JPH08114709A - カラーフイルタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上
に均一な厚さの高精度の多色の微細パターンの形成され
た優れた耐熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供
する。 【構成】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色
された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼りあわせる工程、（２）パターン状に露光する工程
及び（３）現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して
多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法にお
いて、二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板
に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる
工程を行ない、（１）の工程でロールを有するラミネー
タを使用して、ロール圧力をかけながら貼りあわせるこ
とにより、基板上の着色された感光性樹脂層の膜厚を厚
くすることを特徴とするカラーフイルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製造
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラス等の光学的に
透明基板の表面に、２種以上の色相を異にする極めて微
細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定の
間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これら
のパターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおいて整
然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要があ
り、種々のカラーフイルタの製造法が提案されている。
例えば、スクリーン印刷法では、低コストのカラーフイ
ルタの形成が可能であり、フォトリソグラフィ技術を用
いる方法では、カラーフイルタ用基板上に形成された透
明膜に、所定のネガマスクを通して紫外線照射し、未露
光部を除去した後、防染層を形成しながら染色する方法
等がある。

【０００３】ベースフイルム及び感光性樹脂層から成る
感光性フイルムを使用した多色の微細なストライプ状又
はモザイク状のパターンを、簡単に高精度で形成できる
カラーフイルタの製造法が知られている。透明基板上に
ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とから
なる感光性フイルムを、着色された感光性樹脂層が基板
に面するように貼りあわせる工程、露光して所定のパタ
ーン状に露光する工程及び前記ベースフイルムを剥がし
て現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させて
カラーフイルタが製造される。感光性フイルムは公知で
あり、基本的な組成及び構成とその作用は特公昭４５−
２５２３１号公報等に詳細が公開されている。

【０００４】例えば、一色に着色された感光性樹脂層を
ベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの感光性
樹脂層を、透明基板上に転写して所定のパターンのマス
クを介して露光、現像してパターンを形成する方法（特
開昭６１−９９１０２号公報）、アルカリ現像を行う方
法（特開平２−２３９２０５号公報）、水溶性ベースフ
イルムを用いる方法（特開平２−２７１３０１号公
報）、このフイルムを透明な板の上に加熱圧着して、所
定のパターンのマスクを介して露光してベースフイルム
を剥離し、現像して透明着色の画像パターンを形成する
方法（特開昭６３−１８７２０３号公報、特開平２−２
４４００５号公報）等が知られている。また、感光性フ
イルムを用いてカラーフイルタを作成する方法として
は、特開平３−１６０４５４号公報、特開平３−１１１
８０２号公報、特開平２−１５１８０５号公報、特開平
４−２１２１６１号公報、特開平４−３０１６０２号公
報、特開平５−２１０７号公報等が知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一般のカラーフイルタ
の製造法において、赤、青及び緑のカラーの画素の形状
が均一であることが必要であるとともに、画素の膜厚は
各色同じ膜厚を有していることが要求される。特に最近
ではオーバコート膜を省略することが望まれており、カ
ラーフイルタに直にＩＴＯのスパツタリングを施すこと
が必須の技術となっている。感光性フイルムを用いるカ
ラーフイルタの製造法（フィルム法）では、他の一般的
な方式で行われている各色の画素の作成時に膜厚を制御
しながら製造する煩雑な方法とは異なり、あらかじめ膜
厚の揃った着色感光性樹脂層からなる三色又は四色のフ
イルムを用いてカラーフイルタを作成するため、容易に
均一な膜厚の揃ったカラーフイルタを製造できる利点が
ある。

【０００６】しかし、フイルム法では、透明基板上にベ
ースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とからな
る感光性フイルムを着色された感光性樹脂層が前記基板
に面するように貼りあわせるので、着色された感光性樹
脂層の膜厚はあらかじめ選択した厚さでカラーフイルタ
を作成しなければならずラミネート後の膜厚の調整は不
可能とされていた。一般に使用されるカラーフイルタ用
の感光性フイルムの着色された感光性樹脂層の膜厚は、
指定膜厚±０．０５μｍの精度に作り込まれているが、
大量にカラーフイルタを製造する場合には、三色の指定
膜厚を揃えられないことがあり、ラミネート後の膜厚の
調整が品質の安定化の面から切望されていた。本発明は
そのような要求に応え、カラーフイルタ用の感光性フイ
ルムの着色された感光性樹脂層の膜厚を、ラミネート後
に膜厚調整することを可能とするカラーフイルタの製造
法を提供するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記した問題
を解消し、ガラス板等の透明基板上に作業性が良く、し
かも高精度で多色の微細パターンを形成することができ
るカラーフイルタの製造法を提供するものである。

【０００８】本発明は、透明基板上に、ベースフイルム
と一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイ
ルムを、（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面
するように貼りあわせる工程、（２）パターン状に露光
する工程及び（３）現像工程を少なくとも含む工程を繰
り返して多色パターンを形成させるカラーフイルタの製
造法において、二色目以降の着色された感光性樹脂層が
前記基板に面するように、画素間に空間を形成して貼り
合わせる工程を行ない、（１）の工程でロールを有する
ラミネータを使用して、ロール圧力をかけながら貼りあ
わせることにより、基板上の着色された感光性樹脂層の
膜厚を厚くすることを特徴とするカラーフイルタの製造
法に関する。

【０００９】前記（１）の着色された感光性樹脂層が前
記基板に面するように貼りあわせる工程においては、具
体的には、透明基板上に前記の感光性フイルムの保護膜
を剥がしながら着色された感光性樹脂層を、ロールを有
するラミネータを使用し、ロール圧力をかけながら貼り
付ける。本発明では、ロール圧力をかけることが必須と
される。ロール圧力をかけない場合は、厚膜化が達成さ
れない。ロール圧力は、１〜１０kgf/cm²とすることが
好ましく、３〜７kgf/cm²とすることがより好ましい。
また、ロール温度及びロール速度は、所望する膜厚に応
じて適宜決定すればよいが、厚膜化の効果の点から、ロ
ール温度は、７０〜１７０℃とすることが好ましく、ロ
ール速度は、０．１〜３ｍ／分とすることが好ましく、
０．１〜１．７ｍ／分とすることがより好ましい。

【００１０】一色目の感光性樹脂層は平坦な前記透明基
板に貼付られるが、二色目以降の感光性樹脂層は前置画
素（既に前記基板上に形成されている所定のパターンの
画素）が存在しているので、前置画素に重なって貼り付
られる。つまり、前置画素のない部分に二色目以降の感
光性樹脂層は密着し画素を形成し所定のパターンを形成
する。従来のカラーフィルタの製造法では、二色目以降
の層を形成する際に、既に形成された着色層（前置画
素）上の二色目以降の着色層と前記基板上に直接接触す
る着色層との間に段差が生ずる。この段差は既に形成さ
れた着色層の厚さ（１〜５μｍ）によって決まる。

【００１１】さらに詳しく説明すると、カラーフイルタ
がストライプ状の三原色（赤、青及び緑）の画素から構
成されている場合には、一色目のストライプ状の画素
が、例えば、厚さ２．０μｍ、巾７０μｍ、間隔３００
μｍで透明基板上に構成されている上に二色目の着色層
を貼りあわせると、前置画素により、２．０μｍ前後の
凸が存在する。二色目以降の画素上では、一色目の画素
上に乗っていた着色感光性樹脂層の一部が流れ込んでき
て、二色目では一色目の画素に近い端が持ち上がり、画
素表面が斜めになり、その断面はいわゆるＪ状になる。
三色目の画素は両隣の画素からの着色感光性樹脂層の流
れ込みがあるため画素の両端が持ち上がり、いわゆるＭ
状の断面となる。この両端の持ち上がりを０．３μｍ以
下に抑えることが染色法や顔料分散レジスト法で行われ
ており、ストライプ形状の場合は画素の幅とブラックス
トライプの幅の組合せ等の調整により対処している。画
素の幅が８０μｍ、ブラックストライプの幅を３０μｍ
で、重なりを５μｍとして対処している条件では、前置
画素との間に２５μｍの余裕がでるので両端の持ち上が
りが２５μｍの幅の分だけ低減でき、また、透明なオー
バーコート膜（３〜５μｍ）を設けて表面を平滑にし、
ＩＴＯの均一なスパッタリングを行うこと等により、Ｍ
状、Ｊ状の持ち上がりは小さくできる。本発明では、二
色目以降の両端の持ち上がりを制御しながら、三原色の
画素の膜厚を均一にすることができる。

【００１２】以下に、より詳しく本発明の（１）の工程
を説明する。例えば、ロール圧力をかけ、この圧力を高
くすることにより、二色目以降の両端の持ち上がりを大
きくすると、画素の膜厚そのものを０．１μｍから１．
０μｍ程度まで厚膜化できる。即ち、ロール圧力をかけ
ることにより着色された感光性樹脂層の膜厚をラミネー
ト前よりも厚くすることができる。また、ロール圧力だ
けでなく、ロール温度、フイルムの送り速度を最適に選
択することで画素の膜厚を一層効果的に行うことがで
き、本発明によれば、ラミネートするときの着色感光性
樹脂層の膜厚にバラツキがあっても均一な膜厚のカラー
フイルタを得ることができる。

【００１３】貼り合わせ後さらに数回ロール間を通すこ
とで画素の膜厚を厚膜化でき、二回目以降のロール間を
通す操作において、基板温度を低くすることもよく、フ
イルムの送り速度（ロール間の基板の送り速度）を早く
することも遅くすることもできる。膜厚の増加はこれら
の条件組み合わせることにより達成でき、所望の画素の
膜厚を得ることができる。前記の方法に加えて、基板温
度を高くすることも効果的である。厚膜化を容易に行な
うために、ベースフイルムを薄くして前置画素上の着色
感光性樹脂層の流れ込みを容易にすることも有効であ
り、また、ベースフイルムを剥離してから再度ラミネー
トロールを通して圧力をかけ、前置画素上の着色感光性
樹脂層の流れ込みの増加を図ることも有効である。

【００１４】本発明におけるカラーフイルタは、次のよ
うにして製造される。まず、透明基板上に感光性フィル
ムに形成された着色感光性樹脂が貼り合わされ、着色感
光性樹脂層表面のベースフィルム上に所定パターンのネ
ガマスクを乗せて露光した後、ベースフィルムが除去さ
れる。ついで未露光部分が現像液で現像され、着色パタ
ーンが形成される。この着色パターン形成工程を、色の
異なる感光性フィルムを用いて所定回数繰り返し行い、
多色のパターンを形成させてカラーフィルタが得られ
る。透明基板上に貼付られた着色感光性樹脂層で細線を
形成する場合は、現像液に耐えられる最少の露光量で露
光するため、現像後の着色層が柔軟なことがあり、現像
後にさらに紫外線照射、熱処理及び電子線照射等にり、
完全に着色層を硬化させて強度及び耐熱性を付与する。

【００１５】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明な剥離性ベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレ
フタレート等のフイルム上に、一色に着色された感光性
樹脂組成物を塗布し、乾燥させた後、地着色感光性樹脂
層を塗布し、乾燥させて、着色感光性樹脂層を形成させ
たものである。感光性樹脂層は未硬化であり、柔軟で、
粘着性を有するため、感光性樹脂層の上にさらにポリエ
チレンフイルム等の保護フイルムを貼りあわせて外部か
らの損傷、異物の付着等を防止することが望ましい。感
光性フイルムの着色感光性樹脂層は、保護フイルムを剥
がしながら透明基板上に貼り合わされ、着色感光性樹脂
層表面のベースフイルムは、所定パターンのネガマスク
を通じて露光した後に除去される。

【００１６】一色に着色された感光性樹脂層は、エチレ
ン性不飽和化合物（ａ）、カルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）及び顔料又
は染料（ｄ）を含有するのが好ましく、層の厚さは０．
５〜１５μｍであることが好ましい。

【００１７】エチレン性不飽和化合物（ａ）としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物；トリメチロールプロパンジ
（メタ）アクリレート（メタアクリレート又はアクリレ
ートを意味する。以下同じ）、トリメチロールプロパン
トリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタント
リ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート等、グリシジル基含有化合物に
α，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物；
トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリア
クリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ
（メタ）アクリレート等、多価カルボン酸、無水フタル
酸等と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物で
あるβ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等との
エステル化物、（メタ）アクリル酸のアルキルエステ
ル；（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エ
チル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸
２−エチルヘキシル、トリメチルヘキサメチレンジイソ
シアナートと２価アルコールと２価の（メタ）アクリル
酸モノエステルとを反応させて得られるウレタンジアク
リレート化合物などが挙げられる。これらの化合物は単
独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。（ａ）
成分の配合量は（ａ）成分と（ｂ）成分の総量を１００
重量部として好ましくは９０〜５０重量部とされる。

【００１８】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー（ｂ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルと（メタ）アクリル酸との共重合体、（メ
タ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリル酸
とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体等
が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルと
しては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）
アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。ま
た、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）ア
クリル酸及びこれらと共重合し得るビニルモノマーとし
ては、例えば、（メタ）アクリル酸ジメチルエチル、
（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、（メタ）
アクリル酸ジエチル、２，２，２−トリフルオロエチル
（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオ
ロプロピル（メタ）アクリレート、アクリルアミド、ジ
アセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等
が挙げられる。さらに、カルボキシル基含有フイルム性
付与ポリマー（ｂ）の他に、例えば、テレフタル酸、イ
ソフタル酸、セバシン酸等のポリエステル、ブタジエン
とアクリロニトリルとの共重合体、セルロースアセテー
ト、セルロースアセテートブチレート、メチルセルロー
ス、エチルセルロースなども用いることができる。
（ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が
向上し、その配合量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量
を１００重量部として、１０〜５０重量部が好ましい。
配合量が１０重量部未満では、エチレン性不飽和化合物
が多くなるため光感度が低下する傾向があり、５０重量
部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。また、
（ｂ）成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強度の
点から１０，０００以上が好ましい。

【００１９】光重合開始剤（ｃ）としては、例えば、ベ
ンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジ
アミノベンゾフェノン（ミヒラーのケトン）、Ｎ，Ｎ′
−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、
４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、
４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾ
イン；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等
の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体等が用
いられる。（ｃ）の配合量は（ａ）と（ｂ）の総量１０
０重量部に対して０．１〜１０重量部が好ましい。この
配合量が０．１重量部未満では光感度が不十分となる傾
向があり、１０重量部を超えると露光の際に組成物の表
面での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる傾
向がある。

【００２０】顔料又は染料（ｄ）としては、一般に知ら
れている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエチレ
ン性不飽和化合物またはカルボキシル基含有フイルム性
付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透過
性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用でき
る顔料は各種の化合物が使用でき、例えば、硫酸バリウ
ム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガラ、カーボ
ンブラック、グラファイト、酸化クロムなどの無機顔
料、下記の有機顔料（カラーインデックス番号）等があ
る。 黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、２４、８３、
８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１３
７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５３、１５
４、１６６、１６８ オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１ 赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１ バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０ 青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４ 緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６ 黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７ （ｄ）の配合量は、（ａ）と（ｂ）の総量１００重量部
に対して１〜５０重量部が好ましい。この配合量が１重
量部未満では着色が不十分である傾向があり、５０重量
部を超えると光透過率が低下する傾向がある。

【００２１】着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を高め
るためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマーの
カルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び／又はエ
ポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量１００重
量部に対して１〜２０重量部添加することが好ましい。
これらを添加し、１３０〜２００℃で３０〜６０分加熱
することにより、着色層の架橋密度が向上し、耐熱性が
著しく向上する。

【００２２】

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。 実施例１ （１）着色感光性樹脂層用の塗工液 表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト １３５重量部、メラミン樹脂
５重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ
添加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用の塗工液を得
た。

【００２３】

【表１】

【００２４】

【表２】

【００２５】メラミン樹脂 サイメル３００（ヘキサメトキシメチルメラミンの商品
名、三井東圧社製） シランカップリング剤 Ｋ３Ｍ５０３（信越化学社製） 塗工液の調整 塗工液の調整はそれぞれの材料を使用直前に超音波で
２．５時間分散して調整した。

【００２６】（２）感光性フイルムの製造 得られた塗工液を、厚さ６μｍのポリエチレンテレフタ
レートフイルム（テイジン社製テトロンフイルムＳ６）
上に均一な厚さにキスタッチリバース方式の塗工機を用
いて塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥し、保護フ
イルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイルムを貼
りあわせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光性樹脂
層の厚さは、赤は２．０μｍ、青は１．７μｍ及び緑は
１．６μｍであった。

【００２７】（３）カラーフイルタの製造 （ａ）基板加熱工程 カラーフイルタ用の下地基板（コーニング７０７４ コ
ーニング社製）を８０℃で１０分間加熱した。 （ｂ）貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
それぞれの色について下記条件でラミネートした。 ロール温度 １３０℃ ロール圧 ６．０kg/cm² 速度 ０．５ｍ/分 （ｃ）露光工程 所定のパターン（通常のストライプ状のパターンであっ
て、７０μｍの長方形が長手方向に長さ１５０mmであっ
て、平行方向にに３０μｍの隙間があり、平行方向の間
隔が３００μｍ周期のストライプ状のパターン）のネガ
マスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１Ｂ（３kW、超高圧
水銀灯、オーク製作所製）で露光した。 （ｄ）剥離工程 ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去した。 （ｅ）現像工程 すべての色について現像液として、３０℃の０．０８重
量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液を用いて、１０〜２０秒スプレ
ー現像をし、未露光部を除去し、１色の着色パターンを
形成した。 上記の（ａ）から（ｅ）の着色パターンの形成工程を、
赤、青及び緑の順に実施した。但し、青及び緑のフイル
ムの送り方向を前置画素の赤のストライプ状のパターン
に直交させてフイルムを送り、多色のパターンを形成し
た。三色の画素の膜厚を測定した結果、赤は２．０μ
ｍ、緑は２．０μｍ及び青は２．０μｍであった。緑と
青の膜厚が増加し、三色の画素の膜厚を均一にできた。
この時の露光量は、赤、青及び緑色の感光性樹脂層に対
しては５０mJ/cm²とし、使用したマスクのパターンは、
ストライプが画素ごとに独立した長方形を形成し、スト
ライプの長手方向に隙間を設けたものである。得られた
多色パターンに紫外線照射機（ランプＨ５６００Ｌ／
２、東芝電材社製）を用いて３Ｊ/cm²で照射した後、１
５０℃で４５分間加熱してカラーフイルタを得た。

【００２８】比較例１ 実施例１において、（ｂ）貼り合わせ工程を下記とした
以外は実施例１と同様に行った。 （ｂ）本比較例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
それぞれの色について下記条件でラミネートした。 ロール温度 ６０℃ ロール圧 ４．０kg/cm² 速度 １．５ｍ/分 多色のパターンを形成した。三色の画素の膜厚を測定し
た結果、赤は２．０μｍ、青は１．６μｍ及び緑は１．
７μｍであった。緑と青の膜厚の増加はなく、三色の画
素の膜厚はラミネート前の膜厚のままで、画素の膜厚は
調整されなかった。

【００２９】実施例２ 表１の材料に代えて、表３の材料を使用し、青及び緑に
ついては（ｂ）貼り合わせ工程を下記とした以外は実施
例１と同様に行った。 （ｂ）本実施例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
青及び緑について下記条件でラミネートした。 ロール温度 １４０℃ ロール圧 ４．０kg/cm² 速度 １．０ｍ/分

【００３０】

【表３】

【００３１】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターン（７０μｍの長方形が長手方向に長さ１５０
mmであって、平行方向にに３０μｍの隙間があり、平行
方向の間隔が３００μｍ周期のストライプ状のパター
ン）が整然と並んでいた。三色の画素の膜厚を測定した
結果、赤は２．０μｍ、青は２．０μｍ及び緑は２．０
μｍであった。本実施例の貼り合わせ工程の条件によっ
て膜厚の制御が出来た。

【００３２】実施例３ 表１の材料に代えて、表４の材料を使用し、青及び緑に
ついては、（ｂ）貼り合わせ工程を下記とした以外は実
施例１と同様に行った。 （ｂ）本実施例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
青及び緑について下記条件でラミネートした。緑と青に
ついては基板を３回ロールに通した。 ロール温度 ８０℃ ロール圧 ４．０kg/cm² 速度 １．０ｍ/分

【００３３】

【表４】

【００３４】得られた赤、青及び緑色のパターンは実施
例１と同様に前置画素による変形は認められなかった。
得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色のパターン
（７０μｍの長方形が長手方向に長さ１５０mmであっ
て、平行方向にに３０μｍの隙間があり、平行方向の間
隔が３００μｍ周期のストライプ状のパターン）が整然
と並んでいた。三色の画素の膜厚を測定した結果、赤は
２．０μｍ、青は２．０μｍ及び緑は２．０μｍであつ
た。本実施例の貼り合わせ工程の条件によって膜厚の制
御ができた。追随性は良好であった。

【００３５】実施例４ 表１の材料に代えて、表５の材料を使用した以外は実施
例３と同様に行った。

【００３６】

【表５】

【００３７】実施例３と同様の結果であった。

【００３８】実施例５ 青及び緑については（ｂ）貼り合わせ工程を下記とした
以外は実施例１と同様に行った。 （ｂ）本実施例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
青及び緑について下記条件でラミネートした。 ロール温度 １４０℃ ロール圧 ６．０kg/cm² 速度 １．５ｍ/分

【００３９】得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色
のパターン（７０μｍの長方形が長手方向に長さ１５０
mmであって、平行方向にに３０μｍの隙間があり、平行
方向の間隔が３００μｍ周期のストライプ状のパター
ン）が整然と並び、追随性は良好であった。三色の画素
の膜厚を測定した結果、赤は２．０μｍ、青は２．０μ
ｍ及び緑は２．０μｍであつた。

【００４０】実施例６ 厚さ２３μｍのポリエチレンテレフタレートフイルムと
保護フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイル
ムを用いて感光性フイルムを得、乾燥後の着色感光性樹
脂層の厚さを、赤は２．０μｍ、青は２．５μｍ及び緑
は２．５μｍとし、青及び緑については（ｂ）貼り合わ
せ工程を下記とした以外は実施例１と同様に行った。 （ｂ）本実施例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
青及び緑について下記条件でラミネートした。 ロール温度 １２０℃ ロール圧 ５．０kg/cm² 速度 １．５ｍ/分 三色の画素の膜厚を測定した結果、赤は２．０μｍ、青
は２．０μｍ及び緑は２．０μｍであった。他は実施例
１と同様の結果を得た。

【００４１】実施例７ 感光性フイルムの乾燥後の着色感光性樹脂層の厚さを、
赤は２．０μｍ、青は１．５μｍ及び緑は１．５μｍと
し、（ｂ）貼り合わせ工程を下記とした以外は実施例１
と同様に行った。 （ｂ）本実施例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
それぞれの色について下記条件でラミネートし、青と緑
についてはそれぞれ３回ロールを通した。 ロール温度 ８０℃ ロール圧 ４．０kg/cm² 速度 １．５ｍ/分 得られた三色の画素の膜厚を測定した結果、赤は２．０
μｍ、青は２．０μｍ及び緑は２．０μｍであった。他
は実施例１と同様の結果を得た。

【００４２】実施例８ 感光性フイルムの乾燥後の着色感光性樹脂層の厚さを、
赤は２．０μｍ、青は１．８μｍ及び緑は１．７μｍと
し、赤については、（ｂ）貼り合わせ工程を下記とした
以外は実施例１と同様に行った。 （ｂ）本実施例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
赤について下記条件でラミネートした。 ロール温度 １６０℃ ロール圧 ４．０kg/cm² 速度 １．０ｍ/分 得られた三色の画素の膜厚を測定した結果、赤は２．０
μｍ、青は２．０μｍ及び緑は２．０μｍであった。他
は実施例１と同様の結果を得た。

【００４３】比較例２ 感光性フイルムの乾燥後の着色感光性樹脂層の厚さを、
赤は２．０μｍ、青は１．４μｍ及び緑は１．５μｍと
し、（ｂ）貼り合わせ工程を下記とした以外は実施例１
と同様に行った。 （ｂ）本比較例の貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
それぞれの色について下記条件でラミネートした。 ロール温度 ６５℃ ロール圧 ４．０kg/cm² 速度 １．０ｍ/分 多色のパターンを形成した。三色の画素の膜厚を測定し
た結果、赤は２．０μｍ、青は１．４μｍ及び緑は１．
５μｍであった。緑と青の膜厚が減少せず三色の画素の
膜厚はラミネート前の膜厚のままで、画素の膜厚は均一
化できなかった。

【００４４】

【発明の効果】本発明の製造法によれば、感光性フイル
ムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の
多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有する
カラーフイルタを製造することができる。感光性フイル
ムの着色感光性樹脂層の膜厚が不揃いであってもカラー
フイルタの製造時に三原色の画素の膜厚を加熱により調
整して、三原色の画素間の膜厚差を０．１μｍ以下にで
きる効果がある。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
   着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
   （１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
   に貼りあわせる工程、（２）パターン状に露光する工程
   及び（３）現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して
   多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法にお
   いて、二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板
   に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる
   工程を行ない、（１）の工程でロールを有するラミネー
   タを使用して、ロール圧力をかけながら貼りあわせるこ
   とにより、基板上の着色された感光性樹脂層の膜厚を厚
   くすることを特徴とするカラーフイルタの製造法。