または10に記載の半導体モジ
ュールを、前記第1および第2のフィン(14)、(18)の長
手方向が鉛直方向と実質的に一致するように立てて実装
することを特徴とする半導体モジュ−ル。 - 【請求項14】回路基板(2)と、前記回路基板上に実装
された複数の半導体デバイス(3)と、前記回路基板を覆
うハウジング(7)と、前記半導体デバイスと前記ハウジ
ングとの間に設けられた、前記半導体デバイス面に垂直
な方向にのび、かつ間隙を介して互いに対向する伝熱面
を有する第1および第2の熱伝導部材(15)、(19)から構
成される熱伝導体とを備えた半導体モジュールにおい
て、前記半導体デバイス(3)には、ベース(13)に垂直に
一体形成された互いに平行な複数の第1フィン(14)を有
し、かつ、前記第1フィンが前記ハウジング側に垂直に
伸長するように第1の熱伝導部材(15)が固着され、前記
ハウジングは、外壁側に一体に形成された放熱器と平坦
な内壁とを備え、前記第2の熱伝導部材(19)は、前記半
導体デバイスの各々が回路基板上に占有する面積にほぼ
等しい面積を有するベースと該ベース上に互いに平行に
垂直に一体形成された複数の第2フィン(18)から成り、
前記半導体デバイス(3)に個々に固着された第1の熱伝
導部材(15)の第1フィン(14)と前記個々の第2の熱伝導
部材(19)の第2フィン(18)とは微小な間隙を介して系合
しており、前記第1の熱伝導部材(15)と第2の熱伝導部
材(19)の間には弾性部材が設けられ、前記第2の熱伝導
部材(19)のベース部のフィン形成面とは逆側の面は、前
記弾性部材のばね力により前記ハウジングの内壁に接触
し、かつ、前記第2の熱伝導部材(19)のベース部には、
前記ハウジングと接触する面と第2フィン(18)の根元部
が貫通する微細な穴が一つあるいは複数個設けられ、前
記ハウジングの内壁には前記第2の熱伝導部材(19)のベ
ース部の接触面と交わるように微細な溝が一つあるいは
複数個設けられており、前記回路基板と前記ハウジング
で形成される密閉空間内には熱伝導性かつ電気絶縁性の
流体が封入されていることを特徴とする半導体モジュー
ル。 - 【請求項15】請求項14記載の半導体モジュールにお
いて、前記半導体モジュールを、前記ハウジングの微細
な溝の長手方向が鉛直方向と実質的に一致するように立
てて実装し、前記熱伝導性かつ電気絶縁性の流体の液面
(21)が、前記ハウジングの内壁に設けられた微細な溝の
一部に接触するように制御されていることを特徴とする
半導体モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27089294A JP3395409B2 (ja) | 1994-08-26 | 1994-11-04 | 半導体モジュール |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6-202217 | 1994-08-26 | ||
JP20221794 | 1994-08-26 | ||
JP27089294A JP3395409B2 (ja) | 1994-08-26 | 1994-11-04 | 半導体モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08116005A true JPH08116005A (ja) | 1996-05-07 |
JP3395409B2 JP3395409B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=26513244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27089294A Expired - Fee Related JP3395409B2 (ja) | 1994-08-26 | 1994-11-04 | 半導体モジュール |
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JP (1) | JP3395409B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006245356A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Hitachi Ltd | 電子デバイスの冷却装置 |
US7839640B2 (en) | 2008-09-24 | 2010-11-23 | Hitachi, Ltd | Electronic device and a thermal connector used therein |
-
1994
- 1994-11-04 JP JP27089294A patent/JP3395409B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2006245356A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Hitachi Ltd | 電子デバイスの冷却装置 |
US7839640B2 (en) | 2008-09-24 | 2010-11-23 | Hitachi, Ltd | Electronic device and a thermal connector used therein |
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